JPH11183288A - 静電容量型圧力センサユニット - Google Patents
静電容量型圧力センサユニットInfo
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- JPH11183288A JPH11183288A JP34794597A JP34794597A JPH11183288A JP H11183288 A JPH11183288 A JP H11183288A JP 34794597 A JP34794597 A JP 34794597A JP 34794597 A JP34794597 A JP 34794597A JP H11183288 A JPH11183288 A JP H11183288A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 シール部材の使用個数を減らすことができる
静電容量型圧力センサユニットを得る。 【解決手段】 圧力センサ素子３と、コネクタ１２と、
収納ケース４とを有する。圧力センサ素子３は、その第
１の絶縁性基体１の圧力感知面１ａが収納ケース４の底
壁部４ａと対向し、且つ圧力感知面１ａと収納ケース４
の底壁部４ａとの間に流体室７を形成し且つ周壁部４ｂ
との間に大きな隙間６を形成しないように収納ケース４
内に収納する。コネクタ１２のコネクタ本体１３は少な
くともその基部１３ａを収納ケース４内に収納する。圧
力センサ素子３の第２の絶縁性基体２と、コネクタ１２
のコネクタ本体１３の基部１３ａと収納ケース４の周壁
部４ｂとによって囲まれる環状のシール部材収納空２０
間にオーリング２１を配置する。
静電容量型圧力センサユニットを得る。 【解決手段】 圧力センサ素子３と、コネクタ１２と、
収納ケース４とを有する。圧力センサ素子３は、その第
１の絶縁性基体１の圧力感知面１ａが収納ケース４の底
壁部４ａと対向し、且つ圧力感知面１ａと収納ケース４
の底壁部４ａとの間に流体室７を形成し且つ周壁部４ｂ
との間に大きな隙間６を形成しないように収納ケース４
内に収納する。コネクタ１２のコネクタ本体１３は少な
くともその基部１３ａを収納ケース４内に収納する。圧
力センサ素子３の第２の絶縁性基体２と、コネクタ１２
のコネクタ本体１３の基部１３ａと収納ケース４の周壁
部４ｂとによって囲まれる環状のシール部材収納空２０
間にオーリング２１を配置する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、静電容量の変化に
基づいて圧力を検出するタイプの静電容量型圧力センサ
ユニットに関するものである。
基づいて圧力を検出するタイプの静電容量型圧力センサ
ユニットに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図３は、従来のこの種の静電容量型圧力
センサユニットの構成を示したものである。
センサユニットの構成を示したものである。
【０００３】この静電容量型圧力センサユニットは、第
１の絶縁性基体１と第２の絶縁性基体２との対向面に電
極をそれぞれ設けて構成されている圧力センサ素子３を
備えている。この圧力センサ素子３は、金属製の収納ケ
ース４内に収納されている。収納ケース４は、圧力被測
定流体を導入する流体導入口５が形成された底壁部４ａ
と該底壁部４ａに一端が連結された周壁部４ｂとを備え
ていている。
１の絶縁性基体１と第２の絶縁性基体２との対向面に電
極をそれぞれ設けて構成されている圧力センサ素子３を
備えている。この圧力センサ素子３は、金属製の収納ケ
ース４内に収納されている。収納ケース４は、圧力被測
定流体を導入する流体導入口５が形成された底壁部４ａ
と該底壁部４ａに一端が連結された周壁部４ｂとを備え
ていている。
【０００４】収納ケース４の周壁部４ｂ内には、圧力セ
ンサ素子３がその圧力感知面１ａを底壁部４ａと対向さ
せ且つ該周壁部４ｂとの間に大きな隙間６を形成しない
ようにして収納されている。圧力センサ素子３の圧力感
知面１ａと底壁部４ａとの間には、圧力被測定流体が入
る流体室７が設けられている。圧力感知面１ａと底壁部
４ａとの間で周壁部４ｂの内周には、バックアップリン
グ８が配置され、また該バックアップリング８によりバ
ックアップされた状態で流体室６から隙間６を経て圧力
被測定流体が漏れ出るのを防止するオーリング等のシー
ル部材９が配置されている。
ンサ素子３がその圧力感知面１ａを底壁部４ａと対向さ
せ且つ該周壁部４ｂとの間に大きな隙間６を形成しない
ようにして収納されている。圧力センサ素子３の圧力感
知面１ａと底壁部４ａとの間には、圧力被測定流体が入
る流体室７が設けられている。圧力感知面１ａと底壁部
４ａとの間で周壁部４ｂの内周には、バックアップリン
グ８が配置され、また該バックアップリング８によりバ
ックアップされた状態で流体室６から隙間６を経て圧力
被測定流体が漏れ出るのを防止するオーリング等のシー
ル部材９が配置されている。
【０００５】圧力センサ素子３の第２の絶縁性基体２の
表面には、圧力センサ素子３内の対向電極間の静電容量
を検出する集積回路等の電子回路素子１０が配置されて
いる。電子回路素子１０は、第２の絶縁性基体２の表面
に設けられた配線パターンの各電極部に半田付け接続さ
れている。この第２の絶縁性基体２の表面に設けられた
配線パターンには、フレキシブルプリント基板１１の配
線パターンの一端側の各電極部が半田付け接続されてい
る。
表面には、圧力センサ素子３内の対向電極間の静電容量
を検出する集積回路等の電子回路素子１０が配置されて
いる。電子回路素子１０は、第２の絶縁性基体２の表面
に設けられた配線パターンの各電極部に半田付け接続さ
れている。この第２の絶縁性基体２の表面に設けられた
配線パターンには、フレキシブルプリント基板１１の配
線パターンの一端側の各電極部が半田付け接続されてい
る。
【０００６】収納ケース４の周壁部４ｂ内で電子回路素
子１０を包囲して第２の絶縁性基体２の表面には、コネ
クタ１２の絶縁樹脂製のコネクタ本体（コネクタハウジ
ング）１３における筒状の基部１３ａがその端面を当接
して重ねられている。コネクタ本体１３の基部１３ａと
収納ケース４の周壁部４ｂとの間には、金属製の支持リ
ング１４が介在されている。この支持リング１４は、第
２の絶縁性基体２の表面で受けられている。この支持リ
ング１４と収納ケース４の周壁部４ｂとの間には、支持
リング１４の外周の溝に支持されたオーリング等のシー
ル部材１５が介在されてシールがなされている。コネク
タ本体１３の基部１３ａと支持リング１４にも、オーリ
ング等のシール部材１６が介在されてシールがなされて
いる。
子１０を包囲して第２の絶縁性基体２の表面には、コネ
クタ１２の絶縁樹脂製のコネクタ本体（コネクタハウジ
ング）１３における筒状の基部１３ａがその端面を当接
して重ねられている。コネクタ本体１３の基部１３ａと
収納ケース４の周壁部４ｂとの間には、金属製の支持リ
ング１４が介在されている。この支持リング１４は、第
２の絶縁性基体２の表面で受けられている。この支持リ
ング１４と収納ケース４の周壁部４ｂとの間には、支持
リング１４の外周の溝に支持されたオーリング等のシー
ル部材１５が介在されてシールがなされている。コネク
タ本体１３の基部１３ａと支持リング１４にも、オーリ
ング等のシール部材１６が介在されてシールがなされて
いる。
【０００７】コネクタ１２は、コネクタ本体１３の基部
１３ａの外周を収納ケース４の端部４ｄのかしめにより
図示のように押さえることにより収納ケース４に固定さ
れている。コネクタ１２の各コネクタ端子１７は、フレ
キシブルプリント基板１１の配線パターンの他端側の各
電極部を貫通してこれら電極部に半田付け接続されてい
る。
１３ａの外周を収納ケース４の端部４ｄのかしめにより
図示のように押さえることにより収納ケース４に固定さ
れている。コネクタ１２の各コネクタ端子１７は、フレ
キシブルプリント基板１１の配線パターンの他端側の各
電極部を貫通してこれら電極部に半田付け接続されてい
る。
【０００８】このような静電容量型圧力センサユニット
は、流体導入口５を経て気体や液体等の圧力被測定流体
が流体室７に入ると、その圧力が圧力センサ素子３の第
１の絶縁性基体１における圧力感知面１ａに作用し、こ
れにより圧力センサ素子３内の対向電極間の静電容量が
変わり、この静電容量の変化が電子回路素子１０で検出
され、コネクタ１２を経て外部に伝えられるようになっ
ている。このとき流体室７内の流体が漏れ出ないよう
に、圧力センサ素子３と周壁部４ｂとの間の隙間６がシ
ール部材９によりシールされている。また、高い流体圧
力でシール部材９が変形して圧力センサ素子３と周壁部
４ｂとの間の隙間６に入ってシールが破られないように
バックアップリング８でバックアップされている。
は、流体導入口５を経て気体や液体等の圧力被測定流体
が流体室７に入ると、その圧力が圧力センサ素子３の第
１の絶縁性基体１における圧力感知面１ａに作用し、こ
れにより圧力センサ素子３内の対向電極間の静電容量が
変わり、この静電容量の変化が電子回路素子１０で検出
され、コネクタ１２を経て外部に伝えられるようになっ
ている。このとき流体室７内の流体が漏れ出ないよう
に、圧力センサ素子３と周壁部４ｂとの間の隙間６がシ
ール部材９によりシールされている。また、高い流体圧
力でシール部材９が変形して圧力センサ素子３と周壁部
４ｂとの間の隙間６に入ってシールが破られないように
バックアップリング８でバックアップされている。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな構造の従来の静電容量型圧力センサユニットでは、
流体室７から隙間６を経て圧力被測定流体が漏れ出るの
を防止するためのシール部材９と、外部からコネクタ本
体１３における基部１３ａと収納ケース４の周壁部４ｂ
の間を通って水等が入らないようにするためのシール部
材１５，１６とが用いられているので、シール部材の使
用個数が多くなり、コストアップの原因となる問題点が
あった。
うな構造の従来の静電容量型圧力センサユニットでは、
流体室７から隙間６を経て圧力被測定流体が漏れ出るの
を防止するためのシール部材９と、外部からコネクタ本
体１３における基部１３ａと収納ケース４の周壁部４ｂ
の間を通って水等が入らないようにするためのシール部
材１５，１６とが用いられているので、シール部材の使
用個数が多くなり、コストアップの原因となる問題点が
あった。
【００１０】また、流体室７内で圧力センサ素子３の第
１の絶縁性基体１における圧力感知面１ａと、収納ケー
ス４の底壁部４ａとの間にシール部材９を配置する従来
の構造では、流体室７内で圧力感知面１ａに急激に大き
な圧力が直交する向きで作用した場合、該圧力感知面１
ａにはシール部材９から離れてシールが破られる方向の
力が作用する問題点があった。
１の絶縁性基体１における圧力感知面１ａと、収納ケー
ス４の底壁部４ａとの間にシール部材９を配置する従来
の構造では、流体室７内で圧力感知面１ａに急激に大き
な圧力が直交する向きで作用した場合、該圧力感知面１
ａにはシール部材９から離れてシールが破られる方向の
力が作用する問題点があった。
【００１１】本発明の目的は、シール部材の使用個数を
減らすことができる静電容量型圧力センサユニットを提
供することにある。
減らすことができる静電容量型圧力センサユニットを提
供することにある。
【００１２】本発明の他の目的は、流体室内で圧力感知
面に急激に大きな圧力が直交する向きで作用してもシー
ルが破られるのを防止できる静電容量型圧力センサユニ
ットを提供することにある。
面に急激に大きな圧力が直交する向きで作用してもシー
ルが破られるのを防止できる静電容量型圧力センサユニ
ットを提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明で改良の対象とし
ている静電容量型圧力センサユニットは、圧力被測定流
体の圧力を検出する圧力センサ素子を備えている。この
圧力センサ素子は、表面に電極を有し裏面が圧力感知面
となる第１の絶縁性基体と該第１の絶縁性基体の電極と
所定の間隔を開けて対向する電極を有して第１の絶縁性
基体と組み合わされる第２の絶縁性基体とからなってい
る。また、この圧力センサ素子を収納する収納ケースを
備えている。この収納ケースは、圧力被測定流体を導入
する流体導入口が形成された底壁部と該底壁部に一端が
連結された周壁部とを備えている。この収納ケース内に
は圧力センサ素子が、底壁部と対向し且つ周壁部との間
に大きな隙間を形成しないように、しかも圧力センサ素
子の圧力感知面と底壁部との間に圧力被測定流体が入る
流体室を形成するように収納されている。また収納ケー
ス内には、流体室の流体が圧力センサ素子と収納ケース
の隙間を通して漏れ出るのを防止するシール部材が設け
られている。さらに、この収納ケース内には、コネクタ
の絶縁樹脂製のコネクタ本体における少なくとも基部が
収容されて、圧力センサ素子の第２の絶縁性基体の表面
に接触させられている。
ている静電容量型圧力センサユニットは、圧力被測定流
体の圧力を検出する圧力センサ素子を備えている。この
圧力センサ素子は、表面に電極を有し裏面が圧力感知面
となる第１の絶縁性基体と該第１の絶縁性基体の電極と
所定の間隔を開けて対向する電極を有して第１の絶縁性
基体と組み合わされる第２の絶縁性基体とからなってい
る。また、この圧力センサ素子を収納する収納ケースを
備えている。この収納ケースは、圧力被測定流体を導入
する流体導入口が形成された底壁部と該底壁部に一端が
連結された周壁部とを備えている。この収納ケース内に
は圧力センサ素子が、底壁部と対向し且つ周壁部との間
に大きな隙間を形成しないように、しかも圧力センサ素
子の圧力感知面と底壁部との間に圧力被測定流体が入る
流体室を形成するように収納されている。また収納ケー
ス内には、流体室の流体が圧力センサ素子と収納ケース
の隙間を通して漏れ出るのを防止するシール部材が設け
られている。さらに、この収納ケース内には、コネクタ
の絶縁樹脂製のコネクタ本体における少なくとも基部が
収容されて、圧力センサ素子の第２の絶縁性基体の表面
に接触させられている。
【００１４】本発明に係る静電容量型圧力センサユニッ
トでは、圧力センサ素子の第２の絶縁性基体と、コネク
タのコネクタ本体の基部と、収納ケースの周壁部とによ
って囲まれる環状のシール部材収納空間が形成されてい
る。シール部材は、このシール部材収納空間内に収納さ
れて第２の絶縁性基体、コネクタ本体の基部及び収納ケ
ースの周壁部に接触するオーリングからなっている。な
お、本発明で言うオーリングとは、横断面形状が円形に
限定されるものではなく、横断面形状が非円形のものも
含む。
トでは、圧力センサ素子の第２の絶縁性基体と、コネク
タのコネクタ本体の基部と、収納ケースの周壁部とによ
って囲まれる環状のシール部材収納空間が形成されてい
る。シール部材は、このシール部材収納空間内に収納さ
れて第２の絶縁性基体、コネクタ本体の基部及び収納ケ
ースの周壁部に接触するオーリングからなっている。な
お、本発明で言うオーリングとは、横断面形状が円形に
限定されるものではなく、横断面形状が非円形のものも
含む。
【００１５】このような構造にすると、流体室側のシー
ルと、コネクタ本体，収納ケース間側のシールとを兼用
でき、シール部材の使用個数を減らすことができる。ま
た、流体室内で圧力感知面に圧力被測定流体により急激
に大きな圧力が直交する向きで作用しても、圧力が作用
する圧力感知面とは反対側にシール部材が配置されてい
るので、圧力感知面に作用する圧力でシールが破られる
のを防止できる。
ルと、コネクタ本体，収納ケース間側のシールとを兼用
でき、シール部材の使用個数を減らすことができる。ま
た、流体室内で圧力感知面に圧力被測定流体により急激
に大きな圧力が直交する向きで作用しても、圧力が作用
する圧力感知面とは反対側にシール部材が配置されてい
るので、圧力感知面に作用する圧力でシールが破られる
のを防止できる。
【００１６】次に、この静電容量型圧力センサユニット
のより具体的構成について説明する。この場合で改良の
対象としている静電容量型圧力センサユニットにおける
圧力センサ素子は、表面に電極を有し裏面が圧力感知面
となる第１の絶縁性基体と、該第１の絶縁性基体の電極
と所定の間隔を開けて対向する電極を裏面に有して第１
の絶縁性基体と組み合わされる第２の絶縁性基体とから
なっている。コネクタは、絶縁樹脂製のコネクタ本体の
基部の端面が圧力センサ素子の第２の絶縁性基体の表面
と接触するように配置されている。金属製の収納ケース
は、圧力被測定流体を導入する流体導入口が形成された
底壁部と、該底壁部に一端が連結された周壁部とを備え
ている。圧力センサ素子は、その第１の絶縁性基体の圧
力感知面が底壁部と対向し且つ該周壁部との間に大きな
隙間を形成しないように収納ケース内に収納されてい
る。また、コネクタ本体はその基部が収納され且つ収納
ケースの周壁部の端部に施されるかしめ加工によりコネ
クタ本体はその基部の抜け止めが図られている。圧力セ
ンサ素子の第１の絶縁性基体の圧力感知面と収納ケース
の底壁部との間には、圧力被測定流体が入る流体室が形
成されている。圧力センサ素子と収納ケースの周壁部と
の間の隙間を通して流体室の流体が漏れ出るのを防止す
るシール部材が設けられている。
のより具体的構成について説明する。この場合で改良の
対象としている静電容量型圧力センサユニットにおける
圧力センサ素子は、表面に電極を有し裏面が圧力感知面
となる第１の絶縁性基体と、該第１の絶縁性基体の電極
と所定の間隔を開けて対向する電極を裏面に有して第１
の絶縁性基体と組み合わされる第２の絶縁性基体とから
なっている。コネクタは、絶縁樹脂製のコネクタ本体の
基部の端面が圧力センサ素子の第２の絶縁性基体の表面
と接触するように配置されている。金属製の収納ケース
は、圧力被測定流体を導入する流体導入口が形成された
底壁部と、該底壁部に一端が連結された周壁部とを備え
ている。圧力センサ素子は、その第１の絶縁性基体の圧
力感知面が底壁部と対向し且つ該周壁部との間に大きな
隙間を形成しないように収納ケース内に収納されてい
る。また、コネクタ本体はその基部が収納され且つ収納
ケースの周壁部の端部に施されるかしめ加工によりコネ
クタ本体はその基部の抜け止めが図られている。圧力セ
ンサ素子の第１の絶縁性基体の圧力感知面と収納ケース
の底壁部との間には、圧力被測定流体が入る流体室が形
成されている。圧力センサ素子と収納ケースの周壁部と
の間の隙間を通して流体室の流体が漏れ出るのを防止す
るシール部材が設けられている。
【００１７】このような構成の静電容量型圧力センサユ
ニットの場合、コネクタ本体の基部にはその端面と外周
面との間に、端面に向かうに従って縮径する環状のテー
パ面が形成されている。コネクタ本体の基部のテーパ面
と収納ケースの周壁部と圧力センサ素子の第２の絶縁性
基体との間に、環状のシール部材収納空間が形成されて
いる。シール部材は、このシール部材収納空間内に収納
されて環状のテーパ面、第２の絶縁性基体及び収納ケー
スの周壁部の内面とに接触するオーリングからなってい
る。
ニットの場合、コネクタ本体の基部にはその端面と外周
面との間に、端面に向かうに従って縮径する環状のテー
パ面が形成されている。コネクタ本体の基部のテーパ面
と収納ケースの周壁部と圧力センサ素子の第２の絶縁性
基体との間に、環状のシール部材収納空間が形成されて
いる。シール部材は、このシール部材収納空間内に収納
されて環状のテーパ面、第２の絶縁性基体及び収納ケー
スの周壁部の内面とに接触するオーリングからなってい
る。
【００１８】このような構造にすると、オーリングから
なるシール部材を、収納ケース内で、圧力センサ素子の
第２の絶縁性基体の裏面の圧力感知面とは反対側の第２
の絶縁性基体の表面側の外周に容易に配置することがで
きる。このため、流体室内で圧力センサ素子の圧力感知
面に圧力被測定流体により急激に大きな圧力が直交する
向きで作用してもシールが破られるのを防止することが
できる。
なるシール部材を、収納ケース内で、圧力センサ素子の
第２の絶縁性基体の裏面の圧力感知面とは反対側の第２
の絶縁性基体の表面側の外周に容易に配置することがで
きる。このため、流体室内で圧力センサ素子の圧力感知
面に圧力被測定流体により急激に大きな圧力が直交する
向きで作用してもシールが破られるのを防止することが
できる。
【００１９】このような静電容量型圧力センサユニット
では、圧力センサ素子の第２の絶縁性基体の表面と該第
２の絶縁性基体の外周面との間には、該第２の絶縁性基
体の表面に向かうに従って縮径する環状のテーパ面が形
成されていることが好ましい。このようにすると、流体
室側からシール部材に作用する圧力被測定流体の圧力で
該シール部材を、該第２の絶縁性基体のテーパ面と、コ
ネクタ本体の基部のテーパ面と、収納ケースの周壁部の
内面とに良好に接触させて、シールを確実に行うことが
できる。
では、圧力センサ素子の第２の絶縁性基体の表面と該第
２の絶縁性基体の外周面との間には、該第２の絶縁性基
体の表面に向かうに従って縮径する環状のテーパ面が形
成されていることが好ましい。このようにすると、流体
室側からシール部材に作用する圧力被測定流体の圧力で
該シール部材を、該第２の絶縁性基体のテーパ面と、コ
ネクタ本体の基部のテーパ面と、収納ケースの周壁部の
内面とに良好に接触させて、シールを確実に行うことが
できる。
【００２０】また、シール部材収納空間内には、コネク
タ本体の基部に形成された環状のテーパ面と収納ケース
の周壁部の内面とに接触して、コネクタ本体の基部の外
周面と収納ケースの周壁部の内面との間に形成される隙
間にオーリングが入り込むのを阻止するバックアップリ
ングを収納することが好ましい。このようにすると、流
体室側から圧力被測定流体の大きな圧力が作用しても、
コネクタ本体の基部の外周面と収納ケースの周壁部の内
面との間に形成される隙間にオーリングが入り込んでシ
ールが破られるのを確実に防止することができる。
タ本体の基部に形成された環状のテーパ面と収納ケース
の周壁部の内面とに接触して、コネクタ本体の基部の外
周面と収納ケースの周壁部の内面との間に形成される隙
間にオーリングが入り込むのを阻止するバックアップリ
ングを収納することが好ましい。このようにすると、流
体室側から圧力被測定流体の大きな圧力が作用しても、
コネクタ本体の基部の外周面と収納ケースの周壁部の内
面との間に形成される隙間にオーリングが入り込んでシ
ールが破られるのを確実に防止することができる。
【００２１】
【発明の実施の形態】図１は、本発明に係る静電容量型
圧力センサユニットにおける実施の形態の第１例の縦断
面図を示したものである。
圧力センサユニットにおける実施の形態の第１例の縦断
面図を示したものである。
【００２２】この静電容量型圧力センサユニットで、圧
力被測定流体の圧力を検出するために用いている圧力セ
ンサ素子３は、内向きとなっている表面に図示しないが
電極を有し裏面が圧力感知面１ａとなっているセラミッ
ク製で厚みが0.4 〜0.8mm 程度の第１の絶縁性基体１
と、該第１の絶縁性基体１の電極と所定の間隔を開けて
対向する図示しない電極を裏面に有して第１の絶縁性基
体１と組み合わされるセラミック製の第２の絶縁性基体
２とで構成されている。この圧力センサ素子３内の対向
電極の間隔が圧力感知面１ａに作用する圧力により可変
し、圧力変化が静電容量の変化として現れるようになっ
ている。
力被測定流体の圧力を検出するために用いている圧力セ
ンサ素子３は、内向きとなっている表面に図示しないが
電極を有し裏面が圧力感知面１ａとなっているセラミッ
ク製で厚みが0.4 〜0.8mm 程度の第１の絶縁性基体１
と、該第１の絶縁性基体１の電極と所定の間隔を開けて
対向する図示しない電極を裏面に有して第１の絶縁性基
体１と組み合わされるセラミック製の第２の絶縁性基体
２とで構成されている。この圧力センサ素子３内の対向
電極の間隔が圧力感知面１ａに作用する圧力により可変
し、圧力変化が静電容量の変化として現れるようになっ
ている。
【００２３】このような圧力センサ素子３は、金属製の
収納ケース４内に収納されている。収納ケース４は、圧
力被測定流体を導入する流体導入口５が形成された底壁
部４ａと、該底壁部４ａに一端が連結された周壁部４ｂ
と、流体導入口５を包囲して底壁部４ａの中央に連設さ
れた筒部４ｃとを備えていている。このような収納ケー
ス４の周壁部４ｂ内には、圧力センサ素子３がその第１
の絶縁性基体１の圧力感知面１ａが底壁部４ａと対向し
且つ周壁部４ｂとの間に大きな隙間６を形成しないよう
に収納されている。また、圧力センサ素子３の第１の絶
縁性基体１の圧力感知面１ａと収納ケース４の底壁部４
ａとの間には、圧力被測定流体が入る流体室７が形成さ
れている。この流体室７は、第１の絶縁性基体１の圧力
感知面１ａに対向する収納ケース４の底壁部４ａの面を
窪ませることにより形成されている。
収納ケース４内に収納されている。収納ケース４は、圧
力被測定流体を導入する流体導入口５が形成された底壁
部４ａと、該底壁部４ａに一端が連結された周壁部４ｂ
と、流体導入口５を包囲して底壁部４ａの中央に連設さ
れた筒部４ｃとを備えていている。このような収納ケー
ス４の周壁部４ｂ内には、圧力センサ素子３がその第１
の絶縁性基体１の圧力感知面１ａが底壁部４ａと対向し
且つ周壁部４ｂとの間に大きな隙間６を形成しないよう
に収納されている。また、圧力センサ素子３の第１の絶
縁性基体１の圧力感知面１ａと収納ケース４の底壁部４
ａとの間には、圧力被測定流体が入る流体室７が形成さ
れている。この流体室７は、第１の絶縁性基体１の圧力
感知面１ａに対向する収納ケース４の底壁部４ａの面を
窪ませることにより形成されている。
【００２４】収納ケース４の周壁部４ｂ内で圧力センサ
素子３の第２の絶縁性基体２の表面には、該圧力センサ
素子３内の対向電極間の静電容量を検出するＣＭＯＳＩ
Ｃ等からなる電子回路素子１０が配置されている。この
電子回路素子１０は、第２の絶縁性基体２の表面に設け
られた図示しない配線パターンに半田付け接続されてい
る。この第２の絶縁性基体２の表面に設けられた配線パ
ターンには、フレキシブルプリント基板１１の配線パタ
ーン中の電極部が半田付け接続されている。これにより
電子回路素子１０の各電極は、フレキシブルプリント基
板１１を介してコネクタ１２の各コネクタ端子１７に接
続されている。即ち、コネクタ１２の各コネクタ端子１
７は、フレキシブルプリント基板１１の配線パターンの
他端側の各電極部を貫通してこれら電極部に半田付け接
続されている。
素子３の第２の絶縁性基体２の表面には、該圧力センサ
素子３内の対向電極間の静電容量を検出するＣＭＯＳＩ
Ｃ等からなる電子回路素子１０が配置されている。この
電子回路素子１０は、第２の絶縁性基体２の表面に設け
られた図示しない配線パターンに半田付け接続されてい
る。この第２の絶縁性基体２の表面に設けられた配線パ
ターンには、フレキシブルプリント基板１１の配線パタ
ーン中の電極部が半田付け接続されている。これにより
電子回路素子１０の各電極は、フレキシブルプリント基
板１１を介してコネクタ１２の各コネクタ端子１７に接
続されている。即ち、コネクタ１２の各コネクタ端子１
７は、フレキシブルプリント基板１１の配線パターンの
他端側の各電極部を貫通してこれら電極部に半田付け接
続されている。
【００２５】収納ケース４の周壁部４ｂ内で電子回路素
子１０を包囲して第２の絶縁性基体２の外面には、コネ
クタ１２の絶縁樹脂製のコネクタ本体１３の筒状の基部
１３ａの端面が重ねられている。コネクタ本体１３の基
部１３ａの外周は、図３に示した支持リング１５を介在
させないで、収納ケース４の周壁部４ｂの内面に接触す
るようにして配置されている。コネクタ１２は、コネク
タ本体１３の基部１３ａの外周を収納ケース４の端部４
ｃのかしめにより収納ケース４に固定されている。
子１０を包囲して第２の絶縁性基体２の外面には、コネ
クタ１２の絶縁樹脂製のコネクタ本体１３の筒状の基部
１３ａの端面が重ねられている。コネクタ本体１３の基
部１３ａの外周は、図３に示した支持リング１５を介在
させないで、収納ケース４の周壁部４ｂの内面に接触す
るようにして配置されている。コネクタ１２は、コネク
タ本体１３の基部１３ａの外周を収納ケース４の端部４
ｃのかしめにより収納ケース４に固定されている。
【００２６】コネクタ本体１３の基部１３ａの端面に対
向する圧力センサ素子２の第２の絶縁性基体２の表面２
ａと外周面２ｂとがなす外周側の周縁部には、外周面２
ｂ側から表面２ａに向かうに従って縮径する環状のテー
パ面１８が形成されている。また、第２の絶縁性基体２
の表面２ａに対向するコネクタ本体１３の基部１３ａの
端面１３a1と外周面１３a2とがなす外周側の周縁部に
は、外周面１３a2側から端面１３a1に向かうに従って縮
径する環状のテーパ面１９がテーパ面１８に対向させて
形成されている。これらテーパ面１８，１９と収納ケー
ス４の周壁部４ｂとの間に環状のシール部材収納空間２
０が形成されている。このシール部材収納空間２０に
は、テーパ面１８，１９と収納ケース４の周壁部４ｂの
内面とに接触させてシール部材としてのオーリング２１
が配置されている。
向する圧力センサ素子２の第２の絶縁性基体２の表面２
ａと外周面２ｂとがなす外周側の周縁部には、外周面２
ｂ側から表面２ａに向かうに従って縮径する環状のテー
パ面１８が形成されている。また、第２の絶縁性基体２
の表面２ａに対向するコネクタ本体１３の基部１３ａの
端面１３a1と外周面１３a2とがなす外周側の周縁部に
は、外周面１３a2側から端面１３a1に向かうに従って縮
径する環状のテーパ面１９がテーパ面１８に対向させて
形成されている。これらテーパ面１８，１９と収納ケー
ス４の周壁部４ｂとの間に環状のシール部材収納空間２
０が形成されている。このシール部材収納空間２０に
は、テーパ面１８，１９と収納ケース４の周壁部４ｂの
内面とに接触させてシール部材としてのオーリング２１
が配置されている。
【００２７】このような構造にすると、流体室７側のシ
ールと、コネクタ本体１３，収納ケース１４間側のシー
ルとをオーリング２１で兼用でき、シール部材の使用個
数を減らすことができる。また、流体室７内で圧力感知
面１ａに圧力被測定流体により急激に大きな圧力が直交
する向きで作用しても、圧力が作用する圧力感知面１ａ
とは反対側にシール部材としてのオーリング２１が配置
されているので、圧力感知面１ａに作用する圧力でシー
ルが破られるのを防止できる。
ールと、コネクタ本体１３，収納ケース１４間側のシー
ルとをオーリング２１で兼用でき、シール部材の使用個
数を減らすことができる。また、流体室７内で圧力感知
面１ａに圧力被測定流体により急激に大きな圧力が直交
する向きで作用しても、圧力が作用する圧力感知面１ａ
とは反対側にシール部材としてのオーリング２１が配置
されているので、圧力感知面１ａに作用する圧力でシー
ルが破られるのを防止できる。
【００２８】また、シール部材収納空間２０が第２の絶
縁性基体２に設けられたテーパ面１８と、コネクタ本体
１３の基部１３ａに設けられたテーパ面１９と、収納ケ
ース４の周壁部４ｂの内面とにより形成されているの
で、流体室７側からシール部材としてのオーリング２１
に作用する圧力被測定流体の圧力で該オーリング２１
を、該第２の絶縁性基体２のテーパ面１８と、コネクタ
本体１３の基部１３ａのテーパ面１９と、収納ケース４
の周壁部４ｂの内面とに良好に接触させて、シールを確
実に行うことができる。
縁性基体２に設けられたテーパ面１８と、コネクタ本体
１３の基部１３ａに設けられたテーパ面１９と、収納ケ
ース４の周壁部４ｂの内面とにより形成されているの
で、流体室７側からシール部材としてのオーリング２１
に作用する圧力被測定流体の圧力で該オーリング２１
を、該第２の絶縁性基体２のテーパ面１８と、コネクタ
本体１３の基部１３ａのテーパ面１９と、収納ケース４
の周壁部４ｂの内面とに良好に接触させて、シールを確
実に行うことができる。
【００２９】図２は、本発明に係る静電容量型圧力セン
サユニットにおける実施の形態の第２例の要部縦断面図
を示したものである。なお、前述した図１と対応する部
分には、同一符号を付けて示している。
サユニットにおける実施の形態の第２例の要部縦断面図
を示したものである。なお、前述した図１と対応する部
分には、同一符号を付けて示している。
【００３０】この静電容量型圧力センサユニットでは、
シール部材収納空間２０内には、コネクタ本体１３の基
部１３ａに形成された環状のテーパ面１８と収納ケース
４の周壁部４ｂの内面とに接触して、コネクタ本体１３
の基部１３ａの外周面１３a2と収納ケース４の周壁部４
ｂの内面との間に形成される隙間にオーリング２１が入
り込むのを阻止するバックアップリング２２が収納され
ている。その他の構成は、図１に示す第１例と同様であ
る。
シール部材収納空間２０内には、コネクタ本体１３の基
部１３ａに形成された環状のテーパ面１８と収納ケース
４の周壁部４ｂの内面とに接触して、コネクタ本体１３
の基部１３ａの外周面１３a2と収納ケース４の周壁部４
ｂの内面との間に形成される隙間にオーリング２１が入
り込むのを阻止するバックアップリング２２が収納され
ている。その他の構成は、図１に示す第１例と同様であ
る。
【００３１】このようにバックアップリング２２を設け
ると、流体室７側から圧力被測定流体の大きな圧力が作
用しても、コネクタ本体１３の基部１３ａの外周面１３
a2と収納ケース４の周壁部４ｂの内面との間に形成され
る隙間２３にオーリング２１が入り込んでシールが破ら
れるのを確実に防止することができる。
ると、流体室７側から圧力被測定流体の大きな圧力が作
用しても、コネクタ本体１３の基部１３ａの外周面１３
a2と収納ケース４の周壁部４ｂの内面との間に形成され
る隙間２３にオーリング２１が入り込んでシールが破ら
れるのを確実に防止することができる。
【００３２】
【発明の効果】本発明に係る静電容量型圧力センサユニ
ットでは、圧力センサ素子の第２の絶縁性基体と、コネ
クタのコネクタ本体の基部と、収納ケースの周壁部とに
よって囲まれる環状のシール部材収納空間が形成し、こ
のシール部材収納空間内にシール部材を収納して第２の
絶縁性基体、コネクタ本体の基部及び収納ケースの周壁
部に接触させているので、流体室側のシールと、コネク
タ本体，収納ケース間側のシールとを兼用でき、シール
部材の使用個数を減らすことができる。また、流体室内
で圧力感知面に圧力被測定流体により急激に大きな圧力
が直交する向きで作用しても、圧力が作用する圧力感知
面とは反対側にシール部材が配置されているので、圧力
感知面に作用する圧力でシールが破られるのを防止する
ことができる。
ットでは、圧力センサ素子の第２の絶縁性基体と、コネ
クタのコネクタ本体の基部と、収納ケースの周壁部とに
よって囲まれる環状のシール部材収納空間が形成し、こ
のシール部材収納空間内にシール部材を収納して第２の
絶縁性基体、コネクタ本体の基部及び収納ケースの周壁
部に接触させているので、流体室側のシールと、コネク
タ本体，収納ケース間側のシールとを兼用でき、シール
部材の使用個数を減らすことができる。また、流体室内
で圧力感知面に圧力被測定流体により急激に大きな圧力
が直交する向きで作用しても、圧力が作用する圧力感知
面とは反対側にシール部材が配置されているので、圧力
感知面に作用する圧力でシールが破られるのを防止する
ことができる。
【図１】本発明に係る静電容量型圧力センサユニットに
おける実施の形態の第１例の縦断面図である。
おける実施の形態の第１例の縦断面図である。
【図２】本発明に係る静電容量型圧力センサユニットに
おける実施の形態の第２例の要部縦断面図である。
おける実施の形態の第２例の要部縦断面図である。
【図３】従来の静電容量型圧力センサユニットの縦断面
図である。
図である。
１ 第１の絶縁性基体 １ａ 圧力感知面 ２ 第２の絶縁性基体 ２ａ 表面 ２ｂ 外周面 ３ 圧力センサ素子 ４ 収納ケース ４ａ 底壁部 ４ｂ 周壁部 ５ 流体導入口 ６ 隙間 ７ 流体室 ８ バックアップリング ９ シール部材 １０ 電子回路素子 １１ フレキシブルプリント基板 １２ コネクタ １３ コネクタ本体（コネクタハウジング） １３ａ 基部 １３a1 端面 １３a2 外周面 １４ 支持リング １５ シール部材 １６ シール部材 １７ コネクタ端子 １８，１９ テーパ面 ２０ シール部材収納空間 ２１ オーリング ２２ バックアップリング ２３ 隙間
Claims (4)
- 【請求項１】 表面に電極を有し裏面が圧力感知面とな
る第１の絶縁性基体と該第１の絶縁性基体の前記電極と
所定の間隔を開けて対向する電極を有して前記第１の絶
縁性基体と組み合わされる第２の絶縁性基体とからなる
圧力センサ素子と、 前記圧力センサ素子の前記第２の絶縁性基体と接触する
ように配置される絶縁樹脂製のコネクタ本体を有するコ
ネクタと、 圧力被測定流体を導入する流体導入口が形成された底壁
部と該底壁部に一端が連結された周壁部とを備え、前記
圧力感知面が前記底壁部と対向し且つ前記周壁部との間
に大きな隙間を形成しないように前記圧力センサ素子を
収納し、前記コネクタ本体の少なくとも基部を収納し、
しかも前記圧力センサ素子の前記圧力感知面と前記底壁
部との間に前記圧力被測定流体が入る流体室を形成でき
るように構成された収納ケースと、 前記隙間を通して前記流体室の流体が漏れ出るのを防止
するシール部材とを具備してなる静電容量型圧力センサ
ユニットであって、 前記圧力センサ素子の前記第２の絶縁性基体と、前記コ
ネクタの前記コネクタ本体の前記基部と前記収納ケース
の前記周壁部とによって囲まれる環状のシール部材収納
空間が形成され、 前記シール部材は前記シール部材収納空間内に収納され
て前記第２の絶縁性基体、前記コネクタ本体の前記基部
及び前記収納ケースの前記周壁部に接触するオーリング
からなることを特徴とする静電容量型圧力センサユニッ
ト。 - 【請求項２】 表面に電極を有し裏面が圧力感知面とな
る第１の絶縁性基体と該第１の絶縁性基体の前記電極と
所定の間隔を開けて対向する電極を裏面に有して前記第
１の絶縁性基体と組み合わされる第２の絶縁性基体とか
らなる圧力センサ素子と、 基部の端面が前記圧力センサ素子の前記第２の絶縁性基
体の表面と接触するように配置される絶縁樹脂製のコネ
クタ本体を有するコネクタと、 圧力被測定流体を導入する流体導入口が形成された底壁
部と該底壁部に一端が連結された周壁部とを備え、前記
圧力感知面が前記底壁部と対向し且つ前記周壁部との間
に大きな隙間を形成しないように前記圧力センサ素子を
収納し、前記コネクタ本体の前記基部を収納し且つ前記
周壁部の端部に施されるかしめ加工により前記コネクタ
本体の前記基部の抜け止めを図り、しかも前記圧力セン
サ素子の前記圧力感知面と前記底壁部との間に前記圧力
被測定流体が入る流体室を形成できるように構成された
金属製の収納ケースと、 前記隙間を通して前記流体室の流体が漏れ出るのを防止
するシール部材とを具備してなる静電容量型圧力センサ
ユニットであって、 前記コネクタ本体の前記基部には前記端面と前記基部の
外周面との間に前記端面に向かうに従って縮径する環状
のテーパ面が形成されて、前記テーパ面と前記収納ケー
スの前記周壁部と前記圧力センサ素子の前記第２の絶縁
性基体との間に環状のシール部材収納空間が形成され、 前記シール部材は前記シール部材収納空間内に収納され
て前記環状のテーパ面、前記第２の絶縁性基体及び前記
収納ケースの前記周壁部の内面とに接触するオーリング
からなることを特徴とする静電容量型圧力センサユニッ
ト。 - 【請求項３】 前記圧力センサ素子の前記第２の絶縁性
基体の前記表面と前記第２の絶縁性基体の外周面との間
には前記表面に向かうに従って縮径する環状のテーパ面
が形成されている請求項２に記載の静電容量型圧力セン
サユニット。 - 【請求項４】 前記シール部材収納空間内には、前記コ
ネクタ本体の前記基部に形成された前記環状のテーパ面
と前記収納ケースの前記周壁部の前記内面とに接触し
て、前記コネクタ本体の前記基部の前記外周面と前記収
納ケースの前記周壁部の前記内面との間に形成される隙
間に前記オーリングが入り込むのを阻止するバックアッ
プリングが収納されていることを特徴とする請求項２ま
たは３に記載の静電容量型圧力センサユニット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34794597A JPH11183288A (ja) | 1997-12-17 | 1997-12-17 | 静電容量型圧力センサユニット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34794597A JPH11183288A (ja) | 1997-12-17 | 1997-12-17 | 静電容量型圧力センサユニット |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11183288A true JPH11183288A (ja) | 1999-07-09 |
Family
ID=18393681
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34794597A Withdrawn JPH11183288A (ja) | 1997-12-17 | 1997-12-17 | 静電容量型圧力センサユニット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11183288A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004101515A (ja) * | 2002-07-10 | 2004-04-02 | Texas Instruments Inc | 気密圧力変換器 |
| EP2159879A1 (en) * | 2008-08-26 | 2010-03-03 | Omega Engineering, Inc. | Measurement connector |
-
1997
- 1997-12-17 JP JP34794597A patent/JPH11183288A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004101515A (ja) * | 2002-07-10 | 2004-04-02 | Texas Instruments Inc | 気密圧力変換器 |
| EP2159879A1 (en) * | 2008-08-26 | 2010-03-03 | Omega Engineering, Inc. | Measurement connector |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20050301 |