JP2007524814A - テストヘッド位置決めシステムと方法 - Google Patents
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Abstract
Description
1.操作者は、位置決め用制御システムに、特定の周辺装置に対する合体準備完了位置と作動準備完了位置の場所を「教える」。
2.操作者は、また、位置決め用制御システムに、敷設位置と、該敷設位置と合体準備完了位置間の所望の経路に沿った一連の関連点を「教える」。
3.テストヘッドを敷設位置に配置し、テストの準備を行う。
4.指令により、位置決め用制御システムは、自動的にテストヘッドを位置決め用エンコーダで決められた合体準備完了位置に配置させる。
5.合体準備完了位置に到達すると、位置決め用制御システムは分離合体制御機構をオンまたはイネーブルにする信号を付与してもよい。これは更にステップ8と9で説明する(図37のステップ5参照)。
6.次いで位置決め用制御システムはテストヘッドを合体面と直角の直線経路に沿って位置決め用エンコーダにより決定された作動準備完了位置に精確に誘導する(図37のステップ6参照)。このとき直線経路に関連しない動きのブレーキを適用してもよい。
7.時間Tの後、位置決め用制御システムはその駆動モータを非動作状態とし、垂直駆動モータ以外の具備された全てのモータのブレーキ(ブレーキが適用されている場合)を解除する。
8.時間T内で、合体用制御システムは、全てのスイッチ1410が作動されていることを知ることにより、テストヘッドが作動準備完了位置にあることを認識する。
9.ステップ8に続いて、更に時間T内で、合体用制御システムは、全てのピストン装置(更に駆動装置)1010を作動する(図37のステップ9参照)。
10.時間Tが経過すると、テストヘッドは、位置決め装置が全ての移動軸でのコンプライアント運動を可能にしながら、合体用制御システムの制御に基づいて完全に合体された位置に誘導される(図37のステップ10参照)。
11.テストヘッドと周辺装置のそれぞれの電気接触子が結合されると、テストヘッドと周辺装置間のテストが実施可能である。ユーザの好みで、位置決め装置を適所に固定させるためにモータブレーキを作動させるか、またはブレーキを解除したままで、振動を吸収できるようにしてもよい。
Claims (84)
- 負荷を支持するための装置であって
複数の空気装置と、
前記負荷の対向側部に連結された複数の連結器とを備え、
前記連結器は、前記複数の空気装置の作動に応答して第1の軸と平行に前記負荷を移動させ、前記連結器の少なくとも1つが、前記第1の軸と直角の第2の軸の回りに負荷を回転させ、前記負荷は前記第1の軸方向に沿って移動するとともに前記第2の軸の回りにコンプライアントな移動を行い、前記空気装置の少なくとも1つが前記第1の軸方向に沿うとともに前記第2の軸の回りのコンプライアンスを構成することを特徴とする負荷支持装置。 - 更に、前記負荷を前記第1の軸の回りに移動させるための揺動プレートを備える請求項1に記載の装置。
- 前記負荷が前記第2の軸の回りに移動するとき、前記連結器の1つは一方向に移動し、
a)前記連結器の別の1つは反対方向に移動するか、または
b)前記連結器の前記別の1つは静止したままである、
ことを特徴とする請求項1に記載の装置。 - 前記負荷を前記第2の軸と平行に移動させるための内外方向移動プレートを更に備える請求項1に記載の装置。
- 前記負荷を、前記第1の軸と前記第2の軸の両方に直角な第3の軸に沿って移動させるための横方向移動プレートを更に備える請求項1に記載の装置。
- 前記連結器は前記負荷を前記第2の軸と直角な第3の軸の回りに回転させる請求項1に記載の装置。
- 前記負荷は、前記第2の軸が前記負荷の重心に位置するかどうかにかかわらず、前記第2の軸の回りにコンプライアントである請求項1に記載の装置。
- 前記空気装置の各々は個別に調整される請求項1に記載の装置。
- 前記空気装置をそれぞれ対応する第1の位置に移動させるための複数の作動装置を更に備え、前記空気装置は前記負荷が最終位置に移動することを容易にすることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 負荷を支持するための装置であって
複数の空気装置と、
前記空気装置を前記負荷の対向側部に連結する複数の連結器とを備え、
前記空気装置は少なくとも自由度2でコンプライアンスを構成することを特徴とする負荷支持装置。 - 第1の軸に沿って前記負荷を移動させるための複数のアクチュエータを更に備え、前記連結器の少なくとも1つは、前記アクチュエータの少なくとも1つの作動に応答して第2の軸の回りに負荷を回転させ、前記空気装置は前記負荷を前記第1の軸方向に沿うとともに前記第2の軸の回りのコンプライアント移動させることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記負荷を前記第1の軸の回りに移動させるための揺動プレートを更に備える請求項11に記載の装置。
- 前記負荷が前記第2の軸の回りに移動するとき、前記連結器の1つは一方向に移動し、
a)前記連結器の別の1つは反対方向に移動するか、または
b)前記連結器の前記別の1つは静止したままである、
ことを特徴とする請求項11に記載の装置。 - 前記負荷を前記第2の軸と平行に移動させるための内外方向移動プレートを更に備える請求項11に記載の装置。
- 前記負荷を、前記第2の軸に直角な第3の軸に沿って移動させるための横方向移動プレートを更に備える請求項11に記載の装置。
- 前記連結器は、前記負荷を前記第1の軸及び前記第2の軸の両方に直角な第3の軸の回りに回転させる請求項11に記載の装置。
- 負荷を支持するための装置であって
複数の支柱と、
前記負荷を第1の軸に沿って移動させるために、前記支柱に沿ってそれぞれ移動可能な複数のメインアームと、
前記メインアームの少なくとも1つに沿って移動可能な少なくとも1つのバーニヤアームとを備え、前記バーニヤアームは前記第1の軸と直角な第2の軸の回りのコンプライアンスを構成することを特徴とする負荷支持装置。 - 前記バーニヤアームの移動を可能にするための空気装置を更に備える請求項17に記載の装置。
- 前記負荷の側部に連結された連結器を更に備え、該連結器は前記負荷を前記第1の軸に沿って移動させると共に前記第2の軸の回りに移動させることを特徴とする請求項17に記載の装置。
- 前記負荷を前記第1の軸の回りに移動させるための揺動プレートを更に備える請求項18に記載の装置。
- 前記負荷が前記第2の軸の回りに移動するとき、前記連結器の1つは一方向に移動し、
a)前記連結器の別の1つは反対方向に移動するか、または
b)前記連結器の前記別の1つは静止したままである、
ことを特徴とする請求項19に記載の装置。 - 前記負荷を前記第2の軸に沿って移動させるための内外方向移動プレートを更に備える請求項18に記載の装置。
- 前記負荷を、前記第2の軸に直角な第3の軸に沿って移動させるための横方向移動プレートを更に備える請求項18に記載の装置。
- 前記連結器は、前記負荷を前記第1の軸及び前記第2の軸の両方に直角な第3の軸の回りに回転させる請求項18に記載の装置。
- 負荷を支持するための装置であって
前記負荷の対向側部に連結された複数の連結器を備え、前記連結器の少なくとも1つは前記負荷を回転軸の回りに回転させるための動力駆動式であり、前記少なくとも1つの連結器は装着部を備え、該装着部は前記回転軸の回りにコンプライアンスを構成するための可撓性素子を有することを特徴とする負荷支持装置。 - 前記連結器は、前記負荷を、前記回転軸に直角な前記第1の軸に沿って移動させると共に前記第1の軸及び前記回転軸の両方に直角な第2の軸の回りに移動させることを特徴とする請求項25に記載の装置。
- 前記負荷は前記第1の軸に沿うとともに前記第2の軸の回りにコンプライアント移動する請求項26に記載の装置。
- 前記負荷が前記第2の軸の回りに移動するとき、前記連結器の1つは一方向に移動し、
a)前記連結器の別の1つは反対方向に移動するか、または
b)前記連結器の前記別の1つは静止したままである、
ことを特徴とする請求項26に記載の装置。 - 前記負荷を前記第2の軸に沿って移動させるための内外方向移動プレートを更に備える請求項26に記載の装置。
- 前記負荷を、前記第2の軸に直角な前記回転軸に沿って移動させるための横方向移動プレートを更に備える請求項26に記載の装置。
- 前記可撓性素子はゴム部材を含む請求項25に記載の装置。
- 前記可撓性素子は動力駆動式歯車に連結されている請求項25に記載の装置。
- 前記連結器の前記1つは電気式と空気式よりなるグループから選択された1つの動力源から動力駆動される請求項25に記載の装置。
- 負荷を支持する方法であって
空間的に離間した複数のアクチュエータを作動して前記負荷を第1の軸に沿って移動させる工程と、
前記第1の軸に沿ってコンプライアントフリーダムを設ける工程と、
前記第1の軸と直角な第2の軸の回りにコンプライアントフリーダムを設ける工程と、を備えたことを特徴とする方法。 - 更に、前記負荷を前記第1の軸の回りに移動させる工程を有する請求項34に記載の方法。
- 前記負荷が前記第2の軸の回りに移動するとき、前記アクチュエータの1つは一方向に移動し、
a)前記アクチュエータの別の1つは反対方向に移動するか、または
b)前記アクチュエータの前記別の1つは静止したままである、
ことを特徴とする請求項34に記載の方法。 - 前記負荷を前記第2の軸と平行に移動させる工程を更に有する請求項34に記載の方法。
- 前記負荷を、前記第1の軸及び前記第2の軸の両方に直角な第3の軸に沿って移動させる工程を更に有する請求項34に記載の装置。
- 前記負荷を前記第2の軸と直角な第3の軸の回りに回転させる工程を更に有する請求項34に記載の方法。
- コンプライアントフリーダムを設けるために少なくとも1つの空気装置を調整する工程を更に有する請求項34に記載の方法。
- 前記1つの空気装置が、前記コンプライアントフリーダムを設けるために個別に調整された複数の空気装置の1つである請求項40に記載の方法。
- 前記アクチュエータは前記少なくとも1つの空気装置を第1の位置に移動させ、前記空気装置は前記負荷が最終位置に移動することを容易にする請求項40に記載の方法。
- テストヘッドを周辺装置と合体させる方法であって、
a)前記テストヘッドを前記周辺装置に向けて移動させる工程と、
b)前記テストヘッドに結合された合体部材を、前記周辺装置に結合されたピンレセプタクル内に挿入する工程と、
c)前記テストヘッドを前記周辺装置と合体させるために、前記合体部材を前記ピンレセプタクル内に更に引き込むように前記ピンレセプタクルを移動させる工程と、を備えたことを特徴とする方法。 - 前記合体部材の1つはカムフォロアを含み、前記工程c)は、前記テストヘッドを前記周辺装置と合体するために、前記カムフォロアは前記ピンレセプタクル内の溝に沿って移動するように、前記ピンレセプタクルを摺動する工程を含む請求項43に記載の方法。
- 前記ピンレセプタクルは動力で摺動する請求項44に記載の方法。
- 前記ピンレセプタクルはピストンの運動により摺動する請求項44に記載の方法。
- 前記ピンレセプタクルはアームの回転運動により摺動する請求項44に記載の方法。
- ピボット支点の回りに回転するアームの一端に力が加えられ、該アームの他端が前記ピンレセプタクルを摺動させる請求項44に記載の方法。
- 前記溝は前記ピンレセプタクルの両側部間に延びる経路を追従し、該経路の一端側は該経路の他端側より前記ピンレセプタクル内に深くなるように形成されている請求項44に記載の方法。
- テストヘッドを周辺装置と合体させる合体機構であって、
第1のアライメント配置と、前記テストヘッドと前記周辺装置の一方に取り付けられた補足可能係止素子と、
前記テストヘッドと前記周辺装置の他方に取り付けられた合体モジュールとを備え、
該合体モジュールは、
a)前記アライメント構成を収容するアライメントレセプタクルと、
b)前記補足可能係止素子を収容して補足し、補足素子が収容された第1の位置から該補足素子が引き込まれた第2の位置に移動可能であり、前記テストヘッドと前記周辺装置とを合体する移動可能補足部材と、
c)前記補足可能部材が補足される位置にあるときを検知する検知器と、
d)前記テストヘッドと前記周辺装置とを合体するために前記補足可能素子を第1の位置から第2の位置に移動させるために、前記移動可能補足部材を移動させるためのアクチュエータとを備えたことを特徴とする合体機構。 - 前記補足可能素子の第1の位置から第2の位置への移動は直線状である請求項50に記載の合体機構。
- 前記補足素子の移動は直線状である請求項50に記載の合体機構。
- 前記補足可能素子の移動は前記補足素子の移動方向と実質直角である請求項51に記載の合体機構。
- 前記補足可能素子の移動は前記補足素子の移動方向と実質直角である請求項52に記載の合体機構。
- 前記アクチュエータは直線経路に沿って移動するリニア・アクチュエータである請求項50に記載の合体機構。
- 前記アクチュエータは空気式である請求項50に記載の合体機構。
- 前記アクチュエータは電気ソレノイドである請求項50に記載の合体機構。
- 前記補足可能素子はカムフォロアであり、前記補足部材はカムを含む請求項50に記載の合体機構。
- 前記検知器は空気式スイッチと電気スイッチのいずれか1つである請求項50に記載の合体機構。
- 前記モジュールは、該モジュールが搭載された前記テストヘッドまたは前記周辺装置に対してX,Y,Z軸方向に調整可能である請求項50に記載の合体機構。
- 特徴機構を検知する特徴機構検知器と、
移動可能な特徴機構レセプタクルと、
前記特徴機構の検知に応答し、前記移動可能特徴機構レセプタクルを移動させて該特徴機構を補足し、該特徴機構を直線的に引き出すアクチュエータと、を備えたことを特徴とする合体モジュール。 - 前記合体モジュールはテストヘッドと周辺装置の一方に結合された複数の合体モジュールの1つであり、前記特徴機構は前記テストヘッドと周辺装置の他方に結合された複数の特徴機構の1つであり、各アクチュエータの作動により前記テストヘッドと周辺装置が合体する請求項61に記載の合体モジュール。
- 前記アクチュエータはリニア・アクチュエータである請求項61に記載の合体モジュール。
- 前記アクチュエータ空気式である請求項61に記載の合体モジュール。
- 前記アクチュエータは電気ソレノイドである請求項61に記載の合体モジュール。
- 前記移動可能特徴機構は前記直線方向に直角に移動する請求項61に記載の合体モジュール。
- 前記モジュールの特徴機構は直線経路に沿って移動する請求項61に記載の合体モジュール。
- 前記特徴機構はカムフォロアであり、前記移動可能特徴機構レセプタクルはカムを含む請求項61に記載の合体モジュール。
- 前記特徴機構検知器は空気式スイッチと電気スイッチのいずれか1つである請求項61に記載の合体モジュール。
- 前記モジュールは、前記テストヘッドまたは前記周辺装置に対してX,Y,Z軸方向に調整可能である請求項62に記載の合体モジュール。
- テストヘッドを周辺装置と合体させる方法であって、
前記テストヘッドと結合された合体ピンであって、該合体ピンの少なくとも1つの側部に配置されたカムフォロアを含む合体ピンを、前記周辺装置に結合されたピンレセプタクル内に挿入する工程と、
前記テストヘッドを前記周辺装置に向けて移動させるために、前記カムフォロアが前記ピンレセプタクル内の溝に沿って移動するように前記ピンレセプタクルを摺動する工程と、を備えたことを特徴とする方法。 - 前記ピンレセプタクルは動力で摺動する請求項71に記載の方法。
- 前記ピンレセプタクルはピストンの運動により摺動する請求項71に記載の方法。
- 前記ピンレセプタクルはアームの回転運動により摺動する請求項71に記載の方法。
- ピボット支点の回りに回転するアームの一端に力が加えられ、該アームの他端が前記ピンレセプタクルを摺動させる請求項71に記載の方法。
- 前記溝は前記ピンレセプタクルの両側部間に延びる経路を追従し、該経路の一端側は該経路の他端側より前記ピンレセプタクル内に深くなるように形成されている請求項71に記載の方法。
- テストヘッドを周辺装置と合体させる方法であって、
a)前記テストヘッドと結合された駆動装置を作動して、該テストヘッドを前記周辺装置に向けて押し進める工程と、
b)前記テストヘッドと前記周辺装置の一方に結合された更にもう1つの駆動装置を作動して、該テストヘッドを前記周辺装置に向けて引き寄せる工程と、を備え、
前記工程a)と工程b)はある時間間隔だけ重なり合うことを特徴とする方法。 - 工程b)は、工程a)を実行中に前記テストヘッドが所定位置に到達したことに応答して起動する請求項77に記載の方法。
- 前記所定位置において、前記テストヘッドと前記周辺装置の一方に結合された合体部材が、前記テストヘッドと前記周辺装置の他方に結合されたピンレセプタクルと位置合わせされる請求項78に記載の方法。
- 前記所定位置において、前記合体部材は前記ピンレセプタクル内に位置している請求項79に記載の方法。
- 前記時間間隔の終了時点において、前記駆動装置の作動を終了する請求項77に記載の方法。
- 前記時間間隔の終了時点において、前記駆動装置にかけられたブレーキを解除する請求項77に記載の方法。
- 工程b)の起動後に、前記テストヘッドと前記周辺装置のそれぞれ対応する電気接触素子を結合する工程を更に有する請求項77に記載の方法。
- 工程b)を実行する前に、前記駆動装置にブレーキをかける請求項77に記載の方法。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20180061224A (ko) * | 2015-10-23 | 2018-06-07 | 테라다인 인코퍼레이티드 | 자동 테스트 장비 내의 매니퓰레이터 |
KR20210006285A (ko) * | 2019-07-08 | 2021-01-18 | 야마하 파인 테크 가부시키가이샤 | 전기 검사 장치 및 보유 지지 유닛 |
Families Citing this family (54)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6954577B2 (en) * | 2003-07-25 | 2005-10-11 | Adc Dsl Systems, Inc. | System and devices for routing and managing data cables from a telecommunications enclosure |
EP2273279A1 (en) * | 2005-04-27 | 2011-01-12 | Aehr Test Systems, Inc. | Apparatus for testing electronic devices |
KR100709114B1 (ko) * | 2006-01-23 | 2007-04-18 | (주)테크윙 | 테스트핸들러 |
US20070213847A1 (en) * | 2006-03-01 | 2007-09-13 | Sprague William T | Apparatus for, and method of, positioning an interface unit of an automatic test system |
US7583100B2 (en) * | 2006-11-30 | 2009-09-01 | Sts Instruments, Inc. | Test head for testing electrical components |
TWI490513B (zh) * | 2006-12-29 | 2015-07-01 | Intest Corp | 用於使負載沿平移軸線平移之負載定位系統以及使負載達到平衡之方法 |
US8350584B2 (en) * | 2006-12-29 | 2013-01-08 | Intest Corporation | Test head positioning system and method |
US7667466B2 (en) * | 2007-01-31 | 2010-02-23 | Benchmark Electronics | Target tester interface |
US7764076B2 (en) * | 2007-02-20 | 2010-07-27 | Centipede Systems, Inc. | Method and apparatus for aligning and/or leveling a test head |
WO2008137182A2 (en) * | 2007-05-07 | 2008-11-13 | Intest Corporation | Cradle and cable handler for a test head manipulator |
DE102007024949B3 (de) * | 2007-05-30 | 2009-01-22 | Hubertus Heigl | Handhabungsvorrichtung zum Positionieren eines Testkopfs, insbesondere an einer Prüfeinrichtung |
KR100892519B1 (ko) * | 2007-06-27 | 2009-04-10 | 현대자동차주식회사 | 차량용 오디오 성능 검사장치 |
KR100996233B1 (ko) * | 2008-10-16 | 2010-11-23 | 한전케이피에스 주식회사 | 비파괴 검사 장비 |
US8030957B2 (en) | 2009-03-25 | 2011-10-04 | Aehr Test Systems | System for testing an integrated circuit of a device and its method of use |
GB201118994D0 (en) * | 2010-11-18 | 2011-12-14 | Xyratex Tech Ltd | A method and device for mapping the magnetic field or magnetic field sensitivity of a recording head |
WO2013009817A1 (en) | 2011-07-12 | 2013-01-17 | Intest Corporation | Method and apparatus for docking a test head with a peripheral |
US8640558B2 (en) * | 2011-09-12 | 2014-02-04 | Honeywell International Inc. | System for the automated inspection of structures at height |
US8896333B2 (en) * | 2012-05-18 | 2014-11-25 | Honeywell International Inc. | Automatic test equipment control device |
US9638714B2 (en) * | 2013-03-15 | 2017-05-02 | Johnstech International Corporation | On-center electrically conductive pins for integrated testing |
JP6125298B2 (ja) * | 2013-04-04 | 2017-05-10 | 株式会社東芝 | 移動式炉心内計装用弁支持装置および移動式炉心内計装装置 |
JP6114615B2 (ja) * | 2013-04-05 | 2017-04-12 | モレックス エルエルシー | コネクタ嵌合装置、及び電子機器の検査方法 |
DE102013109055A1 (de) * | 2013-08-21 | 2015-02-26 | Turbodynamics Gmbh | Ausrichteinrichtung und Handhabungsvorrichtung |
TW201508294A (zh) * | 2013-08-26 | 2015-03-01 | Chiuan Yan Technology Co Ltd | 床台式光學元件對位與導電性之檢測機構 |
EP3052951A1 (en) * | 2013-09-30 | 2016-08-10 | inTEST Corporation | Method and apparatus for docking a test head with a peripheral |
KR101748239B1 (ko) | 2014-03-25 | 2017-06-16 | 가부시키가이샤 어드밴티스트 | 액추에이터, 핸들러 장치 및 시험 장치 |
US9526908B2 (en) | 2014-04-01 | 2016-12-27 | Medtronic, Inc. | Method and apparatus for discriminating tachycardia events in a medical device |
US10376705B2 (en) | 2014-04-01 | 2019-08-13 | Medtronic, Inc. | Method and apparatus for discriminating tachycardia events in a medical device |
DE102014206412A1 (de) * | 2014-04-03 | 2015-10-08 | Siemens Aktiengesellschaft | Vorrichtung zur Aufnahme eines Prüflings, Anordnung und Verfahren zur Prüfung eines Prüflings |
US9808640B2 (en) | 2014-04-10 | 2017-11-07 | Medtronic, Inc. | Method and apparatus for discriminating tachycardia events in a medical device using two sensing vectors |
US9352165B2 (en) | 2014-04-17 | 2016-05-31 | Medtronic, Inc. | Method and apparatus for verifying discriminating of tachycardia events in a medical device having dual sensing vectors |
US10278601B2 (en) | 2014-04-24 | 2019-05-07 | Medtronic, Inc. | Method and apparatus for selecting a sensing vector configuration in a medical device |
US10244957B2 (en) | 2014-04-24 | 2019-04-02 | Medtronic, Inc. | Method and apparatus for selecting a sensing vector configuration in a medical device |
US9795312B2 (en) | 2014-04-24 | 2017-10-24 | Medtronic, Inc. | Method and apparatus for adjusting a blanking period for selecting a sensing vector configuration in a medical device |
US10252067B2 (en) | 2014-04-24 | 2019-04-09 | Medtronic, Inc. | Method and apparatus for adjusting a blanking period during transitioning between operating states in a medical device |
US9610025B2 (en) | 2014-07-01 | 2017-04-04 | Medtronic, Inc. | Method and apparatus for verifying discriminating of tachycardia events in a medical device having dual sensing vectors |
US10060475B2 (en) * | 2014-12-24 | 2018-08-28 | Teradyne, Inc. | Braking system |
CN105158520B (zh) * | 2015-08-07 | 2018-05-29 | 湖南红太阳新能源科技有限公司 | 一种测试用接触器 |
CN105182014B (zh) * | 2015-09-11 | 2018-02-09 | 国网福建省电力有限公司 | 一种互感器测试装夹*** |
CN105158676B (zh) * | 2015-09-21 | 2019-02-12 | 大西电子仪器(昆山)有限公司 | 精密电子产品基板功能自动检测装置 |
KR20180101476A (ko) | 2016-01-08 | 2018-09-12 | 에어 테스트 시스템즈 | 일렉트로닉스 테스터 내의 디바이스들의 열 제어를 위한 방법 및 시스템 |
JP2017151011A (ja) * | 2016-02-26 | 2017-08-31 | セイコーエプソン株式会社 | 電子部品搬送装置および電子部品検査装置 |
KR102495427B1 (ko) | 2017-03-03 | 2023-02-02 | 에어 테스트 시스템즈 | 일렉트로닉스 테스터 |
US20180364131A1 (en) * | 2017-06-14 | 2018-12-20 | Optofidelity Oy | Testing apparatus |
CN107941542A (zh) * | 2017-11-23 | 2018-04-20 | 广东恒鑫智能装备股份有限公司 | 自动配水机构 |
KR102465584B1 (ko) * | 2018-06-15 | 2022-11-09 | 한국전기연구원 | 멀티프로버 시스템의 웨이퍼 카트리지 얼라인용 틸팅을 위한 가변 잠금장치 |
TWI676031B (zh) * | 2018-09-06 | 2019-11-01 | 致茂電子股份有限公司 | 滑移式電子元件測試裝置 |
CN109633316B (zh) * | 2018-12-19 | 2021-04-20 | 深圳市博瑞信科技有限公司 | 三轴无线充电器自动测试*** |
CN109856554A (zh) * | 2019-04-22 | 2019-06-07 | 星云智能装备(昆山)有限公司 | 一种自动对插机构及电池包测试装置 |
US11041879B2 (en) * | 2019-06-06 | 2021-06-22 | International Business Machines Corporation | Fluidized alignment of a semiconductor die to a test probe |
KR20210063164A (ko) * | 2019-11-22 | 2021-06-01 | (주)테크윙 | 테스터 결합부 |
JP2020145446A (ja) * | 2020-04-30 | 2020-09-10 | 東京エレクトロン株式会社 | ウエハ検査装置 |
US11498207B2 (en) | 2021-01-08 | 2022-11-15 | Teradyne, Inc. | Test head manipulator configured to address uncontrolled test head rotation |
CN114113708B (zh) * | 2021-11-29 | 2024-03-29 | 广东省华科应急管理技术服务有限公司 | 一种消防电气设施安全检测仪 |
CN117074939A (zh) * | 2023-08-17 | 2023-11-17 | 潮州市汇能电机有限公司 | 一种水轮发电机组模拟试验*** |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06291169A (ja) * | 1993-04-07 | 1994-10-18 | Nec Kansai Ltd | Tab式半導体装置の特性検査装置 |
JPH07244119A (ja) * | 1993-09-15 | 1995-09-19 | Intest Corp | 電子テストヘッド位置決め装置 |
JPH07309269A (ja) * | 1994-05-19 | 1995-11-28 | Honda Motor Co Ltd | 長尺状重量物の取り付け装置 |
JPH08148534A (ja) * | 1994-11-15 | 1996-06-07 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ウエハプローバ |
JPH09127192A (ja) * | 1995-10-30 | 1997-05-16 | Advantest Corp | Ic試験装置 |
JPH09291000A (ja) * | 1996-04-26 | 1997-11-11 | Advantest Corp | 昇降装置 |
JPH1050778A (ja) * | 1996-08-03 | 1998-02-20 | Tokyo Electron Ltd | 重量物移動装置及び検査装置 |
JPH11501722A (ja) * | 1995-02-23 | 1999-02-09 | イーソップ・インコーポレーテッド | 自動テスト装置のテストヘッド用マニピュレータ |
JPH1194904A (ja) * | 1997-07-25 | 1999-04-09 | Advantest Corp | 半導体デバイス試験装置のテストヘッド位置決め装置 |
JP2002107411A (ja) * | 2000-09-29 | 2002-04-10 | Ando Electric Co Ltd | テストヘッドの支持台 |
Family Cites Families (36)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3295224A (en) * | 1964-12-07 | 1967-01-03 | Franklin Institute | Motion simulator |
AT362171B (de) * | 1978-11-06 | 1981-04-27 | Zahn Ag | Einzugs- und rueckgabevorrichtung fuer als kreditkarten dienende informationstraeger, an einem automat fuer kreditierte waren- oder geld- ausgabe oder dienstleistung, und je einen dieser informationstraeger aufnehmende etuis |
JPS5595285U (ja) * | 1978-12-25 | 1980-07-02 | ||
FR2549916B1 (fr) * | 1983-07-25 | 1988-05-20 | Onera (Off Nat Aerospatiale) | Dispositif d'articulation actif a compliance |
IL77654A (en) * | 1986-01-20 | 1991-03-10 | Dov Rosenthal | Electric positioning apparatus |
AT387208B (de) * | 1986-04-04 | 1988-12-27 | Voest Alpine Ag | Transportfahrzeug sowie einrichtung zum ueberwachen der kippsicherheit der last auf einem derartigen transportfahrzeug |
JP2674781B2 (ja) * | 1988-05-23 | 1997-11-12 | 日本ヒューレット・パッカード株式会社 | 治具接続装置と接続手段 |
JP3062268B2 (ja) * | 1991-03-11 | 2000-07-10 | アジレント・テクノロジー株式会社 | テストヘッドにおけるdutボードの着脱機構 |
JP2550265Y2 (ja) * | 1991-04-26 | 1997-10-08 | 横河電機株式会社 | Lsiテスタ |
US5275521A (en) * | 1991-07-03 | 1994-01-04 | Tokyo Electron Sagami Limited | Wafer transfer device |
US5600258A (en) * | 1993-09-15 | 1997-02-04 | Intest Corporation | Method and apparatus for automated docking of a test head to a device handler |
TW273635B (ja) * | 1994-09-01 | 1996-04-01 | Aesop | |
US5656942A (en) * | 1995-07-21 | 1997-08-12 | Electroglas, Inc. | Prober and tester with contact interface for integrated circuits-containing wafer held docked in a vertical plane |
JPH09159729A (ja) * | 1995-12-08 | 1997-06-20 | Asia Electron Inc | 半導体試験装置 |
CN2279238Y (zh) * | 1996-10-17 | 1998-04-22 | 华南理工大学 | 封闭电流式开放功率型齿轮传动实验台 |
JPH10221404A (ja) * | 1997-02-06 | 1998-08-21 | Yokogawa Electric Corp | テストヘッドのパフォーマンスボード取付装置 |
US6023173A (en) * | 1997-04-30 | 2000-02-08 | Credence Systems Corporation | Manipulator with expanded range of motion |
US5791632A (en) * | 1997-07-14 | 1998-08-11 | Brenes; Arthur | Quick release slide lock for vacuum valve |
US6271657B1 (en) * | 1997-07-25 | 2001-08-07 | Advantest Corporation | Test head positioner for semiconductor device testing apparatus |
JP3323115B2 (ja) * | 1997-10-20 | 2002-09-09 | 東芝マイクロエレクトロニクス株式会社 | 半導体ic試験装置 |
US5949002A (en) * | 1997-11-12 | 1999-09-07 | Teradyne, Inc. | Manipulator for automatic test equipment with active compliance |
US6227357B1 (en) * | 1998-06-09 | 2001-05-08 | William L. Brown, Sr. | Air lift device |
MY144519A (en) * | 2000-03-01 | 2011-09-30 | Intest Corp | Vertical counter balanced test head manipulator |
JP4523110B2 (ja) * | 2000-03-17 | 2010-08-11 | 株式会社日立製作所 | 権限証明方法及びその実施装置並びにその処理プログラムを記録した記録媒体 |
MY147595A (en) | 2000-09-22 | 2012-12-31 | Intest Corp | Apparatus and method for balancing and for providing a compliant range to a test head |
US6838868B1 (en) * | 2000-11-07 | 2005-01-04 | Teradyne, Inc. | Test head actuation system with positioning and compliant modes |
US6617867B2 (en) * | 2000-11-29 | 2003-09-09 | Teradyne, Inc. | Mechanism for clamping device interface board to peripheral |
JP2002277507A (ja) * | 2001-03-15 | 2002-09-25 | Ando Electric Co Ltd | 半導体試験装置 |
US6586925B2 (en) * | 2001-04-09 | 2003-07-01 | St Assembly Test Services Ltd. | Method and apparatus for establishing quick and reliable connection between a semiconductor device handler plate and a semiconductor device test head plate |
US6940273B2 (en) | 2001-07-05 | 2005-09-06 | Cornelia Heigl | Handling device, especially for positioning a test head on a testing device |
US20030077932A1 (en) * | 2001-10-22 | 2003-04-24 | Lewinnek David W. | Floating blind mate interface for automatic test system |
US6897645B2 (en) * | 2001-12-29 | 2005-05-24 | Vincent Hing Chung So | Docking system and method for docking in automated testing systems |
US6646431B1 (en) * | 2002-01-22 | 2003-11-11 | Elite E/M, Inc. | Test head manipulator |
US6828774B2 (en) * | 2002-02-27 | 2004-12-07 | Teradyne, Inc. | Rear-mounted gimbal for supporting test head |
US6722215B2 (en) | 2002-06-18 | 2004-04-20 | Michael Caradonna | Manipulator apparatus with low-cost compliance |
MY146692A (en) * | 2003-08-06 | 2012-09-14 | Intest Corp | Test head positioning system |
-
2004
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-
2007
- 2007-05-17 US US11/749,988 patent/US7728579B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2010
- 2010-04-19 US US12/762,573 patent/US8035406B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2011
- 2011-03-07 JP JP2011049456A patent/JP5564004B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06291169A (ja) * | 1993-04-07 | 1994-10-18 | Nec Kansai Ltd | Tab式半導体装置の特性検査装置 |
JPH07244119A (ja) * | 1993-09-15 | 1995-09-19 | Intest Corp | 電子テストヘッド位置決め装置 |
JPH07309269A (ja) * | 1994-05-19 | 1995-11-28 | Honda Motor Co Ltd | 長尺状重量物の取り付け装置 |
JPH08148534A (ja) * | 1994-11-15 | 1996-06-07 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ウエハプローバ |
JPH11501722A (ja) * | 1995-02-23 | 1999-02-09 | イーソップ・インコーポレーテッド | 自動テスト装置のテストヘッド用マニピュレータ |
JPH09127192A (ja) * | 1995-10-30 | 1997-05-16 | Advantest Corp | Ic試験装置 |
JPH09291000A (ja) * | 1996-04-26 | 1997-11-11 | Advantest Corp | 昇降装置 |
JPH1050778A (ja) * | 1996-08-03 | 1998-02-20 | Tokyo Electron Ltd | 重量物移動装置及び検査装置 |
JPH1194904A (ja) * | 1997-07-25 | 1999-04-09 | Advantest Corp | 半導体デバイス試験装置のテストヘッド位置決め装置 |
JP2002107411A (ja) * | 2000-09-29 | 2002-04-10 | Ando Electric Co Ltd | テストヘッドの支持台 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20180061224A (ko) * | 2015-10-23 | 2018-06-07 | 테라다인 인코퍼레이티드 | 자동 테스트 장비 내의 매니퓰레이터 |
KR102621341B1 (ko) | 2015-10-23 | 2024-01-05 | 테라다인 인코퍼레이티드 | 자동 테스트 장비 내의 매니퓰레이터 |
KR20210006285A (ko) * | 2019-07-08 | 2021-01-18 | 야마하 파인 테크 가부시키가이샤 | 전기 검사 장치 및 보유 지지 유닛 |
KR102311432B1 (ko) | 2019-07-08 | 2021-10-12 | 야마하 파인 테크 가부시키가이샤 | 전기 검사 장치 및 보유 지지 유닛 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7235964B2 (en) | 2007-06-26 |
US20100264907A1 (en) | 2010-10-21 |
US20080122432A1 (en) | 2008-05-29 |
US8035406B2 (en) | 2011-10-11 |
US20040227534A1 (en) | 2004-11-18 |
SG162618A1 (en) | 2010-07-29 |
CN101806817A (zh) | 2010-08-18 |
KR20050109615A (ko) | 2005-11-21 |
CN1768271A (zh) | 2006-05-03 |
CN1768271B (zh) | 2010-05-05 |
SG158747A1 (en) | 2010-02-26 |
EP1618394A2 (en) | 2006-01-25 |
WO2004090558A3 (en) | 2005-05-19 |
DE04758607T1 (de) | 2006-07-13 |
JP5564004B2 (ja) | 2014-07-30 |
US7728579B2 (en) | 2010-06-01 |
CN101806817B (zh) | 2014-01-08 |
JP2011149950A (ja) | 2011-08-04 |
WO2004090558A2 (en) | 2004-10-21 |
JP5183061B2 (ja) | 2013-04-17 |
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