JPH1048812A - マスク保護装置と、その支持構造 - Google Patents
マスク保護装置と、その支持構造Info
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- JPH1048812A JPH1048812A JP20750496A JP20750496A JPH1048812A JP H1048812 A JPH1048812 A JP H1048812A JP 20750496 A JP20750496 A JP 20750496A JP 20750496 A JP20750496 A JP 20750496A JP H1048812 A JPH1048812 A JP H1048812A
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- Japan
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- pellicle
- protection device
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- pellicle frame
- frame
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-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
- G03F1/68—Preparation processes not covered by groups G03F1/20 - G03F1/50
- G03F1/82—Auxiliary processes, e.g. cleaning or inspecting
- G03F1/84—Inspecting
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課 題】収納ケースに納められたペリクルが輸送中に
動き、ケースとの接触によって発塵するのを防止すると
共に、マスクへの接着のためペリクル枠に貼着される粘
着剤がケースの床板の歪みによって変形し、エアパスに
よる発塵を防止する。 【解決手段】ペリクル１の枠の左右に板状の取手２を突
設する。収納ケース４には、床板５の左右に段状の受台
６を向かい合せに取着すると共に、上蓋７の左右に押え
８を下向きに設ける。ペリクル１の左右の取手２を受台
６に掛けて載せたのち、上蓋７を閉じると、受台６の段
と上蓋７の押え８とで取手２を挟み付けてペリクル１を
固定状態で、しかも粘着剤９が床板５と非接触状態で支
持される。
動き、ケースとの接触によって発塵するのを防止すると
共に、マスクへの接着のためペリクル枠に貼着される粘
着剤がケースの床板の歪みによって変形し、エアパスに
よる発塵を防止する。 【解決手段】ペリクル１の枠の左右に板状の取手２を突
設する。収納ケース４には、床板５の左右に段状の受台
６を向かい合せに取着すると共に、上蓋７の左右に押え
８を下向きに設ける。ペリクル１の左右の取手２を受台
６に掛けて載せたのち、上蓋７を閉じると、受台６の段
と上蓋７の押え８とで取手２を挟み付けてペリクル１を
固定状態で、しかも粘着剤９が床板５と非接触状態で支
持される。
Description
【０００１】
【発明が属する技術分野】本発明は、ＬＳＩなど集積回
路の製造工程において、マスクやレチクル（以下「マス
ク」という）に塵埃等が付着するのを防止する目的で用
いられるマスク保護装置（以下「ペリクル」という）
と、ペリクルを収納ケースに収納したときの支持構造に
関する。
路の製造工程において、マスクやレチクル（以下「マス
ク」という）に塵埃等が付着するのを防止する目的で用
いられるマスク保護装置（以下「ペリクル」という）
と、ペリクルを収納ケースに収納したときの支持構造に
関する。
【０００２】
【従来技術】集積回路の製造工程におけるフォトリソグ
ラフィ工程では、マスク上に塵埃等が付着すると、これ
が半導体ウェハに投影され、不良製品となりがちであ
る。この問題を解消し、マスク上に異物が付着するのを
防止するため、マスクパターンを囲う大きさの枠の一側
面に透明な薄膜（以下「ペリクル膜」という）を張設
し、他側端面をマスク上に粘着剤や粘着テープ等の接着
手段により接着してマスクをペリクル膜により一定の間
隔を存して覆うようにしたペリクルが供されるようにな
った。
ラフィ工程では、マスク上に塵埃等が付着すると、これ
が半導体ウェハに投影され、不良製品となりがちであ
る。この問題を解消し、マスク上に異物が付着するのを
防止するため、マスクパターンを囲う大きさの枠の一側
面に透明な薄膜（以下「ペリクル膜」という）を張設
し、他側端面をマスク上に粘着剤や粘着テープ等の接着
手段により接着してマスクをペリクル膜により一定の間
隔を存して覆うようにしたペリクルが供されるようにな
った。
【０００３】こうしたペリクルは、異物の付着を防止す
るために出荷時や保管時には一つ一つ収納ケースに納め
られている。
るために出荷時や保管時には一つ一つ収納ケースに納め
られている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】収納ケースの底板は、
平面性が悪く、凹凸状をなしていると、底板上に置かれ
るペリクルも接着剤や粘着テープ等が底板の変形に応じ
て変形し、ペリクルをマスクに貼り付けたとき、マスク
との間に形成される空隙部によりエアパスを誘発し、こ
のために発塵の原因となることがある。特開平８−６２
８２８号には、エアパスを解消するのに必要なペリクル
取付面の最大許容変形量について提案されているが、ペ
リクルが装着される収納ケースの底板は、平面性を向上
させるほど高度な加工技術が必要であり、収納ケースの
コスト高を招く。また平面性に満足の得られる収納ケー
スが得られても製作後、例えば外気温の上昇により収納
ケースが変形し、エアパスを生ずる恐れがある。
平面性が悪く、凹凸状をなしていると、底板上に置かれ
るペリクルも接着剤や粘着テープ等が底板の変形に応じ
て変形し、ペリクルをマスクに貼り付けたとき、マスク
との間に形成される空隙部によりエアパスを誘発し、こ
のために発塵の原因となることがある。特開平８−６２
８２８号には、エアパスを解消するのに必要なペリクル
取付面の最大許容変形量について提案されているが、ペ
リクルが装着される収納ケースの底板は、平面性を向上
させるほど高度な加工技術が必要であり、収納ケースの
コスト高を招く。また平面性に満足の得られる収納ケー
スが得られても製作後、例えば外気温の上昇により収納
ケースが変形し、エアパスを生ずる恐れがある。
【０００５】収納ケースに納められたペリクルはまた、
輸送事の振動等よって動き、ケースとの接触により発塵
することがある。本発明の第１の目的は、収納ケースに
納められたペリクルの粘着剤や粘着テープ等が収納ケー
スの変形によって変形するのを防ぎ、以ってエアパスに
よる発塵を防止しようとするものであり、第２の目的
は、収納ケースに納められたペリクルが動かないように
固定し、ケースとの接触による発塵を防止しようとする
ものである。
輸送事の振動等よって動き、ケースとの接触により発塵
することがある。本発明の第１の目的は、収納ケースに
納められたペリクルの粘着剤や粘着テープ等が収納ケー
スの変形によって変形するのを防ぎ、以ってエアパスに
よる発塵を防止しようとするものであり、第２の目的
は、収納ケースに納められたペリクルが動かないように
固定し、ケースとの接触による発塵を防止しようとする
ものである。
【０００６】
【課題の解決手段】第１の目的を達成するための発明
は、マスクパターンを囲う大きさのペリクル枠と、その
一側面に張設されるペリクル膜と、ペリクル枠の他側端
面に貼付される粘着剤や粘着テープ等の接着手段とより
なるマスク保護装置において、ペリクル枠に以下の
（１）〜（３）のうち、少なくとも一つ以上の機能を有
する鍔、取手或いは段等を設けたことを特徴とする。 （１）使用時において手又はマニプュレータで掴んで把
持することができる。 （２）収納ケースへの収納時に収納ケースの底板に接触
しないように収納ケースに設けた受台、段等に掛けて支
持することができる。 （３）固定手段で挟み着けて固定することができる。
は、マスクパターンを囲う大きさのペリクル枠と、その
一側面に張設されるペリクル膜と、ペリクル枠の他側端
面に貼付される粘着剤や粘着テープ等の接着手段とより
なるマスク保護装置において、ペリクル枠に以下の
（１）〜（３）のうち、少なくとも一つ以上の機能を有
する鍔、取手或いは段等を設けたことを特徴とする。 （１）使用時において手又はマニプュレータで掴んで把
持することができる。 （２）収納ケースへの収納時に収納ケースの底板に接触
しないように収納ケースに設けた受台、段等に掛けて支
持することができる。 （３）固定手段で挟み着けて固定することができる。
【０００７】上記（３）でいう固定手段としては、例え
ば容器の底板に取着される受台、或いは収納ケースに形
成される段と、収納ケースの上蓋に取着され、上記受台
或いは段とでペリクルの鍔、取手、段等を挟み付けて固
定する押え手段とより構成され、固定手段により固定支
持されたペリクルは好ましくは接着手段の接着面が底板
に接触しないように浮かせて支持される。
ば容器の底板に取着される受台、或いは収納ケースに形
成される段と、収納ケースの上蓋に取着され、上記受台
或いは段とでペリクルの鍔、取手、段等を挟み付けて固
定する押え手段とより構成され、固定手段により固定支
持されたペリクルは好ましくは接着手段の接着面が底板
に接触しないように浮かせて支持される。
【０００８】第１の目的を達成するための別の発明は、
マスクパターンを囲う大きさの枠と、その一側面に張設
されるペリクル膜と、枠の他側端面に貼付される粘着剤
や粘着テープ等の接着手段とよりなるペリクルを収納ケ
ースに納めたとき、ペリクルの接着手段の接着面が底板
に接触しないように浮かせて支持させることを特徴とす
る。
マスクパターンを囲う大きさの枠と、その一側面に張設
されるペリクル膜と、枠の他側端面に貼付される粘着剤
や粘着テープ等の接着手段とよりなるペリクルを収納ケ
ースに納めたとき、ペリクルの接着手段の接着面が底板
に接触しないように浮かせて支持させることを特徴とす
る。
【０００９】接着手段の接着面が収納ケースの底板に接
触しないようにペリクルを支持するには、例えば上述の
ペリクルを使用する方法、すなわちペリクル枠外側面に
側方に突出する鍔、取手等を設けるか、ペリクル枠外側
を段状に形成する一方、収納ケースの床板上に受台を取
着するか、収納ケースに段を形成し、ペリクル枠の鍔、
取手或いは段等を受台、段等に掛けてペリクルを支持す
る方法、ペリクル枠の外側を下方に向かい内向きに傾斜
させて先細り状とし、収納ケースに設けた受台、好まし
くは受台に形成のテーパ面に嵌合支持させる方法等を採
用することができる。
触しないようにペリクルを支持するには、例えば上述の
ペリクルを使用する方法、すなわちペリクル枠外側面に
側方に突出する鍔、取手等を設けるか、ペリクル枠外側
を段状に形成する一方、収納ケースの床板上に受台を取
着するか、収納ケースに段を形成し、ペリクル枠の鍔、
取手或いは段等を受台、段等に掛けてペリクルを支持す
る方法、ペリクル枠の外側を下方に向かい内向きに傾斜
させて先細り状とし、収納ケースに設けた受台、好まし
くは受台に形成のテーパ面に嵌合支持させる方法等を採
用することができる。
【００１０】上述する方法のなかでは、ペリクル枠に人
の手やマニプュレータによって掴むことのできる鍔、取
手或いは段等を設けるのが望ましい。ペリクルを持ち運
びする際、手で枠を掴んだり、ベルトコンベアで搬送す
ると、ペリクルが手やベルト等で汚染されるおそれがあ
るのに対し、鍔、取手或いは段等を掴んで持ち運びすれ
ば、汚染されるおそれが少なくなるためである。
の手やマニプュレータによって掴むことのできる鍔、取
手或いは段等を設けるのが望ましい。ペリクルを持ち運
びする際、手で枠を掴んだり、ベルトコンベアで搬送す
ると、ペリクルが手やベルト等で汚染されるおそれがあ
るのに対し、鍔、取手或いは段等を掴んで持ち運びすれ
ば、汚染されるおそれが少なくなるためである。
【００１１】第２の目的を達成するための発明は、マス
クパターンを囲う大きさの枠と、その一側面に張設され
るペリクル膜と、枠の他側端面に貼付される粘着剤や粘
着テープ等の接着手段とよりなるペリクルを収納ケース
に納めたときのペリクルの支持構造において、ペリクル
枠外側面に側方に突出する鍔、取手等を設ける一方、収
納ケースに鍔、取手等を挟み付けて固定する固定手段を
設けることを特徴とする。
クパターンを囲う大きさの枠と、その一側面に張設され
るペリクル膜と、枠の他側端面に貼付される粘着剤や粘
着テープ等の接着手段とよりなるペリクルを収納ケース
に納めたときのペリクルの支持構造において、ペリクル
枠外側面に側方に突出する鍔、取手等を設ける一方、収
納ケースに鍔、取手等を挟み付けて固定する固定手段を
設けることを特徴とする。
【００１２】
【発明の実施の形態】図１及び図２において、ペリクル
１には枠の左右両側に板状の取手２が側方に突設される
一方、収納ケース４には床板５の左右に段状の受台６が
向かい合せに取着されると共に、上蓋７の左右に押え手
段としての押え８が下向きに設けられ、受台６と押え８
とは取手２を上下より挟み付けて固定する固定手段を構
成しており、固定時においてペリクル１の左右の取手２
を受台６に掛けて載せたのち、上蓋７を閉じると、受台
６の段と上蓋７の押え８とで取手２を挟み付けてペリク
ル１を固定状態で、しかも粘着剤９が床板５と非接触状
態で支持できるようにしてある。
１には枠の左右両側に板状の取手２が側方に突設される
一方、収納ケース４には床板５の左右に段状の受台６が
向かい合せに取着されると共に、上蓋７の左右に押え手
段としての押え８が下向きに設けられ、受台６と押え８
とは取手２を上下より挟み付けて固定する固定手段を構
成しており、固定時においてペリクル１の左右の取手２
を受台６に掛けて載せたのち、上蓋７を閉じると、受台
６の段と上蓋７の押え８とで取手２を挟み付けてペリク
ル１を固定状態で、しかも粘着剤９が床板５と非接触状
態で支持できるようにしてある。
【００１３】上記実施形態では、取手２と受台６をペリ
クル１と床板５の左右に設けているが、左右の代わりに
前後に設けてもよく、また前後左右に設けてもよい。図
３は、ペリクル１１の枠１５外側を下方に向かい内向き
に傾斜させて先細り状とする一方、収納ケース１２の床
板１３上に取着される受台１４の対向面をそれぞれ下方
に向かい内向きに傾斜するテーパ面としたもので、ペリ
クル１１を装着したとき、ペリクル１１が床板上に浮か
せて非接触状態で支持されるようにしてある。
クル１と床板５の左右に設けているが、左右の代わりに
前後に設けてもよく、また前後左右に設けてもよい。図
３は、ペリクル１１の枠１５外側を下方に向かい内向き
に傾斜させて先細り状とする一方、収納ケース１２の床
板１３上に取着される受台１４の対向面をそれぞれ下方
に向かい内向きに傾斜するテーパ面としたもので、ペリ
クル１１を装着したとき、ペリクル１１が床板上に浮か
せて非接触状態で支持されるようにしてある。
【００１４】図４は、ペリクル２１の枠２５の上端に鍔
２２を突出形成し、床板２３の左右に取着される受台２
４に引掛けて支持されるようにしたものである。
２２を突出形成し、床板２３の左右に取着される受台２
４に引掛けて支持されるようにしたものである。
【００１５】
【発明の効果】本発明は以上のように構成され、次のよ
うな効果を奏する。請求項１記載のマスク保護装置によ
れば、以下の（１）〜（３）のうち、少なくとも一つ以
上の効果を奏することができる。 （１）鍔、取手或いは段等を掴んで持ち運びすることに
より、持ち運び時のペリクルの汚染を防止できる。
うな効果を奏する。請求項１記載のマスク保護装置によ
れば、以下の（１）〜（３）のうち、少なくとも一つ以
上の効果を奏することができる。 （１）鍔、取手或いは段等を掴んで持ち運びすることに
より、持ち運び時のペリクルの汚染を防止できる。
【００１６】（２）鍔、取手或いは段等を収納ケースに
設けた受台、段等に掛けることによりペリクルが収納ケ
ースの底板より浮いた状態で支持されるため、接着面が
底板の歪みによって変形されるようなことがなく、また
そのために底板に厳密な平面性が要求されなくなり、ケ
ース成形が容易となって製作コストを下げることができ
る。
設けた受台、段等に掛けることによりペリクルが収納ケ
ースの底板より浮いた状態で支持されるため、接着面が
底板の歪みによって変形されるようなことがなく、また
そのために底板に厳密な平面性が要求されなくなり、ケ
ース成形が容易となって製作コストを下げることができ
る。
【００１７】（３）鍔、取手或いは段等を固定手段で挟
み着けて固定することによりペリクルが収納ケースに固
定状態で収められ、輸送中の振動等によってペリクルが
動き、ケースとの接触によって発塵するおそれがない。
請求項２記載の支持構造によれば、マスク保護装置は接
着手段の接着面が収納ケースの底板に接触しないように
支持されるため、接着面が底板の歪みによって変形され
るようなことがなく、またそのために底板に厳密な平面
性が要求されなくなり、ケース成形が容易となって製作
コストを下げることができる。
み着けて固定することによりペリクルが収納ケースに固
定状態で収められ、輸送中の振動等によってペリクルが
動き、ケースとの接触によって発塵するおそれがない。
請求項２記載の支持構造によれば、マスク保護装置は接
着手段の接着面が収納ケースの底板に接触しないように
支持されるため、接着面が底板の歪みによって変形され
るようなことがなく、またそのために底板に厳密な平面
性が要求されなくなり、ケース成形が容易となって製作
コストを下げることができる。
【００１８】請求項３記載の支持構造においては、鍔、
取手或いは段等が受台或いは段等に掛かるようにして載
せるだけで、また請求項５記載の支持構造においては、
ペリクルを受台に嵌合させるだけで簡単に接着面が床板
に接触しないように支持させることができる。請求項４
記載の支持構造においては、継手或いは取手等を掴んで
ペリクルを持ち運びすることができ、持ち運び時のペリ
クルの汚染を防止することができる。
取手或いは段等が受台或いは段等に掛かるようにして載
せるだけで、また請求項５記載の支持構造においては、
ペリクルを受台に嵌合させるだけで簡単に接着面が床板
に接触しないように支持させることができる。請求項４
記載の支持構造においては、継手或いは取手等を掴んで
ペリクルを持ち運びすることができ、持ち運び時のペリ
クルの汚染を防止することができる。
【００１９】請求項６記載の支持構造によれば、ペリク
ルを面接触にてペリクル枠を傷付けることなく支持する
ことができる。請求項７記載の支持構造によれば、ペリ
クルを固定状態で支持することができ、輸送中の振動等
によってペリクルが動き、ケースとの接触によって発塵
するおそれがない。
ルを面接触にてペリクル枠を傷付けることなく支持する
ことができる。請求項７記載の支持構造によれば、ペリ
クルを固定状態で支持することができ、輸送中の振動等
によってペリクルが動き、ケースとの接触によって発塵
するおそれがない。
【００２０】請求項８記載の支持構造によれば、上述す
る請求項７記載の効果と、請求項２記載の効果を併せて
奏することができる。
る請求項７記載の効果と、請求項２記載の効果を併せて
奏することができる。
【図１】収納ケースにペリクルを装着したときの状態を
示す平面図。
示す平面図。
【図２】上蓋を装着して固定したときの状態を示す断面
図。
図。
【図３】ペリクル支持構造の別の態様を示す断面図。
【図４】ペリクル支持構造の更に別の態様を示す断面
図。
図。
１、１１、２１・・ペリクル ２・・取手 ４・・収納ケース ５、１２、２３
・・底板 ６、１３、２４・・受台 ７・・上蓋 ８・・押え ９・・粘着剤 ２２・・鍔 ２５・・枠
・・底板 ６、１３、２４・・受台 ７・・上蓋 ８・・押え ９・・粘着剤 ２２・・鍔 ２５・・枠
Claims (8)
- 【請求項１】マスクパターンを囲う大きさのペリクル枠
と、その一側面に張設されるペリクル膜と、ペリクル枠
の他側端面に貼付される粘着剤や粘着テープ等の接着手
段とよりなるマスク保護装置において、ペリクル枠に
は、以下の（１）〜（３）のうち、少なくとも一つ以上
の機能を有する鍔、取手或いは段等を設けたことを特徴
とするマスク保護装置。 （１）使用時において手又はマニプュレータで掴んで把
持することができる。 （２）収納ケースへの収納時に収納ケースの底板に接触
しないように収納ケースに設けた受台、段等に掛けて支
持することができる。 （３）固定手段で挟み着けて固定することができる。 - 【請求項２】マスクパターンを囲う大きさのペリクル枠
と、その一側面に張設されるペリクル膜と、ペリクル枠
の他側端面に貼付される粘着剤や粘着テープ等の接着手
段とよりなるマスク保護装置を収納ケースに納めたと
き、マスク保護装置の接着手段の接着面が底板に接触し
ないように浮かせて支持させることを特徴とするマスク
保護装置の支持構造。 - 【請求項３】接着手段の接着面が収納ケースの底板に接
触しないようにマスク保護装置を支持させる構造は、ペ
リクル枠外側面に側方に突設される鍔若しくは取手或い
はペリクル枠外側に形成される段等と、収納ケースに設
けられ、ペリクル枠の鍔、取手或いは段等が掛けられる
受台或いは段等とからなる請求項２記載のマスク保護装
置の支持構造。 - 【請求項４】鍔或いは取手等は手又はマニプュレータで
掴んでマスク保護装置を支持することのできる構造を有
する請求項３記載のマスク保護装置の支持構造。 - 【請求項５】接着手段の接着面が収納ケースの底板に接
触しないようにマスク保護装置を支持させる構造は、外
側面を下方に向かい内向きに傾斜させたペリクル枠と、
収納ケースに設けられ、ペリクル枠が嵌合支持される受
台とよりなる請求項２記載のマスク保護装置の支持構
造。 - 【請求項６】受台にはテーパ面が形成される請求項５記
載のマスク保護装置の支持構造。 - 【請求項７】マスクパターンを囲う大きさのペリクル枠
と、その一側面に張設されるペリクル膜と、枠の他側端
面に貼付される粘着剤や粘着テープ等の接着手段とより
なるマスク保護装置を収納ケースに納めたときのマスク
保護装置の支持構造であって、ペリクル枠外側面に側方
に突設される鍔若しくは取手或いはペリクル枠外側に形
成される段等と、収納ケースに設けられ、ペリクル枠の
鍔、取手或いは段等を挟み付けて固定する固定手段とよ
りなるマスク保護装置の支持構造。 - 【請求項８】固定手段によりマスク保護装置は接着手段
の接着面が収納ケースの底板に接触しないように支持さ
れる請求項７記載のマスク保護装置の支持構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20750496A JPH1048812A (ja) | 1996-08-07 | 1996-08-07 | マスク保護装置と、その支持構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20750496A JPH1048812A (ja) | 1996-08-07 | 1996-08-07 | マスク保護装置と、その支持構造 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1048812A true JPH1048812A (ja) | 1998-02-20 |
Family
ID=16540821
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20750496A Pending JPH1048812A (ja) | 1996-08-07 | 1996-08-07 | マスク保護装置と、その支持構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1048812A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6220749B1 (en) * | 1999-04-02 | 2001-04-24 | Carrier Corporation | Self-adjusting temperature sensor |
| JP2007047254A (ja) * | 2005-08-08 | 2007-02-22 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | ペリクル用収納容器 |
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| JP2014085433A (ja) * | 2012-10-22 | 2014-05-12 | Shin Etsu Chem Co Ltd | ペリクル収納容器 |
| CN110172667A (zh) * | 2019-06-20 | 2019-08-27 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 一种应用于溅镀设备中的夹持装置和溅镀设备 |
| US10488751B2 (en) * | 2014-09-19 | 2019-11-26 | Mitsui Chemicals, Inc. | Pellicle, production method thereof, exposure method |
| US10585348B2 (en) | 2014-09-19 | 2020-03-10 | Mitsui Chemicals, Inc. | Pellicle, pellicle production method and exposure method using pellicle |
| JP2021060555A (ja) * | 2019-10-09 | 2021-04-15 | 信越化学工業株式会社 | ペリクルとその専用ペリクルケースからなるアセンブリ |
-
1996
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