JPH1117493A - 弾性表面波装置 - Google Patents

弾性表面波装置

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JPH1117493A
JPH1117493A JP17886297A JP17886297A JPH1117493A JP H1117493 A JPH1117493 A JP H1117493A JP 17886297 A JP17886297 A JP 17886297A JP 17886297 A JP17886297 A JP 17886297A JP H1117493 A JPH1117493 A JP H1117493A
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JP
Japan
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surface acoustic
acoustic wave
filter
bus bar
lab
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JP17886297A
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Toshiyasu Fujiwara
俊康 藤原
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TDK Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 多重モードフィルタを有する弾性表面波装置
において、並列容量を付加することによりフィルタ特性
の急峻性を向上させ、しかも、装置の大型化を防ぐ。 【解決手段】 少なくとも2つの弾性表面波共振子が近
接配置された多重モードフィルタを有する弾性表面波装
置において、弾性表面波共振子が有する交差指型変換器
の入力バスバー24aと出力バスバー24bとで形成し
た並列容量により、フィルタ特性の急峻性を向上させ
る。具体的には、前記交差指型変換器において、電極指
ピッチをλとし、入力バスバー24aと出力バスバー2
4bとの距離をDとし、入力バスバーの幅Laと出力バ
スバーの幅Lbとの平均をLabとしたとき、(Lab/
λ)/(D/λ)2=(Lab・λ)/D2=0.025〜
0.125とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、携帯電話等の移動
体通信機器において帯域フィルタ等として使用される弾
性表面波装置であって、多重モードフィルタを有するも
のに関する。
【0002】
【従来の技術】近年、移動体通信等の分野で、装置を小
型かつ軽量化できる帯域フィルタとして、弾性表面波を
利用する弾性表面波装置が用いられるようになってきて
いる。特に、移動体通信機器の中間周波回路には、低損
失かつ狭帯域な特性をもつフィルタが要求され、この要
求に応え得るものとして、弾性表面波を用いた横結合型
または縦結合型の多重モードフィルタが多用されてい
る。多重(二重)モードフィルタとは、例えば、田中、
森田、中沢らにより開示されているように(日本学術振
興会弾性波素子技術第150委員会第2回資料、pp3
2−35、昭和60年)、複数の弾性表面波共振子を近
接配置し、これらの弾性的結合を利用してフィルタを構
成するものである。このときに、弾性表面波の伝搬方向
と直交する方向(横方向)に弾性表面波共振子を近接配
置したものが横結合型、伝搬方向(縦方向)に弾性表面
波共振子を近接配置したものが縦結合型である。
【0003】図6を用いて、横結合型二重モードフィル
タの構成を説明する。同図では、圧電性基板1上に、交
差指型変換器21aの両外側に一対の反射器22a、2
2aを配置して構成される第1の弾性表面波共振子20
aと、交差指型変換器21bの両外側に一対の反射器2
2b、22bを配置して構成される第2の弾性表面波共
振子20bとを、弾性表面波伝搬方向と直交する方向に
近接配置することにより、全体として一つの二重モード
フィルタ2を構成している。これら2つの弾性表面波共
振子20a、20bが近接配置されるため、これらによ
って挟まれる部分は共通のバスバー23とされ、接地さ
れるのが普通である。入力バスバー24aの幅と出力バ
スバー24bの幅とは、この部分の抵抗の増大による、
フィルタ特性における挿入損失の増大を避けるために、
30μm程度に設定されるのが普通である。
【0004】上記のように構成すると、共通バスバー2
3を中心として対称な振幅分布を持つモード(0次モー
ド)と反対称な振幅分布を持つモード(1次モード)と
の二つのモードが励振され、この二つのモードの結合に
より、横結合型二重モードフィルタとして動作する。
【0005】しかし、近年、フィルタ特性の急峻性への
要求はさらに高まっており、この要求を満たすために、
特開平3−222512号公報に開示されているよう
に、二重モードフィルタの入出力間に並列に容量を付加
することによって、フィルタ特性の急峻性を高めるとい
う方法がとられることがある。二重モードフィルタの入
出力間に並列な容量を付加すると、中心周波数に対して
高域側に減衰極が実現され、その減衰極の影響によりフ
ィルタ特性の急峻性が増す。
【0006】この二重モードフィルタの入出力間に並列
に付加する容量としては、櫛形電極を使用することがで
きる。この場合の具体的な構成例を、図7に示す。図7
に示す弾性表面波装置は、横結合型二重モードフィルタ
2の入出力に並列に、櫛形電極3からなる容量パターン
を接続したものである。このような構成例は、例えば、
上記した特開平3−222512号公報に開示されてい
る。
【0007】しかし、図7に示す構成では、櫛形電極3
を形成する場所が余分に必要となるため、図6の構成に
比べ装置の面積が大きくなってしまうという問題があ
る。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、多重
モードフィルタを有する弾性表面波装置において、並列
容量を付加することによりフィルタ特性の急峻性を向上
させ、しかも、装置の大型化を防ぐことである。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記の目的は、下記
(1)〜(3)のいずれかの構成により達成される。 (1) 少なくとも2つの弾性表面波共振子が近接配置
された多重モードフィルタを有する弾性表面波装置であ
って、前記弾性表面波共振子が有する交差指型変換器の
入力バスバーと出力バスバーとで形成した並列容量によ
り、フィルタ特性の急峻性を向上させた弾性表面波装
置。 (2) 前記入力バスバーの幅と前記出力バスバーの幅
とを制御することにより前記並列容量を制御した上記
(1)の弾性表面波装置。 (3) 少なくとも2つの弾性表面波共振子が近接配置
された横結合型多重モードフィルタを有する弾性表面波
装置であって、前記弾性表面波共振子が有する交差指型
変換器において、電極指ピッチをλとし、入力バスバー
と出力バスバーとの距離をDとし、入力バスバーの幅と
出力バスバーの幅との平均をLabとしたとき、 (Lab・λ)/D2=0.025〜0.125 である弾性表面波装置。
【0010】
【作用および効果】本発明では、多重モードフィルタを
有する弾性表面波装置において、入力バスバーの幅およ
び出力バスバーの幅を制御することにより、フィルタの
入出力間に最適な並列容量を付加できる。これにより、
フィルタ特性の急峻性を向上させることができ、かつ十
分な帯域外減衰量を確保することができる。
【0011】前述したように、従来は櫛形電極パターン
を設けることによって、多重モードフィルタに並列な容
量を形成していたために、装置が櫛形電極パターンを形
成するのに必要な面積だけ大型化してしまっていた。し
かし、本発明では、櫛形電極パターンを設ける必要がな
く、入出力バスバーの寸法を制御するという簡易な手段
でフィルタの入出力間に付加する並列容量を最適化でき
る。したがって、本発明では弾性表面波装置の大型化を
招くことがなく、装置の製造も簡単となる。
【0012】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て、図面を参照して説明する。
【0013】図1に、本発明の弾性表面波装置の構成例
を示す。この弾性表面波装置は、圧電性基板1上に、横
結合型二重モードフィルタ2を配置したものである。
【0014】横結合型二重モードフィルタ2は、第1の
弾性表面波共振子20aと、第2の弾性表面波共振子2
0bとを有し、これら2つの弾性表面波共振子は、弾性
表面波伝搬方向と直交する方向に近接配置されている。
【0015】第1の弾性表面波共振子20aは、交差指
型変換器21aと、これを挟む一対の反射器22a、2
2aとを有し、これらは弾性表面波の進行方向に並んで
いる。また、第2の弾性表面波共振子20bは、交差指
型変換器21bと、これを挟む一対の反射器22b、2
2bとを有し、これらは弾性表面波の進行方向に並んで
いる。
【0016】交差指型変換器は、一方のバスバーから延
びる複数の電極指と、対向する他方のバスバーから延び
る複数の電極指とが、両バスバー間において交互に並ぶ
構成を有する。交差指型変換器21aは、交差指型変換
器21bと共用している共通バスバー23と、入力に接
続される入力バスバー24aとを有する。一方、交差指
型変換器21bは、前記共通バスバー23と、出力に接
続される出力バスバー24bとを有する。共通バスバー
23は、接地されている。なお、図示例のように各交差
指型変換器の一方のバスバーを共用する構成が一般的で
はあるが、各変換器ごとに一対のバスバーを独立して設
けてもよい。
【0017】このような構成のフィルタでは、共通バス
バー23を中心として対称な振幅分布を持つモード(0
次モード)と反対称な振幅分布を持つモード(1次モー
ド)との二つのモードが励振され、この二つのモードの
結合により、横結合型二重モードフィルタとして動作す
る。
【0018】本発明では、このような横結合型二重モー
ドフィルタにおいて、入出力間に並列に最適な容量を付
加することにより、フィルタ特性の急峻性を向上させ
る。入出力間に並列に付加する容量は、入力バスバー2
4aの幅と出力バスバー24bの幅とを制御することに
より調整する。
【0019】図1に示すような横結合型二重モードフィ
ルタにおいて、弾性表面波共振子が有する交差指型変換
器において、電極指ピッチをλとし、入力バスバー24
aと出力バスバー24bとの距離をDとし、入力バスバ
ーの幅Laと出力バスバーの幅Lbとの平均をLabとし
たとき、 (Lab/λ)/(D/λ)2=(Lab・λ)/D2 =0.025〜0.125 であり、好ましくは (Lab・λ)/D2=0.05〜0.1 である。(Lab・λ)/D2が小さすぎると、フィルタ
特性の急峻性を十分に向上させることが難しくなり、
(Lab・λ)/D2が大きすぎると、帯域外減衰量が小
さくなってしまい、好ましくない。なお、帯域外減衰量
とは、フィルタの中心周波数から一定量離れた周波数に
おける減衰量のことである。なお、通常はLa=Lbで
あるが、両者が等しくない場合でも本発明の効果は同様
に実現する。ただし、両者の比は、好ましくは1〜1
5、より好ましくは1〜11である。また、Laおよび
Lbは、両者ともに好ましくは40μm以上、より好ま
しくは50μm以上である。
【0020】電極指交差幅Wa、Wbは特に限定され
ず、所望のフィルタの帯域幅等に応じて適宜決定すれば
よいが、一般には4〜15λ程度である。電極指交差幅
が小さすぎると弾性表面波の回折等により挿入損失が増
大する。また、第1、第2の弾性表面波共振子20a、
20b間の距離(結合長)Gも帯域幅に影響するが、共
通バスバー23の幅を狭くしすぎると、この部分の抵抗
損による挿入損失の増大が無視できなくなってくるた
め、Gは一般に1〜2λ程度とすることが好ましい。し
たがって、入出力バスバー間の距離D(D=Ga+Wa
+G+Wb+Gb)は、一般に9〜33λ程度とするこ
とが好ましい。なお、入出力バスバーと電極指とのギャ
ップGa、Gbは、一般に0.1〜0.5λ程度であ
る。また、電極指対数Nは、使用する圧電性基板によっ
て大きく異なるが、例えば水晶基板の場合には、100
〜300程度が一般的である。
【0021】なお、帯域外減衰量を改善するために、二
つの横結合型二重モードフィルタを同一圧電性基板上で
2段直列に接続する構成とすることが一般に行われる。
【0022】本発明において基板に用いる圧電性材料と
しては、多重モードフィルタを構成することが可能であ
ればよく、特に限定されない。このような圧電性材料と
しては、例えば、水晶、Li247、LiTaO3、L
iNbO3などが挙げられる。
【0023】なお、縦結合型多重モードフィルタにおい
ても、入出力バスバーの幅を広くすることによって、フ
ィルタの急峻性をよくすることが可能である。
【0024】
【実施例】図1に示す構成の横結合型二重モードフィル
タを、2段直列に接続したフィルタを有する弾性表面波
装置を作製した。圧電性基板には、横結合を起こしやす
い水晶基板(比誘電率が約4.5である、35°回転Y
カット水晶基板)を用い、弾性表面波伝搬方向は結晶X
軸方向とした。交差指型変換器の電極指ピッチλは、1
2.65μmとした。反射器は、電極指ピッチpを6.
35μmとし、電極指本数を100本とした。各電極は
アルミニウムから構成し、電極の厚さは0.024λ
(0.3μm)とした。
【0025】このフィルタについて、フィルタ特性にお
ける急峻性を調べた。本実施例では、図2に示すような
振幅特性をもつフィルタの急峻度Sを、S=BW20/
BW3で定義した。図2では、振幅の最小値をILと
し、ILから振幅が3dB低下したときの帯域幅をBW3
とし、ILから振幅が20dB低下したときの帯域幅をB
W20としている。急峻度Sが小さいほど、フィルタ特
性の急峻性がよいことになる。
【0026】図3の(a)、(b)、(c)はいずれ
も、前記(Lab・λ)/D2と、フィルタの急峻度Sの
改善率との関係を示すグラフであり、(a)は電極指対
数Nを、(b)は入出力バスバー間の距離Dを、(c)
は結合長Gを変化させたときの改善率の変化を計算によ
って求めた結果である。図3における改善率は、(Lab
・λ)/D2を従来技術の0.015としたときのフィ
ルタの急峻度Sを基準としたものである。図3に示され
るように、電極指対数N、入出力バスバー間の距離D、
結合長Gが異なる場合でも、(Lab・λ)/D2を大き
くすることで、同様にフィルタ特性の急峻性を改善でき
ることがわかる。そして、(Lab・λ)/D2が0.0
25以上であれば急峻性の改善率を1%以上とでき、
(Lab・λ)/D2が0.05以上であれば急峻性の改
善率を2%以上とできることがわかる。
【0027】図4(a)、(b)、(c)はいずれも、
前記(Lab・λ)/D2と、フィルタの中心周波数から
10MHz離れた周波数での帯域外減衰量(ATT_1
0M)との関係を示すグラフであり、(a)は電極指対
数Nを、(b)は入出力バスバー間の距離Dを、(c)
は結合長Gを変化させたときの帯域外減衰量の変化を計
算によって求めた結果である。図4に示されるように、
(Lab・λ)/D2が大きくなるにしたがってATT_
10Mの値は小さくなっていく(悪くなっていく)。通
常、この種のフィルタのATT_10Mとしては、50
dB以上という規格が要求される場合が多いが、本発明に
おいて限定する(Lab・λ)/D2≦0.125という
範囲では、この規格を満たしていることがわかり、ま
た、(Lab・λ)/D2≦0.1という範囲では、AT
T_10Mが52dB以上となっていることがわかる。
【0028】図5は、図1のような構成の横結合型二重
モードフィルタを2段直列に接続した構成のフィルタを
実際に作製し、その特性を測定した結果を示すグラフで
ある。図中に結果を細線で示したフィルタでは、(Lab
・λ)/D2が0.025を下回り、図中に結果を太線
で示したフィルタでは(Lab・λ)/D2が0.025
〜0.125の範囲に存在する。これらのフィルタで
は、交差指型変換器の、電極指ピッチλを12.65μ
m、電極指対数Nを280.5、結合長Gを1λ、電極
指交差幅Wa、Wbを5.8λ、ギャップGa、Gbを
0.1λ、入出力バスバー間距離Dを12.8λとして
あり、入出力バスバーの幅La、Lbは、細線で示した
フィルタでは2.4λ(30μm)とし、太線で示した
フィルタでは9.5λ(120μm)としてある。(La
b・λ)/D2を0.015から0.06に大きくするこ
とで、帯域外減衰量ATT_10Mは、65dBから60
dBと若干劣化してしまうが、フィルタの急峻度Sは、
2.06から1.94となり、フィルタ特性の急峻性は
約6%改善され、本発明の効果を確認できた。
【0029】以上の実施例の結果から、本発明の効果が
明らかである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の弾性表面波装置の構成例である横結合
型二重モードフィルタを示す平面図である。
【図2】フィルタの急峻度を定義するためのフィルタ特
性を示すグラフである。
【図3】(a)、(b)および(c)は、(Lab・λ)
/D2とフィルタ特性の急峻性の改善率との関係を示す
グラフである。
【図4】(a)、(b)および(c)は、(Lab・λ)
/D2とフィルタの帯域外減衰量(ATT_10M)と
の関係を示すグラフである。
【図5】(a)および(b)は、従来の構成[(Lab・
λ)/D2=0.015]によるフィルタ特性と、本発
明の構成[(Lab・λ)/D2=0.06]によるフィ
ルタ特性とを示すグラフである。
【図6】横結合型二重モードフィルタの電極構造を説明
する図である。
【図7】櫛形電極を並列容量として付加した従来の横結
合型二重モードフィルタを示す図である。
【符号の説明】
1 圧電性基板 2 横結合型二重モードフィルタ 20a 第1の弾性表面波共振子 20b 第2の弾性表面波共振子 21a、21b 交差指型変換器 22a、22b 反射器 23 共通バスバー 24a 入力バスバー 24b 出力バスバー 3 櫛形電極 La 入力バスバーの幅 Lb 出力バスバーの幅 Wa、Wb 電極指交差幅 G フィルタを構成する共振器間の距離(結合長) D 入出力バスバー間の距離 Ga、Gb ギャップ

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 少なくとも2つの弾性表面波共振子が近
    接配置された多重モードフィルタを有する弾性表面波装
    置であって、 前記弾性表面波共振子が有する交差指型変換器の入力バ
    スバーと出力バスバーとで形成した並列容量により、フ
    ィルタ特性の急峻性を向上させた弾性表面波装置。
  2. 【請求項2】 前記入力バスバーの幅と前記出力バスバ
    ーの幅とを制御することにより前記並列容量を制御した
    請求項1の弾性表面波装置。
  3. 【請求項3】 少なくとも2つの弾性表面波共振子が近
    接配置された横結合型多重モードフィルタを有する弾性
    表面波装置であって、 前記弾性表面波共振子が有する交差指型変換器におい
    て、電極指ピッチをλとし、入力バスバーと出力バスバ
    ーとの距離をDとし、入力バスバーの幅と出力バスバー
    の幅との平均をLabとしたとき、 (Lab・λ)/D2=0.025〜0.125 である弾性表面波装置。
JP17886297A 1997-06-19 1997-06-19 弾性表面波装置 Withdrawn JPH1117493A (ja)

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