JPH0749282A - 圧力センサのオイルシール構造 - Google Patents
圧力センサのオイルシール構造Info
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- JPH0749282A JPH0749282A JP5210889A JP21088993A JPH0749282A JP H0749282 A JPH0749282 A JP H0749282A JP 5210889 A JP5210889 A JP 5210889A JP 21088993 A JP21088993 A JP 21088993A JP H0749282 A JPH0749282 A JP H0749282A
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- ring
- oil seal
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 Ｏリングの耐久性を向上し、かつバックアッ
プリング不要の圧力センサのオイルシール構造とする。 【構成】 圧力センサ１はダイヤフラム６の変形により
圧力を計測する圧力感知モジュール１５を有する。圧力
感知モジュールの受圧面１３と反対の面の周辺部にＯリ
ング５が配置される。受圧面１３とＯリング５との間に
は圧力感知モジュールの周囲とハウジング２との間の狭
小隙間である境界面１８が介在するので、Ｏリング５に
おける圧力変化は緩慢で低いから、Ｏリングの耐久性が
向上すると共に、Ｏリングのつぶれを防止するためのバ
ックアップリングを必要としない。
プリング不要の圧力センサのオイルシール構造とする。 【構成】 圧力センサ１はダイヤフラム６の変形により
圧力を計測する圧力感知モジュール１５を有する。圧力
感知モジュールの受圧面１３と反対の面の周辺部にＯリ
ング５が配置される。受圧面１３とＯリング５との間に
は圧力感知モジュールの周囲とハウジング２との間の狭
小隙間である境界面１８が介在するので、Ｏリング５に
おける圧力変化は緩慢で低いから、Ｏリングの耐久性が
向上すると共に、Ｏリングのつぶれを防止するためのバ
ックアップリングを必要としない。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、高温、高荷重で使用さ
れる圧力センサの、より適切なオイルシール構造に関す
る。
れる圧力センサの、より適切なオイルシール構造に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来の圧力センサのオイルシールの第１
の構造としては、例えば特開平３−６７１４１号公報に
開示されたものが知られている。図３によって構成を説
明すると、圧力センサ５１には、ハウジング５２が設け
られ、このハウジング５２の内孔５２ａの内孔底面５２
ｂの中心から下端に向けて圧力導入孔３が設けられてい
る。また、上記内孔底面５２ｂ上の内孔５２ａ内には、
セラミックス材のダイヤフラム６とセラミックス材のサ
ブストレート板７とから構成された圧力感知モジュール
１５が挿入されている。そして、ダイヤフラム６とサブ
ストレート板７はそれぞれの対向する面上に電導体コー
ティングが着けられ、縁をガラス層によって間隙を形成
して接着することにより、キャパシタを構成している。
の構造としては、例えば特開平３−６７１４１号公報に
開示されたものが知られている。図３によって構成を説
明すると、圧力センサ５１には、ハウジング５２が設け
られ、このハウジング５２の内孔５２ａの内孔底面５２
ｂの中心から下端に向けて圧力導入孔３が設けられてい
る。また、上記内孔底面５２ｂ上の内孔５２ａ内には、
セラミックス材のダイヤフラム６とセラミックス材のサ
ブストレート板７とから構成された圧力感知モジュール
１５が挿入されている。そして、ダイヤフラム６とサブ
ストレート板７はそれぞれの対向する面上に電導体コー
ティングが着けられ、縁をガラス層によって間隙を形成
して接着することにより、キャパシタを構成している。
【０００３】上記内孔５２ａの上部は内径が拡大されて
いて段付きになっている。この段付き部まで金属製の支
持リング５８を入れて圧力感知モジュール１５を固定す
るようになっている。また、上記内孔底面５２ｂの外周
部に設けられたシール溝にはオイルシール部材としての
Ｏリング５５とバックアップリング５４が装着されてい
る。
いて段付きになっている。この段付き部まで金属製の支
持リング５８を入れて圧力感知モジュール１５を固定す
るようになっている。また、上記内孔底面５２ｂの外周
部に設けられたシール溝にはオイルシール部材としての
Ｏリング５５とバックアップリング５４が装着されてい
る。
【０００４】さらに、圧力感知モジュール１５の静電容
量の変化を圧力に応じたアナログ出力に変換する電子回
路９がサブストレート板７上に接触して設けられてい
る。また、上記電子回路９はプラスチック材の電気コネ
クタハウジング１１に囲まれている。この電気コネクタ
ハウジング１１にはフランジ１６が設けられているの
で、支持リング５８をハウジング５２上縁を縁曲げして
固定するときに同時に固定される。また外部シール１０
は、汚染物が支持リング５８と電気コネクタハウジング
１１の間から電子回路９へ入るのを防止している。それ
から、電子回路９と接続されて出力を外部へ送出するた
めに、電気コネクタハウジング１１上部内孔内の外へ延
在された端子１２が設けられている。
量の変化を圧力に応じたアナログ出力に変換する電子回
路９がサブストレート板７上に接触して設けられてい
る。また、上記電子回路９はプラスチック材の電気コネ
クタハウジング１１に囲まれている。この電気コネクタ
ハウジング１１にはフランジ１６が設けられているの
で、支持リング５８をハウジング５２上縁を縁曲げして
固定するときに同時に固定される。また外部シール１０
は、汚染物が支持リング５８と電気コネクタハウジング
１１の間から電子回路９へ入るのを防止している。それ
から、電子回路９と接続されて出力を外部へ送出するた
めに、電気コネクタハウジング１１上部内孔内の外へ延
在された端子１２が設けられている。
【０００５】なお、ハウジング５２の上縁を縁曲げする
と、支持リング５８の下端が内孔５２ａの段付部に当接
されるので、Ｏリング５５とバックアップリング５４と
は適宜に押圧されて固定されると共に内孔底面５２ｂと
ダイヤフラム６との間に圧力キャビティ１７という空間
ができるように圧力感知モジュール１５が固定される。
上記圧力キャビティ１７に接するダイヤフラム６の下面
が受圧面１３になってている。さらに、ハウジング５２
の内孔５２ａと圧力感知モジュール１５との間にはの境
界面１８が形成されている。
と、支持リング５８の下端が内孔５２ａの段付部に当接
されるので、Ｏリング５５とバックアップリング５４と
は適宜に押圧されて固定されると共に内孔底面５２ｂと
ダイヤフラム６との間に圧力キャビティ１７という空間
ができるように圧力感知モジュール１５が固定される。
上記圧力キャビティ１７に接するダイヤフラム６の下面
が受圧面１３になってている。さらに、ハウジング５２
の内孔５２ａと圧力感知モジュール１５との間にはの境
界面１８が形成されている。
【０００６】上記の構成によりその作用を説明すれば、
圧力媒体は圧力導入孔３を介して圧力キャビティ１７に
導かれる。圧力が印加されると、受圧面１３に対して上
向きの力が働き、ダイヤフラム６が変形して対向するサ
ブストレート板７との間に形成された電極間の距離を変
化させ、その静電容量の変化を電子回路９で圧力に対応
した電圧値に変換、増幅して端子１２より出力する。こ
のときＯリング５５とバックアップリング５４は圧力キ
ャビティ１７からの圧力で強く外周方向へ押圧され、大
きくつぶされて、圧力媒体が圧力感知モジュール１５と
内孔５２ａとの間に狭小な隙間として存在する境界面１
８を経由して電子回路９側に洩洩して来ないようにおさ
えられる。また、バックアップリング５４にはＯリング
５５が境界面１８にはみ出してかじられないようにＯリ
ング５５より硬い材質、例えばテフロン材などが用いら
れている。
圧力媒体は圧力導入孔３を介して圧力キャビティ１７に
導かれる。圧力が印加されると、受圧面１３に対して上
向きの力が働き、ダイヤフラム６が変形して対向するサ
ブストレート板７との間に形成された電極間の距離を変
化させ、その静電容量の変化を電子回路９で圧力に対応
した電圧値に変換、増幅して端子１２より出力する。こ
のときＯリング５５とバックアップリング５４は圧力キ
ャビティ１７からの圧力で強く外周方向へ押圧され、大
きくつぶされて、圧力媒体が圧力感知モジュール１５と
内孔５２ａとの間に狭小な隙間として存在する境界面１
８を経由して電子回路９側に洩洩して来ないようにおさ
えられる。また、バックアップリング５４にはＯリング
５５が境界面１８にはみ出してかじられないようにＯリ
ング５５より硬い材質、例えばテフロン材などが用いら
れている。
【０００７】従来のこの種構造の第２としては、このほ
かさらに実開平４−１５０３３号公報に開示されている
ようなものもある。図４に示されるこの圧力センサ８１
は、前述の圧力センサ５１におけるキャパシタ式の圧力
感知モジュール１５の代わりに、金属ダイヤフラム３６
と歪ゲージ３７とで構成される歪ゲージ式の圧力感知モ
ジュール４５を用いている。金属ダイヤフラム３６は押
さえリング８８ａ〜８８ｃを介して電子回路９の支持板
８９により押さえられ、支持板８９はさらに押さえリン
グ８８ｄを介して電気コネクタハウジング１１のフラン
ジ１６により固定されている。
かさらに実開平４−１５０３３号公報に開示されている
ようなものもある。図４に示されるこの圧力センサ８１
は、前述の圧力センサ５１におけるキャパシタ式の圧力
感知モジュール１５の代わりに、金属ダイヤフラム３６
と歪ゲージ３７とで構成される歪ゲージ式の圧力感知モ
ジュール４５を用いている。金属ダイヤフラム３６は押
さえリング８８ａ〜８８ｃを介して電子回路９の支持板
８９により押さえられ、支持板８９はさらに押さえリン
グ８８ｄを介して電気コネクタハウジング１１のフラン
ジ１６により固定されている。
【０００８】同種機能部分には前述と同じ符号を用いて
説明すると、金属ダイヤフラム３６の受圧面１３の反対
の面には歪ゲージ３７によりブリッジ回路が形成されて
おり、導電性ワイヤ３７ａで電子回路９に接続されてい
る。電子回路９の出力は端子１２から外部に出力され
る。なお、電子回路９を外部汚染物から保護するため、
外部シール１０のかわりに、電気コネクタハウジング１
１のフランジ１６外周部にシールリング１０’が設けら
れている。
説明すると、金属ダイヤフラム３６の受圧面１３の反対
の面には歪ゲージ３７によりブリッジ回路が形成されて
おり、導電性ワイヤ３７ａで電子回路９に接続されてい
る。電子回路９の出力は端子１２から外部に出力され
る。なお、電子回路９を外部汚染物から保護するため、
外部シール１０のかわりに、電気コネクタハウジング１
１のフランジ１６外周部にシールリング１０’が設けら
れている。
【０００９】受圧面１３に所定の圧力が印加されると、
金属ダイヤフラム３６が歪み、ブリッジ回路の歪ゲージ
３７の抵抗値変化が電子回路９で電圧に変換され出力さ
れる。このとき、圧力キャビティ１７に充満している圧
力媒体が金属ダイヤフラム３６とハウジング５２との境
界面１８から歪ゲージ３７、電子回路９側へ侵入しない
ように、Ｏリング５５とバックアップリング５４が大き
くつぶされながら阻止するようになっている。
金属ダイヤフラム３６が歪み、ブリッジ回路の歪ゲージ
３７の抵抗値変化が電子回路９で電圧に変換され出力さ
れる。このとき、圧力キャビティ１７に充満している圧
力媒体が金属ダイヤフラム３６とハウジング５２との境
界面１８から歪ゲージ３７、電子回路９側へ侵入しない
ように、Ｏリング５５とバックアップリング５４が大き
くつぶされながら阻止するようになっている。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
従来構造における圧力センサ５１、８１にあっては、オ
イルシール部材、即ちＯリング５５とバックアップリン
グ５４が圧力導入孔３側に設置された構造となっている
ため、外部から圧力センサ５１、８１に加わる負荷と同
一の負荷が絶えず上記オイルシール部材に加わってい
る。例えば、自動車で用いられるブレーキ液圧センサの
場合には、オイルシール部材が絶えずあるいは繰返し例
えば１２０°Ｃ、２００Ｋｇｆ／ｃｍ2 などの高温、高
圧にさらされる。このような環境では、オイルシール部
材が大きな弾性変形を繰り返すので、オイルシール部材
が劣化し耐久性が低下するという問題がある。
従来構造における圧力センサ５１、８１にあっては、オ
イルシール部材、即ちＯリング５５とバックアップリン
グ５４が圧力導入孔３側に設置された構造となっている
ため、外部から圧力センサ５１、８１に加わる負荷と同
一の負荷が絶えず上記オイルシール部材に加わってい
る。例えば、自動車で用いられるブレーキ液圧センサの
場合には、オイルシール部材が絶えずあるいは繰返し例
えば１２０°Ｃ、２００Ｋｇｆ／ｃｍ2 などの高温、高
圧にさらされる。このような環境では、オイルシール部
材が大きな弾性変形を繰り返すので、オイルシール部材
が劣化し耐久性が低下するという問題がある。
【００１１】また、高温、高圧が繰り返されると、前述
のようにＯリング５５がハウジング５２の内孔５２ａと
圧力感知モジュール１５、４５との間の境界面１８に押
し込まれたり、挟まれたりするカジリ現象が発生するの
で、オイルシール部材にはＯリング５５より硬い材質、
例えばテフロン材のバックアップリング５４を付加しな
ければならないという制約がある。したがって、本発明
は、上記従来の問題点に鑑み、オイルシール部材の耐久
性が向上し、かつＯリングだけでも十分シール効果が得
られる圧力センサのオイルシール構造を提供することを
目的とする。
のようにＯリング５５がハウジング５２の内孔５２ａと
圧力感知モジュール１５、４５との間の境界面１８に押
し込まれたり、挟まれたりするカジリ現象が発生するの
で、オイルシール部材にはＯリング５５より硬い材質、
例えばテフロン材のバックアップリング５４を付加しな
ければならないという制約がある。したがって、本発明
は、上記従来の問題点に鑑み、オイルシール部材の耐久
性が向上し、かつＯリングだけでも十分シール効果が得
られる圧力センサのオイルシール構造を提供することを
目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明は、ハウジング内に圧力感知モジュールを
収容し、該圧力感知モジュールの受圧面に圧力媒体を導
く圧力導入孔を備える圧力センサにおいて、前記圧力感
知モジュールの受圧面と反対の面の周辺部にオイルシー
ル部材を備えてなるものとした。
めに、本発明は、ハウジング内に圧力感知モジュールを
収容し、該圧力感知モジュールの受圧面に圧力媒体を導
く圧力導入孔を備える圧力センサにおいて、前記圧力感
知モジュールの受圧面と反対の面の周辺部にオイルシー
ル部材を備えてなるものとした。
【００１３】
【作用】圧力媒体が圧力感知モジュールの受圧面を押圧
すると変形あるいは歪が生じ、この変形量または歪み量
を計測することにより、圧力センサは受圧面における圧
力媒体の圧力を感知することができる。 このとき、オ
イルシール部材は圧力感知モジュールの受圧面と反対の
面の周辺部に設けられているので、圧力媒体は圧力感知
モジュールの外周面とハウジングの内孔面との間の挟小
な間隙である境界面を通してオイルシール部材に到達さ
れることになる。これにより、受圧面における圧力媒体
の圧力変動は激しくても、オイルシール部材における圧
力媒体の圧力変動は緩慢で僅少である。したがって、オ
イルシール部材の変形量が少ないから耐久性が向上す
る。また、オイルシール部材にかかる最高圧力も低くお
さえられるので、オイルシール部材はみ出し防止用のバ
ックアップリングの設置も省略できる。
すると変形あるいは歪が生じ、この変形量または歪み量
を計測することにより、圧力センサは受圧面における圧
力媒体の圧力を感知することができる。 このとき、オ
イルシール部材は圧力感知モジュールの受圧面と反対の
面の周辺部に設けられているので、圧力媒体は圧力感知
モジュールの外周面とハウジングの内孔面との間の挟小
な間隙である境界面を通してオイルシール部材に到達さ
れることになる。これにより、受圧面における圧力媒体
の圧力変動は激しくても、オイルシール部材における圧
力媒体の圧力変動は緩慢で僅少である。したがって、オ
イルシール部材の変形量が少ないから耐久性が向上す
る。また、オイルシール部材にかかる最高圧力も低くお
さえられるので、オイルシール部材はみ出し防止用のバ
ックアップリングの設置も省略できる。
【００１４】
【実施例】図１は、本発明の第１の実施例を示す断面図
である。この実施例の圧力センサは、図３によって説明
した従来の第１の構造の圧力センサ５１と類似の部品が
多いので、同一作動目的の類似形状部品は図１に同一符
号を付することにより詳細な説明は省略する。圧力セン
サ１には、ハウジング２が設けられ、このハウジング２
の内孔２ａの内孔底面２ｂの中心から下端面に向けて圧
力導入孔３が設けられている。また、上記内孔底面２ｂ
上には、セラミック材のダイヤフラム６とサブストレー
ト板７とから構成された圧力感知モジュール１５が挿入
されている。なお、ハウジング２の内孔底面２ｂとダイ
ヤフラム６の下面の受圧油１３との間には、圧力キャビ
ティ１７が形成されている。ダイヤフラム６とサブスト
レート板７との間にはキャパシタが形成されている。
である。この実施例の圧力センサは、図３によって説明
した従来の第１の構造の圧力センサ５１と類似の部品が
多いので、同一作動目的の類似形状部品は図１に同一符
号を付することにより詳細な説明は省略する。圧力セン
サ１には、ハウジング２が設けられ、このハウジング２
の内孔２ａの内孔底面２ｂの中心から下端面に向けて圧
力導入孔３が設けられている。また、上記内孔底面２ｂ
上には、セラミック材のダイヤフラム６とサブストレー
ト板７とから構成された圧力感知モジュール１５が挿入
されている。なお、ハウジング２の内孔底面２ｂとダイ
ヤフラム６の下面の受圧油１３との間には、圧力キャビ
ティ１７が形成されている。ダイヤフラム６とサブスト
レート板７との間にはキャパシタが形成されている。
【００１５】上記ハウジング２の上端には、圧力感知モ
ジュール１５を内孔２ａ内に固定するために上蓋状の支
持リング８が設けられている。この支持リング８の下面
内周部にはシール溝が設けられていて、Ｏリング（オイ
ルシール部材）５が装着されている。さらに、圧力感知
モジュール１５の静電容量の変化を計測して圧力をアナ
ログ量として検出するための電子回路９がサブストレー
ト板７上に接して設けられている。また、上記電子回路
９はプラスチック材の電気コネクタハウジング１１に囲
まれて設けられている。 電気コネクタ１１上部の内孔
内には端子１２が突出して設けられ、電子回路９に接続
されている。そして、この電気コネクタハウジング１１
はその下端のフランジ１６において支持リング８の上縁
が縁曲げされることによって支持リング８に固定される
と共に、外部シール１０を施して外からの汚染物の侵入
を防止している。なお、支持リング８は熔接部１４でハ
ウジング２の上縁に固定されている。
ジュール１５を内孔２ａ内に固定するために上蓋状の支
持リング８が設けられている。この支持リング８の下面
内周部にはシール溝が設けられていて、Ｏリング（オイ
ルシール部材）５が装着されている。さらに、圧力感知
モジュール１５の静電容量の変化を計測して圧力をアナ
ログ量として検出するための電子回路９がサブストレー
ト板７上に接して設けられている。また、上記電子回路
９はプラスチック材の電気コネクタハウジング１１に囲
まれて設けられている。 電気コネクタ１１上部の内孔
内には端子１２が突出して設けられ、電子回路９に接続
されている。そして、この電気コネクタハウジング１１
はその下端のフランジ１６において支持リング８の上縁
が縁曲げされることによって支持リング８に固定される
と共に、外部シール１０を施して外からの汚染物の侵入
を防止している。なお、支持リング８は熔接部１４でハ
ウジング２の上縁に固定されている。
【００１６】上記の構成により、圧力媒体は圧力導入孔
３を介して圧力キャビティ１７に導かれ、圧力の印加に
より受圧面１３が押圧されて、ダイヤフラム６が上方に
撓んで変形する。これによりダイヤフラム６と対向する
サブストレート板７との間に形成されたキャパシタの静
電容量が変化する。この静電容量の変化が電子回路９で
圧力に対応した電圧値に変換、増幅されて端子１２から
出力される。
３を介して圧力キャビティ１７に導かれ、圧力の印加に
より受圧面１３が押圧されて、ダイヤフラム６が上方に
撓んで変形する。これによりダイヤフラム６と対向する
サブストレート板７との間に形成されたキャパシタの静
電容量が変化する。この静電容量の変化が電子回路９で
圧力に対応した電圧値に変換、増幅されて端子１２から
出力される。
【００１７】この実施例は以上のように構成され、圧力
キャビティ１７に高圧力が印加されても、Ｏリング５に
は狭小隙間である境界面１８を通して緩和された低い圧
力が伝達されるので、Ｏリング５のつぶれ量が小さく耐
久性が向上するという効果がある。また同理由により、
内側に支持壁を設けたり、バックアップリングを設けた
りする必要がなく、構造が簡単になるという効果があ
る。さらに、圧力キャビティ１７の圧力が下がるときに
も、境界面１８で絞られているので、Ｏリング５を押す
圧力の降下は緩慢になるので、この点でもＯリング５の
耐久性の向上効果を助長する。
キャビティ１７に高圧力が印加されても、Ｏリング５に
は狭小隙間である境界面１８を通して緩和された低い圧
力が伝達されるので、Ｏリング５のつぶれ量が小さく耐
久性が向上するという効果がある。また同理由により、
内側に支持壁を設けたり、バックアップリングを設けた
りする必要がなく、構造が簡単になるという効果があ
る。さらに、圧力キャビティ１７の圧力が下がるときに
も、境界面１８で絞られているので、Ｏリング５を押す
圧力の降下は緩慢になるので、この点でもＯリング５の
耐久性の向上効果を助長する。
【００１８】次に図２は、本発明の第２の実施例を示
す。 この実施例における圧力センサ３１は、前実施例
におけるキャパシタ式の圧力感知モジュール１５の代り
に歪ゲージ式の圧力感知モジュール４５を用いている。
同一作用目的の同一部品には、図２と同一符号を付する
ことにより、詳細な説明は省略する。金属ダイヤフラム
３６には、下面の中央部に圧力キャビティ１７が設けら
れていて、この圧力キャビティ１７上部の受圧面１３の
反対の面には歪ゲージ（歪検知部材）３７によりブリッ
ジ回路が形成されており、上記金属ダイヤフラム３６と
歪ゲージ３７とで圧力感知モジュール４５が構成されて
いる。
す。 この実施例における圧力センサ３１は、前実施例
におけるキャパシタ式の圧力感知モジュール１５の代り
に歪ゲージ式の圧力感知モジュール４５を用いている。
同一作用目的の同一部品には、図２と同一符号を付する
ことにより、詳細な説明は省略する。金属ダイヤフラム
３６には、下面の中央部に圧力キャビティ１７が設けら
れていて、この圧力キャビティ１７上部の受圧面１３の
反対の面には歪ゲージ（歪検知部材）３７によりブリッ
ジ回路が形成されており、上記金属ダイヤフラム３６と
歪ゲージ３７とで圧力感知モジュール４５が構成されて
いる。
【００１９】受圧面１３に所定の圧力が印加されると、
金属ダイヤフラム３６が歪み、ブリッジ回路の歪ゲージ
３７の抵抗値の変化が、導電ワイヤ３７ａで接続された
電子回路９で電圧に変換され、その出力が端子１２から
外部へ出力される。この構成によっても、前実施例と同
じく、Ｏリングの耐久性向上および構造簡単化の効果が
得られる。
金属ダイヤフラム３６が歪み、ブリッジ回路の歪ゲージ
３７の抵抗値の変化が、導電ワイヤ３７ａで接続された
電子回路９で電圧に変換され、その出力が端子１２から
外部へ出力される。この構成によっても、前実施例と同
じく、Ｏリングの耐久性向上および構造簡単化の効果が
得られる。
【００２０】なお、上記実施例では、圧力感知モジュー
ルとしてキャパシタ式、あるいは歪ゲージ式のものを用
いているが、これに限定されず、任意の圧力感知モジュ
ールを備える圧力センサに適用して、同じ効果を得るこ
とができる。
ルとしてキャパシタ式、あるいは歪ゲージ式のものを用
いているが、これに限定されず、任意の圧力感知モジュ
ールを備える圧力センサに適用して、同じ効果を得るこ
とができる。
【００２１】
【発明の効果】以上のとおり、本発明によれば、オイル
シール部材が圧力センサ内の圧力感知モジュールにおけ
る受圧面と反対の面に設けられているから、上記受圧面
との間に狭小隙間が介在されることになり、受圧面に導
かれた圧力媒体の圧力が急激に変化しても、オイルシー
ル部材における圧力変化は緩慢であると共に、圧力変化
量も小さい。従ってオイルシール部材の耐久性が向上す
るという効果がある。また、オイルシール部材における
圧力変化量が小さいということは、圧力の絶対値も高く
ならないから、オイルシール部材の形状を支える支持壁
やバックアップリングが不要となるので、圧力センサの
構造が簡単化されるという効果も得られる。
シール部材が圧力センサ内の圧力感知モジュールにおけ
る受圧面と反対の面に設けられているから、上記受圧面
との間に狭小隙間が介在されることになり、受圧面に導
かれた圧力媒体の圧力が急激に変化しても、オイルシー
ル部材における圧力変化は緩慢であると共に、圧力変化
量も小さい。従ってオイルシール部材の耐久性が向上す
るという効果がある。また、オイルシール部材における
圧力変化量が小さいということは、圧力の絶対値も高く
ならないから、オイルシール部材の形状を支える支持壁
やバックアップリングが不要となるので、圧力センサの
構造が簡単化されるという効果も得られる。
【図１】本発明の第１の実施例を示す軸方向断面図であ
る。
る。
【図２】第２の実施例を示す軸方向断面図である。
【図３】従来例を示す軸方向断面図である。
【図４】他の従来例を示す軸方向断面図である。
１、３１ 圧力センサ ２ ハウジング ３ 圧力導入孔 ５ Ｏリング（オイルシール部材） ６ ダイヤフラム ７ サブストレート板 ８ 支持リング ９ 電子回路 １０ 外部シール １１ 電気コネクタハウジング １２ 端子 １３ 受圧面 １５ 圧力感知モジュール １７ 圧力キャビティ １８ 境界面 ３６ 金属ダイヤフラム ３７ 歪ゲージ（歪検知部材） ３７ａ 導電性ワイヤ ４５ 圧力感知モジュール ５１、８１ 圧力センサ ５２ ハウジング ５４ バックアップリング ５５ Ｏリング ５８、８８ 支持リング
Claims (3)
- 【請求項１】 ハウジング内に圧力感知モジュールを収
容し、該圧力感知モジュールの受圧面に圧力媒体を導く
圧力導入孔を備える圧力センサにおいて、前記圧力感知
モジュールの受圧面と反対の面の周辺部にオイルシール
部材を備えてなることを特徴とする圧力センサのオイル
シール構造。 - 【請求項２】 前記圧力感知モジュールは、セラミック
材のダイヤフラムとセラミック材のサブストレート板と
からなり、前記ダイヤフラムを前記受圧面とし、前記ダ
イヤフラムとサブストレート板との間に設けた微少間隙
の静電容量の変化に基づき圧力を計測するものであるこ
とを特徴とする請求項１記載の圧力センサのオイルシー
ル構造。 - 【請求項３】 前記圧力感知モジュールは、金属よりな
るダイヤフラムに歪検知部材を設けて構成され、該歪検
知部材を設けた側と反対の面を前記受圧面とし、前記歪
検知部材の抵抗変化に基づき圧力を計測するものである
ことを特徴とする請求項１記載の圧力センサのオイルシ
ール構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5210889A JPH0749282A (ja) | 1993-08-03 | 1993-08-03 | 圧力センサのオイルシール構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5210889A JPH0749282A (ja) | 1993-08-03 | 1993-08-03 | 圧力センサのオイルシール構造 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0749282A true JPH0749282A (ja) | 1995-02-21 |
Family
ID=16596774
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5210889A Pending JPH0749282A (ja) | 1993-08-03 | 1993-08-03 | 圧力センサのオイルシール構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0749282A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100359994B1 (ko) * | 2000-11-22 | 2002-11-07 | 한국기계연구원 | 반도체장비용 오링의 내구성시험장치 |
| DE10012169B4 (de) * | 1999-03-12 | 2011-02-24 | DENSO CORPORATION, Kariya-shi | Druckerfassungsvorrichtung, Verfahren zu deren Herstellung und Gießvorrichtung |
| CN111465788A (zh) * | 2017-12-27 | 2020-07-28 | Nok株式会社 | 密封装置 |
-
1993
- 1993-08-03 JP JP5210889A patent/JPH0749282A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10012169B4 (de) * | 1999-03-12 | 2011-02-24 | DENSO CORPORATION, Kariya-shi | Druckerfassungsvorrichtung, Verfahren zu deren Herstellung und Gießvorrichtung |
| KR100359994B1 (ko) * | 2000-11-22 | 2002-11-07 | 한국기계연구원 | 반도체장비용 오링의 내구성시험장치 |
| CN111465788A (zh) * | 2017-12-27 | 2020-07-28 | Nok株式会社 | 密封装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20000411 |