JPH10160607A - 圧力センサ - Google Patents
圧力センサInfo
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- JPH10160607A JPH10160607A JP31838096A JP31838096A JPH10160607A JP H10160607 A JPH10160607 A JP H10160607A JP 31838096 A JP31838096 A JP 31838096A JP 31838096 A JP31838096 A JP 31838096A JP H10160607 A JPH10160607 A JP H10160607A
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- pressure sensor
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ばりが基台の開口端部に発生しても、圧力導
入管と外部との間における気密性を良好に維持できる圧
力センサを提供する。 【解決手段】 樹脂からなり開口端部11を有して筒状
に形成された基台1と、軸孔21を設けたガラス台座2
と、圧力導入孔31の軸に対する一方直交面32をガラ
ス台座2の一面22と接合されるとともに、基台1の開
口端部11と一体成形された鍔部33が一方直交面32
側に設けられた金属製の圧力導入管3と、ガラス台座2
の他面に接合される圧力センサチップ4と、挿通孔51
に挿通された圧力導入管3を保持する保持ケース5と、
圧力導入管3を外囲した状態で基台1の開口端部11と
保持ケース5との間に設けられて気密封止するリング状
パッキン6とを備え、前記圧力導入管3を外囲した金属
製のワッシャ7が、前記基台1の開口端部11と前記リ
ング状パッキン6との間に設けられた構成にしてある。
入管と外部との間における気密性を良好に維持できる圧
力センサを提供する。 【解決手段】 樹脂からなり開口端部11を有して筒状
に形成された基台1と、軸孔21を設けたガラス台座2
と、圧力導入孔31の軸に対する一方直交面32をガラ
ス台座2の一面22と接合されるとともに、基台1の開
口端部11と一体成形された鍔部33が一方直交面32
側に設けられた金属製の圧力導入管3と、ガラス台座2
の他面に接合される圧力センサチップ4と、挿通孔51
に挿通された圧力導入管3を保持する保持ケース5と、
圧力導入管3を外囲した状態で基台1の開口端部11と
保持ケース5との間に設けられて気密封止するリング状
パッキン6とを備え、前記圧力導入管3を外囲した金属
製のワッシャ7が、前記基台1の開口端部11と前記リ
ング状パッキン6との間に設けられた構成にしてある。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、圧力センサチップ
が圧力による抵抗変化を電気信号に変換して、液体又は
気体からなる流体の圧力を測定する圧力センサに関する
ものである。
が圧力による抵抗変化を電気信号に変換して、液体又は
気体からなる流体の圧力を測定する圧力センサに関する
ものである。
【0002】
【従来の技術】従来、この種の圧力センサとして、図5
に示す構成のものが存在する。このものは、樹脂からな
り開口端部A1を有して筒状に形成された基台Aと、軸
孔B1を設けてその軸孔B1の軸と直交した一面を有す
るガラス台座Bと、測定対象である流体を圧力を持って
導入する圧力導入孔C1の軸に対する一方直交面C2を
ガラス台座Bの一面と接合されるとともに、基台Aの開
口端部A1と一体成形された鍔部C3が一方直交面C2
側に設けられた金属製の圧力導入管Cと、ガラス台座B
の他面に接合される圧力センサチップDと、挿通孔E1
を有してその挿通孔E1に挿通された圧力導入管Cを保
持する保持ケースEと、圧力導入管Cを外囲した状態で
基台Aの開口端部A1と保持ケースEとの間に設けられ
て気密封止するリング状パッキンFとを備えている。
に示す構成のものが存在する。このものは、樹脂からな
り開口端部A1を有して筒状に形成された基台Aと、軸
孔B1を設けてその軸孔B1の軸と直交した一面を有す
るガラス台座Bと、測定対象である流体を圧力を持って
導入する圧力導入孔C1の軸に対する一方直交面C2を
ガラス台座Bの一面と接合されるとともに、基台Aの開
口端部A1と一体成形された鍔部C3が一方直交面C2
側に設けられた金属製の圧力導入管Cと、ガラス台座B
の他面に接合される圧力センサチップDと、挿通孔E1
を有してその挿通孔E1に挿通された圧力導入管Cを保
持する保持ケースEと、圧力導入管Cを外囲した状態で
基台Aの開口端部A1と保持ケースEとの間に設けられ
て気密封止するリング状パッキンFとを備えている。
【0003】さらに詳しくは、リング状パッキンFは圧
力導入管Cを外囲した状態で設けられているので、圧力
導入管Cの外周面、保持ケースE、及び基台Aの開口端
部A1と接触して、圧力導入管Cを外部と気密封止す
る。したがって、圧力導入孔C1に圧力を持って導入さ
れた流体が、圧力導入管Cの外壁を介して外部へ漏洩す
ることを防止する。
力導入管Cを外囲した状態で設けられているので、圧力
導入管Cの外周面、保持ケースE、及び基台Aの開口端
部A1と接触して、圧力導入管Cを外部と気密封止す
る。したがって、圧力導入孔C1に圧力を持って導入さ
れた流体が、圧力導入管Cの外壁を介して外部へ漏洩す
ることを防止する。
【0004】ここで、基台Aは開口端部A1が圧力導入
管Cの鍔部C1と一体成形されて、その一体成形をする
ときに、樹脂からなるばりが開口端部A1に発生して、
リング状パッキンFと接触する。
管Cの鍔部C1と一体成形されて、その一体成形をする
ときに、樹脂からなるばりが開口端部A1に発生して、
リング状パッキンFと接触する。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】上記した従来の圧力セ
ンサでは、測定対象である流体が圧力導入管Cの外壁を
介して外部へ漏洩することを防止したうえで、圧力導入
孔C1から導入された高圧の流体の圧力を測定できる。
ンサでは、測定対象である流体が圧力導入管Cの外壁を
介して外部へ漏洩することを防止したうえで、圧力導入
孔C1から導入された高圧の流体の圧力を測定できる。
【0006】しかしながら、一体成形をするとき開口端
部A1に発生したばりがリング状パッキンFと接触する
ので、そのリング状パッキンFと基台Aの開口端部A1
との間に空隙を生じて、導入された流体がその空隙から
漏洩して、圧力導入管Cと外部との間の気密性が劣化す
る場合があった。
部A1に発生したばりがリング状パッキンFと接触する
ので、そのリング状パッキンFと基台Aの開口端部A1
との間に空隙を生じて、導入された流体がその空隙から
漏洩して、圧力導入管Cと外部との間の気密性が劣化す
る場合があった。
【0007】本発明は、上記問題点に鑑みてなしたもの
で、その目的とするところは、ばりが基台の開口端部に
発生しても、圧力導入管と外部との間における気密性を
良好に維持できる圧力センサを提供することにある。
で、その目的とするところは、ばりが基台の開口端部に
発生しても、圧力導入管と外部との間における気密性を
良好に維持できる圧力センサを提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記した課題を解決する
ために、請求項1記載のものは、樹脂からなり筒状に形
成された基台と、軸孔を設けてその軸孔の軸と直交した
一面を有するガラス台座と、測定対象である流体を圧力
を持って導入する圧力導入孔の軸に対する一方直交面を
ガラス台座の一面と接合されるとともに、基台の開口端
部と一体成形された鍔部が一方直交面側に設けられた金
属製の圧力導入管と、ガラス台座の他面に接合される圧
力センサチップと、挿通孔を有してその挿通孔に挿通さ
れた圧力導入管を保持する保持ケースと、圧力導入管を
外囲した状態で基台の開口端部と保持ケースとの間に設
けられて気密封止するリング状パッキンとを備え、圧力
センサチップが圧力による抵抗変化を電気信号に変換し
て流体の圧力を測定する圧力センサにおいて、前記圧力
導入管を外囲した金属製のワッシャが、前記鍔部を一体
成形した前記基台の開口端部と前記リング状パッキンと
の間に設けられた構成にしてある。
ために、請求項1記載のものは、樹脂からなり筒状に形
成された基台と、軸孔を設けてその軸孔の軸と直交した
一面を有するガラス台座と、測定対象である流体を圧力
を持って導入する圧力導入孔の軸に対する一方直交面を
ガラス台座の一面と接合されるとともに、基台の開口端
部と一体成形された鍔部が一方直交面側に設けられた金
属製の圧力導入管と、ガラス台座の他面に接合される圧
力センサチップと、挿通孔を有してその挿通孔に挿通さ
れた圧力導入管を保持する保持ケースと、圧力導入管を
外囲した状態で基台の開口端部と保持ケースとの間に設
けられて気密封止するリング状パッキンとを備え、圧力
センサチップが圧力による抵抗変化を電気信号に変換し
て流体の圧力を測定する圧力センサにおいて、前記圧力
導入管を外囲した金属製のワッシャが、前記鍔部を一体
成形した前記基台の開口端部と前記リング状パッキンと
の間に設けられた構成にしてある。
【0009】請求項2記載のものは、請求項1記載のも
のにおいて、前記ワッシャは前記鍔部に当接する当接部
が突設された構成にしてある。
のにおいて、前記ワッシャは前記鍔部に当接する当接部
が突設された構成にしてある。
【0010】請求項3記載のものは、請求項1又は2記
載のものにおいて、前記リング状パッキンは、合成ゴム
又は合成樹脂からなる断面略円形状のOリングである構
成にしてある。
載のものにおいて、前記リング状パッキンは、合成ゴム
又は合成樹脂からなる断面略円形状のOリングである構
成にしてある。
【0011】
【発明の実施の形態】本発明の第1実施形態を図1乃至
図3に基づいて以下に説明する。1は基台で、絶縁性の
樹脂により、開口端部11を有して略四角状の有底筒状
に形成され、内部に収容空間12が設けられる。
図3に基づいて以下に説明する。1は基台で、絶縁性の
樹脂により、開口端部11を有して略四角状の有底筒状
に形成され、内部に収容空間12が設けられる。
【0012】2はガラス台座で、パイレックスガラス等
のガラスにより、略四角形の筒状に形成され、軸孔21
が設けられ、その軸孔21の軸と直交した一面22が蒸
着又はスパッタ等でもって金属でメタライズされてい
る。
のガラスにより、略四角形の筒状に形成され、軸孔21
が設けられ、その軸孔21の軸と直交した一面22が蒸
着又はスパッタ等でもって金属でメタライズされてい
る。
【0013】3は圧力導入管で、コバール又はFeNi
合金等の金属により、円筒状に形成され、測定対象であ
る流体を圧力を持って導入する圧力導入孔31が設けら
れ、その圧力導入孔31の軸に対して直交した一方直交
面32が、圧力導入孔31の軸と軸孔21の軸との互い
の軸を合わせて、半田でもってガラス台座2の一面22
と接合されている。
合金等の金属により、円筒状に形成され、測定対象であ
る流体を圧力を持って導入する圧力導入孔31が設けら
れ、その圧力導入孔31の軸に対して直交した一方直交
面32が、圧力導入孔31の軸と軸孔21の軸との互い
の軸を合わせて、半田でもってガラス台座2の一面22
と接合されている。
【0014】さらに、鍔部33が一方直交面32側に設
けられ、基台1の開口端部11と一体成形されて、つま
り基台1の開口端部11と一体成形された鍔部33が一
方直交面32側に設けられて、収容空間12の反対側へ
導出される。このとき、樹脂からなる基台1のばりが、
開口端部11に発生する。また、雄ねじ34が鍔部33
の反対側における外周部に設けられている。
けられ、基台1の開口端部11と一体成形されて、つま
り基台1の開口端部11と一体成形された鍔部33が一
方直交面32側に設けられて、収容空間12の反対側へ
導出される。このとき、樹脂からなる基台1のばりが、
開口端部11に発生する。また、雄ねじ34が鍔部33
の反対側における外周部に設けられている。
【0015】4は圧力センサチップで、シリコン半導体
により、略中央部に形成されたシリコンダイヤフラム4
1上にピエゾ抵抗(図示せず)を配置することによって
歪みゲージが形成され、ガラス台座2の軸孔21がシリ
コンダイヤフラム41に位置するよう、直流の高電圧を
印加する陽極接合でもってガラス台座2の他面23に接
合されて、流体の圧力を電気信号に変換する。
により、略中央部に形成されたシリコンダイヤフラム4
1上にピエゾ抵抗(図示せず)を配置することによって
歪みゲージが形成され、ガラス台座2の軸孔21がシリ
コンダイヤフラム41に位置するよう、直流の高電圧を
印加する陽極接合でもってガラス台座2の他面23に接
合されて、流体の圧力を電気信号に変換する。
【0016】5は保持ケースで、ステンレス等の金属に
より、図2に示すように、筒状に形成され、中心位置に
は挿通孔51が設けられ、挿通孔51の一方側にその挿
通孔51に通じた同心円状の段を有した凹部52を設け
て六角ボルト状に形成され、圧力導入管3が挿通孔51
に挿通され保持されて、基台1が凹部52に収容され
る。また、テーパ部53が挿通孔51の一方側における
開口端部に、内周部に雌ねじ54aを有した固定ねじ5
4が他方側に、それぞれ設けられている。
より、図2に示すように、筒状に形成され、中心位置に
は挿通孔51が設けられ、挿通孔51の一方側にその挿
通孔51に通じた同心円状の段を有した凹部52を設け
て六角ボルト状に形成され、圧力導入管3が挿通孔51
に挿通され保持されて、基台1が凹部52に収容され
る。また、テーパ部53が挿通孔51の一方側における
開口端部に、内周部に雌ねじ54aを有した固定ねじ5
4が他方側に、それぞれ設けられている。
【0017】6はリング状パッキンで、合成ゴム又は合
成樹脂からなるOリングにより、リング状で断面円形状
に形成され、押圧されると弾性変形を生じ、保持ケース
5のテーパ部53に載置されて、基台1の開口端部11
と保持ケース5との間に位置して圧力導入管3の外周部
を外囲する。
成樹脂からなるOリングにより、リング状で断面円形状
に形成され、押圧されると弾性変形を生じ、保持ケース
5のテーパ部53に載置されて、基台1の開口端部11
と保持ケース5との間に位置して圧力導入管3の外周部
を外囲する。
【0018】7はワッシャで、金属により、中心部に貫
通孔を有して円形板状に形成され、基台1の開口端部1
1とリング状パッキン6との間に設けられて、圧力導入
管3を外囲する。
通孔を有して円形板状に形成され、基台1の開口端部1
1とリング状パッキン6との間に設けられて、圧力導入
管3を外囲する。
【0019】端子8は、基台1に固着されて、基台1の
収容部12に配された内部端子81と外部に配され折曲
形成された外部端子82とを有し、内部端子81が圧力
センサチップ4に設けられた電極(図示せず)とワイヤ
ボンディングでもって電気的に接続されている。
収容部12に配された内部端子81と外部に配され折曲
形成された外部端子82とを有し、内部端子81が圧力
センサチップ4に設けられた電極(図示せず)とワイヤ
ボンディングでもって電気的に接続されている。
【0020】プリント基板9は、回路が形成されたセラ
ミック基板により、保持ケース5の凹部52に固定され
るとともに、外部端子82が挿通され半田付けされるこ
とによって、圧力センサチップ4と電気的に接続され
る。端子ブロック10は、コネクタ用端子10aを同時
成形して形成され、コネクタ用端子10aがプリント基
板9を介して端子8と接続される。
ミック基板により、保持ケース5の凹部52に固定され
るとともに、外部端子82が挿通され半田付けされるこ
とによって、圧力センサチップ4と電気的に接続され
る。端子ブロック10は、コネクタ用端子10aを同時
成形して形成され、コネクタ用端子10aがプリント基
板9を介して端子8と接続される。
【0021】コネクタ11は、合成樹脂により、角筒状
の着脱部11aと、その着脱部11aの外形よりも大き
な径の円筒状の台座部11bとを有して形成され、台座
部11bが保持ケース5の凹部52に嵌挿され、このと
き端子ブロック10のコネクタ用端子10aが着脱部1
1aの筒内に突出して導出される。
の着脱部11aと、その着脱部11aの外形よりも大き
な径の円筒状の台座部11bとを有して形成され、台座
部11bが保持ケース5の凹部52に嵌挿され、このと
き端子ブロック10のコネクタ用端子10aが着脱部1
1aの筒内に突出して導出される。
【0022】ここで、ワッシャ7が基台1の開口端部1
1とリング状パッキン6との間に設けられて、圧力導入
管3を外囲した状態で、固定ねじ54の雌ねじ54aと
圧力導入管3の雄ねじ34とを螺合する。リング状パッ
キン6が押圧されて全ての方向へ均一に弾性変形して、
圧力導入管3が外部と気密封止される。
1とリング状パッキン6との間に設けられて、圧力導入
管3を外囲した状態で、固定ねじ54の雌ねじ54aと
圧力導入管3の雄ねじ34とを螺合する。リング状パッ
キン6が押圧されて全ての方向へ均一に弾性変形して、
圧力導入管3が外部と気密封止される。
【0023】このものの動作を説明する。圧力導入孔3
1及び軸孔21の互いの軸を合わせて、ガラス台座2の
一面22が圧力導入管3の一方直交面32に半田でもっ
て半田接合されているので、圧力導入孔31と軸孔21
とが連通する。この状態で、気体又は液体の流体は、高
い圧力を持って圧力導入管3の圧力導入孔31に導入さ
れる。
1及び軸孔21の互いの軸を合わせて、ガラス台座2の
一面22が圧力導入管3の一方直交面32に半田でもっ
て半田接合されているので、圧力導入孔31と軸孔21
とが連通する。この状態で、気体又は液体の流体は、高
い圧力を持って圧力導入管3の圧力導入孔31に導入さ
れる。
【0024】このとき、圧力センサチップ4が、ガラス
台座2の軸孔21を遮蔽するようガラス台座2と陽極接
合でもって気密接合されて、かつ圧力導入管3がガラス
台座2と半田接合されている。さらに、金属製でばりの
ないワッシャ7が、基台1の開口端部11とリング状パ
ッキン6との間に設けられているので、リング状パッキ
ン6が開口端部11に発生したばりと接触することな
く、ワッシャ7、圧力導入管3の外周部、及び保持ケー
ス5のテーパ部53と接触する。したがって、圧力導入
管3をリング状パッキン6によって外部と気密性よく気
密封止するので、流体は圧力導入管3の外周部を介して
外部へ漏れることなく、その圧力を圧力センサチップ4
に負荷する。
台座2の軸孔21を遮蔽するようガラス台座2と陽極接
合でもって気密接合されて、かつ圧力導入管3がガラス
台座2と半田接合されている。さらに、金属製でばりの
ないワッシャ7が、基台1の開口端部11とリング状パ
ッキン6との間に設けられているので、リング状パッキ
ン6が開口端部11に発生したばりと接触することな
く、ワッシャ7、圧力導入管3の外周部、及び保持ケー
ス5のテーパ部53と接触する。したがって、圧力導入
管3をリング状パッキン6によって外部と気密性よく気
密封止するので、流体は圧力導入管3の外周部を介して
外部へ漏れることなく、その圧力を圧力センサチップ4
に負荷する。
【0025】流体の圧力が圧力センサチップ4に負荷さ
れると、圧力センサチップ4に形成されたシリコンダイ
ヤフラム41が、流体の圧力と大気圧との差に比例して
撓む。そして、そのシリコンダイヤフラム41上に形成
されたピエゾ抵抗の抵抗値が撓みの大きさに比例して変
化し、この抵抗値を電気信号として端子8に出力し、プ
リント基板9に設けられた増幅素子(図示せず)で増幅
して、コネクタ用端子10aに出力して、流体の圧力を
測定する。
れると、圧力センサチップ4に形成されたシリコンダイ
ヤフラム41が、流体の圧力と大気圧との差に比例して
撓む。そして、そのシリコンダイヤフラム41上に形成
されたピエゾ抵抗の抵抗値が撓みの大きさに比例して変
化し、この抵抗値を電気信号として端子8に出力し、プ
リント基板9に設けられた増幅素子(図示せず)で増幅
して、コネクタ用端子10aに出力して、流体の圧力を
測定する。
【0026】かかる第1実施形態の圧力センサにあって
は、上記したように、圧力導入管3を外囲したワッシャ
7が、基台1の開口端部11とリング状パッキン6との
間に設けられたから、基台1と鍔部33とを一体成形す
るときに開口端部11に発生したばりがリング状パッキ
ン6と接触した従来と異なって、リング状パッキン6が
ばりのない金属製のワッシャ7、圧力導入管3の外周
面、及び保持ケース5のテーパ部53と接触して、圧力
導入管3を外部と気密性よく気密封止できるとともに、
リング状パッキン6を長寿命化することができる。
は、上記したように、圧力導入管3を外囲したワッシャ
7が、基台1の開口端部11とリング状パッキン6との
間に設けられたから、基台1と鍔部33とを一体成形す
るときに開口端部11に発生したばりがリング状パッキ
ン6と接触した従来と異なって、リング状パッキン6が
ばりのない金属製のワッシャ7、圧力導入管3の外周
面、及び保持ケース5のテーパ部53と接触して、圧力
導入管3を外部と気密性よく気密封止できるとともに、
リング状パッキン6を長寿命化することができる。
【0027】また、リング状パッキン6が合成ゴム又は
合成樹脂からなる断面円形状のOリングであるから、O
リングがワッシャ7と保持ケース5のテーパ部53との
間で押圧されると全ての方向へ均一に弾性変形し、ワッ
シャ7と圧力導入管3の外周面と保持ケース5とに確実
に接触して、圧力導入管3を外部と信頼性よく気密封止
することができる。
合成樹脂からなる断面円形状のOリングであるから、O
リングがワッシャ7と保持ケース5のテーパ部53との
間で押圧されると全ての方向へ均一に弾性変形し、ワッ
シャ7と圧力導入管3の外周面と保持ケース5とに確実
に接触して、圧力導入管3を外部と信頼性よく気密封止
することができる。
【0028】本発明の第2実施形態を図4に基づいて以
下に説明する。なお、第2実施形態では第1実施形態と
異なる機能について述べることとし、第1実施形態と実
質的に同一機能を有する部材については、同一符号を付
して説明を省略する。
下に説明する。なお、第2実施形態では第1実施形態と
異なる機能について述べることとし、第1実施形態と実
質的に同一機能を有する部材については、同一符号を付
して説明を省略する。
【0029】ワッシャ7は、中心部に貫通孔を有して円
形板状に形成され、当接部71が圧力導入管3の一方直
交面32側へ突設され、圧力導入管3を外囲した状態
で、基台1の開口端部11とリング状パッキン6との間
に位置して設けられて、圧力導入管3の鍔部33に当接
する。
形板状に形成され、当接部71が圧力導入管3の一方直
交面32側へ突設され、圧力導入管3を外囲した状態
で、基台1の開口端部11とリング状パッキン6との間
に位置して設けられて、圧力導入管3の鍔部33に当接
する。
【0030】かかる第2実施形態の圧力センサにあって
は、上記したように、圧力導入管3の鍔部33に当接す
る当接部71がワッシャ7に突設されたから、ワッシャ
7が当接部で、平坦度が良好で金属からなる圧力導入管
3の鍔部33だけにぐらつくことなく当接するので、リ
ング状パッキン6がワッシャ7と確実に接触して、圧力
導入管3を外部と信頼性よく気密封止することができ
る。
は、上記したように、圧力導入管3の鍔部33に当接す
る当接部71がワッシャ7に突設されたから、ワッシャ
7が当接部で、平坦度が良好で金属からなる圧力導入管
3の鍔部33だけにぐらつくことなく当接するので、リ
ング状パッキン6がワッシャ7と確実に接触して、圧力
導入管3を外部と信頼性よく気密封止することができ
る。
【0031】
【発明の効果】請求項1記載のものは、圧力導入管を外
囲したワッシャが、基台の開口端部とリング状パッキン
との間に設けられたから、基台と鍔部とを一体成形する
ときに開口端部に発生したばりがリング状パッキンと接
触した従来と異なって、リング状パッキンがばりのない
金属製のワッシャ、圧力導入管の外周面、及び保持ケー
スのそれぞれと接触して、圧力導入管を外部と気密性よ
く気密封止できるとともに、リング状パッキンを長寿命
化することができる。
囲したワッシャが、基台の開口端部とリング状パッキン
との間に設けられたから、基台と鍔部とを一体成形する
ときに開口端部に発生したばりがリング状パッキンと接
触した従来と異なって、リング状パッキンがばりのない
金属製のワッシャ、圧力導入管の外周面、及び保持ケー
スのそれぞれと接触して、圧力導入管を外部と気密性よ
く気密封止できるとともに、リング状パッキンを長寿命
化することができる。
【0032】請求項2記載のものは、請求項1記載のも
のの効果に加えて、圧力導入管の鍔部に当接する当接部
がワッシャに突設されたから、ワッシャが当接部で、平
坦度が良好で金属からなる圧力導入管の鍔部だけにぐら
つくことなく当接するので、リング状パッキンがワッシ
ャと確実に接触して、圧力導入管を外部と信頼性よく気
密封止することができる。
のの効果に加えて、圧力導入管の鍔部に当接する当接部
がワッシャに突設されたから、ワッシャが当接部で、平
坦度が良好で金属からなる圧力導入管の鍔部だけにぐら
つくことなく当接するので、リング状パッキンがワッシ
ャと確実に接触して、圧力導入管を外部と信頼性よく気
密封止することができる。
【0033】請求項3記載のものは、請求項1又は2記
載のものの効果に加えて、リング状パッキンが合成ゴム
又は合成樹脂からなる断面円形状のOリングであるか
ら、Oリングがワッシャと保持ケースとの間で押圧され
ると全ての方向へ均一に弾性変形し、ワッシャと圧力導
入管の外周面と保持ケースとに確実に接触して、圧力導
入管を外部とさらに信頼性よく気密封止することができ
る。
載のものの効果に加えて、リング状パッキンが合成ゴム
又は合成樹脂からなる断面円形状のOリングであるか
ら、Oリングがワッシャと保持ケースとの間で押圧され
ると全ての方向へ均一に弾性変形し、ワッシャと圧力導
入管の外周面と保持ケースとに確実に接触して、圧力導
入管を外部とさらに信頼性よく気密封止することができ
る。
【図1】本発明の第1実施形態を示す正断面図である。
【図2】同上のコネクタを実装した状態の正断面図であ
る。
る。
【図3】同上の左側面図である。
【図4】本発明の第2実施形態を示す正断面図である。
【図5】従来例を示す正断面図である。
1 基台 11 開口端部 2 ガラス台座 21 軸孔 22 一面 23 他面 3 圧力導入管 31 圧力導入孔 32 一方直交面 33 鍔部 4 圧力センサチップ 5 保持ケース 51 挿通孔 6 リング状パッキン 7 ワッシャ 71 当接部
フロントページの続き (72)発明者 谷口 直博 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株 式会社内
Claims (3)
- 【請求項1】 樹脂からなり筒状に形成された基台と、
軸孔を設けてその軸孔の軸と直交した一面を有するガラ
ス台座と、測定対象である流体を圧力を持って導入する
圧力導入孔の軸に対する一方直交面をガラス台座の一面
と接合されるとともに、基台の開口端部と一体成形され
た鍔部が一方直交面側に設けられた金属製の圧力導入管
と、ガラス台座の他面に接合される圧力センサチップ
と、挿通孔を有してその挿通孔に挿通された圧力導入管
を保持する保持ケースと、圧力導入管を外囲した状態で
基台の開口端部と保持ケースとの間に設けられて気密封
止するリング状パッキンとを備え、圧力センサチップが
圧力による抵抗変化を電気信号に変換して流体の圧力を
測定する圧力センサにおいて、 前記圧力導入管を外囲した金属製のワッシャが、前記鍔
部を一体成形した前記基台の開口端部と前記リング状パ
ッキンとの間に設けられたことを特徴とする圧力セン
サ。 - 【請求項2】 前記ワッシャは、前記鍔部に当接する当
接部が突設されたことを特徴とする請求項1記載の圧力
センサ。 - 【請求項3】 前記リング状パッキンは、合成ゴム又は
合成樹脂からなる断面略円形状のOリングであることを
特徴とする請求項1又は2記載の圧力センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP31838096A JPH10160607A (ja) | 1996-11-29 | 1996-11-29 | 圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP31838096A JPH10160607A (ja) | 1996-11-29 | 1996-11-29 | 圧力センサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10160607A true JPH10160607A (ja) | 1998-06-19 |
Family
ID=18098510
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP31838096A Pending JPH10160607A (ja) | 1996-11-29 | 1996-11-29 | 圧力センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH10160607A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011166645A (ja) * | 2010-02-15 | 2011-08-25 | Audio Technica Corp | ダイナミックマイクロホン |
-
1996
- 1996-11-29 JP JP31838096A patent/JPH10160607A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011166645A (ja) * | 2010-02-15 | 2011-08-25 | Audio Technica Corp | ダイナミックマイクロホン |
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