JPH11212621A - ロボットの制御方法及びその装置 - Google Patents
ロボットの制御方法及びその装置Info
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims abstract description 31
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 30
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 101100321304 Bacillus subtilis (strain 168) yxdM gene Proteins 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
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Abstract
(57)【要約】
【課題】ロボットア−ム２ａや自走搬送車１ａが故障し
た場合、予備のロボットア−ム２ｂおよび自走搬送車１
ｂを短時間で入れ換えラインを直ちに稼働させることを
目的とする。 【解決手段】製造ラインとは別に各ステ−ション１０
ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄに疑似する基準ステ−ショ
ン７を配置し、ラインの稼動と平行して予備の自走搬送
車１ｂおよびロボットア−ム２ｂに位置デ−タを教示す
る。
た場合、予備のロボットア−ム２ｂおよび自走搬送車１
ｂを短時間で入れ換えラインを直ちに稼働させることを
目的とする。 【解決手段】製造ラインとは別に各ステ−ション１０
ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄに疑似する基準ステ−ショ
ン７を配置し、ラインの稼動と平行して予備の自走搬送
車１ｂおよびロボットア−ム２ｂに位置デ−タを教示す
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、自動棚や製造装置
など並べ配置される製造ラインにおける搬送物の受け渡
し及び搬送を自走搬送車上のロボットを制御するロボッ
トの制御方法及びその装置に関する。
など並べ配置される製造ラインにおける搬送物の受け渡
し及び搬送を自走搬送車上のロボットを制御するロボッ
トの制御方法及びその装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造ラインでは、ウェハを処理す
る種々の製造装置やウェハを一時的に保管する自動棚な
どが搬送ラインに沿って生産性や搬送の効率を考慮して
合理的に並べ配置されている。また、ウェハの搬送に際
しては、ウェハの複数枚を収納するウェハキヤリアを一
つの搬送物として搬送していた。
る種々の製造装置やウェハを一時的に保管する自動棚な
どが搬送ラインに沿って生産性や搬送の効率を考慮して
合理的に並べ配置されている。また、ウェハの搬送に際
しては、ウェハの複数枚を収納するウェハキヤリアを一
つの搬送物として搬送していた。
【０００３】この搬送物であるウェハキャリアの搬送及
び受渡しは、自走搬送車とこの自走搬送車上のロボット
ア−ムで行われていた。例えば、自動棚の前のステ−シ
ョンに引き出されたウェハキャリアをロボットア−ムで
掴み自走搬送車の荷台に移載し、しかる後、軌道上を自
走搬送車が走行し、製造装置のロ−ダ用のステ−ション
で停止する。そして、ロボットア−ムによりウェハキャ
リアを掴み自走搬送車からロ−ダ用のステ−ションの所
定の位置にウェハキャリアを移載する。
び受渡しは、自走搬送車とこの自走搬送車上のロボット
ア−ムで行われていた。例えば、自動棚の前のステ−シ
ョンに引き出されたウェハキャリアをロボットア−ムで
掴み自走搬送車の荷台に移載し、しかる後、軌道上を自
走搬送車が走行し、製造装置のロ−ダ用のステ−ション
で停止する。そして、ロボットア−ムによりウェハキャ
リアを掴み自走搬送車からロ−ダ用のステ−ションの所
定の位置にウェハキャリアを移載する。
【０００４】このように保管棚である自動棚からある特
定の製造装置にワ−クを自動的に搬送し受渡しする従来
のロボットの制御方法は、自動棚と特定の製造装置との
走行方向や距離及び各ステ−ションへのウェハキャリア
を載置する位置のＸＹ座標値やＺなどの位置デ−タを予
め教示させせ、そのデ−タを含むプログラムで自走搬送
車及びロボットを動作させ、自動的にウェハキャリアの
搬送及びステ−ションへの受渡しが行われていた。
定の製造装置にワ−クを自動的に搬送し受渡しする従来
のロボットの制御方法は、自動棚と特定の製造装置との
走行方向や距離及び各ステ−ションへのウェハキャリア
を載置する位置のＸＹ座標値やＺなどの位置デ−タを予
め教示させせ、そのデ−タを含むプログラムで自走搬送
車及びロボットを動作させ、自動的にウェハキャリアの
搬送及びステ−ションへの受渡しが行われていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上述した自走搬送車及
びロボットは、常に安定して動作するわけでなく、自走
搬送車あるいはロボットの故障によりワ−クの搬送及び
受け渡しが出来なくなることが多々あった。また、故障
ではなくとも定期点検などにより使用している自走搬送
車やロボットを停止しなければならないこともあった。
びロボットは、常に安定して動作するわけでなく、自走
搬送車あるいはロボットの故障によりワ−クの搬送及び
受け渡しが出来なくなることが多々あった。また、故障
ではなくとも定期点検などにより使用している自走搬送
車やロボットを停止しなければならないこともあった。
【０００６】このような場合にライン稼動を続けるため
に、予備の自走搬送車及びロボットに入れ替えて再起動
させる試みがなされた。しかしながら、使用していた自
走搬送車及びロボットと予備の自走搬送車とロボットと
の間に微妙な寸法の違いである機差があり、そのまま記
憶された位置データでプレイバックしても機差分の位置
ズレが発生し移載ミスが起きてしまう。
に、予備の自走搬送車及びロボットに入れ替えて再起動
させる試みがなされた。しかしながら、使用していた自
走搬送車及びロボットと予備の自走搬送車とロボットと
の間に微妙な寸法の違いである機差があり、そのまま記
憶された位置データでプレイバックしても機差分の位置
ズレが発生し移載ミスが起きてしまう。
【０００７】また、予備の自走搬送車やロボットにティ
ーチングをするにしても、製造装置や自動棚の稼動を停
止し、自動棚の入出庫口のステ−ションや製造装置のロ
ーダ・アンローダのステ−ションにおいて位置デ−タの
ティチ−ングしなければならず、多大な時間を浪費する
とともに長時間ラインを停止させなければならないとい
う問題がある。
ーチングをするにしても、製造装置や自動棚の稼動を停
止し、自動棚の入出庫口のステ−ションや製造装置のロ
ーダ・アンローダのステ−ションにおいて位置デ−タの
ティチ−ングしなければならず、多大な時間を浪費する
とともに長時間ラインを停止させなければならないとい
う問題がある。
【０００８】従って、本発明の目的は、ロボットや自走
搬送車が故障した場合に、製造ラインの稼動停止を最小
限にとどめ、予備の自走搬送車を短時間で投入できるロ
ボットの制御方法及びその装置を提供することにある。
搬送車が故障した場合に、製造ラインの稼動停止を最小
限にとどめ、予備の自走搬送車を短時間で投入できるロ
ボットの制御方法及びその装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の特徴は、製造装
置や自動棚のロ−ドおよびアンロ−ド用のステ−ション
に沿って配設される軌道上を走行し前記ステ−ションと
荷台との間で搬送物を受け渡しする自走搬送車およびロ
ボットア−ムを制御するロボットの制御方法において、
前記軌道以外の領域に配置される前記ステ−ションに疑
似する基準ステ−ションに予備の自走搬送車を定位置に
止めさせ、前記自走搬送車およびロボットア−ムの稼動
と平行して、各前記ステ−ションのそれぞれに前記搬送
物の載置する位置と各前記ステ−ションのそれぞれへの
前記自走搬送車の停止位置との相対位置デ−タを前記基
準ステ−ションによって前記予備の自走搬送車およびロ
ボットア−ムに教示するロボットの制御方法である。
置や自動棚のロ−ドおよびアンロ−ド用のステ−ション
に沿って配設される軌道上を走行し前記ステ−ションと
荷台との間で搬送物を受け渡しする自走搬送車およびロ
ボットア−ムを制御するロボットの制御方法において、
前記軌道以外の領域に配置される前記ステ−ションに疑
似する基準ステ−ションに予備の自走搬送車を定位置に
止めさせ、前記自走搬送車およびロボットア−ムの稼動
と平行して、各前記ステ−ションのそれぞれに前記搬送
物の載置する位置と各前記ステ−ションのそれぞれへの
前記自走搬送車の停止位置との相対位置デ−タを前記基
準ステ−ションによって前記予備の自走搬送車およびロ
ボットア−ムに教示するロボットの制御方法である。
【００１０】また、本発明の他の特徴は、製造装置や自
動棚のロ−ドおよびアンロ−ド用のステ−ションに沿っ
て配設される軌道上を走行し前記ステ−ションと荷台と
の間で搬送物を受け渡しする自走搬送車およびロボット
ア−ムを制御するロボットの制御装置において、前記軌
道以外の領域に停止する予備の自走搬送車およびロボッ
トア−ムに所定位置に配置されるとともに前記ステ−シ
ョンに疑似する基準ステ−ションと、各前記ステ−ショ
ンの前記搬送物の載置位置に対応する前記基準ステ−シ
ョンの基準位置への前記予備のロボットア−ムの移動距
離を測定する測定手段と、前記自走搬送車およびロボッ
トア−ムの稼動を平行して制御するとともに前記測定手
段により測定される位置データを記憶させる制御装置を
備えるロボット制御装置である。
動棚のロ−ドおよびアンロ−ド用のステ−ションに沿っ
て配設される軌道上を走行し前記ステ−ションと荷台と
の間で搬送物を受け渡しする自走搬送車およびロボット
ア−ムを制御するロボットの制御装置において、前記軌
道以外の領域に停止する予備の自走搬送車およびロボッ
トア−ムに所定位置に配置されるとともに前記ステ−シ
ョンに疑似する基準ステ−ションと、各前記ステ−ショ
ンの前記搬送物の載置位置に対応する前記基準ステ−シ
ョンの基準位置への前記予備のロボットア−ムの移動距
離を測定する測定手段と、前記自走搬送車およびロボッ
トア−ムの稼動を平行して制御するとともに前記測定手
段により測定される位置データを記憶させる制御装置を
備えるロボット制御装置である。
【００１１】
【発明の実施の形態】次に、本発明について図面を参照
して説明する。
して説明する。
【００１２】図１は本発明の一実施の形態におけるロボ
ットの制御方法およびその装置を説明するための製造ラ
インの斜視図である。このロボットの制御方法は、図１
に示すように、軌道９ａ上を自走搬送車１ａを走行させ
るとともに軌道９ａに沿って並べ配置される製造装置１
２および自動棚１３のそれぞれのステ−ション１０ａ，
１０ｂ，１０ｃおよび１０ｄに自走搬送車を予め設定さ
れたプログラムにより停止させ、停止したステ−ション
１０ａ，１０ｂ，１０ｃおよび１０ｄにおいて予め教示
された位置デ−タによりロボットア−ム２ａを移動させ
ハンド３でウェハキャリア５を掴みステ−ション１０
ａ，１０ｂ，１０ｃおよび１０ｄと自走搬送車１ａの荷
台との間でウェハキャリア５の受け渡し制御を行う。
ットの制御方法およびその装置を説明するための製造ラ
インの斜視図である。このロボットの制御方法は、図１
に示すように、軌道９ａ上を自走搬送車１ａを走行させ
るとともに軌道９ａに沿って並べ配置される製造装置１
２および自動棚１３のそれぞれのステ−ション１０ａ，
１０ｂ，１０ｃおよび１０ｄに自走搬送車を予め設定さ
れたプログラムにより停止させ、停止したステ−ション
１０ａ，１０ｂ，１０ｃおよび１０ｄにおいて予め教示
された位置デ−タによりロボットア−ム２ａを移動させ
ハンド３でウェハキャリア５を掴みステ−ション１０
ａ，１０ｂ，１０ｃおよび１０ｄと自走搬送車１ａの荷
台との間でウェハキャリア５の受け渡し制御を行う。
【００１３】また、このロボットの制御方法は、オフラ
インの軌道９ｂ上に停止する予備の自走搬送車１ｂの停
止位置と基準ステ−ション７のウェハキャリアを載置す
べき位置との相対位置を予め教示することを前述の自走
搬送車１ａの走行制御およびロボットア−ム２ａの制御
と並列して行っている。
インの軌道９ｂ上に停止する予備の自走搬送車１ｂの停
止位置と基準ステ−ション７のウェハキャリアを載置す
べき位置との相対位置を予め教示することを前述の自走
搬送車１ａの走行制御およびロボットア−ム２ａの制御
と並列して行っている。
【００１４】ロボットア−ム２ａの先端部に取り付けら
れたＣＣＤカメラ４は、自走搬送車１ａがステ−ション
１０ａ，１０ｂ，１０ｃおよび１０ｄのいずれか停止し
たとき、マ−ク１１ｂ，１１ｃおよび１１ｄを認識し停
止位置とのずれ量を読み込む。そして位置ずれが有れば
ホストコンピュ−タに指令し自走搬送車１ａをずれ量だ
け移動させ位置を補正する。また、ずれ量が小さいとき
は、教示された位置デ−タに補正しロボットア−ム２ａ
を移動させる。
れたＣＣＤカメラ４は、自走搬送車１ａがステ−ション
１０ａ，１０ｂ，１０ｃおよび１０ｄのいずれか停止し
たとき、マ−ク１１ｂ，１１ｃおよび１１ｄを認識し停
止位置とのずれ量を読み込む。そして位置ずれが有れば
ホストコンピュ−タに指令し自走搬送車１ａをずれ量だ
け移動させ位置を補正する。また、ずれ量が小さいとき
は、教示された位置デ−タに補正しロボットア−ム２ａ
を移動させる。
【００１５】オフラインに準備された予備の自走搬送車
１ｂおよびロボットア−ム２ｂは、ラインの軌道９ａを
走行する自走搬送車２ａとロボットア−ム２ａとは機差
があるため、基準ステ−ション７を利用して各ステ−シ
ョンでのウェハキャリア５の載置位置と自走搬送車１ｂ
の停止位置との相対位置の教示を行う。
１ｂおよびロボットア−ム２ｂは、ラインの軌道９ａを
走行する自走搬送車２ａとロボットア−ム２ａとは機差
があるため、基準ステ−ション７を利用して各ステ−シ
ョンでのウェハキャリア５の載置位置と自走搬送車１ｂ
の停止位置との相対位置の教示を行う。
【００１６】ここで、基準ステ−ション７には、製造装
置１２のロ−ド用のステ−ション１０ａおよびアンロ−
ド用のステ−ション１０ｂのウェハキャリア５の載置位
置に対応する基準位置１４ａである枠部材と自動棚１３
のステ−ション１０ｃおよびステ−ション１０ｄのウェ
ハキャリア５の載置位置に対応する基準位置１４ｂであ
る枠部材が取り付けられている。そして、基準ステ−シ
ョン７には、ロボットア−ム２ｂのＸ，ＹおよびＺ方向
の移動距離を測定しその値を読み込む位置読取り器６が
設けられている。
置１２のロ−ド用のステ−ション１０ａおよびアンロ−
ド用のステ−ション１０ｂのウェハキャリア５の載置位
置に対応する基準位置１４ａである枠部材と自動棚１３
のステ−ション１０ｃおよびステ−ション１０ｄのウェ
ハキャリア５の載置位置に対応する基準位置１４ｂであ
る枠部材が取り付けられている。そして、基準ステ−シ
ョン７には、ロボットア−ム２ｂのＸ，ＹおよびＺ方向
の移動距離を測定しその値を読み込む位置読取り器６が
設けられている。
【００１７】この予備の自走搬送車１ｂとロボットア−
ム２ｂに各ステ−ションにおける相対位置を教示するに
は、まず、ロボットア−ム２ｂをＸおよびＹ方向に移動
させＣＣＤカメラ４で基準位置の中心を認識させながら
ハンド３の位置が基準位置１４ａに一致させる。そし
て、ロボットア−ム２ｂのＸおよびＹの駆動軸直結のレ
ゾルバのデジタル量を位置読取り器６で読み込み予備の
自走搬送車の停止位置からの位置デ−タをホストコンピ
ュ−タの記憶部に記憶させる。次に、ロボットア−ム２
ｂをＺ方向に移動させハンド３が基準位置１４ａの頂面
に接するまでハンド３を下降させる。そして、ロボット
ア−ム２ｂのＺ軸と直結のレゾルバの読みを位置読取り
器６で読み込みホストコンピュ−タに記憶させる。
ム２ｂに各ステ−ションにおける相対位置を教示するに
は、まず、ロボットア−ム２ｂをＸおよびＹ方向に移動
させＣＣＤカメラ４で基準位置の中心を認識させながら
ハンド３の位置が基準位置１４ａに一致させる。そし
て、ロボットア−ム２ｂのＸおよびＹの駆動軸直結のレ
ゾルバのデジタル量を位置読取り器６で読み込み予備の
自走搬送車の停止位置からの位置デ−タをホストコンピ
ュ−タの記憶部に記憶させる。次に、ロボットア−ム２
ｂをＺ方向に移動させハンド３が基準位置１４ａの頂面
に接するまでハンド３を下降させる。そして、ロボット
ア−ム２ｂのＺ軸と直結のレゾルバの読みを位置読取り
器６で読み込みホストコンピュ−タに記憶させる。
【００１８】同様にして、基準ステ−ション７の基準位
置１４ｂを学習させ、自動棚１３のステ−ション１０
ｃ，１０ｄにおけるウェハキャリア５の載置位置と予備
の自走搬送車１ｂの停止位置との相対位置を教示させ、
予備の自走搬送車１ｂとロボットア−ム２ｂの教示を完
了する。
置１４ｂを学習させ、自動棚１３のステ−ション１０
ｃ，１０ｄにおけるウェハキャリア５の載置位置と予備
の自走搬送車１ｂの停止位置との相対位置を教示させ、
予備の自走搬送車１ｂとロボットア−ム２ｂの教示を完
了する。
【００１９】図２は図１の製造ラインのレイアウトを示
す図である。次に、この自走搬送車およびロボットア−
ムの製造ラインにおける動作について説明する。
す図である。次に、この自走搬送車およびロボットア−
ムの製造ラインにおける動作について説明する。
【００２０】まず、図２の紙面の下方の軌道９ａを走行
する自走搬送車１ａが、プログラミングによって製造装
置１２は、マーク１１ａのあるステーション１０ａを通
り過ぎアンロ−ダ用のステ−ション１０ｂの前で停止す
る。そして、ＣＣＤカメラ４によってマ−ク１１ｂが認
識され停止位置とのずれ量が測定される。位置ずれが無
ければ、予め記憶された位置デ−タによりロボットア−
ム２ａを移動させステ−ション１０ｂのウェハキャリア
５を自走搬送車１ａの荷台に移載する。
する自走搬送車１ａが、プログラミングによって製造装
置１２は、マーク１１ａのあるステーション１０ａを通
り過ぎアンロ−ダ用のステ−ション１０ｂの前で停止す
る。そして、ＣＣＤカメラ４によってマ−ク１１ｂが認
識され停止位置とのずれ量が測定される。位置ずれが無
ければ、予め記憶された位置デ−タによりロボットア−
ム２ａを移動させステ−ション１０ｂのウェハキャリア
５を自走搬送車１ａの荷台に移載する。
【００２１】なお、自走搬送車の停止位置精度は１０ｍ
ｍ以内であるが、もし、ずれ量が例えば３ｍｍ以上あっ
たら、ずれ量を予め教示された位置デ−タに加味させ補
正しロボットア−ム２ａを移動させる。このように、オ
ンライン上の自走搬送車１ａがウェハキャリアの受け渡
しを行っている一方オフラインの予備の自走搬送車１ｂ
は基準ステ−ション７によりテ−チングされる。
ｍ以内であるが、もし、ずれ量が例えば３ｍｍ以上あっ
たら、ずれ量を予め教示された位置デ−タに加味させ補
正しロボットア−ム２ａを移動させる。このように、オ
ンライン上の自走搬送車１ａがウェハキャリアの受け渡
しを行っている一方オフラインの予備の自走搬送車１ｂ
は基準ステ−ション７によりテ−チングされる。
【００２２】予備の自走搬送車１ｂは、前述したよう
に、各ステ−ションでの機差を含む位置デ−タを教示さ
れテ−チングが終了すると軌道９ｂ上で待機している。
一方、ウェハキャリア５を積載した自走搬送車１ａは次
のステ−ション１０ｃに向け軌道９ａ上を走行する。
に、各ステ−ションでの機差を含む位置デ−タを教示さ
れテ−チングが終了すると軌道９ｂ上で待機している。
一方、ウェハキャリア５を積載した自走搬送車１ａは次
のステ−ション１０ｃに向け軌道９ａ上を走行する。
【００２３】ステ−ション１０ｃに到達した自走搬送車
１ａは、ＣＣＤカメラで位置ずれの有無を判定され位置
ずれがなければ、教示された位置デ−タによりロボット
ア−ム２ａを動作させ荷台のウェハキャリアをステ−シ
ョン１０ｃの定位置に移載する。そして、自走搬送車１
ａは走行しアンロ−ダ用ステ−ション１０ｄの前で停止
し新たにウェハキャリア５を受け取る。このとき自動棚
１３からア−ムが伸びステ−ション１０ｃに置かれたウ
ェハキャリア５を掴み自動棚１３内にウェハキャリア５
を収納する。
１ａは、ＣＣＤカメラで位置ずれの有無を判定され位置
ずれがなければ、教示された位置デ−タによりロボット
ア−ム２ａを動作させ荷台のウェハキャリアをステ−シ
ョン１０ｃの定位置に移載する。そして、自走搬送車１
ａは走行しアンロ−ダ用ステ−ション１０ｄの前で停止
し新たにウェハキャリア５を受け取る。このとき自動棚
１３からア−ムが伸びステ−ション１０ｃに置かれたウ
ェハキャリア５を掴み自動棚１３内にウェハキャリア５
を収納する。
【００２４】このように、ラインの自走搬送車１ａがウ
ェハキャリア５の受け渡しをしながら軌道９ａを走行し
ているうちに何らかの原因で停止したとすると、直ちに
自走搬送車１ａの運転制御を停止し、停止している自走
搬送車１ａを軌道９ａより外し、待機している予備の自
走搬送車１ｂと入れ換える。そして、運転制御を再開し
予備の自走搬送車１ｂによるウェハキャリア５の受け渡
しを行う。
ェハキャリア５の受け渡しをしながら軌道９ａを走行し
ているうちに何らかの原因で停止したとすると、直ちに
自走搬送車１ａの運転制御を停止し、停止している自走
搬送車１ａを軌道９ａより外し、待機している予備の自
走搬送車１ｂと入れ換える。そして、運転制御を再開し
予備の自走搬送車１ｂによるウェハキャリア５の受け渡
しを行う。
【００２５】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、ウェハキ
ャリアの受け渡しを行いながら軌道を走行する自走搬送
車およびロボットア−ムとは別に予備の自走搬送車とロ
ボットア−ムをオフラインの軌道に待機させ、製造装置
や自動棚の各ステ−ションと類似する基準ステ−ション
をオフラインの予備の自走搬送車から所定距離の位置に
配置させ、ラインの自走搬送車の走行と平行して各ステ
−ションへのウェハキャリアの載置位置と自走搬送車の
停止位置の位置デ−タを基準ステ−ションを基に予備の
自走搬送車とロボットア−ムに学習させることによっ
て、ラインの自走搬送車およびロボットア−ムが故障し
て停止しても、極めて短時間で予備の自走搬送車および
ロボットア−ムに入れ換え出来る。
ャリアの受け渡しを行いながら軌道を走行する自走搬送
車およびロボットア−ムとは別に予備の自走搬送車とロ
ボットア−ムをオフラインの軌道に待機させ、製造装置
や自動棚の各ステ−ションと類似する基準ステ−ション
をオフラインの予備の自走搬送車から所定距離の位置に
配置させ、ラインの自走搬送車の走行と平行して各ステ
−ションへのウェハキャリアの載置位置と自走搬送車の
停止位置の位置デ−タを基準ステ−ションを基に予備の
自走搬送車とロボットア−ムに学習させることによっ
て、ラインの自走搬送車およびロボットア−ムが故障し
て停止しても、極めて短時間で予備の自走搬送車および
ロボットア−ムに入れ換え出来る。
【００２６】その結果、製造ラインの停止時間が短くて
済みラインの稼動率が向上するという効果があるととも
に従来のように製造ラインでの各ステ−ションにおける
自走搬送車およびロボットア−ムのテ−チング作業が無
くなり多大な工数が節約できるという効果もある。さら
に、テ−チング作業による長時間のラインの停止が無く
なり生産の向上が図れるという効果がある。
済みラインの稼動率が向上するという効果があるととも
に従来のように製造ラインでの各ステ−ションにおける
自走搬送車およびロボットア−ムのテ−チング作業が無
くなり多大な工数が節約できるという効果もある。さら
に、テ−チング作業による長時間のラインの停止が無く
なり生産の向上が図れるという効果がある。
【図１】本発明の一実施の形態におけるロボットの制御
方法およびその装置を説明するための製造ラインの斜視
図である。
方法およびその装置を説明するための製造ラインの斜視
図である。
【図２】図１の製造ラインのレイアウトを示す図であ
る。
る。
１ａ，１ｂ 自走搬送車 ２ａ，２ｂ ロボットアーム ３ ハンド ４ ＣＣＤカメラ ５ ウェハキャリア ６ 位置読取り器 ７ 基準ステ−ション ９ａ，９ｂ 軌道 １０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄ ステ−ション １１ａ、１１ｂ，１１ｃ，１１ｄ マ−ク １２ 製造装置 １３ 自動棚 １４ａ，１４ｂ 基準位置
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１１年３月１日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の特徴は、製造装
置や自動棚のロードおよびアンロード用のステーション
に沿って配設される一軌道上を走行し前記ステーション
と荷台との間で搬送物を受け渡しする自走搬送車および
ロボットアームを制御するロボットの制御方法におい
て、前記一軌道の一端を接続し前記一軌道以外の領域に
延長される他の軌道に沿って配置される前記ステーショ
ンに疑似する基準ステーションに前記他の軌道上の予備
の自走搬送車を定位置に止めさせ、前記自走搬送車およ
びロボットアームの稼働と平行して、各前記ステーショ
ンのそれぞれに前記搬送物の載置する位置と各前記ステ
ーションのそれぞれへの前記自走搬送車の停止位置との
相対位置データを前記基準ステーションによって前記予
備の自走搬送車およびロボットアームに教示するロボッ
トの制御方法である。
置や自動棚のロードおよびアンロード用のステーション
に沿って配設される一軌道上を走行し前記ステーション
と荷台との間で搬送物を受け渡しする自走搬送車および
ロボットアームを制御するロボットの制御方法におい
て、前記一軌道の一端を接続し前記一軌道以外の領域に
延長される他の軌道に沿って配置される前記ステーショ
ンに疑似する基準ステーションに前記他の軌道上の予備
の自走搬送車を定位置に止めさせ、前記自走搬送車およ
びロボットアームの稼働と平行して、各前記ステーショ
ンのそれぞれに前記搬送物の載置する位置と各前記ステ
ーションのそれぞれへの前記自走搬送車の停止位置との
相対位置データを前記基準ステーションによって前記予
備の自走搬送車およびロボットアームに教示するロボッ
トの制御方法である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１０】また、発明の他の特徴は、製造装置や自動
棚のロードおよびアンロード用のステーションに沿って
配設される一軌道上を走行し前記ステーションと荷台と
の間で搬送物を受け渡しする自走搬送車およびロボット
アームを制御するロボットの制御装置において、前記一
軌道の一端を接続し前記一軌道以外の領域に延長される
他の軌道上に停止する自走搬送車およびロボットアーム
から離れた所定位置に配置されるとともに前記ステーシ
ョンに疑似する基準ステーションと、各前記ステーショ
ンの搬送物の載置位置に対応する前記基準ステーション
の基準位置への前記予備のロボットアームの移動距離を
測定する測定手段と、前記自走搬送車およびロボットア
ームの稼働を平行して制御するとともに前記測定手段に
より測定される位置データを記憶させる制御装置を備え
るロボットの制御装置である。
棚のロードおよびアンロード用のステーションに沿って
配設される一軌道上を走行し前記ステーションと荷台と
の間で搬送物を受け渡しする自走搬送車およびロボット
アームを制御するロボットの制御装置において、前記一
軌道の一端を接続し前記一軌道以外の領域に延長される
他の軌道上に停止する自走搬送車およびロボットアーム
から離れた所定位置に配置されるとともに前記ステーシ
ョンに疑似する基準ステーションと、各前記ステーショ
ンの搬送物の載置位置に対応する前記基準ステーション
の基準位置への前記予備のロボットアームの移動距離を
測定する測定手段と、前記自走搬送車およびロボットア
ームの稼働を平行して制御するとともに前記測定手段に
より測定される位置データを記憶させる制御装置を備え
るロボットの制御装置である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ Ｂ６５Ｇ 43/00 Ｂ６５Ｇ 43/00 Ａ Ｇ０５Ｂ 19/19 Ｇ０５Ｂ 19/19 Ｈ Ｇ０５Ｄ 1/02 Ｇ０５Ｄ 1/02 Ｑ Ｈ０１Ｌ 21/68 Ｈ０１Ｌ 21/68 Ａ // Ｂ２３Ｐ 19/00 ３０２ Ｂ２３Ｐ 19/00 ３０２Ｊ Ｈ０１Ｌ 21/02 Ｈ０１Ｌ 21/02 Ｚ
Claims (2)
- 【請求項１】 製造装置や自動棚のロ−ドおよびアンロ
−ド用のステ−ションに沿って配設される軌道上を走行
し前記ステ−ションと荷台との間で搬送物を受け渡しす
る自走搬送車およびロボットア−ムを制御するロボット
の制御方法において、前記軌道以外の領域に配置される
前記ステ−ションに疑似する基準ステ−ションに予備の
自走搬送車を定位置に止めさせ、前記自走搬送車および
ロボットア−ムの稼動と平行して、各前記ステ−ション
のそれぞれに前記搬送物の載置する位置と各前記ステ−
ションのそれぞれへの前記自走搬送車の停止位置との相
対位置デ−タを前記基準ステ−ションによって前記予備
の自走搬送車およびロボットア−ムに教示することを特
徴とするロボットの制御方法。 - 【請求項２】 製造装置や自動棚のロ−ドおよびアンロ
−ド用のステ−ションに沿って配設される軌道上を走行
し前記ステ−ションと荷台との間で搬送物を受け渡しす
る自走搬送車およびロボットア−ムを制御するロボット
の制御装置において、前記軌道以外の領域に停止する予
備の自走搬送車およびロボットア−ムに所定位置に配置
されるとともに前記ステ−ションに疑似する基準ステ−
ションと、各前記ステ−ションの前記搬送物の載置位置
に対応する前記基準ステ−ションの基準位置への前記予
備のロボットア−ムの移動距離を測定する測定手段と、
前記自走搬送車およびロボットア−ムの稼動を平行して
制御するとともに前記測定手段により測定される位置デ
ータを記憶させる制御装置を備えることを特徴とするロ
ボット制御装置。
Priority Applications (3)
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| JP10015699A JP3068546B2 (ja) | 1998-01-28 | 1998-01-28 | ロボットの制御方法及びその装置 |
| KR1019990002792A KR100333520B1 (ko) | 1998-01-28 | 1999-01-28 | 반도체 웨이퍼 생산라인에서의 자동 가이드 비클의 로봇암 제어 방법 |
| US09/238,409 US6278905B1 (en) | 1998-01-28 | 1999-01-28 | Method and system for controlling robot arms of automatic guided vehicles on semiconductor wafer production line |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10015699A JP3068546B2 (ja) | 1998-01-28 | 1998-01-28 | ロボットの制御方法及びその装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11212621A true JPH11212621A (ja) | 1999-08-06 |
| JP3068546B2 JP3068546B2 (ja) | 2000-07-24 |
Family
ID=11896029
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
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| CN111047936A (zh) * | 2019-12-03 | 2020-04-21 | 上海英应机器人科技有限公司 | 一种可变式智能产线实训方法及*** |
| JP2021028094A (ja) * | 2019-08-09 | 2021-02-25 | 緯士登科技股▲分▼有限公司 | 無人搬送車の暗黙的な位置決め補正方法 |
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| DE102012103031A1 (de) | 2012-04-05 | 2013-10-10 | Reis Group Holding Gmbh & Co. Kg | Verfahren zur Bedienung eines Industrieroboters |
| US9581983B2 (en) | 2012-05-29 | 2017-02-28 | Comau Llc | Methods for using an automated guided cart |
| CN103466286B (zh) * | 2013-09-26 | 2015-10-28 | 上海大学 | 滤清器喷涂固化生产线自动移载设备随动定位装置 |
| CN105109951B (zh) * | 2015-09-23 | 2017-11-14 | 上海沪工焊接集团股份有限公司 | 自动流水线装置及控制方法 |
| ES2870507T3 (es) | 2017-11-28 | 2021-10-27 | Comau Spa | Dispositivo modular accesorio para AGV |
| CN109483513A (zh) * | 2019-01-05 | 2019-03-19 | 上海擎刚智能科技有限公司 | 一种轨道及机器人*** |
| US11335578B2 (en) * | 2020-02-13 | 2022-05-17 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | Substrate transfer apparatus and method of measuring positional deviation of substrate |
| CN116994478B (zh) * | 2023-09-21 | 2024-01-02 | 上海果纳半导体技术有限公司 | 一种天车示教方法和示教*** |
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| JPS6130388A (ja) | 1984-07-20 | 1986-02-12 | 株式会社神戸製鋼所 | ロボツト−コンベアライン・システム |
| JP2680298B2 (ja) | 1986-02-19 | 1997-11-19 | 神鋼電機 株式会社 | 無人搬送車搭載ロボツトの位置補正方法 |
| JPS62264883A (ja) | 1986-05-09 | 1987-11-17 | 岩田塗装機工業株式会社 | 工業用ロボツトのテイ−チング方法 |
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-
1998
- 1998-01-28 JP JP10015699A patent/JP3068546B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1999
- 1999-01-28 US US09/238,409 patent/US6278905B1/en not_active Expired - Fee Related
- 1999-01-28 KR KR1019990002792A patent/KR100333520B1/ko not_active IP Right Cessation
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| KR100333520B1 (ko) | 2002-04-25 |
| KR19990068189A (ko) | 1999-08-25 |
| US6278905B1 (en) | 2001-08-21 |
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