JPH11142469A

JPH11142469A - 低高温電気特性測定方法および装置

Info

Publication number: JPH11142469A
Application number: JP9302570A
Authority: JP
Inventors: Yoshihiro Doukawa; 義博銅川
Original assignee: NEC Corp
Current assignee: NEC Corp
Priority date: 1997-11-05
Filing date: 1997-11-05
Publication date: 1999-05-28

Abstract

(57)【要約】【課題】半導体デバイス等における被測定素子を低高
温にてその電気特性を測定するにあたり、被測定素子に
対して高精度の温度調整を可能にし、またペルチェ（熱
電素子）への供給電力を低く抑える。【解決手段】熱電素子ペルチェ２２から伝熱される冷
熱プレート３の温度を制御し、被測定素子２に伝熱して
低温または高温にて温度調整して電気特性を測定する。
乾燥空気８でエアカーテンを形成して槽外部空気と遮蔽
し、空気対流を無風状態に維持して、特に低温設定時に
槽内部での結露を防止する。それにより、熱損失を抑え
てペルチェ２２への供給電力を小さくし、被測定素子２
の温度変動を抑えて温度調整精度を高める。被測定素子
２の周辺の槽内空気温度および冷熱プレート３の温度を
検出し、被測定素子２の予測温度を算出し、設定温度に
一致するようにペルチェ２２の温度を制御する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体デバイス等
における被測定素子を低温から高温にてその電気特性を
測定する方法および装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体デバイスを製品検査するうえで、
温度に関する電気特性測定は重要である。半導体素子の
ごとき測定対象素子を低温または高温にて電気測定する
際、熱電素子のペルチェ効果を利用して温度制御を行
い、測定対象素子を温度調整して電気特性を測定する装
置は周知である。

【０００３】この種低高温電気特性装置として、特願昭
５９−１８９５３１号（特開昭６１−６８５６８号公
報）、特開平１−２８６３２２号公報、特開平４−１０
４０７２号公報および特開平４−１４４２４８号公報等
がある。

【０００４】そのうち、特に特開昭６１−６８５６８号
公報には、ペルチェ熱電素子を埋め込んだ冷熱部の付近
に測定対象のＩＣをセットし、エアカーテンによって冷
却時の結露を防止するようにした電子冷熱器による低高
温ハンドラー装置が記載されている。

【０００５】これを図４〜図６で概略的に説明する。Ｉ
Ｃ供給マガジン１１１に被測定ＩＣ１０４が収納され、
図４の矢印Ｃ方向に移動しつつ、被測定素子であるこの
場合はＩＣ１０４を予備冷熱部１０１のガイドレール１
０８上に順次供給する。

【０００６】冷熱部１０３には、ペルチェ素子１０５が
埋め込まれており、このペルチェ素子１０５の冷熱効果
によって被測定ＩＣ１０４が冷熱される。その際、温度
センサ１０６は冷熱部１０３の温度を検出する。水冷機
構１０７は、ペルチェ素子１０５による冷熱時に発生す
る熱を吸収する。被測定ＩＣ１０４は、ガイドレール１
０８を介して予備冷熱部１０１を通過する間に目標温度
に達し、測定部１０２で測定されている間も所望の温度
に保持される。

【０００７】温度センサ１０６からの検出温度は設定温
度と比較され、比較結果に基づいてペルチェ素子１０５
の温度を制御する。

【０００８】また、エアー噴出口１０９に一定圧力のエ
アーを供給し、冷熱部１０３の周辺をエアカーテンで遮
断する。それによって、冷熱部１０３とその周辺の温度
差をなくすことで、冷熱部１０３の結露を防止し、冷熱
部１０３に埋め込まれたペルチェ素子１０５の絶縁不良
化を防止するようにした構造である。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この図
４〜図６に示す公報記載の装置にあっては、解決すべき
次の問題点を残している。

【００１０】第１の問題点は、被測定素子であるＩＣ１
０４を温度調整する精度が低いことである。

【００１１】その理由に、エアカーテンによって空気の
大きな対流が発生することである。そのため、ＩＣとペ
ルチェの周辺に生じた空気の対流により熱損失が大きく
なり、ＩＣの熱変動が大きくなる。また、理由の他の一
つに、ＩＣを温度調整する冷熱部が１カ所のみであるこ
とから、空気の温度を制御に利用してない点がある。

【００１２】空気の大きな対流が生じる原因の１つに、
図６に示すＩＣとエアカーテンとの間隔距離が短いこと
があげられる。そのことがエアカーテンをバランスさせ
ることを困難なものとしている。さらには、周囲から吹
き出すエアカーテンの粘性でＩＣ付近の空気が外部へ押
し出され、圧力低下して乱流を引き起こすことにも起因
している。

【００１３】第２の問題点は、ペルチェへの供給電力が
大きいことである。すなわち、エアカーテンにより対流
が大きく発生することで大きな熱損失が生じ、勢い供給
電力が大きくなる。

【００１４】したがって、本発明の目的は、半導体デバ
イス等における被測定素子に対して高精度の温度調整を
可能にし、またペルチェへの供給電力を低く抑えるよう
にした低高温電気特性測定方法および装置を提供する。

【００１５】

【課題を解決するための手段】本発明の低高温電気特性
測定方法は、被測定素子を収容トレイを介して測定槽内
に搬出入し、ペルチェ効果を利用した熱電素子から伝熱
される冷熱プレートの温度を制御して、この冷熱プレー
トの熱を収容トレイを介して被測定素子に伝熱すること
により、被測定素子を低温または高温にて温度調整して
電気特性を測定するにあたって、槽内セット後、前記被
測定素子の周辺の槽内空気温度および前記冷熱プレート
の各温度を検出し、これら槽内空気温度と冷熱プレート
温度に基づいて前記被測定素子の予測温度を算出し、こ
の予測温度が予め設定された設定温度に一致するよう、
前記熱電素子を温度制御する。

【００１６】この場合、前記槽内空気温度と前記冷熱プ
レート温度と前記設定温度との相関がテーブル化され、
そのテーブルを参照して、設定温度および槽内空気温度
に対して冷熱プレート温度を求めることができ、また、
前記冷熱プレート温度と前記熱電素子の温度との相関が
テーブル化され、算出されたその冷熱プレート温度に対
して熱電素子温度を求めることができる。

【００１７】さらに、エアカーテンを形成して槽外部空
気と遮蔽することにより空気対流を無風状態に維持し、
特に低温設定時に槽外部からの水分の浸入をエアカーテ
ンで遮断して、槽内部での結露を防止する。被測定素子
の周辺の空気対流を無風状態に維持することにより、熱
損失を抑えて前記熱電素子への供給電力を小さくし、前
記被測定素子の温度変動を抑えて温度調整精度を高める
ことができる。

【００１８】一方、本発明による低高温電気特性測定装
置は、被測定素子を収容トレイを介して測定槽内に搬出
入し、ペルチェ効果を利用した熱電素子から伝熱される
冷熱パネルの温度を制御して、この冷熱プレートの熱を
収容トレイを介して被測定素子に伝熱することにより、
被測定素子を低温または高温にて温度調整して電気特性
を測定するものであって、前記被測定素子の周辺の槽内
空気温度を検出する槽内空気温度センサと、前記冷熱プ
レートの温度を検出する冷熱プレート温度センサと、こ
れら槽内空気温度と冷熱プレート温度の各検出信号に基
づいて前記被測定素子の予測温度を算出する素子温度算
出部と、前記被測定素子の予測温度を予め設定する素子
温度指令部と、前記素子温度算出部から出力された予測
温度算出値信号と、前記素子温度指令部から出力された
予測温度設定信号とを比較して、予測温度が設定温度に
一致するよう、前記熱電素子に指令信号を送出して温度
調整する温度制御部と、を備えてなっている。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、本発明による低高温電気特
性測定方法および装置の実施の形態について、図面を参
照して詳細に説明する。

【００２０】図１は、本発明の第１実施の形態を示すブ
ロック構成図である。測定槽５内には、搬送用のトレイ
１に電気特性を測定する対象の例えば半導体デバイス等
における被測定素子２が配置されている。

【００２１】また、測定槽５内では、被測定素子２の温
度を調節するために用いられる熱電素子として、ペルチ
ェ２２が配置されている。このペルチェ２２からの伝熱
効果が高い冷熱プレート３を有し、この冷熱プレート３
は槽内の所定位置にて上記トレイ１の下に位置するよう
配置されている。

【００２２】この冷熱プレート３の温度を測定する温度
センサ９と、素子２周辺の空気の温度を測定する温度セ
ンサ１０とを有し、また素子２の電極に接触させて電気
特性を測定する測定プローブ（触端子）１２と、そして
トレイ１を搬出入するトレイ搬入口６およびトレイ搬出
口７が設けられている。

【００２３】さらに、トレイ搬入搬出口６、７には、そ
れぞれ乾燥空気出射部１５が配置されている。ここで
は、低温設定時に外部の水分が測定槽５内部に入り込ん
で結露するのを防止するため、乾燥空気８を外部へ向け
て吹き出すようになっている。

【００２４】そのトレイ搬入搬出口６、７の近傍には、
それぞれ槽内圧調整用乾燥空気を供給する乾燥空気供給
部１６が配置されている。ここでは、乾燥空気８の粘性
で槽内部の空気が槽外部へ漏出することで内圧が低下す
るのを防ぎ、素子２付近を無風状態にするための乾燥空
気８を供給する。

【００２５】乾燥空気発生部１７は、乾燥空気出射部１
５と乾燥空気供給部１６への乾燥空気は乾燥空気発生部
１７から供給される。

【００２６】また、測定槽５の前後方向つまり搬入搬出
方向に延びて搬送レール１８が配設され、トレイ１を搬
入口６から搬出口７に向けて搬送するようになってい
る。

【００２７】一方、素子温度制御系として、温度制御部
４、素子温度指令部２０および素子温度算出部１１等が
備わっている。温度制御部４は、素子温度を設定する素
子温度指令部２０からの出力信号と、現在の素子温度を
演算する素子温度算出部１１からの出力信号により、素
子２の温度が指令温度に一致するよう、ペルチェ３の温
度調整制御を行う。

【００２８】トレイ搬送レール１８を駆動する駆動部１
９では、測定開始信号発生部２１と測定プローブ駆動部
１４の信号を用いて、トレイ１の搬送と素子２の測定位
置への位置決めを行う。測定プローブ駆動部１４は、ト
レイ搬送レール駆動部１９と測定器１３の信号を用い
て、測定プローブ１２を駆動し、搬送可能な位置への位
置合わせと測定位置への位置合わせを行う。測定器１３
は、プローブ駆動部１４と測定プローブ１２から得られ
る信号を用いて、素子２の電気特性の測定が可能であ
る。

【００２９】以上の構成よりなる第１実施の形態の動作
について次に説明する。

【００３０】冷熱プレート用と空気用の各温度センサ
９、１０からの温度検出信号が素子温度算出部１１に送
られる。素子温度算出部１１は温度検出信号に基づいて
被測定素子２の予測温度を算出し、算出値の素子温度信
号を出力する。被測定素子２の予測温度の算出は、予め
設定された冷熱プレート温度と素子周辺の空気温度の関
係をテーブル化して行う。

【００３１】図２は、素子温度一定とした場合の被測定
素子２の周辺温度と冷熱プレート３の温度との相関テー
ブルを示すグラフである。同グラフ中、例えば冷熱プレ
ート３の温度がａ℃、空気温度がｂ℃のとき、現在の被
測定素子２の温度を２０℃として求めることができる。

【００３２】また、温度制御部４は、素子温度指令部２
０と素子温度算出部１１に接続され、素子温度指令値信
号と予測素子温度信号に基づいてペルチェ２２の温度を
制御し、被測定素子２の温度が指令温度と一致するよう
調節する。制御方法には、例えば汎用のＰＩＤ制御があ
る。例えば、素子温度指令値が２５℃とすると、図２の
相関テーブルにおいて、例えば空気温度を仮にｂ℃に設
定すると、その場合の冷熱プレート３の温度がａ’℃で
あることを求めることができる。この場合、ペルチェ２
２の温度の算出は、予め設定されたペルチェ温度と冷熱
プレート温度の関係をテーブル化して行う。

【００３３】図３は、ペルチェ温度と冷熱プレート温度
の相関テーブルを示すグラフである。先の例では、ペル
チェの制御温度はｃ℃となる。

【００３４】乾燥空気出射部１５は、乾燥空気発生機１
７から供給される乾燥空気８をトレイ搬入口６とトレイ
搬出口７から外部へ向けて均等に吹き出し、特に、低温
度定時にあって、外部の水分が内部に入り込み結露する
ことを防ぐ。

【００３５】内圧調整用の乾燥空気供給部１６は、乾燥
空気出射部１５から吹き出される乾燥空気８の粘性のた
めに内部の空気が外部へ漏れて内圧が低下するのを防
ぎ、被測定素子２付近を無風状態にしている。

【００３６】トレイ搬送レール駆動部１９は、測定開始
信号発生部２１と測定プローブ駆動部１４に接続され、
測定開始信号と測定プローブ上方位置合わせ完了信号が
有効な場合に被測定素子２の入ったトレイ１をトレイ搬
入口６から搬入し、冷熱プレート３の上に達する位置ま
で搬送し、そこでトレイ搬送完了信号を出力する。

【００３７】測定プローブ駆動部１４は、測定器１３と
トレイ搬送レール駆動部１９に接続され、測定待ち信号
とトレイ搬送完了信号が有効な場合に、被測定素子２の
電極に接触する位置まで測定プローブ１２を下方へ駆動
し、測定プローブ下方位置合わせ完了信号を出力する。

【００３８】測定器１３は、測定プローブ駆動部１４と
測定プローブ１２に接続され、測定プローブ下方位置合
わせ完了信号が有効な場合に測定プローブ１２から得ら
れる電気信号に基づいて測定を行い、測定終了後、測定
待ち信号を発生する。

【００３９】測定プローブ駆動部１４は、測定待ち信号
が有効となることでその被測定素子２の測定終了を判定
し、次の被測定素子２を測定するために測定プローブ１
２を上方へ移動し、上方位置合わせ完了信号を出力す
る。

【００４０】トレイ搬送レール駆動部１９は、上方位置
合わせ完了信号が有効となることで、搬送したトレイ内
の１個目の被測定素子２の測定が終了したことを判定
し、２個目の被測定素子２を測定する位置まで搬送を行
い、トレイ搬送完了信号を発生する。同様に測定プロー
ブ駆動部１４および測定器１３により、２個目の被測定
素子２の測定動作を行う。

【００４１】測定動作をトレイ内の被測定素子２の個数
分行うと、トレイ搬送レール駆動部１９内のカウンタと
予め設定されたトレイ内の被測定素子２の数とが一致す
ることで、１トレイ分の素子２の測定が終了したことを
判定し、測定の終了したトレイをペルチェ３の上からト
レイ搬出口７の位置まで搬出する。

【００４２】以上から明らかなように、上記第１の実施
の形態においては、以下のような数々の効果が得られ
る。

【００４３】１つは、被測定素子２を非常に高精度で温
度調整することが可能である。すなわち、素子周辺の空
気の温度とペルチェ２２の伝熱効果の高い冷熱プレート
３の温度を用いて被測定素子２の予測温度を算出し、指
令温度と一致するようにペルチェを温度制御することよ
り、高精度温度調整を可能にしている。

【００４４】また１つは、ペルチェ２２にて発生した熱
量が、トレイ１と被測定素子２に効率良く伝わっている
状態で測定するため、ペルチェ２２への供給電力が最小
限に抑えられ、被測定素子２に対して高精度の温度調が
可能である。すなわち、内圧調整用の乾燥空気供給部１
６が、乾燥空気出射部１５から吹き出される乾燥空気８
の粘性により、槽内部の空気が外部へ漏れて内圧が低下
することを防ぎ、ペルチェ２２の付近を無風状態に保
つ。これにより、素子周辺の空気の対流による熱量損失
が抑えられるため、ペルチェへの供給電力が小さい。ま
た、対流による空気の温度変動がなくなることにより、
被測定素子２の温度変動も抑えられるため、被測定素子
２に対して高精度で温度調整が行える。

【００４５】また１つは、低温測定時において結露しな
い。すなわち、測定槽５の槽内外部との空気の出入が可
能なトレイ搬入口６とトレイ搬出口７には、乾燥空気出
射部１５から乾燥空気８が槽外部へ向かって均等に吹き
出している状態で、測定動作を行っている。そのため、
トレイ１を搬入搬出しても槽外部の水分が槽内部まで入
り込まない。

【００４６】また１つは、装置の小型化が実現できるこ
とである。すなわち、空気の温度調整を行わないので、
特別に断熱効果の高い恒温槽を用いる必要がない。ま
た、空気を温度調整する特別のハードウエアが不要なた
めである。

【００４７】また１つは、装置の製造コストダウンが可
能である。すなわち、空気の温度調整を行わないので、
特別に断熱効果の高い恒温槽を用いる必要がない。ま
た、空気を温度調整する特別のハードウエアが不要であ
る。

【００４８】一方、本発明においては、上述した第１実
施の形態に限定されるものではなく、次のような他の実
施の形態も可能である。

【００４９】第２実施の形態として、図１に示す第１実
施の形態にあっては、ペルチェの数を３個の構成とした
場合が示されたが、素子寸法が小さい場合はペルチェ数
は１個または２個とすることもできる。また、素子寸法
が大きい場合には、ペルチェ数は特に制限されない。

【００５０】また、ペルチェの設置数を多くして予備加
熱を行うことにより、測定前に素子の温度が十分温度調
整されているため、指令温度に達するまでの時間が短く
できるという新たな効果を有する。

【００５１】また、第３実施の形態では、ペルチェの温
度制御部に、ＰＩＤ制御の代わりにファジイ制御を設け
る構成である。この場合、制御するペルチェの数が多い
場合に、一般的なＰＩＤ制御ではペルチェの特性の差の
影響により温度むらが発生し、冷熱プレート内の温度が
均一に制御できない場合に、ファジイ制御を用いること
で冷熱プレート内の温度が均一に制御できるという新た
な効果を有する。

【００５２】また、第４実施の形態では、素子の搬送に
トレイを用いず、直接素子を搬送する構成である。この
場合、素子を直接冷熱プレートの上へ搬送することで、
ペルチェの熱量が効率よく素子へ伝熱され、指令温度に
達するまでの時間を短くできるという新たな効果を有す
る。

【００５３】さらに、第５実施の形態では、図１の測定
槽を複数並ベると共に、測定器間に通信機能を設ける構
成である。この場合、複数の測定槽を並べて各槽ごとに
指令温度を変えることにより、複数の温度における電気
特性を短時間で連続して測定するという新たな効果を有
する。なお、装置の数には制限はない。

【００５４】

【発明の効果】以上説明したように、本発明による低高
温電気特性測定方法は、ペルチェ効果を利用した熱電素
子から伝熱される冷熱プレートの温度を制御して、この
冷熱プレートの熱を収容トレイを介して被測定素子に伝
熱することにより、被測定素子を低温または高温にて温
度調整して電気特性を測定するにあたって、被測定素子
を収容トレイを介して測定槽内に搬出入し、槽内セット
後、半導体デバイス等における被測定素子の周辺の槽内
空気温度および冷熱プレートの各温度を検出し、これら
槽内空気温度と冷熱プレート温度に基づいて被測定素子
の予測温度を算出し、この予測温度が予め設定された設
定温度に一致するよう、熱電素子を温度制御する。

【００５５】その際、エアカーテンを形成して槽外部空
気と遮蔽することにより空気対流を無風状態に維持し、
特に低温設定時に槽外部からの水分の浸入をエアカーテ
ンで遮断して、槽内部での結露を防止する。被測定素子
の周辺の空気対流を無風状態に維持することにより、熱
損失を抑えて前記熱電素子への供給電力を小さくし、前
記被測定素子の温度変動を抑えて温度調整精度を高める
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による低高温電気特性測定装置の構成を
示すブロック図である。

【図２】被測定素子の温度調整するうえで槽内空気温度
と冷熱プレート温度との相関をテーブル化して示すグラ
フである。

【図３】冷熱プレート温度とペルチェ温度との相関をテ
ーブル化して示すグラフである。

【符号の説明】

１ペルチェ搬送用の収容トレイ２被測定素子３冷熱プレート４温度制御部５測定槽６トレイ搬入口７トレイ搬出口８乾燥空気９冷熱プレート用の温度センサ１０槽内空気用の温度センサ１１素子温度算出部１２測定プローブ１３測定器１４測定プローブ駆動部１５乾燥空気出射部１６槽内圧調整用の乾燥空気供給部１７乾燥空気発生部１８トレイ搬送レール１９トレイ搬送レール駆動部２０素子温度指令部２１測定開始信号発生部２２ペルチェ（熱電素子）

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被測定素子を収容トレイを介して測定槽内
に搬出入し、ペルチェ効果を利用した熱電素子から伝熱
される冷熱プレートの温度を制御して、この冷熱プレー
トの熱を収容トレイを介して被測定素子に伝熱すること
により、被測定素子を低温または高温にて温度調整して
電気特性を測定する低高温電気特性測定方法であって、槽内セット後、前記被測定素子の周辺の槽内空気温度お
よび前記冷熱プレートの各温度を検出し、これら槽内空気温度と冷熱プレート温度に基づいて前記
被測定素子の予測温度を算出し、この予測温度が予め設
定された設定温度に一致するよう、前記熱電素子を温度
制御することを特徴とする低高温電気特性測定方法。
【請求項２】前記槽内空気温度と前記冷熱プレート温度
と前記設定温度との相関がテーブル化され、そのテーブ
ルを参照して、設定温度および槽内空気温度に対して冷
熱プレート温度を求めることを特徴とする請求項１に記
載の低高温電気特性測定方法。
【請求項３】前記冷熱プレート温度と前記熱電素子の温
度との相関がテーブル化され、算出されたその冷熱プレ
ート温度に対して熱電素子温度を求めることを特徴とす
る請求項２に記載の低高温電気特性測定方法。
【請求項４】前記被測定素子の周辺の空気対流を無風状
態に維持することにより、熱損失を抑えて前記熱電素子
への供給電力を小さくし、前記被測定素子の温度変動を
抑えて温度調整精度を高めることを特徴とする請求項１
〜３のいずれかに記載の低高温電気特性測定方法。
【請求項５】エアカーテンを形成して槽外部空気と遮蔽
することにより空気対流を無風状態に維持し、特に低温
設定時に槽外部からの水分の浸入をエアカーテンで遮断
して、槽内部での結露を防止することを特徴とする請求
項４に記載の低高温電気特性測定方法。
【請求項６】前記測定槽に設けた前記収容トレイの搬出
入口に、それぞれ乾燥空気による前記エアカーテンを形
成することを特徴とする請求項５に記載の低高温電気特
性測定方法。
【請求項７】所定の温度に温度調整された雰囲気下にお
いて前記被測定素子に測定プローブを触端させ、その被
測定素子の電気特性を測定することを特徴とする請求項
１〜６のいずれかに記載の低高温電気特性測定方法。
【請求項８】被測定素子を収容トレイを介して測定槽内
に搬出入し、ペルチェ効果を利用した熱電素子から伝熱
される冷熱パネルの温度を制御して、この冷熱プレート
の熱を収容トレイを介して被測定素子に伝熱することに
より、被測定素子を低温または高温にて温度調整して電
気特性を測定する低高温電気特性測定装置であって、前記被測定素子の周辺の槽内空気温度を検出する槽内空
気温度センサと、前記冷熱プレートの温度を検出する冷熱プレート温度セ
ンサと、これら槽内空気温度と冷熱プレート温度の各検出信号に
基づいて前記被測定素子の予測温度を算出する素子温度
算出部と、前記被測定素子の予測温度を予め設定する素子温度指令
部と、前記素子温度算出部から出力された予測温度算出値信号
と、前記素子温度指令部から出力された予測温度設定信
号とを比較して、予測温度が設定温度に一致するよう、
前記熱電素子に指令信号を送出して温度調整する温度制
御部と、を備えていることを特徴とする低高温電気特性測定装
置。
【請求項９】前記槽内空気温度と前記冷熱プレート温度
と前記設定温度との相関がテーブル化され、前記素子温
度算出部はそのテーブルを参照して、設定温度および槽
内空気温度に対して冷熱プレート温度を求めることを特
徴とする請求項８に記載の低高温電気特性測定装置。
【請求項１０】前記冷熱プレート温度と前記熱電素子の
温度との相関がテーブル化され、算出されたその冷熱プ
レート温度に対して前記温度制御部にて前記熱電素子の
温度を求めることを特徴とする請求項９に記載の低高温
電気特性測定装置。
【請求項１１】前記測定槽に設けた前記収容トレイの搬
出入口に、それぞれ乾燥空気を噴射して前記被測定素子
の周辺の空気対流を無風状態に維持するエアカーテンを
形成する乾燥空気出射部を設けたことを特徴とする請求
項８〜１０のいずれかに記載の低高温電気特性測定装
置。
【請求項１２】前記乾燥空気出射部を設けた位置よりも
さらに槽内部側に、それぞれ槽内圧低下を防止するため
の乾燥空気を供給する乾燥空気供給部を配置したことを
特徴とする請求項１１に記載の低高温電気特性測定装
置。
【請求項１３】所定の温度に温度調整された雰囲気下に
おいて前記被測定素子に触端させて、その被測定素子の
電気特性を測定する測定プローブを含み、この測定プロ
ーブからの電気信号が入力される測定器と測定プローブ
を上下等に動作させるプローブ駆動部を備えてなってい
ることを特徴とする請求項８〜１２のいずれかに記載の
低高温電気特性測定装置。
【請求項１４】前記収容トレイに収容搬送される前記被
測定素子が複数であって、それら被測定素子の形状サイ
ズに対応して前記冷熱プレートの大きさが決定され、こ
の冷熱プレートの大きさに対応して前記熱電素子の配置
数および形状が決定されることを特徴とする請求項８〜
１３のいずれかに記載の低高温電気特性測定装置。