JPH10511222A - 露光制御システムを有するｘ線検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 Ｘ線検査装置（１）は、Ｘ線源（２）と、Ｘ線像から像ピックアップ装置（６）によりピックアップされる光学像を得るＸ線像増倍器（５）とからなる。Ｘ線検査装置は、光学像中の関心のある領域の輝度値に基づいてＸ線源及び／又は像ピックアップ装置を調整する露光制御システム（７）を更に有する。露光制御システムは、光学像から光検出信号を得る光検出器、例えば、ＣＣＤセンサと、光検出器の感度を調整する光センサとにより構成される。光検出器（９）は、像ピックアップ部（１１）と、分離した部分からなる画像メモリ（１３）とにより構成され、好ましくは、中間メモリ（１５）を含む。像ピックアップ部の電子像は、電子像信号として読み出された後に、利用可能な記憶部に即座に転送される。例えば、電子像は、最初に中間メモリに転送され、電子像信号として読み出された後、中間メモリから画像メモリに即座に転送される。

Description

【発明の詳細な説明】 露光制御システムを有するＸ線検査装置 本発明は、Ｘ線像を光学像に変換するＸ線検出器と、像ピックアップ部を含む 光学像の輝度を測定する光検出器からなる露光制御システムとにより構成される Ｘ線検査装置に関する。 この種類のＸ線検査装置は欧州特許出願第EP 0 629 105号により公知である。 従来のＸ線検査装置は、光検出器がＣＣＤセンサであり、ホトダイオードが光 センサとして使用される露光制御システムにより構成される。露光制御システム は、光センサ信号から電圧−周波数（Ｖ／ｆ）信号を得る調整ユニットからなる 。光センサ信号の信号レベルは、電圧−周波数信号の周波数を制御する。光セン サ信号は光学像中の平均輝度を表わすので、Ｖ／ｆ信号の周波数は光学像の平均 輝度を表わす。Ｖ／ｆ信号は、Ｖ／ｆ信号の周波数に基づいて光検出器の積分時 間を調整するクロックユニットに供給される。調整ユニットは光学像中の平均輝 度に基づいてＣＣＤセンサの感度を調整する。光学像の輝度は、例えば、Ｘ線源 の調整により、光学像内の関心のある領域（ＲＯＩ）の像情報を含む光検出器信 号に基づいて制御され、或いは、電子像信号の信号レベルは、像ピック アップ 装置の利得の調整、又は、像ピックアップ装置のダイヤフラムのアパーチャの調 整により制御される。 光学像の輝度が高くなると共に、Ｖ／ｆ信号の周波数が高くなるので、光検出 器の積分時間が減少する。積分時間がＣＣＤセンサを読み出すため必要な時間よ りも短くなる場合に、像がＣＣＤセンサの画像メモリから未だ読み出されていな いならば、露光制御システムの光検出器による像の積分は止められる。従来のＸ 線検査装置の欠点は、上記の場合に、直前に積分された像を画像メモリに転送す ることが不可能であるので、像を再度ピックアップし、画像メモリが空にされた 後に、像を画像メモリに転送し、次に像を読み出す必要があることである。特に 、像の蓄積が画像メモリが空にされる直前に止められたならば、従来のＸ線装置 は、制御信号を光学像の変化、例えば、輝度の増加に適応させるため、比較的長 い時間間隔、即ち、読み出し時間の略２倍の時間を必要とすることに注意しなけ ればならない。 本発明の目的は、制御信号を光学像の変化に非常に素早く適応させ得る露光制 御システムを有するＸ線検査装置を提供することである。 この目的は、像記憶部が第１の記憶部及び第２の記憶部を含み、第１の記憶部 に輝度値を受け、輝度値が第２の記憶部から読み出されるよう配置されているこ とを特徴とする本発明のＸ線装置により達成される。 Ｘ線検査装置は、光学像から像信号を得る像ピックアップ装置を含む。像信号 は、例えば、信号レベルが光学像の輝度値を表わす電子ビデオ信号である。露光 制御システムは、高い診断用品質のＸ線像が形成され、かつ、再生されるように 、即ち、小さいディテールがＸ線像に含まれ、適当に可視的な方法で再生される ようにＸ線装置が調整されることを保証する。このため、露光制御システムは、 像信号の信号レベルが適当な間隔に収まることを保証する。露光制御システムは 、光検出器信号から制御信号を得る。制御信号は、Ｘ線ビームの強度及び／又は エネルギーを制御するため使用される。制御信号は、像信号の信号レベルを直接 又は間接的に制御するため適当である。 像ピックアップ部は複数の感光素子を含み、像記憶部は複数の像記憶素子を含 む。個々の感光素子は、入射光を、光学像の輝度値を表わす電気信号に変換する 。光学像は、連続的な短時間の間隔中に像ピックアップ部を用いてピックアップ されるので、連続的な像の 連続的な輝度値がピックアップされる。電気信号は像記憶素子に記憶される。光 検出器の感度は出力像の平均輝度値に基づいて制御される。このため、光センサ が光学像から光センサ信号を得るため使用される。この光センサ信号は光学像の 平均輝度値を表わし、光センサの感度は光センサ信号の平均により制御される。 光検出器信号は、第１の記憶部から第１の像の輝度値を読むことにより形成され る。光検出器の感度が低い値に調整されたとき、像ピックアップ部は、像をピッ クアップするため非常に短時間の間隔を必要とする。像をピックアップするため 必要とされる時間間隔が短くなると共に、像ピックアップ部における次の像のピ ックアップが第１の像の読み出し完了の前に終わる可能性が高くなる。このよう な状況では、次の像は、第２の像記憶部に第２の像として記憶される。かくして 、次の像に関係した光検出器信号は、前の電子像が読み出された後に、像を再度 ピックアップする必要なく利用可能になる。従って、本発明のＸ線検査装置によ れば、素早い連続的な態様で光センサから像を読み出し、かつ、上記の像に基づ いて制御信号を適応させることが可能になる。 本発明によるＸ線検査装置の好ましい一実施例は、第１の像記憶部が画像メモ リを構成し、第２の像記憶部が、像ピックアップ部及び画像メモリに接続された 中間メモリとして構成されることを特徴とする。 中間メモリは、像ピックアップ部と画像メモリの残りの部分との間に在る記憶 部である。電子像は像ピックアップ部から中間メモリに転送され、画像メモリが 空にされた直後に、電子像が中間メモリから画像メモリに転送される。像ピック アップ部から中間メモリ、並びに、中間メモリから画像メモリへの電子像の転送 は、光検出器信号の読み出しよりも遙かに少ない時間しか必要としない。電子像 が光検出器信号として画像メモリから読み出された直後に、中間メモリ内の電子 像は、画像メモリに即座に転送され得るので、中間メ モリは、像ピックアップ部から新しい電子像を受けるために直ちに再利用可能に なる。その結果として、電子像が読み出された後、（読み出し時間よりも）非常 に短時間の間隔内に、次の電子像の読み出しが始まり、その間に空にされた画像 メモリへ転送される。 本発明によるＸ線検査装置の他の好ましい一実施例は、像ピックアップ部が中 間メモリに電荷結合され、及び／又は、像ピックアップ部は中間メモリに電荷結 合される。 像ピックアップ部から中間メモリ、更に画像メモリへの電子像の電荷結合転送 は、非常に短時間の間隔内に行われる。その結果として、制御信号の光学像の変 化への適応は、実質的に光検出器の読み出し時間よりも長い時間を必要としない 。 本発明によるＸ線検査装置の他の好ましい実施例は、中間メモリが像ピックア ップ部の一部を形成することを特徴とする。 この実施例の場合に、像ピックアップ部の電子像を像ピックアップ部内の電荷 結合転送により十分に転送することが可能であるので、電子像を中間メモリに記 憶するため、特に短時間の間隔しか必要としない。電子像が像ピックアップ部の 容量よりも十分に小さいならば、即ち、像ピックアップ部内にそのまま収容可能 な最大の像よりも小さいならば、像ピックアップ部の一部が中間メモリとして使 用されたとき、画像情報が失われる必要はない。 本発明のＸ線検査装置の他の好ましい実施例は、露光制御システムが光学像の 少なくとも一部分を、多くても像ピックアップ部の一部分だけに画像化する光学 システムを含むことを特徴とする。 光学系は像ピックアップ部の一部しか照射されないことを保証する。照射され ない像ピックアップ部は中間メモリとして利用可能なままである。日本国特許出 願第63-48 974 号により、本質的に像ピックアップ装置の一部だけを照射するこ とが公知である。 本発明のＸ線検査装置の他の実施例は、光学系が屈折率分布形（ＧＲＩＮ）レ ンズにより構成されることを特徴とする。 屈折率分布形（ＧＲＩＮ）レンズは、放射状に変化する屈折率を有するロッド 状のレンズである。かかるＧＲＩＮレンズは、２分の１センチメートルの長さと 、約１乃至２ｍｍの直径とを有する。ＧＲＩＮレンズは非常に小さいので、非常 にわずかな空間しか占有しない。その結果として、かかるＧＲＩＮレンズの使用 は、露光制御システムの構造の小型化に寄与する。更に、適当な長さのＧＲＩＮ レンズは、約１ｍｍの特に短い焦点距離と、高い開口数とを有する。従って、Ｇ ＲＩＮレンズは、光検出器の感光面のすぐ近くに配置され、それにも係わらず、 像ピックアップ部の一部分に光学像を鮮明に画像化することが可能であり、像ピ ックアップ部の残りの部分は照射されない。これは、像ピックアップ部の照射中 に中間像に記憶された電子像の乱れを相殺する。ＧＲＩＮレンズを使用すること により、露光制御システムの小型構造が得られる。しかし、日本国特許出願第4- 188 872 号により、光ファイバを用いて像ピック アップ部の単一の感光素子を 照射することが本質的に知られていることに注意する必要がある。 本発明によるＸ線検査装置の他の好ましい一実施例は、露光制御システムが制 御信号をＸ線源又はＸ線源の高圧電源に供給するため配置されていることを特徴 とする。 制御信号は、光学像の輝度に基づいてＸ線のエネルギー又は強度を調整するた め使用される。これにより、光学像の関心のある領域の過大照射又は過小照射が 回避される。光学像から得られた電子像信号は、高い診断用品質、即ち、小さい ディテールが適当に可視化されるような形で画像情報を表示するため使用される 。 本発明によるＸ線検査装置の他の好ましい一実施例は、露光制御システムが、 制御信号を制御ユニット又は像ピックアップ装置のダイヤフラムに印加するため 配置されていることを特徴とする。 像ピックアップ装置が光学像の画像情報に基づく制御信号を用いて調整される ならば、像ピックアップ装置は、高い診断用品質を伴 う画像情報の表示を可能にさせる電子像信号を供給する。制御信号は、特に、光 学像の関心のある領域の平均輝度及び／又はダイナミックレンジに従って、像ピ ックアップ装置のダイヤフラムアパーチャ又は利得を調整する。利得及び／又は ダイヤフラムアパーチャが適当である場合に、像ピックアップ装置は電子像信号 を供給し、これにより、Ｘ線像中の対応した関心のある領域の画像情報が高い診 断用品質で表示される。 本発明の他の目的は、像信号に妨害を生じさせることなく、従来のＸ線検査装 置よりも高速に、連続的なＸ線像から像信号が得られるＸ線検査装置を提供する ことである。この目的は、請求項１０に記載されたＸ線検査装置を用いて達成さ れる。本発明によるかかるＸ線検査装置を使用することにより、次の像に対応し た像信号は、前の像信号を像センサの像記憶部から読み出した後、像を再度ピッ クアップする必要なく、利用可能になる。 本発明の上記及び他の面は、以下の実施例を参照して明らかになり、説明され る。 図面において、 図１は本発明のＸ線検査装置の概略図であり、 図２は、図１に示されたＸ線検査装置の露光制御システムの光検出器の第１の 実施例の概略図であり、 図３は、図１に示されたＸ線検査装置の露光制御システムの光検出器の第２の 実施例の概略図であり、 図４は、図１に示されたＸ線検査装置の露光制御システムの光検出器の第３の 実施例の概略図である。 図１には、本発明によるＸ線検査装置の概略構成図が示される。Ｘ線検査装置 １は、例えば、放射線検査を受ける患者のような対象物を照射するＸ線ビーム３ を放出するＸ線源２からなる。この実施 例のＸ線検出器は、対象物を横切るＸ線と交差するＸ線像増倍器５により構成さ れる。入口スクリーン２０は、入射Ｘ線を電子ビームに変換する光陰極２１から なる。光陰極２１と、中空陽極２３と、集光電極２４とにより構成された光電子 系２２を使用することにより、電子ビームは蛍光体層２５に形成される。蛍光体 層２５は出口ウィンドウ２６に形成される。入射電子は、蛍光体層２５上に光学 像を形成する。蛍光体層２５は、入射電子を可視光、或いは、赤外線又は紫外線 放射に変換する。 出口ウィンドウ２６は、１対のレンズ２８、２９からなる光学系２７を介して 像ピックアップ装置６に結合される。一方のレンズはカメラレンズ２９である。 像ピックアップ装置は、例えば、ＣＣＤビデオカメラである。出口ウィンドウか ら放出する光は、光学系及びレンズ３０によりＣＣＤセンサ３１上に画像化され る。カメラレンズ２９とレンズ３０との間には、可調整アパーチャを有するダイ ヤフラム３３が設けられる。ＣＣＤセンサに入射する光の強度はダイヤフラムア パーチャを用いて制御される。ＣＣＤセンサは、出口ウィンドウ上の光学像を、 内部増幅器３２により増幅された一次像信号に変換し、内部増幅器３２は像ピッ クアップ装置６の出力に電子像信号を供給する。電子像信号は、Ｘ線像の画像情 報が表示されるモニタ４０に供給され、或いは、更なる処理のための画像処理ユ ニット４１に供給される。 Ｘ線検査装置１は、光学像内の関心のある領域の輝度及び／又は電子像信号の 信号レベルを制御する露光制御システム７を更に有する。かくして、関心のある 解剖学的構造が高い診断用品質で表示され、即ち、小さいディテールが表示され た像内で明瞭に見分けられる。レンズ２８とレンズ２９との間で分離された小さ いビーム４６は、スプリットプリズム４７を用いて露光制御システムに供給され る。明らかに、スプリットプリズムは、部分的に透明なミラーで置き換えてもよ い。露光制御システムは、光センサ８、例えば、ホト ダイオードからなる。分離されたビームは、ビームスプリッタ５０を用いて第１ のサブビーム５１と第２のサブビーム５２とに分割される。第１のサブビーム５ １は、光学像の平均輝度を表わす光センサ信号をＶ／ｆ変換器５３に供給する光 センサ８により受けられる。Ｖ／ｆ変換器５３は、光センサ信号を、光センサ信 号の信号振幅に比例した周波数のディジタル感度制御信号に変換する。Ｖ／ｆ変 換器５３は、ディジタル信号を、ディジタル感度制御信号に基づいて光検出器９ の積分時間を制御するタイマユニット５４に供給する。好ましくは、ＣＣＤ画像 センサである光検出器９の感度は、光検出器が入射光を電荷に変換する間の積分 時間に基づいて制御しても構わない。 第２のサブビーム５２は、屈折率分布形レンズ１６を用いて光検出器９の感光 面（の一部）に鮮明に画像化される。例えば、光学像は、３２×３２又は６４× ６４個の画素からなる比較的小さい部分に像化される。その結果として、光検出 器信号は、光学像中のかなり粗い構造を表わす画像情報を含む。制御信号は信号 処理ユニット５５を用いて光検出器信号から得られる。Ｘ線源２のエネルギー及 び強度を制御するため、制御信号は信号処理ユニット５５を用いてＸ線源２の高 圧電源１７に印加される。光学像内の関心のある領域（ＲＯＩ）が、上記関心の ある領域画像情報が高い診断用品質で、例えば、モニタ４０に表示されるような 輝度及びコントラストを有するように、Ｘ線ビーム３のエネルギー及び強度は上 記制御信号に基づいて調整される。調整ユニット１８又は像ピックアップ装置の ダイヤフラムアパーチャは、信号処理ユニット５５により供給された制御信号に より制御される。その結果として、光学像内のＲＯＩの輝度及び／又はダイヤフ ラムは、画像センサへの入射光の強度が像ピックアップ装置のダイナミックレン ジ内に正確に収まるように調整される。かくして、画像情報は、電子像信号の情 報の間に棄損又は損失されることが回避される。必要があれば、調整ユニットは 、 上記関心のある領域内の画像情報が高い診断用品質で表示されるように、制御信 号に基づいて電子像信号の振幅を調整するため使用される。 図２は、図１に示されたＸ線検査装置１の露光制御システム７の光検出器９の 第１の実施例の概略図である。光検出器は、多数の感光素子１２を備えた像ピッ クアップ部１１からなる電荷結合感光装置である。簡単のため、同図によれば、 像ビックアップ部内に４×４形の感光素子が示されるが、実際の光検出器の場合 、５１２×５１２形又は３５０×３００形の感光素子により構成された像ピック アップ部と共に使用される。可視光、或いは、赤外線又は紫外線放射のような入 射光は、光検出器の半導体材料内の電荷担体を放出し、この電荷担体は夫々の感 光素子のゲート接点の下に集められる。ゲート接点上の電圧が行駆動回路６０を 用いて適当なパターンに従って変化するならば、集められた電荷担体、即ち、上 記電荷担体により形成された電子像は、読み出しレジスタ６２の方向に転送され る。像ピックアップ装置の積分時間が経過した直後に、電子像は中間メモリ１５ に転送される。中間メモリは入射光から遮蔽されるが、残りの部分は像ピックア ップ部と同一構造を有する。電子像は、電荷の電荷結合転送により像ピックアッ プ部から中間メモリに転送されるので、上記電子像の転送に要する時間は僅かで ある。例えば、３００本の画像ラインからなる電子像を転送する転送時間τ_sは ４６μｓになり、３２×３２画素の小さい像を中間メモリに転送するため必要な 時間は、約５μｓの非常に短い時間に過ぎない。中間メモリ１５から画像メモリ １３への電子像の電荷結合転送のために略同程度の時間が必要である。中間メモ リ１５と同様に、画像メモリ１３は、多数の記憶素子１４により構成される。中 間メモリ１５と同様に、画像メモリ１３は入射光から遮蔽されている。例えば、 中間メモリ及び画像メモリは、この目的のため、アルミニウム層で被覆してもよ い。電子像が画像メモリ１３に記憶された後、電荷は、 電子像を形成する読み出しレジスタ６１に転送され、電子像は、増輻器６２によ り一次像信号に変換され、像ピックアップ装置６の中間増幅器３２により更に増 幅される。電荷結合転送に必要な時間の量と比較して、約２００μｓの比較的長 い読み出し時間が３２×３２画素により構成される像を読み出すため必要である 。かかる読み出し時間は、本質的に欧州特許出願第EP 0 644 712号により知られ ている。電子像が読み出されたとき、中間メモリから画像メモリへの転送は、実 質的に像の読み出し時間よりも短い時間（τ_s≪τ_r）しか必要としないので、次 の電子像を実際的に直ぐに読むことが可能である。本発明によれば、特に、像の ピックアップが前の像の読み出しの完了の直前に終了されたならば、画像メモリ が空にされた後に新しい像をピックアップしなくても良いことが保証される。前 の電子像を画像メモリから読み出す間に、像ビックアップ部に記憶された電子像 は中間メモリに転送される。前の電子像が読み出された直後に、中間メモリの電 子像は画像メモリに転送され、読み出され、中間メモリは、像ピックアップ部か らの次の電子像の記憶のため再度利用可能になる。従って、本発明による光検出 器は、約１／τ_r、即ち、毎秒５０００回の画像に達する画像レートを有する。 その結果として、本発明のＸ線検査装置は、Ｘ線像増倍器の出口ウィンドウ上の 光学像内の変化に非常に素早く設定値を適応させることが可能である。例えば、 患者又は患者体内の動きに起因した光学像中の関心のある領域の偏移がある場合 に、Ｘ線検査装置の設定値は、上記の関心のある領域を高い診断用品質で表示し 続けるように、直ちに適応される。 図３は、図１に示されたＸ線検査装置の露光制御システムの光検出器の第２の 実施例の概略図である。図３の光検出器９は、像ピックアップ部１１の一部を形 成する中間メモリ１５からなる。像ピックアップ部１の一部分７０だけが照射さ れる。図３には、２×２個の素子１２からなる照射領域しか示されていないが、 実際には、３ ２×３２個又は６４×６４個の素子からなる領域が好ましくは照射される。照射 される素子の数は、像ピックアップ部１１の素子の総数（例えば、５１２×５１ ２個又は３００×３５０個）よりも非常に少ない。短い焦点距離、例えば、１ミ リメートルの焦点距離と、約０．３乃至０．５の高開口数とを有するＧＲＩＮレ ンズが、実質的に照射された部分の素子だけに光を入射させるため使用される点 が有利である。照射された部分の外側にある素子は照射されないので、中間メモ リ１５として使用することが可能である。 図４は、図１に示されたＸ線検査装置の露光制御システムの光検出器の第３の 実施例の概略図である。画像メモリ１３は、障壁８３によって相互に隔離された ２個の分離したメモリ部８１、８２により構成される。光学系は、ピックアップ された像が像ピックアップ部の二つの部分７０及び７１に同時に画像化されるよ うに配置される。例えば、２枚のＧＲＩＮレンズがこの目的のため使用される。 光検出器は、複数の行駆動回路６４、６５、６６及び６７からなり、これにより 、像ピックアップ部の分離した部分に形成された電子像は、別々のメモリ部に独 立して転送される。前の電子像が一方のメモリ部から未だ読み出し中であるなら ば、電子像は、像ピックアップ部の一方の部分から別の画像メモリ部に転送され 、同時に第１のメモリ部の読み出しが継続する。好ましくは、光学系を用いて照 射された画像メモリの部分は、電荷を列方向に転送することによりピックアップ された像が関連したメモリ部に転送されるように、選択される。電子像信号を読 み出すため、電荷は関連したメモリ部８１又は８２から読み出しレジスタ６１に 転送され、読み出しレジスタは、増幅器６１を用いて一次像信号に変換された電 子信号を形成し、一次像信号は像ピックアップ装置６の内部増幅器３２により更 に増幅される。必要があれば、光検出器は第２の増幅器６３を含む。夫々のメモ リ部からの電子像は、夫々の増幅器６２及び６３を用いて一次電子像信号に変換 してもよい。別個の（２又は３個の）増幅 器を各メモリ部に対する読み出しレジスタに接続することにより、別個のメモリ 部は部分的に同時に読み出すことが可能であるので、少なくとも１個のメモリ部 は、次の電子像のためより早く利用可能にさせ得る。障壁により隔離された２個 の部分からなる光検出器を用いる代わりに、２個の別々の光検出器、例えば、同 一像が（実質的に）同時にピックアップされる２個のＣＣＤセンサを用いてもよ い。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １． Ｘ線像を光学像に変換するＸ線検出器（５）と、 像ピックアップ部（１１）及び像記憶部（１３，１５）を含む光学像の輝度値 を測定する光検出器（９）からなる露光制御システム（７）とにより構成された Ｘ線検査装置（１）であって、 像記憶部は、第１の記憶部（１３）及び第２の記憶部（１５）を含み、第１の 記憶部（１３）に輝度値を受けると共に、輝度値が第２の記憶部（１５）から読 み出されるよう配置されていることを特徴とするＸ線検査装置。 ２． 第１の記憶部は画像メモリ（１３）を構成し、 第２の記憶部は、像ピックアップ部及び画像メモリに接続された中間メモリ（ １５）として構成されていることを特徴とする請求項１記載のＸ線検査装置。 ３． 像ピックアップ部（１１）は中間メモリ（１５）に電荷結合されているこ とを特徴とする請求項２記載のＸ線検査装置。 ４． 中間メモリは画像メモリに電荷結合されていることを特徴とする請求項２ 又は３記載のＸ線検査装置。 ５． 中間メモリ（１５）は像ピックアップ部（１１）の一部分を形成すること を特徴とする請求項２乃至４のうちいずれか１項記載のＸ線検査装置。 ６． 露光制御システム（７）は、光学像の少なくとも一部分を、像ピックアッ プ部（１１）の多くても一部分に画像化する光学系（１６）により構成されるこ とを特徴とする請求項１又は５記載の Ｘ線検査装置。 ７． 光学系は、屈折率分布形（ＧＲＩＮ）レンズ（１６）であることを特徴と する請求項６記載のＸ線検査装置。 ８． 露光制御システムは、制御信号をＸ線源（２）又はＸ線源の高圧電源（１ ７）に印加するため配置されていることを特徴とする請求項１乃至７のうちいず れか１項記載のＸ線検査装置。 ９． 露光制御システムは、制御信号を制御ユニット（３２）又は像ピックアッ プ装置のダイヤフラムに印加するため配置されていることを特徴とする請求項１ 乃至８のうちいずれか１項記載のＸ線検査装置。 １０． Ｘ線像を光学像に変換するＸ線検出器（５）と、 像ピックアップ部（１１）及び像記憶部（１３，１５）を含む像信号を光学像 から得る画像センサ（３１）からなる像ピックアップ装置（５）とにより構成さ れるＸ線検査装置（１）であって、 像記憶部は、第１の記憶部（１３）及び第２の記憶部（１５）を含み、第１の 記憶部（１３）に輝度値を受けると共に輝度値が第２の記憶部（１５）から読み 出されるように配置され、 第１の記憶部は画像メモリ（１３）を構成し、 第２の記憶部は、像ピックアップ部及び画像メモリに接続された中間メモリと して構成されていることを特徴とするＸ線検査装置。