JP3595129B2 - インクジェットヘッド - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明はインクジェットヘッドに関し、特に電気機械変換素子のd33方向の変位を用いてインク滴を吐出させるインクジェットヘッドに関する。
【0002】
【従来の技術】
一般に、プリンタ、ファクシミリ、複写装置等の画像形成装置として用いるインクジェット記録装置において用いるインクジェットヘッドとして、インク滴を吐出する複数のノズルと、各ノズルが連通するインク液室と、各インク液室内のインクを加圧してノズルからインク滴を吐出させるためのエネルギーを発生する圧電素子等の電気機械変換素子とを備え、この電気機械変換素子を印字データに応じて駆動することで所要のノズルからインク滴を吐出させて画像を記録する。
【0003】
このようなインクジェットヘッドにおいて、電気機械変換素子として例えば積層型圧電素子を用いてこの積層型圧電素子のd33方向の変位を利用する(特開平3−73347号公報参照)ようなヘッドの場合に、高集積化が進むに従って圧電素子の端面電極と圧電素子を駆動する駆動用ICとの電気的接続を確実に行うことが要求される。
【0004】
そこで、例えば特開平8−318625号公報に記載されているように、複数の圧電素子を接合した基板上に電極を形成し、圧電素子の端面電極(積層方向と平行な面に形成される電極)と基板上の電極とを銀ペースト等の導電性接着剤で接続した上、基板上の電極にフレキシブルプリントケーブル(FPC)を接続して、圧電素子を駆動用ICと電気的に接続するようにしている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、このように圧電素子の端面電極と基板上の電極とを導電性接着剤で接続するようにした場合、基板上への電極面の形成、導電性接着剤の塗布作業等が必要になって製造コストが掛かると共に、圧電素子にスリット加工を施して複数の圧電素子及び電極に分割する工法を採用したときに、導電性接着剤が剥離するおそれが生じる。
【0006】
本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、製造コストが廉価で、しかも、電気的信頼性の高いインクジェットヘッドを提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するため、請求項1のインクジェットヘッドは、電気機械変換素子がこの電気機械変換素子よりも幅広の保持部に接合されて断面形状が凸形状をなす部材が構成され、保持部上にも電気機械変換素子の個別電極となる端面電極及び/又は共通電極となる端面電極が形成されて、この保持部上の端面電極に直接フレキシブルプリントケーブルが接続されている構成とした。
【0008】
請求項2のインクジェットヘッドは、電気機械変換素子と一体にこの電気機械変換素子よりも幅広の電気機械変換素子材料からなる保持部が成形されて断面形状が凸形状をなす部材が構成され、保持部上にも電気機械変換素子の個別電極となる端面電極及び/又は共通電極となる端面電極が形成されて、この保持部上の端面電極に直接フレキシブルプリントケーブルが接続されている構成とした。
【0009】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を添付図面を参照して説明する。図1は本発明に係るインクジェットヘッドの一例を示す分解斜視図、図2は同ヘッドのチャンネル方向(ノズル配列方向)と直交する方向の要部拡大断面図、図3は同ヘッドのチャンネル方向の要部拡大断面図である。
【0010】
このインクジェットヘッドは、駆動ユニット1と、液室ユニット2と、ヘッドカバー3とを備えている。
駆動ユニット1は、セラミックス基板、例えばチタン酸バリウム、アルミナ、フォルステライトなどの絶縁性の基板11上に、インク滴を吐出させるためのエネルギーを発生するエネルギー発生手段12を列状に2列配置して接合し、これら各列のエネルギー発生手段12の周囲を取り囲む樹脂、セラミック等からなるフレーム部材13を接着剤14によって接合している。
【0011】
なお、複数のエネルギー発生手段12は、インクを液滴化して飛翔させるための駆動パルスが与えられる駆動部と、2つの駆動部間に位置して、駆動パルスが与えられずに単に液室ユニット2を基板11に固定する液室支柱部材となる非駆動部とを交互に構成している。
【0012】
ここで、エネルギー発生手段12は、図4にも示すように積層型電気機械変換素子である積層型圧電素子17をこれより幅広の保持部18に接着接合して保持し、全体として断面形状が凸形状をなしている。圧電素子17としては10層以上の積層型圧電素子を用いている。この積層型圧電素子は、例えば図2に示すように、厚さ10〜50μm/1層のチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)20と、厚さ数μm/1層の銀・パラジューム(AgPd)からなる内部電極21とを交互に積層したものであるが、圧電素子として用いる材料は上記に限られるものでなく、その他の材料やその他の電気機械変換素子を用いることもできる。
【0013】
そして、各圧電素子17の積層方向と平行な両端面にAgPd等からなる端面電極22,23(2つの圧電素子列の対向する面側を端面電極22とし、対向しない面側を端面電極23とする。)を形成し、圧電素子17の内部電極21を1層おきに左右の端面電極22,23に接続している。これらの端面電極22,23間に駆動電圧を与えることによって、積層方向に電界が発生して、積層方向の伸びの変位(d33方向の変位)が生起される。
【0014】
一方、液室ユニット2は、金属或いは樹脂の薄膜からなる振動板31と、ドライフィルムレジスト(DFR)からなる感光性樹脂層で形成した2層構造の液室隔壁部材32と、金属、樹脂等からなるノズルプレート33とを順次を積層し、熱融着して形成している。これらの各部材によって、1つの圧電素子12(駆動部17)と、この1つの圧電素子12に対応するダイアフラム部34と、各ダイアフラム部34を介して加圧される加圧液室35と、この加圧液室35の両側に位置して加圧液室35に供給するインクを導入する共通液室36,36と、加圧液室35と共通液室36,36とを連通するインク供給路37,37と、加圧液室35に連通するノズル38とによって1つのチャンネルを形成し、このチャンネルを複数個2列設けている。
【0015】
振動板31は、駆動部17に対応する前記ダイアフラム部34と、非駆動部18に接合する梁41及びフレーム部材13に接合するベース42とを形成している。ダイアフラム部34は、駆動部17に接合する島状凸部43と、この凸部43の周囲に形成した厚み3〜10μm程度の最薄膜部分(ダイアフラム領域)44とからなる。
【0016】
液室隔壁部材32は、振動板31側に予めドライフィルムレジストをラミネートして所要のマスクを用いて露光し、現像して所定の液室パターンを形成した第1感光性樹脂層45と、ノズルプレート33側に予めドライフィルムレジストをラミネートして所要のマスクを用いて露光し、現像して所定の液室パターンを形成した第2感光性樹脂層46とを熱圧着で接合してなる。
【0017】
ノズルプレート33にはインク滴を飛翔させるための微細な吐出口であるノズル38を多数を形成している。このノズル38の内部形状(内側形状)は、ホーン形状(略円柱形状又は略円錘台形状でもよい。)に形成している。また、このノズル38の径はインク滴出口側の直径で約25〜35μmである。
【0018】
このノズルプレート33のインク吐出面(ノズル表面側)は、図1に示すように撥水性の表面処理を施した撥水処理面47としている。例えば、PTFE−Ni共析メッキやフッ素樹脂の電着塗装、蒸発性のあるフッ素樹脂(例えばフッ化ピッチなど)を蒸着コートしたもの、シリコン系樹脂・フッ素系樹脂の溶剤塗布後の焼き付け等、インク物性に応じて選定した撥水処理膜を設けて、インクの滴形状、飛翔特性を安定化し、高品位の画像品質を得られるようにしている。なお、ノズルプレート33の周縁部は撥水処理膜を形成しない非撥水処理面48としている。
【0019】
なお、液室ユニット2も駆動ユニット1とは別個に加工、組立を行なった後、液室ユニット2の振動板31と駆動ユニット1の圧電素子12及びフレーム部材13とを接着剤50で接合してインクジェットヘッドとしている。
【0020】
そして、基板11をヘッド支持部材であるスペーサ部材(ヘッドホルダ)51上に支持して保持し、このスペーサ部材51内に配設したヘッド駆動用IC等を有するPCB基板52と駆動ユニット1の各圧電素子12の端面電極22,23とをFPCケーブル53,53を介して接続している。
【0021】
また、ノズルカバー(ヘッドカバー)3は、ノズルプレート33の周縁部及びヘッド側面を覆う箱状に形成したものであり、ノズルプレート33の撥水処理面47に対応して開口部を形成し、ノズルプレート33の周縁部に残した非撥水処理面48に接着剤にて接着接合している。さらに、このインクジェットヘッドには、図示しないインクカートリッジからのインクを液室に供給するため、スペーサ部材51、基板11、フレーム部材13及び振動板31にそれぞれインク供給穴54〜57を設けている。
【0022】
このように構成したインクジェットヘッドにおいては、記録信号に応じて駆動部17に駆動波形(10〜50Vのパルス電圧)を印加することによって、駆動部17に積層方向の変位が生起し、振動板31のダイアフラム部34を介して加圧液室35が加圧されて圧力が上昇し、ノズル38からインク滴が吐出される。このとき、加圧液室35から共通液室36へ通じるインク供給路37,37方向へもインクの流れが発生するが、インク供給路37,37の断面積を狭小にすることで流体抵抗部として機能させて共通液室36,36側へのインクの流れを低減し、インク吐出効率の低下を防いでいる。
【0023】
そして、インク滴吐出の終了に伴い、加圧液室35内のインク圧力が低減し、インクの流れの慣性と駆動パルスの放電過程によって加圧液室34内に負圧が発生してインク充填行程へ移行する。このとき、インクタンクから供給されたインクは共通液室36,36に流入し、共通液室36,36からインク供給路37,37を経て加圧液室35内に充填される。そして、ノズル38の出口付近のインクメニスカス面の振動が減衰し、表面張力によってノズル38の出口付近に戻されて(リフィル)安定状態に至れば、次のインク滴吐出動作に移行する。
【0024】
そこで、このインクジェットヘッドにおける駆動ユニット1の詳細について図5以降をも参照して説明する。
まず、図5に示すように基板11上に分割前のエネルギー発生手段12,12(これを「エネルギー発生手段61,61」とする。)を所定の方向に並べて配置して接着剤14で接合する。ここで、エネルギー発生手段61は、分割前の積層型圧電素子17を幅広の保持部18に接着接合することで断面形状は凸形状をなしている。保持部18としては、圧電材料若しくは圧電材料とは異なる異種材料で形成することができる。
【0025】
このように、エネルギー発生手段61(分割後はエネルギー発生手段12)を断面形状が凸形状になるように形成することで、図7(a)に示すように後述する端面電極22,23へのFPC53の圧着方向が平面上になるので、圧着作業の作業性が極めて良好になる。なお、同図(b)に示すようにエネルギー発生手段61を圧電素子17のみとして側面にFPC53を圧着することもできないことではない。また、凸形状のエネルギー発生手段12は、積層型圧電素子17と保持部18とを接着接合して形成するのではなく、積層型圧電素子17を焼成するときに保持部18も圧電材料で一体成形するようにすることもできる。
【0026】
またエネルギー発生手段61には基板11上に接合する前に端面電極22,23を蒸着、メッキなどの工法で形成する。この端面電極22,23の材料としては、金、銀、白金などが好ましい。このとき、端面電極22,23は圧電素子17の端面だけでなく保持部18の平面部上まで形成する。
【0027】
その後、図8に示すようにダイシングソーなどを用いてエネルギー発生手段61に所定のピッチでスリット加工を施して複数のエネルギー発生手段12に分割する。このとき、スリット溝11aを基板11上にまで入れることによって確実に複数のエネルギー発生手段12に分割することができる。
【0028】
そこで、図9に示すようにエネルギー発生手段12の保持部18上に形成されている圧電素子17の個別電極側の端面電極23にFPC53を熱圧着して接続する。このFPC53には図10に示すように個別電極形状にパターンニングされた電極面53aの形成している。FPC53を熱圧着するときの熱圧着材料としては半田などが好ましい。この場合、図11に示すようにFPC53の一部を基板11上に接着剤などで固定することによって、次工程からの取り扱い上FPC圧着部が剥離することを防止できる。
【0029】
また、図12に示すようにエネルギー発生手段12の保持部18上に形成されている圧電素子17の共通電極側の端面電極22にもFPC53を熱圧着で接続する。このFPC53には上述した個別電極形状の電極53aと共に図13に示すように共通電極形状にパターンニングされた電極面53bを形成している。
【0030】
このようにこのインクジェットヘッドにおいては、圧電素子の個別電極及び共通電極となる各端面電極に直接FPCを接続しているので、ディスペンサーなどによる導電性接着剤の塗布工程がなく、電極接続工法が簡略化して低コスト化を図れ、また電気的接続の信頼性が向上し、更に導電性接着剤を用いる場合に比べて各チャンネル間の抵抗値のバラツキが低減し、断線不良なども低減する。
【0031】
すなわち、従前のように基板上に形成した電極と圧電素子の端面電極とを予め導電性接着剤(銀ペースト等)で接続した後圧電素子にスリット加工を施して複数の圧電素子に分割する場合、銀ペーストが剥離不良を起こすことがあり、結果的に断線不良が発生し、また、銀ペースト材料の固有抵抗値に製造ロット内でバラツキが発生すると、製造ロットの異なる銀ペースト材料を同じヘッドに用いたときに抵抗値にバラツキが生じることになる。これに対して、本発明では導電性接着剤を用いていないので、断線不良や抵抗値のバラツキを低減する。
【0032】
なお、圧電素子の個別電極及び共通電極となる各端面電極のいずれか一一方のみに直接FPCを接続するようにしても、その限りで本発明の作用効果を得られることは勿論である。
【0033】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係るインクジェットヘッドによれば、電気機械変換素子と一体にこの電気機械変換素子よりも幅広の電気機械変換素子材料からなる保持部が成形されて断面形状が凸形状をなす部材が構成され、あるいは、電気機械変換素子と一体にこの電気機械変換素子よりも幅広の電気機械変換素子材料からなる保持部が成形されて断面形状が凸形状をなす部材が構成され、保持部上にも電気機械変換素子の個別電極となる端面電極及び/又は共通電極となる端面電極が形成されて、この保持部上の端面電極に直接フレキシブルプリントケーブルが接続されているので、フレキシブルプリントケーブルを電気機械変換素子の端面と平行な方向から圧着することができて、製造コストの低減、信頼性の向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るインクジェットヘッドの一例を示す分解斜視図
【図2】同ヘッドのチャンネル方向(ノズル配列方向)と直交する方向の要部拡大断面図
【図3】同ヘッドのチャンネル方向の要部拡大断面図
【図4】同ヘッドのエネルギー発生手段の斜視図
【図5】圧電素子を分割する前の状態を説明する斜視図
【図6】図5のエネルギー発生手段の製作過程を説明する説明図
【図7】エネルギー発生手段の例を説明する正面図
【図8】圧電素子を分割した後の状態を説明する斜視図
【図9】圧電素子の個別電極側端面電極とFPCとの接続を説明する説明図
【図10】FPCの要部概略平面図
【図11】圧電素子の電極とFPCとの接続後の状態を説明する説明図
【図12】圧電素子の共通電極側端面電極とFPCとの接続を説明する説明図
【図13】FPCの要部概略平面図
【符号の説明】
1…駆動ユニット、2…液室ユニット、12…エネルギー発生手段、17…圧電素子、18…保持部、22…共通電極側端面電極、23…個別電極側端面電極、53…FPC、53a,53b…電極。
Claims (2)
- 電気機械変換素子のd33方向の変位を用いてインク滴を吐出させるインクジェットヘッドにおいて、前記電気機械変換素子がこの電気機械変換素子よりも幅広の保持部に接合されて断面形状が凸形状をなす部材が構成され、前記保持部上にも前記電気機械変換素子の個別電極となる端面電極及び/又は共通電極となる端面電極が形成されて、この保持部上の端面電極に直接フレキシブルプリントケーブルが接続されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
- 電気機械変換素子のd33方向の変位を用いてインク滴を吐出させるインクジェットヘッドにおいて、前記電気機械変換素子と一体にこの電気機械変換素子よりも幅広の電気機械変換素子材料からなる保持部が成形されて断面形状が凸形状をなす部材が構成され、前記保持部上にも前記電気機械変換素子の個別電極となる端面電極及び/又は共通電極となる端面電極が形成されて、この保持部上の端面電極に直接フレキシブルプリントケーブルが接続されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
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