JPH0448304A - 自走ロボットの位置補正方法及びその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、ロボットアームが作業ステーションからワー
クを把持し、或いは把持したワークを作業ステーション
に受け渡すようにした自走ロボットにおいて、その自走
ロボットを作業ステーションに対し高精度に位置決めす
るようにした自走ロボットの位置補正方法及びその装置
に関するものである。

〔従来の技術〕

自走ロボットは、無人搬送車とこの上に搭載されたロボ
ットアームとを有し、無人搬送車が作業ステーション位
置に移動したとき、ロボットアームが作業ステーション
内のワークを把持し、或いは把持したワークを作業ステ
ーションに受け渡すようにしている。その際、実際の作
業現場では、走行路面の傾斜やロボットアームの位置・
姿勢の変化によってロボットアームに対する負荷の位置
が移動すると、無人搬送車が傾いたり、また作業ステー
ションでの停止位置の精度が狂ったりするので、無人搬
送車の傾き及び停止位置精度等を考慮する必要があり、
そのため、位置補正手段により自走ロボットと作業ステ
ーションとの相対的位置を所望の精度内に収めることが
できるようにしている。

自走ロボットの位置補正手段の従来技術としては、例え
ば特開昭６０−２３７５０４号公報（以下、第一の従来
技術と云う）、同６２−４９５２１号公報（以下、第二
の従来技術と云う）に示す技術のものがある。

第一の従来技術のものは、予め自走ロボットの無人搬送
車に検出棒が設けられる一方、作業ステーションに基準
面が設けられ、作業ステーションに自走ロボットが移動
したとき、無人搬送車の検出棒を作業ステーションに押
し当てて該検出棒の移動量を計測することにより、作業
ステーションと自走ロボットとの相対的位置のずれ量を
検出し、ずれがあると、そのずれ量を吸収するように自
走ロボットのロボットアームを動作させるように構成し
ている。

第二の従来技術のものは、自走ロボットに視覚センサが
設けられ、自走ロボットが作業ステーションに移動した
とき、視覚センサが作業ステーションにある基準マーク
（或いはワーク）の形状を認識して位置のずれ量を検出
し、ずれがあると、そのずれ量に応じ自走ロボットの位
置を修正するようにしている。

さらに、第三の従来技術としては、自走ロガットに一個
の視覚センサが設けられると共に、作業ステーションに
二個所の基準マークが設けられ、第６図（ｂ）に示すよ
うに、無人搬送車が作業ステーションに移動し、ロボッ
トアームが作業ステーションの基準位置まで移動すると
、−個の視覚センサが一方の基準マークを検出すること
によってロボットアームの一回目の位置補正を行い、そ
の後視覚センサが他方の基準マークを検出することによ
ってロボットアームの二回目の位置補正を行ってワーク
を作業ステーションに供給し、その後該作業ステーショ
ンから別のワークを受け取って元の位置に戻るようにし
ているものもある。

〔発明が解決しようとする課題〕 ところで、上記に示す第一、第二、第三の従来技術のも
のは次の点について配慮されていない。

即ち、第一の従来技術のものは、無人搬送車に取付けら
れた検出棒が自走ロボットと作業ステーションと間の相
対的位置のずれ量を検出すると、ロボットアームの位置
を修正するので、その修正にはロボットアームの機構上
の誤差が加わり、そのため、修正しても１機構上の誤差
分だけ精度にずれが生じるので、位置を高精度に補正し
難い問題がある。

第二の従来技術のものは、視覚センサが自走ロボットの
ロボットアームの手先に取付けられ、視覚センサが無人
搬送車の停止精度をも含む必要があり、十分な位置補正
精度が得られない問題がある。そのため、十分な位置補
正精度を得るために視覚センサの視野を小さくすること
が容易に考えられるが、そのようにした場合、視覚セン
サの視野の範囲内に作業ステーションの基準マークを入
れようとすると、探索時間がかかり過ぎ１位置補正する
までの時間が長くなる問題がある。また、視覚センサが
一個しか設けられていない、ので、無人搬送車の平行度
を高精度に確保することが難しい問題がある。さらに、
自走ロボットが作業ステーションに移動したとき、最初
にロボットアームがワークを持たないで位置補正し、そ
の後ロボットアームがワークを持ってワークの処理動作
を行うので、それだけロボットアームの動作サイクルタ
イムが増大し、作業効率が低下する問題もある。

第６図（ｂ）に示す第三の従来技術のものは、−個の視
覚センサが二個の基準マークを夫々検出してその都度ロ
ボットアームの位置を補正するので、上述の第二の従来
技術と同様に位置補正の時間がかかり過ぎる問題がある
。

本発明の目的は、上記事情に鑑み、自走ロボットと作業
ステーションとの相対的な位置にずれがあっても、その
位置ずれを高精度にかつ確実に補正することができ、以
て作業効率を高め得るようにした自走ロボットの位置補
正方法を提供することにあり５また他の目的は上記方法
を的確に実施し得る自走ロボットの位置補正装置を提供
することにある。

〔課題を解決するだめの手段〕

本発明の位置補正方法においては、無人搬送車が作業ス
テーション位置に停止したとき、その無人搬送車と作業
ステーションとの相対的位置のずれ量を検出し、その検
出したずれ量に応じてロボットアームの動作データを補
正し、次いで、ロボットアームと作業ステーションとの
相対的位置のずれ量を検出し、その検出したずれ量に応
じてロボットアームの動作データを補正することを特徴
としている。

また、本発明の位置補正装置においては、無人搬送車と
固定部との何れか一方に設置した第一の基準マークと、
無人搬送車と固定部との何れか他方に設け、かつ第一の
基準マークと対応する位置に配置した第一の視覚センサ
と、ロボットアームと作業ステーションとの何れか一方
に設置した第二の基準マークと、ロボットアームと作業
ステーションとの何れか他方に設け、かつ第二の第二の
基準マークと対応する位置に配置した第二の視覚センサ
と、無人搬送車が作業ステーション位置に停止した時点
で、二個の第一の視覚センサと夫々対応する基準マーク
との相対的な位置のずれ量を演算すると共に、そのず九
量に基づいてロボットアームの動作データを補正する第
−補正部と、第二の視覚センサと第二の基準マークとの
相対的な位置のずれ量を演算すると共に、そのずれ量に
基づいてロボットアームの動作データを補正する第二補
正部を有することを特徴としている。

〔作用〕

本発明方法では、上述の如く、無人搬送車と作業ステー
ションとの相対的位置のずれ量に応じロボソ１−アーム
の位置を補正し、しかもロボットアームと作業ステーシ
ョンとの相対的位置のす汎量ニ応シロボットアームの位
置を補正するので、第一の従来技術のようにロボットア
ームの機構誤差が加わると云うことがなくなるのに加え
、ロボットアームがワークを把持しているが否かに拘る
ことなく位置補正を行うので、第二の従来技術のように
ロボットアームの動作サイクルタイムが増大するのを抑
えることができる。

さらに、作業ステーションに無人搬送車が移動した時点
で、ロボットアームの一回目の位置補正を行うので、第
三の従来技術のようにロボットアームが作業ステーシミ
ンの基準位置に移動した後に二回の位置補正を夫々行う
ものに比べると、ロボットアームの動作サイクルタイム
を減少させることができ、位置補正を迅速に行うことが
できる。

また本発明装置では、上述の如く、第一の基準マークと
、第一の視覚センサと、第二の基準マークと、第二の視
覚センサと、第−補正部と、第二補正部とを有している
ので、上記方法を的確に実施し得る。

〔実施例〕

以下、本発明の一実施例を第１図乃至第６図により説明
する。第１図は本発明による位置補正方法を実施するた
めの自走ロボットの一実施例を示す概略斜視図、第２図
は作業ステーションを示す要部の斜視図、第３図はロボ
ットアームの要部を示す断面図、第４図は作業ステーシ
ョンに対する自走ロボットの位置の補正を示す説明図、
第５図は補正手段の機能を示すブロック図、第６図（ａ
）は自走ロボットの動作を示すタイムチャートである。

第１図に示す実施例の自走ロボットは、無人搬送車１と
その上に搭載されたロボットアーム２とを有している。

無人搬送車１はワーク３０のストック部（図示せず）と
作業ステーション３との間をガイドレール４によって移
動するようになっている６０ボツトアーム２は例えば三
個の自由度を有する多関節タイプのもので構成され、ワ
ーク３０のストック部に移動してワーク３０を把持し、
そのまま作業ステーション３に移動して該作業ステーシ
ョン３のワーク取込み部２ａにワーク３０を供給し、ま
た作業ステーション３のワーク取出し部２ｂから別のワ
ーク３０を数比し、その数比した別のワーク３０をスト
ック部に供給するようにしており、そのため、ワーク３
０を把持しまたその把持を解除するためのハンド５を手
首の先端に具えている。

作業ステーション３はガイドレール４の途中位置に設置
され、自走ロボットが移動したとき、ロボットアーム２
のハンド５からワーク３０を受け取り、また別のワーク
３ｏをハンド５に受け渡すようにしている。

また、自走ロボットの作業ステーション３への移動時、
その作業ステーション３に対する自走ロボットの位置が
ずれると、その位置のずれ量を補正する位置補正装置（
符示せず）が設けられている。

該位置補正装置は、大別すると、第一の基準マーク６．
６′　と、第一の視覚センサ７．７′と、第二の基準マ
ーク８，８′と、第二の視覚センサ９と、補正手段とを
有している。

第一の基準マーク６．６′は第２図に示すように、作業
ステーション３のマーク取付板３１の上面に適宜の間隔
を持って配設され、例えばドツトタイプのもので表示さ
れている。マーク取付板３１は作業ステーション３にお
いてガイドレール４寄りの側面に固定されている。第一
の視覚センサ７．７′は第１図に示すように、無人搬送
車１において作業ステーション３側の側面部の両側に前
記第一の基準マーク６．６′と対応して夫々取付けられ
、自走ロボットが作業ステーション３の位置に移動した
とき、夫々の視野の範囲内に対応する第一の基準マーク
６．６′を映し出すことによって作業ステーション３に
対する無人搬送車１の位置のずれを検出することができ
るようにしていおり、例えばＴＶカメラで構成されてい
る。

第二の基準マーク８，８′は第２図に示すように、作業
ステーション３の上面においてガイドレール４側の位置
に前記取込み部２ａ、ワーク取出し部２ｂの中心と対応
して配設され、第一の基準マーク６．６′と同様にドツ
トタイプのもので表示されている。第二の視覚センサ９
はロボットアーム２のハンド４に内蔵され、がっ第一の
視覚センサ７．７′と同様にＴＶカメラで構成されてお
り、第二の基準マーク８７１ｉいは８′に対する位置の
ずれを検出するようにしている。

さらに詳しく述入ると、前記第二の視覚センサ９は第３
図（、）及び（ｂ）に示すように、ロボットアーム２の
先端に取付けられた筒状のハンドベース５１−の奥部に
内蔵され、後述する光学系を介し第二の基準マーク９を
映し出せるようにしている。該光学系はハンドベース５
１の内部において、第二の視覚センサ９の前方位置に配
置されたレンズ５２と、該レンズ５２の前方位置に配置
された反射ミラー５３と、ハンドベース５１の反射ミラ
ー５３と対応する外周部に形成した透過窓５４とからな
っている。そして、無人搬送車】が作業ステーション２
に移動したとき、第３図（ｂ）に示すように反射ミラー
５３が透過窓５４を通し第二の基準マーク８　（８’　
）を反射させ、その反射した第二の基準マークがレンズ
５２を介し第二の視覚センサ９に撮像されることにより
、第二の視覚センサ９が作業ステーション３に刻するず
れを検出するようにしている。

なお第３図において、４５はハンドベース５１内でグリ
ッパ４６の先端に取付けられた二個一対のツメであって
、図示しないモータの駐動によって開閉することにより
、ワーク３０の把持或いはへ−ス５１の奥部１こ内蔵さ
れ、後述する光学系を介し第二の基準マーク９を映し出
ぜるようにしている。該光学系はハンドベース５１の内
部において、第二の視覚センサ９の前方位置に配置され
たレンズ５２と、該レンズ５２の前方位置に配置された
反射ミラー５３と、ハンドベース５１の反射ミラー５３
と対応する外周部に形成した透過窓５４とからなってい
る。そして、無人搬送車１が作業ステーション２に移動
したとき、第３図（ｂ）に示すように反射ミラー５３が
透過窓５４を通し第二の基準マークｓ　（ｓ’　）を反
射させ、その反射した第二の基準マークがレンズ５２を
介し第二の視覚センサ９に撮像されることにより、第二
の視覚センサ９が作業ステーション３に対するずれを検
出するようにしている。

なお第３図において、５５はハンドベース５１内でグリ
ッパ５６の先端に取付けられた二個一対のツメであって
１図示しないモータの縦動によって開閉することにより
、ワーク３０の把持或いは把持解除な行うようにしてい
る。５７は第二の視把持解除殻行うようにしている。４
７は第二〇視覚センサ９用のケーブル、４８はツメ４５
と接続されたケーブルである。

一方、前記補正手段は、無人搬送車１の作業ステーショ
ン３への移動時に、第一の視覚センサ７゜７′が第一の
基準マーク６．６′に対するずれ量を検出すると、第−
補正部１０がそのずれ量を求める。例えば、作業ステー
ション３に第４図に示すように無人搬送車１が移動して
停止した場合、無人搬送車１の中心Ｏ′を原点とし、そ
のときの第一の視覚センサ７．７′の視野７ａ、７ａ’
　における第一の基準マーク６．６′の中心座標を夫々
Ｍｌ　（ｘｔ’　＋　ｙ、＋　）　ＨＭ２　（Ｘ２’　
＋　３’ｚ’　）とすれば、第−補正部１０はずれ凰Δ
ＸとΔｙとＯを以下の式から求める。

θ＝ｊａｎ”　Ｙｚ、−Ｙｘ、　（Ｘ％≠Ｘ、′）Ｘ２
−Ｘ。

（ただし、　、　Ｉ　：＝　Ｘ２１のときは平行移動の
み）＼ｙ、＝−ｘ、’ｓ□。θ十ア、’ＣＯ５θ　Ｙｔ
、＝　　Ｘ□′５□ｎ　Ｏ＋　ｙ、’ｃｏｓθ上記の如
く、第−補正部１０がずれｌΔＸとΔｙとθとを求める
と、その求めた値に応じてロボットアーム２の動作デー
タを補正するようにしている。

また前記補正手段は、第一の視覚センサ７，７′の検出
によってロボットアーム２の動作データが補正した後、
ロボットアーム２を第二の基準マーク８　（８’　）に
動作させ、第二の視覚センサ９によって第二の基準マー
ク８　（８’　）に対する位置のずれを検出すると、第
二補正部１１が第二の視覚センサ９の視野の基準位置か
ら第二の基準マーク８　（８’　）の中心座標を計測す
ることにより、ロボットアーム２の作業ステーション３
に対する相対的位置のずれ藍を求め、そのずれ量に応じ
てロボットアーム２の動作データを補正するようにして
いる９ 従って、前記補正手段は、無人搬送車１と作業ステーシ
ョン３との相対的位置のずれ量を求めてそのずれ量に応
してロボットアームの位置を補正する第−補正部１０と
、ロボットアーム２と作業ステーション３との相対的位
置のずれ量を求めてそのずれ量に応じてロボットアーム
２の位置を補正する第二補正部１１とを具えている（第
５図参照）・ 次に実施例の自走ロボットの動作に関連して本発明方法
の一実施例を述べる。

例えばロボットアーム２がワーク３０を把持し、その状
態で無人搬送車１が作業ステーション３まで移動して停
止すると、第６図（ａ）に示すように第一の視覚センサ
７．７′が作業ステーション３の第一の基準マーク６．
６′を検出する。このとき、補正手段の第−補正部１０
がその検出に基づいて無人搬送車ｌと作業ステーション
３との相対的位置のずれ量を求め、そのずれ量に応じて
ロボットアーム２の位置を補正すると、ロボットアーム
２が第６図（、）に示す波形の如く１作業ステーション
３の基準位置まで動作する。

このようにロボットアーム２が作業ステーション３の基
準位置まで動作すると、今度は第二の視覚センサ９が第
６図（ａ）に示す波形の如く動作し１作業ステーション
３の第二の基準マーク８（８′）を検出する。このとき
、補正手段の第二補正部１１がその検出に基づいてロボ
ットアーム２と作業ステーション３との相対的位置のず
れ量を求め、そのずれ量に応じてロボットアーム２の位
置を再び補正する。

そして、補正手段によってロボットアーム２の位置が補
正されると、ロボットアーム２は第６図（、）に示す斜
線の波形の如く動作し、ワーク３０を作業ステーション
３のワーク取込み部２ａに位置決めし、そのワーク３０
の把持を解除することにより取込み部２ａにワークを送
りこむことができる。なお、ロボットアーム２はワーク
３０を取込み部２ａに供給すると、作業ステーション３
の取出し出２ｂから別のワーク３０を取出すように動作
し、無人搬送車１が元の位置に戻ると、これを最初から
繰返し動作する。

このように、本発明方法の実施例では、無人搬送車１と
作業ステーション３との相対的位置のずれ量に応じロボ
ットアーム２の位置を補正し、しかもロボットアーム２
と作業ステーション３との相対的位置のずれ量に応じロ
ボットアーム２の位置を補正するので、第一の従来技術
のようにロボットアームの機構誤差が加わると云うこと
がなく、しかもロボットアーム２がワーク３０を把持し
ているか否かに拘ることなく位置補正を行うので、第二
の従来技術のようにロボットアームの動作サイクルタイ
ムが増大するのを抑えることができる。

また、無人搬送車１と作業ステーション３の相対的位置
のず九量を二個の第一の視覚センサ７．７′に基づいて
求めるので、無人搬送車１の作業ステーション３に対す
る位置ずれが生じても、そのずれを確実にキャンセルす
ることができることから、ロボットアーム２と作業ステ
ーション３のずれの検出視野を狭めてもそのずれ五を確
実にかつ迅速に求めることができる。

さらに、作業ステーション３に無人搬送車１が移動した
時点で、第一の視覚センサ７．７′の検出によってロボ
ットアーム２の一回目の位置補正を行うので、第６図（
ｂ）に示す第三の従来技術のようにロボットアームが作
業ステージ３ンの基準位置に移動した後に二回の位置補
正を夫４行うものに比べると、ロボットアーム２の動作
サイクルタイムを減少させることができ、結果的に八Ｔ
の時間だけ位置補正を迅速に行うことができる。

また、実施例の位置補正装置では、第二の視覚センサ９
がロボットアーム２のハンド５に内蔵されているので、
第二の視覚センサ９がロボットアーム自身と接触ことか
ないばかりでなく、作業ステーション３の周辺のものと
の干渉をも防止することができる。しかも、第二の視覚
センサ９がロボットアーム２に密閉して内蔵されている
ので、ロボットアーム２内で発生した塵埃が外部に漏れ
ることがなくなり、従って、特に半導体製造現場のよう
な室内の洗浄度を維持するクリーンルームに十分に適用
することができる。

なお図示実施例では、ロボットアーム２が作業ステーシ
ョン３のワーク取込み部２ａにワ゛−り３０を供給した
後、その作業ステーション３のワーク取出し部２ｂから
別のワーク３０を取出すようにしたものに適用した例を
示したが２本発明においてはそれに限定されるものでは
なく１作業ステーション３に対しワーク３０の供給と取
出しとの何れか一方を行うものにも利用できるのは勿論
である。また、図示実施例では、第一の基準マーク６．
６′が作業ステーション３に設けられた例を示したが、
作業ステージ３ン３が固定されているので１作業ステー
ション以外の場所、例えば無人搬送車１の走行路面或い
は天井等のような固定部に設け、それを第一の視覚セン
サ７．７′で検出するようにしても同様の効果を得るこ
とができる。

〔発明の効果〕

以上述べたように、本発明の請求項１によれば、無人搬
送車と作業ステーションとの相対的位置のずれ量に応じ
ロボットアームの位置を補正し、またロボットアームと
作業ステーションとの相対的位置のずれ量に応じロボッ
トアームの位置を補正するので、ロボットアームの機構
誤差が加わると云うことがなく、しかもロボットアーム
がワークを把持しているか否かに拘ることなく位置補正
を行うことによりロボットアームの動作サイクルタイム
が増大するのを抑えることができ、位置補正を迅速かつ
正確に行える結果、作業効率を高め得る効果がある。ま
た請求項２によれば、無人搬送車と作業ステーションの
相対的位置のずれ量を二個所に基づいて求めるので、無
人搬送車の作業ステーションに対する位置ずれが生じて
も、そのずれを確実にキャンセルすることができること
から。

ロボットアームと作業ステーションのずれの検出視野を
狭めてもそのずれ量を確実に迅速に求めることができる
効果がある。

請求項３によれば、第一の基準マークと第一の視覚セン
サと第二の基準マークと第二の視覚センサとを有して構
成したので、上記請求項１を的確に実施し得る効果があ
る。また請求項４によれば、第一の基準マーク及び第一
の視覚センサが少なくとも二個からなっているので、上
記請求項２を的確に実施することができ、さらに請求項
５によれば、第二の視覚センサがロボットアームのハン
ドに内蔵したので、第二の視覚センサが他のものと干渉
するのを確実に防止できる効果があり、請求項６によれ
ば、第二の視覚センサが密閉して取付けられているので
、ロボットアーム内の塵埃が外部に漏れることがなく、
室内を汚染するおそれがない効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による位置補正方法を実施するための自
走ロボットの一実施例を示す概略斜視図、第２図は作業
ステーションを示す要部の斜視図、第３図（ａ）及び（
ｂ）はロボットアームのハンドの要部を示す横断面図及
び縦断面図、第４図は作業ステーションに対する自走ロ
ボットの位置の補正を示す説明図、第５図は補正手段の
機能を示すブロック図、第６図（ａ）は自走ロボットの
動作を示すタイムチャート、同図（ｂ）は従来の位置補
正装置を搭載した自走ロボットのタイムチャートである
。 １　・無人搬送車、２・・・ロボットアーム、３・・・
作業ステーション、５　ハンド、６，６′・・・第一の
基準マーク、７，７′　・第一の視覚センサ、８゜８′
・・第二の基準マーク、９・・・第二の視覚センサ、５
１・・ハンドベース、５２・・レンズ、５３・・・反射
ミラー、５４・透過窓。 １−晃へＩ緻遣車 ？−・０庄いット７−へ ５−　ハント“ ７、７’−−°拓−の不し丈センリ ３０−・１７−７ ５−・・ハント” ５Ｉ・−ハ、トヘー人 ５２・・・しン久゛ ５３−・反射ミラー 第１ δ、８− ３０−・ 追走ミー 第二の基準マーク 第二の視覚ｔ＞サ ワーク 第 躬 圀

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、無人搬送車と該無人搬送車に搭載したロボットアー
   ムとを有し、無人搬送車を作業ステーション位置に移動
   させ、ロボットアームが作業ステーションからワークを
   把持し、或いは把持したワークを作業ステーションに受
   け渡すようにした自走ロボットにおいて、 無人搬送車が作業ステーション位置に停止したとき、そ
   の無人搬送車と作業ステーションとの相対的位置のずれ
   量を検出し、その検出したずれ量に応じてロボットアー
   ムの動作データを補正し、次いでロボットアームと作業
   ステーションとの相対的位置のずれ量を検出し、その検
   出したずれ量に応じてロボットアームの動作データを補
   正することを特徴とする自走ロボットの位置補正方法。 ２、請求項１において、無人搬送車が作業ステーション
   位置に停止したとき、その無人搬送車と作業ステーショ
   ンとの相対的位置のずれ量を少なくとも二個所の位置に
   基づいて求めることを特徴とする自走ロボットの位置補
   正方法。 ３、無人搬送車と該無人搬送車に搭載されたロボットア
   ームとを有する自走ロボットにおいて、無人搬送車と固
   定部との何れか一方に設置した第一の基準マークと、無
   人搬送車と固定部との何れか他方に設け、かつ第一の基
   準マークと対応する位置に配置した第一の視覚センサと
   、ロボットアームと作業ステーションとの何れか一方に
   設置した第二の基準マークと、ロボットアームと作業ス
   テーションとの何れか他方に設け、かつ第二の第二の基
   準マークと対応する位置に配置した第二の視覚センサと
   、無人搬送車が作業ステーション位置に停止した時点で
   、二個の第一の視覚センサと夫々対応する基準マークと
   の相対的な位置のずれ量を演算すると共に、そのずれ量
   に基づいてロボッアームの動作データを補正する第一補
   正部と、第二の視覚センサと第二の基準マークとの相対
   的な位置のずれ量を演算すると共に、そのずれ量に基づ
   いてロボットアームの動作データを補正する第二補正部
   を有することを特徴とする自走ロボットの位置補正装置
   。 ４、請求項３において、前記第一の基準マーク及び第一
   の視覚センサは少なくとも二個からなっていることを特
   徴とする自走ロボットの位置補正装置。 ５、請求項３において、前記第二の視覚センサはロボッ
   トアームに内蔵し、ロボットアームの外部にある第二の
   基準マークを撮像し得るように構成したことを特徴とす
   る自走ロボットの位置補正装置。 ６、請求項５において、第二の視覚センサはロボットア
   ームに対し密閉して内蔵されていることを特徴とする自
   走ロボットの位置補正装置。