JPH1067103A

JPH1067103A - インクジェットヘッド及びその製造方法並びにフィルム状接着剤及びその製造方法

Info

Publication number: JPH1067103A
Application number: JP8226437A
Authority: JP
Inventors: Osamu Naruse; 修成瀬; Michio Umezawa; 道夫梅沢; Masayuki Iwase; 政之岩瀬; Hideyuki Makita; 秀行牧田; Tsutomu Sasaki; 勉佐々木
Original assignee: Ricoh Co Ltd
Current assignee: Ricoh Co Ltd
Priority date: 1996-08-28
Filing date: 1996-08-28
Publication date: 1998-03-10

Abstract

(57)【要約】【課題】生産性が悪く、コストが高くなる。【解決手段】基板３と圧電素子４とは、接合力を主体
として絶縁性を有する絶縁性接着剤部５２と、圧電素子
４の外部電極（端面電極）３０と基板３上の電極パター
ン３２，３３の導通を得る導電性接着剤部５３とをフィ
ルム状に一体化したフィルム状接着剤５１によって接合
した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はインクジェットヘッ
ド及びその製造方法並びにフィルム状接着剤及びその製
造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】インクジェット記録装置は、記録時の振
動、騒音が殆どなく、カラー化が容易なことから、コン
ピュータ等のデジタル処理装置のデータを出力するプリ
ンタの他、ファクシミリやコピー等にも用いられるよう
になっている。このようなインクジェット記録装置に用
いるインクジェットヘッドとしては、基板上に接合した
圧電素子の変位で振動板等を介してインク液室を加圧し
て、ノズルからインク滴を記録媒体（インク滴が付着す
るもの）に吐出することによって、高速、高解像度、高
品質の記録を行なうようにしたものがある。

【０００３】このようなインクジェットヘッドにおいて
は、ヘッド構成部品を高精度に組立てることが重要であ
り、組立精度が悪いと、インク吐出特性の変動、インク
吐出不良などの問題が生じる。特に、基板と圧電素子と
の接合部分の密着性が不十分であると、圧電素子が高さ
方向に変位する際の反力が吸収されて、圧電素子の変位
が十分にインク液室に伝達されなくなる。また、圧電素
子にスリット加工を施して多数の圧電素子に分割する工
法を採用する場合に、基板と圧電素子との接合が不十分
であると、分割加工時に圧電素子が基板から剥がれると
いう不具合が生じる。

【０００４】一方、インク噴射のための印字信号（駆動
信号）を複数のノズルに対応する複数の圧電素子に正確
に印加するために、基板上に形成する電極パターンと圧
電素子の電極との完全な導通を確保しなければならな
い。導通不良状態があると、この部分で電圧低下が生じ
て所定の電圧が圧電素子に印加されなくなり、吐出不良
が生じる。特に、圧電素子として積層型圧電素子を用い
る場合には、圧電素子の端面に外部電極が形成されるの
で、この外部電極と基板上の電極パターンとの接続を確
実に行なう必要がある。

【０００５】このように、圧電素子を用いるインクジェ
ットヘッドにあっては、上記のような基板と圧電素子と
の確実な接合と、基板上の電極パターンと圧電素子の外
部電極との確実な電気的接続が要請される。

【０００６】従来のインクジェットヘッドとしては、特
開平４−１８９５４９号公報に記載されているように、
接着剤が塗布された基板表面に圧電素子を載置して仮貼
着し、接着剤に応じた正規の加熱条件で接着力が低下す
る粘着剤層を一方の側に有するシートを、その粘着剤層
側が圧電素子の表面に対応するようにして圧電素子に被
せるとともに基板表面に仮貼着し、圧電素子を基板表面
に対して押圧しながら、接着剤に応じた正規の条件で加
熱して本貼着し、その後にシートを圧電素子から剥離、
除去して圧電素子を基板上に接合するようにしている。

【０００７】また、特開平５−５１１号公報に記載され
ているように、導電基板を用いて、この導電基板と圧電
素子とを絶縁性の接着剤を用い、接合面積を限定して接
合するようにしたものもある。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】ところが、インクジェ
ット記録装置に対する高速、高画質化の要求に伴って、
インクジェットヘッドは多数のノズルを高密度に配列す
るようにしている。そのために、インク液室を加圧する
圧電素子の数が増加し、集積密度も高密度化し、圧電素
子に接続した基板上の電極パターンの数も増加してその
集積度も高密度化している。従来のようなインクジェッ
トヘッドでは、そもそもこのような高密度化に対応する
ことができず、基板と圧電素子との確実な接合と、基板
上の電極パターンと圧電素子の外部電極との確実な電気
的接続を得ることができない。

【０００９】本発明は上記の点に鑑みてなされたもので
あり、本発明に係るインクジェットヘッド及びその製造
方法は、インクジェットヘッドの生産性の向上、信頼性
の向上、量産性の向上などを図ることを目的とする。ま
た、本発明に係るフィルム状接着剤及びその製造方法
は、接着作業性、電気的信頼性の向上を図ることを目的
とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、請求項１のインクジェットヘッドは、基板上に圧電
素子を接合し、この圧電素子の外部電極と前記基板上に
形成した電極パターンとを接続するインクジェットヘッ
ドにおいて、前記基板と圧電素子とを接合する接合部材
は、前記基板と圧電素子とを接合する絶縁性接着剤部
と、前記外部電極と電極パターンの導通を得る導電性接
着剤部とを一体化したフィルム状接着剤である構成とし
た。

【００１１】請求項２のインクジェットヘッドは、上記
請求項１のインクジェットヘッドにおいて、前記フィル
ム状接着剤の絶縁性接着剤部の幅は前記圧電素子の活性
部の幅よりも大きく、圧電素子の全幅よりも小さい構成
とした。

【００１２】請求項３のインクジェットヘッドは、上記
請求項１又は２のインクジェットヘッドにおいて、前記
フィルム状接着剤は絶縁性接着剤部の両側に前記導電性
接着剤部を設けた構成とした。

【００１３】請求項４のインクジェットヘッドは、上記
請求項１乃至３のいずれかのインクジェットヘッドにお
いて、前記導電性接着剤部の厚みが前記圧電素子の少な
くとも一層の厚み以上である構成とした。

【００１４】請求項５のインクジェットヘッドは、上記
請求項１乃至４のいずれかのインクジェットヘッドにお
いて、前記絶縁性接着剤部の厚みが前記圧電素子の平面
度以上の厚さである構成とした。

【００１５】請求項６のフィルム状接着剤は、２つの部
材を接着するフィルム状接着剤であって、この接着剤は
電気的に異なる複数の性質を有する構成とした。

【００１６】請求項７のフィルム状接着剤は、上記請求
項６のフィルム状接着剤であって、この接着剤は接合機
能を主体として絶縁性を有する絶縁性接着剤部と、導電
性を有する導電性接着剤部とからなる構成とした。

【００１７】請求項８のフィルム状接着剤の製造方法
は、上記請求項６のフィルム状接着剤の製造方法であっ
て、離型紙上に目的とする性質を有する液状接着剤を塗
布して半硬化状態まで硬化させた後、他の目的とする性
質を有する液状接着剤を塗布して半硬化状態まで硬化さ
せる構成とした。

【００１８】請求項９のインクジェットヘッドの製造方
法は、基板上に圧電素子を接合し、この圧電素子の外部
電極と前記基板上に形成した電極パターンとを接続する
インクジェットヘッドの製造方法において、前記基板と
接合する圧電素子の面に予め接着剤を仮接合し、前記基
板上に電極パターンとの導通を得る導電性接着剤を塗布
し、前記接着剤を接合した圧電素子を前記基板上に配置
して、前記２つの接着剤を同時に硬化させる構成とし
た。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付
図面を参照して説明する。図１は本発明を適用するイン
クジェットヘッドの外観斜視図、図２は図１の概略分解
斜視図、図３は図１のＡ−Ａ線に沿う要部拡大断面図、
図４は図１のＢ−Ｂ線に沿う要部拡大断面図である。

【００２０】このインクジェットヘッドは、アクチュエ
ータユニット１と、このアクチュエータユニット１上に
接合した液室ユニット２とからなる。アクチュエータユ
ニット１は、絶縁性の基板３上に２列の積層型圧電素子
４，４を後述するフィルム状接着剤５１で接合すると共
に、これら２列の圧電素子４，４の周囲を取り囲む絶縁
性材料からなるフレーム５を接着剤によって接合してい
る。圧電素子４は、インクを液滴化して飛翔させるため
の駆動パルスが与えられる複数のアクチュエータ素子と
なる駆動部７，７…と、これらの駆動部７，７間に位置
して、駆動パルスが与えられない支柱部となる複数の非
駆動部８，８…とを交互に配置してなる。

【００２１】液室ユニット２は、ダイアフラム部１１を
有する振動板１２上に感光性樹脂フィルム（ドライフィ
ルムレジスト）で形成した第１感光性樹脂層１３、第２
感光性樹脂層１４、第３感光性樹脂層１５及びノズル孔
１６を有するノズル形成部材であるノズルプレート１７
を順次積層して各駆動部７，７…に対応するインク流路
である複数の加圧液室１８，１８…、各加圧液室１８，
１８…にインクを供給する複数の共通液室（共通インク
流路）１９，１９、共通液室１９と加圧液室１８を連通
する流体抵抗部を兼ねたインク供給路２０，２０をそれ
ぞれ形成している。この液室ユニット２はアクチュエー
タユニット１に接合剤２１で強固に接合している。

【００２２】ここで、基板３の圧電素子４，４間には駆
動部７の配列方向に沿ってすべての共通電極の導通をと
るための溝２５を形成し、駆動部７の配列方向と直交す
る方向には圧電素子４及び圧電素子４に接続した個別電
極を分割しているスリット溝２６を形成している。

【００２３】圧電素子４は、図３及び図４に示すように
積層型圧電素子からなり、例えば厚さ２０〜５０μｍ／
１層のＰＺＴ（＝Ｐb（Ｚr・Ｔi）Ｏ₃）２７と、厚さ数
μｍ／１層の銀・パラジューム（ＡgＰd）からなる内部
電極２８とを交互に積層したものである。圧電素子を、
厚さ２０〜５０μｍ／１層の積層型とすることによって
駆動電圧の低電圧化を図れる。なお、圧電素子として用
いる材料は上記に限られるものでない。

【００２４】この圧電素子４の各内部電極２８は１層お
きにＡgＰdからなる左右の外部電極である端面電極３
０，３１に接続している。一方、基板３上には、積層型
圧電素子４，４間に位置して駆動部７に対して駆動波形
を印加するためのヘッド側電極となる共通電極パターン
３２を形成すると共に、駆動部７に対して選択信号を与
えるためのヘッド側電極となる個別電極パターン３３を
設けている。なお、共通電極パターン３２及び個別電極
パターン３３はＮｉ−Ａｇ又はＡｇ−Ｐｔ等の合金の印
刷材料を印刷して形成しているが、これに限るものでは
ない。

【００２５】そして、各駆動部７の端面電極３０を後述
するフィルム状接着剤５１で共通電極パターン３２に接
続し、端面電極３１を同じくフィルム状接着剤５１で個
別電極パターン３３に接続している。なお、共通電極パ
ターン３２は基板３の中央部に形成した前記溝部２５表
面に形成することで各駆動部７と導通を取るようにして
いる。そして、共通電極パターン３２及び個別電極パタ
ーン３３にはそれぞれ圧電素子４を駆動するための駆動
波形及び選択信号を出力する駆動手段（ヘッド駆動回
路）にＦＰＣケーブル３５を接続している。

【００２６】一方、液室ユニット２の振動板１２は、圧
電素子４の駆動部７に対応する独立した島状凸部１２ａ
と、この島状凸部１２ａの周囲に位置して圧電素子４の
駆動部７の変位で変形する前記ダイアフラム部１１と、
このダイアフラム部１１の周囲に位置する厚肉剛体部１
２ｂが形成され、ダイアフラム部１１と厚肉剛体部１２
ｂとの間には逃げ領域１２ｃが形成されている。ダイア
フラム部１１は、最も厚みの薄い領域（薄肉部）であっ
て、厚さを３〜１０μｍ程度にしている。また、島状凸
部１２ａは、厚みの厚い領域であり、駆動部７との接合
領域であると共に、チャンネル方向（図４に示す方向）
では厚肉剛体部となる。厚肉剛体部１２ｂは液室ユニッ
ト２をフレーム５に接合するための領域である。ここで
は、島状凸部１２ａと厚肉剛体部１２ｂとは同じ第２層
で形成し、例えば２０μｍ以上の厚みにしている。

【００２７】また、ノズルプレート１７にはインク滴を
飛翔させるための微細孔である多数のノズル１６を形成
しており、このノズル１６の径はインク滴出口側の直径
で３５μｍ以下に形成している。このノズルプレート１
７はエレクトロンフォーミング工法（電鋳）によって製
造したＮi（ニッケル）の金属プレートを用いている
が、Ｓi、その他の金属材料を用いることもできる。こ
のノズルプレート１７の表面には撥水層１７ａを成膜し
ている。

【００２８】さらに、基板３、フレーム５及び振動板１
２には、外部から供給されるインクを共通液室２０に供
給するためのインク供給孔３７，３８，３９をそれぞれ
形成し、基板３のインク供給孔３７に接続したインク供
給パイプ４０を介してインクが供給される。

【００２９】そして、このインクジェットヘッドにおい
ては、予めアクチュエータユニット１と液室ユニット２
とを別々に組付けた後、接着剤２１によって両ユニット
１，２を接着接合して製造している。

【００３０】ここで、アクチュエータユニット１の加工
組付について図５及び図６を参照して簡単に説明する
と、図５に示すように基板３にインク供給孔３７及びス
リット溝２６よりも深い溝２５を形成して、この溝２５
を含めて予め共通電極用の電極パターン３２及び個別電
極用の電極パターン３３を大まかに印刷形成する。そし
て、図示しないフィルム状接着剤によって、図６に示す
ように両端面に端面電極３０，３１（図３参照）となる
電極を形成した２つの独立した圧電素子４，４を位置決
め治具を用いて基板３上に位置決めして接着接合すると
共に、圧電素子４，４の各端面の電極を基板３の電極パ
ターン３２，３３と電気的に接続する。

【００３１】その後、ダイヤモンド砥石をセットしたダ
イサー或いはワイヤソー等を用いて、例えば１ピッチ当
たり１００μｍ程度の幅で、基板３表面から深さ約５０
μｍを目安にして切り込み、圧電素子４をスリット加工
して駆動部７及び非駆動部８を分割形成する。このと
き、基板３に深さ５０μｍ程度のスリット溝２６を入れ
て切断することによって、個々の分割した駆動部７及び
非駆動部８を完全に独立させると共に、電極パターン３
２，３３も分割する。なお、基板３の溝２５にまでスリ
ット溝２６が達しないので、電極パターン３２は溝２５
を通じて圧電素子４，４の対向する端面側のすべての端
面電極３０と接続されたままである。

【００３２】その後、圧電素子４，４のスリット加工が
終了した基板３上にフレーム５を接着接合して、アクチ
ュエータユニット１を完成した後、このアクチュエータ
ユニット１に別途加工組立てた液室ユニット２と接着接
合する。そして、次の工程で

【００３３】次に、アクチュエータユニット１の基板３
と圧電素子４との接合に関して図７以降をも参照して説
明する。図７は基板と圧電素子及びフィルム状接着剤の
接合前の状態を示す模式的分解図、図８は基板と圧電素
子及びフィルム状接着剤の接合状態を示す模式的断面
図、図９は圧電素子とフィルム状接着剤の幅関係の説明
に供する説明図である。

【００３４】フィルム状接着剤５１は、基板３と圧電素
子４とを接合するための接合力を主体として絶縁性を有
する絶縁性接着剤部５２と、圧電素子４の外部電極（端
面電極）３０と基板３上の電極パターン３２，３３の導
通を得る導電性接着剤部５３とをフィルム状に一体化し
たものである。このフィルム状接着剤５１は、ＰＰやＰ
Ｅなどの接着剤が密着しづらい紙（離型紙）にて保護さ
れている。

【００３５】このフィルム状接着剤５１は、予め圧電素
子４（駆動部７及び駆動部８）の大きさに型抜きし、基
板３上の所定位置の載置して約９０℃で１０分間加熱し
て仮接合し、その後圧電素子４をフィルム状接着剤５１
上に載置して、１５０℃で６０分間加熱して本硬化させ
る。

【００３６】このとき、フィルム状接着剤５１の絶縁性
接着剤部５２は接合機能が主体であるので圧電素子４を
基板３上に十分な接合力で接合する。また、フィルム状
接着剤５１の導電性接着剤部５３は、加熱することで粘
度が低下し、圧電素子４の外部電極（端面電極）３０と
の濡れ作用によって外部電極３０表面に這い上がると共
に、基板３上の電極パターン３２，３３にも接触し、本
硬化することで、圧電素子４の外部電極３０と基板３上
の電極パターン３２，３３に低い電気接続抵抗値と十分
な接合力で接合されて、圧電素子４の外部電極３０と基
板３上の電極パターン３２，３３とを電気的に接続す
る。

【００３７】このように基板と圧電素子とを接合する接
合部材は、基板と圧電素子とを接合する絶縁性接着剤部
と、圧電素子の外部電極と基板上の電極パターンの導通
を得る導電性接着剤部とを一体化したフィルム状接着剤
である構成とすることによって、フィルム状接着剤を介
在させて硬化させることによって基板と圧電素子との接
合及び基板の電極パターンと圧電素子の外部電極との電
気的接続を行なうことができる。これにより、従前のよ
うに、圧電素子に液状の接着剤を塗布して基板上に載置
し、加熱硬化させた後、導電性接着剤をディスペンサー
などを用いて圧電素子の端面に塗布して外部電極と基板
の電極パターンの電気的接続を行なう必要がなくなり、
作業性、生産性が向上する。

【００３８】ここで、フィルム状接着剤５１の幅及び厚
みについて説明する。図９に示すように、圧電素子４は
ＧＮＤ電極（共通電極）と駆動電極（個別電極）にそれ
ぞれ接続された２つの内部電極２８が重なり合っている
部分を活性部と称する。この活性部は実際に駆動し、変
位する箇所である。そこで、圧電素子４の活性部の幅を
Ｌ1、圧電素子４の全幅をＬ₂、フィルム状接着剤５１の
絶縁性接着剤部５２の幅Ｌ₃としたとき、Ｌ₁＜Ｌ₃＜Ｌ₂
の関係が成立するように、絶縁性接着剤部５２の幅Ｌ₃
を設定している。このようにすることで、基板３と圧電
素子４との接合を確実にして、圧電素子４の変位効率を
向上することができる。

【００３９】また、フィルム状接着剤５１の導電性接着
剤部５３の厚みは、図９に示すように積層型圧電素子４
の一層の厚みをｔとしたとき、この一層の厚みｔ以上に
している。このようにすることで、圧電素子４の外部電
極（端面電極）３０及び基板３の電極パターン３２，３
３との接合強度及び所要の接続抵抗値を得ることができ
る。具体的には、圧電素子４の一層の厚みｔは２５〜３
５μｍが一般的であるので、フィルム状接着剤５１の導
電性接着剤部５３の厚みも３５μｍ以上であることが好
ましい。

【００４０】一方、フィルム状接着剤５１の絶縁性接着
剤部５２の厚みは、圧電素子４の平面度以上にする。こ
れによって、圧電素子を全体が接続するまで変形させる
ことなく接合することができる。絶縁性接着剤部５２の
厚みが圧電素子４の平面度より小さいと、接着剤まで変
形させようとする力がセラミックスである圧電素子に加
わり、破損するおそれがある。ここでは、圧電素子４の
平面度を２０μｍ以下としているので、フィルム状接着
剤５１の絶縁性接着剤部５２の厚みは２０μｍ以上にす
ることが好ましい。

【００４１】次に、フィルム状接着剤５１の製造方法に
ついて図１０を参照して説明する。フィルム状接着剤５
１の成膜方法としてはスクリーン印刷やロールコータ法
を用いることができる。例えばスクリーン印刷による場
合には、図１０（ａ）に示すように、離型紙６１上に開
口６２ａを有するスクリーン６２及びスキージ６３を用
いて所定の範囲に絶縁性接着剤６４を成膜する。この絶
縁性接着剤６４としては半硬化状態が得られる９４１−
６（商品名、エイブルスティック製）などが適してい
る。これを約９０℃で２０分間乾燥する。

【００４２】その後、開口６５ａを有するスクリーン６
５及びスキージ６３を用いて導電性接着剤６７を絶縁性
接着剤６４の両側に成膜する。この導電性接着剤６７と
しては半硬化状態が得られる９４１−３（商品名、エイ
ブルスティック製）などが適している。これを約９０℃
で２０分間乾燥する。

【００４３】このようにして離型紙６１上に絶縁性接着
剤６４を半硬化させた絶縁性接着剤部５１及び導電性接
着剤６７を半硬化させた導電性接着剤部５３からなるフ
ィルム状接着剤５１が得られる。そして、前述したよう
に、これを圧電素子の大きさに適した寸法に型抜きする
ことで、乾式のフィルム状接着剤５１が得られ、作業
性、生産性更に性能の優れたフィルム状接着剤を製作す
ることができる。

【００４４】次に本発明に係るインクジェットヘッドの
製造方法について図１１を参照して説明する。ここで
は、予め圧電素子４の接合面に絶縁性接着剤７１を塗布
し、基板３上に導電性接着剤７２を所定の範囲に塗布す
る。ここで、絶縁性接着剤７１及び導電性接着剤７２と
しては液状のものでも、或いはフィルム状のものでもよ
いが、硬化条件がほぼ同一の温度、時間であるものを選
定することが望ましい。この場合、絶縁性接着剤７１及
び導電性接着剤７２としてエポキシレジンを主体とする
ものを用いたが、この時の硬化条件は、９０〜１５０
℃、１０〜３０分で両者の機能が十分に発揮される。

【００４５】そして、圧電素子４を基板３上の所定位置
に配置して、２つの接着剤７１，７２を同時に硬化させ
て、圧電素子４を基板３上に接合すると共に、圧電素子
４の外部電極３０，３１と基板３上の電極パターン３
２，３３とを電気的に接続する。

【００４６】このように、基板と接合する圧電素子の面
に予め接着剤を仮接合し、基板上に電極パターンとの導
通を得る導電性接着剤を塗布し、接着剤を接合した圧電
素子を基板上に配置して、２つの接着剤を同時に硬化さ
せることによって、機能を分離した接着剤の各機能を十
分に発揮する接合が行なえると共に、接着剤硬化を同時
に行なうので作業性、生産性も向上する。

【００４７】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１のインク
ジェットヘッドによれば、基板と圧電素子とを接合する
接合部材は、基板と圧電素子とを接合する絶縁性接着剤
部と、外部電極と電極パターンの導通を得る導電性接着
剤部とを一体化したフィルム状接着剤である構成とした
ので、作業性、生産性の向上を図ることができる。

【００４８】請求項２のインクジェットヘッドによれ
ば、上記請求項１のインクジェットヘッドにおいて、フ
ィルム状接着剤の絶縁性接着剤部の幅は圧電素子の活性
部の幅よりも大きく、圧電素子の全幅よりも小さい構成
としたので、接合強度を十分得ることができ、圧電素子
の変位効率、導電性接合部の接合品質の信頼性を向上す
ることができる。

【００４９】請求項３のインクジェットヘッドによれ
ば、上記請求項１又は２のインクジェットヘッドにおい
て、フィルム状接着剤は絶縁性接着剤部の両側に導電性
接着剤部を設けた構成としたので、各機能を十分に発揮
することができ、信頼性の向上を図れる。

【００５０】請求項４のインクジェットヘッドによれ
ば、上記請求項１乃至３のいずれかのインクジェットヘ
ッドにおいて、導電性接着剤部の厚みが圧電素子の少な
くとも一層の厚み以上である構成としたので、圧電素子
との接合の信頼性の向上を図れる。

【００５１】請求項５のインクジェットヘッドによれ
ば、上記請求項１乃至４のいずれかのインクジェットヘ
ッドにおいて、絶縁性接着剤部の厚みが圧電素子の平面
度以上の厚さである構成としたので、圧電素子の破損を
伴うことなく接合信頼性の向上を図れる。

【００５２】請求項６のフィルム状接着剤によれば、こ
の接着剤は２つの部材を接着するフィルム状接着剤であ
って、電気的に異なる複数の性質を有する構成としたの
で、２つの部材の接合作業の作業性、生産性を向上する
ことができる。

【００５３】請求項７のフィルム状接着剤によれば、上
記請求項６のフィルム状接着剤であって、この接着剤は
接合機能を主体として絶縁性を有する絶縁性接着剤部
と、導電性を有する導電性接着剤部とからなる構成とし
たので、接合力の確保と導通性の確保という２つの機能
を満足する接合を行なうことができる。

【００５４】請求項８のフィルム状接着剤の製造方法に
よれば、上記請求項６のフィルム状接着剤の製造方法で
あって、離型紙上に目的とする性質を有する液状接着剤
を塗布して半硬化状態まで硬化させた後、他の目的とす
る性質を有する液状接着剤を塗布して半硬化状態まで硬
化させる構成としたので、容易に複合機能を有するフィ
ルム状接着剤を得ることができる。

【００５５】請求項９のインクジェットヘッドの製造方
法によれば、基板と接合する圧電素子の面に予め接着剤
を仮接合し、基板上に電極パターンとの導通を得る導電
性接着剤を塗布し、接着剤を接合した圧電素子を基板上
に配置して、２つの接着剤を同時に硬化させる構成とし
たので、各接着剤の各機能を十分に発揮する接合が行な
えると共に、接着剤硬化を同時に行なうので作業性、生
産性も向上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を適用したインクジェットヘッドの外観
斜視図

【図２】同インクジェットヘッドの分解斜視図

【図３】図１のＡ−Ａ線に沿う要部拡大断面図

【図４】図１のＢ−Ｂ線に沿う要部拡大断面図

【図５】アクチュエータユニットの加工組付け工程の説
明に供する斜視図

【図６】アクチュエータユニットの加工組付け工程の説
明に供する斜視図

【図７】基板と圧電素子及びフィルム状接着剤の接合前
の状態を示す模式的分解図

【図８】基板と圧電素子及びフィルム状接着剤の接合状
態を示す模式的断面図

【図９】圧電素子とフィルム状接着剤の幅関係の説明に
供する説明図

【図１０】フィルム状接着剤の製造方法の説明に供する
工程図

【図１１】本発明のインクジェットヘッドの製造方法を
説明する説明図

【符号の説明】

１…アクチュエータユニット、２…液室ユニット、４…
圧電素子、７…駆動部、１２…振動板、１３…第１感光
性樹脂層、１４…第２感光性樹脂層、１５…第３感光性
樹脂層、１６…ノズル、１７…ノズルプレート、１８…
加圧液室、１９…共通液室、２０…インク供給路、３２
…共通電極パターン、３３…個別電極パターン、５１…
フィルム状接着剤、５２…絶縁性接着剤部、５３…導電
性接着剤部、７１…絶縁性接着剤、７２…導電性接着
剤。

フロントページの続き (72)発明者牧田秀行東京都大田区中馬込１丁目３番６号株式会社リコー内 (72)発明者佐々木勉東京都大田区中馬込１丁目３番６号株式会社リコー内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基板上に圧電素子を接合し、この圧電素
子の外部電極と前記基板上に形成した電極パターンとを
接続するインクジェットヘッドにおいて、前記基板と圧
電素子とを接合する接合部材は、前記基板と圧電素子と
を接合する絶縁性接着剤部と、前記外部電極と電極パタ
ーンの導通を得る導電性接着剤部とを一体化したフィル
ム状接着剤であることを特徴とするインクジェットヘッ
ド。
【請求項２】請求項１に記載のインクジェットヘッド
において、前記フィルム状接着剤の絶縁性接着剤部の幅
は前記圧電素子の活性部の幅よりも大きく、圧電素子の
全幅よりも小さいことを特徴とするインクジェットヘッ
ド。
【請求項３】請求項１又は２に記載のインクジェット
ヘッドにおいて、前記フィルム状接着剤は絶縁性接着剤
部の両側に前記導電性接着剤部を設けたことを特徴とす
るインクジェットヘッド。
【請求項４】請求項１乃至３のいずれかに記載のイン
クジェットヘッドにおいて、前記導電性接着剤部の厚み
が前記圧電素子の少なくとも一層の厚み以上であること
を特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項５】請求項１乃至４のいずれかに記載のイン
クジェットヘッドにおいて、前記絶縁性接着剤部の厚み
が前記圧電素子の平面度以上の厚さであることを特徴と
するインクジェットヘッド。
【請求項６】２つの部材を接着するフィルム状接着剤
であって、この接着剤は電気的に異なる複数の性質を有
することを特徴とするフィルム状接着剤。
【請求項７】請求項６に記載のフィルム状接着剤であ
って、この接着剤は接合機能を主体として絶縁性を有す
る絶縁性接着剤部と、導電性を有する導電性接着剤部と
からなることを特徴とするフィルム状接着剤。
【請求項８】請求項６に記載のフィルム状接着剤の製
造方法であって、離型紙上に目的とする性質を有する液
状接着剤を塗布して半硬化状態まで硬化させた後、他の
目的とする性質を有する液状接着剤を塗布して半硬化状
態まで硬化させることを特徴とするフィルム状接着剤の
製造方法。
【請求項９】基板上に圧電素子を接合し、この圧電素
子の外部電極と前記基板上に形成した電極パターンとを
接続するインクジェットヘッドの製造方法において、前
記基板と接合する圧電素子の面に予め接着剤を仮接合
し、前記基板上に電極パターンとの導通を得る導電性接
着剤を塗布し、前記接着剤を接合した圧電素子を前記基
板上に配置して、前記２つの接着剤を同時に硬化させる
ことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。