JPH11271339A - 光ファイバプローブ - Google Patents
光ファイバプローブInfo
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- JPH11271339A JPH11271339A JP10075735A JP7573598A JPH11271339A JP H11271339 A JPH11271339 A JP H11271339A JP 10075735 A JP10075735 A JP 10075735A JP 7573598 A JP7573598 A JP 7573598A JP H11271339 A JPH11271339 A JP H11271339A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 先鋭部の先端部分の形状を最適化することに
より、レーザ光の効率を向上させるとともに、高い集光
効果を有する光ファイバプローブを提供する。 【解決手段】 屈折率がｎのコアと上記コアの周囲に形
成されたクラッドと上記クラッドの周囲に形成された遮
光性被覆層からなる光伝搬部と、光伝搬部側から上記遮
光性被覆層の開口が次第に小となされ、上記光伝搬部か
らの光を集光して出射開口から出射する先鋭部とを備
え、先鋭部の出射開口の直径をＤ［ｎｍ］とし、αを任
意に決定される定数とし、λ［ｎｍ］を上記出射開口か
ら出射する光の波長としたとき、 Ｄ＝αλ／ｎ を満たすように形成されている。
より、レーザ光の効率を向上させるとともに、高い集光
効果を有する光ファイバプローブを提供する。 【解決手段】 屈折率がｎのコアと上記コアの周囲に形
成されたクラッドと上記クラッドの周囲に形成された遮
光性被覆層からなる光伝搬部と、光伝搬部側から上記遮
光性被覆層の開口が次第に小となされ、上記光伝搬部か
らの光を集光して出射開口から出射する先鋭部とを備
え、先鋭部の出射開口の直径をＤ［ｎｍ］とし、αを任
意に決定される定数とし、λ［ｎｍ］を上記出射開口か
ら出射する光の波長としたとき、 Ｄ＝αλ／ｎ を満たすように形成されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えばプローブ走
査型顕微鏡の一つである近接場光学顕微鏡において、エ
バネッセント光を検出または照射する光プローブとして
使用される光ファイバプローブに関する。
査型顕微鏡の一つである近接場光学顕微鏡において、エ
バネッセント光を検出または照射する光プローブとして
使用される光ファイバプローブに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の光ファイバプローブ１００は、図
７に示すように、光ファイバの先端を先鋭化させること
で、先鋭部１０１を形成し、当該先鋭部の先端１０２か
らレーザ光を励起していた。この光ファイバプローブで
は、先鋭部の根本部分１０３から先端１０２に向かって
開口が次第に小さくなるように形成されている。
７に示すように、光ファイバの先端を先鋭化させること
で、先鋭部１０１を形成し、当該先鋭部の先端１０２か
らレーザ光を励起していた。この光ファイバプローブで
は、先鋭部の根本部分１０３から先端１０２に向かって
開口が次第に小さくなるように形成されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上述の光ファ
イバプローブ１００は、例えば開口半径等の最適化を図
るための設計がなされていないのが現状である。また、
この光ファイバプローブ１００では、先鋭部の先端１０
２から出射するレーザ光の効率という点からみても、最
適化を考慮していなかった。
イバプローブ１００は、例えば開口半径等の最適化を図
るための設計がなされていないのが現状である。また、
この光ファイバプローブ１００では、先鋭部の先端１０
２から出射するレーザ光の効率という点からみても、最
適化を考慮していなかった。
【０００４】そこで、本発明は、上述したような実情に
鑑みて提案されたものであり、先鋭部の先端部分の形状
を最適化することにより、レーザ光の効率を向上させる
とともに、高い集光効果を有する光ファイバプローブを
提供することを目的とする。
鑑みて提案されたものであり、先鋭部の先端部分の形状
を最適化することにより、レーザ光の効率を向上させる
とともに、高い集光効果を有する光ファイバプローブを
提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上述の課題を解決する本
発明に係る光ファイバプローブは、屈折率がｎのコアと
コアの周囲に形成されたクラッドとクラッドの周囲に形
成された遮光性被覆層からなる光伝搬部と、光伝搬部側
から遮光性被覆層の開口が次第に小となされ、光伝搬部
からの光を集光して出射開口から出射する先鋭部とを備
え、先鋭部の出射開口の直径をＤ［ｎｍ］とし、αを任
意に選択される定数とし、λ［ｎｍ］を上記出射開口か
ら出射する光の波長としたとき、Ｄ＝αλ／ｎ （式
１）を満たすように形成されていることを特徴とするも
のである。
発明に係る光ファイバプローブは、屈折率がｎのコアと
コアの周囲に形成されたクラッドとクラッドの周囲に形
成された遮光性被覆層からなる光伝搬部と、光伝搬部側
から遮光性被覆層の開口が次第に小となされ、光伝搬部
からの光を集光して出射開口から出射する先鋭部とを備
え、先鋭部の出射開口の直径をＤ［ｎｍ］とし、αを任
意に選択される定数とし、λ［ｎｍ］を上記出射開口か
ら出射する光の波長としたとき、Ｄ＝αλ／ｎ （式
１）を満たすように形成されていることを特徴とするも
のである。
【０００６】このような光ファイバプローブは、上記の
式１を満たすような直径を有する出射開口を形成するこ
とにより、光を集光して出射開口から光を出射する。
式１を満たすような直径を有する出射開口を形成するこ
とにより、光を集光して出射開口から光を出射する。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照しながら詳細に説明する。
て図面を参照しながら詳細に説明する。
【０００８】第１の実施の形態に係る光ファイバプロー
ブ１は、図１に示すように、コア２と、このコア２の周
囲に形成されたクラッド３と、クラッド３の周囲に形成
された遮光性被覆層４とからなる。
ブ１は、図１に示すように、コア２と、このコア２の周
囲に形成されたクラッド３と、クラッド３の周囲に形成
された遮光性被覆層４とからなる。
【０００９】コア２は、所定の屈折率ｎを有し、クラッ
ド３は、コアの屈折率ｎよりも小さい屈折率を有してい
る。このようにコア２及びクラッド３が形成されること
で、光ファイバプローブ１に入射されたレーザ光は、コ
ア２とクラッド３との境界で全反射しながら進行するこ
ととなる。
ド３は、コアの屈折率ｎよりも小さい屈折率を有してい
る。このようにコア２及びクラッド３が形成されること
で、光ファイバプローブ１に入射されたレーザ光は、コ
ア２とクラッド３との境界で全反射しながら進行するこ
ととなる。
【００１０】この光ファイバプローブ１は、上記コア
２，クラッド３，遮光性被覆層４からなる光伝搬部５
と、遮光性被覆層４の直径が光伝搬部５から先端に向か
って次第に小となされている先鋭部６とからなる。
２，クラッド３，遮光性被覆層４からなる光伝搬部５
と、遮光性被覆層４の直径が光伝搬部５から先端に向か
って次第に小となされている先鋭部６とからなる。
【００１１】光伝搬部５は、所定の屈折率ｎを有するコ
ア２と、このコア２よりも低い屈折率を有するクラッド
３とからなる。光伝搬部５は、このように構成されるこ
とで、コア４内にレーザ光を伝搬させ、このレーザ光を
先鋭部３に導く。
ア２と、このコア２よりも低い屈折率を有するクラッド
３とからなる。光伝搬部５は、このように構成されるこ
とで、コア４内にレーザ光を伝搬させ、このレーザ光を
先鋭部３に導く。
【００１２】先鋭部６は、遮光性被覆層４と、遮光性被
覆層４の内周側に形成されたコア２とからなり、光を出
射する出射開口７の開口を狭くするように先鋭化されて
なる。この先鋭部６は、遮光性被覆層４の内壁を、光伝
搬部５のクラッド３の内壁とのなす第１の角度θ1を以
て形成することで、第１の傾斜面８を形成している。こ
のように遮光性被覆層４を形成することにより、先鋭部
６は、コア２の直径を光伝搬部５から出射開口７に向か
うに従って次第に小としている。
覆層４の内周側に形成されたコア２とからなり、光を出
射する出射開口７の開口を狭くするように先鋭化されて
なる。この先鋭部６は、遮光性被覆層４の内壁を、光伝
搬部５のクラッド３の内壁とのなす第１の角度θ1を以
て形成することで、第１の傾斜面８を形成している。こ
のように遮光性被覆層４を形成することにより、先鋭部
６は、コア２の直径を光伝搬部５から出射開口７に向か
うに従って次第に小としている。
【００１３】ここで、第１の角度θ1は、４５［゜］以
下であれば良く、４５［゜］〜１０［゜］の範囲内とな
るように第１の傾斜面８を形成することがさらに望まし
い。
下であれば良く、４５［゜］〜１０［゜］の範囲内とな
るように第１の傾斜面８を形成することがさらに望まし
い。
【００１４】また、この光ファイバプローブ１では、α
を１．０〜２．２の範囲内の値を有する定数とし、λ
［ｎｍ］を出射する光の波長としたとき、Ｄ＝αλ／ｎ
（式１）を満たすように出射開口７の直径Ｄ［ｎｍ］
が形成されている。
を１．０〜２．２の範囲内の値を有する定数とし、λ
［ｎｍ］を出射する光の波長としたとき、Ｄ＝αλ／ｎ
（式１）を満たすように出射開口７の直径Ｄ［ｎｍ］
が形成されている。
【００１５】このように、上記式１を満たすような出射
開口７が形成された光ファイバプローブ１は、光伝搬部
５から伝搬されたレーザ光を、先鋭部６の内壁である第
１の傾斜面８で反射させることで集光し、出射開口７か
ら外部に出射する。
開口７が形成された光ファイバプローブ１は、光伝搬部
５から伝搬されたレーザ光を、先鋭部６の内壁である第
１の傾斜面８で反射させることで集光し、出射開口７か
ら外部に出射する。
【００１６】このような光ファイバプローブ１におい
て、出射開口７の直径Ｄが変化されたとき、出射開口７
の中心位置から出射されるレーザ光の光強度を図２に示
す。この光ファイバプローブ１においては、光伝搬部５
に入射されるレーザ光の波長λを約８３０［ｎｍ］と
し、第１の角度θ1を約１０［゜］とし、コア２の屈折
率を１．５３としたとき、出射開口７の直径Ｄが約６０
０［ｎｍ］〜１２００［ｎｍ］の範囲内において光強度
が高くなっていることがわかる。このとき、定数αは、
上記式１から算出すると、約１．０〜２．２となる。
て、出射開口７の直径Ｄが変化されたとき、出射開口７
の中心位置から出射されるレーザ光の光強度を図２に示
す。この光ファイバプローブ１においては、光伝搬部５
に入射されるレーザ光の波長λを約８３０［ｎｍ］と
し、第１の角度θ1を約１０［゜］とし、コア２の屈折
率を１．５３としたとき、出射開口７の直径Ｄが約６０
０［ｎｍ］〜１２００［ｎｍ］の範囲内において光強度
が高くなっていることがわかる。このとき、定数αは、
上記式１から算出すると、約１．０〜２．２となる。
【００１７】したがって、この光ファイバプローブ１で
は、定数αを１．０〜２．２の範囲内とするように出射
開口７の直径Ｄを形成することにより、より光強度を高
くすることができる。さらに、光ファイバプローブ１
は、定数αを約１．５程度とすることにより、出射開口
７からの光強度を最も高くすることができる。
は、定数αを１．０〜２．２の範囲内とするように出射
開口７の直径Ｄを形成することにより、より光強度を高
くすることができる。さらに、光ファイバプローブ１
は、定数αを約１．５程度とすることにより、出射開口
７からの光強度を最も高くすることができる。
【００１８】つぎに、光ファイバプローブ１において出
射開口７からレーザ光を出射したときの近接場における
光強度分布を測定した結果を図３に示す。この図３は、
出射開口７の直径Ｄを１２００，１０００，７５０，５
５０［ｎｍ］としたときの光強度と、焦点位置からの距
離との関係を示す図である。
射開口７からレーザ光を出射したときの近接場における
光強度分布を測定した結果を図３に示す。この図３は、
出射開口７の直径Ｄを１２００，１０００，７５０，５
５０［ｎｍ］としたときの光強度と、焦点位置からの距
離との関係を示す図である。
【００１９】この図３によれば、曲線ａで示した出射開
口７の直径Ｄが１２００［ｎｍ］のときでは、焦点位置
とは異なる位置にレーザ光が集光されていることがわか
る。また、曲線ｂ及び曲線ｃで示した出射開口７の直径
Ｄ［ｎｍ］を、１０００［ｎｍ］，７５０［ｎｍ］とし
たときでは、焦点位置に高いピークがあり、かつ、非常
に小さい幅でスポットが形成されていることがわかる。
また、曲線ｄで示した出射開口７の直径Ｄを５５０［ｎ
ｍ］としたときでは、曲線ｂ及び曲線ｃで示したピーク
よりも低いピークが存在していることがわかる。
口７の直径Ｄが１２００［ｎｍ］のときでは、焦点位置
とは異なる位置にレーザ光が集光されていることがわか
る。また、曲線ｂ及び曲線ｃで示した出射開口７の直径
Ｄ［ｎｍ］を、１０００［ｎｍ］，７５０［ｎｍ］とし
たときでは、焦点位置に高いピークがあり、かつ、非常
に小さい幅でスポットが形成されていることがわかる。
また、曲線ｄで示した出射開口７の直径Ｄを５５０［ｎ
ｍ］としたときでは、曲線ｂ及び曲線ｃで示したピーク
よりも低いピークが存在していることがわかる。
【００２０】このような結果より、出射開口７の直径Ｄ
を１０００［ｎｍ］，７５０［ｎｍ］としたとき、波長
８３０［ｎｍ］での回折限界を超えて集光位置にレーザ
光が集光されていることがわかる。すなわち、上述の式
１における定数αを約１．３〜２．０とし、出射開口７
の直径Ｄを７００［ｎｍ］〜１１００［ｎｍ］程度とす
ることにより、回折限界を超えて集光位置にレーザ光を
集光することができる。
を１０００［ｎｍ］，７５０［ｎｍ］としたとき、波長
８３０［ｎｍ］での回折限界を超えて集光位置にレーザ
光が集光されていることがわかる。すなわち、上述の式
１における定数αを約１．３〜２．０とし、出射開口７
の直径Ｄを７００［ｎｍ］〜１１００［ｎｍ］程度とす
ることにより、回折限界を超えて集光位置にレーザ光を
集光することができる。
【００２１】したがって、このような光ファイバプロー
ブ１によれば、上述の式１中のαを１．３〜２．０とし
て出射開口７の直径Ｄを変化させることにより、光強度
を高くし、かつ、回折限界を超えてスポットを形成する
ことができる。したがって、この光ファイバプローブ１
によれば、出射開口７の直径Ｄを変化させるとともに、
第１の角度θ1を変化させることで、集光効率及び被照
射物に形成するスポット径の最適化を図ることができ
る。
ブ１によれば、上述の式１中のαを１．３〜２．０とし
て出射開口７の直径Ｄを変化させることにより、光強度
を高くし、かつ、回折限界を超えてスポットを形成する
ことができる。したがって、この光ファイバプローブ１
によれば、出射開口７の直径Ｄを変化させるとともに、
第１の角度θ1を変化させることで、集光効率及び被照
射物に形成するスポット径の最適化を図ることができ
る。
【００２２】つぎに、第２の実施の形態に係る光ファイ
バプローブ１０について説明する。この光ファイバプロ
ーブ１０は、図４及び図５に示すように、第１の実施の
形態に係る光ファイバプローブ１と同様に、コア１１
と、このコア１１の周囲に形成されたクラッド１２と、
クラッド１２の周囲に形成された遮光性被覆層１３とか
らなる。また、この光ファイバプローブ１０は、レーザ
光を伝搬する光伝搬部１４と、この光伝搬部１４からの
レーザ光を集光して出射する先鋭部１５とからなる。な
お、図４は光ファイバプローブ１０の縦断面図であり、
図５は光ファイバプローブ１０の横断面図である。
バプローブ１０について説明する。この光ファイバプロ
ーブ１０は、図４及び図５に示すように、第１の実施の
形態に係る光ファイバプローブ１と同様に、コア１１
と、このコア１１の周囲に形成されたクラッド１２と、
クラッド１２の周囲に形成された遮光性被覆層１３とか
らなる。また、この光ファイバプローブ１０は、レーザ
光を伝搬する光伝搬部１４と、この光伝搬部１４からの
レーザ光を集光して出射する先鋭部１５とからなる。な
お、図４は光ファイバプローブ１０の縦断面図であり、
図５は光ファイバプローブ１０の横断面図である。
【００２３】光伝搬部１４は、第１の実施の形態の光フ
ァイバプローブ１における光伝搬部５と同様の構成を有
する。
ァイバプローブ１における光伝搬部５と同様の構成を有
する。
【００２４】先鋭部１５は、遮光性被覆層１３と、遮光
性被覆層１３の内周側に形成されたコア１１とからな
り、レーザ光を出射する微小開口１６が先端に形成され
ている。この先鋭部１５は、第１の傾斜面１７と、第２
の傾斜面１８と、第３の傾斜面１９とが遮光性被覆層１
３の内壁により形成されてなり、光伝搬部１４から先端
に向かって開口が次第に小さくなるように形成されてい
る。
性被覆層１３の内周側に形成されたコア１１とからな
り、レーザ光を出射する微小開口１６が先端に形成され
ている。この先鋭部１５は、第１の傾斜面１７と、第２
の傾斜面１８と、第３の傾斜面１９とが遮光性被覆層１
３の内壁により形成されてなり、光伝搬部１４から先端
に向かって開口が次第に小さくなるように形成されてい
る。
【００２５】第１の傾斜面１７は、クラッド１２の内壁
から先端側に向かって形成され、クラッド１２の内壁と
第１の角度θ11を以て形成される。第２の傾斜面１８
は、第１の傾斜面１７から先端側に向かって形成され、
遮光性被覆層１３の内壁と第２の角度θ12を以て形成さ
れる。第３の傾斜面１９は、第２の傾斜面１８から先端
側に向かって形成され、第３の角度θ13で略Ｖ字状に形
成される。
から先端側に向かって形成され、クラッド１２の内壁と
第１の角度θ11を以て形成される。第２の傾斜面１８
は、第１の傾斜面１７から先端側に向かって形成され、
遮光性被覆層１３の内壁と第２の角度θ12を以て形成さ
れる。第３の傾斜面１９は、第２の傾斜面１８から先端
側に向かって形成され、第３の角度θ13で略Ｖ字状に形
成される。
【００２６】第１の角度θ11は１０［゜］〜４５［゜］
の範囲内となるように形成され、第２の角度θ12は５０
［゜］〜９０［゜］の範囲内となるように形成され、第
３の角度θ13は０［゜］〜３０［゜］の範囲内となるよ
うに形成される。このように光ファイバプローブ１０
は、第１の傾斜面１７、第２の傾斜面１８、第３の傾斜
面１９が形成されることで、先端に形成された微小開口
１６の直径が約１００［ｎｍ］以下となるように形成さ
れている。
の範囲内となるように形成され、第２の角度θ12は５０
［゜］〜９０［゜］の範囲内となるように形成され、第
３の角度θ13は０［゜］〜３０［゜］の範囲内となるよ
うに形成される。このように光ファイバプローブ１０
は、第１の傾斜面１７、第２の傾斜面１８、第３の傾斜
面１９が形成されることで、先端に形成された微小開口
１６の直径が約１００［ｎｍ］以下となるように形成さ
れている。
【００２７】この先鋭部１５は、図５に示すように、第
１の傾斜面１７と第２の傾斜面１８との境界線Ａにおけ
る直径Ｄを、第１の実施の形態の光ファイバプローブ１
と同様に、上述の式１で示す関係を満たすように形成さ
れている。
１の傾斜面１７と第２の傾斜面１８との境界線Ａにおけ
る直径Ｄを、第１の実施の形態の光ファイバプローブ１
と同様に、上述の式１で示す関係を満たすように形成さ
れている。
【００２８】また、この先鋭部１５は、クラッド１２と
第１の傾斜面１７の境界線Ｂと、境界線Ａとの高さ方向
における差Ｈ1が０．８μｍ〜１．２μｍの範囲内に形
成されている。また、境界線Ａと、第２の傾斜面１８と
第３の傾斜面１９との境界線Ｃとの高さ方向における差
Ｈ2が１５０［ｎｍ］〜２５０［ｎｍ］の範囲内に形成
されている。また、境界線Ｃと微小開口１６との高さ方
向の差Ｈ3が３００［ｎｍ］〜４００［ｎｍ］の範囲内
に形成されている。
第１の傾斜面１７の境界線Ｂと、境界線Ａとの高さ方向
における差Ｈ1が０．８μｍ〜１．２μｍの範囲内に形
成されている。また、境界線Ａと、第２の傾斜面１８と
第３の傾斜面１９との境界線Ｃとの高さ方向における差
Ｈ2が１５０［ｎｍ］〜２５０［ｎｍ］の範囲内に形成
されている。また、境界線Ｃと微小開口１６との高さ方
向の差Ｈ3が３００［ｎｍ］〜４００［ｎｍ］の範囲内
に形成されている。
【００２９】このような光ファイバプローブ１０は、光
伝搬部１４からレーザ光Ｌ１が入射されると、例えばコ
ア１１内から第２の傾斜面１８で反射して、微小開口１
６に向かってレーザ光を集光する。すなわち、この光フ
ァイバプローブ１０は、光伝搬部１４から先鋭部１５に
入射されたレーザ光を微小開口１６に導くような構成と
なされている。
伝搬部１４からレーザ光Ｌ１が入射されると、例えばコ
ア１１内から第２の傾斜面１８で反射して、微小開口１
６に向かってレーザ光を集光する。すなわち、この光フ
ァイバプローブ１０は、光伝搬部１４から先鋭部１５に
入射されたレーザ光を微小開口１６に導くような構成と
なされている。
【００３０】また、この光ファイバプローブ１０は、式
１の定数αを１．０〜３．５の範囲内となるように境界
線Ａにおける直径Ｄが形成されているので、高い効率で
微小開口１６からレーザ光を出射することができるとと
もに、所望の集光位置に回折限界を超えてレーザ光を集
光することができる。また、この光ファイバプローブ１
０では、式１におけるαを３．０程度とすることがさら
に望ましい。この光ファイバプローブ１０は、第１の実
施の形態に係る光ファイバプローブ１とは異なり、微小
開口１６からレーザ光を出射するので、微小開口１６の
直径を変化させることで、微小開口１６から出射するレ
ーザ光を制限して、被照射物に形成するスポット径を変
化させることができる。
１の定数αを１．０〜３．５の範囲内となるように境界
線Ａにおける直径Ｄが形成されているので、高い効率で
微小開口１６からレーザ光を出射することができるとと
もに、所望の集光位置に回折限界を超えてレーザ光を集
光することができる。また、この光ファイバプローブ１
０では、式１におけるαを３．０程度とすることがさら
に望ましい。この光ファイバプローブ１０は、第１の実
施の形態に係る光ファイバプローブ１とは異なり、微小
開口１６からレーザ光を出射するので、微小開口１６の
直径を変化させることで、微小開口１６から出射するレ
ーザ光を制限して、被照射物に形成するスポット径を変
化させることができる。
【００３１】つぎに、第１〜第３の傾斜面が形成された
光ファイバプローブ１０について、微小開口１６の直径
［ｎｍ］を変化させたときの出射効率を測定した結果を
図６に示す。この図６は、第１の実施の形態に係る光フ
ァイバプローブ１について出射開口の直径Ｄを変化させ
たときの特性を白丸で示し、第２の実施の形態に係る光
ファイバプローブ１０の特性を黒丸で示す。
光ファイバプローブ１０について、微小開口１６の直径
［ｎｍ］を変化させたときの出射効率を測定した結果を
図６に示す。この図６は、第１の実施の形態に係る光フ
ァイバプローブ１について出射開口の直径Ｄを変化させ
たときの特性を白丸で示し、第２の実施の形態に係る光
ファイバプローブ１０の特性を黒丸で示す。
【００３２】この図６によれば、第１の実施の形態に係
る光ファイバプローブ１は、出射開口７の直径Ｄが約３
００［ｎｍ］以上のときには高い出射効率を示し、直径
Ｄが約３００［ｎｍ］以下となると、出射効率が急激に
低下していることがわかる。
る光ファイバプローブ１は、出射開口７の直径Ｄが約３
００［ｎｍ］以上のときには高い出射効率を示し、直径
Ｄが約３００［ｎｍ］以下となると、出射効率が急激に
低下していることがわかる。
【００３３】一方、第２の実施の形態に係る光ファイバ
プローブ１０は、微小開口１６の直径が約１００［ｎ
ｍ］以下となっても出射効率が急激に低下しておらず、
直径が約５０［ｎｍ］程度の微小開口１６となっても、
高い出射効率でレーザ光を出射させることができ、か
つ、被照射物に微小径のスポットを形成することができ
る。
プローブ１０は、微小開口１６の直径が約１００［ｎ
ｍ］以下となっても出射効率が急激に低下しておらず、
直径が約５０［ｎｍ］程度の微小開口１６となっても、
高い出射効率でレーザ光を出射させることができ、か
つ、被照射物に微小径のスポットを形成することができ
る。
【００３４】したがって、この第２の実施の形態に係る
光ファイバプローブ１０は、第１〜第３の角度θ11，θ
12，θ13、境界線Ａにおける直径Ｄ、微小開口１６の直
径を変化させることにより、出射効率及び被照射物に形
成するスポット径の最適化を図ることができる。
光ファイバプローブ１０は、第１〜第３の角度θ11，θ
12，θ13、境界線Ａにおける直径Ｄ、微小開口１６の直
径を変化させることにより、出射効率及び被照射物に形
成するスポット径の最適化を図ることができる。
【００３５】また、この第２の実施の形態に係る光ファ
イバプローブ１０は、上述のように、第１〜第３の角度
θ11，θ12，θ13、境界線Ａにおける直径Ｄを最適化
し、高さＨ1〜Ｈ3を変化させ、微小開口１６の直径を１
００［ｎｍ］以下とすることにより、従来の開口型プロ
ーブよりも、約１０００倍程度の効率でレーザ光を出射
させることができる。
イバプローブ１０は、上述のように、第１〜第３の角度
θ11，θ12，θ13、境界線Ａにおける直径Ｄを最適化
し、高さＨ1〜Ｈ3を変化させ、微小開口１６の直径を１
００［ｎｍ］以下とすることにより、従来の開口型プロ
ーブよりも、約１０００倍程度の効率でレーザ光を出射
させることができる。
【００３６】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明に係
る光ファイバプローブは、コアの屈折率をｎとし、αを
任意に選択される定数とし、λ［ｎｍ］を出射する光の
波長としたとき、先鋭部の直径ＤがＤ＝αλ／ｎを満た
すように形成されているので、出射開口から出射するレ
ーザ光の効率を調整することができるとともに、光伝搬
部からのレーザ光を集光して出射開口から出射すること
ができる。
る光ファイバプローブは、コアの屈折率をｎとし、αを
任意に選択される定数とし、λ［ｎｍ］を出射する光の
波長としたとき、先鋭部の直径ＤがＤ＝αλ／ｎを満た
すように形成されているので、出射開口から出射するレ
ーザ光の効率を調整することができるとともに、光伝搬
部からのレーザ光を集光して出射開口から出射すること
ができる。
【図１】第１の実施の形態に係る光ファイバプローブを
示す断面図である。
示す断面図である。
【図２】第１の実施の形態に係る光ファイバプローブに
おいて、出射開口の直径Ｄの大きさと、光強度との関係
を示す図である。
おいて、出射開口の直径Ｄの大きさと、光強度との関係
を示す図である。
【図３】第１の実施の形態に係る光ファイバプローブに
おいて、焦点位置からの距離と、焦点位置における光強
度との関係を示す図である。
おいて、焦点位置からの距離と、焦点位置における光強
度との関係を示す図である。
【図４】第２の実施の形態に係る光ファイバプローブを
示す縦断面図である。
示す縦断面図である。
【図５】第２の実施の形態に係る光ファイバプローブを
示す横断面図である。
示す横断面図である。
【図６】第１の実施の形態に係る光ファイバプローブの
直径Ｄ、第２の実施の形態に係る光ファイバプローブの
微小開口の直径を変化させたときの出射効率を示す図で
ある。
直径Ｄ、第２の実施の形態に係る光ファイバプローブの
微小開口の直径を変化させたときの出射効率を示す図で
ある。
【図７】従来の光ファイバプローブを示す断面図であ
る。
る。
１，１０ 光ファイバプローブ、２，１１ コア、３，
１２ クラッド、４，１３ 遮光性被覆層、５，１４
光伝搬部、６，１５ 先鋭部、７ 出射開口、８第１の
傾斜面、１６ 微小開口、１７ 第１の傾斜面、１８
第２の傾斜面、１９ 第３の傾斜面
１２ クラッド、４，１３ 遮光性被覆層、５，１４
光伝搬部、６，１５ 先鋭部、７ 出射開口、８第１の
傾斜面、１６ 微小開口、１７ 第１の傾斜面、１８
第２の傾斜面、１９ 第３の傾斜面
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１１年４月１９日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正内容】
【書類名】 明細書
【発明の名称】 光ファイバプローブ
【特許請求の範囲】
【請求項２】 屈折率がｎのコアと上記コアの周囲に形
成されたクラッドと上記クラッドの周囲に形成された遮
光性被覆層からなり、上記コア内部の光を励起して複数
の伝搬モードを有する光として上記コア内部を伝搬させ
る光伝搬部と、 上記クラッドの内壁から出射開口に向かって開口が次第
に小となされるように形成された２以上の傾斜面を備
え、上記光伝搬部からの光を集光して出射開口から出射
する先鋭部とを備え、 上記先鋭部の出射開口の直径をＤ［ｎｍ］とし、αを
１．０〜２．２の範囲内の値を有する定数とし、λ［ｎ
ｍ］を上記出射開口から出射する光の波長としたとき、 Ｄ＝αλ／ｎ （式１） を満たすとともに、先鋭部の出射開口を、上記先鋭部の
内部における集光位置に設けられた微小開口とすること
を特徴とする光ファイバプローブ。
成されたクラッドと上記クラッドの周囲に形成された遮
光性被覆層からなり、上記コア内部の光を励起して複数
の伝搬モードを有する光として上記コア内部を伝搬させ
る光伝搬部と、 上記クラッドの内壁から出射開口に向かって開口が次第
に小となされるように形成された２以上の傾斜面を備
え、上記光伝搬部からの光を集光して出射開口から出射
する先鋭部とを備え、 上記先鋭部の出射開口の直径をＤ［ｎｍ］とし、αを
１．０〜２．２の範囲内の値を有する定数とし、λ［ｎ
ｍ］を上記出射開口から出射する光の波長としたとき、 Ｄ＝αλ／ｎ （式１） を満たすとともに、先鋭部の出射開口を、上記先鋭部の
内部における集光位置に設けられた微小開口とすること
を特徴とする光ファイバプローブ。
【請求項３】 上記上記クラッドの内壁から出射開口側
に向かって開口が次第に小となされるように形成された
第１の傾斜面と、 上記第１の傾斜面から出射開口側に向かって開口が次第
に小となされるように形成された第２の傾斜面とを少な
くとも有し、 上記第１の傾斜面と第２の傾斜面との接続位置における
直径をＤ［ｎｍ］とし、上記αを１〜３．５の範囲内を
有する定数としたとき、上記式１を満たすように形成さ
れていることを特徴とする請求項２記載の光ファイバプ
ローブ。
に向かって開口が次第に小となされるように形成された
第１の傾斜面と、 上記第１の傾斜面から出射開口側に向かって開口が次第
に小となされるように形成された第２の傾斜面とを少な
くとも有し、 上記第１の傾斜面と第２の傾斜面との接続位置における
直径をＤ［ｎｍ］とし、上記αを１〜３．５の範囲内を
有する定数としたとき、上記式１を満たすように形成さ
れていることを特徴とする請求項２記載の光ファイバプ
ローブ。
【請求項４】 上記先鋭部は、上記クラッドの内壁と第
１の角度を有し、上記光伝搬部から出射開口側に向かっ
て開口が次第に小となされるように形成された第１の傾
斜面と、 上記クラッドの内壁と第２の角度を有し、上記第１の傾
斜面から出射開口側に向かって開口が次第に小となされ
るように形成された第２の傾斜面と、 上記クラッドの内壁と第３の角度を有し、上記第２の傾
斜面から出射開口側に向かって開口が次第に小となされ
るように形成された第３の傾斜面とを備えることを特徴
とする請求項２記載の光ファイバプローブ。
１の角度を有し、上記光伝搬部から出射開口側に向かっ
て開口が次第に小となされるように形成された第１の傾
斜面と、 上記クラッドの内壁と第２の角度を有し、上記第１の傾
斜面から出射開口側に向かって開口が次第に小となされ
るように形成された第２の傾斜面と、 上記クラッドの内壁と第３の角度を有し、上記第２の傾
斜面から出射開口側に向かって開口が次第に小となされ
るように形成された第３の傾斜面とを備えることを特徴
とする請求項２記載の光ファイバプローブ。
【請求項５】 上記第１の傾斜面は、上記第１の角度を
１０［゜］〜４５［゜］の範囲内となるように形成され
ることを特徴とする請求項４記載の光ファイバプロー
ブ。
１０［゜］〜４５［゜］の範囲内となるように形成され
ることを特徴とする請求項４記載の光ファイバプロー
ブ。
【請求項６】 上記第２の傾斜面は、上記第２の角度を
５０［゜］〜９０［゜］の範囲内となるように形成され
ることを特徴とする請求項４記載の光ファイバプロー
ブ。
５０［゜］〜９０［゜］の範囲内となるように形成され
ることを特徴とする請求項４記載の光ファイバプロー
ブ。
【請求項７】 上記第３の傾斜面は、上記第３の角度を
０［゜］〜２０［゜］の範囲内となるように形成される
ことを特徴とする請求項４記載の光ファイバプローブ。
０［゜］〜２０［゜］の範囲内となるように形成される
ことを特徴とする請求項４記載の光ファイバプローブ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えばプローブ走
査型顕微鏡の一つである近接場光学顕微鏡において、エ
バネッセント光を検出または照射する光プローブとして
使用される光ファイバプローブに関する。
査型顕微鏡の一つである近接場光学顕微鏡において、エ
バネッセント光を検出または照射する光プローブとして
使用される光ファイバプローブに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の光ファイバプローブ１００は、図
７に示すように、光ファイバの先端を先鋭化させること
で、先鋭部１０１を形成し、当該先鋭部の先端１０２か
らレーザ光を励起していた。この光ファイバプローブで
は、先鋭部の根本部分１０３から先端１０２に向かって
開口が次第に小さくなるように形成されている。
７に示すように、光ファイバの先端を先鋭化させること
で、先鋭部１０１を形成し、当該先鋭部の先端１０２か
らレーザ光を励起していた。この光ファイバプローブで
は、先鋭部の根本部分１０３から先端１０２に向かって
開口が次第に小さくなるように形成されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上述の光ファ
イバプローブ１００は、例えば開口半径等の最適化を図
るための設計がなされていないのが現状である。また、
この光ファイバプローブ１００では、先鋭部の先端１０
２から出射するレーザ光の効率という点からみても、最
適化を考慮していなかった。
イバプローブ１００は、例えば開口半径等の最適化を図
るための設計がなされていないのが現状である。また、
この光ファイバプローブ１００では、先鋭部の先端１０
２から出射するレーザ光の効率という点からみても、最
適化を考慮していなかった。
【０００４】そこで、本発明は、上述したような実情に
鑑みて提案されたものであり、先鋭部の先端部分の形状
を最適化することにより、レーザ光の効率を向上させる
とともに、高い集光効果を有する光ファイバプローブを
提供することを目的とする。
鑑みて提案されたものであり、先鋭部の先端部分の形状
を最適化することにより、レーザ光の効率を向上させる
とともに、高い集光効果を有する光ファイバプローブを
提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上述の課題を解決する本
発明に係る光ファイバプローブは、屈折率がｎのコアと
上記コアの周囲に形成されたクラッドと上記クラッドの
周囲に形成された遮光性被覆層からなり、上記コア内部
の光を励起して複数の伝搬モードを有する光として上記
コア内部を伝搬させる光伝搬部と、上記光伝搬部側から
上記遮光性被覆層の開口が次第に小となされ、上記光伝
搬部からの光を集光して、複数の光ピークを有する光を
出射開口から出射する先鋭部とを備え、上記先鋭部の出
射開口の直径をＤ［ｎｍ］とし、αを１．０〜２．２の
範囲内の値を有する定数とし、λ［ｎｍ］を上記出射開
口から出射する光の波長としたとき、 Ｄ＝αλ／ｎ を満たすことを特徴とするものである。
発明に係る光ファイバプローブは、屈折率がｎのコアと
上記コアの周囲に形成されたクラッドと上記クラッドの
周囲に形成された遮光性被覆層からなり、上記コア内部
の光を励起して複数の伝搬モードを有する光として上記
コア内部を伝搬させる光伝搬部と、上記光伝搬部側から
上記遮光性被覆層の開口が次第に小となされ、上記光伝
搬部からの光を集光して、複数の光ピークを有する光を
出射開口から出射する先鋭部とを備え、上記先鋭部の出
射開口の直径をＤ［ｎｍ］とし、αを１．０〜２．２の
範囲内の値を有する定数とし、λ［ｎｍ］を上記出射開
口から出射する光の波長としたとき、 Ｄ＝αλ／ｎ を満たすことを特徴とするものである。
【０００６】また、本発明に係る他の光ファイバプロー
ブは、屈折率がｎのコアと上記コアの周囲に形成された
クラッドと上記クラッドの周囲に形成された遮光性被覆
層からなり、上記コア内部の光を励起して複数の伝搬モ
ードを有する光として上記コア内部を伝搬させる光伝搬
部と、上記クラッドの内壁から出射開口に向かって開口
が次第に小となされるように形成された２以上の傾斜面
を備え、上記光伝搬部からの光を集光して出射開口から
出射する先鋭部とを備え、上記先鋭部の出射開口の直径
をＤ［ｎｍ］とし、αを１．０〜２．２の範囲内の値を
有する定数とし、λ［ｎｍ］を上記出射開口から出射す
る光の波長としたとき、 Ｄ＝αλ／ｎ を満たすとともに、先鋭部の出射開口を、上記先鋭部の
内部における集光位置に設けられた微小開口とすること
を特徴とするものである。
ブは、屈折率がｎのコアと上記コアの周囲に形成された
クラッドと上記クラッドの周囲に形成された遮光性被覆
層からなり、上記コア内部の光を励起して複数の伝搬モ
ードを有する光として上記コア内部を伝搬させる光伝搬
部と、上記クラッドの内壁から出射開口に向かって開口
が次第に小となされるように形成された２以上の傾斜面
を備え、上記光伝搬部からの光を集光して出射開口から
出射する先鋭部とを備え、上記先鋭部の出射開口の直径
をＤ［ｎｍ］とし、αを１．０〜２．２の範囲内の値を
有する定数とし、λ［ｎｍ］を上記出射開口から出射す
る光の波長としたとき、 Ｄ＝αλ／ｎ を満たすとともに、先鋭部の出射開口を、上記先鋭部の
内部における集光位置に設けられた微小開口とすること
を特徴とするものである。
【０００７】このような光ファイバプローブは、上記式
を満たすような直径を有する出射開口を形成することに
より、光を集光して出射開口から光を出射する。
を満たすような直径を有する出射開口を形成することに
より、光を集光して出射開口から光を出射する。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照しながら詳細に説明する。
て図面を参照しながら詳細に説明する。
【０００９】第１の実施の形態に係る光ファイバプロー
ブ１は、図１に示すように、コア２と、このコア２の周
囲に形成されたクラッド３と、クラッド３の周囲に形成
された遮光性被覆層４とからなる。
ブ１は、図１に示すように、コア２と、このコア２の周
囲に形成されたクラッド３と、クラッド３の周囲に形成
された遮光性被覆層４とからなる。
【００１０】コア２は、所定の屈折率ｎを有し、クラッ
ド３は、コアの屈折率ｎよりも小さい屈折率を有してい
る。このようにコア２及びクラッド３が形成されること
で、光ファイバプローブ１に入射されたレーザ光は、コ
ア２とクラッド３との境界で全反射しながら進行するこ
とになる。
ド３は、コアの屈折率ｎよりも小さい屈折率を有してい
る。このようにコア２及びクラッド３が形成されること
で、光ファイバプローブ１に入射されたレーザ光は、コ
ア２とクラッド３との境界で全反射しながら進行するこ
とになる。
【００１１】この光ファイバプローブ１は、上記コア
２，クラッド３，遮光性被覆層４からなる光伝搬部５
と、遮光性被覆層４の直径が光伝搬部５から先端に向か
って次第に小となされている先鋭部６とからなる。
２，クラッド３，遮光性被覆層４からなる光伝搬部５
と、遮光性被覆層４の直径が光伝搬部５から先端に向か
って次第に小となされている先鋭部６とからなる。
【００１２】光伝搬部５は、所定の屈折率ｎを有するコ
ア２と、このコア２よりも低い屈折率を有するクラッド
３とからなる。光伝搬部５は、このように構成されるこ
とで、コア４内にレーザ光を伝搬させ、このレーザ光を
先鋭部３に導く。
ア２と、このコア２よりも低い屈折率を有するクラッド
３とからなる。光伝搬部５は、このように構成されるこ
とで、コア４内にレーザ光を伝搬させ、このレーザ光を
先鋭部３に導く。
【００１３】先鋭部６は、遮光性被覆層４と、遮光性被
覆層４の内周側に形成されたコア２とからなり、光を出
射する出射開口７の開口を狭くするように先鋭化されて
なる。この先鋭部６は、遮光性被覆層４の内壁を、光伝
搬部５のクラッド３の内壁とのなす第１の角度θ1を以
て形成することで、第１の傾斜面８を形成している。こ
のように遮光性被覆層４を形成することにより、先鋭部
６は、コア２の直径を光伝搬部５から出射開口７に向か
うに従って次第に小としている。
覆層４の内周側に形成されたコア２とからなり、光を出
射する出射開口７の開口を狭くするように先鋭化されて
なる。この先鋭部６は、遮光性被覆層４の内壁を、光伝
搬部５のクラッド３の内壁とのなす第１の角度θ1を以
て形成することで、第１の傾斜面８を形成している。こ
のように遮光性被覆層４を形成することにより、先鋭部
６は、コア２の直径を光伝搬部５から出射開口７に向か
うに従って次第に小としている。
【００１４】ここで、第１の角度θ1は、４５［゜］以
下であれば良く、４５［゜］〜１０［゜］の範囲内とな
るように第１の傾斜面８を形成することがさらに望まし
い。
下であれば良く、４５［゜］〜１０［゜］の範囲内とな
るように第１の傾斜面８を形成することがさらに望まし
い。
【００１５】また、この光ファイバプローブ１では、α
を１．０〜２．２の範囲内の値を有する定数とし、λ
［ｎｍ］を出射する光の波長としたとき、 Ｄ＝αλ／ｎ （式１） を満たすように出射開口７の直径Ｄ［ｎｍ］が形成され
ている。
を１．０〜２．２の範囲内の値を有する定数とし、λ
［ｎｍ］を出射する光の波長としたとき、 Ｄ＝αλ／ｎ （式１） を満たすように出射開口７の直径Ｄ［ｎｍ］が形成され
ている。
【００１６】このように、上記式１を満たすような出射
開口７が形成された光ファイバプローブ１は、光伝搬部
５から伝搬されたレーザ光を、先鋭部６の内壁である第
１の傾斜面８で反射させることで集光し、出射開口７か
ら外部に出射する。
開口７が形成された光ファイバプローブ１は、光伝搬部
５から伝搬されたレーザ光を、先鋭部６の内壁である第
１の傾斜面８で反射させることで集光し、出射開口７か
ら外部に出射する。
【００１７】このような光ファイバプローブ１におい
て、出射開口７の直径Ｄが変化されたとき、出射開口７
の中心位置から出射されるレーザ光の光強度を図２に示
す。この光ファイバプローブ１においては、光伝搬部５
に入射されるレーザ光の波長λを約８３０［ｎｍ］と
し、第１の角度θ1を約１０［゜］とし、コア２の屈折
率を１．５３としたとき、出射開口７の直径Ｄが約６０
０［ｎｍ］〜１２００［ｎｍ］の範囲内において光強度
が高くなっていることがわかる。このとき、定数αは、
上記式１から算出すると、約１．０〜２．２となる。
て、出射開口７の直径Ｄが変化されたとき、出射開口７
の中心位置から出射されるレーザ光の光強度を図２に示
す。この光ファイバプローブ１においては、光伝搬部５
に入射されるレーザ光の波長λを約８３０［ｎｍ］と
し、第１の角度θ1を約１０［゜］とし、コア２の屈折
率を１．５３としたとき、出射開口７の直径Ｄが約６０
０［ｎｍ］〜１２００［ｎｍ］の範囲内において光強度
が高くなっていることがわかる。このとき、定数αは、
上記式１から算出すると、約１．０〜２．２となる。
【００１８】したがって、この光ファイバプローブ１で
は、定数αを１．０〜２．２の範囲内とするように出射
開口７の直径Ｄを形成することにより、より光強度を高
くすることができる。さらに、光ファイバプローブ１
は、定数αを約１．５程度とすることにより、出射開口
７からの光強度を最も高くすることができる。
は、定数αを１．０〜２．２の範囲内とするように出射
開口７の直径Ｄを形成することにより、より光強度を高
くすることができる。さらに、光ファイバプローブ１
は、定数αを約１．５程度とすることにより、出射開口
７からの光強度を最も高くすることができる。
【００１９】つぎに、光ファイバプローブ１において出
射開口７からレーザ光を出射したときの近接場における
光強度分布を測定した結果を図３に示す。この図３は、
出射開口７の直径Ｄを１２００，１０００，７５０，５
５０［ｎｍ］としたときの光強度と、焦点位置からの距
離との関係を示す図である。
射開口７からレーザ光を出射したときの近接場における
光強度分布を測定した結果を図３に示す。この図３は、
出射開口７の直径Ｄを１２００，１０００，７５０，５
５０［ｎｍ］としたときの光強度と、焦点位置からの距
離との関係を示す図である。
【００２０】この図３によれば、曲線ａで示した出射開
口７の直径Ｄが１２００［ｎｍ］のときでは、焦点位置
とは異なる２つの位置にレーザ光が集光されていること
がわかり、したがってコア２の内部では、コア２内部で
励起されることで複数の伝搬モードのレーザ光が存在
し、出射開口７から複数の伝搬モードのレーザ光が出射
されていることが分かる。
口７の直径Ｄが１２００［ｎｍ］のときでは、焦点位置
とは異なる２つの位置にレーザ光が集光されていること
がわかり、したがってコア２の内部では、コア２内部で
励起されることで複数の伝搬モードのレーザ光が存在
し、出射開口７から複数の伝搬モードのレーザ光が出射
されていることが分かる。
【００２１】また、曲線ｃで示した出射開口７の直径Ｄ
［ｎｍ］を７５０［ｎｍ］としたときでは、焦点位置に
高いピークがあり、かつ、非常に小さい幅でスポットが
形成されていることがわかる。
［ｎｍ］を７５０［ｎｍ］としたときでは、焦点位置に
高いピークがあり、かつ、非常に小さい幅でスポットが
形成されていることがわかる。
【００２２】出射開口７の直径を１０００［ｎｍ］とし
たときの曲線ｂでは、焦点位置及び焦点位置の両側に光
強度の弱いピークが発生していることが分かり、したが
ってコア２の内部では複数の伝搬モードのレーザ光が存
在し、出射開口７から複数の伝搬モードのレーザ光が出
射されていることが分かる。
たときの曲線ｂでは、焦点位置及び焦点位置の両側に光
強度の弱いピークが発生していることが分かり、したが
ってコア２の内部では複数の伝搬モードのレーザ光が存
在し、出射開口７から複数の伝搬モードのレーザ光が出
射されていることが分かる。
【００２３】更に、曲線ｄで示した出射開口７の直径Ｄ
を５５０［ｎｍ］としたときでは、曲線ｂ及び曲線ｃで
示したピークよりも低いピークが存在していることがわ
かる。
を５５０［ｎｍ］としたときでは、曲線ｂ及び曲線ｃで
示したピークよりも低いピークが存在していることがわ
かる。
【００２４】このように、出射開口７の直径Ｄを１２０
０ｎｍとしたときには２つのスポットが形成され、出射
開口７の直径Ｄを７５０ｎｍとしたときには１つのスポ
ットが形成され、出射開口７の直径Ｄを１０００ｎｍと
したときには３つのスポットが形成されているので、コ
ア２の内部では複数の伝搬モードが発生し、出射開口７
の直径を変化させることで複数の伝搬モードのレーザ光
を出射させる。
０ｎｍとしたときには２つのスポットが形成され、出射
開口７の直径Ｄを７５０ｎｍとしたときには１つのスポ
ットが形成され、出射開口７の直径Ｄを１０００ｎｍと
したときには３つのスポットが形成されているので、コ
ア２の内部では複数の伝搬モードが発生し、出射開口７
の直径を変化させることで複数の伝搬モードのレーザ光
を出射させる。
【００２５】このような結果より、出射開口７の直径Ｄ
を１０００［ｎｍ］，７５０［ｎｍ］としたとき、波長
８３０［ｎｍ］での回折限界を超えて集光位置にレーザ
光が集光されていることがわかる。すなわち、上述の式
１における定数αを約１．３〜２．０とし、出射開口７
の直径Ｄを７００［ｎｍ］〜１１００［ｎｍ］程度とす
ることにより、回折限界を超えて集光位置に複数の伝搬
モードを有するレーザ光を集光することができる。
を１０００［ｎｍ］，７５０［ｎｍ］としたとき、波長
８３０［ｎｍ］での回折限界を超えて集光位置にレーザ
光が集光されていることがわかる。すなわち、上述の式
１における定数αを約１．３〜２．０とし、出射開口７
の直径Ｄを７００［ｎｍ］〜１１００［ｎｍ］程度とす
ることにより、回折限界を超えて集光位置に複数の伝搬
モードを有するレーザ光を集光することができる。
【００２６】したがって、このような光ファイバプロー
ブ１によれば、上述の式１中のαを１．３〜２．０とし
て出射開口７の直径Ｄを変化させることにより、光強度
を高くし、かつ、回折限界を超えたスポットを複数の伝
搬モードを有するレーザ光により形成することができ
る。したがって、この光ファイバプローブ１によれば、
出射開口７の直径Ｄを変化させるとともに、第１の角度
θ1を変化させることで、集光効率及び被照射物に形成
するスポット径の最適化を図ることができる。
ブ１によれば、上述の式１中のαを１．３〜２．０とし
て出射開口７の直径Ｄを変化させることにより、光強度
を高くし、かつ、回折限界を超えたスポットを複数の伝
搬モードを有するレーザ光により形成することができ
る。したがって、この光ファイバプローブ１によれば、
出射開口７の直径Ｄを変化させるとともに、第１の角度
θ1を変化させることで、集光効率及び被照射物に形成
するスポット径の最適化を図ることができる。
【００２７】つぎに、第２の実施の形態に係る光ファイ
バプローブ１０について説明する。この光ファイバプロ
ーブ１０は、図４及び図５に示すように、第１の実施の
形態に係る光ファイバプローブ１と同様に、コア１１
と、このコア１１の周囲に形成されたクラッド１２と、
クラッド１２の周囲に形成された遮光性被覆層１３とか
らなる。また、この光ファイバプローブ１０は、レーザ
光を伝搬する光伝搬部１４と、この光伝搬部１４からの
レーザ光を集光して出射する先鋭部１５とからなる。な
お、図４は光ファイバプローブ１０の縦断面図であり、
図５は光ファイバプローブ１０の横断面図である。
バプローブ１０について説明する。この光ファイバプロ
ーブ１０は、図４及び図５に示すように、第１の実施の
形態に係る光ファイバプローブ１と同様に、コア１１
と、このコア１１の周囲に形成されたクラッド１２と、
クラッド１２の周囲に形成された遮光性被覆層１３とか
らなる。また、この光ファイバプローブ１０は、レーザ
光を伝搬する光伝搬部１４と、この光伝搬部１４からの
レーザ光を集光して出射する先鋭部１５とからなる。な
お、図４は光ファイバプローブ１０の縦断面図であり、
図５は光ファイバプローブ１０の横断面図である。
【００２８】光伝搬部１４は、第１の実施の形態の光フ
ァイバプローブ１における光伝搬部５と同様の構成を有
する。
ァイバプローブ１における光伝搬部５と同様の構成を有
する。
【００２９】先鋭部１５は、遮光性被覆層１３と、遮光
性被覆層１３の内周側に形成されたコア１１とからな
り、レーザ光を出射する微小開口１６が先端に形成され
ている。この先鋭部１５は、第１の傾斜面１７と、第２
の傾斜面１８と、第３の傾斜面１９とが遮光性被覆層１
３の内壁により形成されてなり、光伝搬部１４から先端
に向かって開口が次第に小さくなるように形成されてい
る。
性被覆層１３の内周側に形成されたコア１１とからな
り、レーザ光を出射する微小開口１６が先端に形成され
ている。この先鋭部１５は、第１の傾斜面１７と、第２
の傾斜面１８と、第３の傾斜面１９とが遮光性被覆層１
３の内壁により形成されてなり、光伝搬部１４から先端
に向かって開口が次第に小さくなるように形成されてい
る。
【００３０】第１の傾斜面１７は、クラッド１２の内壁
から先端側に向かって形成され、クラッド１２の内壁と
第１の角度θ11を以て形成される。第２の傾斜面１８
は、第１の傾斜面１７から先端側に向かって形成され、
遮光性被覆層１３の内壁と第２の角度θ12を以て形成さ
れる。第３の傾斜面１９は、第２の傾斜面１８から先端
側に向かって形成され、第３の角度θ13で略Ｖ字状に形
成される。
から先端側に向かって形成され、クラッド１２の内壁と
第１の角度θ11を以て形成される。第２の傾斜面１８
は、第１の傾斜面１７から先端側に向かって形成され、
遮光性被覆層１３の内壁と第２の角度θ12を以て形成さ
れる。第３の傾斜面１９は、第２の傾斜面１８から先端
側に向かって形成され、第３の角度θ13で略Ｖ字状に形
成される。
【００３１】第１の角度θ11は１０［゜］〜４５［゜］
の範囲内となるように形成され、第２の角度θ12は５０
［゜］〜９０［゜］の範囲内となるように形成され、第
３の角度θ13は０［゜］〜３０［゜］の範囲内となるよ
うに形成される。このように光ファイバプローブ１０
は、第１の傾斜面１７、第２の傾斜面１８、第３の傾斜
面１９が形成されることで、先端に形成された微小開口
１６の直径が約１００［ｎｍ］以下となるように形成さ
れている。
の範囲内となるように形成され、第２の角度θ12は５０
［゜］〜９０［゜］の範囲内となるように形成され、第
３の角度θ13は０［゜］〜３０［゜］の範囲内となるよ
うに形成される。このように光ファイバプローブ１０
は、第１の傾斜面１７、第２の傾斜面１８、第３の傾斜
面１９が形成されることで、先端に形成された微小開口
１６の直径が約１００［ｎｍ］以下となるように形成さ
れている。
【００３２】この先鋭部１５は、図５に示すように、第
１の傾斜面１７と第２の傾斜面１８との境界線Ａにおけ
る直径Ｄを、第１の実施の形態の光ファイバプローブ１
と同様に、上述の式１で示す関係を満たすように形成さ
れている。
１の傾斜面１７と第２の傾斜面１８との境界線Ａにおけ
る直径Ｄを、第１の実施の形態の光ファイバプローブ１
と同様に、上述の式１で示す関係を満たすように形成さ
れている。
【００３３】また、この先鋭部１５は、クラッド１２と
第１の傾斜面１７の境界線Ｂと、境界線Ａとの高さ方向
における差Ｈ1が０．８μｍ〜１．２μｍの範囲内に形
成されている。また、境界線Ａと、第２の傾斜面１８と
第３の傾斜面１９との境界線Ｃとの高さ方向における差
Ｈ2が１５０［ｎｍ］〜２５０［ｎｍ］の範囲内に形成
されている。また、境界線Ｃと微小開口１６との高さ方
向の差Ｈ3が３００［ｎｍ］〜４００［ｎｍ］の範囲内
に形成されている。
第１の傾斜面１７の境界線Ｂと、境界線Ａとの高さ方向
における差Ｈ1が０．８μｍ〜１．２μｍの範囲内に形
成されている。また、境界線Ａと、第２の傾斜面１８と
第３の傾斜面１９との境界線Ｃとの高さ方向における差
Ｈ2が１５０［ｎｍ］〜２５０［ｎｍ］の範囲内に形成
されている。また、境界線Ｃと微小開口１６との高さ方
向の差Ｈ3が３００［ｎｍ］〜４００［ｎｍ］の範囲内
に形成されている。
【００３４】このような光ファイバプローブ１０は、光
伝搬部１４からレーザ光Ｌ１が入射されると、例えばコ
ア１１内から第２の傾斜面１８で反射して、微小開口１
６に向かってレーザ光を集光する。すなわち、この光フ
ァイバプローブ１０は、光伝搬部１４から先鋭部１５に
入射されたレーザ光を微小開口１６に導くような構成と
なされている。
伝搬部１４からレーザ光Ｌ１が入射されると、例えばコ
ア１１内から第２の傾斜面１８で反射して、微小開口１
６に向かってレーザ光を集光する。すなわち、この光フ
ァイバプローブ１０は、光伝搬部１４から先鋭部１５に
入射されたレーザ光を微小開口１６に導くような構成と
なされている。
【００３５】また、この光ファイバプローブ１０は、式
１の定数αを１．０〜３．５の範囲内となるように境界
線Ａにおける直径Ｄが形成されているので、高い効率で
微小開口１６からレーザ光を出射することができるとと
もに、所望の集光位置に回折限界を超えてレーザ光を集
光することができる。また、この光ファイバプローブ１
０では、式１におけるαを３．０程度とすることがさら
に望ましい。この光ファイバプローブ１０は、第１の実
施の形態に係る光ファイバプローブ１とは異なり、微小
開口１６からレーザ光を出射するので、微小開口１６の
直径を変化させることで、微小開口１６から出射するレ
ーザ光を制限して、被照射物に形成するスポット径を変
化させることができる。
１の定数αを１．０〜３．５の範囲内となるように境界
線Ａにおける直径Ｄが形成されているので、高い効率で
微小開口１６からレーザ光を出射することができるとと
もに、所望の集光位置に回折限界を超えてレーザ光を集
光することができる。また、この光ファイバプローブ１
０では、式１におけるαを３．０程度とすることがさら
に望ましい。この光ファイバプローブ１０は、第１の実
施の形態に係る光ファイバプローブ１とは異なり、微小
開口１６からレーザ光を出射するので、微小開口１６の
直径を変化させることで、微小開口１６から出射するレ
ーザ光を制限して、被照射物に形成するスポット径を変
化させることができる。
【００３６】つぎに、第１〜第３の傾斜面が形成された
光ファイバプローブ１０について、微小開口１６の直径
［ｎｍ］を変化させたときの出射効率を測定した結果を
図６に示す。この図６は、第１の実施の形態に係る光フ
ァイバプローブ１について出射開口の直径Ｄを変化させ
たときの特性を白丸で示し、第２の実施の形態に係る光
ファイバプローブ１０の特性を黒丸で示す。
光ファイバプローブ１０について、微小開口１６の直径
［ｎｍ］を変化させたときの出射効率を測定した結果を
図６に示す。この図６は、第１の実施の形態に係る光フ
ァイバプローブ１について出射開口の直径Ｄを変化させ
たときの特性を白丸で示し、第２の実施の形態に係る光
ファイバプローブ１０の特性を黒丸で示す。
【００３７】この図６によれば、第１の実施の形態に係
る光ファイバプローブ１は、出射開口７の直径Ｄが約３
００［ｎｍ］以上のときには高い出射効率を示し、直径
Ｄが約３００［ｎｍ］以下となると、出射効率が急激に
低下していることがわかる。
る光ファイバプローブ１は、出射開口７の直径Ｄが約３
００［ｎｍ］以上のときには高い出射効率を示し、直径
Ｄが約３００［ｎｍ］以下となると、出射効率が急激に
低下していることがわかる。
【００３８】一方、第２の実施の形態に係る光ファイバ
プローブ１０は、微小開口１６の直径が約１００［ｎ
ｍ］以下となっても出射効率が急激に低下しておらず、
直径が約５０［ｎｍ］程度の微小開口１６となっても、
高い出射効率でレーザ光を出射させることができ、か
つ、被照射物に微小径のスポットを形成することができ
る。
プローブ１０は、微小開口１６の直径が約１００［ｎ
ｍ］以下となっても出射効率が急激に低下しておらず、
直径が約５０［ｎｍ］程度の微小開口１６となっても、
高い出射効率でレーザ光を出射させることができ、か
つ、被照射物に微小径のスポットを形成することができ
る。
【００３９】したがって、この第２の実施の形態に係る
光ファイバプローブ１０は、第１〜第３の角度θ11，θ
12，θ13、境界線Ａにおける直径Ｄ、微小開口１６の直
径を変化させることにより、出射効率及び被照射物に形
成するスポット径の最適化を図ることができる。
光ファイバプローブ１０は、第１〜第３の角度θ11，θ
12，θ13、境界線Ａにおける直径Ｄ、微小開口１６の直
径を変化させることにより、出射効率及び被照射物に形
成するスポット径の最適化を図ることができる。
【００４０】また、この第２の実施の形態に係る光ファ
イバプローブ１０は、上述のように、第１〜第３の角度
θ11，θ12，θ13、境界線Ａにおける直径Ｄを最適化
し、高さＨ1〜Ｈ3を変化させ、微小開口１６の直径を１
００［ｎｍ］以下とすることにより、従来の開口型プロ
ーブよりも、約１０００倍程度の効率でレーザ光を出射
させることができる。
イバプローブ１０は、上述のように、第１〜第３の角度
θ11，θ12，θ13、境界線Ａにおける直径Ｄを最適化
し、高さＨ1〜Ｈ3を変化させ、微小開口１６の直径を１
００［ｎｍ］以下とすることにより、従来の開口型プロ
ーブよりも、約１０００倍程度の効率でレーザ光を出射
させることができる。
【００４１】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明に係
る光ファイバプローブは、屈折率がｎのコアと上記コア
の周囲に形成されたクラッドと上記クラッドの周囲に形
成された遮光性被覆層からなり、上記コア内部の光を励
起して複数の伝搬モードを有する光として上記コア内部
を伝搬させる光伝搬部と、上記光伝搬部側から上記遮光
性被覆層の開口が次第に小となされ、上記光伝搬部から
の光を集光して、複数の光ピークを有する光を出射開口
から出射する先鋭部とを備え、上記先鋭部の出射開口の
直径をＤ［ｎｍ］とし、αを１．０〜２．２の範囲内の
値を有する定数とし、λ［ｎｍ］を上記出射開口から出
射する光の波長としたとき、 Ｄ＝αλ／ｎ を満たすので、出射開口から出射する複数の光ピークを
有する光の効率を調整することができるとともに、光伝
搬部からの複数の光ピークを有する光を集光して出射開
口から出射することができる。
る光ファイバプローブは、屈折率がｎのコアと上記コア
の周囲に形成されたクラッドと上記クラッドの周囲に形
成された遮光性被覆層からなり、上記コア内部の光を励
起して複数の伝搬モードを有する光として上記コア内部
を伝搬させる光伝搬部と、上記光伝搬部側から上記遮光
性被覆層の開口が次第に小となされ、上記光伝搬部から
の光を集光して、複数の光ピークを有する光を出射開口
から出射する先鋭部とを備え、上記先鋭部の出射開口の
直径をＤ［ｎｍ］とし、αを１．０〜２．２の範囲内の
値を有する定数とし、λ［ｎｍ］を上記出射開口から出
射する光の波長としたとき、 Ｄ＝αλ／ｎ を満たすので、出射開口から出射する複数の光ピークを
有する光の効率を調整することができるとともに、光伝
搬部からの複数の光ピークを有する光を集光して出射開
口から出射することができる。
【００４２】また、本発明に係る他の光ファイバプロー
ブは、屈折率がｎのコアと上記コアの周囲に形成された
クラッドと上記クラッドの周囲に形成された遮光性被覆
層からなり、上記コア内部の光を励起して複数の伝搬モ
ードを有する光として上記コア内部を伝搬させる光伝搬
部と、上記クラッドの内壁から出射開口に向かって開口
が次第に小となされるように形成された２以上の傾斜面
を備え、上記光伝搬部からの光を集光して出射開口から
出射する先鋭部とを備え、上記先鋭部の出射開口の直径
をＤ［ｎｍ］とし、αを１．０〜２．２の範囲内の値を
有する定数とし、λ［ｎｍ］を上記出射開口から出射す
る光の波長としたとき、 Ｄ＝αλ／ｎ を満たすとともに、先鋭部の出射開口を、上記先鋭部の
内部における集光位置に設けられた微小開口とするの
で、出射開口から出射する複数の光ピークを有する光の
効率を調整することができるとともに、光伝搬部からの
複数の光ピークを有する光を集光して出射開口から出射
することができる。
ブは、屈折率がｎのコアと上記コアの周囲に形成された
クラッドと上記クラッドの周囲に形成された遮光性被覆
層からなり、上記コア内部の光を励起して複数の伝搬モ
ードを有する光として上記コア内部を伝搬させる光伝搬
部と、上記クラッドの内壁から出射開口に向かって開口
が次第に小となされるように形成された２以上の傾斜面
を備え、上記光伝搬部からの光を集光して出射開口から
出射する先鋭部とを備え、上記先鋭部の出射開口の直径
をＤ［ｎｍ］とし、αを１．０〜２．２の範囲内の値を
有する定数とし、λ［ｎｍ］を上記出射開口から出射す
る光の波長としたとき、 Ｄ＝αλ／ｎ を満たすとともに、先鋭部の出射開口を、上記先鋭部の
内部における集光位置に設けられた微小開口とするの
で、出射開口から出射する複数の光ピークを有する光の
効率を調整することができるとともに、光伝搬部からの
複数の光ピークを有する光を集光して出射開口から出射
することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の実施の形態に係る光ファイバプローブを
示す断面図である。
示す断面図である。
【図２】第１の実施の形態に係る光ファイバプローブに
おいて、出射開口の直径Ｄの大きさと、光強度との関係
を示す図である。
おいて、出射開口の直径Ｄの大きさと、光強度との関係
を示す図である。
【図３】第１の実施の形態に係る光ファイバプローブに
おいて、焦点位置からの距離と、焦点位置における光強
度との関係を示す図である。
おいて、焦点位置からの距離と、焦点位置における光強
度との関係を示す図である。
【図４】第２の実施の形態に係る光ファイバプローブを
示す縦断面図である。
示す縦断面図である。
【図５】第２の実施の形態に係る光ファイバプローブを
示す横断面図である。
示す横断面図である。
【図６】第１の実施の形態に係る光ファイバプローブの
直径Ｄ、第２の実施の形態に係る光ファイバプローブの
微小開口の直径を変化させたときの出射効率を示す図で
ある。
直径Ｄ、第２の実施の形態に係る光ファイバプローブの
微小開口の直径を変化させたときの出射効率を示す図で
ある。
【図７】従来の光ファイバプローブを示す断面図であ
る。
る。
【符号の説明】 １，１０ 光ファイバプローブ、２，１１ コア、３，
１２ クラッド、４，１３ 遮光性被覆層、５，１４
光伝搬部、６，１５ 先鋭部、７ 出射開口、８第１の
傾斜面、１６ 微小開口、１７ 第１の傾斜面、１８
第２の傾斜面、１９ 第３の傾斜面
１２ クラッド、４，１３ 遮光性被覆層、５，１４
光伝搬部、６，１５ 先鋭部、７ 出射開口、８第１の
傾斜面、１６ 微小開口、１７ 第１の傾斜面、１８
第２の傾斜面、１９ 第３の傾斜面
Claims (9)
- 【請求項１】 屈折率がｎのコアと上記コアの周囲に形
成されたクラッドと上記クラッドの周囲に形成された遮
光性被覆層からなる光伝搬部と、上記光伝搬部側から上
記遮光性被覆層の開口が次第に小となされ、上記光伝搬
部からの光を集光して出射開口から出射する先鋭部とを
備え、上記先鋭部の出射開口の直径をＤ［ｎｍ］とし、
αを任意に選択される定数とし、λ［ｎｍ］を上記出射
開口から出射する光の波長としたとき、Ｄ＝αλ／ｎ
（式１）を満たすように形成されていることを特徴とす
る光ファイバプローブ。 - 【請求項２】 上記αは、１．０〜２．２の範囲内の値
を有する定数であることを特徴とする請求項１記載の光
ファイバプローブ。 - 【請求項３】 上記先鋭部は、上記クラッドの内壁から
出射開口に向かって開口が次第に小となされるように形
成された２以上の傾斜面を備えることを特徴とする請求
項１記載の光ファイバプローブ。 - 【請求項４】 上記先鋭部の出射開口を、上記先鋭部の
内部における集光位置に設けられた微小開口とすること
を特徴とする請求項３記載の光ファイバプローブ。 - 【請求項５】 上記上記クラッドの内壁から出射開口側
に向かって開口が次第に小となされるように形成された
第１の傾斜面と、上記第１の傾斜面から出射開口側に向
かって開口が次第に小となされるように形成された第２
の傾斜面とを少なくとも有し、上記第１の傾斜面と第２
の傾斜面との接続位置における直径をＤ［ｎｍ］とし、
上記αを１〜３．５の範囲内を有する定数としたとき、
上記式１を満たすように形成されていることを特徴とす
る請求項４記載の光ファイバプローブ。 - 【請求項６】 上記先鋭部は、上記クラッドの内壁と第
１の角度を有し、上記光伝搬部から出射開口側に向かっ
て開口が次第に小となされるように形成された第１の傾
斜面と、上記クラッドの内壁と第２の角度を有し、上記
第１の傾斜面から出射開口側に向かって開口が次第に小
となされるように形成された第２の傾斜面と、上記クラ
ッドの内壁と第３の角度を有し、上記第２の傾斜面から
出射開口側に向かって開口が次第に小となされるように
形成された第３の傾斜面とを備えることを特徴とする請
求項４記載の光ファイバプローブ。 - 【請求項７】 上記第１の傾斜面は、上記第１の角度を
１０［゜］〜４５［゜］の範囲内となるように形成され
ることを特徴とする請求項６記載の光ファイバプロー
ブ。 - 【請求項８】 上記第２の傾斜面は、上記第２の角度を
５０［゜］〜９０［゜］の範囲内となるように形成され
ることを特徴とする請求項６記載の光ファイバプロー
ブ。 - 【請求項９】 上記第３の傾斜面は、上記第３の角度を
０［゜］〜２０［゜］の範囲内となるように形成される
ことを特徴とする請求項６記載の光ファイバプローブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10075735A JP3053380B2 (ja) | 1998-03-24 | 1998-03-24 | 光ファイバプローブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10075735A JP3053380B2 (ja) | 1998-03-24 | 1998-03-24 | 光ファイバプローブ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11271339A true JPH11271339A (ja) | 1999-10-08 |
| JP3053380B2 JP3053380B2 (ja) | 2000-06-19 |
Family
ID=13584842
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10075735A Expired - Fee Related JP3053380B2 (ja) | 1998-03-24 | 1998-03-24 | 光ファイバプローブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3053380B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6680900B1 (en) | 1999-06-04 | 2004-01-20 | Ricoh Company, Ltd. | Optical-pickup slider, manufacturing method thereof, probe and manufacturing method thereof, and probe array and manufacturing method thereof |
| EP1617439A1 (en) | 2004-07-12 | 2006-01-18 | Ricoh Company, Ltd. | Optical fiber probe, light detection device, and light detection method |
| US7586084B2 (en) | 2005-02-04 | 2009-09-08 | Ricoh Company, Ltd. | Optical fiber probe, optical detection device, and optical detection method |
| US11587362B2 (en) | 2020-12-16 | 2023-02-21 | Lenovo (Singapore) Pte. Ltd. | Techniques for determining sign language gesture partially shown in image(s) |
-
1998
- 1998-03-24 JP JP10075735A patent/JP3053380B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6680900B1 (en) | 1999-06-04 | 2004-01-20 | Ricoh Company, Ltd. | Optical-pickup slider, manufacturing method thereof, probe and manufacturing method thereof, and probe array and manufacturing method thereof |
| US6993826B2 (en) | 1999-06-04 | 2006-02-07 | Ricoh Company, Ltd. | Method of manufacturing a probe array |
| US7489616B2 (en) | 1999-06-04 | 2009-02-10 | Ricoh Company, Ltd. | Optical-pickup slide, manufacturing method thereof, probe and manufacturing method thereof, and probe array and manufacturing method thereof |
| EP1617439A1 (en) | 2004-07-12 | 2006-01-18 | Ricoh Company, Ltd. | Optical fiber probe, light detection device, and light detection method |
| JP2006029831A (ja) * | 2004-07-12 | 2006-02-02 | Ricoh Co Ltd | 光ファイバプローブ、光検出装置、及び光検出方法 |
| JP4553240B2 (ja) * | 2004-07-12 | 2010-09-29 | 株式会社リコー | 光検出装置、及び光検出方法 |
| US7586084B2 (en) | 2005-02-04 | 2009-09-08 | Ricoh Company, Ltd. | Optical fiber probe, optical detection device, and optical detection method |
| US11587362B2 (en) | 2020-12-16 | 2023-02-21 | Lenovo (Singapore) Pte. Ltd. | Techniques for determining sign language gesture partially shown in image(s) |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3053380B2 (ja) | 2000-06-19 |
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