JPH1089506A

JPH1089506A - 混合水栓部材およびその混合水栓部材への被膜形成方法

Info

Publication number: JPH1089506A
Application number: JP32263396A
Authority: JP
Inventors: Yukio Miya; 宮　　行男; Osamu Sugiyama; 杉山　　修; Ryuta Koike; ▲龍▼太小池; Takashi Toida; 孝志戸井田
Original assignee: Citizen Watch Co Ltd
Current assignee: Citizen Watch Co Ltd
Priority date: 1996-07-25
Filing date: 1996-12-03
Publication date: 1998-04-10
Also published as: US5934321A

Abstract

(57)【要約】【課題】混合水栓部材に密着性よく硬質カーボン膜を
形成するための混合水栓部材の構造とこの混合水栓部材
に密着性よく硬質カーボン膜を形成することが可能な被
膜形成方法とを提供する。【解決手段】熱水流入口と冷水流入口と混合水流出口
を有する固定板１１と、この固定板に摺動自在に重ね合
わされ混合室を有する回転板１２とを備える混合水栓部
材であって、固定板は、回転板との摺動面にシリコンカ
ーバイト膜からなる中間層１３を介して硬質カーボン膜
１５を設ける混合水栓部材およびその混合水栓部材への
被膜形成方法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は温度が高い熱水を給
湯あるいは温度の低い冷水を給水あるいは熱水と冷水と
を混合して適温の混合水を吐出する混合水栓部材の構造
と、この混合水栓部材を構成する固定板と回転板への被
膜形成方法とに関する。

【０００２】

【従来の技術】混合水栓部材の従来の技術として、たと
えば特開平４−１６５１７０号公報に記載のものがあ
る。この公報に記載の混合水栓部材は、固定板と回転板
とからバルブを構成している。そして固定板に熱水流入
口と冷水流入口と混合水流出口とを設け、さらに回転板
に混合室を設ける。そして混合水栓は、回転板を固定板
に重ね合わせた状態で摺動回転させて、熱水流入口と冷
水流入口からの流量を調整して適温の混合水を得るもの
である。

【０００３】このように固定板と回転板とを密着させた
状態で摺動させるため、摺動面の摩耗が問題となる。そ
こで前述の公報では、混合水栓部材である回転板と固定
板の耐摩耗性を向上させるため、摺動面に硬質カーボン
膜を形成することを提案している。

【０００４】そしてこの硬質カーボン膜は水素化アモル
ファス・カーボン膜であり、ｉ−カーボン膜と呼ばれた
り、ダイヤモンドとよく似た構造や性質をもつためダイ
ヤモンド・ライク・カーボン膜（ＤＬＣ）ともよばれて
いる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上記公報の記載のよう
に混合水栓部材である回転板と固定板との摺動面に硬質
カーボン膜を設けると、ある程度、耐摩耗性の向上を図
ることができる。しかしながら、混合水栓使用時に、固
定板や回転板の基材表面から硬質カーボン膜が剥離して
しまうという現象が発生する。このため混合水栓の長期
使用にたいする信頼性が低いという問題点がある。

【０００６】〔発明の目的〕本発明の目的は、上記課題
を解決して、混合水栓部材を構成する固定板や回転板の
基材に密着性よく硬質カーボン膜を形成するための混合
水栓部材の構造と、この混合水栓部材に密着性よく硬質
カーボン膜を形成することが可能な被膜形成方法とを提
供することである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明の混合水栓部材の構造とこの混合水栓部材への
被膜形成方法においては、下記記載の手段を採用する。

【０００８】本発明の混合水栓部材は、熱水流入口と冷
水流入口と混合水流出口を有する固定板と、この固定板
に摺動自在に重ね合わされ混合室を有する回転板とを備
える混合水栓部材であって、固定板は、回転板との摺動
面にシリコンカーバイトからなる中間層を介して硬質カ
ーボン膜を設ける。

【０００９】本発明の混合水栓部材は、熱水流入口と冷
水流入口と混合水流出口を有する固定板と、この固定板
に摺動自在に重ね合わされ混合室を有する回転板とを備
える混合水栓部材であって、回転板は、固定板との摺動
面にシリコンカーバイトからなる中間層を介して硬質カ
ーボン膜を設けることを特徴とする。

【００１０】本発明の混合水栓部材は、熱水流入口と冷
水流入口と混合水流出口を有する固定板と、この固定板
に摺動自在に重ね合わされ混合室を有する回転板とを備
える混合水栓部材であって、固定板と回転板は、固定板
と回転板の摺動面にシリコンカーバイトからなる中間層
を介して硬質カーボン膜を設けることを特徴とする。

【００１１】本発明の混合水栓部材は、熱水流入口と冷
水流入口と混合水流出口を有する固定板と、この固定板
に摺動自在に重ね合わされ混合室を有する回転板とを備
える混合水栓部材であって、固定板は、回転板との摺動
面にチタンからなる第１の中間層とシリコンからなる第
２の中間層とを介して硬質カーボン膜を設けることを特
徴とする。

【００１２】本発明の混合水栓部材は、熱水流入口と冷
水流入口と混合水流出口を有する固定板と、この固定板
に摺動自在に重ね合わされ混合室を有する回転板とを備
える混合水栓部材であって、固定板は、回転板との摺動
面にクロムからなる第１の中間層とシリコンからなる第
２の中間層とを介して硬質カーボン膜を設けることを特
徴とする。

【００１３】本発明の混合水栓部材は、熱水流入口と冷
水流入口と混合水流出口を有する固定板と、この固定板
に摺動自在に重ね合わされ混合室を有する回転板とを備
える混合水栓部材であって、固定板は、回転板との摺動
面にチタンからなる第１の中間層とシリコンカーバイト
からなる第２の中間層とを介して硬質カーボン膜を設け
ることを特徴とする。

【００１４】本発明の混合水栓部材は、熱水流入口と冷
水流入口と混合水流出口を有する固定板と、この固定板
に摺動自在に重ね合わされ混合室を有する回転板とを備
える混合水栓部材であって、固定板は、回転板との摺動
面にクロムからなる第１の中間層とシリコンカーバイト
からなる第２の中間層とを介して硬質カーボン膜を設け
ることを特徴とする。

【００１５】本発明の混合水栓部材は、熱水流入口と冷
水流入口と混合水流出口を有する固定板と、この固定板
に摺動自在に重ね合わされ混合室を有する回転板とを備
える混合水栓部材であって、回転板は、固定板との摺動
面にチタンからなる第１の中間層とシリコンからなる第
２の中間層とを介して硬質カーボン膜を設けることを特
徴とする。

【００１６】本発明の混合水栓部材は、熱水流入口と冷
水流入口と混合水流出口を有する固定板と、この固定板
に摺動自在に重ね合わされ混合室を有する回転板とを備
える混合水栓部材であって、回転板は、固定板との摺動
面にクロムからなる第１の中間層とシリコンからなる第
２の中間層とを介して硬質カーボン膜を設けることを特
徴とする。

【００１７】本発明の混合水栓部材は、熱水流入口と冷
水流入口と混合水流出口とを有する固定板と、この固定
板に摺動自在に重ね合わされ混合室を有する回転板とを
備える混合水栓部材であって、回転板は、固定板との摺
動面にチタンからなる第１の中間層とシリコンカーバイ
トからなる第２の中間層とを介して硬質カーボン膜を設
けることを特徴とする。

【００１８】本発明の混合水栓部材は、熱水流入口と冷
水流入口と混合水流出口とを有する固定板と、この固定
板に摺動自在に重ね合わされ混合室を有する回転板とを
備える混合水栓部材であって、回転板は、固定板との摺
動面にクロムからなる第１の中間層とシリコンカーバイ
トからなる第２の中間層とを介して硬質カーボン膜を設
けることを特徴とする。

【００１９】本発明の混合水栓部材は、熱水流入口と冷
水流入口と混合水流出口とを有する固定板と、この固定
板に摺動自在に重ね合わされ混合室を有する回転板とを
備える混合水栓部材であって、固定板と回転板は、固定
板と回転板との摺動面にチタンからなる第１の中間層と
シリコンからなる第２の中間層とを介して硬質カーボン
膜を設けることを特徴とする。

【００２０】本発明の混合水栓部材は、熱水流入口と冷
水流入口と混合水流出口とを有する固定板と、この固定
板に摺動自在に重ね合わされ混合室を有する回転板とを
備える混合水栓部材であって、固定板と回転板は、固定
板と回転板との摺動面にクロムからなる第１の中間層と
シリコンからなる第２の中間層とを介して硬質カーボン
膜を設けることを特徴とする。

【００２１】本発明の混合水栓部材は、熱水流入口と冷
水流入口と混合水流出口とを有する固定板と、この固定
板に摺動自在に重ね合わされ混合室を有する回転板とを
備える混合水栓部材であって、固定板と回転板は、固定
板と回転板との摺動面にチタンからなる第１の中間層と
シリコンカーバイトからなる第２の中間層を介して硬質
カーボン膜を設けることを特徴とする。

【００２２】本発明の混合水栓部材は、熱水流入口と冷
水流入口と混合水流出口とを有する固定板と、この固定
板に摺動自在に重ね合わされ混合室を有する回転板とを
備える混合水栓部材であって、固定板と回転板は、固定
板と回転板との摺動面にクロムからなる第１の中間層と
シリコンカーバイトからなる第２の中間層を介して硬質
カーボン膜を設けることを特徴とする。

【００２３】本発明の混合水栓部材は、熱水流入口と冷
水流入口と混合水流出口とを有する固定板と、この固定
板に摺動自在に重ね合わされ混合室を有する回転板とを
備える混合水栓部材であって、固定板は、回転板との摺
動面を粗面とし、回転板との摺動面に硬質カーボン膜を
設けることを特徴とする。

【００２４】本発明の混合水栓部材は、熱水流入口と冷
水流入口と混合水流出口とを有する固定板と、この固定
板に摺動自在に重ね合わされ混合室を有する回転板とを
備える混合水栓部材であって、回転板は、固定板との摺
動面を粗面とし、固定板との摺動面に硬質カーボン膜を
設けることを特徴とする。

【００２５】本発明の混合水栓部材は、熱水流入口と冷
水流入口と混合水流出口とを有する固定板と、この固定
板に摺動自在に重ね合わされ混合室を有する回転板とを
備える混合水栓部材であって、固定板と回転板は、固定
板と回転板との摺動面を粗面とし、固定板と回転板との
摺動面に硬質カーボン膜を設けることを特徴とする。

【００２６】本発明の混合水栓部材への被膜の形成方法
は、固定板上に中間層を形成する中間層形成工程と、こ
の中間層上に硬質カーボン膜を形成する硬質カーボン膜
形成工程とを有し、中間層形成工程が、ターゲットと対
向するように真空槽内に固定板を配置し、真空槽内を排
気した後、ガス導入口からアルゴンガスを真空槽内に導
入し、スパッタリング法によりシリコンカーバイトから
なる中間層を固定板上に形成する工程であり、硬質カー
ボン膜形成工程は、中間層を形成した固定板を真空槽内
に配置し、真空槽内を排気した後、ガス導入口から炭素
を含むガスを真空槽内に導入し、固定板に直流電圧を印
加しアノードに直流電圧を印加しフィラメントに交流電
圧を印加してプラズマを発生させて固定板の中間層上に
硬質カーボン膜を形成する工程であることを特徴とす
る。

【００２７】本発明の混合水栓部材への被膜の形成方法
は、固定板上に中間層を形成する中間層形成工程と、こ
の中間層上に硬質カーボン膜を形成する硬質カーボン膜
形成工程とを有し、中間層形成工程が、ターゲットと対
向するように真空槽内に固定板を配置し、真空槽内を排
気した後、ガス導入口からアルゴンガスを真空槽内に導
入し、スパッタリング法によりシリコンカーバイトから
なる中間層を固定板上に形成する工程であり、硬質カー
ボン膜形成工程は、中間層を形成した固定板を真空槽内
に配置し、真空槽内を排気した後、ガス導入口から炭素
を含むガスを真空槽内に導入し、固定板に高周波電圧を
印加し、プラズマを発生させて固定板の中間層上に硬質
カーボン膜を形成する工程であることを特徴とする。

【００２８】本発明の混合水栓部材への被膜の形成方法
は、固定板上に中間層を形成する中間層形成工程と、こ
の中間層上に硬質カーボン膜を形成する硬質カーボン膜
形成工程とを有し、中間層形成工程が、ターゲットと対
向するように真空槽内に固定板を配置し、真空槽内を排
気した後、ガス導入口からアルゴンガスを真空槽内に導
入し、スパッタリング法によりシリコンカーバイトから
なる中間層を固定板上に形成する工程であり、硬質カー
ボン膜形成工程は、中間層を形成した固定板を真空槽内
に配置し、真空槽内を排気した後、ガス導入口から炭素
を含むガスを真空槽内に導入し、固定板に直流電圧を印
加し、プラズマを発生させて固定板の中間層上に硬質カ
ーボン膜を形成する工程であることを特徴とする。

【００２９】本発明の混合水栓部材への被膜の形成方法
は、回転板上に中間層を形成する中間層形成工程と、こ
の中間層上に硬質カーボン膜を形成する硬質カーボン膜
形成工程とを有し、中間層形成工程が、ターゲットと対
向するように真空槽内に回転板を配置し、真空槽内を排
気した後、ガス導入口からアルゴンガスを真空槽内に導
入し、スパッタリング法によりシリコンカーバイトから
なる中間層を回転板上に形成する工程であり、硬質カー
ボン膜形成工程は、中間層を形成した回転板を真空槽内
に配置し、真空槽内を排気した後、ガス導入口から炭素
を含むガスを真空槽内に導入し、回転板に直流電圧を印
加しアノードに直流電圧を印加しフィラメントに交流電
圧を印加してプラズマを発生させて回転板の中間層上に
硬質カーボン膜を形成する工程であることを特徴とす
る。

【００３０】本発明の混合水栓部材への被膜の形成方法
は、回転板上に中間層を形成する中間層形成工程と、こ
の中間層上に硬質カーボン膜を形成する硬質カーボン膜
形成工程とを有し、中間層形成工程が、ターゲットと対
向するように真空槽内に回転板を配置し、真空槽内を排
気した後、ガス導入口からアルゴンガスを真空槽内に導
入し、スパッタリング法によりシリコンカーバイトから
なる中間層を回転板上に形成する工程であり、硬質カー
ボン膜形成工程は、中間層を形成した回転板を真空槽内
に配置し、真空槽内を排気した後、ガス導入口から炭素
を含むガスを真空槽内に導入し、回転板に高周波電圧を
印加し、プラズマを発生させて回転板の中間層上に硬質
カーボン膜を形成する工程であることを特徴とする。

【００３１】本発明の混合水栓部材への被膜の形成方法
は、回転板上に中間層を形成する中間層形成工程と、こ
の中間層上に硬質カーボン膜を形成する硬質カーボン膜
形成工程とを有し、中間層形成工程が、ターゲットと対
向するように真空槽内に回転板を配置し、真空槽内を排
気した後、ガス導入口からアルゴンガスを真空槽内に導
入し、スパッタリング法によりシリコンカーバイトから
なる中間層を回転板上に形成する工程であり、硬質カー
ボン膜形成工程は、中間層を形成した回転板を真空槽内
に配置し、真空槽内を排気した後、ガス導入口から炭素
を含むガスを真空槽内に導入し、回転板に直流電圧を印
加し、プラズマを発生させて回転板の中間層上に硬質カ
ーボン膜を形成する工程であることを特徴とする。

【００３２】本発明の混合水栓部材への被膜の形成方法
は、固定板上に中間層を形成する中間層形成工程と、こ
の中間層上に硬質カーボン膜を形成する硬質カーボン膜
形成工程とを有し、中間層形成工程が、ターゲットと対
向するように真空槽内に固定板を配置し、真空槽内を排
気した後、ガス導入口からアルゴンガスを真空槽内に導
入し、スパッタリング法によりチタンからなる第１の中
間層を固定板上に形成し、その後、第１の中間層を形成
した固定板をターゲットと対向するように真空槽内に配
置し、真空槽内を排気した後、ガス導入口からアルゴン
ガスを真空槽内に導入し、スパッタリング法によりシリ
コン膜からなる第２の中間層を第１の中間層上に形成す
る工程であり、硬質カーボン膜形成工程は、第２の中間
層を形成した固定板を真空槽内に配置し、真空槽内部を
排気した後、ガス導入口から炭素を含むガスを真空槽内
に導入し、固定板に直流電圧を印加しアノードに直流電
圧を印加しフィラメントに交流電圧を印加してプラズマ
を発生させて固定板の第２の中間層上に硬質カーボン膜
を形成する工程であることを特徴とする。

【００３３】本発明の混合水栓部材への被膜の形成方法
は、固定板上に中間層を形成する中間層形成工程と、こ
の中間層上に硬質カーボン膜を形成する硬質カーボン膜
形成工程とを有し、中間層形成工程が、ターゲットと対
向するように真空槽内に固定板を配置し、真空槽内部を
排気した後、ガス導入口からアルゴンガスを真空槽内部
に導入し、スパッタリング法によりチタンからなる第１
の中間層を固定板上に形成し、その後、第１の中間層を
形成した固定板をターゲットと対向するように真空槽内
に配置し、真空槽内を排気した後、ガス導入口からアル
ゴンガスを真空槽内に導入し、スパッタリング法により
シリコン膜からなる第２の中間層を第１の中間層上に形
成する工程であり、硬質カーボン膜形成工程は、第２の
中間層を形成した固定板を真空槽内に配置し、真空槽内
部を排気した後、ガス導入口から炭素を含むガスを真空
槽内に導入し、固定板に高周波電圧を印加し、プラズマ
を発生させて固定板の第２の中間層上に硬質カーボン膜
を形成する工程であることを特徴とする。

【００３４】本発明の混合水栓部材への被膜の形成方法
は、固定板上に中間層を形成する中間層形成工程と、こ
の中間層上に硬質カーボン膜を形成する硬質カーボン膜
形成工程とを有し、中間層形成工程が、ターゲットと対
向するように真空槽内に固定板を配置し、真空槽内を排
気した後、ガス導入口からアルゴンガスを真空槽内に導
入し、スパッタリング法によりチタンからなる第１の中
間層を固定板上に形成し、その後、第１の中間層を形成
した固定板をターゲットと対向するように真空槽内に配
置し、真空槽内を排気した後、ガス導入口からアルゴン
ガスを真空槽内に導入し、スパッタリング法によりシリ
コン膜からなる第２の中間層を第１の中間層上に形成す
る工程であり、硬質カーボン膜形成工程は、第２の中間
層を形成した固定板を真空槽内に配置し、真空槽内部を
排気した後、ガス導入口から炭素を含むガスを真空槽内
に導入し、固定板に直流電圧を印加し、プラズマを発生
させて固定板の第２の中間層上に硬質カーボン膜を形成
する工程であることを特徴とする。

【００３５】本発明の混合水栓部材への被膜の形成方法
は、固定板上に中間層を形成する中間層形成工程と、こ
の中間層上に硬質カーボン膜を形成する硬質カーボン膜
形成工程とを有し、中間層形成工程が、ターゲットと対
向するように真空槽内に固定板を配置し、真空槽内を排
気した後、ガス導入口からアルゴンガスを真空槽内に導
入し、スパッタリング法によりクロムからなる第１の中
間層を固定板上に形成し、その後、第１の中間層を形成
した固定板をターゲットと対向するように真空槽内に配
置し、真空槽内を排気した後、ガス導入口からアルゴン
ガスを真空槽内に導入し、スパッタリング法によりシリ
コン膜からなる第２の中間層を第１の中間層上に形成
し、硬質カーボン膜形成工程は、第２の中間層を形成し
た固定板を真空槽内に配置し、真空槽内部を排気した
後、ガス導入口から炭素を含むガスを真空槽内に導入
し、固定板に直流電圧を印加しアノードに直流電圧を印
加しフィラメントに交流電圧を印加してプラズマを発生
させて固定板の第２の中間層上に硬質カーボン膜を形成
する工程であることを特徴とする。

【００３６】本発明の混合水栓部材への被膜の形成方法
は、固定板上に中間層を形成する中間層形成工程と、こ
の中間層上に硬質カーボン膜を形成する硬質カーボン膜
形成工程とを有し、中間層形成工程が、ターゲットと対
向するように真空槽内に固定板を配置し、真空槽内を排
気した後、ガス導入口からアルゴンガスを真空槽内に導
入し、スパッタリング法によりクロムからなる第１の中
間層を固定板上に形成し、その後、第１の中間層を形成
した固定板をターゲットと対向するように真空槽内に配
置し、真空槽内を排気した後、ガス導入口からアルゴン
ガスを真空槽内に導入し、スパッタリング法によりシリ
コン膜からなる第２の中間層を第１の中間層上に形成
し、硬質カーボン膜形成工程は、第２の中間層を形成し
た固定板を真空槽内に配置し、真空槽内部を排気した
後、ガス導入口から炭素を含むガスを真空槽内に導入
し、固定板に高周波電圧を印加し、プラズマを発生させ
て固定板の第２の中間層上に硬質カーボン膜を形成する
工程であることを特徴とする。

【００３７】本発明の混合水栓部材への被膜の形成方法
は、固定板上に中間層を形成する中間層形成工程と、こ
の中間層上に硬質カーボン膜を形成する硬質カーボン膜
形成工程とを有し、中間層形成工程が、ターゲットと対
向するように真空槽内に固定板を配置し、真空槽内を排
気した後、ガス導入口からアルゴンガスを真空槽内に導
入し、スパッタリング法によりクロムからなる第１の中
間層を固定板上に形成し、その後、第１の中間層を形成
した固定板をターゲットと対向するように真空槽内に配
置し、真空槽内を排気した後、ガス導入口からアルゴン
ガスを真空槽内に導入し、スパッタリング法によりシリ
コン膜からなる第２の中間層を第１の中間層上に形成
し、硬質カーボン膜形成工程は、第２の中間層を形成し
た固定板を真空槽内に配置し、真空槽内部を排気した
後、ガス導入口から炭素を含むガスを真空槽内に導入
し、固定板に直流電圧を印加し、プラズマを発生させて
固定板の第２の中間層上に硬質カーボン膜を形成する工
程であることを特徴とする。

【００３８】本発明の混合水栓部材への被膜の形成方法
は、固定板上に中間層を形成する中間層形成工程と、こ
の中間層上に硬質カーボン膜を形成する硬質カーボン膜
形成工程とを有し、中間層形成工程が、ターゲットと対
向するように真空槽内に固定板を配置し、真空槽内を排
気した後、ガス導入口からアルゴンガスを真空槽内に導
入し、スパッタリング法によりチタンからなる第１の中
間層を固定板上に形成し、その後、第１の中間層を形成
した固定板をターゲットと対向するように真空槽内に配
置し、真空槽内を排気した後、ガス導入口からアルゴン
ガスを真空槽内に導入し、スパッタリング法によりシリ
コンカーバイト膜からなる第２の中間層を第１の中間層
上に形成し、硬質カーボン膜形成工程は、第２の中間層
を形成した固定板を真空槽内に配置し、真空槽内部を排
気した後、ガス導入口から炭素を含むガスを真空槽内に
導入し、固定板に直流電圧を印加しアノードに直流電圧
を印加しフィラメントに交流電圧を印加してプラズマを
発生させて固定板の第２の中間層上に硬質カーボン膜を
形成する工程であることを特徴とする。

【００３９】本発明の混合水栓部材への被膜の形成方法
は、固定板上に中間層を形成する中間層形成工程と、こ
の中間層上に硬質カーボン膜を形成する硬質カーボン膜
形成工程とを有し、中間層形成工程が、ターゲットと対
向するように真空槽内に固定板を配置し、真空槽内を排
気した後、ガス導入口からアルゴンガスを真空槽内に導
入し、スパッタリング法によりチタンからなる第１の中
間層を固定板上に形成し、その後、第１の中間層を形成
した固定板をターゲットと対向するように真空槽内に配
置し、真空槽内を排気した後、ガス導入口からアルゴン
ガスを真空槽内に導入し、スパッタリング法によりシリ
コンカーバイト膜からなる第２の中間層を第１の中間層
上に形成し、硬質カーボン膜形成工程は、第２の中間層
を形成した固定板を真空槽内に配置し、真空槽内部を排
気した後、ガス導入口から炭素を含むガスを真空槽内に
導入し、固定板に高周波電圧を印加し、プラズマを発生
させて固定板の第２の中間層上に硬質カーボン膜を形成
する工程であることを特徴とする。

【００４０】本発明の混合水栓部材への被膜の形成方法
は、固定板上に中間層を形成する中間層形成工程と、こ
の中間層上に硬質カーボン膜を形成する硬質カーボン膜
形成工程とを有し、中間層形成工程が、ターゲットと対
向するように真空槽内に固定板を配置し、真空槽内を排
気した後、ガス導入口からアルゴンガスを真空槽内に導
入し、スパッタリング法によりチタンからなる第１の中
間層を固定板上に形成し、その後、第１の中間層を形成
した固定板をターゲットと対向するように真空槽内に配
置し、真空槽内を排気した後、ガス導入口からアルゴン
ガスを真空槽内に導入し、スパッタリング法によりシリ
コンカーバイト膜からなる第２の中間層を第１の中間層
上に形成し、硬質カーボン膜形成工程は、第２の中間層
を形成した固定板を真空槽内に配置し、真空槽内部を排
気した後、ガス導入口から炭素を含むガスを真空槽内に
導入し、固定板に直流電圧を印加し、プラズマを発生さ
せて固定板の第２の中間層上に硬質カーボン膜を形成す
る工程であることを特徴とする。

【００４１】本発明の混合水栓部材への被膜の形成方法
は、固定板上に中間層を形成する中間層形成工程と、こ
の中間層上に硬質カーボン膜を形成する硬質カーボン膜
形成工程とを有し、中間層形成工程が、ターゲットと対
向するように真空槽内に固定板を配置し、真空槽内を排
気した後、ガス導入口からアルゴンガスを真空槽内に導
入し、スパッタリング法によりクロムからなる第１の中
間層を固定板上に形成し、その後、第１の中間層を形成
した固定板をターゲットと対向するように真空槽内に配
置し、真空槽内を排気した後、ガス導入口からアルゴン
ガスを真空槽内に導入し、スパッタリング法によりシリ
コンカーバイト膜からなる第２の中間層を第１の中間層
上に形成し、硬質カーボン膜形成工程は、第２の中間層
を形成した固定板を真空槽内に配置し、真空槽内部を排
気した後、ガス導入口から炭素を含むガスを真空槽内に
導入し、固定板に直流電圧を印加しアノードに直流電圧
を印加しフィラメントに交流電圧を印加してプラズマを
発生させて固定板の第２の中間層上に硬質カーボン膜を
形成する工程であることを特徴とする。

【００４２】本発明の混合水栓部材への被膜の形成方法
は、固定板上に中間層を形成する中間層形成工程と、こ
の中間層上に硬質カーボン膜を形成する硬質カーボン膜
形成工程とを有し、中間層形成工程が、ターゲットと対
向するように真空槽内に固定板を配置し、真空槽内を排
気した後、ガス導入口からアルゴンガスを真空槽内に導
入し、スパッタリング法によりクロムからなる第１の中
間層を固定板上に形成し、その後、第１の中間層を形成
した固定板をターゲットと対向するように真空槽内に配
置し、真空槽内を排気した後、ガス導入口からアルゴン
ガスを真空槽内に導入し、スパッタリング法によりシリ
コンカーバイト膜からなる第２の中間層を第１の中間層
上に形成し、硬質カーボン膜形成工程は、第２の中間層
を形成した固定板を真空槽内に配置し、真空槽内部を排
気した後、ガス導入口から炭素を含むガスを真空槽内に
導入し、固定板に高周波電圧を印加し、プラズマを発生
させて固定板の第２の中間層に硬質カーボン膜を形成す
る工程であることを特徴とする。

【００４３】本発明の混合水栓部材への被膜の形成方法
は、固定板上に中間層を形成する中間層形成工程と、こ
の中間層上に硬質カーボン膜を形成する硬質カーボン膜
形成工程とを有し、中間層形成工程が、ターゲットと対
向するように真空槽内に固定板を配置し、真空槽内を排
気した後、ガス導入口からアルゴンガスを真空槽内に導
入し、スパッタリング法によりクロムからなる第１の中
間層を固定板上に形成し、その後、第１の中間層を形成
した固定板をターゲットと対向するように真空槽内に配
置し、真空槽内を排気した後、ガス導入口からアルゴン
ガスを真空槽内に導入し、スパッタリング法によりシリ
コンカーバイト膜からなる第２の中間層を第１の中間層
上に形成し、硬質カーボン膜形成工程は、第２の中間層
を形成した固定板を真空槽内に配置し、真空槽内部を排
気した後、ガス導入口から炭素を含むガスを真空槽内に
導入し、固定板に直流電圧を印加し、プラズマを発生さ
せて固定板の第２の中間層上に硬質カーボン膜を形成す
る工程であることを特徴とする。

【００４４】本発明の混合水栓部材への被膜の形成方法
は、回転板上に中間層を形成する中間層形成工程と、こ
の中間層上に硬質カーボン膜を形成する硬質カーボン膜
形成工程とを有し、中間層形成工程が、ターゲットと対
向するように真空槽内に回転板を配置し、真空槽内を排
気した後、ガス導入口からアルゴンガスを真空槽内に導
入し、スパッタリング法によりチタンからなる第１の中
間層を回転板上に形成し、その後、第１の中間層を形成
した回転板をターゲットと対向するように真空槽内に配
置し、真空槽内を排気した後、ガス導入口からアルゴン
ガスを真空槽内に導入し、スパッタリング法によりシリ
コン膜からなる第２の中間層を第１の中間層上に形成す
る工程であり、硬質カーボン膜形成工程は、第２の中間
層を形成した回転板を真空槽内に配置し、真空槽内部を
排気した後、ガス導入口から炭素を含むガスを真空槽内
に導入し、回転板に直流電圧を印加しアノードに直流電
圧を印加しフィラメントに交流電圧を印加してプラズマ
を発生させて回転板の第２の中間層上に硬質カーボン膜
を形成する工程であることを特徴とする。

【００４５】本発明の混合水栓部材への被膜の形成方法
は、回転板上に中間層を形成する中間層形成工程と、こ
の中間層上に硬質カーボン膜を形成する硬質カーボン膜
形成工程とを有し、中間層形成工程が、ターゲットと対
向するように真空槽内に回転板を配置し、真空槽内部を
排気した後、ガス導入口からアルゴンガスを真空槽内部
に導入し、スパッタリング法によりチタンからなる第１
の中間層を回転板上に形成し、その後、第１の中間層を
形成した回転板をターゲットと対向するように真空槽内
に配置し、真空槽内を排気した後、ガス導入口からアル
ゴンガスを真空槽内に導入し、スパッタリング法により
シリコン膜からなる第２の中間層を第１の中間層上に形
成する工程であり、硬質カーボン膜形成工程は、第２の
中間層を形成した回転板を真空槽内に配置し、真空槽内
部を排気した後、ガス導入口から炭素を含むガスを真空
槽内に導入し、回転板に高周波電圧を印加し、プラズマ
を発生させて回転板の第２の中間層上に硬質カーボン膜
を形成する工程であることを特徴とする。

【００４６】本発明の混合水栓部材への被膜の形成方法
は、回転板上に中間層を形成する中間層形成工程と、こ
の中間層上に硬質カーボン膜を形成する硬質カーボン膜
形成工程とを有し、中間層形成工程が、ターゲットと対
向するように真空槽内に回転板を配置し、真空槽内を排
気した後、ガス導入口からアルゴンガスを真空槽内に導
入し、スパッタリング法によりチタンからなる第１の中
間層を回転板上に形成し、その後、第１の中間層を形成
した回転板をターゲットと対向するように真空槽内に配
置し、真空槽内を排気した後、ガス導入口からアルゴン
ガスを真空槽内に導入し、スパッタリング法によりシリ
コン膜からなる第２の中間層を第１の中間層上に形成す
る工程であり、硬質カーボン膜形成工程は、第２の中間
層を形成した回転板を真空槽内に配置し、真空槽内部を
排気した後、ガス導入口から炭素を含むガスを真空槽内
に導入し、回転板に直流電圧を印加し、プラズマを発生
させて回転板の第２の中間層上に硬質カーボン膜を形成
する工程であることを特徴とする。

【００４７】本発明の混合水栓部材への被膜の形成方法
は、回転板上に中間層を形成する中間層形成工程と、こ
の中間層上に硬質カーボン膜を形成する硬質カーボン膜
形成工程とを有し、中間層形成工程が、ターゲットと対
向するように真空槽内に回転板を配置し、真空槽内を排
気した後、ガス導入口からアルゴンガスを真空槽内に導
入し、スパッタリング法によりクロムからなる第１の中
間層を回転板上に形成し、その後、第１の中間層を形成
した回転板をターゲットと対向するように真空槽内に配
置し、真空槽内を排気した後、ガス導入口からアルゴン
ガスを真空槽内に導入し、スパッタリング法によりシリ
コン膜からなる第２の中間層を第１の中間層上に形成
し、硬質カーボン膜形成工程は、第２の中間層を形成し
た回転板を真空槽内に配置し、真空槽内部を排気した
後、ガス導入口から炭素を含むガスを真空槽内に導入
し、回転板に直流電圧を印加しアノードに直流電圧を印
加しフィラメントに交流電圧を印加してプラズマを発生
させて回転板の第２の中間層上に硬質カーボン膜を形成
する工程であることを特徴とする。

【００４８】本発明の混合水栓部材への被膜の形成方法
は、回転板上に中間層を形成する中間層形成工程と、こ
の中間層上に硬質カーボン膜を形成する硬質カーボン膜
形成工程とを有し、中間層形成工程が、ターゲットと対
向するように真空槽内に回転板を配置し、真空槽内を排
気した後、ガス導入口からアルゴンガスを真空槽内に導
入し、スパッタリング法によりクロムからなる第１の中
間層を回転板上に形成し、その後、第１の中間層を形成
した回転板をターゲットと対向するように真空槽内に配
置し、真空槽内を排気した後、ガス導入口からアルゴン
ガスを真空槽内に導入し、スパッタリング法によりシリ
コン膜からなる第２の中間層を第１の中間層上に形成
し、硬質カーボン膜形成工程は、第２の中間層を形成し
た回転板を真空槽内に配置し、真空槽内部を排気した
後、ガス導入口から炭素を含むガスを真空槽内に導入
し、回転板に高周波電圧を印加し、プラズマを発生させ
て回転板の第２の中間層上に硬質カーボン膜を形成する
工程であることを特徴とする。

【００４９】本発明の混合水栓部材への被膜の形成方法
は、回転板上に中間層を形成する中間層形成工程と、こ
の中間層上に硬質カーボン膜を形成する硬質カーボン膜
形成工程とを有し、中間層形成工程が、ターゲットと対
向するように真空槽内に回転板を配置し、真空槽内を排
気した後、ガス導入口からアルゴンガスを真空槽内に導
入し、スパッタリング法によりクロムからなる第１の中
間層を回転板上に形成し、その後、第１の中間層を形成
した回転板をターゲットと対向するように真空槽内に配
置し、真空槽内を排気した後、ガス導入口からアルゴン
ガスを真空槽内に導入し、スパッタリング法によりシリ
コン膜からなる第２の中間層を第１の中間層上に形成
し、硬質カーボン膜形成工程は、第２の中間層を形成し
た回転板を真空槽内に配置し、真空槽内部を排気した
後、ガス導入口から炭素を含むガスを真空槽内に導入
し、回転板に直流電圧を印加し、プラズマを発生させて
回転板の第２の中間層上に硬質カーボン膜を形成する工
程であることを特徴とする。

【００５０】本発明の混合水栓部材への被膜の形成方法
は、回転板上に中間層を形成する中間層形成工程と、こ
の中間層上に硬質カーボン膜を形成する硬質カーボン膜
形成工程とを有し、中間層形成工程が、ターゲットと対
向するように真空槽内に回転板を配置し、真空槽内を排
気した後、ガス導入口からアルゴンガスを真空槽内に導
入し、スパッタリング法によりチタンからなる第１の中
間層を回転板上に形成し、その後、第１の中間層を形成
した回転板をターゲットと対向するように真空槽内に配
置し、真空槽内を排気した後、ガス導入口からアルゴン
ガスを真空槽内に導入し、スパッタリング法によりシリ
コンカーバイト膜からなる第２の中間層を第１の中間層
上に形成し、硬質カーボン膜形成工程は、第２の中間層
を形成した回転板を真空槽内に配置し、真空槽内部を排
気した後、ガス導入口から炭素を含むガスを真空槽内に
導入し、回転板に直流電圧を印加しアノードに直流電圧
を印加しフィラメントに交流電圧を印加してプラズマを
発生させて回転板の第２の中間層上に硬質カーボン膜を
形成する工程であることを特徴とする。

【００５１】本発明の混合水栓部材への被膜の形成方法
は、回転板上に中間層を形成する中間層形成工程と、こ
の中間層上に硬質カーボン膜を形成する硬質カーボン膜
形成工程とを有し、中間層形成工程が、ターゲットと対
向するように真空槽内に回転板を配置し、真空槽内を排
気した後、ガス導入口からアルゴンガスを真空槽内に導
入し、スパッタリング法によりチタンからなる第１の中
間層を回転板上に形成し、その後、第１の中間層を形成
した回転板をターゲットと対向するように真空槽内に配
置し、真空槽内を排気した後、ガス導入口からアルゴン
ガスを真空槽内に導入し、スパッタリング法によりシリ
コンカーバイト膜からなる第２の中間層を第１の中間層
上に形成し、硬質カーボン膜形成工程は、第２の中間層
を形成した回転板を真空槽内に配置し、真空槽内部を排
気した後、ガス導入口から炭素を含むガスを真空槽内に
導入し、回転板に高周波電圧を印加し、プラズマを発生
させて回転板の第２の中間層上に硬質カーボン膜を形成
する工程であることを特徴とする。

【００５２】本発明の混合水栓部材への被膜の形成方法
は、回転板上に中間層を形成する中間層形成工程と、こ
の中間層上に硬質カーボン膜を形成する硬質カーボン膜
形成工程とを有し、中間層形成工程が、ターゲットと対
向するように真空槽内に回転板を配置し、真空槽内を排
気した後、ガス導入口からアルゴンガスを真空槽内に導
入し、スパッタリング法によりチタンからなる第１の中
間層を回転板上に形成し、その後、第１の中間層を形成
した回転板をターゲットと対向するように真空槽内に配
置し、真空槽内を排気した後、ガス導入口からアルゴン
ガスを真空槽内に導入し、スパッタリング法によりシリ
コンカーバイト膜からなる第２の中間層を第１の中間層
上に形成し、硬質カーボン膜形成工程は、第２の中間層
を形成した回転板を真空槽内に配置し、真空槽内部を排
気した後、ガス導入口から炭素を含むガスを真空槽内に
導入し、回転板に直流電圧を印加し、プラズマを発生さ
せて回転板の第２の中間層上に硬質カーボン膜を形成す
る工程であることを特徴とする。

【００５３】本発明の混合水栓部材への被膜の形成方法
は、回転板上に中間層を形成する中間層形成工程と、こ
の中間層上に硬質カーボン膜を形成する硬質カーボン膜
形成工程とを有し、中間層形成工程が、ターゲットと対
向するように真空槽内に回転板を配置し、真空槽内を排
気した後、ガス導入口からアルゴンガスを真空槽内に導
入し、スパッタリング法によりクロムからなる第１の中
間層を回転板上に形成し、その後、第１の中間層を形成
した回転板をターゲットと対向するように真空槽内に配
置し、真空槽内を排気した後、ガス導入口からアルゴン
ガスを真空槽内に導入し、スパッタリング法によりシリ
コンカーバイト膜からなる第２の中間層を第１の中間層
上に形成し、硬質カーボン膜形成工程は、第２の中間層
を形成した回転板を真空槽内に配置し、真空槽内部を排
気した後、ガス導入口から炭素を含むガスを真空槽内に
導入し、回転板に直流電圧を印加しアノードに直流電圧
を印加しフィラメントに交流電圧を印加してプラズマを
発生させて回転板の第２の中間層上に硬質カーボン膜を
形成する工程であることを特徴とする。

【００５４】本発明の混合水栓部材への被膜の形成方法
は、回転板上に中間層を形成する中間層形成工程と、こ
の中間層上に硬質カーボン膜を形成する硬質カーボン膜
形成工程とを有し、中間層形成工程が、ターゲットと対
向するように真空槽内に回転板を配置し、真空槽内を排
気した後、ガス導入口からアルゴンガスを真空槽内に導
入し、スパッタリング法によりクロムからなる第１の中
間層を回転板上に形成し、その後、第１の中間層を形成
した回転板をターゲットと対向するように真空槽内に配
置し、真空槽内を排気した後、ガス導入口からアルゴン
ガスを真空槽内に導入し、スパッタリング法によりシリ
コンカーバイト膜からなる第２の中間層を第１の中間層
上に形成し、硬質カーボン膜形成工程は、第２の中間層
を形成した回転板を真空槽内に配置し、真空槽内部を排
気した後、ガス導入口から炭素を含むガスを真空槽内に
導入し、回転板に高周波電圧を印加し、プラズマを発生
させて回転板の第２の中間層に硬質カーボン膜を形成す
る工程であることを特徴とする。

【００５５】本発明の混合水栓部材への被膜の形成方法
は、回転板上に中間層を形成する中間層形成工程と、こ
の中間層上に硬質カーボン膜を形成する硬質カーボン膜
形成工程とを有し、中間層形成工程が、ターゲットと対
向するように真空槽内に回転板を配置し、真空槽内を排
気した後、ガス導入口からアルゴンガスを真空槽内に導
入し、スパッタリング法によりクロムからなる第１の中
間層を回転板上に形成し、その後、第１の中間層を形成
した回転板をターゲットと対向するように真空槽内に配
置し、真空槽内を排気した後、ガス導入口からアルゴン
ガスを真空槽内に導入し、スパッタリング法によりシリ
コンカーバイト膜からなる第２の中間層を第１の中間層
上に形成し、硬質カーボン膜形成工程は、第２の中間層
を形成した回転板を真空槽内に配置し、真空槽内部を排
気した後、ガス導入口から炭素を含むガスを真空槽内に
導入し、回転板に直流電圧を印加し、プラズマを発生さ
せて回転板の第２の中間層上に硬質カーボン膜を形成す
る工程であることを特徴とする。

【００５６】本発明の混合水栓部材への被膜の形成方法
は、回転板との摺動面を粗面とした固定板の上に硬質カ
ーボン膜を形成する硬質カーボン膜形成工程を有し、硬
質カーボン膜形成工程は、固定板を真空槽内に配置し、
真空槽内を排気した後、ガス導入口から炭素を含むガス
を真空槽の内部に導入し、固定板に直流電圧を印加しア
ノードに直流電圧を印加しフィラメントに交流電圧を印
加してプラズマを発生させて固定板上に硬質カーボン膜
を形成する工程であることを特徴とする。

【００５７】本発明の混合水栓部材への被膜の形成方法
は、回転板との摺動面を粗面とした固定板の上に硬質カ
ーボン膜を形成する硬質カーボン膜形成工程を有し、硬
質カーボン膜形成工程は、固定板を真空槽内に配置し、
真空槽内を排気した後、ガス導入口から炭素を含むガス
を真空槽の内部に導入し、固定板に高周波電圧を印加
し、プラズマを発生させて固定板上に硬質カーボン膜を
形成する工程であることを特徴とする。

【００５８】本発明の混合水栓部材への被膜の形成方法
は、回転板との摺動面を粗面とした固定板上に硬質カー
ボン膜を形成する硬質カーボン膜形成工程を有し、硬質
カーボン膜形成工程は、固定板を真空槽内に配置し、真
空槽内を排気した後、ガス導入口から炭素を含むガスを
真空槽の内部に導入し、固定板に直流電圧を印加し、プ
ラズマを発生させて固定板上に硬質カーボン膜を形成す
る工程であることを特徴とする。

【００５９】本発明の混合水栓部材への被膜の形成方法
は、固定板との摺動面を粗面とした回転板の上に硬質カ
ーボン膜を形成する硬質カーボン膜形成工程を有し、硬
質カーボン膜形成工程は、回転板を真空槽内に配置し、
真空槽内を排気した後、ガス導入口から炭素を含むガス
を真空槽の内部に導入し、回転板に直流電圧を印加しア
ノードに直流電圧を印加しフィラメントに交流電圧を印
加してプラズマを発生させて回転板上に硬質カーボン膜
を形成する工程であることを特徴とする。

【００６０】本発明の混合水栓部材への被膜の形成方法
は、固定板との摺動面を粗面とした回転板の上に硬質カ
ーボン膜を形成する硬質カーボン膜形成工程を有し、硬
質カーボン膜形成工程は、回転板を真空槽内に配置し、
真空槽内を排気した後、ガス導入口から炭素を含むガス
を真空槽の内部に導入し、回転板に高周波電圧を印加
し、プラズマを発生させて回転板上に硬質カーボン膜を
形成する工程であることを特徴とする。

【００６１】本発明の混合水栓部材への被膜の形成方法
は、固定板との摺動面を粗面とした回転板上に硬質カー
ボン膜を形成する硬質カーボン膜形成工程を有し、硬質
カーボン膜形成工程は、回転板を真空槽内に配置し、真
空槽内を排気した後、ガス導入口から炭素を含むガスを
真空槽の内部に導入し、回転板に直流電圧を印加し、プ
ラズマを発生させて回転板上に硬質カーボン膜を形成す
る工程であることを特徴とする。

【００６２】〔作用〕本発明の混合水栓部材の固定板や
回転板は、基材上にシリコンカーバイト膜からなる中間
層を介して硬質カーボン膜とを設ける構造を採用する。
この中間層として用いるシリコンカーバイト膜は、硬質
カーボン膜を構成する炭素と同じ周期律表の第ＩＶｂ族
の元素であり、いずれもダイヤモンド構造を有する。こ
の結果、シリコンカーバイトと硬質カーボン膜とは共有
結合して、両被膜は高い密着力で結合させることができ
る。さらにシリコンカーバイト膜は、固定板や回転板の
基材を構成するセラミックス材料と良好な密着性で被膜
形成が可能である。

【００６３】このようにシリコンカーバイト膜を中間層
として用いる本発明の混合水栓部材である固定板と回転
板のバルブでは、硬質カーボン膜の剥離の発生がない。
したがって、硬質カーボン膜がもつ優れた特性である、
機械的強度が高く、摩擦係数が小さく、耐腐食性が良好
であることを充分に発揮でき、耐摩耗性が向上するとい
う効果を備えている。このため、混合水栓の長期使用に
対する信頼性を向上させることができる。

【００６４】さらに本発明の混合水栓部材の固定板や回
転板は、基材上に順次、チタン膜またはクロム膜からな
る第１の中間層と、シリコン膜またはシリコンカーバイ
ト膜からなる第２の中間層と、硬質カーボン膜とを設け
る構造を採用する。この第１の中間層であるチタンまた
はクロムは、固定板や回転板の構成材料であるセラミッ
クス材料と密着性よく形成することができるという特性
をもつ。

【００６５】さらに第２の中間層として用いるシリコン
膜またはシリコンカーバイト膜は、つぎに記載するよう
な優れた特性を有する。すなわちシリコンおよびシリコ
ンカーバイトを構成するシリコンと炭素は、ともに周期
律表の第ＩＶｂ族の元素であり、しかも硬質カーボン膜
は炭素で構成されている。このようにシリコンカーバイ
トと硬質カーボン膜とは、同じ周期律表の第ＩＶｂ族の
元素で構成され、いずれもダイヤモンド構造を有する。
この結果、シリコンカーバイト膜と硬質カーボン膜とは
共有結合して、両被膜は高い密着力で結合する。そのう
え第１の中間層であるチタンやクロムと、第２の中間層
であるシリコンやシリコンカーバイトとは、良好な密着
性で被膜形成することができる。

【００６６】このようにシリコン膜やシリコンカーバイ
ト膜を第２の中間層として用いる本発明の混合水栓部材
である固定板と回転板のバルブでは、硬質カーボン膜の
剥離の発生がない。したがって、硬質カーボン膜がもつ
優れた特性である、機械的強度が高く、摩擦係数が小さ
く、耐腐食性が良好であることを充分に発揮でき、耐摩
耗性が向上するという効果を備えている。このため、混
合水栓の長期使用に対する信頼性を向上させることがで
きる。

【００６７】さらにまた本発明の混合水栓部材の固定板
や回転板は、その表面を粗面とし、硬質カーボン膜を設
けている。その表面が粗面の固定板や回転板に硬質カー
ボン膜を被膜形成すると、凹凸面にならって硬質カーボ
ン膜を形成することができ、碇で船をつなぎ止めるよう
に、アンカー効果によって、基材表面に硬質カーボン膜
を強固に密着させて形成することができる。

【００６８】このように基材表面を粗面とする本発明の
混合水栓部材である固定板と回転板のバルブにおいて
は、硬質カーボン膜の剥離の発生がない。したがって、
硬質カーボン膜がもつ優れた特性である、機械的強度が
高く、摩擦係数が小さく、耐腐食性が良好であることを
充分に発揮でき、耐摩耗性が向上するという効果を備え
ている。このため本発明では、混合水栓の長期使用に対
する信頼性を向上させることができる。

【００６９】

【発明の実施の形態】以下、図面を用いて本発明を実施
するための最良の実施形態における混合水栓部材の構造
と、この混合水栓部材への中間層と硬質カーボン膜の被
膜形成方法とを説明する。本発明の実施形態における混
合水栓部材の構造と、この混合水栓部材への硬質カーボ
ン膜の形成方法を説明するまえに、この混合水栓部材を
適用する混合水栓構造を示す図４と図５と図６を用い
て、混合水栓の構成を説明する。図４は混合水栓の一部
を破断し混合水栓の構造を示す正面からの断面図であ
り、図５は混合水栓の一部を破断し混合水栓の構造を示
す側面からの断面図であり、図６は混合水栓部材を構成
する回転板と固定板からなるバルブを示し回転板の厚さ
方向の途中で切断した状態を示す断面図である。以下、
図４と図５と図６とを交互に参照して説明する。

【００７０】〔混合水栓の構成説明：図４，図５，図
６〕混合水栓は、冷水供給源５３と熱水供給源５４を三
角形の底辺として、その頂点に位置する。そして本発明
の対象とする固定板１１と回転板１２とは、混合水栓本
体３０の下辺部近傍に配置している。さらに混合水栓本
体３０の底面には、熱水通路３５に連絡する開口３０ａ
と、冷水通路３４に連絡する開口３０ｂと、混合水吐出
口２２に連絡する開口３０ｃとを設ける。混合水栓本体
３０の上方は開口しており、この上方開口には回動蓋２
７を配置する。

【００７１】さらに混合水栓本体３０の内側領域には、
カートリッジケース１６を配置している。このカートリ
ッジケース１６は底面を有する円筒形状を有する。そし
てカートリッジケース１６は、その上端にネジを用いて
固定する押え片１７にて押圧し、しかも混合水栓本体３
０内部でカートリッジケース１６が移動しないように構
成している。

【００７２】さらにカートリッジケース１６底面部に
は、熱水の通過する開口３０ａと重なる領域に熱水通過
口１６ａと、冷水の通過する開口３０ｂと重なる領域冷
水通過口１６ｂと、混合水が吐出される開口３０ｃと重
なる領域に混合水通過口１６ｃとを、それぞれ設ける。
またさらに熱水通過口１６ａと冷水通過口１６ｂと混合
水通過口１６ｃには、混合水栓本体３０内底面と、カー
トリッジケース１６底面部と、固定板１１とをシールす
る役割をもつパッキング３１をはめ込むように設ける。

【００７３】固定板１１は、カートリッジケース１６の
内径寸法よりわずかに小さな外径寸法をもつ円盤状の形
状を有し、アルミナやジルコニア材料からなるセラミッ
クスで構成する。そして固定板１１は、カートリッジケ
ース１６の内底面に重なるように収納する。さらにピン
３６（図５参照）を固定板１１とカートリッジケース１
６とに跨るように装着して、固定板１１を回転しないよ
うに固定する。

【００７４】この固定板１１には、熱水通過口１６ａと
重なる領域に熱水流入口１１ａと、冷水通過口１６ｂと
重なる領域に冷水流入口１１ｂと、混合水通過口１６ｃ
と重なる領域に混合水流出口１１ｃとを、それぞれ設け
る。

【００７５】さらに固定板１１の外径寸法よりやや小さ
な外径寸法をもつ回転板板１２を、固定板１１に重ねる
ように配置する。この回転板１２もアルミナやジルコニ
ア材料からなるセラミックスで形成する。そしてこの固
定板１１と回転板１２とによってバルブ３３を構成す
る。このため固定板１１と回転板１２とがお互いに摺動
して回転する面側は、表面あらさを表面あらさＲａ＝
０．０５μｍ〜０．５μｍと小さくする。この表面あら
さを小さくするために、回転板１２と固定板１１とは、
その表面の研磨加工を行っている。あるいは固定板１１
と回転板１２とがお互いに摺動して回転する面側の表面
あらさを、表面あらさがＲａ＝２．０μｍ〜５．０μｍ
程度の粗面とする構成のものもある。

【００７６】なおバルブ３３を構成する回転板１２と固
定板１１とは、カートリッジケース１６に収納されてい
るため補修点検のときは、混合水栓本体３０から取り出
すだけでよいので、簡単に分解組立を行うことができる
ので便利である。

【００７７】回転板１２は、固定板１１に設ける熱水流
入口１１ａと冷水流入口１１ｂのうちいずれか一方ある
いは両方を開口して、流体を混合水流出口１１ｃに吐出
する役割をもつ混合室１２ａを設ける。回転板１２の混
合室１２ａは、図６に示すように、円弧状の湾曲部１２
ｂと、熱水流入口１１ａと冷水流入口１１ｂの形状とほ
ぼ同じ形状の突出部１２ｃとを有する。さらに突出部１
２ｃの近傍には、湾曲部１２ｂよりやや径が大きな円弧
部１２ｄを設ける。

【００７８】そしてこの回転板１２の回転によって、熱
水流入口１１ａと冷水流入口１１ｂのうちいずれか一方
あるいは両方を開口して、混合室１２ａが熱水や冷水の
通路となる。ここで回転板１２の回転運動においては、
熱水流入口１１ａと冷水流入口１１ｂの通水面積の和を
一定値に保ったまま、熱水流入口１１ａと冷水流入口１
１ｂの通水面積をそれぞれ一次的に変化させるようにな
っている。

【００７９】さらに回転板１２の上面には溝部１２ｅを
設ける。そしてこの溝部１２ｅをスピンドル軸１８下端
部に設ける円板１８ａの保持片１８ｂと係合する。なお
溝部１２ｅの形状は四角形や六角形とし、保持片１８ｂ
の形状は溝部１２ｅの四角形や六角形に合致するように
して、スピンドル軸１８の回転によって回転板１２が回
転するように構成している。

【００８０】スピンドル軸１８上端は、回動蓋２７内部
に形成したスプラインまたはセレーションの噛合部１８
ｃに噛み合う。さらにスピンドル軸１８の円板１８ａと
支持体２１とのあいだには、樹脂材料からなるスリップ
ワッシャ２０を設ける。またさらにカートリッジケース
１６の内側にネジ固定によって押え片２６を設け、支持
体２１と回転板１２とを、カートリッジケース１６底面
方向に押圧保持している。

【００８１】さらに支持体２１の上端部には、所定の角
度を有する切欠部２１ａを設けている。この切欠部２１
ａに、スピンドル軸１８に固着した止めピン２５が係止
し、レバーハンドル２８を一定角度以上回転しないよう
に規制している。

【００８２】またさらに支持体２１には、この支持体２
１自身を回転しないようにする役割をもつ係止ピン３２
（図５参照）を設けている。この係止ピン３２によっ
て、カートリッジケース１６に支持体２１を固定してい
る。

【００８３】回動蓋２７は、混合水栓本体３０上面に開
放部分を覆うように配置する。そしてスピンドル軸１８
上端に止めビス１９を用いてスピンドル軸１８と回動蓋
２７とを一体的に固着している。さらに回動蓋２７の側
面部にはレバーハンドル２８をネジ固着している。さら
にまた回動蓋２７の上面部には、操作方法を表示する表
示板２９を設ける。

【００８４】そして混合水吐出口２２からの混合水は、
混合水栓本体３０に回転自在に取り付ける吐出金具２３
を通過して散水筒２４から流出する。

【００８５】つぎにこの図４ないし図６を使用して説明
した混合水栓の混合水栓部材における本発明の実施形態
を説明する。まずはじめに図１を用いて本発明の最適な
実施形態における混合水栓部材の構造を説明する。図１
は、本発明の混合水栓部材である固定板１１と回転板１
２を示す断面図である。本発明では、固定板１１と回転
板１２とのいずれか一方か、あるいは固定板１１と回転
板１２との両方に被膜形成する。そこで以下の実施形態
の説明では、固定板１１に被膜形成する例で説明する。

【００８６】〔本発明の混合水栓部材の第１の実施形
態：図１〕図１に示すように、混合水栓部材である固定
板１１は、回転板１２と摺動する基材上に、シリコンカ
ーバイト（ＳｉＣ）からなる中間層１３を設ける。この
中間層１３膜厚は０．５μｍ程度に設ける。このとき回
転板１２と摺動する固定板１１表面は、好ましくは研磨
加工を行い表面あらさを小さくする。あるいは、回転板
１２と摺動する固定板１１表面は粗面とする構造を採用
してもよい。さらにこの中間層１３の上面に硬質カーボ
ン膜１５を設ける。この硬質カーボン膜１５は、その用
途によってその膜厚は調整すればよく、一般的には１μ
ｍから５μｍ程度に設ける。

【００８７】この中間層１３であるシリコンカーバイト
は、固定板１１の構成材料であるアルミナやジルコニア
のセラミックス材料と密着性よく形成することができる
という特性をもつ。

【００８８】さらに第１の実施形態の中間層１３として
用いるシリコンカーバイト膜は、つぎに記載するような
特性を有する。すなわちシリコンカーバイトを構成する
シリコンと炭素は、ともに周期律表の第ＩＶｂ族の元素
であり、しかも硬質カーボン膜１５は炭素で構成されて
いる。このようにシリコンカーバイトと硬質カーボン膜
とは、同じ周期律表の第ＩＶｂ族の元素で構成され、い
ずれもダイヤモンド構造を有する。この結果、シリコン
カーバイトと硬質カーボン膜とは共有結合して、両被膜
は高い密着力で結合させることができる。

【００８９】このために本発明の混合水栓においては、
優れた密着性で固定板１１に硬質カーボン膜１５を被膜
形成することができ、硬質カーボン膜１５の剥離現象は
発生しない。したがって、硬質カーボン膜がもつ優れた
特性である、機械的強度が高く、摩擦係数が小さく、耐
腐食性が良好であることを充分に発揮でき、耐摩耗性が
向上するという効果を備えている。このため、混合水栓
部材の長期使用に対する信頼性を向上させることができ
る。

【００９０】〔本発明の混合水栓部材の第２の実施形
態：図２〕つぎに本発明の第２の実施形態における混合
水栓部材の構造を説明する。図２に示すように、混合水
栓部材である固定板１１の回転板１２と摺動する基材上
面に、第１の中間層１３ａとしてチタン（Ｔｉ）を設け
る。この第１の中間層１３ａ膜厚は０．５μｍ程度に設
ける。このとき回転板１２と摺動する固定板１１表面
は、好ましくは研磨加工を行い表面あらさを小さくす
る。あるいは、回転板１２と摺動する固定板１１表面は
粗面とする構成を採用してもよい。さらにこの第１の中
間層１３ａ上面に、シリコンカーバイト（ＳｉＣ）から
なる第２の中間層１３ｂを設ける。この第２の中間層１
３ｂ膜厚も０．５μｍ程度に設ける。

【００９１】さらにこの第２の中間層１３ｂ上面に硬質
カーボン膜１５を設ける。この硬質カーボン膜１５は、
その用途によって膜厚は調整すればよく、一般的には１
μｍから５μｍ程度に設ける。

【００９２】このように本発明の第２の実施形態におけ
る混合水栓部材の固定板１１には、基材上に順次、チタ
ンからなる第１の中間層１３ａと、シリコンカーバイト
からなる第２の中間層１３ｂと、硬質カーボン膜１５と
を設ける構造を採用する。

【００９３】この第１の中間層１３ａであるチタンは、
固定板１１の構成材料であるアルミナやジルコニアなど
のセラミックス材料と密着性よく形成することができる
という特性をもつ。

【００９４】さらに第２の中間層１３ｂとして用いるシ
リコンカーバイト膜は、つぎに記載するような特性を有
する。すなわちシリコンカーバイトを構成するシリコン
と炭素は、ともに周期律表の第ＩＶｂ族の元素であり、
しかも硬質カーボン膜１５は炭素で構成されている。こ
のようにシリコンカーバイトと硬質カーボン膜は、同じ
周期律表の第ＩＶｂ族の元素で構成され、いずれもダイ
ヤモンド構造を有する。この結果、シリコンカーバイト
と硬質カーボン膜とは共有結合して、両被膜は高い密着
力で結合させることができる。さらにまた第１の中間層
１３ａであるチタンと第２の中間層１３ｂのシリコンカ
ーバイトとは、良好な密着性で被膜形成することができ
る。

【００９５】このために本発明の混合水栓は、優れた密
着性で固定板１１に硬質カーボン膜１５を被膜形成する
ことができ、硬質カーボン膜１５が剥離するという現象
は発生しない。したがって、硬質カーボン膜がもつ優れ
た特性である、機械的強度が高く、摩擦係数が小さく、
耐腐食性が良好であることを充分に発揮でき、耐摩耗性
が向上するという効果を備えている。このため、混合水
栓部材の長期使用に対する信頼性を向上させることがで
きる。

【００９６】〔本発明の混合水栓部材の第３の実施形
態：図３〕つぎに本発明の第３の実施形態における混合
水栓部材の構造を説明する。図３に示すように、混合水
栓部材である固定板１１は、回転板１２と摺動する基材
表面を粗面とし、この粗面の基材上面に硬質カーボン膜
１５を設ける。この硬質カーボン膜１５は、その用途に
よってその膜厚は調整すればよく、一般的には１μｍか
ら５μｍ程度に設ける。

【００９７】この第３の実施形態の混合水栓部材の固定
板１１は、その表面を粗面とし、硬質カーボン膜１５を
設けている。固定板１１の表面あらさはＲａ＝２．０μ
ｍ〜５．０μｍの粗面とする。その表面が粗面の固定板
１１に硬質カーボン膜１５を被膜形成すると、凹凸面に
ならって硬質カーボン膜１５を形成することができ、碇
で船をつなぎ止めるように、アンカー効果によって、基
材に硬質カーボン膜１５を高い密着力で形成できる。

【００９８】このように基材表面を粗面とする本発明の
混合水栓部材である固定板１１と回転板１２のバルブに
おいては、硬質カーボン膜１５が剥離するという現象は
発生しない。したがって、硬質カーボン膜がもつ優れた
特性である、機械的強度が高く、摩擦係数が小さく、耐
腐食性が良好であることを充分に発揮でき、耐摩耗性が
向上するという効果を備えている。このため、混合水栓
の長期使用に対する信頼性を向上させることができる。

【００９９】〔本発明と従来技術の混合水栓部材の耐摩
耗性試験：図１１〕ここで本発明の構造の混合水栓部材
と従来技術の構造の混合水栓部材との耐摩耗性を、摩耗
試験機で比較した結果を示す。ここで使用する摩耗試験
機は、スガ試験機株式会社の商品名ＮＵＳ−ＩＳＯ−２
を使用して摩耗試験を行った。この摩耗試験機の構成
を、図１１を用いて説明する。図１１は摩耗試験機を示
す側面図である。

【０１００】図１１に示すように、被膜形成した試験片
９２を、その被膜形成面側を下向きにして試験片押え板
９４と試験片押えネジ９５とで、試験片取付台９３の開
口部に固定する。さらに摩耗輪９１に研磨紙（図示せ
ず）を貼り付ける。さらに摩耗輪９１に、図示しない天
秤機構を用いて、研磨紙を試験片９２に押しつけるよう
な上向きの荷重を加える。

【０１０１】さらに試験片取付台９３を、図示しないモ
ーターの回転運動を往復運動させる機構によって往復運
動させ、さらに摩耗輪９１は試験片取付台９３の１往復
ごとに角度０．９゜ずつ回転させる。このため試験片９
２は駆動輪９１に貼りつけた研磨紙の摩耗していない新
しい領域につねに接触することになる。さらに往復回数
は自動設定することができ、設定した回数で摩耗試験機
は自動停止する。

【０１０２】ここで用いた被膜構成は、本発明は第１の
中間層１３ａはチタン、第２の中間層１３ｂはシリコン
カーバイト膜をそれぞれ形成し、この第２の中間層１３
ｂ上に硬質カーボン膜１５を設けた。これと比較する従
来技術の被膜構成は、表面研磨加工を行い表面あらさＲ
ａ＝０．０５μｍ〜０．５μｍの基材上に直接硬質カー
ボン膜１５を設けた。中間層の膜厚は、第１の中間層１
３ａと第２の中間層１３ｂとのいずれも０．５μｍとし
た。さらに硬質カーボン膜１５膜厚は１．０μｍとし、
本発明、従来技術とも同一の膜厚とした。そしてこれら
の被膜は、試験片９２として板厚が１ｍｍで、表面を研
磨仕上げしたアルミナのセラミックスに形成した。

【０１０３】さらに摩耗輪９１に貼りつける研磨紙は、
メッシュ６００番のＳｉＣを用い、この研磨紙と試験片
９２との接触荷重は８３０ｇとし、さらに試験片取付台
９３の往復運動回数は２００回の条件として、本発明と
従来技術との被膜の摩耗試験を行った。

【０１０４】その摩耗試験の結果は、本発明の被膜構造
の試験片９２では、被膜の剥離はほとんど発生せず、硬
質カーボン膜１５の表面状態は変化なかった。これにた
いして従来技術の被膜構造の試験片９２では、被膜の剥
離が発生し試験片９２表面のセラミックスの白色が肉眼
で観察することができ、硬質カーボン膜１５が剥離して
いることがわかった。

【０１０５】本発明と従来技術との被膜構造の相違点
は、第１の中間層１３ａと第２の中間層１３ｂを介し
て、硬質カーボン膜１５を形成している点である。これ
らの中間層を設けることによって、本発明の固定板１１
を用いる混合水栓では被膜の耐摩耗性が向上している。

【０１０６】さらに図１に示すシリコンカーバイト膜か
らなる中間層１３を介して硬質カーボン膜１５を設ける
構造、および図３に示す表面を粗面とし、その粗面上に
硬質カーボン膜を設ける構造においても、前述した摩耗
試験とほぼ同等の結果が得られ、被膜の剥離はほとんど
発生せず、硬質カーボン膜１５の表面状態は変化なかっ
た。このように図１、図２、および図３に示す本発明の
混合水栓部材においては、従来技術と比較して、混合水
栓部材の長期使用に対する信頼性を向上させることがで
きる。

【０１０７】〔本発明と従来技術の混合水栓部材の引っ
かき試験：図１２〕さらに被膜の機械的性質を引っかき
試験を行うことにより評価した。この引っかき試験に使
用した測定機は、HEIDON−14型の表面性測定機を使用し
た。この表面性測定機を使用した引っかき試験では、引
っかき時に生じる抵抗力を測定することによって、被膜
の表面物性を評価できるという特性を備えている。

【０１０８】そして以下に記載する４種類の試料を作成
して、前述の表面性測定機を使用して被膜の表面物性を
評価した。その試料は、（Ａ）アルミナセラミックスの基材（表面は研磨加
工）−硬質カーボン膜（Ｂ）アルミナセラミックスの基材（表面は研磨加
工）−チタンカーバイト（ＴｉＣ）−硬質カーボン膜（Ｃ）アルミナセラミックスの基材（表面は研磨加
工）−チタン−シリコン−硬質カーボン膜（Ｄ）アルミナセラミックスの基材（表面は研磨加
工）−チタン−シリコンカーバイト−硬質カーボン膜の４つである。そして硬質カーボン膜の膜厚はいずれの
試料とも１．０μｍとし、チタンカーバイトとチタンと
シリコンとシリコンカーバイトの中間層の膜厚はいずれ
の試料とも０．５μｍとした。

【０１０９】表面性測定機を使用した被膜の表面物性の
測定は、先端角度が９０゜で先端曲率半径が５０μｍの
ダイヤモンド圧子を使用し、引っかき速度は３０ｍｍ／
分とし、引っかき荷重は１０ｇｒから３００ｇｒまで１
０ｇｒおきに変化させた。この測定結果である引っかき
荷重と引っかき抵抗値との関係を、図１２のグラフに示
す。なおこの図１２のグラフは、引っかき荷重は１０ｇ
ｒとびに加え、そのときの引っかき抵抗値の抵抗力を測
定してプロットし、その平均値を直線で近似してグラフ
化している。

【０１１０】図１２のグラフは、縦軸に引っかき抵抗値
である抵抗力を示し、横軸に引っかき荷重を示す。そし
て曲線９６が試料（Ａ）の測定結果を示し、曲線９７が
試料（Ｂ）の測定結果を示し、曲線９８が試料（Ｃ）の
測定結果を示し、曲線９９が試料（Ｄ）の測定結果をそ
れぞれ示す。

【０１１１】この図１２から明らかなように、引っかき
荷重がある値以上になると抵抗力が急激に変化してい
る。このように特性曲線に変曲点が発生する現象は、こ
の変曲点以下の臨界荷重では、圧子は単なる摩擦流動を
示し、荷重の増加とともに直線的に引っかき抵抗値が増
加していくが、臨界荷重以上になると、セラミックス基
板上に形成した被膜に亀裂が発生しているためと考えて
いる。そして発生した亀裂のために、引っかき抵抗値は
急激な増加を示し、摩擦係数が増大する。

【０１１２】このように図１２の特性曲線の変曲点であ
る臨界荷重で、基板にたいする被膜の密着力を評価する
ことができる。そして図１２に示すように、曲線９６の
従来技術の基板上に直接硬質カーボン膜を形成した試料
（Ａ）は臨界荷重８０ｇｒである。これにたいして本発
明の実施形態の被膜構造の曲線９８の試料（Ｃ）は臨界
荷重１８０ｇｒであり、曲線９９の試料（Ｄ）は臨界荷
重２３０ｇｒである。すなわち本発明の実施形態の混合
水栓では、従来技術より２倍以上の密着力を有している
ことがわかる。なお曲線９７の試料（Ｂ）は、試料
（Ａ）と試料（Ｃ）の中間の特性を示している。

【０１１３】本発明の実施形態と従来技術との被膜構造
の相違点は、チタンまたはクロムからなる第１の中間層
１３ａと、シリコンまたはシリコンカーバイトからなる
第２の中間層１３ｂを介して、硬質カーボン膜１５を形
成している点である。これらの中間層を設けることによ
って、本発明の固定板１１を用いる混合水栓では被膜の
密着性が向上している。

【０１１４】さらに図１に示すシリコンカーバイト膜か
らなる中間層１３を介して硬質カーボン膜１５を設ける
構造は曲線９９と曲線９８との中間の特性が得られ、さ
らに図３に示す表面を粗面とし、その粗面上に硬質カー
ボン膜を設ける構造では曲線９８と曲線９７との中間の
特性が得られた。このように図１、図２、および図３に
示す本発明の混合水栓部材では、被膜の密着性が向上し
ている。このように本発明の混合水栓部材においては、
従来技術と比較して、混合水栓部材の長期使用に対する
信頼性を向上させることができる。

【０１１５】さらに本発明の固定板１１表面に設ける硬
質カーボン膜１５は、以下に箇条書きするような優れた
特性を備えている。（イ）表面平滑性に優れている。このため固定板１１
と回転板１２との摺動を滑らかに行うことができる。（ロ）摩擦係数が小さい。硬質カーボン膜の摩擦係数
は０．１程度であり、上記（イ）と相まって回転トルク
を小さくすることができ、軽く滑らかなレバーハンドル
の動作が可能となる。従来は摺動する回転板と固定板と
のあいだに潤滑材を塗布して回転トルクを小さくしてい
た。本発明では、潤滑材を使用しなくても回転トルクを
小さくできる。さらに潤滑材が熱水や冷水や混合水に混
入することもない。（ハ）硬度が高い。ビッカース硬度Ｈｖ＝４０００と
硬質カーボン膜は高硬度であり、耐摩耗性が飛躍的に向
上する。

【０１１６】以上説明した第２の実施形態の説明におい
ては第１の中間層１３ａとしてチタンを適用し、第２の
中間層１３ｂとしてシリコンカーバイトを適用する場合
で記載したが、第１の中間層１３ａとしてクロム（Ｃ
ｒ）を、第２の中間層１３ｂとしてシリコン（Ｓｉ）
を、それぞれ適用することができる。そしてこのとき
も、前述と同じ理由によって、硬質カーボン膜１５の剥
離は発生せず、硬質カーボン膜１５を密着性よく被膜形
成することができる。このため混合水栓の長期使用にた
いする信頼性を向上させることができる。

【０１１７】〔本発明の中間層の形成方法の実施形態：
図７および図２〕つぎに以上説明した被膜構造を形成す
るための中間層と硬質カーボン膜との被膜形成方法を説
明する。はじめに図７を用いて第１の中間層と第２の中
間層との中間層の形成方法を説明する。図７は本発明の
実施形態における中間層の形成方法を示す断面図であ
る。以下、中間層形成装置を示す図７と固定板を示す図
２とを交互に参照して説明する。

【０１１８】図７に示すように、真空槽６１の壁面近傍
に、ターゲットカバー５５ａを周囲に設け、第１の中間
層１３ａ材料であるチタン材料からなるターゲット５５
を配置する。そしてこのターゲット５５に対向するよう
に、第１の中間層１３ａを形成する固定板１１を配置す
る。この固定板１１は直流電源７３に接続する。さらに
ターゲット５５はターゲット電源５７に接続する。

【０１１９】そして図示しない排気手段により真空槽６
１内を真空度が３×１０^-5ｔｏｒｒ以下になるように、
排気口６５から真空排気する。その後、ガス導入口６３
からスパッタガスとしてアルゴン（Ａｒ）ガスを導入し
て、真空槽６１内の真空度が３×１０^-3ｔｏｒｒになる
ように調整する。

【０１２０】さらにその後、固定板１１には直流電源７
３からマイナス５０Ｖの直流負電圧を印加する。またタ
ーゲット５５にはターゲット電源５７からマイナス５０
０Ｖから６００Ｖの直流電圧を印加する。すると真空槽
６１内部にはプラズマが発生し、プラズマ中のイオンに
よってターゲット５５表面をスパッタする。そしてこの
ターゲット５５表面から叩きだされたチタンの第１の中
間層１３ａ材料は、固定板１１に付着してチタン膜から
なる中間層１３ａを、固定板１１表面に形成することが
できる。このチタン膜からなる中間層１３ａは、０．５
μｍ程度の膜厚で形成する。このとき、固定板１１は開
口領域で保持して第１の中間層１３ａを形成するとよ
い。

【０１２１】この第１の中間層１３ａとして形成するチ
タンは、固定板１１基材のセラミックス材料と密着性よ
く形成することができる。なおこの第１の中間層１３ａ
としては、クロム（Ｃｒ）も先述にように適用でき、こ
のチタンと同じ働きをもつ。

【０１２２】この第１の中間層１３ａ上面に形成する第
２の中間層１３ｂの形成方法は、第１の中間層１３ａの
被膜形成方法と同じ方法で形成することができ、ただタ
ーゲット５５をシリコン（Ｓｉ）と炭素（Ｃ）との１対
１の合金材料で構成して、被膜形成する。このシリコン
カーバイト膜からなる中間層１３ｂの形成膜厚として
は、０．５μｍ程度に形成する。このシリコンカーバイ
トからなる第２の中間層１３ｂは、第１の中間層１３ａ
および硬質カーボン膜１５と高い密着性をもって形成す
ることができる。このとき、固定板１１の開口領域で保
持して、第２の中間層１３ｂを形成する。この第２の中
間層１３ｂとしてはシリコンも適用することができ、こ
のシリコンカーバイト膜と同じ働きを有する。

【０１２３】さらにシリコンカーバイト膜からなる第２
の中間層１３ｂの形成としては、さきに説明したよう
に、ターゲット５５をシリコン（Ｓｉ）と炭素（Ｃ）と
の１対１の合金材料で構成して、被膜形成するほかに以
下に記載の方法もある。ターゲット５５をシリコン（Ｓ
ｉ）で構成し、そしてガス導入口６３から炭素を含むガ
スとしてメタン（ＣＨ4 ）を導入し、ターゲット５５か
ら叩き出されたシリコンと、メタン（ＣＨ4 ）ガスの炭
素とを反応させる反応性スパッタリング法によりシリコ
ンカーバイト膜からなる第２の中間層１３ｂを形成する
こともできる。

【０１２４】図１に示すシリコンカーバイト膜からなる
中間層１３の形成方法は、さきに説明した第２の中間層
１３ｂと同じ方法で形成することが可能であるので、そ
の被膜形成の説明は省略する。

【０１２５】〔本発明の実施形態の硬質カーボン膜形成
方法の説明：図８から図１０〕つぎにこの第１の中間層
１３ａと第２の中間層１３ｂとを形成した固定板１１へ
の硬質カーボン膜の形成方法を、図８と図９と図１０と
を用いて説明する。つまり本発明の実施形態における硬
質カーボン膜の形成手段としては３つの手段がある。

【０１２６】〔本発明の実施形態の硬質カーボン膜形成
の第１の例：図８および図２〕はじめに図８を用いて硬
質カーボン膜の形成方法を説明する。図８は本発明の実
施形態における混合水栓部材への硬質カーボン膜の形成
方法を示す断面図である。以下、硬質カーボン膜を形成
するための装置を示す図８と、固定板を示す図２とを交
互に参照して説明する。

【０１２７】図８に示すように、ガス導入口６３と排気
口６５とを有する真空槽６１内に、中間層を形成し、そ
の上面に硬質カーボン膜を形成する固定板１１を配置す
る。そして真空槽６１内を真空度が３×１０^-5ｔｏｒｒ
以下になるように、図示しない排気手段によって排気口
６５から真空排気する。その後、ガス導入口６３から炭
素を含むガスとしてベンゼン（Ｃ6 Ｈ6 ）を真空槽６１
内に導入して、真空槽６１内の圧力を５×１０^-3ｔｏｒ
ｒになるように制御する。

【０１２８】その後、固定板１１には直流電源７３から
直流電圧を印加し、さらにアノード７９にはアノード電
源７５から直流電圧を印加し、さらにフィラメント８１
にはフィラメント電源７７から交流電圧を印加する。

【０１２９】このとき直流電源７３から固定板１１に印
加する直流電圧はマイナス３ｋＶを印加し、さらにアノ
ード電源７５からアノード７９に印加する直流電圧はプ
ラス５０Ｖを印加する。さらにフィラメント電源７７か
らフィラメント８１に印加する電圧は３０Ａの電流が流
れるように１０Ｖの交流電圧を印加する。すると真空槽
６１内部の固定板１１の周囲領域にプラズマが発生し
て、固定板１１に硬質カーボン膜を形成している。硬質
カーボン膜１５の形成膜厚は１μｍから５μｍとする。
この硬質カーボン膜１５を形成するときも、固定板１１
の開口領域を保持して被膜形成する。

【０１３０】〔本発明の実施形態の硬質カーボン膜形成
の第２の例：図９および図２〕つぎに以上の説明と異な
る実施形態における中間層を形成した混合水栓部材への
硬質カーボン膜の形成方法を、図９を用いて説明する。
図９は本発明の実施形態における硬質カーボン膜の形成
方法を示す断面図である。以下、図９と図２とを交互に
用いて混合水栓部材への硬質カーボン膜の形成方法を説
明する。

【０１３１】図９に示すように、ガス導入口６３と排気
口６５とを有する真空槽６１内に、中間層を形成し、そ
の上面に硬質カーボン膜を形成する固定板１１を配置す
る。そしてさらに真空槽６１の内部を図９に図示しない
排気手段によって、真空度が３×１０^-5ｔｏｒｒ以下に
なるように、排気口６５から真空排気する。その後、ガ
ス導入口６３から炭素を含むガスとしてメタンガス（Ｃ
Ｈ4 ）を真空槽６１の内部に導入して、真空度を０．１
ｔｏｒｒになるように調整する。

【０１３２】そしてこの固定板１１には、発振周波数が
１３．５６ＭＨｚを有する高周波電源６９から高周波電
圧を、マッチング回路６７を介して印加する。このとき
プラズマは、固定板１１の外周部に発生しているので、
固定板１１表面に硬質カーボン膜１５を形成することが
できる。

【０１３３】〔本発明の実施形態の硬質カーボン膜形成
の第３の例：図１０および図２〕つぎに以上の説明と異
なる実施形態における混合水栓部材の中間層上面への硬
質カーボン膜の形成方法を、図１０を用いて説明する。
図１０は本発明の実施形態における硬質カーボン膜の形
成方法を示す断面図である。以下、図１０と図２とを交
互に用いて混合水栓部材への硬質カーボン膜の形成方法
を説明する。

【０１３４】図１０に示すように、ガス導入口６３と排
気口６５とを有する真空槽６１内部に、硬質カーボン膜
を形成する固定板１１を配置する。そして排気口６５か
ら真空槽６１内を、真空度が３×１０^-5ｔｏｒｒ以下に
なるように、図示しない排気手段によって真空排気す
る。その後、ガス導入口６３から炭素を含むガスとして
メタンガス（ＣＨ4 ）を真空槽６１内に導入し、真空度
を０．１ｔｏｒｒになるように調整する。

【０１３５】そしてこの固定板１１には、直流電源７３
からマイナス６００Ｖの直流電圧を印加して、プラズマ
を発生させる。このときプラズマは、固定板１１の外周
部に発生しているので、固定板１１の表面に硬質カーボ
ン膜１５を形成することができる。

【０１３６】さらに図１に示すシリコンカーバイトから
なる中間層１３を介して硬質カーボン膜１５を形成する
方法、および図３に示す表面を粗面とし、その粗面上に
硬質カーボン膜１５を形成する方法においても、前述の
硬質カーボン膜の被膜形成方法を適用すればよい。

【０１３７】なお図８から図１０を用いて説明した本発
明の硬質カーボン膜１５の形成方法における実施形態の
説明においては、炭素を含むガスとしてメタンガスやベ
ンゼンガスを用いる実施形態で説明したが、メタン以外
にエチレンなどの炭素を含むガスや、あるいはヘキサン
などの炭素を含む液体の蒸発蒸気も使用することができ
る。

【０１３８】また図７を用いて説明した実施形態におけ
る第１の中間層１３ａと第２の中間層１３ｂや中間層１
３の被膜形成において、膜厚の均一性を向上させるため
に、混合水栓部材の固定板１１を回転させてもよい。

【０１３９】さらに図７から図１１を用いて説明した中
間層と硬質カーボン膜の被膜形成方法では、固定板１１
に被膜形成する実施形態で説明したが、以上の説明と同
じような被膜形成方法を適用して、回転板１２にも中間
層と硬質カーボン膜の被膜形成を行うことができる。

【０１４０】さらにまた以上の説明では、熱水と冷水と
を混合する混合水栓のバルブに本発明を適用する例で説
明したが、浄水と原水とを切り換える浄水器にも本発明
の固定板や回転板に中間層と硬質カーボン膜とを設けて
もよく、さらに固定板や回転板表面を粗面とし硬質カー
ボン膜を設けてもよい。このときも以上の説明と同じ効
果を得ることができる。

【０１４１】

【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明の
混合水栓部材の固定板や回転板は、基材上にシリコンカ
ーバイト膜からなる中間層を介して硬質カーボン膜とを
設ける構造を採用する。この中間層として用いるシリコ
ンカーバイト膜は、硬質カーボン膜を構成する炭素と同
じ周期律表の第ＩＶｂ族の元素であり、いずれもダイヤ
モンド構造を有する。この結果、シリコンカーバイトと
硬質カーボン膜とは共有結合して、両被膜は高い密着力
で結合させることが可能とる。さらにシリコンカーバイ
ト膜は、固定板や回転板の基材を構成するセラミックス
材料と良好な密着性で被膜形成できる。

【０１４２】このようにシリコンカーバイト膜を中間層
として用いる本発明の混合水栓部材である固定板と回転
板のバルブでは、硬質カーボン膜の剥離の発生がない。
したがって、硬質カーボン膜がもつ優れた特性である、
機械的強度が高く、摩擦係数が小さく、耐腐食性が良好
であることを充分に発揮でき、耐摩耗性が向上するとい
う効果を備えている。このため、混合水栓の長期使用に
対する信頼性を向上させることができる。

【０１４３】さらに本発明の混合水栓部材の固定板や回
転板は、基材上に順次、チタン膜またはクロム膜からな
る第１の中間層と、シリコン膜またはシリコンカーバイ
ト膜からなる第２の中間層と、硬質カーボン膜とを設け
る構造を採用する。この第１の中間層であるチタンまた
はクロムは、固定板や回転板の構成材料であるセラミッ
クス材料と密着性よく形成することができるという特性
をもつ。

【０１４４】さらに第２の中間層として用いるシリコン
膜またはシリコンカーバイト膜は、つぎに記載するよう
な優れた特性を有する。すなわちシリコンおよびシリコ
ンカーバイトを構成するシリコンと炭素は、ともに周期
律表の第ＩＶｂ族の元素であり、しかも硬質カーボン膜
は炭素で構成されている。このようにシリコンカーバイ
トと硬質カーボン膜とは、同じ周期律表の第ＩＶｂ族の
元素で構成され、いずれもダイヤモンド構造を有する。
この結果、シリコンカーバイト膜と硬質カーボン膜とは
共有結合して、両被膜は高い密着力で結合する。そのう
え第１の中間層であるチタンやクロムと、第２の中間層
であるシリコンやシリコンカーバイトとは、良好な密着
性で被膜形成することができる。

【０１４５】このようにシリコン膜やシリコンカーバイ
ト膜を第２の中間層として用いる本発明の混合水栓部材
である固定板と回転板のバルブでは、硬質カーボン膜の
剥離の発生がない。したがって、硬質カーボン膜がもつ
優れた特性である、機械的強度が高く、摩擦係数が小さ
く、耐腐食性が良好であることを充分に発揮でき、耐摩
耗性が向上するという効果を備えている。このため、混
合水栓の長期使用に対する信頼性を向上させることがで
きる。

【０１４６】さらにまた本発明の混合水栓部材の固定板
や回転板は、その表面を粗面とし、硬質カーボン膜を設
けている。その表面が粗面の固定板や回転板に硬質カー
ボン膜を被膜形成すると、凹凸面にならって硬質カーボ
ン膜を形成することができ、碇で船をつなぎ止めるよう
に、アンカー効果によって、基材表面に硬質カーボン膜
を強固に密着させて形成することができる。

【０１４７】このように基材表面を粗面とする本発明の
混合水栓部材である固定板と回転板のバルブにおいて
は、硬質カーボン膜の剥離の発生がない。したがって、
硬質カーボン膜がもつ優れた特性である、機械的強度が
高く、摩擦係数が小さく、耐腐食性が良好であることを
充分に発揮でき、耐摩耗性が向上するという効果を備え
ている。このため本発明では、混合水栓の長期使用に対
する信頼性を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態における混合水栓部材を構成
する固定板または回転板の表面を拡大して示す断面図で
ある。

【図２】本発明の実施形態における混合水栓部材を構成
する固定板または回転板の表面を拡大して示す断面図で
ある。

【図３】本発明の実施形態における混合水栓部材を構成
する固定板または回転板の表面を拡大して示す断面図で
ある。

【図４】本発明の実施形態の混合水栓部材を構成する固
定板または回転板を適用する混合水栓を示す断面図であ
る。

【図５】本発明の実施形態の混合水栓部材を構成する固
定板または回転板を適用する混合水栓を示す断面図であ
る。

【図６】本発明の実施形態の混合水栓部材を構成する固
定板または回転板を適用する混合水栓を示し、回転板の
厚さ方向の途中で切断した状態を示す断面図である。

【図７】本発明の実施形態の混合水栓部材への被膜形成
方法のうち中間層の被膜形成方法を示す断面図である。

【図８】本発明の実施形態の混合水栓部材への被膜形成
方法のうち硬質カーボン膜の被膜形成方法を示す断面図
である。

【図９】本発明の実施形態の混合水栓部材への被膜形成
方法のうち硬質カーボン膜の被膜形成方法を示す断面図
である。

【図１０】本発明の実施形態の混合水栓部材への被膜形
成方法のうち硬質カーボン膜の被膜形成方法を示す断面
図である。

【図１１】被膜の耐摩耗性を試験する摩耗試験機の構造
を示す側面図である。

【図１２】本発明の実施形態と従来技術における表面性
測定機を使用した被膜の表面物性の測定結果を示し、引
っかき抵抗値である抵抗力と引っかき荷重との関係を示
すグラフである。

【符号の説明】

１１固定板１２回転板１３中間層１３ａ第１の中間層１３ｂ第２の中間層１５硬質カーボン膜３３バルブ６１真空槽６３ガス導入口

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者戸井田孝志埼玉県所沢市大字下富字武野840番地シチズン時計株式会社所沢事業所内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】熱水流入口と冷水流入口と混合水流出口
を有する固定板と、この固定板に摺動自在に重ね合わさ
れ混合室を有する回転板とを備える混合水栓部材であっ
て、固定板は、回転板との摺動面にシリコンカーバイトから
なる中間層を介して硬質カーボン膜を設ける、ことを特徴とする混合水栓部材。
【請求項２】熱水流入口と冷水流入口と混合水流出口
を有する固定板と、この固定板に摺動自在に重ね合わさ
れ混合室を有する回転板とを備える混合水栓部材であっ
て、回転板は、固定板との摺動面にシリコンカーバイトから
なる中間層を介して硬質カーボン膜を設ける、ことを特徴とする混合水栓部材。
【請求項３】熱水流入口と冷水流入口と混合水流出口
を有する固定板と、この固定板に摺動自在に重ね合わさ
れ混合室を有する回転板とを備える混合水栓部材であっ
て、固定板と回転板は、固定板と回転板との摺動面にシリコ
ンカーバイトからなる中間層を介して硬質カーボン膜を
設ける、ことを特徴とする混合水栓部材。
【請求項４】熱水流入口と冷水流入口と混合水流出口
を有する固定板と、この固定板に摺動自在に重ね合わさ
れ混合室を有する回転板とを備える混合水栓部材であっ
て、固定板は、回転板との摺動面にチタンからなる第１の中
間層とシリコンからなる第２の中間層とを介して硬質カ
ーボン膜を設ける、ことを特徴とする混合水栓部材。
【請求項５】熱水流入口と冷水流入口と混合水流出口
を有する固定板と、この固定板に摺動自在に重ね合わさ
れ混合室を有する回転板とを備える混合水栓部材であっ
て、固定板は、回転板との摺動面にクロムからなる第１の中
間層とシリコンからなる第２の中間層とを介して硬質カ
ーボン膜を設ける、ことを特徴とする混合水栓部材。
【請求項６】熱水流入口と冷水流入口と混合水流出口
を有する固定板と、この固定板に摺動自在に重ね合わさ
れ混合室を有する回転板とを備える混合水栓部材であっ
て、固定板は、回転板との摺動面にチタンからなる第１の中
間層とシリコンカーバイトからなる第２の中間層とを介
して硬質カーボン膜を設ける、ことを特徴とする混合水栓部材。
【請求項７】熱水流入口と冷水流入口と混合水流出口
を有する固定板と、この固定板に摺動自在に重ね合わさ
れ混合室を有する回転板とを備える混合水栓部材であっ
て、固定板は、回転板との摺動面にクロムからなる第１の中
間層とシリコンカーバイトからなる第２の中間層とを介
して硬質カーボン膜を設ける、ことを特徴とする混合水栓部材。
【請求項８】熱水流入口と冷水流入口と混合水流出口
を有する固定板と、この固定板に摺動自在に重ね合わさ
れ混合室を有する回転板とを備える混合水栓部材であっ
て、回転板は、固定板との摺動面にチタンからなる第１の中
間層とシリコンからなる第２の中間層とを介して硬質カ
ーボン膜を設ける、ことを特徴とする混合水栓部材。
【請求項９】熱水流入口と冷水流入口と混合水流出口
を有する固定板と、この固定板に摺動自在に重ね合わさ
れ混合室を有する回転板とを備える混合水栓部材であっ
て、回転板は、固定板との摺動面にクロムからなる第１の中
間層とシリコンからなる第２の中間層とを介して硬質カ
ーボン膜を設ける、ことを特徴とする混合水栓部材。
【請求項１０】熱水流入口と冷水流入口と混合水流出
口とを有する固定板と、この固定板に摺動自在に重ね合
わされ混合室を有する回転板とを備える混合水栓部材で
あって、回転板は、固定板との摺動面にチタンからなる第１の中
間層とシリコンカーバイトからなる第２の中間層とを介
して硬質カーボン膜を設ける、ことを特徴とする混合水栓部材。
【請求項１１】熱水流入口と冷水流入口と混合水流出
口とを有する固定板と、この固定板に摺動自在に重ね合
わされ混合室を有する回転板とを備える混合水栓部材で
あって、回転板は、固定板との摺動面にクロムからなる第１の中
間層とシリコンカーバイトからなる第２の中間層とを介
して硬質カーボン膜を設ける、ことを特徴とする混合水栓部材。
【請求項１２】熱水流入口と冷水流入口と混合水流出
口とを有する固定板と、この固定板に摺動自在に重ね合
わされ混合室を有する回転板とを備える混合水栓部材で
あって、固定板と回転板は、固定板と回転板との摺動面にチタン
からなる第１の中間層とシリコンからなる第２の中間層
とを介して硬質カーボン膜を設ける、ことを特徴とする混合水栓部材。
【請求項１３】熱水流入口と冷水流入口と混合水流出
口とを有する固定板と、この固定板に摺動自在に重ね合
わされ混合室を有する回転板とを備える混合水栓部材で
あって、固定板と回転板は、固定板と回転板との摺動面にクロム
からなる第１の中間層とシリコンからなる第２の中間層
とを介して硬質カーボン膜を設ける、ことを特徴とする混合水栓部材。
【請求項１４】熱水流入口と冷水流入口と混合水流出
口とを有する固定板と、この固定板に摺動自在に重ね合
わされ混合室を有する回転板とを備える混合水栓部材で
あって、固定板と回転板は、固定板と回転板との摺動面にチタン
からなる第１の中間層とシリコンカーバイトからなる第
２の中間層を介して硬質カーボン膜を設ける、ことを特徴とする混合水栓部材。
【請求項１５】熱水流入口と冷水流入口と混合水流出
口とを有する固定板と、この固定板に摺動自在に重ね合
わされ混合室を有する回転板とを備える混合水栓部材で
あって、固定板と回転板は、固定板と回転板との摺動面にクロム
からなる第１の中間層とシリコンカーバイトからなる第
２の中間層を介して硬質カーボン膜を設ける、ことを特徴とする混合水栓部材。
【請求項１６】熱水流入口と冷水流入口と混合水流出
口とを有する固定板と、この固定板に摺動自在に重ね合
わされ混合室を有する回転板とを備える混合水栓部材で
あって、固定板は、回転板との摺動面を粗面とし、回転板との摺
動面に硬質カーボン膜を設ける、ことを特徴とする混合水栓部材。
【請求項１７】熱水流入口と冷水流入口と混合水流出
口とを有する固定板と、この固定板に摺動自在に重ね合
わされ混合室を有する回転板とを備える混合水栓部材で
あって、回転板は、固定板との摺動面を粗面とし、固定板との摺
動面に硬質カーボン膜を設ける、ことを特徴とする混合水栓部材。
【請求項１８】熱水流入口と冷水流入口と混合水流出
口とを有する固定板と、この固定板に摺動自在に重ね合
わされ混合室を有する回転板とを備える混合水栓部材で
あって、固定板と回転板は、固定板と回転板との摺動面を粗面と
し、固定板と回転板との摺動面に硬質カーボン膜を設け
る、ことを特徴とする混合水栓部材。
【請求項１９】固定板上に中間層を形成する中間層形
成工程と、この中間層上に硬質カーボン膜を形成する硬
質カーボン膜形成工程とを有し、中間層形成工程が、ターゲットと対向するように真空槽
内に固定板を配置し、真空槽内を排気した後、ガス導入
口からアルゴンガスを真空槽内に導入し、スパッタリン
グ法によりシリコンカーバイトからなる中間層を固定板
上に形成する工程であり、硬質カーボン膜形成工程は、中間層を形成した固定板を
真空槽内に配置し、真空槽内を排気した後、ガス導入口
から炭素を含むガスを真空槽内に導入し、固定板に直流
電圧を印加しアノードに直流電圧を印加しフィラメント
に交流電圧を印加してプラズマを発生させて固定板の中
間層上に硬質カーボン膜を形成する工程である、ことを特徴とする混合水栓部材への被膜形成方法。
【請求項２０】固定板上に中間層を形成する中間層形
成工程と、この中間層上に硬質カーボン膜を形成する硬
質カーボン膜形成工程とを有し、中間層形成工程が、ターゲットと対向するように真空槽
内に固定板を配置し、真空槽内を排気した後、ガス導入
口からアルゴンガスを真空槽内に導入し、スパッタリン
グ法によりシリコンカーバイトからなる中間層を固定板
上に形成する工程であり、硬質カーボン膜形成工程は、中間層を形成した固定板を
真空槽内に配置し、真空槽内を排気した後、ガス導入口
から炭素を含むガスを真空槽内に導入し、固定板に高周
波電圧を印加し、プラズマを発生させて固定板の中間層
上に硬質カーボン膜を形成する工程である、ことを特徴とする混合水栓部材への被膜形成方法。
【請求項２１】固定板上に中間層を形成する中間層形
成工程と、この中間層上に硬質カーボン膜を形成する硬
質カーボン膜形成工程とを有し、中間層形成工程が、ターゲットと対向するように真空槽
内に固定板を配置し、真空槽内を排気した後、ガス導入
口からアルゴンガスを真空槽内に導入し、スパッタリン
グ法によりシリコンカーバイトからなる中間層を固定板
上に形成する工程であり、硬質カーボン膜形成工程は、中間層を形成した固定板を
真空槽内に配置し、真空槽内を排気した後、ガス導入口
から炭素を含むガスを真空槽内に導入し、固定板に直流
電圧を印加し、プラズマを発生させて固定板の中間層上
に硬質カーボン膜を形成する工程である、ことを特徴とする混合水栓部材への被膜形成方法。
【請求項２２】回転板上に中間層を形成する中間層形
成工程と、この中間層上に硬質カーボン膜を形成する硬
質カーボン膜形成工程とを有し、中間層形成工程が、ターゲットと対向するように真空槽
内に回転板を配置し、真空槽内を排気した後、ガス導入
口からアルゴンガスを真空槽内に導入し、スパッタリン
グ法によりシリコンカーバイトからなる中間層を回転板
上に形成する工程であり、硬質カーボン膜形成工程は、中間層を形成した回転板を
真空槽内に配置し、真空槽内を排気した後、ガス導入口
から炭素を含むガスを真空槽内に導入し、回転板に直流
電圧を印加しアノードに直流電圧を印加しフィラメント
に交流電圧を印加してプラズマを発生させて回転板の中
間層上に硬質カーボン膜を形成する工程である、ことを特徴とする混合水栓部材への被膜形成方法。
【請求項２３】回転板上に中間層を形成する中間層形
成工程と、この中間層上に硬質カーボン膜を形成する硬
質カーボン膜形成工程とを有し、中間層形成工程が、ターゲットと対向するように真空槽
内に回転板を配置し、真空槽内を排気した後、ガス導入
口からアルゴンガスを真空槽内に導入し、スパッタリン
グ法によりシリコンカーバイトからなる中間層を回転板
上に形成する工程であり、硬質カーボン膜形成工程は、中間層を形成した回転板を
真空槽内に配置し、真空槽内を排気した後、ガス導入口
から炭素を含むガスを真空槽内に導入し、回転板に高周
波電圧を印加し、プラズマを発生させて回転板の中間層
上に硬質カーボン膜を形成する工程である、ことを特徴とする混合水栓部材への被膜形成方法。
【請求項２４】回転板上に中間層を形成する中間層形
成工程と、この中間層上に硬質カーボン膜を形成する硬
質カーボン膜形成工程とを有し、中間層形成工程が、ターゲットと対向するように真空槽
内に回転板を配置し、真空槽内を排気した後、ガス導入
口からアルゴンガスを真空槽内に導入し、スパッタリン
グ法によりシリコンカーバイトからなる中間層を回転板
上に形成する工程であり、硬質カーボン膜形成工程は、中間層を形成した回転板を
真空槽内に配置し、真空槽内を排気した後、ガス導入口
から炭素を含むガスを真空槽内に導入し、回転板に直流
電圧を印加し、プラズマを発生させて回転板の中間層上
に硬質カーボン膜を形成する工程である、ことを特徴とする混合水栓部材への被膜形成方法。
【請求項２５】固定板上に中間層を形成する中間層形
成工程と、この中間層上に硬質カーボン膜を形成する硬
質カーボン膜形成工程とを有し、中間層形成工程が、ターゲットと対向するように真空槽
内に固定板を配置し、真空槽内を排気した後、ガス導入
口からアルゴンガスを真空槽内に導入し、スパッタリン
グ法によりチタンからなる第１の中間層を固定板上に形
成し、その後、第１の中間層を形成した固定板をターゲットと
対向するように真空槽内に配置し、真空槽内を排気した
後、ガス導入口からアルゴンガスを真空槽内に導入し、
スパッタリング法によりシリコン膜からなる第２の中間
層を第１の中間層上に形成する工程であり、硬質カーボン膜形成工程は、第２の中間層を形成した固
定板を真空槽内に配置し、真空槽内部を排気した後、ガ
ス導入口から炭素を含むガスを真空槽内に導入し、固定
板に直流電圧を印加しアノードに直流電圧を印加しフィ
ラメントに交流電圧を印加してプラズマを発生させて固
定板の第２の中間層上に硬質カーボン膜を形成する工程
である、ことを特徴とする混合水栓部材への被膜形成方法。
【請求項２６】固定板上に中間層を形成する中間層形
成工程と、この中間層上に硬質カーボン膜を形成する硬
質カーボン膜形成工程とを有し、中間層形成工程が、ターゲットと対向するように真空槽
内に固定板を配置し、真空槽内部を排気した後、ガス導
入口からアルゴンガスを真空槽内部に導入し、スパッタ
リング法によりチタンからなる第１の中間層を固定板上
に形成し、その後、第１の中間層を形成した固定板をターゲットと
対向するように真空槽内に配置し、真空槽内を排気した
後、ガス導入口からアルゴンガスを真空槽内に導入し、
スパッタリング法によりシリコン膜からなる第２の中間
層を第１の中間層上に形成する工程であり、硬質カーボン膜形成工程は、第２の中間層を形成した固
定板を真空槽内に配置し、真空槽内部を排気した後、ガ
ス導入口から炭素を含むガスを真空槽内に導入し、固定
板に高周波電圧を印加し、プラズマを発生させて固定板
の第２の中間層上に硬質カーボン膜を形成する工程であ
る、ことを特徴とする混合水栓部材への被膜形成方法。
【請求項２７】固定板上に中間層を形成する中間層形
成工程と、この中間層上に硬質カーボン膜を形成する硬
質カーボン膜形成工程とを有し、中間層形成工程が、ターゲットと対向するように真空槽
内に固定板を配置し、真空槽内を排気した後、ガス導入
口からアルゴンガスを真空槽内に導入し、スパッタリン
グ法によりチタンからなる第１の中間層を固定板上に形
成し、その後、第１の中間層を形成した固定板をターゲットと
対向するように真空槽内に配置し、真空槽内を排気した
後、ガス導入口からアルゴンガスを真空槽内に導入し、
スパッタリング法によりシリコン膜からなる第２の中間
層を第１の中間層上に形成する工程であり、硬質カーボン膜形成工程は、第２の中間層を形成した固
定板を真空槽内に配置し、真空槽内部を排気した後、ガ
ス導入口から炭素を含むガスを真空槽内に導入し、固定
板に直流電圧を印加し、プラズマを発生させて固定板の
第２の中間層上に硬質カーボン膜を形成する工程であ
る、ことを特徴とする混合水栓部材への被膜形成方法。
【請求項２８】固定板上に中間層を形成する中間層形
成工程と、この中間層上に硬質カーボン膜を形成する硬
質カーボン膜形成工程とを有し、中間層形成工程が、ターゲットと対向するように真空槽
内に固定板を配置し、真空槽内を排気した後、ガス導入
口からアルゴンガスを真空槽内に導入し、スパッタリン
グ法によりクロムからなる第１の中間層を固定板上に形
成し、その後、第１の中間層を形成した固定板をターゲットと
対向するように真空槽内に配置し、真空槽内を排気した
後、ガス導入口からアルゴンガスを真空槽内に導入し、
スパッタリング法によりシリコン膜からなる第２の中間
層を第１の中間層上に形成し、硬質カーボン膜形成工程は、第２の中間層を形成した固
定板を真空槽内に配置し、真空槽内部を排気した後、ガ
ス導入口から炭素を含むガスを真空槽内に導入し、固定
板に直流電圧を印加しアノードに直流電圧を印加しフィ
ラメントに交流電圧を印加してプラズマを発生させて固
定板の第２の中間層上に硬質カーボン膜を形成する工程
である、ことを特徴とする混合水栓部材への被膜形成方法。
【請求項２９】固定板上に中間層を形成する中間層形
成工程と、この中間層上に硬質カーボン膜を形成する硬
質カーボン膜形成工程とを有し、中間層形成工程が、ターゲットと対向するように真空槽
内に固定板を配置し、真空槽内を排気した後、ガス導入
口からアルゴンガスを真空槽内に導入し、スパッタリン
グ法によりクロムからなる第１の中間層を固定板上に形
成し、その後、第１の中間層を形成した固定板をターゲットと
対向するように真空槽内に配置し、真空槽内を排気した
後、ガス導入口からアルゴンガスを真空槽内に導入し、
スパッタリング法によりシリコン膜からなる第２の中間
層を第１の中間層上に形成し、硬質カーボン膜形成工程は、第２の中間層を形成した固
定板を真空槽内に配置し、真空槽内部を排気した後、ガ
ス導入口から炭素を含むガスを真空槽内に導入し、固定
板に高周波電圧を印加し、プラズマを発生させて固定板
の第２の中間層上に硬質カーボン膜を形成する工程であ
る、ことを特徴とする混合水栓部材への被膜形成方法。
【請求項３０】固定板上に中間層を形成する中間層形
成工程と、この中間層上に硬質カーボン膜を形成する硬
質カーボン膜形成工程とを有し、中間層形成工程が、ターゲットと対向するように真空槽
内に固定板を配置し、真空槽内を排気した後、ガス導入
口からアルゴンガスを真空槽内に導入し、スパッタリン
グ法によりクロムからなる第１の中間層を固定板上に形
成し、その後、第１の中間層を形成した固定板をターゲットと
対向するように真空槽内に配置し、真空槽内を排気した
後、ガス導入口からアルゴンガスを真空槽内に導入し、
スパッタリング法によりシリコン膜からなる第２の中間
層を第１の中間層上に形成し、硬質カーボン膜形成工程は、第２の中間層を形成した固
定板を真空槽内に配置し、真空槽内部を排気した後、ガ
ス導入口から炭素を含むガスを真空槽内に導入し、固定
板に直流電圧を印加し、プラズマを発生させて固定板の
第２の中間層上に硬質カーボン膜を形成する工程であ
る、ことを特徴とする混合水栓部材への被膜形成方法。
【請求項３１】固定板上に中間層を形成する中間層形
成工程と、この中間層上に硬質カーボン膜を形成する硬
質カーボン膜形成工程とを有し、中間層形成工程が、ターゲットと対向するように真空槽
内に固定板を配置し、真空槽内を排気した後、ガス導入
口からアルゴンガスを真空槽内に導入し、スパッタリン
グ法によりチタンからなる第１の中間層を固定板上に形
成し、その後、第１の中間層を形成した固定板をターゲットと
対向するように真空槽内に配置し、真空槽内を排気した
後、ガス導入口からアルゴンガスを真空槽内に導入し、
スパッタリング法によりシリコンカーバイト膜からなる
第２の中間層を第１の中間層上に形成し、硬質カーボン膜形成工程は、第２の中間層を形成した固
定板を真空槽内に配置し、真空槽内部を排気した後、ガ
ス導入口から炭素を含むガスを真空槽内に導入し、固定
板に直流電圧を印加しアノードに直流電圧を印加しフィ
ラメントに交流電圧を印加してプラズマを発生させて固
定板の第２の中間層上に硬質カーボン膜を形成する工程
である、ことを特徴とする混合水栓部材への被膜形成方法。
【請求項３２】固定板上に中間層を形成する中間層形
成工程と、この中間層上に硬質カーボン膜を形成する硬
質カーボン膜形成工程とを有し、中間層形成工程が、ターゲットと対向するように真空槽
内に固定板を配置し、真空槽内を排気した後、ガス導入
口からアルゴンガスを真空槽内に導入し、スパッタリン
グ法によりチタンからなる第１の中間層を固定板上に形
成し、その後、第１の中間層を形成した固定板をターゲットと
対向するように真空槽内に配置し、真空槽内を排気した
後、ガス導入口からアルゴンガスを真空槽内に導入し、
スパッタリング法によりシリコンカーバイト膜からなる
第２の中間層を第１の中間層上に形成し、硬質カーボン膜形成工程は、第２の中間層を形成した固
定板を真空槽内に配置し、真空槽内部を排気した後、ガ
ス導入口から炭素を含むガスを真空槽内に導入し、固定
板に高周波電圧を印加し、プラズマを発生させて固定板
の第２の中間層上に硬質カーボン膜を形成する工程であ
る、ことを特徴とする混合水栓部材への被膜形成方法。
【請求項３３】固定板上に中間層を形成する中間層形
成工程と、この中間層上に硬質カーボン膜を形成する硬
質カーボン膜形成工程とを有し、中間層形成工程が、ターゲットと対向するように真空槽
内に固定板を配置し、真空槽内を排気した後、ガス導入
口からアルゴンガスを真空槽内に導入し、スパッタリン
グ法によりチタンからなる第１の中間層を固定板上に形
成し、その後、第１の中間層を形成した固定板をターゲットと
対向するように真空槽内に配置し、真空槽内を排気した
後、ガス導入口からアルゴンガスを真空槽内に導入し、
スパッタリング法によりシリコンカーバイト膜からなる
第２の中間層を第１の中間層上に形成し、硬質カーボン膜形成工程は、第２の中間層を形成した固
定板を真空槽内に配置し、真空槽内部を排気した後、ガ
ス導入口から炭素を含むガスを真空槽内に導入し、固定
板に直流電圧を印加し、プラズマを発生させて固定板の
第２の中間層上に硬質カーボン膜を形成する工程であ
る、ことを特徴とする混合水栓部材への被膜形成方法。
【請求項３４】固定板上に中間層を形成する中間層形
成工程と、この中間層上に硬質カーボン膜を形成する硬
質カーボン膜形成工程とを有し、中間層形成工程が、ターゲットと対向するように真空槽
内に固定板を配置し、真空槽内を排気した後、ガス導入
口からアルゴンガスを真空槽内に導入し、スパッタリン
グ法によりクロムからなる第１の中間層を固定板上に形
成し、その後、第１の中間層を形成した固定板をターゲットと
対向するように真空槽内に配置し、真空槽内を排気した
後、ガス導入口からアルゴンガスを真空槽内に導入し、
スパッタリング法によりシリコンカーバイト膜からなる
第２の中間層を第１の中間層上に形成し、硬質カーボン膜形成工程は、第２の中間層を形成した固
定板を真空槽内に配置し、真空槽内部を排気した後、ガ
ス導入口から炭素を含むガスを真空槽内に導入し、固定
板に直流電圧を印加しアノードに直流電圧を印加しフィ
ラメントに交流電圧を印加してプラズマを発生させて固
定板の第２の中間層上に硬質カーボン膜を形成する工程
である、ことを特徴とする混合水栓部材への被膜形成方法。
【請求項３５】固定板上に中間層を形成する中間層形
成工程と、この中間層上に硬質カーボン膜を形成する硬
質カーボン膜形成工程とを有し、中間層形成工程が、ターゲットと対向するように真空槽
内に固定板を配置し、真空槽内を排気した後、ガス導入
口からアルゴンガスを真空槽内に導入し、スパッタリン
グ法によりクロムからなる第１の中間層を固定板上に形
成し、その後、第１の中間層を形成した固定板をターゲットと
対向するように真空槽内に配置し、真空槽内を排気した
後、ガス導入口からアルゴンガスを真空槽内に導入し、
スパッタリング法によりシリコンカーバイト膜からなる
第２の中間層を第１の中間層上に形成し、硬質カーボン膜形成工程は、第２の中間層を形成した固
定板を真空槽内に配置し、真空槽内部を排気した後、ガ
ス導入口から炭素を含むガスを真空槽内に導入し、固定
板に高周波電圧を印加し、プラズマを発生させて固定板
の第２の中間層に硬質カーボン膜を形成する工程であ
る、ことを特徴とする混合水栓部材への被膜形成方法。
【請求項３６】固定板上に中間層を形成する中間層形
成工程と、この中間層上に硬質カーボン膜を形成する硬
質カーボン膜形成工程とを有し、中間層形成工程が、ターゲットと対向するように真空槽
内に固定板を配置し、真空槽内を排気した後、ガス導入
口からアルゴンガスを真空槽内に導入し、スパッタリン
グ法によりクロムからなる第１の中間層を固定板上に形
成し、その後、第１の中間層を形成した固定板をターゲットと
対向するように真空槽内に配置し、真空槽内を排気した
後、ガス導入口からアルゴンガスを真空槽内に導入し、
スパッタリング法によりシリコンカーバイト膜からなる
第２の中間層を第１の中間層上に形成し、硬質カーボン膜形成工程は、第２の中間層を形成した固
定板を真空槽内に配置し、真空槽内部を排気した後、ガ
ス導入口から炭素を含むガスを真空槽内に導入し、固定
板に直流電圧を印加し、プラズマを発生させて固定板の
第２の中間層上に硬質カーボン膜を形成する工程であ
る、ことを特徴とする混合水栓部材への被膜形成方法。
【請求項３７】回転板上に中間層を形成する中間層形
成工程と、この中間層上に硬質カーボン膜を形成する硬
質カーボン膜形成工程とを有し、中間層形成工程が、ターゲットと対向するように真空槽
内に回転板を配置し、真空槽内を排気した後、ガス導入
口からアルゴンガスを真空槽内に導入し、スパッタリン
グ法によりチタンからなる第１の中間層を回転板上に形
成し、その後、第１の中間層を形成した回転板をターゲットと
対向するように真空槽内に配置し、真空槽内を排気した
後、ガス導入口からアルゴンガスを真空槽内に導入し、
スパッタリング法によりシリコン膜からなる第２の中間
層を第１の中間層上に形成する工程であり、硬質カーボン膜形成工程は、第２の中間層を形成した回
転板を真空槽内に配置し、真空槽内部を排気した後、ガ
ス導入口から炭素を含むガスを真空槽内に導入し、回転
板に直流電圧を印加しアノードに直流電圧を印加しフィ
ラメントに交流電圧を印加してプラズマを発生させて回
転板の第２の中間層上に硬質カーボン膜を形成する工程
である、ことを特徴とする混合水栓部材への被膜形成方法。
【請求項３８】回転板上に中間層を形成する中間層形
成工程と、この中間層上に硬質カーボン膜を形成する硬
質カーボン膜形成工程とを有し、中間層形成工程が、ターゲットと対向するように真空槽
内に回転板を配置し、真空槽内部を排気した後、ガス導
入口からアルゴンガスを真空槽内部に導入し、スパッタ
リング法によりチタンからなる第１の中間層を回転板上
に形成し、その後、第１の中間層を形成した回転板をターゲットと
対向するように真空槽内に配置し、真空槽内を排気した
後、ガス導入口からアルゴンガスを真空槽内に導入し、
スパッタリング法によりシリコン膜からなる第２の中間
層を第１の中間層上に形成する工程であり、硬質カーボン膜形成工程は、第２の中間層を形成した回
転板を真空槽内に配置し、真空槽内部を排気した後、ガ
ス導入口から炭素を含むガスを真空槽内に導入し、回転
板に高周波電圧を印加し、プラズマを発生させて回転板
の第２の中間層上に硬質カーボン膜を形成する工程であ
る、ことを特徴とする混合水栓部材への被膜形成方法。
【請求項３９】回転板上に中間層を形成する中間層形
成工程と、この中間層上に硬質カーボン膜を形成する硬
質カーボン膜形成工程とを有し、中間層形成工程が、ターゲットと対向するように真空槽
内に回転板を配置し、真空槽内を排気した後、ガス導入
口からアルゴンガスを真空槽内に導入し、スパッタリン
グ法によりチタンからなる第１の中間層を回転板上に形
成し、その後、第１の中間層を形成した回転板をターゲットと
対向するように真空槽内に配置し、真空槽内を排気した
後、ガス導入口からアルゴンガスを真空槽内に導入し、
スパッタリング法によりシリコン膜からなる第２の中間
層を第１の中間層上に形成する工程であり、硬質カーボン膜形成工程は、第２の中間層を形成した回
転板を真空槽内に配置し、真空槽内部を排気した後、ガ
ス導入口から炭素を含むガスを真空槽内に導入し、回転
板に直流電圧を印加し、プラズマを発生させて回転板の
第２の中間層上に硬質カーボン膜を形成する工程であ
る、ことを特徴とする混合水栓部材への被膜形成方法。
【請求項４０】回転板上に中間層を形成する中間層形
成工程と、この中間層上に硬質カーボン膜を形成する硬
質カーボン膜形成工程とを有し、中間層形成工程が、ターゲットと対向するように真空槽
内に回転板を配置し、真空槽内を排気した後、ガス導入
口からアルゴンガスを真空槽内に導入し、スパッタリン
グ法によりクロムからなる第１の中間層を回転板上に形
成し、その後、第１の中間層を形成した回転板をターゲットと
対向するように真空槽内に配置し、真空槽内を排気した
後、ガス導入口からアルゴンガスを真空槽内に導入し、
スパッタリング法によりシリコン膜からなる第２の中間
層を第１の中間層上に形成し、硬質カーボン膜形成工程は、第２の中間層を形成した回
転板を真空槽内に配置し、真空槽内部を排気した後、ガ
ス導入口から炭素を含むガスを真空槽内に導入し、回転
板に直流電圧を印加しアノードに直流電圧を印加しフィ
ラメントに交流電圧を印加してプラズマを発生させて回
転板の第２の中間層上に硬質カーボン膜を形成する工程
である、ことを特徴とする混合水栓部材への被膜形成方法。
【請求項４１】回転板上に中間層を形成する中間層形
成工程と、この中間層上に硬質カーボン膜を形成する硬
質カーボン膜形成工程とを有し、中間層形成工程が、ターゲットと対向するように真空槽
内に回転板を配置し、真空槽内を排気した後、ガス導入
口からアルゴンガスを真空槽内に導入し、スパッタリン
グ法によりクロムからなる第１の中間層を回転板上に形
成し、その後、第１の中間層を形成した回転板をターゲットと
対向するように真空槽内に配置し、真空槽内を排気した
後、ガス導入口からアルゴンガスを真空槽内に導入し、
スパッタリング法によりシリコン膜からなる第２の中間
層を第１の中間層上に形成し、硬質カーボン膜形成工程は、第２の中間層を形成した回
転板を真空槽内に配置し、真空槽内部を排気した後、ガ
ス導入口から炭素を含むガスを真空槽内に導入し、回転
板に高周波電圧を印加し、プラズマを発生させて回転板
の第２の中間層上に硬質カーボン膜を形成する工程であ
る、ことを特徴とする混合水栓部材への被膜形成方法。
【請求項４２】回転板上に中間層を形成する中間層形
成工程と、この中間層上に硬質カーボン膜を形成する硬
質カーボン膜形成工程とを有し、中間層形成工程が、ターゲットと対向するように真空槽
内に回転板を配置し、真空槽内を排気した後、ガス導入
口からアルゴンガスを真空槽内に導入し、スパッタリン
グ法によりクロムからなる第１の中間層を回転板上に形
成し、その後、第１の中間層を形成した回転板をターゲットと
対向するように真空槽内に配置し、真空槽内を排気した
後、ガス導入口からアルゴンガスを真空槽内に導入し、
スパッタリング法によりシリコン膜からなる第２の中間
層を第１の中間層上に形成し、硬質カーボン膜形成工程は、第２の中間層を形成した回
転板を真空槽内に配置し、真空槽内部を排気した後、ガ
ス導入口から炭素を含むガスを真空槽内に導入し、回転
板に直流電圧を印加し、プラズマを発生させて回転板の
第２の中間層上に硬質カーボン膜を形成する工程であ
る、ことを特徴とする混合水栓部材への被膜形成方法。
【請求項４３】回転板上に中間層を形成する中間層形
成工程と、この中間層上に硬質カーボン膜を形成する硬
質カーボン膜形成工程とを有し、中間層形成工程が、ターゲットと対向するように真空槽
内に回転板を配置し、真空槽内を排気した後、ガス導入
口からアルゴンガスを真空槽内に導入し、スパッタリン
グ法によりチタンからなる第１の中間層を回転板上に形
成し、その後、第１の中間層を形成した回転板をターゲットと
対向するように真空槽内に配置し、真空槽内を排気した
後、ガス導入口からアルゴンガスを真空槽内に導入し、
スパッタリング法によりシリコンカーバイト膜からなる
第２の中間層を第１の中間層上に形成し、硬質カーボン膜形成工程は、第２の中間層を形成した回
転板を真空槽内に配置し、真空槽内部を排気した後、ガ
ス導入口から炭素を含むガスを真空槽内に導入し、回転
板に直流電圧を印加しアノードに直流電圧を印加しフィ
ラメントに交流電圧を印加してプラズマを発生させて回
転板の第２の中間層上に硬質カーボン膜を形成する工程
である、ことを特徴とする混合水栓部材への被膜形成方法。
【請求項４４】回転板上に中間層を形成する中間層形
成工程と、この中間層上に硬質カーボン膜を形成する硬
質カーボン膜形成工程とを有し、中間層形成工程が、ターゲットと対向するように真空槽
内に回転板を配置し、真空槽内を排気した後、ガス導入
口からアルゴンガスを真空槽内に導入し、スパッタリン
グ法によりチタンからなる第１の中間層を回転板上に形
成し、その後、第１の中間層を形成した回転板をターゲットと
対向するように真空槽内に配置し、真空槽内を排気した
後、ガス導入口からアルゴンガスを真空槽内に導入し、
スパッタリング法によりシリコンカーバイト膜からなる
第２の中間層を第１の中間層上に形成し、硬質カーボン膜形成工程は、第２の中間層を形成した回
転板を真空槽内に配置し、真空槽内部を排気した後、ガ
ス導入口から炭素を含むガスを真空槽内に導入し、回転
板に高周波電圧を印加し、プラズマを発生させて回転板
の第２の中間層上に硬質カーボン膜を形成する工程であ
る、ことを特徴とする混合水栓部材への被膜形成方法。
【請求項４５】回転板上に中間層を形成する中間層形
成工程と、この中間層上に硬質カーボン膜を形成する硬
質カーボン膜形成工程とを有し、中間層形成工程が、ターゲットと対向するように真空槽
内に回転板を配置し、真空槽内を排気した後、ガス導入
口からアルゴンガスを真空槽内に導入し、スパッタリン
グ法によりチタンからなる第１の中間層を回転板上に形
成し、その後、第１の中間層を形成した回転板をターゲットと
対向するように真空槽内に配置し、真空槽内を排気した
後、ガス導入口からアルゴンガスを真空槽内に導入し、
スパッタリング法によりシリコンカーバイト膜からなる
第２の中間層を第１の中間層上に形成し、硬質カーボン膜形成工程は、第２の中間層を形成した回
転板を真空槽内に配置し、真空槽内部を排気した後、ガ
ス導入口から炭素を含むガスを真空槽内に導入し、回転
板に直流電圧を印加し、プラズマを発生させて回転板の
第２の中間層上に硬質カーボン膜を形成する工程であ
る、ことを特徴とする混合水栓部材への被膜形成方法。
【請求項４６】回転板上に中間層を形成する中間層形
成工程と、この中間層上に硬質カーボン膜を形成する硬
質カーボン膜形成工程とを有し、中間層形成工程が、ターゲットと対向するように真空槽
内に回転板を配置し、真空槽内を排気した後、ガス導入
口からアルゴンガスを真空槽内に導入し、スパッタリン
グ法によりクロムからなる第１の中間層を回転板上に形
成し、その後、第１の中間層を形成した回転板をターゲットと
対向するように真空槽内に配置し、真空槽内を排気した
後、ガス導入口からアルゴンガスを真空槽内に導入し、
スパッタリング法によりシリコンカーバイト膜からなる
第２の中間層を第１の中間層上に形成し、硬質カーボン膜形成工程は、第２の中間層を形成した回
転板を真空槽内に配置し、真空槽内部を排気した後、ガ
ス導入口から炭素を含むガスを真空槽内に導入し、回転
板に直流電圧を印加しアノードに直流電圧を印加しフィ
ラメントに交流電圧を印加してプラズマを発生させて回
転板の第２の中間層上に硬質カーボン膜を形成する工程
である、ことを特徴とする混合水栓部材への被膜形成方法。
【請求項４７】回転板上に中間層を形成する中間層形
成工程と、この中間層上に硬質カーボン膜を形成する硬
質カーボン膜形成工程とを有し、中間層形成工程が、ターゲットと対向するように真空槽
内に回転板を配置し、真空槽内を排気した後、ガス導入
口からアルゴンガスを真空槽内に導入し、スパッタリン
グ法によりクロムからなる第１の中間層を回転板上に形
成し、その後、第１の中間層を形成した回転板をターゲットと
対向するように真空槽内に配置し、真空槽内を排気した
後、ガス導入口からアルゴンガスを真空槽内に導入し、
スパッタリング法によりシリコンカーバイト膜からなる
第２の中間層を第１の中間層上に形成し、硬質カーボン膜形成工程は、第２の中間層を形成した回
転板を真空槽内に配置し、真空槽内部を排気した後、ガ
ス導入口から炭素を含むガスを真空槽内に導入し、回転
板に高周波電圧を印加し、プラズマを発生させて回転板
の第２の中間層に硬質カーボン膜を形成する工程であ
る、ことを特徴とする混合水栓部材への被膜形成方法。
【請求項４８】回転板上に中間層を形成する中間層形
成工程と、この中間層上に硬質カーボン膜を形成する硬
質カーボン膜形成工程とを有し、中間層形成工程が、ターゲットと対向するように真空槽
内に回転板を配置し、真空槽内を排気した後、ガス導入
口からアルゴンガスを真空槽内に導入し、スパッタリン
グ法によりクロムからなる第１の中間層を回転板上に形
成し、その後、第１の中間層を形成した回転板をターゲットと
対向するように真空槽内に配置し、真空槽内を排気した
後、ガス導入口からアルゴンガスを真空槽内に導入し、
スパッタリング法によりシリコンカーバイト膜からなる
第２の中間層を第１の中間層上に形成し、硬質カーボン膜形成工程は、第２の中間層を形成した回
転板を真空槽内に配置し、真空槽内部を排気した後、ガ
ス導入口から炭素を含むガスを真空槽内に導入し、回転
板に直流電圧を印加し、プラズマを発生させて回転板の
第２の中間層上に硬質カーボン膜を形成する工程であ
る、ことを特徴とする混合水栓部材への被膜形成方法。
【請求項４９】回転板との摺動面を粗面とした固定板
の上に硬質カーボン膜を形成する硬質カーボン膜形成工
程を有し、硬質カーボン膜形成工程は、固定板を真空槽内に配置
し、真空槽内を排気した後、ガス導入口から炭素を含む
ガスを真空槽の内部に導入し、固定板に直流電圧を印加
しアノードに直流電圧を印加しフィラメントに交流電圧
を印加してプラズマを発生させて固定板上に硬質カーボ
ン膜を形成する工程である、ことを特徴とする混合水栓部材への被膜形成方法。
【請求項５０】回転板との摺動面を粗面とした固定板
の上に硬質カーボン膜を形成する硬質カーボン膜形成工
程を有し、硬質カーボン膜形成工程は、固定板を真空槽内に配置
し、真空槽内を排気した後、ガス導入口から炭素を含む
ガスを真空槽の内部に導入し、固定板に高周波電圧を印
加し、プラズマを発生させて固定板上に硬質カーボン膜
を形成する工程である、ことを特徴とする混合水栓部材への被膜形成方法。
【請求項５１】回転板との摺動面を粗面とした固定板
の上に硬質カーボン膜を形成する硬質カーボン膜形成工
程を有し、硬質カーボン膜形成工程は、固定板を真空槽内に配置
し、真空槽内を排気した後、ガス導入口から炭素を含む
ガスを真空槽の内部に導入し、固定板に直流電圧を印加
し、プラズマを発生させて固定板上に硬質カーボン膜を
形成する工程である、ことを特徴とする混合水栓部材への被膜形成方法。
【請求項５２】固定板との摺動面を粗面とした回転板
の上に硬質カーボン膜を形成する硬質カーボン膜形成工
程を有し、硬質カーボン膜形成工程は、回転板を真空槽内に配置
し、真空槽内を排気した後、ガス導入口から炭素を含む
ガスを真空槽の内部に導入し、回転板に直流電圧を印加
しアノードに直流電圧を印加しフィラメントに交流電圧
を印加してプラズマを発生させて回転板上に硬質カーボ
ン膜を形成する工程である、ことを特徴とする混合水栓部材への被膜形成方法。
【請求項５３】固定板との摺動面を粗面とした回転板
の上に硬質カーボン膜を形成する硬質カーボン膜形成工
程を有し、硬質カーボン膜形成工程は、回転板を真空槽内に配置
し、真空槽内を排気した後、ガス導入口から炭素を含む
ガスを真空槽の内部に導入し、回転板に高周波電圧を印
加し、プラズマを発生させて回転板上に硬質カーボン膜
を形成する工程である、ことを特徴とする混合水栓部材への被膜形成方法。
【請求項５４】固定板との摺動面を粗面とした回転板
の上に硬質カーボン膜を形成する硬質カーボン膜形成工
程を有し、硬質カーボン膜形成工程は、回転板を真空槽内に配置
し、真空槽内を排気した後、ガス導入口から炭素を含む
ガスを真空槽の内部に導入し、回転板に直流電圧を印加
し、プラズマを発生させて回転板上に硬質カーボン膜を
形成する工程である、ことを特徴とする混合水栓部材への被膜形成方法。