JPH11121542A - 半導体チップ及びtabテープ - Google Patents

半導体チップ及びtabテープ

Info

Publication number
JPH11121542A
JPH11121542A JP9288788A JP28878897A JPH11121542A JP H11121542 A JPH11121542 A JP H11121542A JP 9288788 A JP9288788 A JP 9288788A JP 28878897 A JP28878897 A JP 28878897A JP H11121542 A JPH11121542 A JP H11121542A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pads
semiconductor chip
pitch
inner lead
tab tape
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP9288788A
Other languages
English (en)
Inventor
Daizo Kawanishi
大三 川西
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Japan Semiconductor Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Iwate Toshiba Electronics Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp, Iwate Toshiba Electronics Co Ltd filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP9288788A priority Critical patent/JPH11121542A/ja
Publication of JPH11121542A publication Critical patent/JPH11121542A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/50Tape automated bonding [TAB] connectors, i.e. film carriers; Manufacturing methods related thereto
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/50Tape automated bonding [TAB] connectors, i.e. film carriers; Manufacturing methods related thereto

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Wire Bonding (AREA)
  • Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 パッドの狭ピッチ化に対して歩留まり低下を
招かないパッドの配列を与えることである。 【解決手段】 半導体チップ11の表面に設けられて、
図示しないTABテープのインナーリードと接合される
複数のパッド12は半導体チップ11の各辺に平行に配
列されずに、前記各辺に対して傾斜して配列されてい
る。これにより、各辺に平行に配列された場合に比べ
て、パッド12のピッチが広がる。このため、平行に配
列された場合のパッドピッチが狭くとも、パッド12が
傾斜して配列されることにより、パッドピッチが1.2
〜1.4倍ほど広がる。これにより、パッド12をTA
Bテープのインナーリードと接合する際の位置決めがし
易くなり、インナーリードボンディング工程時の不良品
の出現確率を減らすことができ、パッド12の狭ピッチ
化に対して歩留まり低下を招かないようにすることがで
きる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、パッケージ化され
る時にリードフレームと接合される半導体チップ及びこ
の半導体チップと前記リードフレームを中間接続するT
ABテープに関する。
【0002】
【従来の技術】従来からパッケージング化された半導体
装置は、パッケージ内に収容された半導体チップとパッ
ケージ側のリードフレームとを接合した後、半導体チッ
プ及びリードフレームを樹脂封止した構造を有してい
る。このような構造を形成するに際して、前記半導体チ
ップを前記リードフレームに接合する際に、TAB(T
ape Automated Bonding)テープ
という中間接続部品を使用する技術が既に公知である。
【0003】図3は上記したTAB技術を用いて製造し
た半導体装置の従来例を示した断面図である。この半導
体装置は、表面にバンプ1が設けられた半導体チップ2
を用意しておき、その後、インナーリードボンディング
工程、ミドルリードボンディング工程、樹脂モールド工
程及びリードカット曲げ工程を順次実施して製造され
る。
【0004】即ち、インナーリードボンディング工程で
は、ポリイミドフィルム4上にAuメッキされたリード
5がパターン形成されて成るTABテープ6を用意し、
このリード5のインナーリード部をボンディングツール
を用いて前記バンプ1に熱と荷重で接合する。続くミド
ルリードボンディング工程では、このリード5のアウタ
ーリード部をリードフレーム7のインナーリード部のA
gメッキ上に熱と荷重で接合する。また、半導体チップ
2をアイランド3上にマウント剤によって接着する。そ
して、通常のトランスファーモールド法を用いて樹脂8
によって封止した後、リードフレーム7を必要な形状に
切断・折り曲げ加工して、完成する。
【0005】ところで、半導体チップ2の表面に設けら
れた突起状電極であるバンプ1は通常電極であるパッド
上に形成されている。このため、半導体チップ2の表面
に形成された回路には、図4で示すように複数のパッド
9が設けられ、これらパッド9の配列は半導体チップ2
の各辺に対して平行である。近年、半導体装置の多ピッ
チ化並びにダウンサイジング化が進み、半導体チップの
パッドピッチ縮小化(パッドの狭ピッチ化)がより一層
必要になって来ている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】上記のように半導体チ
ップの表面に設けられるパッド9の狭ピッチ化は、TA
Bテープ6上のリード5のインナーリード部とパッド9
上のバンプ1とを熱と圧力を加えて一括ボンディングす
る上記したインナーリードボンディング(ILB)工程
で、リード5のインナーリード部とバンプ1との位置合
わせを難しくし、これに起因する不良品が増加するた
め、この工程における歩留まりが低下するという問題を
生じる。
【0007】現行の80μmパッドピッチ品のインナー
リードボンディングに関する不良率は1.26%に対
し、60μmパッドピッチ品は2.65%であり、パッ
ドピッチの縮小と共に悪化している。従って、将来実用
化が予想される50μmパッドピッチ品に対しても、更
なる歩留まり低下が予想される。また、TABテープ6
の製造工程においても同様であり、パッドの狭ピッチ化
はTABテープ6のリードパターンの狭ピッチ化を招く
ため、TABテープ6の不良率も増大して、歩留まりは
低下するという問題を生じる。
【0008】本発明は、上述の如き従来の問題点を解決
するためになされたもので、その目的は、パッドの狭ピ
ッチ化に対して歩留まり低下を招かないパッド配列を有
する半導体チップ及び前記パッドの配列に対応するTA
Bテープを提供することである。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、第1の発明の特徴は、TABテープのインナーリー
ドに接合される複数のパッドを表面に配列した半導体チ
ップにおいて、前記複数のパッドを半導体チップ各辺に
対して傾斜させて配列することにある。
【0010】この第1の発明によれば、半導体チップの
各辺に傾斜してパッドを配列すると、パッド数が同じ場
合では、半導体チップの各辺に平行にパッドを配列した
場合に比べて、そのピッチが広くなる。従って、半導体
チップの各辺に平行にパッドを狭ピッチで配列したもの
でも、半導体チップの各辺に傾斜して配列すれば、パッ
ドピッチが広がり、TABテープのインナーリードに接
合する際の位置決めがし易くなる。
【0011】第2の発明の特徴は、前記パッド配列の傾
斜は半導体チップ各辺に対して33.5度〜56.5度
である。
【0012】この第2の発明によれば、パッド数が同じ
場合では、半導体チップの辺に平行にパッドを配列した
場合に比べて、1.2〜1.4倍ほど広がる。
【0013】第3の発明の特徴は、テープ状の絶縁部材
と、この絶縁部材上に貼り付けられ、インナーリード部
の先端が前記絶縁部材の辺に対して傾斜して配置される
パターンを形成する複数のリードとを備えたことにあ
る。
【0014】この第3の発明によれば、例えばポリイミ
ドフィルムのようなテープ状の絶縁部材の長手方向の辺
に傾斜して、各リードのインナーリード部の先端が配列
されるようなリードパターンを前記絶縁材の表面に形成
すると、リード数が同じ場合では、前記長手方向の辺に
平行にリードのインナーリード部の先端を配列した場合
に比べて、そのピッチが広くなる。従って、テープ状の
絶縁部材に貼り付けられる複数のリードのピッチが狭く
なっても、リードのインナーリード部の先端のピッチは
広がり、TABテープの製造がし易くなる。
【0015】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。図1は、本発明の半導体チップの
一実施の形態の構成を示した平面図である。半導体チッ
プ11の表面に、このチップの対角線の両側に沿って複
数のパッド12がほぼ×印状に並んで配置されている。
【0016】このようなパッド12の配列により、パッ
ド12は半導体チップ11の辺に対してほぼ33.5度
〜56.5度の傾きを有する直線状に並び、そのパッド
ピッチは同一個数のパッドを半導体チップ11の辺に沿
って平行に並べた場合に比べて、1.2〜1.4倍広く
なる。
【0017】従って、本実施の形態によれば、パッドピ
ッチが大きくなった分、これらパッド12の上部に形成
される図示しないバンプを介して、図示しないTABテ
ープのインナーリードにパッド12を接合する際の位置
決めがし易くなり、インナーリードボンディング工程の
不良率を下げて、歩留まりを向上させることができる。
【0018】また、上記のように従来と同一の数のパッ
ド12を配列する場合、従来よりパッドピッチが広くな
るため、既存の60μmパッドピッチ品の位置決め精度
で、50μmパッドピッチ品に対応することが可能にな
り、半導体装置の多ピッチ化並びにダウンサイジング化
に歩留まりを落とすことなく、十分に対応することがで
きる。
【0019】図2は、本発明のTABテープの一実施の
形態を示した平面図である。絶縁性のポリイミドフィル
ム21上に導電性のリード22がパターン形成されてい
る。このパターンの中央部付近のポリイミドフィルム2
1上には、×印状のデバイスホール23が開口してい
る。また、リード22のアウターリード部22b側のポ
リイミドフィルム21上には、4角形の4辺を構成する
ようにアウターリードホール24が開口している。
【0020】各リード22のアウターリード部22bは
4角形の各辺を構成するように配列されているが、各リ
ード22のインナーリード部22aは×印状のデバイス
ホール23に沿って配列され、各インナーリード部22
aの先端部は×印状のデバイスホール23の下側に来る
図1に示した半導体チップ11のパッド12の配列に合
致するようなパターンとなっている。
【0021】インナーリードボンディング工程では、T
ABテープのリード22のインナーリード部22aの先
端をデバイスホール23の下側に来る図1に示したよう
な半導体チップ11のパッド12に図示しないバンプを
介して接合する。その後、リード22のアウターリード
部22bをアウターリードホール24のところで切断し
て、テストパッド25切り落とした後、図示しないパッ
ケージ側のリードフレームに接合する。尚、26はTA
Bテープを順次送るためのスプロケットホールである。
【0022】本実施の形態によれば、TABテープのリ
ード22のインナーリード部22aの先端は33.5度
〜56.5度の傾きを有する直線状に並んでいるので、
リード22の数が同じであれば、従来に比べてインナー
リード部22aの先端ピッチを1.2〜1.4倍広くす
ることができるため、前記リード22が狭ピッチ化して
も、TABテープの製造工程においても、不良率を低減
して歩留まりを向上させることができる。
【0023】また、本実施形態のTABテープを用いれ
ば、図1に示したようなパッド配列の半導体チップ11
を容易且つ位置決め精度良好にリード22のインナーリ
ード部22aに接続することができ、半導体装置の多ピ
ッチ化並びにダウンサイジング化に歩留まりを落とすこ
となく、十分に対応することができる。
【0024】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明の半
導体チップ及びTABテープによれば、パッドの狭ピッ
チ化に対して歩留まり低下を招かず、半導体装置の多ピ
ッチ化並びにダウンサイジング化に十分に対応すること
ができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の半導体チップの一実施の形態を示した
平面図である。
【図2】本発明のTABテープの一実施の形態を示した
平面図である。
【図3】従来のTAB技術により半導体チップをリード
フレームに接合して形成された半導体装置の構成例を示
した断面図である。
【図4】従来の半導体チップ上のパッド配列例を示した
平面図である。
【符号の説明】
1 バンプ 2 半導体チップ 3 アイランド 4 ポリイミドフィルム 5 リード 6 TABテープ 7 リードフレーム 8 樹脂 9 パッド 11 半導体チップ 12 パッド 21 ポリイミドフィルム 22 リード 22a インナーリード部 22b アウターリード部 23 デバイスホール 24 アウターリードホール 25 テストパッド 26 スプロケットホール

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 TABテープのインナーリードに接合さ
    れる複数のパッドを表面に配列した半導体チップにおい
    て、 前記複数のパッドを半導体チップ各辺に対して傾斜させ
    て配列することを特徴とする半導体チップ。
  2. 【請求項2】 前記パッド配列の傾斜は、 半導体チップ各辺に対して33.5度から56.5度で
    あることを特徴とする請求項1記載の半導体チップ。
  3. 【請求項3】 テープ状の絶縁部材と、 この絶縁部材上に貼り付けられ、インナーリード部の先
    端が前記絶縁部材の辺に対して傾斜して配置されるパタ
    ーンを形成する複数のリードとを備えたことを特徴とす
    るTABテープ。
JP9288788A 1997-10-21 1997-10-21 半導体チップ及びtabテープ Pending JPH11121542A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9288788A JPH11121542A (ja) 1997-10-21 1997-10-21 半導体チップ及びtabテープ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9288788A JPH11121542A (ja) 1997-10-21 1997-10-21 半導体チップ及びtabテープ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH11121542A true JPH11121542A (ja) 1999-04-30

Family

ID=17734737

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP9288788A Pending JPH11121542A (ja) 1997-10-21 1997-10-21 半導体チップ及びtabテープ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH11121542A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009099905A (ja) * 2007-10-19 2009-05-07 Rohm Co Ltd 半導体装置
US8575735B2 (en) 2010-02-26 2013-11-05 Samsung Electronics Co., Ltd. Semiconductor chip and film and TAB package comprising the chip and film

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009099905A (ja) * 2007-10-19 2009-05-07 Rohm Co Ltd 半導体装置
US8575735B2 (en) 2010-02-26 2013-11-05 Samsung Electronics Co., Ltd. Semiconductor chip and film and TAB package comprising the chip and film
US8952510B2 (en) 2010-02-26 2015-02-10 Samsung Electronics Co., Ltd. Semiconductor chip and film and tab package comprising the chip and film

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6593648B2 (en) Semiconductor device and method of making the same, circuit board and electronic equipment
US6635963B2 (en) Semiconductor package with a chip connected to a wiring substrate using bump electrodes and underfilled with sealing resin
JP2009212315A (ja) 半導体装置及びその製造方法
JP3150253B2 (ja) 半導体装置およびその製造方法並びに実装方法
JPH07201925A (ja) フィルムキャリアテープ
JP3184014B2 (ja) 半導体装置
KR100392720B1 (ko) 배선의 레이아웃이 향상된 칩 스케일 패키지
JP3430976B2 (ja) リードフレームとそれを用いた樹脂封止型半導体装置およびその製造方法
JPH01303730A (ja) 半導体素子の実装構造とその製造方法
CN100442495C (zh) 用于封装的可挠性基板
JPH04123448A (ja) 半導体実装装置
JPH11121542A (ja) 半導体チップ及びtabテープ
JP4185665B2 (ja) ウェーハレベルパッケージ
JPH08293530A (ja) 半導体装置の製造方法
KR20070038234A (ko) 리드의 형상에 변형을 주는 필름형 반도체 패키지 및 상기리드의 범프 접합 구조
JPH0777256B2 (ja) 樹脂封止型半導体装置
JP2697743B2 (ja) 樹脂封止型半導体装置
JP2533216B2 (ja) フィルムキャリア及び半導体装置
JPH0955404A (ja) Tabテープ及び半導体装置
JPH01231333A (ja) 半導体装置の製造方法
KR100213435B1 (ko) 반도체 칩의 마스터 전극 패드 및 이를 이용한 탭 패키지
JP2001085475A (ja) テープフィルム及び半導体パッケージ
JP2000357716A (ja) Tabテープ、cof用テープ、半導体装置及びその製造方法
JPH01319957A (ja) 集積回路
JP2003007953A (ja) 樹脂封止型半導体装置およびその製造方法