JPH11216623A - 規正装置 - Google Patents

規正装置

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Publication number
JPH11216623A
JPH11216623A JP2311698A JP2311698A JPH11216623A JP H11216623 A JPH11216623 A JP H11216623A JP 2311698 A JP2311698 A JP 2311698A JP 2311698 A JP2311698 A JP 2311698A JP H11216623 A JPH11216623 A JP H11216623A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
work
stage
square
regulation
rectangular
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2311698A
Other languages
English (en)
Inventor
Takashi Okubo
貴史 大久保
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP2311698A priority Critical patent/JPH11216623A/ja
Publication of JPH11216623A publication Critical patent/JPH11216623A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Landscapes

  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Gripping Jigs, Holding Jigs, And Positioning Jigs (AREA)
  • Automatic Assembly (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 四角形ワークを規正する時に、ワークの割れ
やカケの発生を防止し、ワークの大きさに対して駆動爪
の移動ストロークを一定にでき、長方形のワークにも対
応可能な規正装置を提供すること。 【解決手段】 四角形の平面形状を有するワーク1を、
表面上に下方より保持した状態で摺動可能に支持するス
テージ4と、前記ワークの隣接する2辺の端面に当接す
る面を有し、前記ワークを前記ステージ上の所定の位置
まで互いに直交するX・Yそれぞれの方向に個別に移動
せしめる駆動爪5、6から構成される規正装置。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、トレイから取り出
されたワークの回転方向や位置を規正する装置に関する
ものである。
【0002】
【従来の技術】各種ワークの小型化・軽量化・多品種化
が進む中で、ワークを傷つけることなく、精度よく規正
し移載挿入動作を行う必要がある。図2は、従来用いら
れていた規正ユニットの構成を示し、規正ユニットは四
角形の平面形状を有するワーク1と、ワーク1の端面A
とBが当接する基準面X・Yを有し、摺動可能な表面を
有するステージ2と、ワーク1の端面CとDに当接し、
ワーク1の対角線方向から基準面に押し当てる駆動爪3
から構成されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上記の従来の構成で
は、ワーク1が規正される時には、ワーク1がステージ
2の基準面X・Yに当接した瞬間の衝撃や、ワーク1が
基準面X・Yを駆動爪3の圧力を受けながら摺動するこ
とにより、ワーク1の端面AやBに割れやカケが発生
し、基準面X・Yにはワーク1の摩擦による磨耗が発生
していた。また、ワーク1の大きさが変化した場合は、
ワーク1のA面及びB面が基準面X・Yに対して一定距
離の間隔で置かれているため、ワーク1の大きさが小さ
くなれば、駆動爪3の移動には大きい移動ストロークが
必要となる。
【0004】更に、駆動爪3は対角線の1方向からのみ
ワーク1を基準面に押し当てるため、正方形のワークし
か規正をすることができなかった。本発明は、上記の課
題を解消することができるワークの規正装置を提供する
ことを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】この課題を解決するため
に本発明は、四角形の平面形状を有するワークを、表面
上で下方より保持した状態で摺動可能に支持するステー
ジと、ワークの隣接する2辺の端面に当接する面を有
し、ワークをステージ上の所定の位置まで互いに直交す
るX・Y方向に個別に移動せしめる駆動爪を備えた構成
としたものである。
【0006】これにより、ワークの規正時に、A面及び
B面を基準面に当接させる必要が無くなり、ワークに加
わる力は下方からの保持力のみとなり、ワークには割れ
やカケは発生しない。また、ワークの規正基準面は所定
のストロークで移動する駆動爪の当接する端面C及びD
となり、ワークの大きさに対して駆動爪のストロークが
一定になる。
【0007】更に、ワーク1に対して、C面及びD面の
2方向から駆動爪にて規正されるため、長方形のワーク
にも対応できる。
【0008】
【発明の実施の形態】本発明の請求項1に記載の発明
は、四角形の平面形状を有するワークを、表面上で下方
より保持した状態で摺動可能に支持するステージと、前
記ワークの隣接する2辺の端面に接する面を有し、前記
ワークを前記ステージ上の所定の位置まで互いに直交す
るX・Y方向に個別に移動せしめる駆動爪を備えた構成
としたものであり、これによって、ワーク規正時の割れ
やカケが防止でき、且つ、ワークの大きさに対して駆動
爪のストロークを一定にでき、長方形のワークにも対応
できる有利な作用を有する。
【0009】請求項2に記載の発明は、ステージに設け
た吸引孔より真空吸引によりワークを保持する構成とし
たものであり、吸引の圧力を調整することによりワーク
に与える力を最小限にできるという作用を有する。次
に、本発明の実施例を図1により説明する。図1におい
て、1は四角形ワーク、4はステージで、ワーク1を下
面から保持する真空吸引孔4Aを有している。5はX方
向駆動爪、6はY方向駆動爪である。四角形の平面形状
を有するワーク1を、真空吸引孔4Aを有する吸引手段
により下方より摺動可能に支持するステージ4と、ワー
ク1のC面及びD面の2方向から規正可能で、ステージ
4上の所定の位置までX・Y2方向に移動可能な駆動爪
5、6から構成したものである。ステージ1上に設けた
真空吸引孔4Aの吸引力はワーク1の重量や大きさによ
り、ワーク1に与える力を最小限にできるように適宜調
整される。
【0010】この実施例によると、ワーク1の規正時
に、ワーク1のA及びB面には当接する基準面が無く、
また、ワーク1に加わる力は下方からの吸引力のみであ
り、ワーク1がステージの基準面に当接することにより
生ずる割れやカケの発生を防止することができる。ま
た、ワーク1の規正基準面は、所定のストロークで移動
する駆動爪5、6が当接する端面C及びDとなり、ワー
クの大きさに対して駆動爪の移動ストロークを一定にで
きる。更に、ワーク1に対して、C面及びD面の2方向
から規正をするため、長方形のワークにも対応できる。
【0011】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、ワーク規
正時の割れやカケの発生を防止することができ、ワーク
の大きさに対して駆動爪のストロークを一定にでき、長
方形のワークにも対応できるという効果を得ることがで
きる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の規正装置の斜視図を示す。
【図2】従来の規正装置の斜視図を示す。
【符号の説明】 1 四角形ワーク 2 ステージ 3 駆動爪(対角線方向) 4 ステージ(真空吸引孔付) 4A 真空吸引孔 5 X方向駆動爪 6 Y方向駆動爪

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 四角形の平面形状を有するワークを、表
    面上で下方より保持した状態で摺動可能に支持するステ
    ージと、前記ワークの隣接する2辺の端面に当接する面
    を有し、前記ワークを前記ステージ上の所定の位置まで
    互いに直交するX・Y方向に個別に移動せしめる駆動爪
    を備えたことを特徴とする規正装置。
  2. 【請求項2】 ステージに設けた吸引孔より真空吸引に
    よりワークを保持することを特徴とする請求項1記載の
    規正装置。
JP2311698A 1998-02-04 1998-02-04 規正装置 Pending JPH11216623A (ja)

Priority Applications (1)

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JP2311698A JPH11216623A (ja) 1998-02-04 1998-02-04 規正装置

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JP2311698A JPH11216623A (ja) 1998-02-04 1998-02-04 規正装置

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JPH11216623A true JPH11216623A (ja) 1999-08-10

Family

ID=12101530

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JP2311698A Pending JPH11216623A (ja) 1998-02-04 1998-02-04 規正装置

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JP (1) JPH11216623A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008218667A (ja) * 2007-03-02 2008-09-18 Shinkawa Ltd バンプボンディング装置
CN105499952A (zh) * 2015-12-30 2016-04-20 苏州博众精工科技有限公司 一种定位载具装置
CN106903627A (zh) * 2016-12-26 2017-06-30 安徽谢佑圣电子科技有限公司 一种医疗用方管器械加工的固定装置

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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