JPH1066971A - 純水製造装置および純水製造方法 - Google Patents

純水製造装置および純水製造方法

Info

Publication number
JPH1066971A
JPH1066971A JP22660396A JP22660396A JPH1066971A JP H1066971 A JPH1066971 A JP H1066971A JP 22660396 A JP22660396 A JP 22660396A JP 22660396 A JP22660396 A JP 22660396A JP H1066971 A JPH1066971 A JP H1066971A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pure water
water
membrane
filter
production apparatus
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP22660396A
Other languages
English (en)
Inventor
Kazuo Imai
和雄 今井
Takurou Shiyama
卓朗 獅山
Takao Tanno
隆雄 丹野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toray Industries Inc
Original Assignee
Toray Industries Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toray Industries Inc filed Critical Toray Industries Inc
Priority to JP22660396A priority Critical patent/JPH1066971A/ja
Publication of JPH1066971A publication Critical patent/JPH1066971A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
  • Filtering Materials (AREA)
  • Treatment Of Water By Ion Exchange (AREA)
  • Physical Water Treatments (AREA)
  • Water Treatment By Sorption (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【効果】 半導体製造等の電子工業分野、医薬品製造分
野、透析医療分野等において洗浄用、配合用、希釈用に
使用される高度に精製された透過水即ち純水を製造する
為の分離膜式純水製造装置において、ユースポイントで
の純水使用を停止することなく、逆浸透部分や紫外線殺
菌部分の装置メンテナンスや洗浄・滅菌が行える。 【構成】 原水を前処理する1次系処理システム(A)
と、前処理された原水を膜分離して純水を製造する2次
系処理システム(B)と、純水を受け入れてブローアウ
トする除菌フィルター格納部(C)から構成し、該
(A)と該(B)の間から分岐して該(B)の下流で合
流するバイパスラインを設けたことを特徴とする純水製
造装置。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造等の電
子工業分野、医薬品製造分野、透析医療分野等において
洗浄用、配合用、希釈用に使用される高度に精製された
透過水、すなわち純水を製造する為の分離膜式純水製造
装置に関わり、ユースポイントでの純水使用を停止する
ことなく、逆浸透部分や紫外線殺菌部分の装置メンテナ
ンス、洗浄、滅菌が行える純水製造装置に関する。
【0002】
【従来技術とその課題】図2は従来の純水製造装置のフ
ロー図を示す (2),(3),(4)は水道水等の原水の懸濁物質
と有機物の一部を除去する前処理装置で、原水中の不純
物イオンの除去を行う。 (8)は逆浸透(RO)膜からなる分
離膜装置で、原水前処理装置によりイオンの除去が行わ
れた前処理水中の無機イオン、有機物、微粒子等の除去
を行ない、高純度の純水を製造し、これをRO水タンク
(9) に供給する。
【0003】(11)は紫外線殺菌装置で、RO水タンク(9)
の純水に紫外線を照射し、純水中の有機物又は有機酸ま
でも酸化分解すると共に、バクテリア殺菌を行う。RO水
タンク(9) からは、純水供給ライン(15)を通って透析装
置等のユースポイント(26)に純水が供給される。なお、
分離膜装置迄を1次系処理システムと云い、分離膜装置
以後を2次系処理システムと云う。
【0004】一方、純水はユースポイント(26)で使用し
ている時も、使用していない時でも、純水循環ライン(1
6)を通してRO水タンク(9) に戻り、RO水タンク(9) →供
給ポンプ(10)→純水循環ライン(16)→RO水タンク(9) か
らなる閉ループ内を常時循環している。
【0005】このように純水を常時循環させているに
は、例えばユースポイント(26)における純水の不使用時
に運転を停止すると、停止時に配管やシステムを構成す
る各ユニット中に水が滞留して、バクテリアの繁殖が起
きたり、イオン成分や有機物が微量ながら管壁等から溶
出して純水の水質を劣化させたりする恐れがあること、
また停止時や再起動時のショックで各ユニットから微粒
子が吐き出されたり、溶出が促進されたりする恐れがあ
ること、さらに、ユースポイント(26)で純水を使用して
いる場合であっても、ユースポイント(26)に送られる純
水の全部をユースポイント(26)で使用してしまうと、純
水循環ライン(16)の配管中に、純水が滞留してやはりバ
クテリアの繁殖が起きたり、イオン成分等が溶出したり
する恐れがあるからである。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】純水製造装置を長時間
運転する場合、原水水質が悪い場合等は、ROモジュール
(8) が原水中の不純物質により汚染されるので洗浄が必
要となる。また、ROモジュール(8) の下流の紫外線殺菌
灯(11)、ROタンク(9) 、供給ポンプ(10)のまわりの配管
も、徐々にバクテリアや、ROモジュール(8) からの僅か
ではあるが透過不純物質により汚染を受け、純水の水質
低下をもたらすことがあり、ROモジュール(8) と同様
に、洗浄や滅菌が必要となり、その為に長時間にわたり
装置停止することが必要となる。また上記純水製造装置
の2次系処理システムが、運転中において装置トラブル
が発生した場合も、装置メンテナンスの為に長時間にわ
たり装置停止することになる。
【0007】その間は純水の使用ができなくなり、さら
には純水の循環が行えず、各ユニット等に水の滞留を招
くという問題がある。また、特に透析医療分野等におい
ては、装置メンテナンスの為に長時間にわたり装置停止
することは、医療活動に大きな障害となる。
【0008】本発明の目的は、このような従来の問題を
解決できる純水製造装置を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明は基本的に次の構成を有する。すなわち、「原
水を前処理する1次系処理システム(A)と、前処理さ
れた原水を膜分離して純水を製造する2次系処理システ
ム(B)と、純水を受け入れてブローアウトする除菌フ
ィルター格納部(C)から構成し、該(A)と該(B)
の間から分岐して該(B)の下流で合流するバイパスラ
インを設けたことを特徴とする純水製造装置」である。
【0010】
【発明の実施の形態】本発明では、トラブル発生の可能
性が高いROモジュール(8) 、紫外線殺菌灯(11)、ROタン
ク(9) 、供給ポンプ(10)部分に緊急用バイパスとしての
緊急ライン(17)を設け、該バイパスラインとメインライ
ンとの合流点以後に除菌フィルター(18)を設ける。該除
菌フィルター以後のメインラインにブローアウト配管(1
9)を備えることにより、ROモジュール(8) 、紫外線殺菌
灯(11)、ROタンク(9) 、供給ポンプ(10)部分のトラブル
時に対応できる。以下に本発明を詳細に説明する。
【0011】本発明の純水製造装置は、その本体に少な
くとも軟水器(2) と活性炭濾過器(3) と、これをバイパ
スさせる前処理バイパスライン(6) 、およびプレフィル
ター(4) から構成された原水の前処理手段(1次系処理
システム)と、前処理された原水の加圧手段、および分
離・滅菌手段と、これをバイパスさせる緊急ライン(1
7)、および該緊急ライン(17)使用時に除菌フィルター(1
8)を使用できるように構成する。該合流点以後のメイン
ラインにブローアウト配管(19)を備えた2次系処理シス
テムとからなり、また必要に応じて、1次系処理システ
ムでは原水ポンプ(1) を有し、好ましくは一体、または
数体に、まとめられた形状である。
【0012】透析医療施設など、設置に制限がある場合
においても、有効に運用・活用ができるように軽量かつ
省容積であり、特に制限されるものではないが、全体の
重量は 100〜1500kg、容積は 1.5〜15m 3 が好ましい。
さらに再生・逆洗浄・交換などのメンテナンスなしで、
8時間以上稼働できることが好ましい。また、取り扱い
や装置メンテナンスがし易く、重量の軽減ができ、美観
上から本体フレームはドアーパネル構造とするのが好ま
しい。運転操作・管理はパネル盤面上で行い、メンテナ
ンス等必要に応じてパネルを開閉できるようにし、また
移動用車輪を取付けるのが特に好ましい。
【0013】以下に本発明を図面に基ずいて詳細に説明
するが、これにより本発明は何等限定されるものではな
い。図1は本発明に関わる装置の一例を示すフロー図で
ある。
【0014】本発明では、原水を前処理するための軟水
器(2) と活性炭濾過器(3) とプレフィルター(4) を通過
に必要な圧力を加える手段として、原水ポンプ(1) を必
要に応じて取付けるのが好ましい。各々の処理能力は純
水製造水量や原水水質によって決定するが、軟水器(2)
は自動再生機能付きのアニオンやカチオン、または混床
カートリッジ方式等のイオン交換装置が好ましい。また
活性炭濾過器(3) も同様に自動逆洗浄機能付きのカート
リッジ方式等の濾過器が好ましい。プレフィルター(4)
としては糸巻きタイプ、 1〜20μm、材質としてはポリ
プロピレン、コットンなどが好ましい。また原水ポンプ
(1) としては渦巻き式が好ましい。
【0015】また純水製造装置を運転中に、軟水器(2)
や活性炭濾過器(3) の再生・逆洗浄や交換が必要となっ
た場合、純水製造装置を一時停止することなく軟水器
(2) や活性炭濾過器(3) の再生・逆洗浄や交換が行える
ように、前処理バイパスライン(6) ・前処理バイパス切
替え弁(5) を設けることが好ましい。
【0016】ROポンプ (7)は上記の軟水器(2) と活性炭
濾過器(3) とプレフィルター(4) で前処理された原水を
膜分離できる圧力まで昇圧する機能を果たすものであ
る。膜性能によって若干相違してくるが好ましくは能力
が 5kgf/cm2 以上、より好ましく能力が 7kgf/cm2 以上
のポンプが好ましい。具体例を挙げるなら、原水加圧手
段としての、多段遠心式ポンプや渦巻き式カスケードポ
ンプで原水を高圧に昇圧する。
【0017】本発明の分離膜は、好ましくは逆浸透(RO)
膜である。ここで逆浸透(RO)膜とは、被分離混合液中の
一部の成分、例えば溶媒を通過させ他の成分を透過させ
ない半透膜である。その素材には酢酸セルロース系ポリ
マー、ポリアミド、ポリエステル、ポリイミド、ビニル
ポリマーなどの高分子素材がよく使用されている。また
その膜構造は膜の少なくとも片面に緻密層を持ち、緻密
層から膜内部あるいはもう片方の面に向けて除々に大き
な孔径の微細孔を有する非対称膜、非対称膜の緻密層の
上に別の素材で形成された非常に薄い活性層を有する複
合膜がある。膜形態には中空糸、平膜がある。しかし本
発明の方法は、逆浸透(RO)膜の素材、膜構造や膜形態に
よらず利用することができ、いずれも効果がある。代表
的な逆浸透(RO)膜としては、例えば酢酸セルロース系や
ポリアミド系の非対称膜、およびポリアミド系やポリ尿
素系の活性層を有する複合膜などがあげられる。これら
の中でも酢酸セルロース系の非対称膜、ポリアミド系の
複合膜に本発明の方法が有効であり、さらに芳香族系の
ポリアミド複合膜でが効果が大きい。膜性能としては、
原水圧力10kgf/cm2 、温度25℃、塩濃度 1500ppm(NaCl)
の条件で、好ましくは透水量 0.2m 3 /m 2 ・日以上、
より好ましくは透水量 0.5 m3 /m 2 ・日以上である。
また、前記と同様の条件で塩排除率は好ましくは90.0%
以上、より好ましくは95.0%以上である。
【0018】逆浸透(RO)膜エレメントとは上記逆浸透(R
O)膜を実際に使用するために形態化したものであり、平
膜は、スパイラル、チューブラー、プレート・アンド・
フレームの、エレメントに組み込んで使用することがで
きるが、本発明はこれらの逆浸透(RO)膜エレメントの形
態に左右されるものではない。
【0019】ROモジュール(8) とは上述の逆浸透(RO)膜
エレメントを1〜数本圧力容器の中に収めたモジュール
を並列、もしくは直列、またはトーナメント状に配置し
たもので、その組合せ、本数、配列は目的に応じて任意
に行うことができる。
【0020】ROモジュール(8) の透過水は透過水ライン
(12)を通り、RO水タンク(9) に溜められ、濃縮水は濃縮
水ライン(13)を通って濃縮水の一部は装置外に排出され
るが、一部の濃縮水は濃縮水戻りライン(14)を通って、
ROポンプ (7)の吸込み側に戻され、再びROポンプ (7)に
より加圧されて、ROモジュール(8) へ供給される。
【0021】このようにROモジュール(8) では、透過水
のほかに,濃縮水が生産され、原水中のイオン類等の不
純物質が装置外に排出される。装置外への濃縮水排出量
および濃縮水のROポンプ(7) 吸込み側への戻り量は、原
水中のイオン類等の濃度、逆浸透膜面におけるファウリ
ング物の付着による目詰まり防止の観点等から決定され
る。
【0022】RO水タンク(9) に溜められた純水は、供給
ポンプ(10)によりユースポイントである透析装置(26)に
純水供給ライン(15)により供給されるが、その一部は常
に純水循環ライン(16)によりRO水タンク(9) に戻され
る。
【0023】通常、純水製造装置は長期連続運転される
ので、装置内においてバクテリアの繁殖が起こる恐れが
あり、これを防止する為に、RO水タンク(9) には紫外線
殺菌灯(11)を取付け、純水に紫外線を照射し純水中の有
機物又は有機酸までも酸化分解することが好ましい。
【0024】透析装置(26)に供給できる純水の最大水量
は、該純水製造装置の造水能力で決まるが、通常は純水
供給水量は造水能力以下に設定し、RO水タンク(9) の水
位により、純水製造装置を自動運転・停止するようにす
ることが好ましい。すなわち、RO水タンク(9) に水位計
(21)を取付け、透析装置の使用水量によってRO水タンク
(9) の水位変動するのに従って、LCで運転開始、HCで運
転停止するよう液面制御を行うのが好ましい。
【0025】RO水タンク(9) の水位がHCで運転停止、そ
の後に水位が下がりLCに達した時に、運転再開した場
合、ROモジュールからの透過水質は即座に所定の水質に
到達しないことがあるので、運転再開直後、数秒〜数分
間は透過水を自動ブロー弁(22)によりブローアウトする
ことが好ましい。
【0026】純水製造装置は長時間の連続運転されるこ
とが多く、装置トラブル、洗浄や滅菌の為に長時間にわ
たり装置停止するという問題を回避する為、トラブル発
生の可能性が高いROモジュール(8) 、紫外線殺菌灯(1
1)、ROタンク(9) 、供給ポンプ(10)部分に緊急用バイパ
スとしての緊急ライン(17)を設け、該緊急ライン(17)使
用時のみに除菌フィルター(18)を使用できるように構成
することが好ましい。
【0027】かかる除菌フィルター(18)の構成する形態
としては、例えば、該バイパスラインとメインラインと
の合流点以後に除菌フィルター(18)を設ける。この場
合、該除菌フィルター以後のメインラインにブローアウ
ト配管(19)を備えることがとくに好ましい。また、上記
の除菌フィルターのフィルターエレメントは、緊急ライ
ン(17)を使用する時に、装着することが好ましい。もう
1つの除菌フィルター(18)の構成する形態としては、緊
急ライン(17)上に除菌フィルター(18)を配置する形態で
ある。この形態では除菌フィルター格納部に通水される
のは、緊急時のみであるので、初めから除菌フィルター
を装着していても通常時の純水製造において余計な圧力
損失を生じさせることはない。これらの構成の形態は使
用目的やコスト等を勘案して適宜選択できる。また、場
合によっては従来の純水製造装置を改造して、本発明の
純水製造装置にすることもできる。
【0028】なお、ユースポイント(26)への純水供給圧
力を一定にする為に、純水供給ライン(15)に定流量弁(2
8)を備えることが好ましい。
【0029】
【実施例】図1の通りの構成を有する純水製造装置を製
作した。但し、主な各構成要素は下記の通りにした。
【0030】{1:原水ポンプ}砲金製の渦巻き式ポン
プ。ROタンク(9) の水位計(21)の信号により自動運転す
る。
【0031】{2:軟水器}自動再生機能付きのカチオ
ン・カートリッジ方式のイオン交換装置で、タイマー設
定により、1〜7日に一回、純水の需要が少ない深夜に
再生を行う。再生中は前処理バイパスライン(6) に、前
処理バイパス切替え弁(5) で自動切り替えを行う。
【0032】{3:活性炭濾過器}自動逆洗浄機能付き
の活性炭を詰めたカートリッジ方式の濾過器で、軟水器
と同様にタイマー設定により1〜7日に一回、深夜に逆
洗を行う。逆洗中は前処理バイパスライン(6) に自動切
り替えを行う。
【0033】{4:プレフィルター}エレメント:糸巻
きタイプ (PP樹脂、10μm×20インチ) 、ハウジング:
PP樹脂製、ブルドン管式圧力指示計つき(濾過前・後) {7:ROポンプ}砲金製の渦巻き式カスケードポンプ。
原水ポンプ(1) 同様に、ROタンク(9) の水位計(21)の信
号により自動運転するが、原水ポンプ(1) の運転開始
後、数秒〜数十秒後に、運転開始し、停止の場合は該RO
ポンプ(7) 停止後、数秒〜数十秒後に、原水ポンプ(1)
を停止する。
【0034】{8: RO モジュール}架橋全芳香族ポリ
アミド複合膜、4インチ・スパイラルモジュール (SU-7
10L)を3本直列に配置。
【0035】{9:ROタンク}ステンレス製の角型水
槽。
【0036】{10:供給ポンプ}ステンレス製の渦巻
き式ポンプ。
【0037】{17:緊急ライン}ステンレス鋼管に
て、できるだけ短距離に配管した。
【0038】{18:除菌フィルター}エレメント:PP
樹脂、0.2 μm×20インチ、ハウジング:ステンレス
製。
【0039】{28:定流量弁}バネの押しつけ力を利
用した手動設定式の弁
【0040】
【発明の効果】上述のように本発明の構成によれば、次
のような効果が得られる。
【0041】(a) 半導体製造等の電子工業分野、医薬品
製造分野、透析医療分野等において洗浄用、配合用、希
釈用に使用される高度に精製された透過水即ち純水を製
造する為の分離膜式純水製造装置において、ユースポイ
ントでの純水使用を停止することなく、逆浸透部分や紫
外線殺菌部分の装置メンテナンスや洗浄・滅菌が行え
る。
【0042】(b) 逆浸透膜装置を使用したことにより、
従来技術に比べて、装置全体のコンパクト化が図れ、大
量の原水を短時間に高能率的に分離膜処理でき、純水の
確保が強化できる。
【0043】(c) 純水供給ライン(15)に定流量弁(28)を
備えることにより、除菌フィルター(18)の目詰まり等に
よる一次側の圧力変動があっても、設定した一定流量の
純水供給ができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 発明の純水製造装置のフロー図である。
【図2】 従来の純水製造装置のフロー図である。
【符号の説明】
1:原水ポンプ 2:軟水器 3:活性炭濾過器 4:プレフィルター 5:前処理バイパス切替え弁 6:前処理バイパスライン 7:ROポンプ 8:ROモジュール 9:RO水タンク 10:供給ポンプ 11:紫外線殺菌灯 12:透過水ライン 13:濃縮水ライン 14:濃縮水戻りライン 15:純水供給ライン 16:純水循環ライン 17:緊急ライン 18:除菌フィルター 19:ブローアウト配管 20:除菌フィルター・ブローアウト配管 21:水位計 22:透過水・自動ブロー弁 23:前処理水切替え弁 24:緊急用バイパス切替え弁 25:純水供給切替え弁 26:ユースポイント(透析装置) 27:透過水ブロー配管 28:定流量弁
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 C02F 1/32 C02F 1/32 1/44 1/44 J

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 原水を前処理する1次系処理システム
    (A)と、前処理された原水を膜分離して純水を製造す
    る2次系処理システム(B)と、純水を受け入れてブロ
    ーアウトする除菌フィルター格納部(C)から構成し、
    該(A)と該(B)の間から分岐して該(B)の下流で
    合流するバイパスラインを設けたことを特徴とする純水
    製造装置。
  2. 【請求項2】 該除菌フィルター格納部(C)は該合流
    する部分より下流に配置され、かつフィルターエレメン
    トは、2次系処理システムのバイパスラインを使用時
    に、該(C)に装着できることを特徴とする請求項1記
    載の純水製造装置。
  3. 【請求項3】 該除菌フィルター格納部以後の純水供給
    ラインに定流量弁を備えたことを特徴とする請求項1記
    載の純水製造装置。
  4. 【請求項4】 該1次系処理システムは、軟水器と活性
    炭濾過器とプレフィルターから構成され、軟水器と活性
    炭濾過器をバイパスするラインを備えた請求項1記載の
    純水製造装置。
  5. 【請求項5】 上記の該2次系処理システムは、分離膜
    と透過水タンクとから構成され、該透過水タンクには紫
    外線殺菌灯を設けた請求項1記載の純水製造装置。
  6. 【請求項6】 該分離膜が逆浸透(RO)膜であることを特
    徴とする請求項1記載の純水製造装置。
  7. 【請求項7】 該分離膜が原水圧力10kgf/cm2 、温度25
    ℃、塩濃度1500ppm(NaCl) の条件で、透水量 0.2m 3
    m 2 ・日以上の性能を有する逆浸透(RO)膜であることを
    特徴とする請求項1記載の純水製造装置。
  8. 【請求項8】 該2次系処理システム(B)は循環系を
    なしていることを特徴とする請求項1記載の純水製造装
    置。
  9. 【請求項9】 該除菌フィルター格納部はバイパスライ
    ンに配置され、かつフィルターエレメントが装着されて
    いることを特徴とする請求項1記載の純水製造装置。
  10. 【請求項10】 請求項1記載の純水製造装置を用いた
    ことを特徴とする純水製造方法。
JP22660396A 1996-08-28 1996-08-28 純水製造装置および純水製造方法 Pending JPH1066971A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP22660396A JPH1066971A (ja) 1996-08-28 1996-08-28 純水製造装置および純水製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP22660396A JPH1066971A (ja) 1996-08-28 1996-08-28 純水製造装置および純水製造方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH1066971A true JPH1066971A (ja) 1998-03-10

Family

ID=16847791

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP22660396A Pending JPH1066971A (ja) 1996-08-28 1996-08-28 純水製造装置および純水製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH1066971A (ja)

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6984313B2 (en) * 2001-03-26 2006-01-10 Mark Farvell M Filtration and purification system and method therefor
EP1801078A1 (en) * 2005-12-23 2007-06-27 Enia S.P.A. Apparatus for purification treatment of drinking water and process therefor
JP2009221733A (ja) * 2008-03-17 2009-10-01 Miura Co Ltd 水処理供給システム
WO2011016522A1 (ja) * 2009-08-05 2011-02-10 日本ボールドウィン株式会社 湿し水供給装置
JP2011036809A (ja) * 2009-08-11 2011-02-24 Miura Co Ltd 水処理システム
CN103896417A (zh) * 2012-12-29 2014-07-02 深圳先进技术研究院 一种透析用水装置及其制造方法
JP5563765B2 (ja) * 2006-12-25 2014-07-30 日本碍子株式会社 排水処理システム及び排水処理方法
JP2016034636A (ja) * 2014-08-01 2016-03-17 メルク パテント ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングMerck Patent Gesellschaft mit beschraenkter Haftung 浄水システムおよび方法
CN110156221A (zh) * 2018-02-14 2019-08-23 湖州市腾跃环保科技有限公司 一体化的智能型超纯水***
JP2019188270A (ja) * 2018-04-18 2019-10-31 日本ウォーターシステム株式会社 水処理装置
KR20210086153A (ko) * 2019-12-31 2021-07-08 주식회사 경동나비엔 연수 시스템
CN113105043A (zh) * 2021-04-08 2021-07-13 湖南龙新净水科技有限公司 一种管道直饮水水处理***

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6984313B2 (en) * 2001-03-26 2006-01-10 Mark Farvell M Filtration and purification system and method therefor
EP1801078A1 (en) * 2005-12-23 2007-06-27 Enia S.P.A. Apparatus for purification treatment of drinking water and process therefor
WO2007072127A1 (en) * 2005-12-23 2007-06-28 Enia Spa Apparatus for purification treatment of drinking water and process therefor
JP5563765B2 (ja) * 2006-12-25 2014-07-30 日本碍子株式会社 排水処理システム及び排水処理方法
JP2009221733A (ja) * 2008-03-17 2009-10-01 Miura Co Ltd 水処理供給システム
WO2011016522A1 (ja) * 2009-08-05 2011-02-10 日本ボールドウィン株式会社 湿し水供給装置
JP2011036809A (ja) * 2009-08-11 2011-02-24 Miura Co Ltd 水処理システム
CN103896417A (zh) * 2012-12-29 2014-07-02 深圳先进技术研究院 一种透析用水装置及其制造方法
JP2016034636A (ja) * 2014-08-01 2016-03-17 メルク パテント ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングMerck Patent Gesellschaft mit beschraenkter Haftung 浄水システムおよび方法
CN110156221A (zh) * 2018-02-14 2019-08-23 湖州市腾跃环保科技有限公司 一体化的智能型超纯水***
JP2019188270A (ja) * 2018-04-18 2019-10-31 日本ウォーターシステム株式会社 水処理装置
KR20210086153A (ko) * 2019-12-31 2021-07-08 주식회사 경동나비엔 연수 시스템
CN113105043A (zh) * 2021-04-08 2021-07-13 湖南龙新净水科技有限公司 一种管道直饮水水处理***

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN110536742B (zh) 高回收率集成uf/ro***
PT1161981E (pt) Método de separação por osmose inversa em várias etapas
JPH1066971A (ja) 純水製造装置および純水製造方法
GB2249307A (en) Process for purifying water by means of a combination of electrodialysis and reverse osmosis
JP2004008958A (ja) 精製水製造装置
JP2001219164A (ja) 純水製造器および純水製造装置
JPH0543440B2 (ja)
JPH05293469A (ja) 滅菌精製水の製造方法およびその装置
KR101051597B1 (ko) 인공신장기용 정수장치
JPH09122654A (ja) 飲料水製造装置
JP6956223B2 (ja) 精製水供給システムおよびその運転方法
JPH10249332A (ja) 浄水器および浄水装置
JP2009039696A (ja) 精製水製造装置
Botes et al. Long-term evaluation of a UF pilot plant for potable water production
JP3128642B2 (ja) 透析用水製造装置の浄化法
KR19990070114A (ko) 고투수성한외여과막모듈을이용한중앙정수시스템
JP2997099B2 (ja) 無菌水溶液を製造する系
JPH08141565A (ja) 浄水装置
JPH11277062A (ja) 精製水の製造装置および製造方法
JPH08267061A (ja) 水泳プール水の水浄化装置および水泳プール水の水浄化方法
JP2020156674A (ja) 人工透析用水処理ユニット及び人工透析用水処理装置
CN214936552U (zh) 超纯水的水处理装置
JP3660421B2 (ja) 貯溜水浄化設備
JP6687509B2 (ja) 精製水供給システムおよびその運転方法
JP2009028600A (ja) 精製水製造装置