JP5372600B2 - 真空チャック装置及び加工装置 - Google Patents
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Description
本発明の実施形態を説明する前に、本発明に関連する関連技術の問題点について説明する。図1(a)及び(b)には、関連技術の第1のチャック装置(側面クランプ方式)が示されている。図1(a)は、図1(b)を前方からみた側面図に相当する。
図4(a)及び(b)は本発明の第1実施形態の真空チャック装置を示す断面図及び平面図であり、図4(a)は図4(b)のI−Iに沿った断面図である。
図7(a)及び(b)は本発明の第2実施形態の真空チャック装置を示す断面図及び平面図である。第2実施形態では、第1実施形態の図4(a)及び(b)と同一要素には同一符号を付してその説明を省略する。
図8(a)及び(b)は本発明の第3実施形態の真空チャック装置を示す断面図及び平面図である。第3実施形態では、第1実施形態の図4(a)及び(b)と同一要素には同一符号を付してその説明を省略する。
Claims (6)
- 支持部と、
前記支持部の上に設けられ、ワークが載置される吸着部と、
前記支持部と前記吸着部との間に一体的に設けられたバキュームホールと、
前記バキュームホールに連通した状態で前記吸着部に形成された複数の吸着用吸引穴と、
前記支持部に形成され、前記バキュームホールに連通して排気手段に接続される排気口と、
前記バキュームホールと連通した状態で前記吸着部に形成され、前記バキュームホールの外形を構成する辺のうち、屈曲部を形成する2辺の内壁ラインに沿って並んで配置された複数の位置決め用吸引穴と、
前記吸着部上の前記2辺の内壁ラインの外側に設けられ、前記ワークを位置決めするためのガイド部材とを有することを特徴とする真空チャック装置。 - 前記位置決め用吸引穴は、前記バキュームホールの内壁ラインの上に配置され、前記位置決め用吸引穴内の下に前記内壁ラインが配置されていることを特徴とする請求項1に記載の真空チャック装置。
- 前記位置決め用吸引穴の開口端の内周面と前記バキュームホールの内壁ラインとが接していることを特徴とする請求項1に記載の真空チャック装置。
- 前記バキュームホールは四角状であり、
前記位置決め用吸引穴は、前記バキュームホールの一つの頂点を形成する2辺の前記内壁ラインがなす角度の2等分線を対称軸として対称に配置されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の真空チャック装置。 - 前記位置決め用吸引穴が配置された前記バキュームホールの2辺の内壁ラインの外側のみに、前記ガイド部材として複数のガイドピンがそれぞれ配置されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の真空チャック装置。
- ワークが載置される領域の取り付けベースに設けられた、請求項1乃至5のいずれかの真空チャック装置と、
前記バキュームホールを減圧する真空ポンプと、
前記ワークを加工する切削工具とを有することを特徴する加工装置。
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