JPH0624837Y2 - ペリクル収納容器 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は、フォトマスクやレチクルの防塵に使用される
ペリクルの収納容器に関する。

［従来の技術］ ペリクルは光学的に透明な薄膜であって、半導体製造の
ための露光焼付によるリソグラフィー工程において、フ
ォトマスク或はレチクル上に微細な塵埃が付着するのを
防止し、半導体の製品歩留りを向上させることを目的と
して使用される。このペリクルは厚さ０．５〜１０μｍ
の極めて薄い高分子薄膜であって、金属又はプラスチッ
クの支持枠に周囲を支持させた状態で使用する。このペ
リクル自体は外部からの衝撃に弱いものであり、またペ
リクル自体に塵埃が付着し、リソグラフィー工程に持ち
込まれることも好ましくないので、適当な容器内に収納
した状態で、保存、輸送が行われている。

第２図は従来より使用されているペリクルの収納容器を
示す断面図である。この収納容器は下面にペリクル３１
が張着された環状の支持枠３２が載置される基板３３
と、支持枠３２を基板３３方向に押圧する突起３４ａが
形成されて基板３３に嵌合又は圧着されるプラスチック
製のカバー体３４とから構成されている。そしてこの収
納容器は、これらが組み付けられた状態で全体を外袋３
５で覆うことによりペリクル収納時の保存状況を良好に
保つことが可能となっている。

［考案が解決しようとする課題］ しかし従来の収納容器ではペリクルが張着された支持枠
を収納容器から出し入れする場合、例えば支持枠を容器
に収納セットしたり、フォトマスクやレチクルあるいは
露光装置への装着のため支持枠を容器から取り出す場合
などにおいては、基板３３とカバー体３４との接触部分
（矢印Ａで示す部分）が相互に摩擦して、微細な塵埃が
発生、飛散する。そして、この塵埃が基板上のペリクル
に付着し、ペリクルを汚染する問題がある。本考案は上
記事情を考慮してなされ、容器の開封の際に摩擦による
塵埃の発生をなくすことができるペリクル収納容器を提
供することを目的とする。

［課題を解決するための手段］ 本考案は、下面にペリクルが張着された支持枠の上面に
粘着剤を介して貼着される可撓性シートと、前記支持枠
の下面が当接する棚部を有して支持枠を収納すると共に
外周にフランジ部が形成されたケースと、このケースの
フランジ部上面および前記可撓性シートの上面に粘着材
を介して貼着されるカバーとを備えていることを特徴と
する。

［作用］ 以上の通りに構成された本考案では、粘着剤の粘着力に
より支持枠の固定が行われ、嵌合あるいは圧着にする接
触部分がなく、容器の開封の際に摩擦による塵埃が発生
しないようになっている。

［実施例］ 第１図は本考案の一実施例の断面図を示す。

円環状の支持枠２の下面にはペリクル１が張着されてお
り、ペリクル張着面と反対側の上面には粘着剤３を介し
て平板状の可撓性シート４が貼着されている。粘着剤３
は着脱可能な程度の粘着力を有するものが使用されてお
り、可撓性シート４は粘着剤３によって支持枠２に対し
て着脱可能となっている。従って、ペリクル１を露光装
置に使用する場合には可撓性シート４は剥離されるが、
その他の場合、例えば容器から支持枠を取り出す時や支
持枠収納時においては支持枠２に貼着されて支持枠２側
のペリクルの内面に塵埃が付着するのを防止している。
なお、ここで可撓性シート４は前記支持枠２と略同径に
成形される。かかる可撓性シート４の材質はポリエステ
ル、ポリプロピレン、エチレン−酢酸ビニル共重合体、
ポリエチレン、ポリエチレンテレフタレートなどのプラ
スチックフィルムが良好であり、厚さ６０〜４００μｍ
が好適である。

このように下面にペリクルが張着され、上面に可撓性シ
ート４が貼着された支持枠２はケース５内に収納され、
さらにその上面がカバー６で押えられるようになってい
る。ケース５は中央部分が最も凹んでおり、この凹み部
分の外側に棚部５ａが形成され、さらにその外側に棚部
５ａよりも高くなったフランジ部５ｂが形成された階段
状となっている。棚部５ａは支持枠２が当接して載置さ
れるものであり、支持枠２の外形々状および外形寸法に
合わせて形成される。この場合、支持枠２はペリクル１
が張着された下面が棚部５ａに当接するように載置され
る。前記フランジ部５ｂはこの棚部５ａよりも高い位置
に形成されている。フランジ部５ｂの高さは支持枠２、
粘着剤３および可撓性シート４を合わせた厚さと略同一
となっており、支持枠２を棚部５ａ上に載置すると、支
持枠２および支持枠２に貼着された可撓性シート４全体
がケース５内に収納されるようになっている。かかるケ
ース５はプラスチックによって上記形状に成形される
が、その材質としてはポリ塩化ビニル、ポリメチルメタ
アクリレート、ポリカーボネート、ポリスチレン、アク
リルニトリル／スチレンコポリマー、酢酸セルロースな
どが使用でき、これらの内、透明なものの方がペリクル
の状態や塵埃の有無などを外部より確認することができ
るので好ましい。

前記カバー６はこのようなケース５のフランジ部５ｂ上
面およびケース５内に収納された支持枠２の可撓性シー
ト４に貼着される。すなわち、カバー６は中央部分が可
撓性シート４に、周辺部分がケース５のフランジ部５ｂ
に貼着され、これにより支持枠２はケース５内に固定さ
れる。このカバー６の材質として前記可撓性シート４と
同一のものが使用することができ、その厚みは２０〜２
００μｍの範囲内で適宜、選択される。このカバー６の
貼着は粘着剤８によって行われる。粘着剤８としてはア
クリル系粘着剤、ゴム系粘着剤などが好適であり、これ
らの内、３〜４００g/cm、好ましくは５〜１００g/cmの
粘着力を有する貼着剤が良好である。粘着力が３g/cm以
下の場合にはカバー６が剥れ易く、衝撃、振動などによ
って支持枠２がケース５から落下する一方、４００g/cm
以上ではカバー６の剥離に大きな力を要し、支持枠２の
取り出しの作業性を阻害するからである。なお、粘着力
とはカバー６を１cm/分の速度で剥取る場合に要する力
をカバーの巾のcm単位で表わしたものである。

このようにケース５に収納された支持枠２をカバー６で
ケース５内に押え込んで固定する構造では、組み付けが
粘着剤によって行われ、嵌合、圧着などの機械的接触部
分がないため、開封の際の摩擦による塵埃が生じること
がなく、ペリクルは清浄な状態で保存される。又、支持
枠２の確実な固定が行われるため、輸送中の振動、摩擦
によっても塵埃が発生せず、ペリクルの汚染がなくな
る。なお、以上のようにして組み付けられた容器はポリ
エチレン、ポリプロピレン等の透明フィルムからなる外
袋７内に収納され、外袋７の開口部分をシート７ａする
ことで収納容器全体が密封される。

以上のような包装体からペリクル１を張着した支持枠２
を取り出すには、まず外袋７を破って、組み付け状態の
収納容器を取り出すことで行われる。次に、カバー６を
剥して容器を開封し、ケース５内にロボットハンドある
いはホルダ等の取り出し治具を挿入して支持枠２を挟持
し、支持枠２、可撓性シート４と共にペリクル１をケー
ス５から取り出す。そして、露光装置にペリクル１を装
着するには、支持枠２から可撓性シート４を剥離した後
に行うことができる。

［考案の効果］ 以上のとおり本考案は、ペリクルを張着した支持枠をケ
ース内に収納し、粘着剤の粘着力でカバーを貼着して、
ケースとカバーとの間に強固に固定するので収納状態が
安定し、かつカバーのケースへの取り付け部分には、嵌
合、圧着などの接触部分がなく、この部分から塵埃が生
じることがない。このため、ペリクルの汚染を防止する
ことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示す断面図、第２図は従来
例の断面図である。 １……ペリクル、２……支持枠、３，８……粘着剤、 ４……可撓性シート、５……ケース、６……カバー。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】下面にペリクルが張着された支持枠の上面
   に粘着剤を介して貼着される可撓性シートと、前記支持
   枠の下面が当接する棚部を有して支持枠を収納すると共
   に外周にフランジ部が形成されたケースと、このケース
   のフランジ部上面および前記可撓性シートの上面に粘着
   材を介して貼着されるカバーとを備えていることを特徴
   とするペリクル収納容器。