JPH03289152A - プローブ装置 - Google Patents
プローブ装置Info
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- JPH03289152A JPH03289152A JP2091171A JP9117190A JPH03289152A JP H03289152 A JPH03289152 A JP H03289152A JP 2091171 A JP2091171 A JP 2091171A JP 9117190 A JP9117190 A JP 9117190A JP H03289152 A JPH03289152 A JP H03289152A
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- Japan
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- wafer
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- 239000000523 sample Substances 0.000 title claims abstract description 25
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 abstract description 59
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 33
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 4
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 8
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 3
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000009529 body temperature measurement Methods 0.000 description 1
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
「発明の目的」
【産業上の利用分野]
本発明は、プローブ装置に関するものである。
[従来の技術]
通常、この種のプローブ装置、例えば半導体ウェハのプ
ローブ装置は、ウェハ上の多数の素子の電気的特性を測
定する測定部と、ウェハを収納しているカセットよりウ
ェハを取り出して測定部に供給し、測定後はウェハをカ
セット内に戻して搬送するローダ部から構成されている
。 上記の測定部には、触針を有するプローブカードを設け
、このプローブカードにテスタを接続して各素子の電気
的特性を順次測定するようにしている。 上記した装置は、クリーンルームの測定スペースに複数
台のプローブ装置を配列し、この装置には、複数枚のウ
ェハを収容したカセットを装置に個別に設け、このカセ
ットよりウェハを取り出し、次いでロード部を介してウ
ェハを対応する測定部に搬入して測定するようにしてい
る。 [発明が解決しようとする課M] しかしながら、上記した従来のプローブ装置には1次の
ような問題点がある。 即ち、各プローブ装置には、対応するカセット内のウェ
ハを順次測定部に搬入し、測定後のウェハは、当該測定
部に設けたロード部を介して空のカセット内に収納する
ようにしているため、複数台のプローブ装置が稼働して
いる場合はスループットの点において問題となることは
ないが、複数台のプローブ装置のうちのいずれかが稼働
して残りの装置が稼働していない場合を例に挙げると、
稼働中の装置は、カセット内のウェハを順次測定するの
で、その測定時間は、当該1台の装置で1枚のウェハを
測定する時間と、ウェハの測定枚数との関係で求めるこ
とができる。 しかし、この場合、稼働していないプローブ装置では、
上記のウェハを測定することができないので、稼働効率
が悪いばかりでなくスループットの低下をきたしていた
。 これを改善する手段として、10−ダ2ステージ型プロ
ーブ装置につき提案されているが、更に稼動効率の向上
が望まれている。 本発明は上記の問題点に鑑みて開発したものであり、複
数台のプローブ装置の稼働率の向上を企図すると共に、
スループットの向上を図ることを目的としたものである
。 「発明の構成」 【課題を解決するための手段1 未検査および検査液被測定体を収納する収納部と、この
収納部から被測定体を搬出又は搬入し予め定められた搬
送路を移動する搬送手段とこの搬送手段の搬送路に沿っ
て設けられた複数個の測定部と、これら測定部へ被測定
体を搬入又は測定液、被測定体を搬出し上記搬送手段に
設けられた操作機構と、これら一連の制御を予め定めら
れたプログラムで実行コンピュータとを具備してなるプ
ローブ装置である。 [作 用] 本発明は、複数の測定部を適宜の配列で配設し。 各測定部に対して共通の収納部内に複数の被測定体を収
納し、この被測定体を搬送手段により所望の測定部に搬
入搬出するようにしたので、複数枚の被測定体を収容し
た1個の収納部から被測定体を1枚ごと取り出し、予め
定められたプログラムによりロード部を駆動制御させて
一定のプリアライメントの後、所望の測定体に搬送して
測定することができる。又、搬送手段により取り出され
た被測定体は別の測定体に搬送されて同様の工程を経て
測定体に搬送され、収納部内の被測定体は順次1枚毎に
搬送されて測定され、従来に比較して測定時間のロスを
極力少なくすることができ、スループットの向上に寄与
することができる。 【実施例】 本発明を半導体ウェハのプローブ装置に適用した一実施
例を図面に基づいて説明する。 このウエハプローバは、被測定体例えばウェハ1を測定
する測定部2を適宜の配列で複数配設し、この複数の各
測定部2は、触針を有するプローブカード(口承しない
)にテスタ3をそれぞれ接続して各素子の電気的特性を
測定するようにしている。 更に、複数枚のウェハ1を収納するカセット4(収納部
)を上記各測定部共通の搬送系により構成し、これらカ
セット4(収納部)は、複数の測定部2に共通するよう
に1個又は複数個設ける。 このウェハ1を1個又は複数個の搬送系に設けたロボッ
トアームからなるロード部(搬送路〉5により所望の測
定部2に搬入するように構成している。 第1図はその代表的実施例を示している。複数の測定部
2は直線状に2列搬送路5に沿って両側に1系統に配設
され、各測定部2の背面にテスタ3を配し、上記搬送路
5を上記ロボットアームを支持する移動機構が移動する
。 この搬送路5は各稀の手段が適用可能であるが、本例に
おいては、ボールスクリュー等の駆動機構によってY方
向に移動するウェハ搬送手段6が設けられ、この搬送手
段6は、0回転が可能に構成され、キャリッジ7を有し
、キャリッジ7には、ウェハ1を吸着保持するバキュー
ムピンセット8゜8が上下に取付けられ、このピンセッ
ト8.8はそれぞれ独立にX方向、Y方向に移動可能で
ピンセット8.8は同時に2方向に移動可能であって、
かつ0方向に回転することもできる。このピンセット8
.8の回転駆動は、キャリッジ7に設けたステッピング
モータとこれに連結されたボールスクリュー等の駆動機
構によってなされている。 ピンセット8,8は、一方のピンセットでウェハ1を保
持して所望の測定部2に搬送し、この測定部2に処理済
みウェハ1があったときに、他のピンセットで処理済み
のウェハ1をピックアップして上記ウェハをセットする
。 搬送系の一端側には、ウェハ受渡機構9が設けられ、こ
の受渡機構9には、測定前のウエノ)1を収容したカセ
ット4aと測定後のウェハ1を収容したカセット4bが
設けられている。 また、受渡機構9は、ウェハlの裏面を吸着保持するた
めのピンセット10を具えており、このピンセット10
は、上記したピンセット8と同様に移動しかつ回動でき
るように構成している。 しかも、このピンセット10は検査前のウェハ1を搬送
手段6のピンセット8に渡し、また、検査後のウェハ1
をピンセット8から受は取るように操作可能に設けられ
ている。 この搬送手段6のピンセット8は、測定部2との間でウ
ェハ1の受渡を行い、更に、ピンセット8に吸着固定す
る際に、適宜の手段によりプリアライメントが行われる
。 そして、搬送手段6の動作は、全て制御システムによっ
て制御され、ウェハ1は、所望の測定部2に搬入されて
測定される。 又、搬送手段はベルトを用いた搬送系も考えられる。 次に、上記実施例の作用を説明する。 複数枚のウェハlを収容した共通のカセット4からウェ
ハ1を1枚ごと取り出し、予め定められたプログラムに
より搬送路5の搬送手段6を駆動制御させて受渡機構9
に載置し、ウェハのオリフラを基準とするプリアライメ
ントを行う。次に受渡機構9のウェハを一方のピンセッ
ト8により取り上げ、検査済みウェハを受渡機構9に載
置する。 その後搬送路5を移動し、予め定められた測定部2に搬
送する。この測定部2では測定部のウェハを取り出し、
末流室ウェハを搬入する。測定部2は周回の手段で微位
置合せを実行した後測定する。 又、搬送路5により取り出された1枚の別のウェハ1は
所望の測定体2に搬送されて同様の工程を経て測定され
、カセット4内のウェハlは順次1枚毎に搬送されて測
定されるので、従来に比較して測定時間のロスを極力少
なくすることができ。 スループットの向上に寄与することができる。 なお、搬送系に設けたロード部は上記の例に限ることな
く、被測定体を一枚ごと取りだし所望の測定体に適宜に
搬入搬出できる手段であればいずれの手段でも選択する
ことができる。 各ウェハに設けられるウェハコードやカセットに設けら
れるカセットコードを用いると多品種のウェハどれでも
自動的に選択し自動的に検査できる。即ち、各測定部に
予め測定品種に応じた測定部を用意する。例えばプロー
ブ針配列の相違、低周波測定、高周波測定、再測定用、
高温低温測定など設定できる。 また、プローブ装置の1つ又は複数をリペア装置にする
ことによりプローブ検査後リペア装置にて例えばメモリ
ーデバイス等の救済を行いその後又確認のための検査を
プローブ装置にて行うことができる。 「発明の効果」 以上のことから明らかなように、本発明によると次のよ
うな優れた効果を有する 即ち、複数台のプローブ装置の稼働率を向上させること
ができ、従来に比較して著しくスループットの向上を図
ることができる等の効果がある。
ローブ装置は、ウェハ上の多数の素子の電気的特性を測
定する測定部と、ウェハを収納しているカセットよりウ
ェハを取り出して測定部に供給し、測定後はウェハをカ
セット内に戻して搬送するローダ部から構成されている
。 上記の測定部には、触針を有するプローブカードを設け
、このプローブカードにテスタを接続して各素子の電気
的特性を順次測定するようにしている。 上記した装置は、クリーンルームの測定スペースに複数
台のプローブ装置を配列し、この装置には、複数枚のウ
ェハを収容したカセットを装置に個別に設け、このカセ
ットよりウェハを取り出し、次いでロード部を介してウ
ェハを対応する測定部に搬入して測定するようにしてい
る。 [発明が解決しようとする課M] しかしながら、上記した従来のプローブ装置には1次の
ような問題点がある。 即ち、各プローブ装置には、対応するカセット内のウェ
ハを順次測定部に搬入し、測定後のウェハは、当該測定
部に設けたロード部を介して空のカセット内に収納する
ようにしているため、複数台のプローブ装置が稼働して
いる場合はスループットの点において問題となることは
ないが、複数台のプローブ装置のうちのいずれかが稼働
して残りの装置が稼働していない場合を例に挙げると、
稼働中の装置は、カセット内のウェハを順次測定するの
で、その測定時間は、当該1台の装置で1枚のウェハを
測定する時間と、ウェハの測定枚数との関係で求めるこ
とができる。 しかし、この場合、稼働していないプローブ装置では、
上記のウェハを測定することができないので、稼働効率
が悪いばかりでなくスループットの低下をきたしていた
。 これを改善する手段として、10−ダ2ステージ型プロ
ーブ装置につき提案されているが、更に稼動効率の向上
が望まれている。 本発明は上記の問題点に鑑みて開発したものであり、複
数台のプローブ装置の稼働率の向上を企図すると共に、
スループットの向上を図ることを目的としたものである
。 「発明の構成」 【課題を解決するための手段1 未検査および検査液被測定体を収納する収納部と、この
収納部から被測定体を搬出又は搬入し予め定められた搬
送路を移動する搬送手段とこの搬送手段の搬送路に沿っ
て設けられた複数個の測定部と、これら測定部へ被測定
体を搬入又は測定液、被測定体を搬出し上記搬送手段に
設けられた操作機構と、これら一連の制御を予め定めら
れたプログラムで実行コンピュータとを具備してなるプ
ローブ装置である。 [作 用] 本発明は、複数の測定部を適宜の配列で配設し。 各測定部に対して共通の収納部内に複数の被測定体を収
納し、この被測定体を搬送手段により所望の測定部に搬
入搬出するようにしたので、複数枚の被測定体を収容し
た1個の収納部から被測定体を1枚ごと取り出し、予め
定められたプログラムによりロード部を駆動制御させて
一定のプリアライメントの後、所望の測定体に搬送して
測定することができる。又、搬送手段により取り出され
た被測定体は別の測定体に搬送されて同様の工程を経て
測定体に搬送され、収納部内の被測定体は順次1枚毎に
搬送されて測定され、従来に比較して測定時間のロスを
極力少なくすることができ、スループットの向上に寄与
することができる。 【実施例】 本発明を半導体ウェハのプローブ装置に適用した一実施
例を図面に基づいて説明する。 このウエハプローバは、被測定体例えばウェハ1を測定
する測定部2を適宜の配列で複数配設し、この複数の各
測定部2は、触針を有するプローブカード(口承しない
)にテスタ3をそれぞれ接続して各素子の電気的特性を
測定するようにしている。 更に、複数枚のウェハ1を収納するカセット4(収納部
)を上記各測定部共通の搬送系により構成し、これらカ
セット4(収納部)は、複数の測定部2に共通するよう
に1個又は複数個設ける。 このウェハ1を1個又は複数個の搬送系に設けたロボッ
トアームからなるロード部(搬送路〉5により所望の測
定部2に搬入するように構成している。 第1図はその代表的実施例を示している。複数の測定部
2は直線状に2列搬送路5に沿って両側に1系統に配設
され、各測定部2の背面にテスタ3を配し、上記搬送路
5を上記ロボットアームを支持する移動機構が移動する
。 この搬送路5は各稀の手段が適用可能であるが、本例に
おいては、ボールスクリュー等の駆動機構によってY方
向に移動するウェハ搬送手段6が設けられ、この搬送手
段6は、0回転が可能に構成され、キャリッジ7を有し
、キャリッジ7には、ウェハ1を吸着保持するバキュー
ムピンセット8゜8が上下に取付けられ、このピンセッ
ト8.8はそれぞれ独立にX方向、Y方向に移動可能で
ピンセット8.8は同時に2方向に移動可能であって、
かつ0方向に回転することもできる。このピンセット8
.8の回転駆動は、キャリッジ7に設けたステッピング
モータとこれに連結されたボールスクリュー等の駆動機
構によってなされている。 ピンセット8,8は、一方のピンセットでウェハ1を保
持して所望の測定部2に搬送し、この測定部2に処理済
みウェハ1があったときに、他のピンセットで処理済み
のウェハ1をピックアップして上記ウェハをセットする
。 搬送系の一端側には、ウェハ受渡機構9が設けられ、こ
の受渡機構9には、測定前のウエノ)1を収容したカセ
ット4aと測定後のウェハ1を収容したカセット4bが
設けられている。 また、受渡機構9は、ウェハlの裏面を吸着保持するた
めのピンセット10を具えており、このピンセット10
は、上記したピンセット8と同様に移動しかつ回動でき
るように構成している。 しかも、このピンセット10は検査前のウェハ1を搬送
手段6のピンセット8に渡し、また、検査後のウェハ1
をピンセット8から受は取るように操作可能に設けられ
ている。 この搬送手段6のピンセット8は、測定部2との間でウ
ェハ1の受渡を行い、更に、ピンセット8に吸着固定す
る際に、適宜の手段によりプリアライメントが行われる
。 そして、搬送手段6の動作は、全て制御システムによっ
て制御され、ウェハ1は、所望の測定部2に搬入されて
測定される。 又、搬送手段はベルトを用いた搬送系も考えられる。 次に、上記実施例の作用を説明する。 複数枚のウェハlを収容した共通のカセット4からウェ
ハ1を1枚ごと取り出し、予め定められたプログラムに
より搬送路5の搬送手段6を駆動制御させて受渡機構9
に載置し、ウェハのオリフラを基準とするプリアライメ
ントを行う。次に受渡機構9のウェハを一方のピンセッ
ト8により取り上げ、検査済みウェハを受渡機構9に載
置する。 その後搬送路5を移動し、予め定められた測定部2に搬
送する。この測定部2では測定部のウェハを取り出し、
末流室ウェハを搬入する。測定部2は周回の手段で微位
置合せを実行した後測定する。 又、搬送路5により取り出された1枚の別のウェハ1は
所望の測定体2に搬送されて同様の工程を経て測定され
、カセット4内のウェハlは順次1枚毎に搬送されて測
定されるので、従来に比較して測定時間のロスを極力少
なくすることができ。 スループットの向上に寄与することができる。 なお、搬送系に設けたロード部は上記の例に限ることな
く、被測定体を一枚ごと取りだし所望の測定体に適宜に
搬入搬出できる手段であればいずれの手段でも選択する
ことができる。 各ウェハに設けられるウェハコードやカセットに設けら
れるカセットコードを用いると多品種のウェハどれでも
自動的に選択し自動的に検査できる。即ち、各測定部に
予め測定品種に応じた測定部を用意する。例えばプロー
ブ針配列の相違、低周波測定、高周波測定、再測定用、
高温低温測定など設定できる。 また、プローブ装置の1つ又は複数をリペア装置にする
ことによりプローブ検査後リペア装置にて例えばメモリ
ーデバイス等の救済を行いその後又確認のための検査を
プローブ装置にて行うことができる。 「発明の効果」 以上のことから明らかなように、本発明によると次のよ
うな優れた効果を有する 即ち、複数台のプローブ装置の稼働率を向上させること
ができ、従来に比較して著しくスループットの向上を図
ることができる等の効果がある。
第1図は本発明におけるプローブ装置の一実施例を示し
た平面説明図、第2図は同上のフローチャートである。 l・・・・ウェハ 2・・・・測定体4・・・・収
納部 5・・・・搬送路6・・・・搬送手段
た平面説明図、第2図は同上のフローチャートである。 l・・・・ウェハ 2・・・・測定体4・・・・収
納部 5・・・・搬送路6・・・・搬送手段
Claims (1)
- (1)未検査および検査済被測定体を収納する収納部と
、この収納部から被測定体を搬出又は搬入し予め定めら
れた搬送路を移動する搬送手段とこの搬送手段の搬送路
に沿って設けられた複数個の測定部と、これら測定部へ
被測定体を搬入又は測定済、被測定体を搬出し上記搬送
手段に設けられた操作機構と、これら一連の制御を予め
定められたプログラムで実行するコンピュータとを具備
してなることを特徴とするプローブ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9117190A JP2952331B2 (ja) | 1990-04-05 | 1990-04-05 | プローブ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9117190A JP2952331B2 (ja) | 1990-04-05 | 1990-04-05 | プローブ装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03289152A true JPH03289152A (ja) | 1991-12-19 |
JP2952331B2 JP2952331B2 (ja) | 1999-09-27 |
Family
ID=14019024
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9117190A Expired - Lifetime JP2952331B2 (ja) | 1990-04-05 | 1990-04-05 | プローブ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2952331B2 (ja) |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5798651A (en) * | 1995-06-08 | 1998-08-25 | Tokyo Electron Limited | Probe system |
WO2002052639A1 (fr) * | 2000-12-27 | 2002-07-04 | Tokyo Electron Limited | Systeme de transfert de pieces, procede de transfert, mandrin a depression et procede de centrage de plaquettes |
US6788996B2 (en) | 2001-04-19 | 2004-09-07 | Renesas Technology Corp. | Fabrication method of semiconductor integrated circuit device |
US7457680B2 (en) | 2000-12-27 | 2008-11-25 | Tokyo Electron Limited | Conveyance method for transporting objects |
CN102116835A (zh) * | 2009-11-06 | 2011-07-06 | 东京毅力科创株式会社 | 探测装置以及衬底运送方法 |
JP2017228789A (ja) * | 2017-08-22 | 2017-12-28 | 東京エレクトロン株式会社 | 検査システム |
JP2018067719A (ja) * | 2015-02-27 | 2018-04-26 | 株式会社東京精密 | プローバ |
US20180231582A1 (en) | 2016-02-26 | 2018-08-16 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Transfer unit and prober |
JP2019071442A (ja) * | 2018-12-18 | 2019-05-09 | 東京エレクトロン株式会社 | 検査システム |
KR20200033288A (ko) * | 2017-07-19 | 2020-03-27 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 검사 시스템 |
JP2022177010A (ja) * | 2015-02-27 | 2022-11-30 | 株式会社東京精密 | 搬送ユニット |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101313531B1 (ko) | 2009-02-27 | 2013-10-02 | 가부시키가이샤 어드밴티스트 | 시험 장치 및 시험 방법 |
-
1990
- 1990-04-05 JP JP9117190A patent/JP2952331B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5798651A (en) * | 1995-06-08 | 1998-08-25 | Tokyo Electron Limited | Probe system |
WO2002052639A1 (fr) * | 2000-12-27 | 2002-07-04 | Tokyo Electron Limited | Systeme de transfert de pieces, procede de transfert, mandrin a depression et procede de centrage de plaquettes |
US7457680B2 (en) | 2000-12-27 | 2008-11-25 | Tokyo Electron Limited | Conveyance method for transporting objects |
US6788996B2 (en) | 2001-04-19 | 2004-09-07 | Renesas Technology Corp. | Fabrication method of semiconductor integrated circuit device |
CN102116835A (zh) * | 2009-11-06 | 2011-07-06 | 东京毅力科创株式会社 | 探测装置以及衬底运送方法 |
US8726748B2 (en) | 2009-11-06 | 2014-05-20 | Tokyo Electron Limited | Probe apparatus and substrate transfer method |
JP2018067719A (ja) * | 2015-02-27 | 2018-04-26 | 株式会社東京精密 | プローバ |
JP2022177010A (ja) * | 2015-02-27 | 2022-11-30 | 株式会社東京精密 | 搬送ユニット |
US20180231582A1 (en) | 2016-02-26 | 2018-08-16 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Transfer unit and prober |
US10605829B2 (en) | 2016-02-26 | 2020-03-31 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Transfer unit and prober |
US11067624B2 (en) | 2017-07-19 | 2021-07-20 | Tokyo Electron Limited | Inspection system |
KR20200033288A (ko) * | 2017-07-19 | 2020-03-27 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 검사 시스템 |
JP2017228789A (ja) * | 2017-08-22 | 2017-12-28 | 東京エレクトロン株式会社 | 検査システム |
JP2019071442A (ja) * | 2018-12-18 | 2019-05-09 | 東京エレクトロン株式会社 | 検査システム |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2952331B2 (ja) | 1999-09-27 |
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