JPH1054368A

JPH1054368A - ベローズポンプ

Info

Publication number: JPH1054368A
Application number: JP21347496A
Authority: JP
Inventors: Takeo Yajima; 丈夫矢島
Original assignee: Koganei Corp
Current assignee: Koganei Corp
Priority date: 1996-08-13
Filing date: 1996-08-13
Publication date: 1998-02-24

Abstract

(57)【要約】【課題】高精度の定流量性を実現したベローズポンプ
を提供する。【解決手段】軸方向に進退移動するベローズ１７ａ，
１７ｂをそれぞれ有する複数のポンプ室１３ａ，１３ｂ
を有する。また、ベローズ１７ａ，１７ｂの後退移動時
に液体貯蔵槽内の液体をポンプ室１３ａ，１３ｂに案内
する流入側流路と、ベローズ１７ａ，１７ｂの前進移動
時にポンプ室１３ａ，１３ｂ内の液体を吐出ノズルに案
内する吐出側流路と、各流入側流路および各吐出側流路
のそれぞれに設けられた逆止弁とを有する。さらに、ベ
ローズ１７ａ，１７ｂを各々独立して駆動可能な電動の
モータ２ａ，２ｂとを有し、このモータ２ａ，２ｂによ
ってベローズ１７ａ，１７ｂの移動量を制御して、吐出
側流路から流出する液体の量を制御する

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、吐出量を任意に制
御できるベローズポンプに関し、特に、電子部品製造装
置等で使用される処理用薬液の作成に適用して有効な技
術に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来より、所定量の液体を供給する定量
吐出ポンプの一つとしてベローズポンプが広く用いられ
ている。

【０００３】このベローズポンプは、ベローズを伸縮運
動させることにより吸入圧と吐出圧を得るものであり、
ベローズの伸縮は一般にモータや空気圧によって制御さ
れる。例えば、特開平７−３１０８３８号公報の液体吐
出装置では、モータとボールねじの組み合わせによって
ベローズの伸縮を行っている。また、特開昭６２−２３
３４８５号公報のベローズポンプや特開平３−７８５８
３号公報の複動式ポンプでは、空気圧によって２個のベ
ローズを交互に伸縮させている。

【０００４】一方、特開昭６２−１０３４８９号公報の
ベローズポンプのように、ポンプのコンパクト化のた
め、ベローズを有するポンプ室を２個並設した形態のも
のも提案されている。なお、この場合には、各ベローズ
は並設された２個の空気圧シリンダにより駆動される。

【０００５】ところで、このようなベローズポンプは、
定量の液体を比較的低圧で供給できる特性を生かして半
導体製造工程においても多く用いられている。例えば、
特開平７−３１０８３８号公報にあるような半導体ウエ
ハ表面へのフォトレジスト液の塗布や、洗浄液等の半導
体製造工程で使用される処理用薬液の作成や供給などに
用いられている。

【０００６】この場合、フォトレジスト液の塗布は、ベ
ローズポンプを介して半導体ウエハ上に直接供給され
る。一方、処理用薬液は、水などの基剤を所定量貯留し
た容器内に、一定量の薬剤をベローズポンプにより供給
し、これを撹拌することにより作成される。そして、こ
のようにして作成された処理用薬液をベローズポンプに
よって半導体製造装置に供給することも多く行われてい
る。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ここで、半導体の製造
工程において、製品を連続的かつ効率良く製造するため
には、半導体製造装置に対し処理用薬液を常に一定流量
だけ供給することが求められる場合がある。この場合、
処理用薬液の作成に際しては、その原材料となる薬剤を
基剤中に常に一定流量だけ供給する必要があり、さら
に、その濃度を一定にするため、送られる薬剤の量も厳
格に制御されなければならない。

【０００８】しかしながら、従来のベローズポンプにあ
っては、特開平７−３１０８３８号公報のようなモータ
駆動のものでは、ベローズ作動中は安定した定流量が得
られるものの、間欠動作となり常に一定量を供給するこ
とはできない。

【０００９】一方、特開昭６２−１０３４８９号公報等
のようなベローズを２個使用したポンプでは、ベローズ
を交互に作動させることにより連続的に薬剤を供給でき
るが、従来のこの種のポンプは空気圧駆動のため次のよ
うな問題がある。すなわち、まず第１に、ベローズの動
きが空気の圧力や温度の変化、またそれによる摺動抵抗
などの変化の影響を受け流量が一定しない。第２に、空
気圧使用のため、ベローズを瞬間的に切り替えて所定の
作動速度に短時間で立ち上げることが難しく、吐出流が
脈流となる。このように空気圧駆動のポンプでは、高精
度な定流量を得るのが困難であるという問題があった。

【００１０】さらに、空気圧駆動のベローズポンプで
は、ベローズをストローク途中で停止できないため、そ
の吐出量が、１回の吐出動作によって吐出される量の整
数倍に限られ、細かな吐出量調整ができないという問題
もあった。このため、薬剤供給量を細かに制御すること
ができず、その安定化が課題となっていた。

【００１１】本発明の目的は、脈動のない高精度な定流
量特性を実現したベローズポンプを提供することにあ
る。

【００１２】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。

【００１４】すなわち、本発明のベローズポンプは、軸
方向に進退移動するベローズをそれぞれ有し、このベロ
ーズの伸縮運動により吸入圧および吐出圧を発生させる
複数のポンプ室を有する。また、各ポンプ室と液体貯蔵
槽とを連通しベローズの後退移動時に液体貯蔵槽内の液
体をポンプ室に案内する流入側流路と、各ポンプ室と液
体吐出ノズルとを連通しベローズの前進移動時にポンプ
室内の液体を吐出ノズルに案内する吐出側流路と、各流
入側流路および各吐出側流路のそれぞれに設けられた逆
止弁とを有する。さらに、ベローズを各々独立して駆動
可能な電動駆動装置とを有し、この電動駆動装置によっ
てベローズの移動量を制御することにより、吐出側流路
から流出する液体の量を制御することを特徴としてい
る。

【００１５】この場合、前記の電動駆動装置はそれぞ
れ、電動のモータと、このモータに接続されたねじ部材
と、このねじ部材に螺合すると共に前記のベローズと接
続された駆動部材とを有してなり、モータの回転により
前記の駆動部材を軸方向に駆動させてベローズを進退移
動させようにしても良い。なお、本願においては、モー
タの回転とは、３６０度以上の変位をも含むモータの正
逆転動作をいう。

【００１６】また、前記のポンプ室を２個とし、前記の
電動駆動装置によってこの２個のポンプ室に交互に吐出
動作を行わせることにより吐出側流路から流出する液体
の量を一定に制御するようにしても良い。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて詳細に説明する。図１は、本発明の一実施の
形態であるベローズポンプの外観を示す平面図、図２は
そのＡ−Ａ線に沿った断面図、図３はＢ−Ｂ線に沿った
断面図である。本発明のベローズポンプは、２個の電動
ベローズを並設してそれらを最適制御することにより常
に一定量の薬剤を供給するものであり、当該実施の形態
は、半導体製造工程において使用される処理用薬液の作
成に本発明のベローズポンプを適用したものである。

【００１８】図１に示すように、当該実施の形態のベロ
ーズポンプは、モータ等の電動駆動装置を格納するモー
タハウジング１ｍと、ベローズポンプが構成されるポン
プハウジング１ｐと、薬剤の吸入・吐出を行うバルブハ
ウジング１ｖとから構成されており、薬剤貯蔵槽（液体
貯蔵槽）３１および薬剤供給ノズル（液体吐出ノズル）
３２に接続されている。そして、それらの中には、図２
に示されるように、電動ベローズＡと電動ベローズＢが
それぞれ独立して動作可能な状態で格納されている。な
お、以下の説明において、符号の添字ａ，ｂはそれぞれ
電動ベローズＡ、Ｂに所属する部材であることを示す。

【００１９】ここで、モータハウジング１ｍには、図２
に示すように、２個のサーボモータ（以下、モータと略
す）２ａ，２ｂが格納されており、カップリング３ａ，
３ｂによってボールねじ（ねじ部材）４ａ，４ｂと接続
されている。また、ボールねじ４ａ，４ｂには、駆動軸
（駆動部材）５ａ，５ｂに固着されると共にリニアガイ
ド６ａ，６ｂに装着されたナット７ａ，７ｂが螺合して
いる。従って、当該ベローズポンプでは、モータ２ａ，
２ｂの回転によってボールねじ４ａ，４ｂが回転し、そ
れに伴って駆動軸５ａ，５ｂがリニアガイド６ａ，６ｂ
に案内されながら、図２において左右方向に進退移動す
るようになっている。

【００２０】また、ボールねじ４ａ，４ｂのモータ２
ａ，２ｂ側は、支持壁８に取り付けられたベアリング９
ａ，９ｂによって回転自在に支持されている。さらに、
モータ２ａ，２ｂにはエンコーダ１０ａ，１０ｂがそれ
ぞれ取り付けられており、その回転角度や回転数が正確
に計測できるようになっている。なお、当該実施の形態
では、モータ２ａ，２ｂの回転運動を駆動軸５ａ，５ｂ
の直進運動に変換するために、ねじ部材としてボールね
じ４ａ，４ｂを用いた例を示したが、台形ねじ等のすべ
りねじを用いてこれを構成しても良い。

【００２１】次に、ポンプハウジング１ｐは、合成樹脂
製の連結プレート１１と、薬剤による耐食性を考慮して
フッ素樹脂であるポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦ
Ｅ）等の合成樹脂により形成されたポンプブロック１２
とから構成されている。そして、ポンプブロック１２内
には、図２，３に示すように、ポンプ室１３ａ，１３ｂ
と流入側流路１４ａ，１４ｂおよび吐出側流路１５ａ，
１５ｂが形成されており、これらの中を薬剤が流れるよ
うになっている。

【００２２】また、ポンプ室１３ａ，１３ｂ内には、エ
ンドプレート１６ａ，１６ｂと一体に形成された蛇腹状
のベローズ１７ａ，１７ｂが設けられている。この場
合、ベローズ１７ａ，１７ｂの先端部１８ａ，１８ｂ
は、駆動軸５ａ，５ｂの先端と連結されている。従っ
て、モータ２ａ，２ｂの回転に伴う駆動軸５ａ，５ｂの
進退によって、ベローズ１７ａ，１７ｂもまたポンプ室
１３ａ，１３ｂ内で伸縮し、図２において左右方向に進
退移動する。そしてこれにより、ポンプ室１３ａ，１３
ｂ内にて薬剤を吸入・吐出する圧力が発生するなお、ベローズ１７ａ，１７ｂとエンドプレート１６
ａ，１６ｂもまた、耐食性のためフッ素樹脂等により形
成されている。また、エンドプレート１６ａ，１６ｂの
側部にはＯリング１９ａ，１９ｂが取り付けられてい
る。このため、ポンプ室１３ａ，１３ｂは、ベローズ１
７ａ，１７ｂとエンドプレート１６ａ，１６ｂによっ
て、気密状態でモータハウジング１ｍ側と隔離されてい
る。

【００２３】一方、バルブハウジング１ｖは、ポンプハ
ウジング１ｐの上下に取り付けられた流入側ブロック２
０と吐出側ブロック２１の２個のブロックからなり、そ
れぞれフッ素樹脂等の合成樹脂によって形成されてい
る。ここで、それぞれの内部には、流入側流路２２と吐
出側流路２３が形成されており、外部のチューブ２４を
介して薬剤貯蔵槽３１や処理用薬液供給槽３３の薬剤供
給ノズル３２と接続されている。また、図３に示すよう
に、これらは内部で二股に分岐しており（２２ａ，２２
ｂおよび２３ａ，２３ｂ）、それぞれポンプハウジング
１ｐの流入側流路１４ａ，１４ｂや吐出側流路１５ａ，
１５ｂと接続されている。従って、ベローズ１７ａ，１
７ｂが後退移動する時には、流入側流路１４ａ，１４ｂ
によって薬剤貯蔵槽３１内の液体が各ポンプ室１３ａ，
１３ｂに案内され、ベローズ１７ａ，１７ｂの前進移動
する時には各ポンプ室１３ａ，１３ｂ内の薬剤が薬剤供
給ノズル３２に案内される。

【００２４】なお、処理用薬液供給槽３３には、処理用
薬液の基剤となる水等が供給される基剤供給管３４と、
作成された処理用薬液を半導体製造装置（図示せず）に
送給する処理用薬液供給管３５がそれぞれ設けられてい
る。そして、所定の薬剤を薬剤供給ノズル３２から一定
量で供給することにより、一定濃度の処理用薬液が作成
され、半導体製造装置に供給される。なお、処理用薬液
の作成方法としては、基剤供給管３４から常時基剤を供
給して処理用薬剤を連続的に作成しても良いし、一定量
の基剤を処理用薬液供給槽３３に溜めて一定量ずつ処理
用薬液を作成しても良い。

【００２５】ところで、ポンプハウジング１ｐの流入側
流路１４ａ，１４ｂやバルブハウジング１ｖの吐出側流
路２３には、流入側逆止弁２５ａ，２５ｂおよび吐出側
逆止弁２６ａ，２６ｂが形成されており、それぞれ一方
向にのみ薬剤が流れるようになっている。ここで、その
構造を逆止弁２５ａを例にとって説明する。なお、各逆
止弁は全て同様の構造となっている。

【００２６】この逆止弁２５ａは、図４に示すように、
ポンプブロック１２と、流入側ブロック２０に設けられ
た下側ブロック３６との間に配設されている。ポンプブ
ロック１２内には、球形状で直径Ｒの弁体２７を上下方
向に移動自在に収容する弁収容室２８が形成されてい
る。また、弁収容室２８の下端は、下側ブロック３６に
形成された流通路２９と連通している。なお、流通路２
９は、流入側ブロック２０の流入側流路２２ａとも連通
している。

【００２７】一方、この流通路２９の内径は、弁体２７
の直径Ｒよりも小さく設定されている。従って、図４の
実線で示した位置に弁体２７があるときには、流通路２
９は弁体２７によって閉じられることになる。これに対
し、弁体２７が弁収容室２８に沿ってその上部に移動
し、図４で一点鎖線で示す位置に引き上げられると、流
通路２９が開き流入側流路２２ａと流入側流路１４ａと
が連通する。

【００２８】このように、ベローズ１７ａが後退してポ
ンプ室１３ａに吸入圧が生ずると弁体２７が引き上げら
れて弁が開き流入側流路２２ａから薬剤が流入する。ま
た、ベローズ１７ａが前進してポンプ室１３ａに吐出圧
が生じると、吸入時とは逆に弁体２７が流通路２９を塞
いで弁が閉じ、流入側流路２２ａ側への薬剤の逆流が妨
げられる。なお、吐出側逆止弁２６ａではこれとは逆
に、ポンプ室１３ａに吸入圧が生ずると弁が閉じ、吐出
圧が生じると弁が開く動作となる。従って、電動ベロー
ズＡでは流入側逆止弁２５ａと吐出側逆止弁２６ａによ
って、また、電動ベローズＢでは流入側逆止弁２５ｂと
吐出側逆止弁２６ｂによって、薬剤の吸入・吐出が制御
される。

【００２９】次に、このような構成のベローズポンプを
用いて薬剤を供給する場合におけるポンプ制御方式につ
いて説明する。

【００３０】図５は、当該ベローズポンプの制御パター
ンの一例を示すフローチャートである。この図５は、電
動ベローズＡ（以下、ベローズＡと略す）の動作速度と
電動ベローズＢ（以下、ベローズＢと略す）の動作速度
および、当該ベローズポンプから吐出される薬剤の流量
を縦軸に、時間Ｔを横軸にしてベローズポンプの制御パ
ターンを示している。

【００３１】まず、時刻ｔ₁においてベローズＡを作動
させる。すなわち、モータ２ａを駆動して駆動軸５ａを
動かしベローズ１７ａを前進（図２において左側に移
動）させる。これにより、ポンプ室１３ａ中にあった薬
剤が吐出され始める。このとき、ベローズ１７ａは一気
に速度Ｖ₁に立ち上げられるので、図５の最下部に示し
たように、吐出流量は時刻ｔ₁において流量Ｑまで一気
に立ち上がる。

【００３２】次に、時刻ｔ₁から若干遅く時刻ｔ₂にお
いてベローズＢを作動させる。すなわち、モータ２ｂを
駆動して駆動軸５ｂを動かしベローズ１７ｂを後退（図
２において右側に移動）させる。これにより、ポンプ室
１３ｂ内に薬剤が吸入され始める。このとき、ベローズ
１７ｂはベローズ１７ａよりも速い速度Ｖ₂にて作動さ
れるため、薬剤吸入は、ベローズＡからの薬剤吐出が終
了する前に終了する（時刻ｔ₃）。そして、時刻ｔ₄に
てベローズＡからの薬剤吐出が終了すると、ベローズＡ
に代わって、時刻ｔ₃から時刻ｔ₄まで待機していたベ
ローズＢを薬剤吐出側に作動させ、ポンプ室１３ｂ内か
ら薬剤を吐出させる。このとき、ベローズＡからベロー
ズＢへの交代は瞬時に行われるため、ポンプからの吐出
流量は一定のまま維持される。

【００３３】一方、薬剤を吐出するベローズが交代した
後、ベローズＡでは、先程のベローズＢと同様に、時刻
ｔ₅からｔ₆にかけて薬剤の吸入が行われる。そして、
ベローズＢの薬剤吐出が時刻ｔ₇にて終了すると、再び
ベローズＡが吐出側にまわり、吐出流量を一定に維持す
る。

【００３４】このように、当該ベローズポンプでは、電
動ベローズの立ち上がり性能を生かし、これを２個交互
に用いることによって、常にポンプからの吐出流量を一
定に維持することが可能となる。

【００３５】さらに、図６に当該ベローズポンプの制御
パターンの他の例を示す。なお、図６も図５と同様の構
成となっている。

【００３６】図６の制御パターンでは、ベローズＡとベ
ローズＢとが交代で薬剤を吐出するという点では図５の
ものと同様であるが、この場合には吐出側のベローズが
交代するときの両ベローズＡ，Ｂの動作速度制御に特徴
がある。すなわち、時刻ｔ₁₁においてベローズＡが速度
Ｖ₁にて薬剤を吐出し始めると共に、時刻ｔ₁₂において
ベローズＢが速度Ｖ₂にて薬剤吸入を始めるところまで
は図５の場合と同様である。しかしながら、当該制御パ
ターンでは、ベローズＡはその動作速度を時刻ｔ₁₃から
ｔ₁₄にかけて速度Ｖ₁から０まで徐々に減速して行く。
その一方で、ベローズＢは、ベローズＡの減速と時を同
じくして、その動作速度を０から速度Ｖ₁まで徐々に加
速して行く。この時、両ベローズＡ，Ｂからの吐出流量
は図６の点線で示したように変化して行くが、その総量
は常にＱのまま維持される。すなわち、電動ベローズで
は、その速度制御が正確かつ容易である特性を生かし
て、常にポンプからの吐出流量を一定に維持するように
制御している。なお、この場合には、図５のように急激
な立ち上がりや立ち下がりがなく、しかも両ベローズ
Ａ，Ｂの駆動時に存在する微少な過渡現象をも吸収する
ことができるので、より安定した吐出流量を得ることが
できる。

【００３７】以上、本発明者によってなされた発明を実
施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実
施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱し
ない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。

【００３８】たとえば、前記の実施の形態では、モータ
２ａ，２ｂとしてサーボモータを使用した例を示した
が、例えばステッピングモータや超音波モータなど、正
確な回転角制御ができるモータであれば何れの種類のモ
ータでも良い。また、逆止弁の構造は、前述のものには
限られず、磁気を用いて弁体を移動させるものなど任意
の構成を採用することができる。さらに、ポンプ室の数
も２つには限られず、さらに多数のポンプ室を適宜制御
するようにしても良い。

【００３９】以上の説明では主として本発明者によって
なされた発明をその利用分野である半導体製造工程で使
用される処理用薬液の作成に適用した場合について説明
したが、これに限定されるものではなく、たとえば、作
成した処理用薬液を半導体製造装置に供給することに使
用できる他、精密機械や他の電子部品の製造工程にも適
用できる。

【００４０】

【発明の効果】本願において開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。

【００４１】（１）ベローズの動作速度、移動量を電気
的に制御できるので、吐出量を任意かつ高精度に制御で
きるという効果がある。すなわち、２個のベローズを交
代作動させたり、ベローズをストローク途中で正確に停
止させたり等、種々の動作制御が可能となり、吐出量の
設定を自由に行うことができる。従って、一定流量を脈
動なく吐出し続けることや、任意の量を間欠動作で吐出
することなど、従来空気圧動作では実現できなかった特
性を得ることができる。

【００４２】（２）電動の駆動装置を採用しているた
め、吐出に寄与するベローズを瞬間的に切り換えること
ができ、ベローズが切り換わる際の脈動が少ないという
効果がある。また、流量を途中で任意に変化させること
も可能であるため、ベローズをオーバーラップさせて吐
出動作させることもでき、これによりさらに脈動を少な
くすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態であるベローズポンプの
外観を示す平面図である。

【図２】図１のＡ−Ａ線に沿った断面図である。

【図３】図１のＢ−Ｂ線に沿った断面図である。

【図４】図１のベローズポンプに用いられている逆止弁
の構成を示す断面図である。

【図５】図１のベローズポンプの制御例を示すタイムチ
ャートである。

【図６】図１のベローズポンプの他の制御例を示すタイ
ムチャートである。

【符号の説明】

１ｍモータハウジング１ｐポンプハウジング１ｖバルブハウジング２ａモータ２ｂモータ３ａカップリング３ｂカップリング４ａボールねじ（ねじ部材）４ｂボールねじ（ねじ部材）５ａ駆動軸（駆動部材）５ｂ駆動軸（駆動部材）６ａリニアガイド６ｂリニアガイド７ａナット７ｂナット８支持壁９ａベアリング９ｂベアリング１０ａエンコーダ１０ｂエンコーダ１１連結プレート１２ポンプブロック１３ａポンプ室１３ｂポンプ室１４ａ流入側流路１４ｂ流入側流路１５ａ吐出側流路１５ｂ吐出側流路１６ａエンドプレート１６ｂエンドプレート１７ａベローズ１７ｂベローズ１８ａ先端部１８ｂ先端部１９ａＯリング１９ｂＯリング２０流入側ブロック２１吐出側ブロック２２流入側流路２２ａ流入側流路２２ｂ流入側流路２３吐出側流路２３ａ吐出側流路２３ｂ吐出側流路２４チューブ２５ａ流入側逆止弁２５ｂ流入側逆止弁２６ａ吐出側逆止弁２６ｂ吐出側逆止弁２７弁体２８弁収容室２９流通路３１薬剤貯蔵槽（液体貯蔵槽）３２薬剤供給ノズル（液体吐出ノズル）３３処理用薬液供給槽３４基剤供給管３５処理用薬液供給管３６下側ブロックＡ電動ベローズＢ電動ベローズ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】軸方向に進退移動するベローズをそれぞ
れ有し、前記ベローズの伸縮運動により吸入圧および吐
出圧を発生させる複数のポンプ室と、前記各ポンプ室と液体貯蔵槽とを連通し、前記ベローズ
の後退移動時に前記液体貯蔵槽内の液体を前記ポンプ室
に案内する流入側流路と、前記各ポンプ室と液体吐出ノズルとを連通し、前記ベロ
ーズの前進移動時に前記ポンプ室内の液体を前記吐出ノ
ズルに案内する吐出側流路と、前記各流入側流路および各吐出側流路のそれぞれに設け
られた逆止弁と、前記ベローズを各々独立して駆動可能な電動駆動装置と
を有し、前記電動駆動装置によって前記ベローズの移動量を制御
することにより、前記吐出側流路から流出する液体の量
を制御することを特徴とするベローズポンプ。
【請求項２】請求項１記載のベローズポンプであっ
て、前記電動駆動装置はそれぞれ、電動のモータと、前
記モータに接続されたねじ部材と、前記ねじ部材に螺合
すると共に前記ベローズと接続された駆動部材とを有し
てなり、前記モータの回転により前記駆動部材を軸方向
に駆動させて前記ベローズを進退移動させることを特徴
とするベローズポンプ。
【請求項３】請求項１または２記載のベローズポンプ
であって、前記ベローズポンプは前記ポンプ室を２個有
してなり、前記電動駆動装置によって前記２個のポンプ
室に交互に吐出動作を行わせることにより前記吐出側流
路から流出する液体の量を一定に制御することを特徴と
するベローズポンプ。