JPH11183288A - 静電容量型圧力センサユニット - Google Patents
静電容量型圧力センサユニットInfo
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- JPH11183288A JPH11183288A JP34794597A JP34794597A JPH11183288A JP H11183288 A JPH11183288 A JP H11183288A JP 34794597 A JP34794597 A JP 34794597A JP 34794597 A JP34794597 A JP 34794597A JP H11183288 A JPH11183288 A JP H11183288A
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- sensor element
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 シール部材の使用個数を減らすことができる
静電容量型圧力センサユニットを得る。 【解決手段】 圧力センサ素子3と、コネクタ12と、
収納ケース4とを有する。圧力センサ素子3は、その第
1の絶縁性基体1の圧力感知面1aが収納ケース4の底
壁部4aと対向し、且つ圧力感知面1aと収納ケース4
の底壁部4aとの間に流体室7を形成し且つ周壁部4b
との間に大きな隙間6を形成しないように収納ケース4
内に収納する。コネクタ12のコネクタ本体13は少な
くともその基部13aを収納ケース4内に収納する。圧
力センサ素子3の第2の絶縁性基体2と、コネクタ12
のコネクタ本体13の基部13aと収納ケース4の周壁
部4bとによって囲まれる環状のシール部材収納空20
間にオーリング21を配置する。
静電容量型圧力センサユニットを得る。 【解決手段】 圧力センサ素子3と、コネクタ12と、
収納ケース4とを有する。圧力センサ素子3は、その第
1の絶縁性基体1の圧力感知面1aが収納ケース4の底
壁部4aと対向し、且つ圧力感知面1aと収納ケース4
の底壁部4aとの間に流体室7を形成し且つ周壁部4b
との間に大きな隙間6を形成しないように収納ケース4
内に収納する。コネクタ12のコネクタ本体13は少な
くともその基部13aを収納ケース4内に収納する。圧
力センサ素子3の第2の絶縁性基体2と、コネクタ12
のコネクタ本体13の基部13aと収納ケース4の周壁
部4bとによって囲まれる環状のシール部材収納空20
間にオーリング21を配置する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、静電容量の変化に
基づいて圧力を検出するタイプの静電容量型圧力センサ
ユニットに関するものである。
基づいて圧力を検出するタイプの静電容量型圧力センサ
ユニットに関するものである。
【0002】
【従来の技術】図3は、従来のこの種の静電容量型圧力
センサユニットの構成を示したものである。
センサユニットの構成を示したものである。
【0003】この静電容量型圧力センサユニットは、第
1の絶縁性基体1と第2の絶縁性基体2との対向面に電
極をそれぞれ設けて構成されている圧力センサ素子3を
備えている。この圧力センサ素子3は、金属製の収納ケ
ース4内に収納されている。収納ケース4は、圧力被測
定流体を導入する流体導入口5が形成された底壁部4a
と該底壁部4aに一端が連結された周壁部4bとを備え
ていている。
1の絶縁性基体1と第2の絶縁性基体2との対向面に電
極をそれぞれ設けて構成されている圧力センサ素子3を
備えている。この圧力センサ素子3は、金属製の収納ケ
ース4内に収納されている。収納ケース4は、圧力被測
定流体を導入する流体導入口5が形成された底壁部4a
と該底壁部4aに一端が連結された周壁部4bとを備え
ていている。
【0004】収納ケース4の周壁部4b内には、圧力セ
ンサ素子3がその圧力感知面1aを底壁部4aと対向さ
せ且つ該周壁部4bとの間に大きな隙間6を形成しない
ようにして収納されている。圧力センサ素子3の圧力感
知面1aと底壁部4aとの間には、圧力被測定流体が入
る流体室7が設けられている。圧力感知面1aと底壁部
4aとの間で周壁部4bの内周には、バックアップリン
グ8が配置され、また該バックアップリング8によりバ
ックアップされた状態で流体室6から隙間6を経て圧力
被測定流体が漏れ出るのを防止するオーリング等のシー
ル部材9が配置されている。
ンサ素子3がその圧力感知面1aを底壁部4aと対向さ
せ且つ該周壁部4bとの間に大きな隙間6を形成しない
ようにして収納されている。圧力センサ素子3の圧力感
知面1aと底壁部4aとの間には、圧力被測定流体が入
る流体室7が設けられている。圧力感知面1aと底壁部
4aとの間で周壁部4bの内周には、バックアップリン
グ8が配置され、また該バックアップリング8によりバ
ックアップされた状態で流体室6から隙間6を経て圧力
被測定流体が漏れ出るのを防止するオーリング等のシー
ル部材9が配置されている。
【0005】圧力センサ素子3の第2の絶縁性基体2の
表面には、圧力センサ素子3内の対向電極間の静電容量
を検出する集積回路等の電子回路素子10が配置されて
いる。電子回路素子10は、第2の絶縁性基体2の表面
に設けられた配線パターンの各電極部に半田付け接続さ
れている。この第2の絶縁性基体2の表面に設けられた
配線パターンには、フレキシブルプリント基板11の配
線パターンの一端側の各電極部が半田付け接続されてい
る。
表面には、圧力センサ素子3内の対向電極間の静電容量
を検出する集積回路等の電子回路素子10が配置されて
いる。電子回路素子10は、第2の絶縁性基体2の表面
に設けられた配線パターンの各電極部に半田付け接続さ
れている。この第2の絶縁性基体2の表面に設けられた
配線パターンには、フレキシブルプリント基板11の配
線パターンの一端側の各電極部が半田付け接続されてい
る。
【0006】収納ケース4の周壁部4b内で電子回路素
子10を包囲して第2の絶縁性基体2の表面には、コネ
クタ12の絶縁樹脂製のコネクタ本体(コネクタハウジ
ング)13における筒状の基部13aがその端面を当接
して重ねられている。コネクタ本体13の基部13aと
収納ケース4の周壁部4bとの間には、金属製の支持リ
ング14が介在されている。この支持リング14は、第
2の絶縁性基体2の表面で受けられている。この支持リ
ング14と収納ケース4の周壁部4bとの間には、支持
リング14の外周の溝に支持されたオーリング等のシー
ル部材15が介在されてシールがなされている。コネク
タ本体13の基部13aと支持リング14にも、オーリ
ング等のシール部材16が介在されてシールがなされて
いる。
子10を包囲して第2の絶縁性基体2の表面には、コネ
クタ12の絶縁樹脂製のコネクタ本体(コネクタハウジ
ング)13における筒状の基部13aがその端面を当接
して重ねられている。コネクタ本体13の基部13aと
収納ケース4の周壁部4bとの間には、金属製の支持リ
ング14が介在されている。この支持リング14は、第
2の絶縁性基体2の表面で受けられている。この支持リ
ング14と収納ケース4の周壁部4bとの間には、支持
リング14の外周の溝に支持されたオーリング等のシー
ル部材15が介在されてシールがなされている。コネク
タ本体13の基部13aと支持リング14にも、オーリ
ング等のシール部材16が介在されてシールがなされて
いる。
【0007】コネクタ12は、コネクタ本体13の基部
13aの外周を収納ケース4の端部4dのかしめにより
図示のように押さえることにより収納ケース4に固定さ
れている。コネクタ12の各コネクタ端子17は、フレ
キシブルプリント基板11の配線パターンの他端側の各
電極部を貫通してこれら電極部に半田付け接続されてい
る。
13aの外周を収納ケース4の端部4dのかしめにより
図示のように押さえることにより収納ケース4に固定さ
れている。コネクタ12の各コネクタ端子17は、フレ
キシブルプリント基板11の配線パターンの他端側の各
電極部を貫通してこれら電極部に半田付け接続されてい
る。
【0008】このような静電容量型圧力センサユニット
は、流体導入口5を経て気体や液体等の圧力被測定流体
が流体室7に入ると、その圧力が圧力センサ素子3の第
1の絶縁性基体1における圧力感知面1aに作用し、こ
れにより圧力センサ素子3内の対向電極間の静電容量が
変わり、この静電容量の変化が電子回路素子10で検出
され、コネクタ12を経て外部に伝えられるようになっ
ている。このとき流体室7内の流体が漏れ出ないよう
に、圧力センサ素子3と周壁部4bとの間の隙間6がシ
ール部材9によりシールされている。また、高い流体圧
力でシール部材9が変形して圧力センサ素子3と周壁部
4bとの間の隙間6に入ってシールが破られないように
バックアップリング8でバックアップされている。
は、流体導入口5を経て気体や液体等の圧力被測定流体
が流体室7に入ると、その圧力が圧力センサ素子3の第
1の絶縁性基体1における圧力感知面1aに作用し、こ
れにより圧力センサ素子3内の対向電極間の静電容量が
変わり、この静電容量の変化が電子回路素子10で検出
され、コネクタ12を経て外部に伝えられるようになっ
ている。このとき流体室7内の流体が漏れ出ないよう
に、圧力センサ素子3と周壁部4bとの間の隙間6がシ
ール部材9によりシールされている。また、高い流体圧
力でシール部材9が変形して圧力センサ素子3と周壁部
4bとの間の隙間6に入ってシールが破られないように
バックアップリング8でバックアップされている。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな構造の従来の静電容量型圧力センサユニットでは、
流体室7から隙間6を経て圧力被測定流体が漏れ出るの
を防止するためのシール部材9と、外部からコネクタ本
体13における基部13aと収納ケース4の周壁部4b
の間を通って水等が入らないようにするためのシール部
材15,16とが用いられているので、シール部材の使
用個数が多くなり、コストアップの原因となる問題点が
あった。
うな構造の従来の静電容量型圧力センサユニットでは、
流体室7から隙間6を経て圧力被測定流体が漏れ出るの
を防止するためのシール部材9と、外部からコネクタ本
体13における基部13aと収納ケース4の周壁部4b
の間を通って水等が入らないようにするためのシール部
材15,16とが用いられているので、シール部材の使
用個数が多くなり、コストアップの原因となる問題点が
あった。
【0010】また、流体室7内で圧力センサ素子3の第
1の絶縁性基体1における圧力感知面1aと、収納ケー
ス4の底壁部4aとの間にシール部材9を配置する従来
の構造では、流体室7内で圧力感知面1aに急激に大き
な圧力が直交する向きで作用した場合、該圧力感知面1
aにはシール部材9から離れてシールが破られる方向の
力が作用する問題点があった。
1の絶縁性基体1における圧力感知面1aと、収納ケー
ス4の底壁部4aとの間にシール部材9を配置する従来
の構造では、流体室7内で圧力感知面1aに急激に大き
な圧力が直交する向きで作用した場合、該圧力感知面1
aにはシール部材9から離れてシールが破られる方向の
力が作用する問題点があった。
【0011】本発明の目的は、シール部材の使用個数を
減らすことができる静電容量型圧力センサユニットを提
供することにある。
減らすことができる静電容量型圧力センサユニットを提
供することにある。
【0012】本発明の他の目的は、流体室内で圧力感知
面に急激に大きな圧力が直交する向きで作用してもシー
ルが破られるのを防止できる静電容量型圧力センサユニ
ットを提供することにある。
面に急激に大きな圧力が直交する向きで作用してもシー
ルが破られるのを防止できる静電容量型圧力センサユニ
ットを提供することにある。
【0013】
【課題を解決するための手段】本発明で改良の対象とし
ている静電容量型圧力センサユニットは、圧力被測定流
体の圧力を検出する圧力センサ素子を備えている。この
圧力センサ素子は、表面に電極を有し裏面が圧力感知面
となる第1の絶縁性基体と該第1の絶縁性基体の電極と
所定の間隔を開けて対向する電極を有して第1の絶縁性
基体と組み合わされる第2の絶縁性基体とからなってい
る。また、この圧力センサ素子を収納する収納ケースを
備えている。この収納ケースは、圧力被測定流体を導入
する流体導入口が形成された底壁部と該底壁部に一端が
連結された周壁部とを備えている。この収納ケース内に
は圧力センサ素子が、底壁部と対向し且つ周壁部との間
に大きな隙間を形成しないように、しかも圧力センサ素
子の圧力感知面と底壁部との間に圧力被測定流体が入る
流体室を形成するように収納されている。また収納ケー
ス内には、流体室の流体が圧力センサ素子と収納ケース
の隙間を通して漏れ出るのを防止するシール部材が設け
られている。さらに、この収納ケース内には、コネクタ
の絶縁樹脂製のコネクタ本体における少なくとも基部が
収容されて、圧力センサ素子の第2の絶縁性基体の表面
に接触させられている。
ている静電容量型圧力センサユニットは、圧力被測定流
体の圧力を検出する圧力センサ素子を備えている。この
圧力センサ素子は、表面に電極を有し裏面が圧力感知面
となる第1の絶縁性基体と該第1の絶縁性基体の電極と
所定の間隔を開けて対向する電極を有して第1の絶縁性
基体と組み合わされる第2の絶縁性基体とからなってい
る。また、この圧力センサ素子を収納する収納ケースを
備えている。この収納ケースは、圧力被測定流体を導入
する流体導入口が形成された底壁部と該底壁部に一端が
連結された周壁部とを備えている。この収納ケース内に
は圧力センサ素子が、底壁部と対向し且つ周壁部との間
に大きな隙間を形成しないように、しかも圧力センサ素
子の圧力感知面と底壁部との間に圧力被測定流体が入る
流体室を形成するように収納されている。また収納ケー
ス内には、流体室の流体が圧力センサ素子と収納ケース
の隙間を通して漏れ出るのを防止するシール部材が設け
られている。さらに、この収納ケース内には、コネクタ
の絶縁樹脂製のコネクタ本体における少なくとも基部が
収容されて、圧力センサ素子の第2の絶縁性基体の表面
に接触させられている。
【0014】本発明に係る静電容量型圧力センサユニッ
トでは、圧力センサ素子の第2の絶縁性基体と、コネク
タのコネクタ本体の基部と、収納ケースの周壁部とによ
って囲まれる環状のシール部材収納空間が形成されてい
る。シール部材は、このシール部材収納空間内に収納さ
れて第2の絶縁性基体、コネクタ本体の基部及び収納ケ
ースの周壁部に接触するオーリングからなっている。な
お、本発明で言うオーリングとは、横断面形状が円形に
限定されるものではなく、横断面形状が非円形のものも
含む。
トでは、圧力センサ素子の第2の絶縁性基体と、コネク
タのコネクタ本体の基部と、収納ケースの周壁部とによ
って囲まれる環状のシール部材収納空間が形成されてい
る。シール部材は、このシール部材収納空間内に収納さ
れて第2の絶縁性基体、コネクタ本体の基部及び収納ケ
ースの周壁部に接触するオーリングからなっている。な
お、本発明で言うオーリングとは、横断面形状が円形に
限定されるものではなく、横断面形状が非円形のものも
含む。
【0015】このような構造にすると、流体室側のシー
ルと、コネクタ本体,収納ケース間側のシールとを兼用
でき、シール部材の使用個数を減らすことができる。ま
た、流体室内で圧力感知面に圧力被測定流体により急激
に大きな圧力が直交する向きで作用しても、圧力が作用
する圧力感知面とは反対側にシール部材が配置されてい
るので、圧力感知面に作用する圧力でシールが破られる
のを防止できる。
ルと、コネクタ本体,収納ケース間側のシールとを兼用
でき、シール部材の使用個数を減らすことができる。ま
た、流体室内で圧力感知面に圧力被測定流体により急激
に大きな圧力が直交する向きで作用しても、圧力が作用
する圧力感知面とは反対側にシール部材が配置されてい
るので、圧力感知面に作用する圧力でシールが破られる
のを防止できる。
【0016】次に、この静電容量型圧力センサユニット
のより具体的構成について説明する。この場合で改良の
対象としている静電容量型圧力センサユニットにおける
圧力センサ素子は、表面に電極を有し裏面が圧力感知面
となる第1の絶縁性基体と、該第1の絶縁性基体の電極
と所定の間隔を開けて対向する電極を裏面に有して第1
の絶縁性基体と組み合わされる第2の絶縁性基体とから
なっている。コネクタは、絶縁樹脂製のコネクタ本体の
基部の端面が圧力センサ素子の第2の絶縁性基体の表面
と接触するように配置されている。金属製の収納ケース
は、圧力被測定流体を導入する流体導入口が形成された
底壁部と、該底壁部に一端が連結された周壁部とを備え
ている。圧力センサ素子は、その第1の絶縁性基体の圧
力感知面が底壁部と対向し且つ該周壁部との間に大きな
隙間を形成しないように収納ケース内に収納されてい
る。また、コネクタ本体はその基部が収納され且つ収納
ケースの周壁部の端部に施されるかしめ加工によりコネ
クタ本体はその基部の抜け止めが図られている。圧力セ
ンサ素子の第1の絶縁性基体の圧力感知面と収納ケース
の底壁部との間には、圧力被測定流体が入る流体室が形
成されている。圧力センサ素子と収納ケースの周壁部と
の間の隙間を通して流体室の流体が漏れ出るのを防止す
るシール部材が設けられている。
のより具体的構成について説明する。この場合で改良の
対象としている静電容量型圧力センサユニットにおける
圧力センサ素子は、表面に電極を有し裏面が圧力感知面
となる第1の絶縁性基体と、該第1の絶縁性基体の電極
と所定の間隔を開けて対向する電極を裏面に有して第1
の絶縁性基体と組み合わされる第2の絶縁性基体とから
なっている。コネクタは、絶縁樹脂製のコネクタ本体の
基部の端面が圧力センサ素子の第2の絶縁性基体の表面
と接触するように配置されている。金属製の収納ケース
は、圧力被測定流体を導入する流体導入口が形成された
底壁部と、該底壁部に一端が連結された周壁部とを備え
ている。圧力センサ素子は、その第1の絶縁性基体の圧
力感知面が底壁部と対向し且つ該周壁部との間に大きな
隙間を形成しないように収納ケース内に収納されてい
る。また、コネクタ本体はその基部が収納され且つ収納
ケースの周壁部の端部に施されるかしめ加工によりコネ
クタ本体はその基部の抜け止めが図られている。圧力セ
ンサ素子の第1の絶縁性基体の圧力感知面と収納ケース
の底壁部との間には、圧力被測定流体が入る流体室が形
成されている。圧力センサ素子と収納ケースの周壁部と
の間の隙間を通して流体室の流体が漏れ出るのを防止す
るシール部材が設けられている。
【0017】このような構成の静電容量型圧力センサユ
ニットの場合、コネクタ本体の基部にはその端面と外周
面との間に、端面に向かうに従って縮径する環状のテー
パ面が形成されている。コネクタ本体の基部のテーパ面
と収納ケースの周壁部と圧力センサ素子の第2の絶縁性
基体との間に、環状のシール部材収納空間が形成されて
いる。シール部材は、このシール部材収納空間内に収納
されて環状のテーパ面、第2の絶縁性基体及び収納ケー
スの周壁部の内面とに接触するオーリングからなってい
る。
ニットの場合、コネクタ本体の基部にはその端面と外周
面との間に、端面に向かうに従って縮径する環状のテー
パ面が形成されている。コネクタ本体の基部のテーパ面
と収納ケースの周壁部と圧力センサ素子の第2の絶縁性
基体との間に、環状のシール部材収納空間が形成されて
いる。シール部材は、このシール部材収納空間内に収納
されて環状のテーパ面、第2の絶縁性基体及び収納ケー
スの周壁部の内面とに接触するオーリングからなってい
る。
【0018】このような構造にすると、オーリングから
なるシール部材を、収納ケース内で、圧力センサ素子の
第2の絶縁性基体の裏面の圧力感知面とは反対側の第2
の絶縁性基体の表面側の外周に容易に配置することがで
きる。このため、流体室内で圧力センサ素子の圧力感知
面に圧力被測定流体により急激に大きな圧力が直交する
向きで作用してもシールが破られるのを防止することが
できる。
なるシール部材を、収納ケース内で、圧力センサ素子の
第2の絶縁性基体の裏面の圧力感知面とは反対側の第2
の絶縁性基体の表面側の外周に容易に配置することがで
きる。このため、流体室内で圧力センサ素子の圧力感知
面に圧力被測定流体により急激に大きな圧力が直交する
向きで作用してもシールが破られるのを防止することが
できる。
【0019】このような静電容量型圧力センサユニット
では、圧力センサ素子の第2の絶縁性基体の表面と該第
2の絶縁性基体の外周面との間には、該第2の絶縁性基
体の表面に向かうに従って縮径する環状のテーパ面が形
成されていることが好ましい。このようにすると、流体
室側からシール部材に作用する圧力被測定流体の圧力で
該シール部材を、該第2の絶縁性基体のテーパ面と、コ
ネクタ本体の基部のテーパ面と、収納ケースの周壁部の
内面とに良好に接触させて、シールを確実に行うことが
できる。
では、圧力センサ素子の第2の絶縁性基体の表面と該第
2の絶縁性基体の外周面との間には、該第2の絶縁性基
体の表面に向かうに従って縮径する環状のテーパ面が形
成されていることが好ましい。このようにすると、流体
室側からシール部材に作用する圧力被測定流体の圧力で
該シール部材を、該第2の絶縁性基体のテーパ面と、コ
ネクタ本体の基部のテーパ面と、収納ケースの周壁部の
内面とに良好に接触させて、シールを確実に行うことが
できる。
【0020】また、シール部材収納空間内には、コネク
タ本体の基部に形成された環状のテーパ面と収納ケース
の周壁部の内面とに接触して、コネクタ本体の基部の外
周面と収納ケースの周壁部の内面との間に形成される隙
間にオーリングが入り込むのを阻止するバックアップリ
ングを収納することが好ましい。このようにすると、流
体室側から圧力被測定流体の大きな圧力が作用しても、
コネクタ本体の基部の外周面と収納ケースの周壁部の内
面との間に形成される隙間にオーリングが入り込んでシ
ールが破られるのを確実に防止することができる。
タ本体の基部に形成された環状のテーパ面と収納ケース
の周壁部の内面とに接触して、コネクタ本体の基部の外
周面と収納ケースの周壁部の内面との間に形成される隙
間にオーリングが入り込むのを阻止するバックアップリ
ングを収納することが好ましい。このようにすると、流
体室側から圧力被測定流体の大きな圧力が作用しても、
コネクタ本体の基部の外周面と収納ケースの周壁部の内
面との間に形成される隙間にオーリングが入り込んでシ
ールが破られるのを確実に防止することができる。
【0021】
【発明の実施の形態】図1は、本発明に係る静電容量型
圧力センサユニットにおける実施の形態の第1例の縦断
面図を示したものである。
圧力センサユニットにおける実施の形態の第1例の縦断
面図を示したものである。
【0022】この静電容量型圧力センサユニットで、圧
力被測定流体の圧力を検出するために用いている圧力セ
ンサ素子3は、内向きとなっている表面に図示しないが
電極を有し裏面が圧力感知面1aとなっているセラミッ
ク製で厚みが0.4 〜0.8mm 程度の第1の絶縁性基体1
と、該第1の絶縁性基体1の電極と所定の間隔を開けて
対向する図示しない電極を裏面に有して第1の絶縁性基
体1と組み合わされるセラミック製の第2の絶縁性基体
2とで構成されている。この圧力センサ素子3内の対向
電極の間隔が圧力感知面1aに作用する圧力により可変
し、圧力変化が静電容量の変化として現れるようになっ
ている。
力被測定流体の圧力を検出するために用いている圧力セ
ンサ素子3は、内向きとなっている表面に図示しないが
電極を有し裏面が圧力感知面1aとなっているセラミッ
ク製で厚みが0.4 〜0.8mm 程度の第1の絶縁性基体1
と、該第1の絶縁性基体1の電極と所定の間隔を開けて
対向する図示しない電極を裏面に有して第1の絶縁性基
体1と組み合わされるセラミック製の第2の絶縁性基体
2とで構成されている。この圧力センサ素子3内の対向
電極の間隔が圧力感知面1aに作用する圧力により可変
し、圧力変化が静電容量の変化として現れるようになっ
ている。
【0023】このような圧力センサ素子3は、金属製の
収納ケース4内に収納されている。収納ケース4は、圧
力被測定流体を導入する流体導入口5が形成された底壁
部4aと、該底壁部4aに一端が連結された周壁部4b
と、流体導入口5を包囲して底壁部4aの中央に連設さ
れた筒部4cとを備えていている。このような収納ケー
ス4の周壁部4b内には、圧力センサ素子3がその第1
の絶縁性基体1の圧力感知面1aが底壁部4aと対向し
且つ周壁部4bとの間に大きな隙間6を形成しないよう
に収納されている。また、圧力センサ素子3の第1の絶
縁性基体1の圧力感知面1aと収納ケース4の底壁部4
aとの間には、圧力被測定流体が入る流体室7が形成さ
れている。この流体室7は、第1の絶縁性基体1の圧力
感知面1aに対向する収納ケース4の底壁部4aの面を
窪ませることにより形成されている。
収納ケース4内に収納されている。収納ケース4は、圧
力被測定流体を導入する流体導入口5が形成された底壁
部4aと、該底壁部4aに一端が連結された周壁部4b
と、流体導入口5を包囲して底壁部4aの中央に連設さ
れた筒部4cとを備えていている。このような収納ケー
ス4の周壁部4b内には、圧力センサ素子3がその第1
の絶縁性基体1の圧力感知面1aが底壁部4aと対向し
且つ周壁部4bとの間に大きな隙間6を形成しないよう
に収納されている。また、圧力センサ素子3の第1の絶
縁性基体1の圧力感知面1aと収納ケース4の底壁部4
aとの間には、圧力被測定流体が入る流体室7が形成さ
れている。この流体室7は、第1の絶縁性基体1の圧力
感知面1aに対向する収納ケース4の底壁部4aの面を
窪ませることにより形成されている。
【0024】収納ケース4の周壁部4b内で圧力センサ
素子3の第2の絶縁性基体2の表面には、該圧力センサ
素子3内の対向電極間の静電容量を検出するCMOSI
C等からなる電子回路素子10が配置されている。この
電子回路素子10は、第2の絶縁性基体2の表面に設け
られた図示しない配線パターンに半田付け接続されてい
る。この第2の絶縁性基体2の表面に設けられた配線パ
ターンには、フレキシブルプリント基板11の配線パタ
ーン中の電極部が半田付け接続されている。これにより
電子回路素子10の各電極は、フレキシブルプリント基
板11を介してコネクタ12の各コネクタ端子17に接
続されている。即ち、コネクタ12の各コネクタ端子1
7は、フレキシブルプリント基板11の配線パターンの
他端側の各電極部を貫通してこれら電極部に半田付け接
続されている。
素子3の第2の絶縁性基体2の表面には、該圧力センサ
素子3内の対向電極間の静電容量を検出するCMOSI
C等からなる電子回路素子10が配置されている。この
電子回路素子10は、第2の絶縁性基体2の表面に設け
られた図示しない配線パターンに半田付け接続されてい
る。この第2の絶縁性基体2の表面に設けられた配線パ
ターンには、フレキシブルプリント基板11の配線パタ
ーン中の電極部が半田付け接続されている。これにより
電子回路素子10の各電極は、フレキシブルプリント基
板11を介してコネクタ12の各コネクタ端子17に接
続されている。即ち、コネクタ12の各コネクタ端子1
7は、フレキシブルプリント基板11の配線パターンの
他端側の各電極部を貫通してこれら電極部に半田付け接
続されている。
【0025】収納ケース4の周壁部4b内で電子回路素
子10を包囲して第2の絶縁性基体2の外面には、コネ
クタ12の絶縁樹脂製のコネクタ本体13の筒状の基部
13aの端面が重ねられている。コネクタ本体13の基
部13aの外周は、図3に示した支持リング15を介在
させないで、収納ケース4の周壁部4bの内面に接触す
るようにして配置されている。コネクタ12は、コネク
タ本体13の基部13aの外周を収納ケース4の端部4
cのかしめにより収納ケース4に固定されている。
子10を包囲して第2の絶縁性基体2の外面には、コネ
クタ12の絶縁樹脂製のコネクタ本体13の筒状の基部
13aの端面が重ねられている。コネクタ本体13の基
部13aの外周は、図3に示した支持リング15を介在
させないで、収納ケース4の周壁部4bの内面に接触す
るようにして配置されている。コネクタ12は、コネク
タ本体13の基部13aの外周を収納ケース4の端部4
cのかしめにより収納ケース4に固定されている。
【0026】コネクタ本体13の基部13aの端面に対
向する圧力センサ素子2の第2の絶縁性基体2の表面2
aと外周面2bとがなす外周側の周縁部には、外周面2
b側から表面2aに向かうに従って縮径する環状のテー
パ面18が形成されている。また、第2の絶縁性基体2
の表面2aに対向するコネクタ本体13の基部13aの
端面13a1と外周面13a2とがなす外周側の周縁部に
は、外周面13a2側から端面13a1に向かうに従って縮
径する環状のテーパ面19がテーパ面18に対向させて
形成されている。これらテーパ面18,19と収納ケー
ス4の周壁部4bとの間に環状のシール部材収納空間2
0が形成されている。このシール部材収納空間20に
は、テーパ面18,19と収納ケース4の周壁部4bの
内面とに接触させてシール部材としてのオーリング21
が配置されている。
向する圧力センサ素子2の第2の絶縁性基体2の表面2
aと外周面2bとがなす外周側の周縁部には、外周面2
b側から表面2aに向かうに従って縮径する環状のテー
パ面18が形成されている。また、第2の絶縁性基体2
の表面2aに対向するコネクタ本体13の基部13aの
端面13a1と外周面13a2とがなす外周側の周縁部に
は、外周面13a2側から端面13a1に向かうに従って縮
径する環状のテーパ面19がテーパ面18に対向させて
形成されている。これらテーパ面18,19と収納ケー
ス4の周壁部4bとの間に環状のシール部材収納空間2
0が形成されている。このシール部材収納空間20に
は、テーパ面18,19と収納ケース4の周壁部4bの
内面とに接触させてシール部材としてのオーリング21
が配置されている。
【0027】このような構造にすると、流体室7側のシ
ールと、コネクタ本体13,収納ケース14間側のシー
ルとをオーリング21で兼用でき、シール部材の使用個
数を減らすことができる。また、流体室7内で圧力感知
面1aに圧力被測定流体により急激に大きな圧力が直交
する向きで作用しても、圧力が作用する圧力感知面1a
とは反対側にシール部材としてのオーリング21が配置
されているので、圧力感知面1aに作用する圧力でシー
ルが破られるのを防止できる。
ールと、コネクタ本体13,収納ケース14間側のシー
ルとをオーリング21で兼用でき、シール部材の使用個
数を減らすことができる。また、流体室7内で圧力感知
面1aに圧力被測定流体により急激に大きな圧力が直交
する向きで作用しても、圧力が作用する圧力感知面1a
とは反対側にシール部材としてのオーリング21が配置
されているので、圧力感知面1aに作用する圧力でシー
ルが破られるのを防止できる。
【0028】また、シール部材収納空間20が第2の絶
縁性基体2に設けられたテーパ面18と、コネクタ本体
13の基部13aに設けられたテーパ面19と、収納ケ
ース4の周壁部4bの内面とにより形成されているの
で、流体室7側からシール部材としてのオーリング21
に作用する圧力被測定流体の圧力で該オーリング21
を、該第2の絶縁性基体2のテーパ面18と、コネクタ
本体13の基部13aのテーパ面19と、収納ケース4
の周壁部4bの内面とに良好に接触させて、シールを確
実に行うことができる。
縁性基体2に設けられたテーパ面18と、コネクタ本体
13の基部13aに設けられたテーパ面19と、収納ケ
ース4の周壁部4bの内面とにより形成されているの
で、流体室7側からシール部材としてのオーリング21
に作用する圧力被測定流体の圧力で該オーリング21
を、該第2の絶縁性基体2のテーパ面18と、コネクタ
本体13の基部13aのテーパ面19と、収納ケース4
の周壁部4bの内面とに良好に接触させて、シールを確
実に行うことができる。
【0029】図2は、本発明に係る静電容量型圧力セン
サユニットにおける実施の形態の第2例の要部縦断面図
を示したものである。なお、前述した図1と対応する部
分には、同一符号を付けて示している。
サユニットにおける実施の形態の第2例の要部縦断面図
を示したものである。なお、前述した図1と対応する部
分には、同一符号を付けて示している。
【0030】この静電容量型圧力センサユニットでは、
シール部材収納空間20内には、コネクタ本体13の基
部13aに形成された環状のテーパ面18と収納ケース
4の周壁部4bの内面とに接触して、コネクタ本体13
の基部13aの外周面13a2と収納ケース4の周壁部4
bの内面との間に形成される隙間にオーリング21が入
り込むのを阻止するバックアップリング22が収納され
ている。その他の構成は、図1に示す第1例と同様であ
る。
シール部材収納空間20内には、コネクタ本体13の基
部13aに形成された環状のテーパ面18と収納ケース
4の周壁部4bの内面とに接触して、コネクタ本体13
の基部13aの外周面13a2と収納ケース4の周壁部4
bの内面との間に形成される隙間にオーリング21が入
り込むのを阻止するバックアップリング22が収納され
ている。その他の構成は、図1に示す第1例と同様であ
る。
【0031】このようにバックアップリング22を設け
ると、流体室7側から圧力被測定流体の大きな圧力が作
用しても、コネクタ本体13の基部13aの外周面13
a2と収納ケース4の周壁部4bの内面との間に形成され
る隙間23にオーリング21が入り込んでシールが破ら
れるのを確実に防止することができる。
ると、流体室7側から圧力被測定流体の大きな圧力が作
用しても、コネクタ本体13の基部13aの外周面13
a2と収納ケース4の周壁部4bの内面との間に形成され
る隙間23にオーリング21が入り込んでシールが破ら
れるのを確実に防止することができる。
【0032】
【発明の効果】本発明に係る静電容量型圧力センサユニ
ットでは、圧力センサ素子の第2の絶縁性基体と、コネ
クタのコネクタ本体の基部と、収納ケースの周壁部とに
よって囲まれる環状のシール部材収納空間が形成し、こ
のシール部材収納空間内にシール部材を収納して第2の
絶縁性基体、コネクタ本体の基部及び収納ケースの周壁
部に接触させているので、流体室側のシールと、コネク
タ本体,収納ケース間側のシールとを兼用でき、シール
部材の使用個数を減らすことができる。また、流体室内
で圧力感知面に圧力被測定流体により急激に大きな圧力
が直交する向きで作用しても、圧力が作用する圧力感知
面とは反対側にシール部材が配置されているので、圧力
感知面に作用する圧力でシールが破られるのを防止する
ことができる。
ットでは、圧力センサ素子の第2の絶縁性基体と、コネ
クタのコネクタ本体の基部と、収納ケースの周壁部とに
よって囲まれる環状のシール部材収納空間が形成し、こ
のシール部材収納空間内にシール部材を収納して第2の
絶縁性基体、コネクタ本体の基部及び収納ケースの周壁
部に接触させているので、流体室側のシールと、コネク
タ本体,収納ケース間側のシールとを兼用でき、シール
部材の使用個数を減らすことができる。また、流体室内
で圧力感知面に圧力被測定流体により急激に大きな圧力
が直交する向きで作用しても、圧力が作用する圧力感知
面とは反対側にシール部材が配置されているので、圧力
感知面に作用する圧力でシールが破られるのを防止する
ことができる。
【図1】本発明に係る静電容量型圧力センサユニットに
おける実施の形態の第1例の縦断面図である。
おける実施の形態の第1例の縦断面図である。
【図2】本発明に係る静電容量型圧力センサユニットに
おける実施の形態の第2例の要部縦断面図である。
おける実施の形態の第2例の要部縦断面図である。
【図3】従来の静電容量型圧力センサユニットの縦断面
図である。
図である。
1 第1の絶縁性基体 1a 圧力感知面 2 第2の絶縁性基体 2a 表面 2b 外周面 3 圧力センサ素子 4 収納ケース 4a 底壁部 4b 周壁部 5 流体導入口 6 隙間 7 流体室 8 バックアップリング 9 シール部材 10 電子回路素子 11 フレキシブルプリント基板 12 コネクタ 13 コネクタ本体(コネクタハウジング) 13a 基部 13a1 端面 13a2 外周面 14 支持リング 15 シール部材 16 シール部材 17 コネクタ端子 18,19 テーパ面 20 シール部材収納空間 21 オーリング 22 バックアップリング 23 隙間
Claims (4)
- 【請求項1】 表面に電極を有し裏面が圧力感知面とな
る第1の絶縁性基体と該第1の絶縁性基体の前記電極と
所定の間隔を開けて対向する電極を有して前記第1の絶
縁性基体と組み合わされる第2の絶縁性基体とからなる
圧力センサ素子と、 前記圧力センサ素子の前記第2の絶縁性基体と接触する
ように配置される絶縁樹脂製のコネクタ本体を有するコ
ネクタと、 圧力被測定流体を導入する流体導入口が形成された底壁
部と該底壁部に一端が連結された周壁部とを備え、前記
圧力感知面が前記底壁部と対向し且つ前記周壁部との間
に大きな隙間を形成しないように前記圧力センサ素子を
収納し、前記コネクタ本体の少なくとも基部を収納し、
しかも前記圧力センサ素子の前記圧力感知面と前記底壁
部との間に前記圧力被測定流体が入る流体室を形成でき
るように構成された収納ケースと、 前記隙間を通して前記流体室の流体が漏れ出るのを防止
するシール部材とを具備してなる静電容量型圧力センサ
ユニットであって、 前記圧力センサ素子の前記第2の絶縁性基体と、前記コ
ネクタの前記コネクタ本体の前記基部と前記収納ケース
の前記周壁部とによって囲まれる環状のシール部材収納
空間が形成され、 前記シール部材は前記シール部材収納空間内に収納され
て前記第2の絶縁性基体、前記コネクタ本体の前記基部
及び前記収納ケースの前記周壁部に接触するオーリング
からなることを特徴とする静電容量型圧力センサユニッ
ト。 - 【請求項2】 表面に電極を有し裏面が圧力感知面とな
る第1の絶縁性基体と該第1の絶縁性基体の前記電極と
所定の間隔を開けて対向する電極を裏面に有して前記第
1の絶縁性基体と組み合わされる第2の絶縁性基体とか
らなる圧力センサ素子と、 基部の端面が前記圧力センサ素子の前記第2の絶縁性基
体の表面と接触するように配置される絶縁樹脂製のコネ
クタ本体を有するコネクタと、 圧力被測定流体を導入する流体導入口が形成された底壁
部と該底壁部に一端が連結された周壁部とを備え、前記
圧力感知面が前記底壁部と対向し且つ前記周壁部との間
に大きな隙間を形成しないように前記圧力センサ素子を
収納し、前記コネクタ本体の前記基部を収納し且つ前記
周壁部の端部に施されるかしめ加工により前記コネクタ
本体の前記基部の抜け止めを図り、しかも前記圧力セン
サ素子の前記圧力感知面と前記底壁部との間に前記圧力
被測定流体が入る流体室を形成できるように構成された
金属製の収納ケースと、 前記隙間を通して前記流体室の流体が漏れ出るのを防止
するシール部材とを具備してなる静電容量型圧力センサ
ユニットであって、 前記コネクタ本体の前記基部には前記端面と前記基部の
外周面との間に前記端面に向かうに従って縮径する環状
のテーパ面が形成されて、前記テーパ面と前記収納ケー
スの前記周壁部と前記圧力センサ素子の前記第2の絶縁
性基体との間に環状のシール部材収納空間が形成され、 前記シール部材は前記シール部材収納空間内に収納され
て前記環状のテーパ面、前記第2の絶縁性基体及び前記
収納ケースの前記周壁部の内面とに接触するオーリング
からなることを特徴とする静電容量型圧力センサユニッ
ト。 - 【請求項3】 前記圧力センサ素子の前記第2の絶縁性
基体の前記表面と前記第2の絶縁性基体の外周面との間
には前記表面に向かうに従って縮径する環状のテーパ面
が形成されている請求項2に記載の静電容量型圧力セン
サユニット。 - 【請求項4】 前記シール部材収納空間内には、前記コ
ネクタ本体の前記基部に形成された前記環状のテーパ面
と前記収納ケースの前記周壁部の前記内面とに接触し
て、前記コネクタ本体の前記基部の前記外周面と前記収
納ケースの前記周壁部の前記内面との間に形成される隙
間に前記オーリングが入り込むのを阻止するバックアッ
プリングが収納されていることを特徴とする請求項2ま
たは3に記載の静電容量型圧力センサユニット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP34794597A JPH11183288A (ja) | 1997-12-17 | 1997-12-17 | 静電容量型圧力センサユニット |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP34794597A JPH11183288A (ja) | 1997-12-17 | 1997-12-17 | 静電容量型圧力センサユニット |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11183288A true JPH11183288A (ja) | 1999-07-09 |
Family
ID=18393681
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP34794597A Withdrawn JPH11183288A (ja) | 1997-12-17 | 1997-12-17 | 静電容量型圧力センサユニット |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH11183288A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004101515A (ja) * | 2002-07-10 | 2004-04-02 | Texas Instruments Inc | 気密圧力変換器 |
EP2159879A1 (en) * | 2008-08-26 | 2010-03-03 | Omega Engineering, Inc. | Measurement connector |
-
1997
- 1997-12-17 JP JP34794597A patent/JPH11183288A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004101515A (ja) * | 2002-07-10 | 2004-04-02 | Texas Instruments Inc | 気密圧力変換器 |
EP2159879A1 (en) * | 2008-08-26 | 2010-03-03 | Omega Engineering, Inc. | Measurement connector |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20050301 |