JPH109942A - 振動センサ - Google Patents
振動センサInfo
- Publication number
- JPH109942A JPH109942A JP15975396A JP15975396A JPH109942A JP H109942 A JPH109942 A JP H109942A JP 15975396 A JP15975396 A JP 15975396A JP 15975396 A JP15975396 A JP 15975396A JP H109942 A JPH109942 A JP H109942A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- light source
- vibration
- division
- vibration sensor
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- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 振動の方向と振幅を正確に検出できる振動セ
ンサの提供。 【解決手段】 光源１の出射光を受光する受光部はＸＹ
方向に２×２に４分割された受光面Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄを有
する４分割フォトダイオード（ＰＤ）２を備え、ＰＤ２
はベース３に対してＸＹ方向に揺動可能なように４本の
ワイヤ４を介して支持されている。検出対象（光源１と
ベース３）が振動するとＰＤ２が光源１の光軸と直交す
る方向に振動し、スポット光が受光面Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄの
中心から振動の方向及び大きさに応じて変位し、受光面
Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄの検出電流に基づいて振動の方向と振幅
が算出される。
ンサの提供。 【解決手段】 光源１の出射光を受光する受光部はＸＹ
方向に２×２に４分割された受光面Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄを有
する４分割フォトダイオード（ＰＤ）２を備え、ＰＤ２
はベース３に対してＸＹ方向に揺動可能なように４本の
ワイヤ４を介して支持されている。検出対象（光源１と
ベース３）が振動するとＰＤ２が光源１の光軸と直交す
る方向に振動し、スポット光が受光面Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄの
中心から振動の方向及び大きさに応じて変位し、受光面
Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄの検出電流に基づいて振動の方向と振幅
が算出される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、検出対象の振動を
電気信号に変換する振動センサに関する。
電気信号に変換する振動センサに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の振動センサとしては、例えば特開
昭４９−６７６６５号公報に開示されているように、１
つの発光素子に対向するように複数の受光素子を検出方
向に沿って配列し、その間に発光素子の光を集束して受
光素子に放射するレンズを光軸と直交する方向（検出方
向）に外部振動に応じて振動するようにしたものが知ら
れている。このような構成によれば、外部振動に応じて
レンズが光軸を直交する方向に変位すると、振動の大き
さに応じて発光素子の光を受光する受光素子が異なるの
で、振動を検出することができる。
昭４９−６７６６５号公報に開示されているように、１
つの発光素子に対向するように複数の受光素子を検出方
向に沿って配列し、その間に発光素子の光を集束して受
光素子に放射するレンズを光軸と直交する方向（検出方
向）に外部振動に応じて振動するようにしたものが知ら
れている。このような構成によれば、外部振動に応じて
レンズが光軸を直交する方向に変位すると、振動の大き
さに応じて発光素子の光を受光する受光素子が異なるの
で、振動を検出することができる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、変位方向
（振動の方向）と変位量（振動の振幅）を正確に検出す
るためには、受光素子の受光面上のスポット光の形状は
真円に近いことが要求される。しかしながら、前述した
従来の振動センサでは、レンズが光軸と直交する方向に
変位するので、受光面上のスポット光が真円にならず、
また、収差が発生して誤差が発生するという問題点があ
る。
（振動の方向）と変位量（振動の振幅）を正確に検出す
るためには、受光素子の受光面上のスポット光の形状は
真円に近いことが要求される。しかしながら、前述した
従来の振動センサでは、レンズが光軸と直交する方向に
変位するので、受光面上のスポット光が真円にならず、
また、収差が発生して誤差が発生するという問題点があ
る。
【０００４】本発明は上記従来の問題点に鑑みてなされ
たもので、その目的は、振動の方向と振幅を正確に検出
することができる振動センサを提供することにある。
たもので、その目的は、振動の方向と振幅を正確に検出
することができる振動センサを提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、円形の光を出
射する光源と４分割フォトダイオードとを備え、これら
の一方をＸＹ方向に揺動可能に支持することとする。こ
のような構成により、光源または４分割フォトダイオー
ドが揺動すると、４分割フォトダイオードにおいて受光
される円形の光が受光面の中心から振動の方向及び振幅
に応じて変位し、各受光面の検出信号が変化する。した
がって、振動の方向と振幅を正確に検出することができ
る。
射する光源と４分割フォトダイオードとを備え、これら
の一方をＸＹ方向に揺動可能に支持することとする。こ
のような構成により、光源または４分割フォトダイオー
ドが揺動すると、４分割フォトダイオードにおいて受光
される円形の光が受光面の中心から振動の方向及び振幅
に応じて変位し、各受光面の検出信号が変化する。した
がって、振動の方向と振幅を正確に検出することができ
る。
【０００６】
【発明の実施の形態】本発明の振動センサでは、円形の
光を出射する光源と、ＸＹ方向に２×２に分割された受
光面により前記光源の出射光を受光する４分割フォトダ
イオードと、前記光源及び４分割フォトダイオードの一
方をＸＹ方向に揺動可能に支持する支持部材とを具備
し、前記光源及び４分割フォトダイオードの他方と前記
支持部材を検出対象に固定し、前記４分割フォトダイオ
ードの各受光面により光電変換された信号により検出対
象の振動の方向及び振幅を検出する。
光を出射する光源と、ＸＹ方向に２×２に分割された受
光面により前記光源の出射光を受光する４分割フォトダ
イオードと、前記光源及び４分割フォトダイオードの一
方をＸＹ方向に揺動可能に支持する支持部材とを具備
し、前記光源及び４分割フォトダイオードの他方と前記
支持部材を検出対象に固定し、前記４分割フォトダイオ
ードの各受光面により光電変換された信号により検出対
象の振動の方向及び振幅を検出する。
【０００７】また、前記光源のバラツキに起因して拡散
光が円形にならない場合でも、光源の出射光を円形に整
形する開口を設けると、検出精度を高めることができ
る。
光が円形にならない場合でも、光源の出射光を円形に整
形する開口を設けると、検出精度を高めることができ
る。
【０００８】また、前記光源の拡散角度が大きかった
り、光源と４分割フォトダイオードの距離が長い場合で
も、光源の出射光が４分割フォトダイオードにおいてス
ポット光になるように集光するレンズを設けると、検出
感度を高めることができる。
り、光源と４分割フォトダイオードの距離が長い場合で
も、光源の出射光が４分割フォトダイオードにおいてス
ポット光になるように集光するレンズを設けると、検出
感度を高めることができる。
【０００９】また、受光面がＺ方向に２分割された２分
割ダイオードと、前記光源の出射光を前記４分割フォト
ダイオード及び前記２分割ダイオードの各方向に２分割
するビームスプリッタとを追加し、前記４分割フォトダ
イオード及び前記２分割ダイオードの各受光面により光
電変換された信号により検出対象の振動の方向及び振幅
を検出するように構成すると、検出対象の振動の方向及
び振幅をより正確に検出することができる。
割ダイオードと、前記光源の出射光を前記４分割フォト
ダイオード及び前記２分割ダイオードの各方向に２分割
するビームスプリッタとを追加し、前記４分割フォトダ
イオード及び前記２分割ダイオードの各受光面により光
電変換された信号により検出対象の振動の方向及び振幅
を検出するように構成すると、検出対象の振動の方向及
び振幅をより正確に検出することができる。
【００１０】
【実施例】実施例について図面を参照して説明すると、
図１は本発明の第１実施例に係る振動センサを示す構成
図、図２は図１の受光部を詳細に示す外観図、図３は図
１及び図２の４分割フォトダイオードの受光面とスポッ
ト光を示す説明図、図４は図１及び図２の４分割フォト
ダイオードの検出信号を示す波形図である。
図１は本発明の第１実施例に係る振動センサを示す構成
図、図２は図１の受光部を詳細に示す外観図、図３は図
１及び図２の４分割フォトダイオードの受光面とスポッ
ト光を示す説明図、図４は図１及び図２の４分割フォト
ダイオードの検出信号を示す波形図である。
【００１１】図１に示す振動センサは、紙面と直交する
方向（Ｘ方向）と上下方向（Ｙ方向）の振動を検出する
ように構成されている。光源１はＬＤ（レーザダイオー
ド）やＬＥＤ（発光ダイオード）が用いられ、その出射
光は円形の形状のままで拡散する。これに対し、図２と
図３に詳しく示すように、光源１の出射光を受光する受
光部は、ＸＹ方向に２×２に４分割された受光面Ａ，
Ｂ，Ｃ，Ｄを有する４分割フォトダイオード（ＰＤ）２
を備え、また、このＰＤ２はベース３に対してＸＹ方向
に揺動可能なように４本のワイヤ４を介して支持されて
いる。そして、光源１とベース３は共に検出対象に固定
される。
方向（Ｘ方向）と上下方向（Ｙ方向）の振動を検出する
ように構成されている。光源１はＬＤ（レーザダイオー
ド）やＬＥＤ（発光ダイオード）が用いられ、その出射
光は円形の形状のままで拡散する。これに対し、図２と
図３に詳しく示すように、光源１の出射光を受光する受
光部は、ＸＹ方向に２×２に４分割された受光面Ａ，
Ｂ，Ｃ，Ｄを有する４分割フォトダイオード（ＰＤ）２
を備え、また、このＰＤ２はベース３に対してＸＹ方向
に揺動可能なように４本のワイヤ４を介して支持されて
いる。そして、光源１とベース３は共に検出対象に固定
される。
【００１２】このように構成された振動センサにおい
て、検出対象（光源１とベース３）が振動していない場
合にはＰＤ２も振動しないので、図３において実線で示
すように、スポット光は受光面Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄの中心に
位置する。これに対し、検出対象が振動するとＰＤ２が
光源１の光軸と直交する方向に振動するので、スポット
光が受光面Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄの中心から振動の方向及び大
きさに応じて変位する。
て、検出対象（光源１とベース３）が振動していない場
合にはＰＤ２も振動しないので、図３において実線で示
すように、スポット光は受光面Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄの中心に
位置する。これに対し、検出対象が振動するとＰＤ２が
光源１の光軸と直交する方向に振動するので、スポット
光が受光面Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄの中心から振動の方向及び大
きさに応じて変位する。
【００１３】したがって、受光面Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄの検出
電流が振動の方向及び大きさに応じて変化するので、 Ｘ＝（Ｂ＋Ｃ）−（Ａ＋Ｄ） Ｙ＝（Ａ＋Ｂ）−（Ｃ＋Ｄ） によりＸ，Ｙ方向の振幅を求めることができ、また、信
号Ｘ，Ｙは図４に示すような正弦波の波形となる。そし
て、振動の方向θと振幅Ｒは次式で求めることができ
る。
電流が振動の方向及び大きさに応じて変化するので、 Ｘ＝（Ｂ＋Ｃ）−（Ａ＋Ｄ） Ｙ＝（Ａ＋Ｂ）−（Ｃ＋Ｄ） によりＸ，Ｙ方向の振幅を求めることができ、また、信
号Ｘ，Ｙは図４に示すような正弦波の波形となる。そし
て、振動の方向θと振幅Ｒは次式で求めることができ
る。
【００１４】θ＝ｔａｎ~1（Ｙ／Ｘ） Ｒ＝√（Ｘ2＋Ｙ2） したがって、上記実施例によれば、受光面Ａ，Ｂ，Ｃ，
Ｄ上のスポット光が真円であり、また、変位するレンズ
を用いないので収差が発生することもなくなり、その結
果、振動の方向と振幅を正確に検出することができる。
Ｄ上のスポット光が真円であり、また、変位するレンズ
を用いないので収差が発生することもなくなり、その結
果、振動の方向と振幅を正確に検出することができる。
【００１５】上記第１実施例では、ＰＤ２が変位するよ
うに構成したが、その代わりに光源１が変位するように
構成してもよい。図５はその構成を示す変形例であり、
光源１がベース３ａに対してＸＹ方向に揺動可能なよう
に４本のワイヤ４ａを介して支持される。また、ＰＤ２
とベース３ａは共に検出対象に固定される。
うに構成したが、その代わりに光源１が変位するように
構成してもよい。図５はその構成を示す変形例であり、
光源１がベース３ａに対してＸＹ方向に揺動可能なよう
に４本のワイヤ４ａを介して支持される。また、ＰＤ２
とベース３ａは共に検出対象に固定される。
【００１６】なお、上記第１実施例及びその変形例で
は、光源１の拡散光を直接にＰＤ２が受光するように構
成されているので、光源１のバラツキにより拡散光が円
形とならない場合がある。そこで、図６に示す第２実施
例では、光源１の拡散光を円形に整形するための開口５
を光源１に固定することにより、上記不具合を防止する
ことができる。また、その変形例として図７に示すよう
に、光源１と開口５をＸＹ方向に揺動可能なように構成
してもよい。
は、光源１の拡散光を直接にＰＤ２が受光するように構
成されているので、光源１のバラツキにより拡散光が円
形とならない場合がある。そこで、図６に示す第２実施
例では、光源１の拡散光を円形に整形するための開口５
を光源１に固定することにより、上記不具合を防止する
ことができる。また、その変形例として図７に示すよう
に、光源１と開口５をＸＹ方向に揺動可能なように構成
してもよい。
【００１７】また、上記各実施例では、光源１の拡散光
をＰＤ２が受光するように構成されているので、光源１
の拡散角度が大きかったり、光源１とＰＤ２の距離が長
い場合には、ＰＤ２が大きな受光面を必要とするので高
い周波数の検出信号を得ることができなくなる。そこ
で、図８に示す第３実施例では、光源１の拡散光をスポ
ット光に集光するためのレンズ６を光源１に固定するこ
とにより、上記不具合を防止することができる。また、
その変形例として図９に示すように、光源１とレンズ６
をＸＹ方向に揺動可能なように構成してもよい。
をＰＤ２が受光するように構成されているので、光源１
の拡散角度が大きかったり、光源１とＰＤ２の距離が長
い場合には、ＰＤ２が大きな受光面を必要とするので高
い周波数の検出信号を得ることができなくなる。そこ
で、図８に示す第３実施例では、光源１の拡散光をスポ
ット光に集光するためのレンズ６を光源１に固定するこ
とにより、上記不具合を防止することができる。また、
その変形例として図９に示すように、光源１とレンズ６
をＸＹ方向に揺動可能なように構成してもよい。
【００１８】次に、図１０〜図１２を参照して第４実施
例を説明する。上記第１〜第３実施例では、ＸＹ方向の
みの振動を検出するように構成されているが、この第４
実施例では、ＸＹＺ方向の振動を検出するために、ビー
ムスプリッタ７と２分割ＰＤ８とが追加されている。
例を説明する。上記第１〜第３実施例では、ＸＹ方向の
みの振動を検出するように構成されているが、この第４
実施例では、ＸＹＺ方向の振動を検出するために、ビー
ムスプリッタ７と２分割ＰＤ８とが追加されている。
【００１９】すなわち、光源１の出射光はビームスプリ
ッタ７を通過してＸＹ方向検出用のＰＤ２により受光さ
れると共に、ビームスプリッタ７により反射されてＺ方
向検出用のＰＤ８により受光される。図１１に示すよう
に、Ｚ方向検出用のＰＤ８はＺ方向に２分割された受光
面Ｅ，Ｆを有し、また、Ｚ方向にのみ揺動するように板
バネ９を介してベース１０に取り付けられている。ベー
ス１０は光源１及びベース３と同様に検出対象に固定さ
れる。
ッタ７を通過してＸＹ方向検出用のＰＤ２により受光さ
れると共に、ビームスプリッタ７により反射されてＺ方
向検出用のＰＤ８により受光される。図１１に示すよう
に、Ｚ方向検出用のＰＤ８はＺ方向に２分割された受光
面Ｅ，Ｆを有し、また、Ｚ方向にのみ揺動するように板
バネ９を介してベース１０に取り付けられている。ベー
ス１０は光源１及びベース３と同様に検出対象に固定さ
れる。
【００２０】このように構成された振動センサでは、図
１２に示すように、 Ｘ＝（Ｂ＋Ｃ）−（Ａ＋Ｄ） Ｙ＝（Ａ＋Ｂ）−（Ｃ＋Ｄ） Ｚ＝Ｅ−Ｆ によりＸ，Ｙ，Ｚ方向の信号を求めることができる。ま
た、振動の方向θはベクトル（Ｘ，Ｙ，Ｚ）により求め
ることができ、振幅Ｒは次式で求めることができる。
１２に示すように、 Ｘ＝（Ｂ＋Ｃ）−（Ａ＋Ｄ） Ｙ＝（Ａ＋Ｂ）−（Ｃ＋Ｄ） Ｚ＝Ｅ−Ｆ によりＸ，Ｙ，Ｚ方向の信号を求めることができる。ま
た、振動の方向θはベクトル（Ｘ，Ｙ，Ｚ）により求め
ることができ、振幅Ｒは次式で求めることができる。
【００２１】Ｒ＝√（Ｘ2＋Ｙ2＋Ｚ2）
【００２２】
【発明の効果】本発明は、以上説明したような形態で実
施され、以下に記載されるような効果を奏する。
施され、以下に記載されるような効果を奏する。
【００２３】円形の光を出射する光源と、ＸＹ方向に２
×２に分割された受光面により前記光源の出射光を受光
する４分割フォトダイオードと、前記光源及び４分割フ
ォトダイオードの一方をＸＹ方向に揺動可能に支持する
支持部材とを具備し、前記光源及び４分割フォトダイオ
ードの他方と前記支持部材を検出対象に固定し、前記４
分割フォトダイオードの各受光面により光電変換された
信号により検出対象の振動の方向及び振幅を検出するよ
うに構成したため、光源または４分割フォトダイオード
が揺動すると、４分割フォトダイオードにおいて受光さ
れる円形の光が受光面の中心から振動の方向及び振幅に
応じて変位して各受光面の検出信号が変化し、したがっ
て、振動の方向と振幅を正確に検出することができる。
×２に分割された受光面により前記光源の出射光を受光
する４分割フォトダイオードと、前記光源及び４分割フ
ォトダイオードの一方をＸＹ方向に揺動可能に支持する
支持部材とを具備し、前記光源及び４分割フォトダイオ
ードの他方と前記支持部材を検出対象に固定し、前記４
分割フォトダイオードの各受光面により光電変換された
信号により検出対象の振動の方向及び振幅を検出するよ
うに構成したため、光源または４分割フォトダイオード
が揺動すると、４分割フォトダイオードにおいて受光さ
れる円形の光が受光面の中心から振動の方向及び振幅に
応じて変位して各受光面の検出信号が変化し、したがっ
て、振動の方向と振幅を正確に検出することができる。
【００２４】また、前記光源のバラツキに起因して拡散
光が円形にならない場合でも、光源の出射光を円形に整
形する開口を設けると、検出精度を高めることができ
る。
光が円形にならない場合でも、光源の出射光を円形に整
形する開口を設けると、検出精度を高めることができ
る。
【００２５】また、前記光源の拡散角度が大きかった
り、光源と４分割フォトダイオードの距離が長い場合で
も、光源の出射光が４分割フォトダイオードにおいてス
ポット光になるように集光するレンズを設けると、検出
感度を高めることができる。
り、光源と４分割フォトダイオードの距離が長い場合で
も、光源の出射光が４分割フォトダイオードにおいてス
ポット光になるように集光するレンズを設けると、検出
感度を高めることができる。
【００２６】また、受光面がＺ方向に２分割された２分
割ダイオードと、前記光源の出射光を前記４分割フォト
ダイオード及び前記２分割ダイオードの各方向に２分割
するビームスプリッタとを追加し、前記４分割フォトダ
イオード及び前記２分割ダイオードの各受光面により光
電変換された信号により検出対象の振動の方向及び振幅
を検出するように構成すると、検出対象の振動の方向及
び振幅をより正確に検出することができる。
割ダイオードと、前記光源の出射光を前記４分割フォト
ダイオード及び前記２分割ダイオードの各方向に２分割
するビームスプリッタとを追加し、前記４分割フォトダ
イオード及び前記２分割ダイオードの各受光面により光
電変換された信号により検出対象の振動の方向及び振幅
を検出するように構成すると、検出対象の振動の方向及
び振幅をより正確に検出することができる。
【図１】本発明の第１実施例に係る振動センサを示す構
成図である。
成図である。
【図２】図１の受光部を詳細に示す外観図である。
【図３】図１及び図２の４分割フォトダイオードの受光
面とスポット光を示す説明図である。
面とスポット光を示す説明図である。
【図４】図１及び図２の４分割フォトダイオードの検出
信号を示す波形図である。
信号を示す波形図である。
【図５】第１実施例の変形例を示す構成図である。
【図６】本発明の第２実施例に係る振動センサを示す構
成図である。
成図である。
【図７】第２実施例の変形例を示す構成図である。
【図８】本発明の第３実施例に係る振動センサを示す構
成図である。
成図である。
【図９】第３実施例の変形例を示す構成図である。
【図１０】本発明の第４実施例に係る振動センサを示す
構成図である。
構成図である。
【図１１】図１０のＺ方向検出用の受光部を詳細に示す
外観図である。
外観図である。
【図１２】第４実施例の検出原理を示す説明図である。
１ 光源 ２ ４分割フォトダイオード ３，３ａ，１０ ベース ４，４ａ ワイヤ ５ 開口 ６ レンズ ７ ビームスプリッタ ８ ２分割フォトダイオード ９ 板バネ
Claims (4)
- 【請求項１】 円形の光を出射する光源と、ＸＹ方向に
２×２に分割された受光面により前記光源の出射光を受
光する４分割フォトダイオードと、前記光源及び４分割
フォトダイオードの一方をＸＹ方向に揺動可能に支持す
る支持部材とを具備し、 前記光源及び４分割フォトダイオードの他方と前記支持
部材を検出対象に固定し、前記４分割フォトダイオード
の各受光面により光電変換された信号により検出対象の
振動の方向及び振幅を検出することを特徴とする振動セ
ンサ。 - 【請求項２】 前記光源の出射光を円形に整形する開口
を設けたことを特徴とする請求項１に記載の振動セン
サ。 - 【請求項３】 前記光源の出射光が前記４分割フォトダ
イオードにおいてスポット光になるように集光するレン
ズを設けたことを特徴とする請求項１に記載の振動セン
サ。 - 【請求項４】 受光面がＺ方向に２分割された２分割ダ
イオードと、前記光源の出射光を前記４分割フォトダイ
オード及び前記２分割ダイオードの各方向に２分割する
ビームスプリッタとを備え、前記４分割フォトダイオー
ド及び前記２分割ダイオードの各受光面により光電変換
された信号により検出対象の振動の方向及び振幅を検出
することを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記
載の振動センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15975396A JP3361431B2 (ja) | 1996-06-20 | 1996-06-20 | 振動センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15975396A JP3361431B2 (ja) | 1996-06-20 | 1996-06-20 | 振動センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH109942A true JPH109942A (ja) | 1998-01-16 |
| JP3361431B2 JP3361431B2 (ja) | 2003-01-07 |
Family
ID=15700516
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15975396A Expired - Fee Related JP3361431B2 (ja) | 1996-06-20 | 1996-06-20 | 振動センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3361431B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100437259B1 (ko) * | 2002-01-19 | 2004-06-23 | 한국표준과학연구원 | 대형 구조물의 진동 측정장치 및 측정방법 |
| JP2009098003A (ja) * | 2007-10-17 | 2009-05-07 | Oputeikon:Kk | 変位振動検出装置及び変位振動検出方法 |
| JP2010029305A (ja) * | 2008-07-25 | 2010-02-12 | Sammy Corp | 遊技機 |
| JP2010029304A (ja) * | 2008-07-25 | 2010-02-12 | Sammy Corp | 遊技機 |
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