JPH11163091A - ウエハパッキング装置及びウエハパッキング方法 - Google Patents
ウエハパッキング装置及びウエハパッキング方法Info
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- JPH11163091A JPH11163091A JP33209697A JP33209697A JPH11163091A JP H11163091 A JPH11163091 A JP H11163091A JP 33209697 A JP33209697 A JP 33209697A JP 33209697 A JP33209697 A JP 33209697A JP H11163091 A JPH11163091 A JP H11163091A
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- wafer
- station
- setting
- containers
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 カセットケースとウエハ容器の相互へのウエ
ハの移動及びウエハ容器への層間紙の出し入れのための
装置の構成が簡単で、その制御系も簡単にできるように
する。 【解決手段】 ウエハW1を収納するカセットケース2
をセットする少なくとも1つのステーションと、ウエハ
を収納して移送するために用いられるウエハ容器3a,
3bをセットする複数のステーションと、ウエハ容器内
のウエハ間に入れる層間紙W2を収納する層間紙ストッ
カ3cをセットするステーションと、上記カセットケー
スとウエハ容器をセットするステーション間にわたって
移動してカセットケースとウエハ容器の相互にわたって
ウエハを出し入れするウエハ搬送手段4と、層間紙スト
ッカとウエハ容器をセットするステーション間にわたっ
て移動して層間紙をウエハ容器内に入れる層間紙搬送手
段5とからなる構成となっている。
ハの移動及びウエハ容器への層間紙の出し入れのための
装置の構成が簡単で、その制御系も簡単にできるように
する。 【解決手段】 ウエハW1を収納するカセットケース2
をセットする少なくとも1つのステーションと、ウエハ
を収納して移送するために用いられるウエハ容器3a,
3bをセットする複数のステーションと、ウエハ容器内
のウエハ間に入れる層間紙W2を収納する層間紙ストッ
カ3cをセットするステーションと、上記カセットケー
スとウエハ容器をセットするステーション間にわたって
移動してカセットケースとウエハ容器の相互にわたって
ウエハを出し入れするウエハ搬送手段4と、層間紙スト
ッカとウエハ容器をセットするステーション間にわたっ
て移動して層間紙をウエハ容器内に入れる層間紙搬送手
段5とからなる構成となっている。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体材料となる
シリコンウエハ等のウエハを、これの前加工が終了して
収納されているカセットケースから工場間移送用の複数
のウエハ容器へ分類しながら、かつ、層間紙をウエハ間
に介装して収納し、また、この複数のウエハ容器からカ
セットケースへ上記ウエハを取り出し収納するようにし
たウエハパッキング装置及びウエハパッキング方法に関
するものである。
シリコンウエハ等のウエハを、これの前加工が終了して
収納されているカセットケースから工場間移送用の複数
のウエハ容器へ分類しながら、かつ、層間紙をウエハ間
に介装して収納し、また、この複数のウエハ容器からカ
セットケースへ上記ウエハを取り出し収納するようにし
たウエハパッキング装置及びウエハパッキング方法に関
するものである。
【0002】
【従来の技術】この種の装置及び方法としては、作業雰
囲気をクリーンに保たなければならないこともあって、
搬送ロボットが用いられる。そして従来のこの装置によ
るパッキング作動は、カセットケースに処理面を下側に
して収納されているウエハを搬送ロボットのハンドにて
上側から吸着把持して取り出し、これをハンドごと反転
し、ついで、このウエハを別の搬送手段にて下側から吸
着把持して移動し、再び反転して所定の位置にあるウエ
ハ容器に収納するようになっている。そして上記搬送手
段は、ウエハの搬送と交互に、間層紙をウエハ容器内に
収納するようになっている。またアンパッキング作動
は、ウエハ容器より搬送手段にてウエハと間層紙を交互
に取り出し、ウエハを搬送ロボットのハンドにこれの処
理面を上側にして受け渡しし、その後、ハンドごと反転
してカセットケースに1枚ずつ収納するようにしてい
る。
囲気をクリーンに保たなければならないこともあって、
搬送ロボットが用いられる。そして従来のこの装置によ
るパッキング作動は、カセットケースに処理面を下側に
して収納されているウエハを搬送ロボットのハンドにて
上側から吸着把持して取り出し、これをハンドごと反転
し、ついで、このウエハを別の搬送手段にて下側から吸
着把持して移動し、再び反転して所定の位置にあるウエ
ハ容器に収納するようになっている。そして上記搬送手
段は、ウエハの搬送と交互に、間層紙をウエハ容器内に
収納するようになっている。またアンパッキング作動
は、ウエハ容器より搬送手段にてウエハと間層紙を交互
に取り出し、ウエハを搬送ロボットのハンドにこれの処
理面を上側にして受け渡しし、その後、ハンドごと反転
してカセットケースに1枚ずつ収納するようにしてい
る。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上記従来のウエハパッ
キング装置では、カセットケースからウエハを取り出し
て反転し、あるいはウエハを反転してカセットケースに
収納するための搬送ロボットと、この搬送ロボットとウ
エハ容器間にわたって移動し、搬送ロボットに対してウ
エハを受け取り、受渡し、及びウエハ容器にウエハを収
納し、取り出すための搬送手段からなるため、装置の構
成が複雑になると共に、それぞれの制御系が大がかりに
なる等の問題があった。
キング装置では、カセットケースからウエハを取り出し
て反転し、あるいはウエハを反転してカセットケースに
収納するための搬送ロボットと、この搬送ロボットとウ
エハ容器間にわたって移動し、搬送ロボットに対してウ
エハを受け取り、受渡し、及びウエハ容器にウエハを収
納し、取り出すための搬送手段からなるため、装置の構
成が複雑になると共に、それぞれの制御系が大がかりに
なる等の問題があった。
【0004】本発明は上記のことにかんがみなされたも
ので、装置の構成が簡単になり、しかも制御系も簡単に
することができるようにしたウエハパッキング装置及び
ウエハパッキング方法を提供することを目的とするもの
である。
ので、装置の構成が簡単になり、しかも制御系も簡単に
することができるようにしたウエハパッキング装置及び
ウエハパッキング方法を提供することを目的とするもの
である。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明に係るウエハパッキング装置は、ウエハを収
納するカセットケースをセットする少なくとも1つのス
テーションと、ウエハを収納して移送するために用いら
れるウエハ容器をセットする複数のステーションと、ウ
エハ容器内のウエハ間に入れる層間紙を収納する層間紙
ストッカをセットするステーションと、上記カセットケ
ースとウエハ容器をセットするステーション間にわたっ
て移動してカセットケースとウエハ容器の相互にわたっ
てウエハを出し入れするウエハ搬送手段と、層間紙スト
ッカとウエハ容器をセットするステーション間にわたっ
て移動して層間紙をウエハ容器内に入れる層間紙搬送手
段とから構成されている。
に、本発明に係るウエハパッキング装置は、ウエハを収
納するカセットケースをセットする少なくとも1つのス
テーションと、ウエハを収納して移送するために用いら
れるウエハ容器をセットする複数のステーションと、ウ
エハ容器内のウエハ間に入れる層間紙を収納する層間紙
ストッカをセットするステーションと、上記カセットケ
ースとウエハ容器をセットするステーション間にわたっ
て移動してカセットケースとウエハ容器の相互にわたっ
てウエハを出し入れするウエハ搬送手段と、層間紙スト
ッカとウエハ容器をセットするステーション間にわたっ
て移動して層間紙をウエハ容器内に入れる層間紙搬送手
段とから構成されている。
【0006】また、ウエハを収納するカセットケースを
複数セットするステーションと、ウエハを収納して移送
のために用いられるウエハ容器を複数セットするステー
ションと、ウエハ容器内のウエハ間に入れる層間紙を収
納する層間紙ストッカを複数セットするステーション
と、上記複数のカセットケースと複数のウエハ容器をセ
ットするステーション間にわたって移動して複数のカセ
ットケースと複数のウエハ容器の相互にわたってウエハ
を複数同時に出し入れするウエハ搬送手段と、複数の層
間紙ストッカと複数のウエハ容器をセットするステーシ
ョン間にわたって移動して層間紙をウエハ容器内に入れ
る層間紙搬送手段とからなる構成されている。
複数セットするステーションと、ウエハを収納して移送
のために用いられるウエハ容器を複数セットするステー
ションと、ウエハ容器内のウエハ間に入れる層間紙を収
納する層間紙ストッカを複数セットするステーション
と、上記複数のカセットケースと複数のウエハ容器をセ
ットするステーション間にわたって移動して複数のカセ
ットケースと複数のウエハ容器の相互にわたってウエハ
を複数同時に出し入れするウエハ搬送手段と、複数の層
間紙ストッカと複数のウエハ容器をセットするステーシ
ョン間にわたって移動して層間紙をウエハ容器内に入れ
る層間紙搬送手段とからなる構成されている。
【0007】そして上記両ウエハパッキング装置におい
て、ウエハ搬送手段と層間紙搬送手段が、1つの搬送手
段でなっている。さらに、層間紙搬送手段に、ウエハ容
器内に位置する被搬送体の別を判別する被搬送体判別手
段を設けた構成になっている。
て、ウエハ搬送手段と層間紙搬送手段が、1つの搬送手
段でなっている。さらに、層間紙搬送手段に、ウエハ容
器内に位置する被搬送体の別を判別する被搬送体判別手
段を設けた構成になっている。
【0008】また、本発明に係るウエハパッキング方法
は、ウエハのIDマークをIDマーク読み取り手段にて
読み取り、この読み取り情報に基づいて、ウエハ搬送手
段をX,Y,Z方向に駆動制御して所定のウエハ容器へ
ウエハを収納するようにする。
は、ウエハのIDマークをIDマーク読み取り手段にて
読み取り、この読み取り情報に基づいて、ウエハ搬送手
段をX,Y,Z方向に駆動制御して所定のウエハ容器へ
ウエハを収納するようにする。
【0009】
【作 用】(1)パッキング 1つのステーションにウエハを収納したカセットケース
をセットし、複数のステーションのそれぞれに空になっ
ている運搬用のウエハ容器をセットし、また、他のステ
ーションに層間紙ストッカをセットする。ウエハ搬送手
段をカセットケースと複数のウエハ容器間を移動してカ
セットケース内のウエハを1枚ずつ取り出して複数のウ
エハ容器のいずれかの1つに収納する。そしてこのウエ
ハ搬送手段の動作に同期して層間紙搬送手段が動作し
て、上記層間紙ストッカの層間紙を上記ウエハ容器内の
ウエハの上面にウエハと交互に収納する。
をセットし、複数のステーションのそれぞれに空になっ
ている運搬用のウエハ容器をセットし、また、他のステ
ーションに層間紙ストッカをセットする。ウエハ搬送手
段をカセットケースと複数のウエハ容器間を移動してカ
セットケース内のウエハを1枚ずつ取り出して複数のウ
エハ容器のいずれかの1つに収納する。そしてこのウエ
ハ搬送手段の動作に同期して層間紙搬送手段が動作し
て、上記層間紙ストッカの層間紙を上記ウエハ容器内の
ウエハの上面にウエハと交互に収納する。
【0010】(2)アンパッキング 複数のステーションのそれぞれに、ウエハと層間紙を交
互に収納されているウエハ容器をセットし、また1つの
ステーションに空になっているカセットケースをセット
する。ウエハ搬送手段を複数のウエハ容器とカセットケ
ース間を移動して、ウエハ容器内のウエハを1枚ずつ取
り出してカセットケース内に搬送する。このとき、層間
紙搬送手段が上記ウエハへ搬送手段の動作と同期して作
動して、ウエハ容器の層間紙が交互に取り出し排出され
る。
互に収納されているウエハ容器をセットし、また1つの
ステーションに空になっているカセットケースをセット
する。ウエハ搬送手段を複数のウエハ容器とカセットケ
ース間を移動して、ウエハ容器内のウエハを1枚ずつ取
り出してカセットケース内に搬送する。このとき、層間
紙搬送手段が上記ウエハへ搬送手段の動作と同期して作
動して、ウエハ容器の層間紙が交互に取り出し排出され
る。
【0011】このアンパッキング時において、ウエハ容
器の搬送部に位置する被搬送体が、層間紙搬送手段に設
けられた被搬送体判別手段にて、ウエハか層間紙である
かどうか判別される。そしてこれがウエハであるときに
層間紙搬送手段が退去してウエハ搬送手段が作動し、層
間紙搬送手段にてこの層間紙が排出される。
器の搬送部に位置する被搬送体が、層間紙搬送手段に設
けられた被搬送体判別手段にて、ウエハか層間紙である
かどうか判別される。そしてこれがウエハであるときに
層間紙搬送手段が退去してウエハ搬送手段が作動し、層
間紙搬送手段にてこの層間紙が排出される。
【0012】上記作動において、ウエハ搬送手段にてカ
セットケースから取り出されたウエハは、これの移動経
路内において、これのIDマークがIDマーク読み取り
手段にて読み取られ、その情報に基づいて複数のウエハ
容器のいずれか1つに分類されて収納される。
セットケースから取り出されたウエハは、これの移動経
路内において、これのIDマークがIDマーク読み取り
手段にて読み取られ、その情報に基づいて複数のウエハ
容器のいずれか1つに分類されて収納される。
【0013】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面に基づ
いて説明する。図1から図5は第1の実施の形態を示す
もので、図中1は基台であり、この基台1上に、第1・
第2・第3・第4のステーションST1,ST2,ST
3,ST4が、例えば一直線上に、適宜の間隔をあけて
設けてある。そして第1のステーションST1には、ウ
エハW1を出し入れ可能にして上下方向に収納するカセ
ットケース2が係脱可能に載置されるようになってい
る。
いて説明する。図1から図5は第1の実施の形態を示す
もので、図中1は基台であり、この基台1上に、第1・
第2・第3・第4のステーションST1,ST2,ST
3,ST4が、例えば一直線上に、適宜の間隔をあけて
設けてある。そして第1のステーションST1には、ウ
エハW1を出し入れ可能にして上下方向に収納するカセ
ットケース2が係脱可能に載置されるようになってい
る。
【0014】また、第2・第3のステーションST2,
ST3にはそれぞれウエハW1を収納して搬送するため
の第1・第2のウエハ容器3a,3bが、係脱可能に載
置されるようになっており、さらに、第4のステーショ
ンST4には層間紙ストッカ3cがセットされている。
ST3にはそれぞれウエハW1を収納して搬送するため
の第1・第2のウエハ容器3a,3bが、係脱可能に載
置されるようになっており、さらに、第4のステーショ
ンST4には層間紙ストッカ3cがセットされている。
【0015】4は上記第1・第2・第3の各ステーショ
ンST1〜ST3のそれぞれに対向する位置にわたって
移動可能にしたウエハ用ロボット、5は上記第2・第3
・第4の各ステーションST2〜ST4のそれぞれに対
向する位置にわたって移動可能にした層間紙用ロボット
である。
ンST1〜ST3のそれぞれに対向する位置にわたって
移動可能にしたウエハ用ロボット、5は上記第2・第3
・第4の各ステーションST2〜ST4のそれぞれに対
向する位置にわたって移動可能にした層間紙用ロボット
である。
【0016】ウエハ用ロボット4は、各ステーションの
配列方向と平行に設けられたX(縦)方向レール6と、
このX方向レール6に摺動可能に載置されたサドル部材
7上に、X方向レール6と直角方向に摺動可能に載置さ
れたY(横)方向レール8と、このY方向レール8に設
けたZ(上下)方向レール9と、このZ方向レール9に
摺動可能に係合された腕部材10と、この腕部材10に
回転可能にしてステーション側へ向けて設けたハンド1
1とからなっている。これにより、このウエハ用ロボッ
ト4のハンド11は、第1・第2・第3の各ステーショ
ンST1〜ST3間にわたってX方向に移動され、各ス
テーションST1〜ST3の中心部と、これから離間す
る位置にわたってY方向に移動され、さらに、上下
(Z)方向に移動すると共に、Y方向軸を中心にして回
転するようになっている。なおこれらの動作は図示しな
い制御装置で制御される駆動装置でなされる。
配列方向と平行に設けられたX(縦)方向レール6と、
このX方向レール6に摺動可能に載置されたサドル部材
7上に、X方向レール6と直角方向に摺動可能に載置さ
れたY(横)方向レール8と、このY方向レール8に設
けたZ(上下)方向レール9と、このZ方向レール9に
摺動可能に係合された腕部材10と、この腕部材10に
回転可能にしてステーション側へ向けて設けたハンド1
1とからなっている。これにより、このウエハ用ロボッ
ト4のハンド11は、第1・第2・第3の各ステーショ
ンST1〜ST3間にわたってX方向に移動され、各ス
テーションST1〜ST3の中心部と、これから離間す
る位置にわたってY方向に移動され、さらに、上下
(Z)方向に移動すると共に、Y方向軸を中心にして回
転するようになっている。なおこれらの動作は図示しな
い制御装置で制御される駆動装置でなされる。
【0017】ハンド11の一側面にはバキューム作用に
より吸着するための吸着用孔12が設けてある。
より吸着するための吸着用孔12が設けてある。
【0018】第2のステーションST2に対向し、か
つ、このステーション中心より所定距離だけ離間した位
置にウエハ受け台13が、ステーション側から突設した
フレーム上に上方へ向けて設けてある。このウエハ受け
台13は回転可能になっている。そしてこのウエハ受け
台13には、ウエハ受け台13上に載置されたウエハW
1を、このウエハ受け台13の中心位置と一致させるた
めのセンタリング装置14が設けてある。このセンタリ
ング装置14は複数の爪を有するチャッキング構成とな
っており、このチャッキングの爪を同期して軸心方向に
移動してウエハW1の外周に当接することにより、ウエ
ハW1がウエハ受け台13の中心に移動されるようにな
っている。
つ、このステーション中心より所定距離だけ離間した位
置にウエハ受け台13が、ステーション側から突設した
フレーム上に上方へ向けて設けてある。このウエハ受け
台13は回転可能になっている。そしてこのウエハ受け
台13には、ウエハ受け台13上に載置されたウエハW
1を、このウエハ受け台13の中心位置と一致させるた
めのセンタリング装置14が設けてある。このセンタリ
ング装置14は複数の爪を有するチャッキング構成とな
っており、このチャッキングの爪を同期して軸心方向に
移動してウエハW1の外周に当接することにより、ウエ
ハW1がウエハ受け台13の中心に移動されるようにな
っている。
【0019】ウエハ受け台13の上方に第1・第2の2
個のカメラ15a,15bが下方へ向けてブラケット1
6に支持して設けてある。この両カメラ15a,15b
のうち、第1のカメラ15aはこれの下方に位置するウ
エハW1の回転方向の角度ずれを検出するようになって
いる。また第2のカメラ15bはウエハW1の所定の位
置に設けてあるIDマークを読むようになっている。
個のカメラ15a,15bが下方へ向けてブラケット1
6に支持して設けてある。この両カメラ15a,15b
のうち、第1のカメラ15aはこれの下方に位置するウ
エハW1の回転方向の角度ずれを検出するようになって
いる。また第2のカメラ15bはウエハW1の所定の位
置に設けてあるIDマークを読むようになっている。
【0020】層間紙用ロボット5は各ステーションの配
列方向と平行に設けられたX(縦)方向レール17と、
このX方向レール17に摺動可能に載置されたマスト部
材18と、このマスト部材18の先端にアーム19を介
して設けられた層間紙吸着装置20とからなっている。
マスト部材18は伸縮可能になっている。
列方向と平行に設けられたX(縦)方向レール17と、
このX方向レール17に摺動可能に載置されたマスト部
材18と、このマスト部材18の先端にアーム19を介
して設けられた層間紙吸着装置20とからなっている。
マスト部材18は伸縮可能になっている。
【0021】層間紙吸着装置20はマスト部材18に対
してアーム19によりステーションの中心に位置されて
いる。そしてこの層間紙吸着装置20は十文字状に張り
出した4本の枝部材の先端にバキューム作用により吸着
するための吸着部材21を設けた構成になっている。ま
たこの層間紙吸着装置20には、図5に示すように、第
1・第2の2個の投光器22a,22bが斜め下方へ向
けて設けてある。この両投光器22a,22bのうち、
第1の投光器22aの水平面に対する角度がα1、第2
の投光器22bの水平面に対する角度をα2としたとき
に、α1<α2となっている。
してアーム19によりステーションの中心に位置されて
いる。そしてこの層間紙吸着装置20は十文字状に張り
出した4本の枝部材の先端にバキューム作用により吸着
するための吸着部材21を設けた構成になっている。ま
たこの層間紙吸着装置20には、図5に示すように、第
1・第2の2個の投光器22a,22bが斜め下方へ向
けて設けてある。この両投光器22a,22bのうち、
第1の投光器22aの水平面に対する角度がα1、第2
の投光器22bの水平面に対する角度をα2としたとき
に、α1<α2となっている。
【0022】そして上記第1の投光器22a,22bか
らの光が仮想面Sに投射されて反射した光を受ける第1
の受光器23aが、上記投光器22aと同一角度α1で
対称状に設けてある。また、第2の投光器22bからの
光が仮想面Sに投射されて反射した光を受ける第2の受
光器23bが、この投射点の略直上方に下方へ向けて設
けてある。
らの光が仮想面Sに投射されて反射した光を受ける第1
の受光器23aが、上記投光器22aと同一角度α1で
対称状に設けてある。また、第2の投光器22bからの
光が仮想面Sに投射されて反射した光を受ける第2の受
光器23bが、この投射点の略直上方に下方へ向けて設
けてある。
【0023】24は運転状態表示灯である。
【0024】上記構成における作用、すなわち、パッキ
ング及びアンパッキングの各作用を以下に説明する。
ング及びアンパッキングの各作用を以下に説明する。
【0025】(1)パッキング まず、各ステーションST1〜ST4のうち、第1のス
テーションST1に前工程が終了したウエハを収納した
カセットケース2をセットする。また第2・第3のステ
ーションST2,ST3に上記カセットケース2内のウ
エハW1を分類して収納するための第1・第2のウエハ
容器3a,3bをセットする。さらに第4のステーショ
ンST4に層間紙W2を収納した層間紙ストッカ3cを
カセットする。なお、この層間紙W2は、例えば、ウエ
ハW1の間に挟んでウエハW1を傷付けないもので、適
度な導電性を有するものが適している。
テーションST1に前工程が終了したウエハを収納した
カセットケース2をセットする。また第2・第3のステ
ーションST2,ST3に上記カセットケース2内のウ
エハW1を分類して収納するための第1・第2のウエハ
容器3a,3bをセットする。さらに第4のステーショ
ンST4に層間紙W2を収納した層間紙ストッカ3cを
カセットする。なお、この層間紙W2は、例えば、ウエ
ハW1の間に挟んでウエハW1を傷付けないもので、適
度な導電性を有するものが適している。
【0026】次に各ロボット4,5のうち、ウエハ用の
ロボット4をハンド11がステーションから離れる方向
に後退した状態でX方向に移動して第1のステーション
ST1に対向させると共に、Z方向に移動してハンド1
1の高さを、これの下面がカセットケース2内の取り出
そうとするウエハW1の上面に一致する高さにする。
ロボット4をハンド11がステーションから離れる方向
に後退した状態でX方向に移動して第1のステーション
ST1に対向させると共に、Z方向に移動してハンド1
1の高さを、これの下面がカセットケース2内の取り出
そうとするウエハW1の上面に一致する高さにする。
【0027】ついでこのハンド11をステーション側
(Y方向)へ移動してカセットケース2内の所定の段に
収納されているウエハW1の上面を吸着把持して取り出
し、反転する。このときのウエハW1は、カセットケー
ス2内での収納位置の関係から、必ずしもハンド11の
中心にて把持されるとは限らないし、その姿勢も、これ
に設けてあるIDマークが所定の位置となる正しい姿勢
となっているとは限らない。
(Y方向)へ移動してカセットケース2内の所定の段に
収納されているウエハW1の上面を吸着把持して取り出
し、反転する。このときのウエハW1は、カセットケー
ス2内での収納位置の関係から、必ずしもハンド11の
中心にて把持されるとは限らないし、その姿勢も、これ
に設けてあるIDマークが所定の位置となる正しい姿勢
となっているとは限らない。
【0028】このため、このハンド11にて把持した状
態で、このウエハW1を、これのIDマークを読むため
の第2のカメラ15bの下側へ移動しても、このIDマ
ークを読むことができず、したがって分類先を判別する
ことができない。
態で、このウエハW1を、これのIDマークを読むため
の第2のカメラ15bの下側へ移動しても、このIDマ
ークを読むことができず、したがって分類先を判別する
ことができない。
【0029】このことから、ハンド11にて吸着把持さ
れ、ついで反転したウエハW1を第1のカメラ15aの
下側で、これの焦点位置まで移動して、このウエハW1
の回転方向のずれ角(θ)を検出する。このずれ角
(θ)の検出は、ウエハW1全体をカメラ15aの視野
に収め、このウエハW1のオリフラ、あるいはVノッ
チ、さらにはIDマークの位置から、このウエハWの予
め決められた正しい姿勢からのずれ角(θ)をCPU等
で演算して求める。
れ、ついで反転したウエハW1を第1のカメラ15aの
下側で、これの焦点位置まで移動して、このウエハW1
の回転方向のずれ角(θ)を検出する。このずれ角
(θ)の検出は、ウエハW1全体をカメラ15aの視野
に収め、このウエハW1のオリフラ、あるいはVノッ
チ、さらにはIDマークの位置から、このウエハWの予
め決められた正しい姿勢からのずれ角(θ)をCPU等
で演算して求める。
【0030】次いで、このウエハW1をウエハ受け台1
3上に置き、この上でセンタリング装置14にて位置修
正してウエハ受け台13の中心位置にウエハW1の中心
を合わせる。その後、ウエハ受け台13を上記ずれ角
(θ)だけ、この角度がゼロになる方向に回転して角度
ずれを修正する。
3上に置き、この上でセンタリング装置14にて位置修
正してウエハ受け台13の中心位置にウエハW1の中心
を合わせる。その後、ウエハ受け台13を上記ずれ角
(θ)だけ、この角度がゼロになる方向に回転して角度
ずれを修正する。
【0031】再びウエハW1をハンド11にて吸着し
て、このウエハW1を、これのIDマーク位置が第2の
カメラ15bの焦点位置になるまで移動し、この第2の
カメラ15bにてIDマークを読み取る。なお、このと
き、ウエハW1のIDマークをウエハ受け台13上で第
2のカメラ15bにて検知するようにしてもよい。読み
取ったIDマークに基づいて、ウエハ用ロボット4は、
このウエハW1を第1・第2のウエハ容器3a,3bの
いずれに収納すべきかを判断して所定のウエハ容器3
a,3bにハンド11を作動して収納する。このとき、
ハンド11は反転して処理面が下側になるように収納す
る。
て、このウエハW1を、これのIDマーク位置が第2の
カメラ15bの焦点位置になるまで移動し、この第2の
カメラ15bにてIDマークを読み取る。なお、このと
き、ウエハW1のIDマークをウエハ受け台13上で第
2のカメラ15bにて検知するようにしてもよい。読み
取ったIDマークに基づいて、ウエハ用ロボット4は、
このウエハW1を第1・第2のウエハ容器3a,3bの
いずれに収納すべきかを判断して所定のウエハ容器3
a,3bにハンド11を作動して収納する。このとき、
ハンド11は反転して処理面が下側になるように収納す
る。
【0032】このとき、ハンド11はウエハ容器3a,
3bの側壁に設けたスリット内に入り、ウエハWはウエ
ハ容器3a,3b内に静かに置かれる。
3bの側壁に設けたスリット内に入り、ウエハWはウエ
ハ容器3a,3b内に静かに置かれる。
【0033】ウエハ容器3a,3bに1枚のウエハW1
が収納されると、層間紙用ロボット5の作動により、こ
れの上に層間紙W2が置かれる。すなわち、層間紙用ロ
ボット5はこれの層間紙吸着装置20にて第4ステーシ
ョンST4にある層間紙ストッカ4から層間紙W2を吸
着し、これを上記ウエハW1を収納したウエハ容器3
a,3bのステーションまで移動し、このウエハ容器1
内に層間紙W2を置く。
が収納されると、層間紙用ロボット5の作動により、こ
れの上に層間紙W2が置かれる。すなわち、層間紙用ロ
ボット5はこれの層間紙吸着装置20にて第4ステーシ
ョンST4にある層間紙ストッカ4から層間紙W2を吸
着し、これを上記ウエハW1を収納したウエハ容器3
a,3bのステーションまで移動し、このウエハ容器1
内に層間紙W2を置く。
【0034】上記作動を繰り返すことにより、カセット
ケース2内に収納されていたウエハW1は順次分類され
て各ウエハ容器3a,3bに間に層間紙W2を介装して
収納される。そして、所定の枚数のウエハW1を収納し
た状態でその上にスポンジ等の緩衝材を入れて蓋をす
る。
ケース2内に収納されていたウエハW1は順次分類され
て各ウエハ容器3a,3bに間に層間紙W2を介装して
収納される。そして、所定の枚数のウエハW1を収納し
た状態でその上にスポンジ等の緩衝材を入れて蓋をす
る。
【0035】なお、この場合は、カセットケース2内に
2種類のIDマークを有するウエハW1が収納されてい
て、これを2つのウエハ容器3a,3bに分類する場合
であるが、カセットケース2内に収納されているウエハ
W1の種類がウエハ容器の数より多い場合は、このウエ
ハ容器に分類収納することができないウエハW1ができ
てしまう。この場合は、このウエハ容器に分類できない
ウエハW1はこれのIDマークを読み取って、再びカセ
ットケース2に戻す。
2種類のIDマークを有するウエハW1が収納されてい
て、これを2つのウエハ容器3a,3bに分類する場合
であるが、カセットケース2内に収納されているウエハ
W1の種類がウエハ容器の数より多い場合は、このウエ
ハ容器に分類収納することができないウエハW1ができ
てしまう。この場合は、このウエハ容器に分類できない
ウエハW1はこれのIDマークを読み取って、再びカセ
ットケース2に戻す。
【0036】(2)アンパッキング 第1のステーションST1に空のカセットケース2を、
また第2・第3のステーションST2,ST3にウエハ
W1を収納したウエハ容器3a,3bをそれぞれセット
する。また第4のステーションST4には空の層間紙ス
トッカ3cをセットする。このとき、上記各ウエハ容器
は蓋及び緩衝材を取ってセットする。
また第2・第3のステーションST2,ST3にウエハ
W1を収納したウエハ容器3a,3bをそれぞれセット
する。また第4のステーションST4には空の層間紙ス
トッカ3cをセットする。このとき、上記各ウエハ容器
は蓋及び緩衝材を取ってセットする。
【0037】まず層間紙用ロボット5を移動して、これ
の層間紙吸着装置20をウエハ容器3a,3bに収納し
た一番上の部材の上面に近づけ、これの表面に第1・第
2の投光器22a,22bより光を投光し、それぞれの
反射光を第1・第2の受光器23a,23bにて受光す
る。
の層間紙吸着装置20をウエハ容器3a,3bに収納し
た一番上の部材の上面に近づけ、これの表面に第1・第
2の投光器22a,22bより光を投光し、それぞれの
反射光を第1・第2の受光器23a,23bにて受光す
る。
【0038】このとき、第1の受光器23aは第1の投
光器22aから投光されて反射面に反射した光がそのま
ま受光される。一方第2の受光器23bは、第2の投光
器22bからの光の入射角α2に対して大きな角度で反
射面に対向されているので、この第2の投光器22bに
て照らされた投光点での明るさ(乱反射光)が受光され
る。
光器22aから投光されて反射面に反射した光がそのま
ま受光される。一方第2の受光器23bは、第2の投光
器22bからの光の入射角α2に対して大きな角度で反
射面に対向されているので、この第2の投光器22bに
て照らされた投光点での明るさ(乱反射光)が受光され
る。
【0039】ここで、反射面が白色の層間紙W2である
場合には、この層間紙W2に反射した第1の投光器22
aからの光はあまり減衰されることなく第1の受光器2
3aに至り、これがONとなる。また第2の投光器22
bにて照らされた投光点での光の乱反射量は多くなり、
従って第2の受光器23bの受光量が多くなり、これが
ONとなる。
場合には、この層間紙W2に反射した第1の投光器22
aからの光はあまり減衰されることなく第1の受光器2
3aに至り、これがONとなる。また第2の投光器22
bにて照らされた投光点での光の乱反射量は多くなり、
従って第2の受光器23bの受光量が多くなり、これが
ONとなる。
【0040】一方反射面がウエハW1である場合には、
このウエハW1の表面が鏡面になっていることにより、
第1の投光器22aからの光は殆ど減衰されることなく
第1の受光器23aに至り、これがONとなる。また第
2の投光器22bからの光も入射角と同じ角度で殆ど全
量反射してしまうので、第2の受光器23bでの受光量
は極めて少なく、従ってこれはOFFとなる。
このウエハW1の表面が鏡面になっていることにより、
第1の投光器22aからの光は殆ど減衰されることなく
第1の受光器23aに至り、これがONとなる。また第
2の投光器22bからの光も入射角と同じ角度で殆ど全
量反射してしまうので、第2の受光器23bでの受光量
は極めて少なく、従ってこれはOFFとなる。
【0041】以上のことから、層間紙吸着装置20をウ
エハ容器3a,3bの収納物の上面に近づけて、両投光
器22a,22bで投光したときに、これらの光の反射
光を受光する両受光器23a,23bの双方がONにな
ったときには、上記反射面が(一番上の部材)が層間紙
W2であり、また第1の受光器23aがON、第2受光
器23bがOFFのときには、反射面(一番上の部材)
がウエハW1であることが識別される。
エハ容器3a,3bの収納物の上面に近づけて、両投光
器22a,22bで投光したときに、これらの光の反射
光を受光する両受光器23a,23bの双方がONにな
ったときには、上記反射面が(一番上の部材)が層間紙
W2であり、また第1の受光器23aがON、第2受光
器23bがOFFのときには、反射面(一番上の部材)
がウエハW1であることが識別される。
【0042】このようにして、ウエハ容器3a,3bの
一番上の部材が層間紙W2であると識別されたときに
は、そのまま層間紙用ロボット5にて、この層間紙W2
を吸着して第4のステーションST4まで移動して層間
紙ストッカ3cへ排出する。
一番上の部材が層間紙W2であると識別されたときに
は、そのまま層間紙用ロボット5にて、この層間紙W2
を吸着して第4のステーションST4まで移動して層間
紙ストッカ3cへ排出する。
【0043】一方ウエハ容器3a,3bの一番上の部材
がウエハW1であると認識されたときには、第2のロボ
ット5は第4のステーションST4側へ後退され、ウエ
ハ用ロボット4が作動し、これのハンド11にてウエハ
W1の上面を吸着把持して取り出す。
がウエハW1であると認識されたときには、第2のロボ
ット5は第4のステーションST4側へ後退され、ウエ
ハ用ロボット4が作動し、これのハンド11にてウエハ
W1の上面を吸着把持して取り出す。
【0044】ついでこれを反転して第1のカメラ15a
の下側に移動してこれの姿勢を検出し、ついでウエハW
1をウエハ受け台13に載せてセンタリング装置14に
て位置合わせを行い、さらにウエハ受け台13を回転し
て角度ずれて修正する。その後再びハンド11にてこの
ウエハW1を吸着把持して、これを第2のカメラ15b
の下側へ移動して、このウエハW1のIDマークを読み
取ってからこれを反転してカセットケース2に収納す
る。
の下側に移動してこれの姿勢を検出し、ついでウエハW
1をウエハ受け台13に載せてセンタリング装置14に
て位置合わせを行い、さらにウエハ受け台13を回転し
て角度ずれて修正する。その後再びハンド11にてこの
ウエハW1を吸着把持して、これを第2のカメラ15b
の下側へ移動して、このウエハW1のIDマークを読み
取ってからこれを反転してカセットケース2に収納す
る。
【0045】このように、ウエハ容器3a,3bからの
ウエハW1の取り出しは、ウエハ容器3a,3bの一番
上の部材が層間紙W2であるかウエハW1であるかを層
間紙用ロボット5にて検出してからウエハ用ロボット4
にてウエハW1を取り出し、その間に各ウエハW1のI
Dが記録される。
ウエハW1の取り出しは、ウエハ容器3a,3bの一番
上の部材が層間紙W2であるかウエハW1であるかを層
間紙用ロボット5にて検出してからウエハ用ロボット4
にてウエハW1を取り出し、その間に各ウエハW1のI
Dが記録される。
【0046】このとき、ウエハ容器が1個で、このウエ
ハ容器に2種類のウエハが混じって収納されたウエハW
1を2個のカセットケースに分類して収納することがで
きる。
ハ容器に2種類のウエハが混じって収納されたウエハW
1を2個のカセットケースに分類して収納することがで
きる。
【0047】また、この実施の形態において、腕部材1
0とハンド11との間に水平方向に旋回する旋回機構を
介装することにより、ウエハ用ロボット4にてカセット
ケース2から取り出された各ウエハW1の位置と角度の
ずれを第1のカメラ15aにて検出し、この検出値に基
づいて、ウエハ用ロボット4を細かく移動すると共に、
上記旋回機構を旋回作動してこのウエハ用ロボット4に
て修正するようにしてもよい。この場合ウエハ受け台1
3及びセンタリング装置14は不要になる。
0とハンド11との間に水平方向に旋回する旋回機構を
介装することにより、ウエハ用ロボット4にてカセット
ケース2から取り出された各ウエハW1の位置と角度の
ずれを第1のカメラ15aにて検出し、この検出値に基
づいて、ウエハ用ロボット4を細かく移動すると共に、
上記旋回機構を旋回作動してこのウエハ用ロボット4に
て修正するようにしてもよい。この場合ウエハ受け台1
3及びセンタリング装置14は不要になる。
【0048】また、角度ずれをウエハ受け台13にて、
位置ずれをウエハ用ロボット4にてそれぞれ修正するよ
うにしてもよい。この場合、センタリング装置14は不
要となる。なお、この角度ずれを第2のカメラ15bが
回転することによって認識できるようにしてもよい。こ
の場合には、ウエハ受け台13とセンタリング装置14
は不要となる。さらに、X−Yテーブル等の移動機構を
ウエハ受け台13に設けることにより、ウエハ受け台1
3にて位置と角度の双方のずれを修するようにしてもよ
い。
位置ずれをウエハ用ロボット4にてそれぞれ修正するよ
うにしてもよい。この場合、センタリング装置14は不
要となる。なお、この角度ずれを第2のカメラ15bが
回転することによって認識できるようにしてもよい。こ
の場合には、ウエハ受け台13とセンタリング装置14
は不要となる。さらに、X−Yテーブル等の移動機構を
ウエハ受け台13に設けることにより、ウエハ受け台1
3にて位置と角度の双方のずれを修するようにしてもよ
い。
【0049】図6以下は本発明の他の実施の形態を示
す。図6に示した第2の実施の形態のものは、上記した
実施の形態と同様に1台のウエハ用ロボット4aと1台
の層間紙用ロボット5aを備えている。そしてウエハ用
ロボット4aは上記したウエハ用ロボット4と同様にな
っていて、X方向,Y方向,Z(上下)方向に移動でき
るようになっており、かつこれのハンド11は反転回動
できるようになっていて、第1のステーションST1に
セットされたカセットケース2内のウエハW1を取り出
して、第2のステーションST2に並列して2つセット
してあるウエハ容器3a,3bに分類して収納するよう
になっている。
す。図6に示した第2の実施の形態のものは、上記した
実施の形態と同様に1台のウエハ用ロボット4aと1台
の層間紙用ロボット5aを備えている。そしてウエハ用
ロボット4aは上記したウエハ用ロボット4と同様にな
っていて、X方向,Y方向,Z(上下)方向に移動でき
るようになっており、かつこれのハンド11は反転回動
できるようになっていて、第1のステーションST1に
セットされたカセットケース2内のウエハW1を取り出
して、第2のステーションST2に並列して2つセット
してあるウエハ容器3a,3bに分類して収納するよう
になっている。
【0050】一方層間紙用ロボット5aは、上記第2・
第3のステーションST2と平行に設けられた第3のス
テーションST3にセットする2つの層間紙ストッカ3
c,3cに対向して2連状に構成されており、上記2つ
のウエハ容器3a,3bと2つのウエハ容器3a,3b
間にわたってY方向に移動可能になっていて、2つの層
間紙ストッカ3c,3cから2つのウエハ容器3a,3
b内へ層間紙W2を同時に収納できるようになってい
る。なお、この層間紙用ロボット5aのY方向,Z方向
への動作及び層間紙の吸着等の動作は先の第1の実施の
形態のものと同じである。
第3のステーションST2と平行に設けられた第3のス
テーションST3にセットする2つの層間紙ストッカ3
c,3cに対向して2連状に構成されており、上記2つ
のウエハ容器3a,3bと2つのウエハ容器3a,3b
間にわたってY方向に移動可能になっていて、2つの層
間紙ストッカ3c,3cから2つのウエハ容器3a,3
b内へ層間紙W2を同時に収納できるようになってい
る。なお、この層間紙用ロボット5aのY方向,Z方向
への動作及び層間紙の吸着等の動作は先の第1の実施の
形態のものと同じである。
【0051】この実施の形態におけるウエハW1は、ウ
エハ用ロボット4aにてカセットケース2から取り出さ
れてからウエハ受け台13に載せる。そしてここでセン
タリング装置14にてX,Y方向の位置合わせがなされ
る。その後、ウエハ受け台13を回転して、これの上の
ウエハW1のオリフラあるいはVノッチを、フォトセン
サ等で検出し、このオリフラあるいはVノッチが所定の
位置にきたときにウエハ受け台13の回転を止めること
によりウエハW1の回転方向の位置を合わせる。
エハ用ロボット4aにてカセットケース2から取り出さ
れてからウエハ受け台13に載せる。そしてここでセン
タリング装置14にてX,Y方向の位置合わせがなされ
る。その後、ウエハ受け台13を回転して、これの上の
ウエハW1のオリフラあるいはVノッチを、フォトセン
サ等で検出し、このオリフラあるいはVノッチが所定の
位置にきたときにウエハ受け台13の回転を止めること
によりウエハW1の回転方向の位置を合わせる。
【0052】その後、このウエハ受け台13上のウエハ
W1を再びハンド11で吸着把持してIDマーク読み取
り用のカメラ15bでウエハW1のIDマークを読み取
り、その結果に基づいてこのウエハW1を第2のステー
ションST2のいずれかのウエハ容器3a,3bに反転
させて分類収納する。
W1を再びハンド11で吸着把持してIDマーク読み取
り用のカメラ15bでウエハW1のIDマークを読み取
り、その結果に基づいてこのウエハW1を第2のステー
ションST2のいずれかのウエハ容器3a,3bに反転
させて分類収納する。
【0053】また、上記フォトセンサに、例えばライン
センサを用いれば、ウエハW1の位置ずれがこのライン
センサの出力波形により検知できるので、上記センタリ
ング装置14は不要となる。
センサを用いれば、ウエハW1の位置ずれがこのライン
センサの出力波形により検知できるので、上記センタリ
ング装置14は不要となる。
【0054】さらに、この第2の実施の形態におけるウ
エハW1の位置決めは、カセットケース2から取り出さ
れたウエハW1を位置検出カメラでX,Y方向の位置ず
れと回転方向(θ)の角度ずれを検出し、これのX,Y
方向の位置ずれをウエハ用ロボット4aのX,Y方向の
移動にて修正し、角度ずれはIDマーク読み取り用カメ
ラを回転することにより修正して読み取るようにしても
よい。また、上記した第1の実施の形態と同様に、腕部
材10とハンド11との間に水平方向に旋回する旋回機
構を介装することによりハンド11を水平方向に旋回し
て、上記ずれの修正を、X,Y方向の修正と共に、ウエ
ハ用ロボット4aにて行うようにしてもよい。これら場
合、ウエハ受け台とセンタリング装置は不要になる。
エハW1の位置決めは、カセットケース2から取り出さ
れたウエハW1を位置検出カメラでX,Y方向の位置ず
れと回転方向(θ)の角度ずれを検出し、これのX,Y
方向の位置ずれをウエハ用ロボット4aのX,Y方向の
移動にて修正し、角度ずれはIDマーク読み取り用カメ
ラを回転することにより修正して読み取るようにしても
よい。また、上記した第1の実施の形態と同様に、腕部
材10とハンド11との間に水平方向に旋回する旋回機
構を介装することによりハンド11を水平方向に旋回し
て、上記ずれの修正を、X,Y方向の修正と共に、ウエ
ハ用ロボット4aにて行うようにしてもよい。これら場
合、ウエハ受け台とセンタリング装置は不要になる。
【0055】図7は本発明の第3の実施の形態を示すも
ので、第1のステーションST1に第1・第2のカセッ
トケース2a,2bをセットするようにしている。そし
て第2・第3のステーションST2,ST3に、上記第
2の実施の形態の場合と同様に2つのウエハ容器3a,
3bと2つの層間紙ストッカ3c,3cを平行に設け、
層間紙用ロボット5aにて2つの層間紙ストッカ3c,
3cから2つのウエハ容器3a,3bへ同時に層間紙W
2を収納できるようになっている。
ので、第1のステーションST1に第1・第2のカセッ
トケース2a,2bをセットするようにしている。そし
て第2・第3のステーションST2,ST3に、上記第
2の実施の形態の場合と同様に2つのウエハ容器3a,
3bと2つの層間紙ストッカ3c,3cを平行に設け、
層間紙用ロボット5aにて2つの層間紙ストッカ3c,
3cから2つのウエハ容器3a,3bへ同時に層間紙W
2を収納できるようになっている。
【0056】上記第1のステーションST1の両カセッ
トケース3a,3bの間隔と、第2・第3のステーショ
ンST2,ST3にセットするウエハ容器3a,3bの
間隔及び層間紙カセット3c,3cの間隔が同一になっ
ている。そしてウエハ用ロボット4bには上記各間隔を
あけて2つのハンド11,11が設けてある。
トケース3a,3bの間隔と、第2・第3のステーショ
ンST2,ST3にセットするウエハ容器3a,3bの
間隔及び層間紙カセット3c,3cの間隔が同一になっ
ている。そしてウエハ用ロボット4bには上記各間隔を
あけて2つのハンド11,11が設けてある。
【0057】この実施の形態では、ウエハ用ロボット4
bは2つのカセットケース2a,2bに対向する位置に
おいて、前後方向(Y方向)に移動して両ハンド11,
11にて両カセットケース2a,2bからそれぞれのウ
エハW1,W1を取り出し、これを反転して図示しない
カメラにてこれの姿勢を検出してからウエハ受け台1
3,13上に置く。ウエハ受け台13上で各ウエハ
W1,W1はセンタリング装置14にてセンタリングさ
れる。ついで、上記カメラにて検出されたそれぞれの回
転方向のずれ角だけウエハ受け台13,13が回転して
各ウエハW1,W1の位置決めが行われる。その後、再
びハンド11,11にて吸着把持し、他のカメラ15b
にてこれのIDマークを読み取ってからウエハ用ロボッ
ト4aをウエハ容器3a,3bに対向する位置まで移動
して両ウエハW1,W1を反転してウエハ容器3a,3
bに収納する。
bは2つのカセットケース2a,2bに対向する位置に
おいて、前後方向(Y方向)に移動して両ハンド11,
11にて両カセットケース2a,2bからそれぞれのウ
エハW1,W1を取り出し、これを反転して図示しない
カメラにてこれの姿勢を検出してからウエハ受け台1
3,13上に置く。ウエハ受け台13上で各ウエハ
W1,W1はセンタリング装置14にてセンタリングさ
れる。ついで、上記カメラにて検出されたそれぞれの回
転方向のずれ角だけウエハ受け台13,13が回転して
各ウエハW1,W1の位置決めが行われる。その後、再
びハンド11,11にて吸着把持し、他のカメラ15b
にてこれのIDマークを読み取ってからウエハ用ロボッ
ト4aをウエハ容器3a,3bに対向する位置まで移動
して両ウエハW1,W1を反転してウエハ容器3a,3
bに収納する。
【0058】一方層間紙用ロボット5aは上記ウエハ用
ロボット4bの動作と連動して層間紙W2を上記ウエハ
容器3a,3b内のウエハW1,W1の上に収納してい
く。
ロボット4bの動作と連動して層間紙W2を上記ウエハ
容器3a,3b内のウエハW1,W1の上に収納してい
く。
【0059】なお、この実施の形態において、カセット
ケース内のウエハW1を2つのウエハ容器3a,3bに
分類して収納する場合には、第1のステーションST1
に1つのカセットケース2bだけをセットし、このカセ
ットケース2b内のウエハW1を一方のハンド11で取
り出し反転し、これを上記作用によりセンタリングし、
ずれ角を修正し、IDマークを読み取り、このIDマー
クに従って、ウエハ容器3a,3bのいずれかに反転し
て分類収納する。
ケース内のウエハW1を2つのウエハ容器3a,3bに
分類して収納する場合には、第1のステーションST1
に1つのカセットケース2bだけをセットし、このカセ
ットケース2b内のウエハW1を一方のハンド11で取
り出し反転し、これを上記作用によりセンタリングし、
ずれ角を修正し、IDマークを読み取り、このIDマー
クに従って、ウエハ容器3a,3bのいずれかに反転し
て分類収納する。
【0060】図8,図9,図10は本発明の第4の実施
の形態を示すもので、2つのカセットケース2a,2b
をセットする第1のステーションST1と、2つのウエ
ハ容器3a,3bと2つの層間紙ストッカ3c,3cを
平行にセットする第2・第3のステーションST2,S
T3とを有する構成となっている。そしてウエハ用ロボ
ット4cは2つのカセットケース2a,2bに対向する
2つのハンド11,11を有していると共に、前後方向
(Y方向)及び上下方向(Z方向)に移動可能になって
いる。
の形態を示すもので、2つのカセットケース2a,2b
をセットする第1のステーションST1と、2つのウエ
ハ容器3a,3bと2つの層間紙ストッカ3c,3cを
平行にセットする第2・第3のステーションST2,S
T3とを有する構成となっている。そしてウエハ用ロボ
ット4cは2つのカセットケース2a,2bに対向する
2つのハンド11,11を有していると共に、前後方向
(Y方向)及び上下方向(Z方向)に移動可能になって
いる。
【0061】この実施の形態では、ウエハ用ロボット4
cは2つのカセットケース2a,2bに対向する位置に
おいて、前後方向に移動して両ハンド11,11にて両
カセットケース2a,2bからそれぞれウエハW1,W
1を取り出し、これを反転して図示しないカメラにてこ
れの姿勢を検出してからウエハ受け台13,13に置
き、ここでセンタリング装置14にてセンタリングされ
ると共に、ずれ角が修正される。その後、再びハンド1
1,11にて吸着把持して図示しない他のカメラにてウ
エハW1,W1のIDマークを読み取ってから、上昇し
てウエハ容器3a,3b内にウエハW1,W1を反転し
て収納する。
cは2つのカセットケース2a,2bに対向する位置に
おいて、前後方向に移動して両ハンド11,11にて両
カセットケース2a,2bからそれぞれウエハW1,W
1を取り出し、これを反転して図示しないカメラにてこ
れの姿勢を検出してからウエハ受け台13,13に置
き、ここでセンタリング装置14にてセンタリングされ
ると共に、ずれ角が修正される。その後、再びハンド1
1,11にて吸着把持して図示しない他のカメラにてウ
エハW1,W1のIDマークを読み取ってから、上昇し
てウエハ容器3a,3b内にウエハW1,W1を反転し
て収納する。
【0062】一方、層間紙用ロボット5bは層間紙カセ
ット3c,3cと上記ウエハ容器3a,3b間を移動し
て、上記ウエハ用ロボット4cの動作と連動して層間紙
W2をウエハW1と交互にウエハ容器内に収納する。
ット3c,3cと上記ウエハ容器3a,3b間を移動し
て、上記ウエハ用ロボット4cの動作と連動して層間紙
W2をウエハW1と交互にウエハ容器内に収納する。
【0063】上記した第3・第4の実施の形態において
も、上記した第1・第2の実施の形態の場合と同様に、
角度ずれをウエハ受け台13にて、位置ずれをウエハ用
ロボット4にてそれぞれ修正するようにしてもよい。こ
の場合、センタリング装置14は不要となる。なお、こ
の角度ずれを第2のカメラ15bが回転することによっ
て認識できるようにしてもよい。この場合には、ウエハ
受け台13とセンタリング装置14は不要となる。さら
に、X−Yテーブル等の移動機構をウエハ受け台13に
設けることにより、ウエハ受け台13にて位置と角度の
双方のずれを修するようにしてもよい。
も、上記した第1・第2の実施の形態の場合と同様に、
角度ずれをウエハ受け台13にて、位置ずれをウエハ用
ロボット4にてそれぞれ修正するようにしてもよい。こ
の場合、センタリング装置14は不要となる。なお、こ
の角度ずれを第2のカメラ15bが回転することによっ
て認識できるようにしてもよい。この場合には、ウエハ
受け台13とセンタリング装置14は不要となる。さら
に、X−Yテーブル等の移動機構をウエハ受け台13に
設けることにより、ウエハ受け台13にて位置と角度の
双方のずれを修するようにしてもよい。
【0064】図11は図1から図5に示した第1の実施
の形態の変形例を示すもので、ウエハ用ロボット4dは
関節ロボット形になっていて、これは昇降台25、第1
アーム26、第2アーム27、手首28及びハンド11
とからなっていて、ハンド11は、昇降台25による上
下動(Z)、第1・第2アーム26,27による縦方
向、横方向(X,Y)、手首回転による旋回及び反転の
5つの自由度を有している。
の形態の変形例を示すもので、ウエハ用ロボット4dは
関節ロボット形になっていて、これは昇降台25、第1
アーム26、第2アーム27、手首28及びハンド11
とからなっていて、ハンド11は、昇降台25による上
下動(Z)、第1・第2アーム26,27による縦方
向、横方向(X,Y)、手首回転による旋回及び反転の
5つの自由度を有している。
【0065】そして、このウエハ用ロボット4dにて、
カセットケース2にあるウエハW1を1枚ずつ取り出
し、反転し、第1のカメラ15aにてその姿勢を検出
し、その姿勢をウエハ用ロボット4dにてその姿勢を修
正し、第2のカメラ15bにてIDマークを読み取り、
それに応じてウエハ容器3a,3bのいずれかに反転し
て分類収納する。
カセットケース2にあるウエハW1を1枚ずつ取り出
し、反転し、第1のカメラ15aにてその姿勢を検出
し、その姿勢をウエハ用ロボット4dにてその姿勢を修
正し、第2のカメラ15bにてIDマークを読み取り、
それに応じてウエハ容器3a,3bのいずれかに反転し
て分類収納する。
【0066】図12はロボット4dにてカセットケース
2とウエハ容器間へのウエハW1の移動と、層間紙カセ
ット3cとウエハ容器3a,3b間の移動の双方を行う
ようにした例を示す。
2とウエハ容器間へのウエハW1の移動と、層間紙カセ
ット3cとウエハ容器3a,3b間の移動の双方を行う
ようにした例を示す。
【0067】図13はロボット4eにてウエハW1と層
間紙W2の双方を移動するようにしたものである。この
ロボット4eは昇降台25の上下動、第1・第2アーム
26,27の縦方向、横方向、手首28による反転の4
自由度を有していて、手首28は昇降台25に対して放
射方向に移動されるようになっている。これのため、カ
セットケース2、ウエハ容器3a,3b及び層間紙カセ
ット3c及び位置(角度)合わせ装置29は昇降台25
を中心とする円周方向に配置されている。
間紙W2の双方を移動するようにしたものである。この
ロボット4eは昇降台25の上下動、第1・第2アーム
26,27の縦方向、横方向、手首28による反転の4
自由度を有していて、手首28は昇降台25に対して放
射方向に移動されるようになっている。これのため、カ
セットケース2、ウエハ容器3a,3b及び層間紙カセ
ット3c及び位置(角度)合わせ装置29は昇降台25
を中心とする円周方向に配置されている。
【0068】
【発明の効果】本発明は以上のようになり、1つのウエ
ハ搬送手段によって、カセットケースからウエハ容器へ
のウエハの搬送(パッキング)、及びその逆の動き(ア
ンパッキング)を行うことができ、このウエハの搬送の
ための装置の構成及びその制御を簡単にすることができ
る。また、上記ウエハ搬送手段を複数のカセットケース
と複数のウエハ容器の相互にわたってウエハを搬送でき
ることにより、このウエハのパッキング及びアンパッキ
ングの動作を効率良く行うことができる。
ハ搬送手段によって、カセットケースからウエハ容器へ
のウエハの搬送(パッキング)、及びその逆の動き(ア
ンパッキング)を行うことができ、このウエハの搬送の
ための装置の構成及びその制御を簡単にすることができ
る。また、上記ウエハ搬送手段を複数のカセットケース
と複数のウエハ容器の相互にわたってウエハを搬送でき
ることにより、このウエハのパッキング及びアンパッキ
ングの動作を効率良く行うことができる。
【0069】そして、上記アンパッキング動作時におい
て、ウエハ容器内の一番上の部材が、ウエハか層間紙の
いずれかであるかが簡単に判別されることにより、アン
パッキング動作を、このときの層間紙処理がスムーズに
行われて、混乱することなくスムーズに行うことができ
る。
て、ウエハ容器内の一番上の部材が、ウエハか層間紙の
いずれかであるかが簡単に判別されることにより、アン
パッキング動作を、このときの層間紙処理がスムーズに
行われて、混乱することなくスムーズに行うことができ
る。
【0070】さらに本発明に係るウエハパッキング方法
によれば、上記ウエハ搬送手段によるウエハの移動経路
内で、このウエハのIDマークが読み取られ、その情報
に基づいて複数のウエハ容器のうちの1つに分類収納す
ることができる。
によれば、上記ウエハ搬送手段によるウエハの移動経路
内で、このウエハのIDマークが読み取られ、その情報
に基づいて複数のウエハ容器のうちの1つに分類収納す
ることができる。
【図1】本発明の第1の実施の形態を示す平面図であ
る。
る。
【図2】本発明の第1の実施の形態を示す一部破断側面
図である。
図である。
【図3】本発明の第1の実施の形態を示す一部を省略し
て示す正面図である。
て示す正面図である。
【図4】両ロボットの動作系を示す斜視図である。
【図5】層間紙識別機構を示す構成説明図である。
【図6】本発明の第2の実施の形態を示す正面図であ
る。
る。
【図7】本発明の第3の実施の形態を示す平面図であ
る。
る。
【図8】本発明の第4の実施の形態を示す正面図であ
る。
る。
【図9】本発明の第4の実施の形態を示す平面図であ
る。
る。
【図10】本発明の第4の実施の形態を示す一部破断側
面図である。
面図である。
【図11】本発明の第1の実施の形態の変形例を示す平
面図である。
面図である。
【図12】本発明の第1の実施の形態の他の変形例を示
す平面図である。
す平面図である。
【図13】本発明の第1の実施の形態の他の変形例を示
す平面図である。
す平面図である。
ST1,ST2,ST3,ST4…第1・第2・第3・
第4のステーション、W1…ウエハ、W2…層間紙、1
…基台、2…カセットケース、3a,3b…ウエハ容
器、3c…層間紙ストッカ、4,4a,4b,4c,4
d,4e…ウエハ用ロボット、5,5a…層間紙用ロボ
ット、6,17…X方向レール、7…サドル部材、8…
Y方向レール、9…Z方向レール、10…腕部材、11
…ハンド、12…吸着用孔、13…ウエハ受け台、14
…センタリング装置、15a,15b…カメラ、16…
ブラケット、18…マスト部材、19…アーム、20…
層間紙吸着装置、21…吸着部材、22a,22b…投
光器、23a,23b…受光器、24…運転状況表示
灯、25…昇降台、26,27…アーム、28…手首、
29…位置合わせ装置。
第4のステーション、W1…ウエハ、W2…層間紙、1
…基台、2…カセットケース、3a,3b…ウエハ容
器、3c…層間紙ストッカ、4,4a,4b,4c,4
d,4e…ウエハ用ロボット、5,5a…層間紙用ロボ
ット、6,17…X方向レール、7…サドル部材、8…
Y方向レール、9…Z方向レール、10…腕部材、11
…ハンド、12…吸着用孔、13…ウエハ受け台、14
…センタリング装置、15a,15b…カメラ、16…
ブラケット、18…マスト部材、19…アーム、20…
層間紙吸着装置、21…吸着部材、22a,22b…投
光器、23a,23b…受光器、24…運転状況表示
灯、25…昇降台、26,27…アーム、28…手首、
29…位置合わせ装置。
Claims (5)
- 【請求項1】 ウエハを収納するカセットケースをセッ
トする少なくとも1つのステーションと、ウエハを収納
して移送するために用いられるウエハ容器をセットする
複数のステーションと、ウエハ容器内のウエハ間に入れ
る層間紙を収納する層間紙ストッカをセットするステー
ションと、上記カセットケースとウエハ容器をセットす
るステーション間にわたって移動してカセットケースと
ウエハ容器の相互にわたってウエハを出し入れするウエ
ハ搬送手段と、層間紙ストッカとウエハ容器をセットす
るステーション間にわたって移動して層間紙をウエハ容
器内に入れる層間紙搬送手段とからなることを特徴とす
るウエハパッキング装置。 - 【請求項2】 ウエハを収納するカセットケースを複数
セットするステーションと、ウエハを収納して移送のた
めに用いられるウエハ容器を複数セットするステーショ
ンと、ウエハ容器内のウエハ間に入れる層間紙を収納す
る層間紙ストッカを複数セットするステーションと、上
記複数のカセットケースと複数のウエハ容器をセットす
るステーション間にわたって移動して複数のカセットケ
ースと複数のウエハ容器の相互にわたってウエハを複数
同時に出し入れするウエハ搬送手段と、複数の層間紙ス
トッカと複数のウエハ容器をセットするステーション間
にわたって移動して層間紙をウエハ容器内に入れる層間
紙搬送手段とからなることを特徴とするウエハパッキン
グ装置。 - 【請求項3】 ウエハ搬送手段と層間紙搬送手段が、1
つの搬送手段でなることを特徴とする請求項1または2
記載のウエハパッキング装置。 - 【請求項4】 層間紙搬送手段に、ウエハ容器内に位置
する被搬送体の別を判別する被搬送体判別手段を設けた
ことを特徴とする請求項1から3記載のいずれか1記載
のウエハパッキング装置。 - 【請求項5】 請求項1から請求項3記載のいずれか1
記載のウエハパッキング装置において、ウエハのIDマ
ークをIDマーク読み取り手段にて読み取り、この読み
取り情報に基づいて、ウエハ搬送手段をX,Y,Z方向
に駆動制御して所定のウエハ容器へウエハを収納するよ
うにしたことを特徴とするウエハパッキング方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33209697A JPH11163091A (ja) | 1997-12-02 | 1997-12-02 | ウエハパッキング装置及びウエハパッキング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33209697A JPH11163091A (ja) | 1997-12-02 | 1997-12-02 | ウエハパッキング装置及びウエハパッキング方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11163091A true JPH11163091A (ja) | 1999-06-18 |
Family
ID=18251109
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP33209697A Pending JPH11163091A (ja) | 1997-12-02 | 1997-12-02 | ウエハパッキング装置及びウエハパッキング方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH11163091A (ja) |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2004019387A1 (en) * | 2002-08-22 | 2004-03-04 | Integrated Dynamics Engineering, Inc. | Substrate processing system |
JP2005045122A (ja) * | 2003-07-24 | 2005-02-17 | Daifuku Co Ltd | 板状体取出装置 |
JPWO2006104121A1 (ja) * | 2005-03-29 | 2008-09-11 | 株式会社日立国際電気 | 半導体製造装置 |
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KR101457857B1 (ko) * | 2013-10-17 | 2014-11-12 | 로체 시스템즈(주) | 웨이퍼 패킹 시스템 및 이에 적용되는 테이핑 유닛 |
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WO2020026645A1 (ja) * | 2018-08-01 | 2020-02-06 | 平田機工株式会社 | 搬送装置及び制御方法 |
JP2020021853A (ja) * | 2018-08-01 | 2020-02-06 | 平田機工株式会社 | 搬送装置及び搬送システム |
-
1997
- 1997-12-02 JP JP33209697A patent/JPH11163091A/ja active Pending
Cited By (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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KR20200143485A (ko) * | 2018-08-01 | 2020-12-23 | 히라따기꼬오 가부시키가이샤 | 반송 장치 및 제어 방법 |
CN112262466A (zh) * | 2018-08-01 | 2021-01-22 | 平田机工株式会社 | 搬运装置及控制方法 |
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JPWO2020026645A1 (ja) * | 2018-08-01 | 2021-05-13 | 平田機工株式会社 | 搬送装置及び制御方法 |
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US11791188B2 (en) | 2018-08-01 | 2023-10-17 | Hirata Corporation | Transport apparatus and control method |
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