JPH11109251A - 顕微鏡用照明光学系 - Google Patents
顕微鏡用照明光学系Info
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- JPH11109251A JPH11109251A JP26598697A JP26598697A JPH11109251A JP H11109251 A JPH11109251 A JP H11109251A JP 26598697 A JP26598697 A JP 26598697A JP 26598697 A JP26598697 A JP 26598697A JP H11109251 A JPH11109251 A JP H11109251A
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Abstract
倍率幅に対処することができ、特に対物レンズの倍率1
倍以下の範囲についてもカバーでき、顕微鏡本体の大幅
な改造なしに適用できる顕微鏡用照明光学系を提供す
る。 【解決手段】顕微鏡本体に光軸と平行な軸回りに回転可
能にターレットを設けると共に、該ターレット内に高倍
率用コンデンサレンズ群と低倍率用コンデンサレンズ群
と極倍率用コンデンサレンズ群をそれぞれ配置し、該タ
ーレットの回転により、該各コンデンサレンズ群を選択
的に照明光路へ挿入可能に構成し、前記ターレットの外
周側に設けた光軸方向に上下動させる機構により前記高
倍率用コンデンサレンズ群と前記低倍率用コンデンサレ
ンズ群が、前記ターレットの回転に伴い、それぞれ独立
して光軸方向に移動するように構成した顕微鏡用照明光
学系。
Description
微鏡用照明光学系に関する。
低倍率から高倍率まで幅広く使用されている。これら倍
率の異なる対物レンズを低倍率から高倍率まで迅速に変
換しながら使用する場合、広範な対物レンズの倍率に対
応した試料視野を一種類のコンデンサレンズで、均一で
良好に照明することは困難である。
は、大きな開口数が必要となるのに対して、低倍率の対
物レンズのときには大きな視野が必要となるからであ
る。従って、使用する対物レンズの倍率幅が大きな場合
には、何らかの切換手段によってコンデンサレンズを切
換える必要がある。
としては、(1)コンデンサレンズの先玉部(先端部)
を照明光路から脱する方式、(2)コンデンサレンズの
下部照明光路に別のレンズを追加する方式、(3)コン
デンサレンズの先玉部を照明光路から脱すると同時に、
新規レンズを光路に追加する方式等がある。
公昭61ー34126号公報)や、第2の公知例(特開
昭63ー183414号公報)に開示されている。しか
し、これらの方式では、1.25倍程度の低倍率の対物
レンズまでへの対応が限界であり、1.25以下の倍率
特に1倍以下の極低倍率に対処することは不可能であっ
た。
から脱した場合には、開口絞り位置と照明レンズの前側
焦点位置がずれてしまい、開口絞りが機能しないという
欠点を有するものであった。
有していて、これらを切換えることにより、0.5倍の
対物レンズから100倍の対物レンズまで対応可能な構
成が、第3の公知例(特開平9ー33820号公報)に
開示されている。これは、対物レンズの倍率が10倍〜
100倍に対応する高倍率のコンデンサレンズ群と、対
物レンズの倍率が2倍〜4倍に対応する低倍率のコンデ
ンサレンズ群と、対物レンズの倍率が0.5倍〜1倍に
対応する極低倍率コンデンサレンズ群を設け、照明光軸
と各コンデンサレンズ群の光軸とを同一平面内に配置
し、照明光軸と各コンデンサレンズ群の光軸とが互いに
1点で交差するように構成し、この交点に光軸平面と直
交する回転軸を設け、この回転軸によって各コンデンサ
群を回転することにより、切換えを行う構成のものであ
る。
の構成にあっては、3種類のコンデンサレンズ群の光軸
を同一平面内に構成しているため、回転軸近辺の光路に
は、一定の空間スペースが必要となり、これが各コンデ
ンサレンズ群の照明性能を最適化させる上での制約とな
り、また開口絞りがコンデンサレンズ群の内部ないしは
その近傍に構成できないという欠点があった。
デンサレンズ群の前側焦点位置と共役な面に光源像を作
るように、コレクタレンズ群および中間レンズ群を配置
し、この光源像面に開口絞りを設ける構成としてある。
ース上開口絞り位置は、顕微鏡本体のベース部に位置さ
せることになり、第3の公知例によるコンデンサレンズ
群を一般的な顕微鏡に適用するためには、顕微鏡本体の
ベース部に開口絞りを追加しなければならない。
もので、簡単な切換手段によって、広範な対物レンズの
倍率幅に対処することができ、特に対物レンズの倍率1
倍以下の範囲についてもカバーでき、顕微鏡本体の大幅
な改造なしに適用できる顕微鏡用照明光学系を提供する
ことを目的とする。
め、請求項1に対応する発明は、顕微鏡本体に光軸と平
行な軸回りに回転可能にターレットを設けると共に、該
ターレット内に高倍率用コンデンサレンズ群と低倍率用
コンデンサレンズ群と極倍率用コンデンサレンズ群をそ
れぞれ配置し、該ターレットの回転により、該各コンデ
ンサレンズ群を選択的に照明光路へ挿入可能に構成し、
前記ターレットの外周側に設けた光軸方向に上下動させ
る機構により前記高倍率用コンデンサレンズ群と前記低
倍率用コンデンサレンズ群が、前記ターレットの回転に
伴い、それぞれ独立して光軸方向に移動するように構成
したことを特徴とする顕微鏡用照明光学系である。
ットを回転させて高倍率用コンデンサレンズ群または低
倍率用コンデンサレンズ群を照明光路に挿入した場合
は、コンデンサレンズ群は、光軸方向に上下動させる機
構によって正規の照明位置に移動させることができ、各
コンデンサレンズ群は独立して配置されるので、レンズ
構成上の制約が少なく、それぞれ各倍率用に最適な性能
のレンズ構成ができ、高倍率用コンデンサレンズ群及び
低倍率用コンデンサレンズ群とも独立して光軸方向に移
動するので、顕微鏡の他の構成要素例えばステージとの
干渉を回避することが容易で、回転可能なターレットと
いう簡易な切換手段によって極低倍率から高倍率までの
広範な対物レンズの倍率幅に対処することができる。
ターレットを回転させて高倍率用コンデンサレンズ群ま
たは低倍率用コンデンサレンズ群を、照明光路から脱す
る場合には、コンデンサレンズ群は、顕微鏡ステージの
下部に形成されている開口穴及びステージ受の開口穴の
範囲内でステージ及びステージ受けと干渉しない位置ま
で、移動されるので、ターレットの回転角度が大きくな
ってもステージ等との干渉がなく、容易にコンデンサレ
ンズ群の切換えができる。
その焦点距離が長いため、ステージ等と干渉しない前記
ターレット内に固定可能であるので、切換えによる支障
が生じない。
に上下動させる機構は、1個の固定カムにより構成した
ことを特徴とする請求項1記載の顕微鏡用照明光学系で
ある。
用コンデンサレンズ群及び低倍率用コンデンサレンズ群
を光軸方向に移動させるための固定カムは、1個で共用
できるので、原価の低廉化が可能となる。
コンデンサレンズ群及び低倍率用コンデンサレンズ群の
前側焦点位置に制御可能な開口絞りをそれぞれ独立して
設け、該各コンデンサレンズ群と一体に光軸方向へ移動
するように構成したことを特徴とする請求項1または2
記載の顕微鏡用照明光学系である。
倍率用コンデンサレンズ群及び低倍率用コンデンサレン
ズ群とにそれぞれ独立に開口絞りが構成でき、顕微鏡本
体の改造なしに、対物レンズの各倍率で照明開口の調節
が可能となる。
図面を参照して説明する。 <第1の実施形態>図1は第1の実施形態の要部のみを
示す縦断面図であり、図2は図1の一部を断面した上面
図であり、図3は図2におけるBーOーB´に沿って切
断して矢印方向に見た図であり、図4は図1の固定枠の
カム溝の展開図である。
顕微鏡本体100に有する図示しない焦準機構機構部に
ステージ受101が焦準可能に固定されている。ステー
ジ受101の上部には、試料103を載置するステージ
102が固定されている。ステージ102の下部には開
口部102aが設けられている。
04と、集光レンズ105、中間レンズ106、視野絞
り(FS)107、ミラー108からなる中間光学系が
収納されている。光源104を発した照明光束は、該中
間光学系105,106,107,108を通り、ステ
ージ102の下部に回転可能に配置されたコンデンサタ
ーレット12内に収納された後述するコンデンサレンズ
群16,17,18を通って、ステージ102の上面に
載置された試料103を照明し、該試料103の上方に
配置されている図示しない対物レンズおよび接眼レンズ
によって試料像を観察できるようになっている。
脱可能にコンデンサホルダ本体1が固定されている。コ
ンデンサホルダ本体1には、アリガイドにより上下動可
能に移動ホルダ2が設けられ、移動ホルダ2にはラック
4が固定され、コンデンサホルダ本体1には該ラック4
と歯合するピニオン3が回転可能に軸支され、ピニオン
3には焦準ハンドル5および6が固定されており、焦準
ハンドル5および6を回転操作することによりピニオン
3が回転し、これと歯合しているラック4が上下動し移
動ホルダ2が上下動するように構成されている。
光軸方向に上下動させる機構例えば固定カムを構成する
固定枠7が水平方向に移動可能に取付けられており、移
動ホルダ2に取付けられているプランジャ8、心出しね
じ10,11により水平方向に移動するようになってい
る。
は軸受14,15が装着され、軸受14,15には、ほ
ぼ円筒状のコンデンサターレット12が回転可能に支持
されている。コンデンサターレット12には、高倍率用
コンデンサレンズ群16、低倍率用コンデンサレンズ群
17および極低倍率用コンデンサレンズ群18がコンデ
ンサターレット12の回転軸心すなわち軸13からそれ
ぞれの光軸心までの距離が同一となるように円弧状に配
置されている。コンデンサターレット12には、各コン
デンサレンズ群16,17,18が照明光路に挿入され
た位置に対応してクリック溝12a,12bおよび12
cが設けられており、固定枠7に固定されているクリッ
ク装置19によりクリックストップするように構成され
ている。
ズ群16は対物レンズの倍率が10〜100倍に対応
し、また低倍率用コンデンサレンズ群17は対物レンズ
の倍率が1.25〜4倍に対応し、さらに極低倍率用コ
ンデンサレンズ群18は対物レンズの倍率が0.5倍に
対応しており、極低倍率用コンデンサレンズ群18の照
射視野(照野)は直径が53mmである。
ズ51,52およびレンズ53,54,55で構成さ
れ、各レンズ51〜55は高倍率用レンズ枠56,5
7,58に固定されており、各レンズ枠56〜58は互
いに一体に固定されている。
レット12に光軸方向に摺動可能に嵌合しており、高倍
率用レンズ枠56にはカムピン59が固定され、カムピ
ン59はコンデンサターレット12に光軸と平行に設け
られた長穴12xに摺動可能に嵌合され、カムピン59
は固定枠7に設けられたカム溝7aに摺動可能に嵌合し
ている。
53,54,55の前側焦点位置に虹彩絞り60を設
け、高倍率用レンズ枠56と57の間に回動可能に絞り
調節環61を設け、絞り調節環61の回動によって虹彩
絞り60の調節が可能に構成されている。
有する絞り板62が固定されており、該U字状の穴62
aは、絞り操作環20に固定されたつなぎ板21に固定
された絞り軸22と摺動可能に嵌合している。そして、
コンデンサターレット12にはカバー24が固定され、
カバー24に支持されたバネ63により高倍率用レンズ
枠56が下方に付勢されるように構成されている。
レット12に回動可能に嵌合し、コンデンサターレット
12に固定された支持部材23により複数箇所を回動可
能に支持されている。
ズ71,72およびレンズ73,74,75で構成さ
れ、各レンズ71〜75は低倍率用レンズ枠76,7
7,78に固定されており、各低倍率用レンズ枠76〜
78は互いに一体に固定されている。低倍率用レンズ枠
76は、光軸方向に摺動可能にコンデンサターレット1
2に嵌合しており、低倍率用レンズ枠76にカムピン7
9が固定され、カムピン79はコンデンサターレット1
2に光軸と平行に形成された長穴12yに摺動可能に嵌
合されている。また、カムピン79は固定枠7に形成さ
れたカム溝7aに摺動可能に嵌合されている。
73,74,75の前側焦点位置に虹彩絞り80が配設
され、低倍率用レンズ枠76または77との間に、回動
可能に絞り調節環81が設けられ、絞り調節環81の回
動によって虹彩絞り80の調節が可能に構成されてい
る。
有する絞り板82が固定されており、該U字状の穴82
aは、絞り操作環20に固定されたつなぎ板25に固定
された絞り軸26と摺動可能に嵌合している。そして、
コンデンサターレット12に固定されたカバー24に支
持されたバネ83により低倍率用レンズ枠76が下方に
付勢されされるように構成されている。
に示すように高倍率用レンズ群16及び低倍率用レンズ
群17が、それぞれ照明光路に挿入された場合に正規照
明位置になるように構成されており、カム溝7aの傾斜
は、高倍率用コンデンサレンズ群16及び低倍率用コン
デンサレンズ群17が照明光路に挿脱される場合に、そ
れぞれのコンデンサレンズ群の先玉部がステージ102
の開口部102aと干渉しないコンデンサターレット1
2の回転角度αの範囲内で、コンデンサレンズ群の先玉
部がステージ102及びステージ受101と干渉しない
A寸法だけ上下動するように構成されている。
ンズ91,92,93,94および95で構成され、そ
れぞれコンデンサターレット12へ直接あるいは極低倍
率用レンズ枠96を介して固定されている。また、極低
倍率用コンデンサレンズ群18の前側焦点位置は、高倍
率用コンデンサレンズ群17の視野絞り107の位置と
一致するように構成されている。
について説明する。コンデンサターレット12を回し
て、高倍率用コンデンサレンズ群16または低倍率用コ
ンデンサレンズ群17を、照明光路に挿入した場合に
は、各レンズ群16,17のレンズ枠56あるいは76
に固定されたカムピン59あるいは79が、カム溝7a
に沿って移動され、各レンズ群16あるいは17が正規
照明位置まで上昇し、顕微鏡本体100のベース部に設
けられた中間光学系と相俟って、それぞれ試料103を
照明する。
先玉部の前側焦点位置に構成した虹彩絞り60あるいは
80は、各レンズ群16あるいは17とそれぞれ一緒に
移動し、開口絞りとして機能する。すなわち、各レンズ
群16あるいは17内に構成された絞り調節環61ある
いは81に固定された絞り板62あるいは82に設けら
れたU字穴62aあるいは82aが、絞り操作環20を
回動することで、絞り調節環61あるいは81を回転さ
せ、虹彩絞り60あるいは80の開口を調節し、観察像
のコントラストや明るさを調節することができる。
あるいは低倍率用コンデンサレンズ群17が照明光路に
挿入された場合には、それらの位置に対応してコンデン
サターレット12に設けられたクリック溝12aあるい
は12bと、固定枠7に固定されたクリック装置19と
で、該コンデンサターレット12はクリップストップさ
れるので、絞り操作環20の操作で各コンデンサレンズ
群の位置がずれることがない。
は、高倍率用コンデンサレンズ群16および低倍率用コ
ンデンサレンズ群17の先玉部がステージ102の開口
部102aと干渉しないコンデンサターレット12の回
転角度αの範囲内で、コンデンサレンズ群16および1
7の先玉部がステージ102及びステージ受101と干
渉しない寸法Aだけ上下動するように構成されているの
で、コンデンサターレット12を回転してもコンデンサ
レンズ群16および17が、ステージ102及びステー
ジ受101と干渉することがない。
いて、高倍率用コンデンサレンズ群16を照明光路に挿
入した場合、レンズ枠56に固定されたカムピン59
は、Dに位置し、低倍率用コンデンサレンズ群17のレ
ンズ枠76に固定されたカムピン79はCの位置に位置
することとなり、低倍率用コンデンサレンズ群17を照
明光路に挿入した場合には、カムピン79はDの位置に
カムピン59はEの位置に位置することとなり、極低倍
率用コンデンサレンズ群18を照明光路に挿入した場合
には、カムピン79はFの位置に、カムピン59はGの
位置に位置することになるので、高倍率用コンデンサレ
ンズ群16または低倍率用コンデンサレンズ群17が照
明光路に挿入されるときには、当該コンデンサレンズ群
は正規の位置に位置すると共に、照明光路から外れると
きには図4の寸法Aだけ光軸に沿って下向きに移動し、
コンデンサターレット12を回転してもコンデンサレン
ズ群16及び17が、ステージ102及びステージ受1
01と干渉することがない。
は、コンデンサターレット12内に固定されているの
で、コンデンサターレット12を回転してもステージ1
02とステージ受101と干渉することがない。
明光路に挿入した場合には、その位置に対応してコンデ
ンサターレット12に設けられたクリック溝12cと固
定枠7に固定されたクリック装置19とでコンデンサタ
ーレット12はクリックストップされる。
を照明光路に挿入した場合には、該極低倍率用コンデン
サレンズ群18の前側焦点位置と高倍率用コンデンサレ
ンズ群16あるいは低倍率用コンデンサレンズ群17を
照明光路に挿入した場合の視野絞り107の位置とが一
致するように構成されているので、視野絞り107は極
低倍率用コンデンサレンズ群18を照明光路に挿入した
場合には開口絞りとして作用し、この開口絞りを調節す
ることで、極低倍率用コンデンサレンズ群18の開口を
調節して観察像のコントラストや明るさを調節すること
ができる。
てコンデンサターレット12を上下し、各コンデンサレ
ンズ群の焦点位置の微調節ができ、心出しねじ10およ
び11を操作してコンデンサターレット12を水平移動
し、各コンデンサレンズ群の光軸位置の微調節ができ
る。
び低倍率用コンデンサレンズ群17は、バネ63及びバ
ネ83でそれぞれ下方に付勢されているので、カムピン
59および79はカム溝7aに沿って正確に移動され
る。
ば、次のような効果が得られる。 1)各倍率用のコンデンサレンズ群16,17,18が
独立してコンデンサターレット12内に配置され、従来
の技術のようにレンズユニットや光路空間の共有等の制
約がないので、各倍率用に最適な性能のレンズ構成がで
きる。
ズ群とも、コンデンサレンズ群内に開口絞りを配置する
ことができるので、顕微鏡本体100に絞りを追加する
必要がなく、各倍率で照明開口の調節ができる。
低倍率用コンデンサレンズ群17とも独立して上下動す
るので、コンデンサレンズ群の退避のためのステージ1
02の開口部102aを特別に大きくする必要がなく、
従来のステージが使用可能で、コンデンサターレット1
2の回転と言う簡単な操作で極低倍率から高倍率まで照
明ができる。
低倍率用コンデンサレンズ群17を光軸方向に上下動さ
せる固定カム7は1個で共用できるので、機構も簡単で
安価に製造できる。
ラジアルベアリングを取付け、カム溝7a面を転動する
ように構成することもできる。このように構成すること
により、コンデンサターレット12の回転をより円滑に
することができる。
ズ部をステージ受101に取付ける構造について説明し
たが、これをコンデンサレンズ部をステージ受101か
ら独立して顕微鏡本体100に取付けるように構成して
もよい。この具体的構成については、本出願人が出願し
た公開公報(特開平7ー174977号公報)に記載さ
れているので、ここではその詳細な説明は省略する。
説明する。図5は縦断面図であり、図6は図5の一部を
断面した上面図であり、図7は図5のカムの展開図であ
る。ここでは、前述の第1の実施形態と同一部分には同
一符号を付してその説明を省略する。低倍率用コンデン
サレンズ群17および極低倍率レンズ18は、図3と同
一であるので、図3を参照して説明する。
固定枠7に一体に固定され、後述する回転角度αの2倍
よりも若干大きく形成された扇形状のカムで、カム20
0にはレンズ枠56(高倍率用コンデンサレンズ群16
を支持しているもの)に固定されたカムピン59および
レンズ枠76(低倍率用コンデンサレンズ群17を支持
しているもの)に固定されたカムピン79が接触してお
り、コンデンサターレット12の回転によりカムピン5
9,79が摺動するようになっている。
レンズ群16および低倍率用コンデンサレンズ群17が
照明光路に挿入された場合に、それぞれ正規照明位置と
なるように構成されている。
ンデンサレンズ群16および低倍率用コンデンサレンズ
群17が照明光路に挿脱される場合にそれぞれコンデン
サレンズ群の先玉部がステージ102に形成されている
開口部102aと干渉しないコンデンサターレット12
の回転角度αの範囲内で、該コンデンサレンズ群のそれ
ぞれの先玉部が、ステージ102およびステージ受10
1と干渉しない寸法Aだけ上下動可能に構成されてい
る。
の実施形態の作用について、説明する。高倍率用コンデ
ンサレンズ群16のレンズ枠56に固定されたカムピン
59および低倍率用コンデンサレンズ群17のレンズ枠
76に固定されたカムピン79とが、カム200と接触
しない位置にある場合には、高倍率用コンデンサレンズ
群16および低倍率用コンデンサレンズ群17は、バネ
63および83でそれぞれ常に下方に付勢されているの
で、カムピン59および79は、コンデンサターレット
12に光軸と平行に形成された長穴12xおよび12y
の下端面にそれぞれ接して保持される。
12を回転しても各コンデンサレンズ群16,17,1
8とステージ102およびステージ受101が干渉する
ことがない。
て高倍率用コンデンサレンズ群16および低倍率用コン
デンサレンズ群17を照明光路に挿脱する場合にも、各
コンデンサレンズ群16,17は、バネ63および83
で常に下方に付勢されているので、カムピン59および
79は、常にカム200の面に接して上下動し、カム2
00の傾斜は、各コンデンサレンズ群16,17が、ス
テージ102およびステージ受101と干渉しないよう
に構成されているので、コンデンターレット12が回転
することで、干渉無く容易にコンデンサレンズ群16,
17,18の切換えができる。
ば、カム200は各コンデンサレンズ群16,17を上
下動させる必要範囲すなわち2αより若干大きく扇形状
に構成すればよいので、第1の実施形態に比べて、カム
200の加工が容易となり、その分安価に製造できる。
これ以外の効果は、第1の実施形態と同一である。
ン59,79の先端部に、ラジアルベアリングを取付
け、カム200の傾斜面を転動するように構成すること
もできる。このように構成することにより、コンデンサ
ターレット12の回転をより円滑にすることができる。
レット12をステージ受101に取付ける構造について
説明したが、これをコンデンサレンズ群をステージ受1
01から独立して顕微鏡本体100に取付けるように構
成してもよい。この具体的構成については、本出願人が
出願した公開公報(特開平7ー174977号公報)に
記載されているので、ここではその詳細な説明は省略す
る。
手段によって、広範な対物レンズの倍率幅に対処するこ
とができ、特に対物レンズの倍率1倍以下の範囲につい
てもカバーでき、顕微鏡本体の大幅な改造なしに適用で
きる顕微鏡用照明光学系を提供することができる。
を示す縦断面図。
に見た断面図。
を示す縦断面図。
Claims (3)
- 【請求項1】 顕微鏡本体に光軸と平行な軸回りに回転
可能にターレットを設けると共に、該ターレット内に高
倍率用コンデンサレンズ群と低倍率用コンデンサレンズ
群と極倍率用コンデンサレンズ群をそれぞれ配置し、該
ターレットの回転により、該各コンデンサレンズ群を選
択的に照明光路へ挿入可能に構成し、前記ターレットの
外周側に設けた光軸方向に上下動させる機構により前記
高倍率用コンデンサレンズ群と前記低倍率用コンデンサ
レンズ群が、前記ターレットの回転に伴い、それぞれ独
立して光軸方向に移動するように構成したことを特徴と
する顕微鏡用照明光学系。 - 【請求項2】 前記光軸方向に上下動させる機構は、1
個の固定カムにより構成したことを特徴とする請求項1
記載の顕微鏡用照明光学系。 - 【請求項3】 前記高倍率用コンデンサレンズ群及び低
倍率用コンデンサレンズ群の前側焦点位置に制御可能な
開口絞りをそれぞれ独立して設け、該各コンデンサレン
ズ群と一体に光軸方向へ移動するように構成したことを
特徴とする請求項1または2記載の顕微鏡用照明光学
系。
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---|---|---|---|
JP26598697A JP3869087B2 (ja) | 1997-09-30 | 1997-09-30 | 顕微鏡用照明光学系 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2001033706A (ja) * | 1999-07-23 | 2001-02-09 | Olympus Optical Co Ltd | 顕微鏡 |
JP2001228408A (ja) * | 1999-12-08 | 2001-08-24 | Olympus Optical Co Ltd | 顕微鏡とその透過照明コンデンサ |
WO2009000508A1 (de) * | 2007-06-26 | 2008-12-31 | Carl Zeiss Microimaging Gmbh | Einrichtung zum objektivwechsel, insbesondere für mikroskopobjektive von fixed stage-mikroskopen |
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1997
- 1997-09-30 JP JP26598697A patent/JP3869087B2/ja not_active Expired - Fee Related
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