JPH1123608A - 静電容量型センサ回路 - Google Patents
静電容量型センサ回路Info
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- JPH1123608A JPH1123608A JP9179549A JP17954997A JPH1123608A JP H1123608 A JPH1123608 A JP H1123608A JP 9179549 A JP9179549 A JP 9179549A JP 17954997 A JP17954997 A JP 17954997A JP H1123608 A JPH1123608 A JP H1123608A
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- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P2015/0805—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration
- G01P2015/0822—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass
- G01P2015/0825—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass for one single degree of freedom of movement of the mass
- G01P2015/0828—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass for one single degree of freedom of movement of the mass the mass being of the paddle type being suspended at one of its longitudinal ends
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- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
較正する。 【解決手段】 スイッチS1、S4をオンし他のスイッチ
をオフして、入力電圧Vin及び調整電圧Vmをそれぞ
れ、センサ素子Cs、調整コンデンサCmに供給する。オ
ペアンプ2のの入出力端間には帰還コンデンサCfが接
続されており、該オペアンプの出力からの出力電圧は、
Vout=−(Cs/Cf)(Vin−Vf)−(Cm/Cf)
(Vm−Vf)+Vfで表される。従って、調整電圧Vmを
調整することにより、センサ素子の容量値Csにバラツ
キがあっても、所定の入力電圧Vinの供給時に、一定の
出力電圧Voutを得ることができる。
Description
変化を電圧変化として出力するための静電容量型センサ
回路に関し、特に、センサ自体の製造上のバラツキを容
易に補正することができる静電容量型センサ回路に関す
る。
に強いことから加速度センサ等として広く用いられてお
り、機械的外力が加わるとその静電容量が変化し、該静
電容量の変化を電圧の変化として取り出すことができる
ように構成されている。このような静電容量型センサ
は、製造時等のバラツキによって外圧に対する容量変化
(容量/外圧特性)が一定ではなく、該バラツキを外付
けの機械的及び電子的手段によって較正することが試み
られている。
電容量型センサ素子を、加速度センサとして用いた場合
の従来例を示している。該従来例においては、シリコン
カンチレバー11の先端部にシリコン微細加工技術によ
って可動電極12を設け、該可動電極12を一対の固定
電極13及び14の間に配置している。そして、加速度
Gの大きさ及び方向に依存して可動電極12が変位しよ
うとするが、フィードバック制御により、可動電極12
と一方の固定電極との間の距離dが一定となるように、
これら電極間に静電気力を作用させ、該作用させた静電
気力の大きさから、カンチレバーに加わった加速度を検
出するようにしている。そして、図3の従来例において
は、静電気力は、静電サーボ回路15を用いて、パルス
幅変調方式で制御されるか、またはバイアス静電気成分
を含むように制御される。
従来例においては、センサ素子自体の特性のバラツキを
補正するために、パルス幅変調を実行する静電サーボ機
構等を必要とし、そのため、センサ回路が比較的大規模
であり、かつ複雑である。そして、回路の規模を小さく
するために、上記した従来例のような静電サーボ機構を
用いない場合は、センサ素子のバラツキ等により出力誤
差が大きくなる、という問題点がある。本発明の目的
は、このような従来例の問題点を解決して、静電容量型
のセンサ素子の容量変化を、簡単な回路で、しかも製造
時のバラツキに依存せずに高精度な出力信号として取り
出すことができる静電容量型センサ回路を提供すること
である。
ために、本発明の静電容量型センサ回路においては、
(a)入力電圧を発生する入力電圧発生手段と、(b)
発生された入力電圧が第1の端子に供給される静電容量
型センサ素子と、(c)該センサ素子の第2の端子に入
力端子が接続された増幅器と、(d)該増幅器の入力端
子と出力端子との間に接続された帰還コンデンサと、
(e)調整電圧を発生する調整電圧発生手段と、(f)
発生された調整電圧が第1の端子に供給され、第2の端
子にセンサ素子の第2の端子が接続された調整用コンデ
ンサとを備え、調整用電圧を調整することにより、セン
サ素子のバラツキを較正可能にしたことを特徴としてい
る。
(g)センサ素子の第1の端子と入力電圧発生手段との
間に接続された第1のスイッチと、(h)センサ素子の
第1の端子と基準電位との間に接続され、第1のスイッ
チと相補的にオン/オフされる第2のスイッチと、
(i)帰還コンデンサに並列接続され、第2のスイッチ
と同期してオン/オフされる第3のスイッチと、(j)
調整用コンデンサの第1の端子と調整電圧発生手段との
間に接続され、第1のスイッチと同期してオン/オフさ
れる第4のスイッチと、(k)調整用コンデンサの第1
の端子と基準電位との間に接続され、第2のスイッチと
同期してオン/オフされる第5のスイッチとを備えてい
ることを特徴とし、第2、第3及び第5のスイッチをオ
ンさせて静電容量型センサ回路を初期化し、その後、こ
れらのスイッチをオフしかつ第1及び第4のスイッチを
オンさせて、センサ回路として動作させることができる
ようにしている。これにより、回路のコンデンサの両端
の電圧をゼロに初期化してから動作させることができる
ので、より高精度の測定が実行できる。本発明の静電容
量型センサ回路においては、増幅器としてオペアンプを
用いることが好適である。
センサ回路が示されており、該図において、Csは静電
容量型センサ素子(センサ・コンデンサ)であり、セン
サ・コンデンサCsの第1の端子には、入力電圧発生回
路1からの入力電圧Vinが、スイッチS1を介して供給
され、また、該第1の端子は、第1のスイッチS1と相
補的にオン/オフされる第2のスイッチS2を介してア
ース、すなわち基準電位に接続される。センサ・コンデ
ンサCsの第2の端子には、オペアンプ2の反転入力端
子が接続され、該反転入力端子とオペアンプ2の出力端
子との間には、スイッチS2に同期してオン/オフされ
るスイッチS3とコンデンサCfとの並列回路が接続され
ている。オペアンプ2の出力端子から、センサ出力が出
力電圧Voutとして取り出される。
さらに、調整電圧発生回路3から、スイッチS1と同期
してオン/オフされるスイッチS4、及び調整用コンデ
ンサCmを介して、調整電圧Vmが供給され、また、スイ
ッチS4と相補的にオン/オフされるスイッチS5を介し
て、基準電位に接続される。以上から明らかなように、
スイッチS2、S3、S5は同期してオン/オフされ、ま
た、スイッチS1、S4は同期してオン/オフされる。そ
して、これら2つのスイッチのグループは、相補的にオ
ン/オフされる。
ず、回路を初期化するために、スイッチS1、S4をオフ
し、スイッチS2、S3、S5をオンする。このオン/オ
フ状態は、図1に示したオン/オフ状態と反対である。
これにより、センサ・コンデンサCs、帰還コンデンサ
Cf、調整用コンデンサCmのそれぞれの両端の電圧がゼ
ロになる。なお、オペアンプ2は、その反転入力端子と
非反転入力端子の電位を等しくするよう作用する(すな
わち、反転入力端子と非反転入力端子とは、イマージナ
ル・ショート状態にある)ので、非反転入力端子の電位
Vfも基準電位(Vf=0)となり、したがって、センサ
・コンデンサCs及び調整用コンデンサCmそれぞれの両
端の電圧がゼロになる。このような初期化の後に、スイ
ッチのオン/オフ状態を反転して、スイッチS2、S3、
S5をオフし、スイッチS1、S4をオンすると、センサ
・コンデンサCsの第1の端子に入力電圧Vinが印加さ
れ、また調整用コンデンサCmの第1の端子に調整用電
圧Vmが印加される。
力伝達特性は、以下の式(1)で表される。なお、以下
の式においては、コンデンサそれぞれの容量値を対応す
るコンデンサの符号を用いて表すとする。
Cfに設定すると、式(1)は、以下のように表され
る。
(2)をグラフで表せば、図2に示すように、直線
L0、L1、L2で表される。ただし、これら直線L0〜L
2においては、Vmは、Vm=Vm(0)なる固定値に設定し
ている。直線L0は、Cs=Cfの場合を表しており、Cf
の値を規格上の標準的なセンサ・コンデンサの容量値C
s(0)に一致するよう設定することにより、直線L0は標
準的なセンサ・コンデンサを用いた場合の入出力伝達特
性を示すことができる。また、直線L1はCs=Cs(1)>
Cfの場合の一例を、直線L2はCs=Cs(2)<Cfの場合
の一例を示しており、センサ・コンデンサの容量値が標
準値よりも大きい場合及び小さい場合の入出力伝達特性
を示している。
(Cs=Cf=Cs(0))、ある所定の入力電圧Vin(0)が
供給された状態で、出力電圧Vout(0)が出力される。と
ころが、Cs(1)>Cfの場合、直線L1から明らかなよう
に、入力電圧Vin(0)に対応する出力電圧は、Vout(0)
よりも小さい値の
け大きくなるように直線L1を直線L1′にシフトすれ
ば、Cs=Cs(1)>Cfなる容量値のセンサ・コンデンサ
を用いた場合でも、標準容量値Cs(0)のセンサ・コンデ
ンサを用いた場合と同一の出力電圧Vout(0)が得られる
ことが分かる。
L1′とするために、調整電圧VmをVm(0)から変化させ
ればよいことは、式(2)及びグラフから明らかであ
り、変化させた後の調整電圧Vm(1)は、以下の式(4)
から演算することができる。
準値よりも大きいの場合の出力の較正について説明した
が、標準値よりも小さい容量値Cs(2)の場合、調整電圧
Vm(2)は、
ては、調整電圧Vmを調整することにより、用いるセン
サ素子の容量値Csにバラツキがあったとしても、出力
電圧Voutにバラツキが生じることがない。したがっ
て、本発明においては、容量値が標準値と相違するセン
サ・コンデンサを用いた場合に、式(4)または式
(5)にCs(1)またはCs(2)を代入して調整電圧Vm(1)
またはVm(2)を演算し、調整電圧発生回路3から出力す
る調整電圧Vmを決定すればよい。なお、用いているセ
ンサ・コンデンサの容量値Csが不明の場合は、標準容
量値Cs(0)のものを用いて得られた回路の入出力伝達特
性を予めメモリに記憶しておき、該入出力伝達特性と一
致するように、フィードバック制御により当該回路の調
整電圧Vmを可変制御してもよい。
く、調整電圧Vmを適宜に制御すれば、任意の入出力伝
達特性を得ることができる。さらに、式(4)及び式
(5)は、Cm=Cfの前提に基づいて得られた式である
が、Cm、CfにバラツキがありかつCm≠Cfの場合で
も、式(1)におけるCm/Cfは、入出力伝達特性を表
す直線を平行移動させるだけであるから、Cm、Cfのバ
ラツキによる出力電圧のバラツキを、調整電圧Vmの調
整により低減させることができる。さらにまた、式
(1)及び(2)から明らかなように、Vinを変化させ
ることにより、図2の直線L(1)またはL(2)におけるの
出力電圧を増加あるいは減少させることができる。した
がって、調整電圧の制御を行う代わりに、入力電圧及び
基準電圧を調整しても、静電容量型センサ素子のバラツ
キを較正することができる。
ンサCsの第2の端子にオペアンプ2を接続している
が、オペアンプの代わりに、他の任意のリニア増幅器を
用いることができることは言うまでもない。また、スイ
ッチS1〜S5は、電子的スイッチであっても機械的スイ
ッチであっても、任意のスイッチを用いることができる
ことは当業者に明らかであろう。さらに、スイッチ
S1、S2、S4、S5を用いる代わりに、センサ・コンデ
ンサCs、及び調整用コンデサCmのそれぞれの両端にス
イッチを並列接続して、これらのスイッチを初期化時に
のみ、スイッチS3とともにオンさせるようにしてもよ
い。なお、必要に応じて、並列接続されたスイッチそれ
ぞれに、放電電流を制限するための抵抗を接続してもよ
い。
のような静電気力をフィードバック制御するためのサー
ボ制御機構を用いることなく、静電容量型センサの容量
値を高精度に検出することができるとともに、センサ素
子の容量値及び回路中のコンデンサの容量値にバラツキ
があっても、出力電圧のバラツキを低減するよう調整す
ることができる。また、容量検出部と出力調整部とを同
一の回路で構成できるため、回路が簡略化され、小型化
できる。
すブロック図である。
て、出力電圧の調整原理を説明するためのグラフであ
る。
る。
Claims (3)
- 【請求項1】 静電容量の変化を電気信号として出力す
る静電容量型センサ回路において、 入力電圧を発生する入力電圧発生手段と、 発生された入力電圧が第1の端子に供給される静電容量
型センサ素子と、 該センサ素子の第2の端子に入力端子が接続された増幅
器と、 該増幅器の入力端子と出力端子との間に接続された帰還
コンデンサと、 調整電圧を発生する調整電圧発生手段と、 発生された調整電圧が第1の端子に供給され、第2の端
子にセンサ素子の第2の端子が接続された調整用コンデ
ンサとを備え、調整用電圧を調整することにより、セン
サ素子のバラツキを較正可能にしたことを特徴とする静
電容量型センサ回路。 - 【請求項2】 請求項1記載の静電容量型センサ回路に
おいて、該回路はさらに、 センサ素子の第1の端子と入力電圧発生手段との間に接
続された第1のスイッチと、 センサ素子の第1の端子と基準電位との間に接続され、
第1のスイッチと相補的にオン/オフされる第2のスイ
ッチと、 帰還コンデンサに並列接続され、第2のスイッチと同期
してオン/オフされる第3のスイッチと、 調整用コンデンサの第1の端子と調整電圧発生手段との
間に接続され、第1のスイッチと同期してオン/オフさ
れる第4のスイッチと、 調整用コンデンサの第1の端子と基準電位との間に接続
され、第2のスイッチと同期してオン/オフされる第5
のスイッチとを備えていることを特徴とする静電容量型
センサ回路。 - 【請求項3】 請求項1または2記載の静電容量型セン
サ回路において、増幅器はオペアンプであることを特徴
とする静電容量型センサ回路。
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JP17954997A JP4272267B2 (ja) | 1997-07-04 | 1997-07-04 | 静電容量型センサ回路 |
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-
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- 1997-07-04 JP JP17954997A patent/JP4272267B2/ja not_active Expired - Fee Related
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