JP4614845B2 - ペリクル用収納容器 - Google Patents

Description

本発明は、ペリクル膜とペリクル膜を支持する支持枠とからなるペリクルを輸送するためのペリクル用収納容器に関する。

半導体回路パターンの製造工程の一部であるリソグラフィ工程で使用されるフォトマスク上に異物が付着すると、その異物のパターンが転写され、半導体チップの多くを不良品としてしまう危険性がある。このため、従来からフォトマスクの防塵を目的に、ペリクルが用いられている。

ペリクルは、一般的に、ニトロセルロース等の透明な高分子膜からなる厚さ約１０ミクロン程度のペリクル膜と、それを一方の周端面にて支持する厚さ数ミリ程度の支持枠とから構成されている。支持枠におけるペリクル膜と反対側の周端面には、フォトマスクに支持枠を固定するためのフィルム付きの粘着材が備えられている。粘着材は、ペリクルをフォトマスク上に配置した際にフォトマスクと支持枠との間に隙間ができないよう、均一の厚みをもって備え付けられている。

フォトマスクに支持枠を固定する際には、フォトマスクの上方にペリクル膜が配置されるようにペリクルをセッティングし、フィルムを剥がして粘着材を介して支持枠をフォトマスクに固定して、フォトマスク上に異物が入ることを防止するようにしている。

また、近年、ペリクルは、液晶表示体の製造工程におけるリソグラフィ工程で使用されるフォトマスクの防塵手段としても多用されてきている。液晶表示体は、シリコンウェハに比べて大きな面積を有することから、フォトマスクも大型化している。これに伴いペリクル膜も大型化してきており、１０００ｍｍ×１０００ｍｍ以上の大型ペリクル膜も多く使用されている。

ペリクルの輸送には、専用のペリクル用収納容器が用いられている。ペリクルの大型化に伴い、ペリクル用収納容器も大型の物が求められている。ペリクル用収納容器は一般的には樹脂製であるが、その大型化に伴い射出成形品から真空成形品に移行している。

また、ペリクル用収納容器が大型化すると、真空成形の成形残留応力およびそれ自体の自重による反りに代表される変形の問題が顕在化してくる。ペリクル用収納容器に変形が生じると、粘着材にその変形が転写される可能性が高くなる。すると、粘着材の厚さが場所によって不均一になり、フォトマスクとペリクルの支持枠との間に接着不良の箇所が生じ、フォトマスク上に異物が入る危険性が高まる。このような問題に鑑み、ペリクル用収納容器を構成しているトレイおよび蓋の少なくともいずれか一方に補強板を取り付けることによって、ペリクル用収納容器の変形を軽減する技術が知られている（例えば、特許文献１参照）。また、同様の趣旨から、トレイおよび蓋の少なくともいずれか一方のペリクル搭載面にリブを設けることによって、ペリクル用収納容器の変形を軽減する技術も知られている（例えば、特許文献２参照）。
特開２００５−４９７６５号公報（特許請求の範囲） 特開２０００−１７３８８７号公報（特許請求の範囲）

ペリクル用収納容器において問題となるのは、収納容器が変形し、これが粘着材に転写されることである。上述の従来技術は、トレイまたは蓋全体の反り等の変形を防止するための手段であって、支持枠に備えられた粘着材が不均一になることを間接的に防止しているに過ぎない。したがって、トレイまたは蓋の変形を防止しようとする従来の方法では、必ずしもペリクルの支持枠に備えられた粘着材の厚みを均一な状態に保持できるとは限らない。

本発明は、上記課題に鑑み、収納するペリクルの支持枠の粘着材の厚みを均一に保持して輸送するペリクル用収納容器の提供を目的とする。

上記目的を達成するため、本発明は、ペリクル膜と当該ペリクル膜を支持する支持枠とからなるペリクルを輸送するためのペリクル用収納容器であって、トレイとその蓋となるカバーと、トレイおよびカバーのいずれか一方の内側に、支持枠を載置する載置部であって支持枠を載置する部位が支持枠の底面に対して傾斜している１つまたは２以上の載置部と、を備えると共に、載置部において、支持枠を載置する部位が２以上の傾斜面からなるペリクル用収納容器としている。

このように、載置部において支持枠を載置する部位を支持枠の底面に対して傾斜させているので、支持枠の底面と載置部とは面接触しない。このため、支持枠の底面に貼り付けられている粘着材への面圧が場所によって不均一になるというような問題は生じない。したがって、粘着材の厚さを均一に保持したまま輸送することができる。載置部は、１つの構成部材でも良いが、２つ以上の構成部材とし、ペリクルの支持枠を複数箇所で支持するようにしても良い。

また、別の発明は、ペリクル膜と当該ペリクル膜を支持する支持枠とからなるペリクルを輸送するためのペリクル用収納容器であって、トレイとその蓋となるカバーと、トレイおよびカバーのいずれか一方の内側に、支持枠を載置する載置部であって支持枠を載置する部位が支持枠の底面に対して傾斜している１つまたは２以上の載置部と、を備えると共に、載置部は、支持枠の底面の角を支持するように配置されているペリクル用収納容器としている。このため、先の発明と同様、載置部と支持枠の底面とは面接触しない。特に、載置部は支持枠の底面の角と点接触しているので、接触部分はより小さくなり、支持枠の底面に設けられた粘着材の厚さをより均一に保持したまま輸送することができる。

また、別の本発明は、先の各発明における載置部を、載置部が設けられているトレイ若しくはカバーと同じ材料で一体構成されているペリクル用収納容器としている。このため、載置部を別体で製造し、カバー若しくはトレイに取り付ける場合に比べて、製造工程を簡略化できる。すなわち、カバー若しくはトレーを載置部としての凹凸を設けた状態で一体的に成形すれば良いので、容易に製造できる。また、載置部を設けたトレイ若しくはカバーに凹凸が形成されることにより、その剛性が高まり、たわみ等の変形が生じにくくなる。

本発明に係るペリクル用収納容器を構成するトレイおよびカバーの材料には、アクリロニトリル・ブタジエン・スチレン樹脂（アクリロニトリル、ブタジエンおよびスチレンの３種類の単量体からなる共重合体であり、以後、「ＡＢＳ樹脂」という。）の他、ポリエチレンテレフタレート樹脂等のポリエステル樹脂、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン樹脂、ポリスチレン樹脂等を好適に用いることができ、特に、ＡＢＳ樹脂を用いるのがより好ましい。ただし、上述の樹脂は一例に過ぎず、他の樹脂材料を採用しても良い。

本発明に係るペリクル用収納容器は、好適には真空成形にて製造される。ここで、「真空成形」とは、軟化状態の樹脂を金型に配置して、その樹脂と金型との間の空間を真空にすることによって、樹脂を金型に吸い付けて成形する方法をいい、金型への樹脂の供給方法は問わない。したがって、シート形状の樹脂を金型に配置したり、あるいは溶融状態の樹脂を金型に吐出しても良い。真空成形の例としては、雌型を用いるストレート法、雄型によるドレープ法、樹脂シートを半球状にふくらませてその中に雄型を入れて成形するエアスリップ法、エアスリップ法で用いられる雄型の代わりに雌型を用いるリバースドロー法、雌型上にクランプした樹脂シートをプラグで雌型に突き降ろし、樹脂シートを予張して真空にひく補助プラグ法などが挙げられるが、これらに限定されるものではない。また、真空成形以外に、樹脂側から金型方向にガス圧を及ぼして成形する圧空成形、当該圧空成形と真空成形の両方を組み合わせた圧空真空成形によって製造することもできる。また、真空成形、圧空成形、圧空真空成形以外の成形方法を採用しても良い。

本発明によれば、収納するペリクルの支持枠の粘着材の厚みを均一に保持してペリクルを輸送することができる。

以下、本発明に係るペリクル用収納容器の好適な実施の形態について、図面を参照しながら詳述するが、本発明はこれに限定されるものではない。

（第１の実施の形態）
図１は、第１の実施の形態に係るペリクル用収納容器１の分解斜視図である。また、図２は、図１に示すペリクル用収納容器１の斜視図である。図１に示すように、ペリクル用収納容器１は、トレイ３と、その蓋であるカバー２とを備えている。

図１において、載置部４は、トレイ３の一部として、内側に向かって一方向の下り傾斜をなす形状で設けられている。なお、図１において、載置部４はトレイ３の一部として設けられているが、カバー２とトレイ３によって形成される内部空間において固定される、トレイ3とは別体の載置部をトレイ３に備えても良い。

カバー２およびトレイ３は、元板の厚さが約３ｍｍのＡＢＳ樹脂を原料とし、真空成形用金型を用いた真空成形法により製造される。ただし、ＡＢＳ樹脂以外の樹脂を用いても良い。さらに、元板の厚みは３ｍｍに限定されず、３ｍｍより薄いあるいは３ｍｍを超える板状の樹脂を成形してもよい。

ペリクルを輸送する際には、トレイ３に備えられた載置部４にペリクルを載置して、その上からカバー２を被せ、カバー２とトレイ３を固定する。

図３は、図２に示すペリクル用収納容器１をＡ−Ａ線にて切断した際の断面図である。

カバー２は、トレイ３と対向する側に開口部を有する凹状のカバー本体２０を、当該カバー本体２０の外周縁部から水平方向に延びる外延部２１、外延部２１の周端部から上方に延びる外延部２２、外延部２２の周端部から外に向かって水平方向にわずかに延びる縁部２３とを備えている。

一方、トレイ３は、カバー２と対向する側に開口部を有するトレイ本体３０と、その面内において開口部方向に突出する載置部４と、載置部４の外周縁部から水平方向に延びる外延部３１と、外延部３１の周端部から上方に延びる外延部３２と、外延部３２の周端部から外に向かって水平方向に延びる縁部３３とを備えている。外延部２１から縁部２３に至るクランク形状部分は、外延部３１の途中から縁部３３に至るクランク形状部分と同じ形状であり、カバー２側のクランク形状部分の下面がトレイ３側のクランク形状部分の上面と密着可能となっている。

カバー２とトレイ３の固定は、例えば、縁部２３と縁部３３をクリップで留める方法の他、外延部２１、外延部２２、縁部２３と外延部３１、外延部３２、縁部３３がそれぞれ接触する部分（一部または全部）において固定する任意の固定方法を採用できる。

図４は、図３に示すペリクル用収納容器１に収納するペリクル５を図２に示すＡ−Ａ線で切断した際の断面図である。

ペリクル５は、ニトロセルロース等の材質からなる厚さ１０ミクロン以下のペリクル膜６を、四角枠形状の支持枠７の一方の端面（図４における上面）に展張して張り付けた構成を有している。支持枠７の高さは、約５ｍｍである。ただし、ペリクル膜５の材質および厚さならびに支持枠７の高さは、上記に限定されるものではない。

図４におけるＸで示される部分の拡大図に示すように、支持枠７におけるペリクル膜６と反対側の周端面（底面）には、粘着材８が備えられている。粘着材８の表面には、通常、薄い剥離シート（不図示）が貼られている。ペリクル５を使用する場合には、当該剥離シートを粘着材８から剥がして、粘着力を発揮し得る状態としてから、支持枠７をフォトマスクに貼り付けて固定する。輸送の過程においてこの粘着材８の厚みを不均一にさせないという本発明の効果をより発揮するため、好ましくは、粘着材８はペリクル５を載置部４に載置した際に、載置部４と接触しない部位に備えられる。図４においては、図３に示す内側下方傾斜型の載置部４に合わせて粘着材８が支持枠７の底面の内側に設けられている。

図５は、図３に示すペリクル用収納容器１内に、図４に示すペリクル５を収納した状態を示す図である。なお、カバー２の内側に設けられたペリクル５を固定する部位は、その図示を省略している。

ペリクル５は、その支持枠７の一部が載置部４に接した状態にて収納される。支持枠７の底面と、トレイ３の内側に向かって下方に傾斜する内側下方傾斜型の載置部４とが支持枠７の底面の外縁で接触することにより、粘着材８は載置部４と非接触の状態に保持される。よって、輸送時にペリクル用収納容器１が多少変形しても、その変形は粘着材８には転写されず、粘着材８を均一の厚みに保つことができる。

なお、粘着材８が支持枠７の底面全領域に備えられている場合、粘着材８の外側が載置部４との接触によって、多少つぶれる可能性はある。しかし、粘着材８が薄い場合には、そのつぶれに伴う粘着材８の厚み方向の変形量は極めて小さい。また、支持枠７の下端面全面にわたって均一に粘着材８がつぶれるので、ペリクル５の使用時に、粘着材８の不均一な厚みに起因する隙間の形成が生じにくい。以下、各実施の形態においても同様である。

（第２の実施の形態）
次に、本発明に係るペリクル用収納容器の第２の実施の形態について説明する。

第２の実施の形態にかかるペリクル用収納容器１は、先に説明した第１の実施の形態にかかるペリクル用収納容器１のカバー２と同一形態のカバーを備えている。なお、以後、第２の実施の形態以降の実施の形態の説明において、ペリクル用収納容器、トレイ、カバー、トレイ及びカバーの各構成部について共通する部分については、第１の実施の形態と同じ符号で示し、形態の異なる載置部については異なる符号で示す。

図６は、第２の実施の形態に係るペリクル用収納容器１を、図２に示すＡ−Ａ線と同様の線で切ったときの断面図である。

ペリクル用収納容器１においてトレイ３の一部として設けられた載置部９の形状は、第１の実施の形態とは反対に外側に向かって一方向に下り傾斜面を有する形状である。第２の実施の形態に係るペリクル用収納容器１に収納するペリクル５は、支持枠７の底面の外側に粘着材８を設けている。

ペリクル５は、その支持枠７の一部が載置部９に接した状態にて収納される。支持枠７の底面と、トレイ３の外側に傾斜する外側傾斜型の載置部９とが支持枠７の底面の内縁で接触することにより、粘着材８は載置部４と非接触の状態に保持される。よって、輸送時にペリクル用収納容器１が多少変形しても、その変形は粘着材８には転写されず、粘着材８を均一の厚みに保つことができる。

（第３の実施の形態）
次に、本発明に係るペリクル用収納容器の第３の実施の形態について説明する。

第３の実施の形態にかかるペリクル用収納容器１は、先に説明した第１の実施の形態にかかるペリクル用収納容器１のカバー２と同一形態のカバーを備えている。

図７は、第３の実施の形態に係るペリクル用収納容器１を、図２に示すＡ−Ａ線と同様の線で切ったときの断面図である。

ペリクル用収納容器１においてトレイ３の一部として設けられた載置部１０は、容器内部より外側に向かって下方に傾斜し、続いて上方に傾斜する連続した２つの斜面１０ａ，１０ｂを有している。第３の実施の形態に係るペリクル用収納容器１に収納するペリクル５は、支持枠７の底面の中央部分にのみ粘着材８を設けている。

ペリクル５は、その支持枠７の一部が載置部１０に接した状態にて収納される。支持枠７の底面と、トレイ３の外側および内側に断面Ｖ字状に傾斜する載置部１０とが支持枠７の底面の内縁および外縁で接触することにより、粘着材８は載置部１０と非接触の状態に保持される。よって、輸送時にペリクル用収納容器１が多少変形しても、その変形は粘着材８には転写されず、粘着材８を均一の厚みに保つことができる。

（第４の実施の形態）
次に、本発明に係るペリクル用収納容器の第４の実施の形態について説明する。

第４の実施の形態にかかるペリクル用収納容器１は、先に説明した第１の実施の形態にかかるペリクル用収納容器１のカバー２と同一形態のカバーを備えている。

図８は、第４の実施の形態に係るペリクル用収納容器１を、図２に示すＡ−Ａ線と同様の線で切ったときの断面図である。

ペリクル用収納容器１においては、載置部１１がトレイ３とは別体に設けられている。載置部１１の形状は、トレイ３の内側に向かって一方向に下方傾斜する形状である。載置部１１の材料は載置部として用い得る程度の性質を有する材料であれば特に限定はないが、例えば、カバー２またはトレイ３と同じ材料、カバー２あるいはトレイ３よりも高い剛性を備えるアルミニウム、チタニウム、アルミニウム合金、ステンレス等の金属、セラミックス等の非金属を用いることができる。

第４の実施の形態においては、載置部１１の形状は、四角枠形状である。これにより、ペリクル５を構成している支持枠７の底面を載置部１１の斜面で支持することができる。第４の実施の形態においてペリクル５を輸送する際には、トレイ３に載置部１１を固定し、固定された載置部１１にペリクル５を載置して、その上からカバー２を被せ、カバー２とトレイ３とを固定する。トレイ３への載置部１１の固定方法は、特に限定されないが、第４の実施の形態においては接着剤を用いて固定している。他の固定方法としては、トレイ３へはめ込むことによる固定、溶着等の方法がある。

第４の実施の形態に係るペリクル用収納容器１に収納するペリクル５は、支持枠７の底面の内側に粘着材８を設けている。

ペリクル５は、その支持枠７の一部が載置部１１に接した状態にて収納される。支持枠７の底面と、トレイ３の内側に向かって下方傾斜する載置部１１とが支持枠７の底面の外縁で接触することにより、粘着材８は載置部１１と非接触の状態に保持される。よって、輸送時にペリクル用収納容器１が多少変形しても、その変形は粘着材８には転写されず、粘着材８を均一の厚みに保つことができる。

（第５の実施の形態）
次に、本発明に係るペリクル用収納容器の第５の実施の形態について説明する。

図９は、第５の実施の形態に係るペリクル用収納容器１の一構成部材であるトレイ３の斜視図である。

第５の実施の形態にかかるペリクル用収納容器１は、先に説明した第１の実施の形態にかかるペリクル用収納容器１のカバー２と同一形態のカバーを備えている。

図９に示すように、トレイ３の底面の４つ角には、トレイ３の内側に向かって下方に傾斜する載置部１２が設けられている。ペリクル５をトレイ３に収納した状態において、支持枠７の４つ角が載置部１２の斜面上に接触するように、載置部１２が配置されている。このため、載置部１２と支持枠７との接触は支持枠７の４つ角のみとなり、ペリクル５は、トレイ３に対してはいわゆる点接触によって収納される。したがって、支持枠７の底面に貼られている粘着材８が、輸送中に不均一の厚さに変形する危険性はより低くなる。

以上、本発明に係るペリクル用収納容器の各実施の形態について説明したが、本発明に係るペリクル用収納容器は上述の各実施の形態に限定されず、種々変形した形態にて実施可能である。

例えば、図１０に示すように、載置部１３をトレイ３の内底面内の領域に複数配置して、支持枠７の縁を複数の載置部１３にて支持するようにしても良い。図１０では、トレイ３の内底面上の矩形領域に、当該矩形領域の対向する長辺に各２個、同領域の対向する短辺に各１個の合計６個の載置部１３を固定している（図１０の斜視図では３個の載置部１３しか見えないが、残りの３個の載置部１３が存在している。図１０において、見えていない載置部１３が存在することを示唆すべく、残り３個の載置部１３から伸びる引き出し線を点線で示している。）。このように、支持枠７と接触する載置部１３を複数設けても、上述の各実施の形態と同様の作用・効果が得られる。なお、載置部の個数は６個に限定されず、２〜５個、あるいは７個以上としても良いが、ペリクル５をバランス良く収納できるようにするために、対向する側にそれぞれ同数の載置部を配置するのが好ましい。

また、例えば、第５の実施の形態における載置部１２をトレイ３の外側に向かって下方に傾斜させるように構成し、支持枠７の角部近傍の底面における直交する内縁でペリクル５を支持するようにしても良い。また、載置部１２をトレイ３と一体構成とする他、別体で製造してトレイ３に固定するようにしても良い。

また、上述の実施の形態では、ペリクル用収納容器１を通常の状態で置いた時に下になる方をトレイ３、上になる方をカバー２として説明したが、逆にしても良い。その場合、各載置部はカバー２に形成される。

本発明は、ペリクルを輸送するための収納容器を製造あるいは使用する産業において利用することができる。

本発明の第１の実施の形態に係るペリクル用収納容器の分解斜視図である。 図１に示すペリクル用収納容器の斜視図である。 図２に示すペリクル用収納容器を、Ａ−Ａ線にて切断した際の断面図である。 図３に示すペリクル用収納容器に収納するペリクルを、図２に示すＡ−Ａ線と同様の線で切断した際の断面図である。 図３に示すペリクル用収納容器内に、図４に示すペリクルを収納した状態の断面図である。 本発明の第２の実施の形態に係るペリクル用収納容器を、図２に示すＡ−Ａ線と同様の線にて切断した際の断面図である。 本発明の第３の実施の形態に係るペリクル用収納容器を、図２に示すＡ−Ａ線と同様の線にて切断した際の断面図である。 本発明の第４の実施の形態に係るペリクル用収納容器を、図２に示すＡ−Ａ線と同様の線にて切断した際の断面図である。 本発明の第５の実施の形態に係るペリクル用収納容器を構成するトレイの斜視図である。 本発明のその他の実施の形態に係るペリクル用収納容器を構成するトレイの斜視図である。

符号の説明

１ ペリクル用収納容器
２ カバー
３ トレイ
４ 載置部
５ ペリクル
６ ペリクル膜
７ 支持枠
８ 粘着材
９ 載置部
１０ 載置部
１０ａ 斜面
１０ｂ 斜面
１１ 載置部
１２ 載置部
１３ 載置部

Claims (3)

1. ペリクル膜と当該ペリクル膜を支持する支持枠とからなるペリクルを輸送するためのペリクル用収納容器であって、
   トレイと
   その蓋となるカバーと、
   上記トレイおよび上記カバーのいずれか一方の内側に、上記支持枠を載置する載置部であって上記支持枠を載置する部位が上記支持枠の底面に対して傾斜している１つまたは２以上の載置部と、
   を備えると共に、
   上記載置部において、上記支持枠を載置する部位が２以上の傾斜面からなる、
   ことを特徴とするペリクル用収納容器。
2. ペリクル膜と当該ペリクル膜を支持する支持枠とからなるペリクルを輸送するためのペリクル用収納容器であって、
   トレイと
   その蓋となるカバーと、
   上記トレイおよび上記カバーのいずれか一方の内側に、上記支持枠を載置する載置部であって上記支持枠を載置する部位が上記支持枠の底面に対して傾斜している１つまたは２以上の載置部と、
   を備えると共に、
   上記載置部は、上記支持枠の底面の角を支持するように配置されている、
   ことを特徴とするペリクル用収納容器。
3. 前記載置部は、前記載置部が設けられている前記トレイ若しくは前記カバーと同じ材料で一体構成されていることを特徴とする請求項１または２記載のペリクル用収納容器。

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