JPH03289152A - プローブ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

「発明の目的」

【産業上の利用分野］ 本発明は、プローブ装置に関するものである。 ［従来の技術］ 通常、この種のプローブ装置、例えば半導体ウェハのプ
ローブ装置は、ウェハ上の多数の素子の電気的特性を測
定する測定部と、ウェハを収納しているカセットよりウ
ェハを取り出して測定部に供給し、測定後はウェハをカ
セット内に戻して搬送するローダ部から構成されている
。 上記の測定部には、触針を有するプローブカードを設け
、このプローブカードにテスタを接続して各素子の電気
的特性を順次測定するようにしている。 上記した装置は、クリーンルームの測定スペースに複数
台のプローブ装置を配列し、この装置には、複数枚のウ
ェハを収容したカセットを装置に個別に設け、このカセ
ットよりウェハを取り出し、次いでロード部を介してウ
ェハを対応する測定部に搬入して測定するようにしてい
る。 ［発明が解決しようとする課Ｍ］ しかしながら、上記した従来のプローブ装置には１次の
ような問題点がある。 即ち、各プローブ装置には、対応するカセット内のウェ
ハを順次測定部に搬入し、測定後のウェハは、当該測定
部に設けたロード部を介して空のカセット内に収納する
ようにしているため、複数台のプローブ装置が稼働して
いる場合はスループットの点において問題となることは
ないが、複数台のプローブ装置のうちのいずれかが稼働
して残りの装置が稼働していない場合を例に挙げると、
稼働中の装置は、カセット内のウェハを順次測定するの
で、その測定時間は、当該１台の装置で１枚のウェハを
測定する時間と、ウェハの測定枚数との関係で求めるこ
とができる。 しかし、この場合、稼働していないプローブ装置では、
上記のウェハを測定することができないので、稼働効率
が悪いばかりでなくスループットの低下をきたしていた
。 これを改善する手段として、１０−ダ２ステージ型プロ
ーブ装置につき提案されているが、更に稼動効率の向上
が望まれている。 本発明は上記の問題点に鑑みて開発したものであり、複
数台のプローブ装置の稼働率の向上を企図すると共に、
スループットの向上を図ることを目的としたものである
。 「発明の構成」 【課題を解決するための手段１ 未検査および検査液被測定体を収納する収納部と、この
収納部から被測定体を搬出又は搬入し予め定められた搬
送路を移動する搬送手段とこの搬送手段の搬送路に沿っ
て設けられた複数個の測定部と、これら測定部へ被測定
体を搬入又は測定液、被測定体を搬出し上記搬送手段に
設けられた操作機構と、これら一連の制御を予め定めら
れたプログラムで実行コンピュータとを具備してなるプ
ローブ装置である。 ［作　用］ 本発明は、複数の測定部を適宜の配列で配設し。 各測定部に対して共通の収納部内に複数の被測定体を収
納し、この被測定体を搬送手段により所望の測定部に搬
入搬出するようにしたので、複数枚の被測定体を収容し
た１個の収納部から被測定体を１枚ごと取り出し、予め
定められたプログラムによりロード部を駆動制御させて
一定のプリアライメントの後、所望の測定体に搬送して
測定することができる。又、搬送手段により取り出され
た被測定体は別の測定体に搬送されて同様の工程を経て
測定体に搬送され、収納部内の被測定体は順次１枚毎に
搬送されて測定され、従来に比較して測定時間のロスを
極力少なくすることができ、スループットの向上に寄与
することができる。 【実施例】 本発明を半導体ウェハのプローブ装置に適用した一実施
例を図面に基づいて説明する。 このウエハプローバは、被測定体例えばウェハ１を測定
する測定部２を適宜の配列で複数配設し、この複数の各
測定部２は、触針を有するプローブカード（口承しない
）にテスタ３をそれぞれ接続して各素子の電気的特性を
測定するようにしている。 更に、複数枚のウェハ１を収納するカセット４（収納部
）を上記各測定部共通の搬送系により構成し、これらカ
セット４（収納部）は、複数の測定部２に共通するよう
に１個又は複数個設ける。 このウェハ１を１個又は複数個の搬送系に設けたロボッ
トアームからなるロード部（搬送路〉５により所望の測
定部２に搬入するように構成している。 第１図はその代表的実施例を示している。複数の測定部
２は直線状に２列搬送路５に沿って両側に１系統に配設
され、各測定部２の背面にテスタ３を配し、上記搬送路
５を上記ロボットアームを支持する移動機構が移動する
。 この搬送路５は各稀の手段が適用可能であるが、本例に
おいては、ボールスクリュー等の駆動機構によってＹ方
向に移動するウェハ搬送手段６が設けられ、この搬送手
段６は、０回転が可能に構成され、キャリッジ７を有し
、キャリッジ７には、ウェハ１を吸着保持するバキュー
ムピンセット８゜８が上下に取付けられ、このピンセッ
ト８．８はそれぞれ独立にＸ方向、Ｙ方向に移動可能で
ピンセット８．８は同時に２方向に移動可能であって、
かつ０方向に回転することもできる。このピンセット８
．８の回転駆動は、キャリッジ７に設けたステッピング
モータとこれに連結されたボールスクリュー等の駆動機
構によってなされている。 ピンセット８，８は、一方のピンセットでウェハ１を保
持して所望の測定部２に搬送し、この測定部２に処理済
みウェハ１があったときに、他のピンセットで処理済み
のウェハ１をピックアップして上記ウェハをセットする
。 搬送系の一端側には、ウェハ受渡機構９が設けられ、こ
の受渡機構９には、測定前のウエノ）１を収容したカセ
ット４ａと測定後のウェハ１を収容したカセット４ｂが
設けられている。 また、受渡機構９は、ウェハｌの裏面を吸着保持するた
めのピンセット１０を具えており、このピンセット１０
は、上記したピンセット８と同様に移動しかつ回動でき
るように構成している。 しかも、このピンセット１０は検査前のウェハ１を搬送
手段６のピンセット８に渡し、また、検査後のウェハ１
をピンセット８から受は取るように操作可能に設けられ
ている。 この搬送手段６のピンセット８は、測定部２との間でウ
ェハ１の受渡を行い、更に、ピンセット８に吸着固定す
る際に、適宜の手段によりプリアライメントが行われる
。 そして、搬送手段６の動作は、全て制御システムによっ
て制御され、ウェハ１は、所望の測定部２に搬入されて
測定される。 又、搬送手段はベルトを用いた搬送系も考えられる。 次に、上記実施例の作用を説明する。 複数枚のウェハｌを収容した共通のカセット４からウェ
ハ１を１枚ごと取り出し、予め定められたプログラムに
より搬送路５の搬送手段６を駆動制御させて受渡機構９
に載置し、ウェハのオリフラを基準とするプリアライメ
ントを行う。次に受渡機構９のウェハを一方のピンセッ
ト８により取り上げ、検査済みウェハを受渡機構９に載
置する。 その後搬送路５を移動し、予め定められた測定部２に搬
送する。この測定部２では測定部のウェハを取り出し、
末流室ウェハを搬入する。測定部２は周回の手段で微位
置合せを実行した後測定する。 又、搬送路５により取り出された１枚の別のウェハ１は
所望の測定体２に搬送されて同様の工程を経て測定され
、カセット４内のウェハｌは順次１枚毎に搬送されて測
定されるので、従来に比較して測定時間のロスを極力少
なくすることができ。 スループットの向上に寄与することができる。 なお、搬送系に設けたロード部は上記の例に限ることな
く、被測定体を一枚ごと取りだし所望の測定体に適宜に
搬入搬出できる手段であればいずれの手段でも選択する
ことができる。 各ウェハに設けられるウェハコードやカセットに設けら
れるカセットコードを用いると多品種のウェハどれでも
自動的に選択し自動的に検査できる。即ち、各測定部に
予め測定品種に応じた測定部を用意する。例えばプロー
ブ針配列の相違、低周波測定、高周波測定、再測定用、
高温低温測定など設定できる。 また、プローブ装置の１つ又は複数をリペア装置にする
ことによりプローブ検査後リペア装置にて例えばメモリ
ーデバイス等の救済を行いその後又確認のための検査を
プローブ装置にて行うことができる。 「発明の効果」 以上のことから明らかなように、本発明によると次のよ
うな優れた効果を有する 即ち、複数台のプローブ装置の稼働率を向上させること
ができ、従来に比較して著しくスループットの向上を図
ることができる等の効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明におけるプローブ装置の一実施例を示し
た平面説明図、第２図は同上のフローチャートである。 ｌ・・・・ウェハ　　　２・・・・測定体４・・・・収
納部　　　５・・・・搬送路６・・・・搬送手段

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）未検査および検査済被測定体を収納する収納部と
   、この収納部から被測定体を搬出又は搬入し予め定めら
   れた搬送路を移動する搬送手段とこの搬送手段の搬送路
   に沿って設けられた複数個の測定部と、これら測定部へ
   被測定体を搬入又は測定済、被測定体を搬出し上記搬送
   手段に設けられた操作機構と、これら一連の制御を予め
   定められたプログラムで実行するコンピュータとを具備
   してなることを特徴とするプローブ装置。