JPH1041369A - 基板移替え装置およびそれを用いた基板処理装置ならびにそれらに使用可能な基板挟持機構 - Google Patents
基板移替え装置およびそれを用いた基板処理装置ならびにそれらに使用可能な基板挟持機構Info
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- JPH1041369A JPH1041369A JP18935896A JP18935896A JPH1041369A JP H1041369 A JPH1041369 A JP H1041369A JP 18935896 A JP18935896 A JP 18935896A JP 18935896 A JP18935896 A JP 18935896A JP H1041369 A JPH1041369 A JP H1041369A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 基板を汚染することがなく、かつ簡単な構成
で低コストの基板移替え装置およびそれを用いた基板処
理装置ならびにそれらに使用可能な基板挟持機構を提供
する。 【解決手段】 搬送キャリアTCから処理キャリアPC
に未処理の基板列LWを移替える際には、プッシャ14
はガイド142が下がった状態でガイド141によって
基板列LWを支持する。また、その状態のプッシャ14
によって突き上げられた基板列LWは内側チャック15
によって挟持される。逆に、処理キャリアPCから搬送
キャリアTCに処理済みの基板列LWを移替える際に
は、プッシャ14はガイド142が上がった状態でガイ
ド142によって基板列LWを支持する。また、その状
態のプッシャ14によって突き上げられた基板列LWは
外側チャック16によって挟持される。
で低コストの基板移替え装置およびそれを用いた基板処
理装置ならびにそれらに使用可能な基板挟持機構を提供
する。 【解決手段】 搬送キャリアTCから処理キャリアPC
に未処理の基板列LWを移替える際には、プッシャ14
はガイド142が下がった状態でガイド141によって
基板列LWを支持する。また、その状態のプッシャ14
によって突き上げられた基板列LWは内側チャック15
によって挟持される。逆に、処理キャリアPCから搬送
キャリアTCに処理済みの基板列LWを移替える際に
は、プッシャ14はガイド142が上がった状態でガイ
ド142によって基板列LWを支持する。また、その状
態のプッシャ14によって突き上げられた基板列LWは
外側チャック16によって挟持される。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、整列された複数
の基板(液晶用ガラス基板、半導体ウエハ等)からなる
基板列をキャリア間で移替える基板移替え装置およびそ
れを用いた基板処理装置ならびにそれらに使用可能な基
板挟持機構に関する。
の基板(液晶用ガラス基板、半導体ウエハ等)からなる
基板列をキャリア間で移替える基板移替え装置およびそ
れを用いた基板処理装置ならびにそれらに使用可能な基
板挟持機構に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、基板列を搬送する際に収納する搬
送キャリアと基板列をその基板処理の際に収納する処理
キャリアとの間で基板列を移替える基板移替え処理を2
列並列に行う技術(以下「2キャリア処理」という)が
特公平6−95548号公報に示されている。この技術
では搬送キャリアからプッシャで押し上げられた未処理
の基板列をチャックで挟持して処理キャリアに移替えた
り、逆に処理キャリアから押し上げられた処理済みの基
板列を同じチャックで挟持して搬送キャリアに戻す構成
となっている。そのため、処理済み基板をチャックで挟
持する際に、すでに未処理の基板を挟持した際にチャッ
クに付着していたパーティクル等の汚染物質が処理済み
基板に付着し処理済み基板を汚染してしまう。
送キャリアと基板列をその基板処理の際に収納する処理
キャリアとの間で基板列を移替える基板移替え処理を2
列並列に行う技術(以下「2キャリア処理」という)が
特公平6−95548号公報に示されている。この技術
では搬送キャリアからプッシャで押し上げられた未処理
の基板列をチャックで挟持して処理キャリアに移替えた
り、逆に処理キャリアから押し上げられた処理済みの基
板列を同じチャックで挟持して搬送キャリアに戻す構成
となっている。そのため、処理済み基板をチャックで挟
持する際に、すでに未処理の基板を挟持した際にチャッ
クに付着していたパーティクル等の汚染物質が処理済み
基板に付着し処理済み基板を汚染してしまう。
【0003】そこで、この問題を解消するものとして図
14のような基板移替え装置がある。この装置は搬送キ
ャリア901内に収納された未処理基板列NWを処理キ
ャリア902に移替えたり、逆に処理キャリア902内
に収納された処理済み基板列PWを搬送キャリア901
に移替えたりする装置であり、以下のようにして基板移
替えを行う。
14のような基板移替え装置がある。この装置は搬送キ
ャリア901内に収納された未処理基板列NWを処理キ
ャリア902に移替えたり、逆に処理キャリア902内
に収納された処理済み基板列PWを搬送キャリア901
に移替えたりする装置であり、以下のようにして基板移
替えを行う。
【0004】まず、基板移替え処理の前は搬送キャリア
901および処理キャリア902はそれぞれ第1停止位
置P91および第4停止位置P94に位置している。そ
して搬送キャリア901に収納された未処理基板列NW
を処理キャリア902に移替える際には図12(a)の
矢符A91のように未処理基板列NWを収納した状態で
搬送キャリア901が搬送キャリア搬送部903の移動
により前工程プッシャ907の上方の第2停止位置P9
2に移動し、そこで前工程プッシャ907の上昇によっ
て収納された未処理基板列NWが突き上げられる。そし
て、その突き上げられた未処理基板列NWは前工程クラ
ンパ905によって挟持される。その後、搬送キャリア
901が搬送キャリア搬送部903の移動に伴って第1
停止位置P91に移動した後、空の処理キャリア902
が処理キャリア搬送部904の移動に伴って矢符A92
のように第2停止位置P92に移動する。そして、ふた
たび前工程プッシャ907が上昇し前工程クランパ90
5が開くことによって未処理基板列NWは前工程プッシ
ャ907上に保持されつつ下降し処理キャリア902内
に収納される。そして、処理キャリア搬送部904の再
度の移動により処理キャリア902は第4停止位置P9
4に戻される。
901および処理キャリア902はそれぞれ第1停止位
置P91および第4停止位置P94に位置している。そ
して搬送キャリア901に収納された未処理基板列NW
を処理キャリア902に移替える際には図12(a)の
矢符A91のように未処理基板列NWを収納した状態で
搬送キャリア901が搬送キャリア搬送部903の移動
により前工程プッシャ907の上方の第2停止位置P9
2に移動し、そこで前工程プッシャ907の上昇によっ
て収納された未処理基板列NWが突き上げられる。そし
て、その突き上げられた未処理基板列NWは前工程クラ
ンパ905によって挟持される。その後、搬送キャリア
901が搬送キャリア搬送部903の移動に伴って第1
停止位置P91に移動した後、空の処理キャリア902
が処理キャリア搬送部904の移動に伴って矢符A92
のように第2停止位置P92に移動する。そして、ふた
たび前工程プッシャ907が上昇し前工程クランパ90
5が開くことによって未処理基板列NWは前工程プッシ
ャ907上に保持されつつ下降し処理キャリア902内
に収納される。そして、処理キャリア搬送部904の再
度の移動により処理キャリア902は第4停止位置P9
4に戻される。
【0005】逆にそして処理キャリア902に収納され
た処理済み基板列PWを搬送キャリア901に移替える
際には図12(b)の矢符A93のように未処理基板列
NWを収納した状態で処理キャリア902が処理キャリ
ア搬送部904の移動により後工程プッシャ908の上
方の第3停止位置P93に移動し、そこで後工程プッシ
ャ908の上昇によって収納された処理済み基板列PW
が突き上げられる。そして、その突き上げられた処理済
み基板列PWは後工程クランパ906によって挟持され
る。その後、処理キャリア902が処理キャリア搬送部
904の移動に伴って第4停止位置P94に移動した
後、空の搬送キャリア901が搬送キャリア搬送部90
3の移動に伴って矢符A94のように第3停止位置P9
3に移動する。そして、ふたたび後工程プッシャ908
が上昇し後工程クランパ906が開くことによって処理
済み基板列PWは後工程プッシャ908上に保持されつ
つ下降し搬送キャリア901内に収納される。そして、
搬送キャリア搬送部903の再度の移動により搬送キャ
リア901は第1停止位置P91に戻される。
た処理済み基板列PWを搬送キャリア901に移替える
際には図12(b)の矢符A93のように未処理基板列
NWを収納した状態で処理キャリア902が処理キャリ
ア搬送部904の移動により後工程プッシャ908の上
方の第3停止位置P93に移動し、そこで後工程プッシ
ャ908の上昇によって収納された処理済み基板列PW
が突き上げられる。そして、その突き上げられた処理済
み基板列PWは後工程クランパ906によって挟持され
る。その後、処理キャリア902が処理キャリア搬送部
904の移動に伴って第4停止位置P94に移動した
後、空の搬送キャリア901が搬送キャリア搬送部90
3の移動に伴って矢符A94のように第3停止位置P9
3に移動する。そして、ふたたび後工程プッシャ908
が上昇し後工程クランパ906が開くことによって処理
済み基板列PWは後工程プッシャ908上に保持されつ
つ下降し搬送キャリア901内に収納される。そして、
搬送キャリア搬送部903の再度の移動により搬送キャ
リア901は第1停止位置P91に戻される。
【0006】このようにして基板の移替えを行うことに
より未処理基板列NWの接触部分と処理済み基板列PW
の接触部分と異なるようにして未処理基板に付着してい
た汚染物質が処理済の基板に付着しないようにし、基板
汚染を防いでいる。
より未処理基板列NWの接触部分と処理済み基板列PW
の接触部分と異なるようにして未処理基板に付着してい
た汚染物質が処理済の基板に付着しないようにし、基板
汚染を防いでいる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】ところで、図12の従
来装置では第1停止位置P91〜第4停止位置P94の
4カ所の停止位置を備えるため装置全体が大型化してい
た。
来装置では第1停止位置P91〜第4停止位置P94の
4カ所の停止位置を備えるため装置全体が大型化してい
た。
【0008】また、搬送キャリア搬送部903は第1停
止位置P91、第2停止位置P92、第3停止位置P9
3の3つの停止位置の間の搬送を行わなければならず、
また処理キャリア搬送部904は第2停止位置P92、
第3停止位置P93、第4停止位置P94の3つの停止
位置の間で搬送を行わなければならないため、駆動機構
としてエアシリンダ等の簡単な駆動機構を利用すること
ができなかった。
止位置P91、第2停止位置P92、第3停止位置P9
3の3つの停止位置の間の搬送を行わなければならず、
また処理キャリア搬送部904は第2停止位置P92、
第3停止位置P93、第4停止位置P94の3つの停止
位置の間で搬送を行わなければならないため、駆動機構
としてエアシリンダ等の簡単な駆動機構を利用すること
ができなかった。
【0009】さらに、プッシャおよびクランパとして前
工程クランパ905、前工程プッシャ907と後工程ク
ランパ906、後工程プッシャ908の2組を設けなけ
ればならず、部品点数が多くなりコストが多くかかって
いた。
工程クランパ905、前工程プッシャ907と後工程ク
ランパ906、後工程プッシャ908の2組を設けなけ
ればならず、部品点数が多くなりコストが多くかかって
いた。
【0010】この発明は、従来技術における上述の問題
の克服を意図しており、基板を汚染することがなく、か
つ簡単な構成で低コストの基板移替え装置およびそれを
用いた基板処理装置ならびにそれらに使用可能な基板挟
持機構を提供することを目的とする。
の克服を意図しており、基板を汚染することがなく、か
つ簡単な構成で低コストの基板移替え装置およびそれを
用いた基板処理装置ならびにそれらに使用可能な基板挟
持機構を提供することを目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、この発明の請求項1の装置は、整列された複数の基
板からなる基板列を第1キャリアおよび第2キャリアの
間で移替える基板移替え装置であって、ほぼ同位置で基
板列を選択的に保持する第1保持機構および第2保持機
構を備える基板保持手段と、前記基板保持手段の下方に
位置するとともに、前記基板列を選択的に支持する第1
ガイドおよび第2ガイドを備える基板突き上げ手段と、
前記第1キャリアおよび前記第2キャリアのそれぞれを
前記基板保持手段の下方の停止位置を含む複数の停止位
置の間で移動させる基板搬送手段と、を備える。
め、この発明の請求項1の装置は、整列された複数の基
板からなる基板列を第1キャリアおよび第2キャリアの
間で移替える基板移替え装置であって、ほぼ同位置で基
板列を選択的に保持する第1保持機構および第2保持機
構を備える基板保持手段と、前記基板保持手段の下方に
位置するとともに、前記基板列を選択的に支持する第1
ガイドおよび第2ガイドを備える基板突き上げ手段と、
前記第1キャリアおよび前記第2キャリアのそれぞれを
前記基板保持手段の下方の停止位置を含む複数の停止位
置の間で移動させる基板搬送手段と、を備える。
【0012】また、この発明の請求項2の装置は、請求
項1の基板移替え装置において、前記基板搬送手段が、
前記第1キャリアを水平移動する第1基板搬送機構と、
前記第2キャリアを水平移動する第2基板搬送機構と、
を含むことを特徴とする。
項1の基板移替え装置において、前記基板搬送手段が、
前記第1キャリアを水平移動する第1基板搬送機構と、
前記第2キャリアを水平移動する第2基板搬送機構と、
を含むことを特徴とする。
【0013】また、この発明の請求項3の装置は、請求
項1の基板移替え装置において、前記基板搬送手段が、
前記第1キャリアおよび前記第2キャリアのそれぞれを
一つの部材上に保持して同時に水平移動させるものであ
ることを特徴とする。
項1の基板移替え装置において、前記基板搬送手段が、
前記第1キャリアおよび前記第2キャリアのそれぞれを
一つの部材上に保持して同時に水平移動させるものであ
ることを特徴とする。
【0014】また、この発明の請求項4の装置は、請求
項1ないし請求項3のいずれかの基板移替え装置を複数
備える基板移替え部と、前記基板列に対して処理を施す
基板処理部と、前記基板移替え部と前記基板処理部との
間において前記基板列を搬送する基板搬送部と、を備え
ることを特徴とする基板処理装置。
項1ないし請求項3のいずれかの基板移替え装置を複数
備える基板移替え部と、前記基板列に対して処理を施す
基板処理部と、前記基板移替え部と前記基板処理部との
間において前記基板列を搬送する基板搬送部と、を備え
ることを特徴とする基板処理装置。
【0015】また、この発明の請求項5の装置は、整列
された複数の基板からなる基板列を挟持する基板挟持機
構であって、基板列を挟持する一対のガイド機構が互い
に対向した状態で並設された内側チャックおよび外側チ
ャック、を備え、前記外側チャックの前記一対のガイド
機構の間に前記内側チャックがいれこ状に設けられてい
る。
された複数の基板からなる基板列を挟持する基板挟持機
構であって、基板列を挟持する一対のガイド機構が互い
に対向した状態で並設された内側チャックおよび外側チ
ャック、を備え、前記外側チャックの前記一対のガイド
機構の間に前記内側チャックがいれこ状に設けられてい
る。
【0016】また、この発明の請求項6の装置は、請求
項5の基板挟持機構において、前記一対のガイド機構の
それぞれが、一端に回動軸を備えたL字形の回動腕と、
前記回動腕の他端に設けられた基板列に当接するガイド
部材と、を備え、前記内側チャックの前記ガイド部材よ
り前記外側チャックの前記ガイド部材の方が長尺に形成
されていることにより前記外側チャックが前記内側チャ
ックより高い位置において基板列を挟持することを特徴
とする。
項5の基板挟持機構において、前記一対のガイド機構の
それぞれが、一端に回動軸を備えたL字形の回動腕と、
前記回動腕の他端に設けられた基板列に当接するガイド
部材と、を備え、前記内側チャックの前記ガイド部材よ
り前記外側チャックの前記ガイド部材の方が長尺に形成
されていることにより前記外側チャックが前記内側チャ
ックより高い位置において基板列を挟持することを特徴
とする。
【0017】さらに、この発明の請求項7の装置は、整
列された複数の基板からなる基板列を挟持する基板挟持
機構であって、基板列を挟持する一対のガイド機構が互
いに対向した状態で並設された上側チャックおよび下側
チャックを備え、前記下側チャックの上方に前記上側チ
ャックを設けたことを特徴とする。
列された複数の基板からなる基板列を挟持する基板挟持
機構であって、基板列を挟持する一対のガイド機構が互
いに対向した状態で並設された上側チャックおよび下側
チャックを備え、前記下側チャックの上方に前記上側チ
ャックを設けたことを特徴とする。
【0018】
【0019】
【1.第1の実施の形態の基板処理装置】図1はこの発
明の第1の実施の形態の基板処理装置1の平面的な構成
を示す図であり、基板処理装置1の各部を模式的に表わ
している。以下、この図1を用いてこの基板処理装置1
の装置配列を説明する。なお、図1〜図3においては水
平面をX−Y面とし、鉛直方向をZ方向とする3次元座
標系X−Y−Zが定義されている。
明の第1の実施の形態の基板処理装置1の平面的な構成
を示す図であり、基板処理装置1の各部を模式的に表わ
している。以下、この図1を用いてこの基板処理装置1
の装置配列を説明する。なお、図1〜図3においては水
平面をX−Y面とし、鉛直方向をZ方向とする3次元座
標系X−Y−Zが定義されている。
【0020】この実施の形態の基板処理装置1は主に基
板移替え部10、キャリア搬出入部20、キャリアスト
ッカ30、シャトル40、キャリアバッファ50,7
0、基板処理部に相当する処理槽60、基板搬送部に相
当する第1搬送ロボットR1〜第4搬送ロボットR4お
よび図示しない制御部を備えている。以下、これらの各
部の概略構成および動作を説明していく。
板移替え部10、キャリア搬出入部20、キャリアスト
ッカ30、シャトル40、キャリアバッファ50,7
0、基板処理部に相当する処理槽60、基板搬送部に相
当する第1搬送ロボットR1〜第4搬送ロボットR4お
よび図示しない制御部を備えている。以下、これらの各
部の概略構成および動作を説明していく。
【0021】基板移替え部10は後に詳述する基板移替
え装置をY軸の正側および負側に並べた構成になってお
り、搬送キャリアTCから処理キャリアPCに未処理の
基板列LWの基板移替え処理や、処理キャリアPCから
搬送キャリアTCへの処理済みの基板列LWの基板移替
え処理を行う。
え装置をY軸の正側および負側に並べた構成になってお
り、搬送キャリアTCから処理キャリアPCに未処理の
基板列LWの基板移替え処理や、処理キャリアPCから
搬送キャリアTCへの処理済みの基板列LWの基板移替
え処理を行う。
【0022】キャリア搬出入部20はオペレータによっ
て搬送キャリアTCが搬入されたり、搬出されたりす
る。
て搬送キャリアTCが搬入されたり、搬出されたりす
る。
【0023】キャリアストッカ30は基板移替え処理の
各段階の搬送キャリアTCおよび処理キャリアPCを一
時的に保持するための収容部である。
各段階の搬送キャリアTCおよび処理キャリアPCを一
時的に保持するための収容部である。
【0024】第1搬送ロボットR1は搬送キャリアTC
および処理キャリアPCを挟持する2本の開閉可能なア
ームを備えX軸およびY軸の正負方向に移動可能であ
り、Y軸方向に並んだ2つのキャリアを同時に挟持して
基板移替え部10、キャリア搬出入部20およびキャリ
アストッカ30の間を搬送する。
および処理キャリアPCを挟持する2本の開閉可能なア
ームを備えX軸およびY軸の正負方向に移動可能であ
り、Y軸方向に並んだ2つのキャリアを同時に挟持して
基板移替え部10、キャリア搬出入部20およびキャリ
アストッカ30の間を搬送する。
【0025】第2搬送ロボットR2は第1搬送ロボット
R1と同様に処理キャリアPCを挟持する2本の開閉可
能なアームを備え、矢符A1のようにX軸の正負方向に
移動可能であるとともに矢符A2のようにZ軸方向を中
心軸として90゜の角度で回動可能であり、アームによ
り2つのキャリアを同時に挟持して基板移替え部10か
らシャトル40に搬送する。
R1と同様に処理キャリアPCを挟持する2本の開閉可
能なアームを備え、矢符A1のようにX軸の正負方向に
移動可能であるとともに矢符A2のようにZ軸方向を中
心軸として90゜の角度で回動可能であり、アームによ
り2つのキャリアを同時に挟持して基板移替え部10か
らシャトル40に搬送する。
【0026】シャトル40は処理キャリアPCを保持し
て搬送路TR1を矢符A3のように移動する。
て搬送路TR1を矢符A3のように移動する。
【0027】第3搬送ロボットR3は処理キャリアPC
を上方から把持するアームを備え、矢符A4のようにY
軸の正負方向に移動可能であるとともに、矢符A5のよ
うに、図中においてZ軸方向を中心軸として90゜の角
度で回動可能であり、アームにより2つの処理キャリア
PCを同時に把持してシャトル40からキャリアバッフ
ァ50に搬送する。
を上方から把持するアームを備え、矢符A4のようにY
軸の正負方向に移動可能であるとともに、矢符A5のよ
うに、図中においてZ軸方向を中心軸として90゜の角
度で回動可能であり、アームにより2つの処理キャリア
PCを同時に把持してシャトル40からキャリアバッフ
ァ50に搬送する。
【0028】キャリアバッファ50および70はいずれ
も同様の構成になっており、その下方に図示しないキャ
リア送り機構を備えている。そして、載置された処理キ
ャリアPCを順次X軸の負方向に移動させる。
も同様の構成になっており、その下方に図示しないキャ
リア送り機構を備えている。そして、載置された処理キ
ャリアPCを順次X軸の負方向に移動させる。
【0029】第4搬送ロボットR4は第1搬送ロボット
R1と同様に処理キャリアPCを挟持するアームを備
え、矢符A6のようにX軸の正負方向に移動可能であ
り、2つの処理キャリアPCを同時に挟持してキャリア
バッファ50から処理槽60に搬送する。
R1と同様に処理キャリアPCを挟持するアームを備
え、矢符A6のようにX軸の正負方向に移動可能であ
り、2つの処理キャリアPCを同時に挟持してキャリア
バッファ50から処理槽60に搬送する。
【0030】処理槽60は2つの処理キャリアPCをY
軸方向に並べて内部に収納できる大きさの処理槽で、内
部には処理液が貯留されている。
軸方向に並べて内部に収納できる大きさの処理槽で、内
部には処理液が貯留されている。
【0031】以上のような構成の各部は図示しない制御
部の制御によって以下のような処理を行う。
部の制御によって以下のような処理を行う。
【0032】まず、オペレータによって未処理の基板列
LWが収納された搬送キャリアTCがキャリア搬出入部
20に搬入された後、第1搬送ロボットR1がその搬送
キャリアTCを受取りキャリアストッカ30の所定位置
に搬送する。
LWが収納された搬送キャリアTCがキャリア搬出入部
20に搬入された後、第1搬送ロボットR1がその搬送
キャリアTCを受取りキャリアストッカ30の所定位置
に搬送する。
【0033】つぎに、第1搬送ロボットR1がキャリア
ストッカ30の他の所定位置に保持されている搬送キャ
リアTCを受取り、基板移替え部10の第1搬送部12
(後述)にセットする。また、第1搬送ロボットR1は
キャリアストッカ30のさらに別の所定位置に保持され
ていた空の処理キャリアPCを基板移替え部10の第2
搬送部17(後述)にセットする。
ストッカ30の他の所定位置に保持されている搬送キャ
リアTCを受取り、基板移替え部10の第1搬送部12
(後述)にセットする。また、第1搬送ロボットR1は
キャリアストッカ30のさらに別の所定位置に保持され
ていた空の処理キャリアPCを基板移替え部10の第2
搬送部17(後述)にセットする。
【0034】その後、基板移替え部10が第1搬送部1
2にセットされた搬送キャリアTC内のLWを処理キャ
リアPCに後に詳述する手順によって移替える。
2にセットされた搬送キャリアTC内のLWを処理キャ
リアPCに後に詳述する手順によって移替える。
【0035】つぎに、第1搬送ロボットR1が空になっ
た搬送キャリアTCをキャリアストッカ30の退避位置
に退避させる。また、第2搬送ロボットR2が基板移替
え部10の第2搬送部17の処理キャリアPCをシャト
ル40に搬送する。
た搬送キャリアTCをキャリアストッカ30の退避位置
に退避させる。また、第2搬送ロボットR2が基板移替
え部10の第2搬送部17の処理キャリアPCをシャト
ル40に搬送する。
【0036】つぎに、シャトル40が搬送路TR1をX
軸の正方向に移動して搬送路TR1のX軸の正側の端部
に移動した後、そこに位置する第3搬送ロボットR3が
シャトル40上の処理キャリアPCをキャリアバッファ
50に搬送する。
軸の正方向に移動して搬送路TR1のX軸の正側の端部
に移動した後、そこに位置する第3搬送ロボットR3が
シャトル40上の処理キャリアPCをキャリアバッファ
50に搬送する。
【0037】つぎに、キャリアバッファ50のキャリア
送り機構によってキャリアバッファ50のX軸の負側の
端部に移動された処理キャリアPCを第4搬送ロボット
R4が搬送路TR2を通じて処理槽60に搬送した後、
処理槽60内の処理液に浸漬して処理キャリアPC内に
収納された未処理の基板列LWに処理を施す。
送り機構によってキャリアバッファ50のX軸の負側の
端部に移動された処理キャリアPCを第4搬送ロボット
R4が搬送路TR2を通じて処理槽60に搬送した後、
処理槽60内の処理液に浸漬して処理キャリアPC内に
収納された未処理の基板列LWに処理を施す。
【0038】つぎに、第4搬送ロボットR4は処理済み
の基板列LWを収納した処理キャリアPCを処理槽60
から取り出してキャリアバッファ70に搬送する。
の基板列LWを収納した処理キャリアPCを処理槽60
から取り出してキャリアバッファ70に搬送する。
【0039】つぎに、キャリアバッファ70においてキ
ャリア送り機構によってX軸の負方向に移動された処理
キャリアPCを第2搬送ロボットR2が搬送して、基板
移替え部10の第2搬送部17にセットする。なお、以
上の処理の間に第1搬送ロボットR1は空の搬送キャリ
アTCを搬送し基板移替え部10の第1搬送部12にセ
ットしている。
ャリア送り機構によってX軸の負方向に移動された処理
キャリアPCを第2搬送ロボットR2が搬送して、基板
移替え部10の第2搬送部17にセットする。なお、以
上の処理の間に第1搬送ロボットR1は空の搬送キャリ
アTCを搬送し基板移替え部10の第1搬送部12にセ
ットしている。
【0040】つぎに、基板移替え部10が処理済みの基
板列LWを処理キャリアPCから搬送キャリアTCに移
替える。
板列LWを処理キャリアPCから搬送キャリアTCに移
替える。
【0041】その後、第1搬送ロボットR1が処理済み
の基板列LWの収納された搬送キャリアTCを基板移替
え部10の第1搬送部12からキャリアストッカ30の
所定位置に搬送し、さらに、第1搬送ロボットR1は処
理済みの基板列LWの収納された搬送キャリアTCをキ
ャリア搬出入部20に搬送する。
の基板列LWの収納された搬送キャリアTCを基板移替
え部10の第1搬送部12からキャリアストッカ30の
所定位置に搬送し、さらに、第1搬送ロボットR1は処
理済みの基板列LWの収納された搬送キャリアTCをキ
ャリア搬出入部20に搬送する。
【0042】そして最後に処理済みのLWを収納した搬
送キャリアTCをオペレーターが搬出する。
送キャリアTCをオペレーターが搬出する。
【0043】以上が第1の実施の形態の基板処理装置1
の構成および処理である。
の構成および処理である。
【0044】
【2.第1の実施の形態の基板移替え部における機構的
構成】つぎに、基板移替え部10についてさらに詳細に
説明する。
構成】つぎに、基板移替え部10についてさらに詳細に
説明する。
【0045】図2は基板移替え部10の斜視図である。
また、図3は基板移替え部10の正面断面図である。
また、図3は基板移替え部10の正面断面図である。
【0046】この基板移替え部10は筐体11の内部に
第1搬送部12、第1搬送テーブル121、プッシャ1
4、第1保持機構および第2保持機構に相当する内側チ
ャック15および外側チャック16、第2搬送部17、
第2テーブル駆動部18からなる基板移替え装置をY軸
の正側および負側に同様の構成で1機ずつ備えている
(上記において第1搬送部12および第2搬送部17が
第1基板搬送機構および第2搬送機構に相当し、両者を
併せたものが基板搬送手段に相当する。)。
第1搬送部12、第1搬送テーブル121、プッシャ1
4、第1保持機構および第2保持機構に相当する内側チ
ャック15および外側チャック16、第2搬送部17、
第2テーブル駆動部18からなる基板移替え装置をY軸
の正側および負側に同様の構成で1機ずつ備えている
(上記において第1搬送部12および第2搬送部17が
第1基板搬送機構および第2搬送機構に相当し、両者を
併せたものが基板搬送手段に相当する。)。
【0047】以下、Y軸の負側の基板移替え装置のみに
ついて説明していく。なお、図3は基板移替え部10の
Y軸の負側の基板移替え装置に対する断面図である。
ついて説明していく。なお、図3は基板移替え部10の
Y軸の負側の基板移替え装置に対する断面図である。
【0048】筐体11はY軸の正側および負側の側面が
凸字状をした筐体であり、上面には搬送キャリアTCお
よび処理キャリアPCが移動するための開口11h,1
1hを備えている。また、仕切り板111は開口11
h,11hの中間の内部のX−Z面内に設けられてお
り、その両面にプッシャ14が設けられている。
凸字状をした筐体であり、上面には搬送キャリアTCお
よび処理キャリアPCが移動するための開口11h,1
1hを備えている。また、仕切り板111は開口11
h,11hの中間の内部のX−Z面内に設けられてお
り、その両面にプッシャ14が設けられている。
【0049】第1搬送部12において、搬送テーブル1
21は中央に後述のガイド141が通り抜けられる開口
121hが設けられた平板である。そして、その下面に
設けられた支持部材122により水平に支持されるとと
もに、上方には搬送キャリアTCを載置、固定すること
ができるようになっている。また、搬送テーブル121
はY軸の正側および負側の側面において、筐体11の上
面の開口11hのY軸の正側および負側の縁の部分に設
けられた図示しないレールに嵌合され、X軸の正負方向
に移動自在となっている。さらに、支持部材122の下
部にはシャフト123が設けられており第1テーブル駆
動部13のシャフト131に接続されている。
21は中央に後述のガイド141が通り抜けられる開口
121hが設けられた平板である。そして、その下面に
設けられた支持部材122により水平に支持されるとと
もに、上方には搬送キャリアTCを載置、固定すること
ができるようになっている。また、搬送テーブル121
はY軸の正側および負側の側面において、筐体11の上
面の開口11hのY軸の正側および負側の縁の部分に設
けられた図示しないレールに嵌合され、X軸の正負方向
に移動自在となっている。さらに、支持部材122の下
部にはシャフト123が設けられており第1テーブル駆
動部13のシャフト131に接続されている。
【0050】第1テーブル駆動部13において、シャフ
ト131はエアシリンダ132に接続されている。そし
てエアシリンダ132の駆動力はシャフト131を通じ
て第1搬送部12に伝えられ、それにより搬送テーブル
121はX軸方向に矢符AAのように水平移動する。こ
れにより第1搬送部12は搬送キャリアTCを第1停止
位置P1(第1位置に相当)と第2停止位置P2(第2
位置に相当)との間において搬送する。
ト131はエアシリンダ132に接続されている。そし
てエアシリンダ132の駆動力はシャフト131を通じ
て第1搬送部12に伝えられ、それにより搬送テーブル
121はX軸方向に矢符AAのように水平移動する。こ
れにより第1搬送部12は搬送キャリアTCを第1停止
位置P1(第1位置に相当)と第2停止位置P2(第2
位置に相当)との間において搬送する。
【0051】プッシャ14は第1ガイド141および第
2ガイド142がシャフト144の先端に取り付けられ
ている。そして、第1ガイド141および第2ガイド1
42の上部には基板列LWの基板数と同数の溝が形成さ
れた弾性部材が設けられ、それによって基板列LWを支
持する。
2ガイド142がシャフト144の先端に取り付けられ
ている。そして、第1ガイド141および第2ガイド1
42の上部には基板列LWの基板数と同数の溝が形成さ
れた弾性部材が設けられ、それによって基板列LWを支
持する。
【0052】また、第2ガイド142の下端に設けられ
た支柱142aは貫通孔141h(図4参照)を通じて
第1ガイド141の下方のエアシリンダ143に接続さ
れている。そして、そのエアシリンダ143の本体はシ
ャフト144の上端に設けられており、このエアシリン
ダ143の伸縮によって第2ガイド142が矢符AFの
ように上下動する。
た支柱142aは貫通孔141h(図4参照)を通じて
第1ガイド141の下方のエアシリンダ143に接続さ
れている。そして、そのエアシリンダ143の本体はシ
ャフト144の上端に設けられており、このエアシリン
ダ143の伸縮によって第2ガイド142が矢符AFの
ように上下動する。
【0053】図4はプッシャ14の第1ガイド141お
よび第2ガイド142における基板列LWの支持の状態
を示す図である。
よび第2ガイド142における基板列LWの支持の状態
を示す図である。
【0054】図4(a)は第1ガイド141で基板を支
持した状態を示しており、エアシリンダ143は縮んだ
状態にある。この状態で第2ガイド142の上部は第1
ガイド141の上部より下方に位置しているため、第1
ガイド141に支持された基板列LWは第2ガイド14
2に当接していない。
持した状態を示しており、エアシリンダ143は縮んだ
状態にある。この状態で第2ガイド142の上部は第1
ガイド141の上部より下方に位置しているため、第1
ガイド141に支持された基板列LWは第2ガイド14
2に当接していない。
【0055】逆に、図4(b)に示すように第2ガイド
142で基板列LWを支持するときにはエアシリンダ1
43が伸張して第2ガイド142の上部が第1ガイド1
41の上部より高く飛び出した状態になり、第2ガイド
142で支持された基板列は第1ガイド141に当接し
ない。
142で基板列LWを支持するときにはエアシリンダ1
43が伸張して第2ガイド142の上部が第1ガイド1
41の上部より高く飛び出した状態になり、第2ガイド
142で支持された基板列は第1ガイド141に当接し
ない。
【0056】このような第1ガイド141および第2ガ
イド142を備えたシャフト144の下端にはスライド
部146が設けられていて、鉛直に設けられたレール1
45に嵌合しており、図3の矢符ABのように昇降自在
となっている。また、筐体11のY軸方向の中央に設け
られた仕切り板111にはモータ148を備えたボール
ネジ147が鉛直に設けられてスライド部146に接続
されている。モータ148およびボールネジ147によ
る回動駆動を通じて、第1ガイド141,第2ガイド1
42が昇降し、それらのいずれかに支持された基板列L
Wが第2基板位置WP2と退避位置である第3基板位置
WP3あるいは第4基板位置WP4の間を昇降移動す
る。
イド142を備えたシャフト144の下端にはスライド
部146が設けられていて、鉛直に設けられたレール1
45に嵌合しており、図3の矢符ABのように昇降自在
となっている。また、筐体11のY軸方向の中央に設け
られた仕切り板111にはモータ148を備えたボール
ネジ147が鉛直に設けられてスライド部146に接続
されている。モータ148およびボールネジ147によ
る回動駆動を通じて、第1ガイド141,第2ガイド1
42が昇降し、それらのいずれかに支持された基板列L
Wが第2基板位置WP2と退避位置である第3基板位置
WP3あるいは第4基板位置WP4の間を昇降移動す
る。
【0057】また、この基板移替え装置は内側チャック
15および外側チャック16からなる基板保持手段に相
当する基板挟持部CWを備えている。
15および外側チャック16からなる基板保持手段に相
当する基板挟持部CWを備えている。
【0058】図5はガイド機構に相当する内側チャック
15aの3方向の投影図であり、図5(a)は正面図
を、図5(b)は側面図を、図5(c)は平面図を表わ
している。また、図7は内側チャック15および外側チ
ャック16の駆動機構を示す図である。なお内側チャッ
ク15の駆動機構はY軸負側の筐体11の凸部分に、外
側チャック16の駆動機構はY軸正側の筐体11の凸部
分にそれぞれ設けられているが、それぞれの駆動機構の
位置関係を分かり易くするために1つの図に重ね合せて
描いてある。以下、これらの図を用いて内側チャック1
5について説明していく。
15aの3方向の投影図であり、図5(a)は正面図
を、図5(b)は側面図を、図5(c)は平面図を表わ
している。また、図7は内側チャック15および外側チ
ャック16の駆動機構を示す図である。なお内側チャッ
ク15の駆動機構はY軸負側の筐体11の凸部分に、外
側チャック16の駆動機構はY軸正側の筐体11の凸部
分にそれぞれ設けられているが、それぞれの駆動機構の
位置関係を分かり易くするために1つの図に重ね合せて
描いてある。以下、これらの図を用いて内側チャック1
5について説明していく。
【0059】内側チャック15において、図5に示すよ
うに回動軸151に取り付けられた回動腕152の回動
軸151が設けられた端部の反対の端部にはガイド15
3が設けられている。また、図7に示すように筐体11
のY軸方向の正側および負側の側面において、回動軸1
51にはクランク機構154が接続され、さらに、クラ
ンク機構154の中央にはその一端においてシャフト1
55が鉛直に設けられ、そのシャフト155の他端には
エアシリンダ156が設けられている。そして、エアシ
リンダ156の伸縮による駆動力はクランク機構154
を伝わって回動軸151を回動し、回動腕152および
ガイド153が回動軸151を中心として図3の矢符A
Cのように回動して基板列LWを第3基板位置WP3に
おいて挟持したり解放したりする。
うに回動軸151に取り付けられた回動腕152の回動
軸151が設けられた端部の反対の端部にはガイド15
3が設けられている。また、図7に示すように筐体11
のY軸方向の正側および負側の側面において、回動軸1
51にはクランク機構154が接続され、さらに、クラ
ンク機構154の中央にはその一端においてシャフト1
55が鉛直に設けられ、そのシャフト155の他端には
エアシリンダ156が設けられている。そして、エアシ
リンダ156の伸縮による駆動力はクランク機構154
を伝わって回動軸151を回動し、回動腕152および
ガイド153が回動軸151を中心として図3の矢符A
Cのように回動して基板列LWを第3基板位置WP3に
おいて挟持したり解放したりする。
【0060】さらに、図5に示すようにガイド153に
は弾性部材153g,153gが設けられている。弾性
部材153g,153gには基板列LWの基板数と同数
の挟持溝IDが設けられている。そして、弾性部材15
3g,153gの挟持溝IDにおいて基板列LWのそれ
ぞれ基板の周縁が嵌合するように形成されている。
は弾性部材153g,153gが設けられている。弾性
部材153g,153gには基板列LWの基板数と同数
の挟持溝IDが設けられている。そして、弾性部材15
3g,153gの挟持溝IDにおいて基板列LWのそれ
ぞれ基板の周縁が嵌合するように形成されている。
【0061】また、図6はガイド機構に相当する外側チ
ャック16aの3方向の投影図であり、図6(a)は正
面図を、図6(b)は側面図を、図6(c)は平面図を
表わしている。外側チャック16は内側チャック15と
ほぼ同様の構成であり、回動軸161、回動腕162、
ガイド163、クランク機構164、シャフト165、
エアシリンダ166からなっている。また、ガイド16
3には内側チャック15と同様に弾性部材163g,1
63gが設けられており、基板列LWの基板数と同数の
挟持溝IDが設けられている。そして、外側チャック1
6が内側チャック15と異なっているのは回動腕162
が長く、L字形になっており回動軸161が設けられた
端部の反対の端部に設けられたガイド163が、内側に
突出した状態で対向していることのみである。
ャック16aの3方向の投影図であり、図6(a)は正
面図を、図6(b)は側面図を、図6(c)は平面図を
表わしている。外側チャック16は内側チャック15と
ほぼ同様の構成であり、回動軸161、回動腕162、
ガイド163、クランク機構164、シャフト165、
エアシリンダ166からなっている。また、ガイド16
3には内側チャック15と同様に弾性部材163g,1
63gが設けられており、基板列LWの基板数と同数の
挟持溝IDが設けられている。そして、外側チャック1
6が内側チャック15と異なっているのは回動腕162
が長く、L字形になっており回動軸161が設けられた
端部の反対の端部に設けられたガイド163が、内側に
突出した状態で対向していることのみである。
【0062】そして、図3に示すように一対の内側チャ
ック15の外側に該一対の内側チャック15を覆うよう
に、すなわちいれこ状になるように一対の外側チャック
16が対向した状態で筐体11に設けられている。そし
て、矢符ADのように回動して基板列LWを第4基板位
置WP4において挟持したり、解放したりする。図8は
内側チャック15および外側チャック16のそれぞれで
基板列LWを挟持した状態を示した図である。
ック15の外側に該一対の内側チャック15を覆うよう
に、すなわちいれこ状になるように一対の外側チャック
16が対向した状態で筐体11に設けられている。そし
て、矢符ADのように回動して基板列LWを第4基板位
置WP4において挟持したり、解放したりする。図8は
内側チャック15および外側チャック16のそれぞれで
基板列LWを挟持した状態を示した図である。
【0063】図示のように外側チャック16のガイド1
63が内側に突出した状態で設けられており、外側チャ
ック16が閉じた状態で内側チャック15が基板列LW
を挟持した際の第3基板位置WP3よりわずかに高い第
4基板位置WP4において挟持することができるように
なっている。また、外側チャック16のガイド163が
内側に突出していることによって、外側チャック16が
閉じて基板列LWを挟持した状態でも、内側チャック1
5のガイド153が基板列LWに当接することがない。
63が内側に突出した状態で設けられており、外側チャ
ック16が閉じた状態で内側チャック15が基板列LW
を挟持した際の第3基板位置WP3よりわずかに高い第
4基板位置WP4において挟持することができるように
なっている。また、外側チャック16のガイド163が
内側に突出していることによって、外側チャック16が
閉じて基板列LWを挟持した状態でも、内側チャック1
5のガイド153が基板列LWに当接することがない。
【0064】また、第2搬送部17は第1搬送部12と
同様の構成であり、搬送テーブル171、支持部材17
2、シャフト173からなっている。
同様の構成であり、搬送テーブル171、支持部材17
2、シャフト173からなっている。
【0065】また第2テーブル駆動部18も第1テーブ
ル駆動部13と同様の構成であり、シャフト181、エ
アシリンダ182からなっており、第1テーブル駆動部
13に対してY−Z面について対称に第2搬送部17に
接続されている。そして、第2テーブル駆動部18の駆
動によって第2搬送部17は処理キャリアPCを矢符A
Eのように第2停止位置P2と第3停止位置P3の間で
搬送する。
ル駆動部13と同様の構成であり、シャフト181、エ
アシリンダ182からなっており、第1テーブル駆動部
13に対してY−Z面について対称に第2搬送部17に
接続されている。そして、第2テーブル駆動部18の駆
動によって第2搬送部17は処理キャリアPCを矢符A
Eのように第2停止位置P2と第3停止位置P3の間で
搬送する。
【0066】以上が基板移替え部10のY軸の負側の基
板移替え装置の構成であるが、Y軸の正側の基板移替え
装置も全く同様の構成である。
板移替え装置の構成であるが、Y軸の正側の基板移替え
装置も全く同様の構成である。
【0067】
【3.第1の実施の形態の基板移替え部における処理手
順】図9および図10は基板移替え部10の基板移替え
装置の処理手順を示す図であり、図9は搬送キャリアT
Cから処理キャリアPCへの未処理の基板列LWの基板
移替え処理手順を示し、図10は処理キャリアPCから
搬送キャリアTCへの処理済みの基板列LWの基板移替
え処理手順を示している。以下、これらの図を用いてこ
の基板移替え装置における基板移替え処理の処理手順を
説明する。
順】図9および図10は基板移替え部10の基板移替え
装置の処理手順を示す図であり、図9は搬送キャリアT
Cから処理キャリアPCへの未処理の基板列LWの基板
移替え処理手順を示し、図10は処理キャリアPCから
搬送キャリアTCへの処理済みの基板列LWの基板移替
え処理手順を示している。以下、これらの図を用いてこ
の基板移替え装置における基板移替え処理の処理手順を
説明する。
【0068】まず、搬送キャリアTCから処理キャリア
PCへの未処理の基板列LWへの基板移替え処理手順を
説明していく。
PCへの未処理の基板列LWへの基板移替え処理手順を
説明していく。
【0069】初期状態として図9(a)に示すように、
搬送キャリアTCは第1停止位置P1に、処理キャリア
PCは第3停止位置P3に位置している。そして、未処
理の基板列LWは搬送キャリアTC内に収納されて第1
基板位置WP1に位置している。
搬送キャリアTCは第1停止位置P1に、処理キャリア
PCは第3停止位置P3に位置している。そして、未処
理の基板列LWは搬送キャリアTC内に収納されて第1
基板位置WP1に位置している。
【0070】つぎに、図9(b)に示すように、第1搬
送部12の移動に従って搬送キャリアTCがX軸の正方
向に移動し第2停止位置P2に位置し、基板列LWは第
2基板位置WP2に位置する。
送部12の移動に従って搬送キャリアTCがX軸の正方
向に移動し第2停止位置P2に位置し、基板列LWは第
2基板位置WP2に位置する。
【0071】つぎに、図9(c)に示すように、プッシ
ャ14が上昇するのであるが、このとき、プッシャ14
に設けられたガイド141および142の位置関係はエ
アシリンダ143が伸張した状態、すなわち図4(b)
のようにガイド142が上がった状態になっている。こ
の状態でプッシャ14が上昇することによって基板列L
Wをガイド142によって支持しつつ突き上げ、それに
よって基板列LWが上昇して第3基板位置WP3に位置
する。その後、内側チャック15が閉じて前述のように
基板列LWを挟持する。そしてさらにその後、プッシャ
14は降下する。
ャ14が上昇するのであるが、このとき、プッシャ14
に設けられたガイド141および142の位置関係はエ
アシリンダ143が伸張した状態、すなわち図4(b)
のようにガイド142が上がった状態になっている。こ
の状態でプッシャ14が上昇することによって基板列L
Wをガイド142によって支持しつつ突き上げ、それに
よって基板列LWが上昇して第3基板位置WP3に位置
する。その後、内側チャック15が閉じて前述のように
基板列LWを挟持する。そしてさらにその後、プッシャ
14は降下する。
【0072】つぎに、図9(d)に示すように、第1搬
送部12の移動に従って搬送キャリアTCがX軸の負方
向に移動した後に第1停止位置P1で停止する。
送部12の移動に従って搬送キャリアTCがX軸の負方
向に移動した後に第1停止位置P1で停止する。
【0073】つぎに、図9(e)に示すように、第2搬
送部17の移動に従って処理キャリアPCがX軸の負方
向に移動して第2停止位置P2で停止する。
送部17の移動に従って処理キャリアPCがX軸の負方
向に移動して第2停止位置P2で停止する。
【0074】つぎに、図9(f)に示すように、プッシ
ャ14が再び上昇する。このときも前述の図4(b)の
ようにガイド142が上がった状態になっている。そし
てそのプッシャ14がガイド142によって基板列LW
を支持した後に、内側チャック15が基板列LWを解放
し、さらにその後にプッシャ14が降下することによっ
て第2停止位置P2に位置していた処理キャリアPC内
に基板列LWが収納され、第2基板位置WP2に位置す
る。
ャ14が再び上昇する。このときも前述の図4(b)の
ようにガイド142が上がった状態になっている。そし
てそのプッシャ14がガイド142によって基板列LW
を支持した後に、内側チャック15が基板列LWを解放
し、さらにその後にプッシャ14が降下することによっ
て第2停止位置P2に位置していた処理キャリアPC内
に基板列LWが収納され、第2基板位置WP2に位置す
る。
【0075】最後に、図9(g)に示すように、第2搬
送部17の移動に従って処理キャリアPCがX軸の正方
向に移動して第3停止位置P3で停止し、基板列LWは
第5基板位置WP5に位置する。これによって搬送キャ
リアTCから処理キャリアPCへの基板移替え処理を終
了する。
送部17の移動に従って処理キャリアPCがX軸の正方
向に移動して第3停止位置P3で停止し、基板列LWは
第5基板位置WP5に位置する。これによって搬送キャ
リアTCから処理キャリアPCへの基板移替え処理を終
了する。
【0076】つぎに、処理キャリアPCから搬送キャリ
アTCへの処理済みの基板列LWの基板移替え処理手順
を説明していく。
アTCへの処理済みの基板列LWの基板移替え処理手順
を説明していく。
【0077】初期状態として図10(a)に示すよう
に、搬送キャリアTCは第1停止位置P1に、処理キャ
リアPCは第3停止位置P3に位置している。そして、
基板列LWは処理キャリアPC内に収納されて第5基板
位置WP5に位置している。
に、搬送キャリアTCは第1停止位置P1に、処理キャ
リアPCは第3停止位置P3に位置している。そして、
基板列LWは処理キャリアPC内に収納されて第5基板
位置WP5に位置している。
【0078】つぎに、図10(b)に示すように、第2
搬送部17の移動に従って処理キャリアPCがX軸の負
方向に移動し第2停止位置P2に位置し、基板列LWは
第2基板位置WP2に位置する。
搬送部17の移動に従って処理キャリアPCがX軸の負
方向に移動し第2停止位置P2に位置し、基板列LWは
第2基板位置WP2に位置する。
【0079】つぎに、図10(c)に示すように、プッ
シャ14が上昇するのであるが、このとき、プッシャ1
4に設けられたガイド141および142の位置関係は
エアシリンダ143が縮んだ状態、すなわち図4(a)
のようにガイド142が下がった状態になっている。こ
の状態でプッシャ14が上昇することによって基板列L
Wをガイド141によって支持しつつ突き上げ、それに
よって基板列LWが上昇して第4基板位置WP4に位置
する。その後、外側チャック16が閉じて前述のように
基板列LWを挟持する。そしてさらにその後、プッシャ
14は降下する。
シャ14が上昇するのであるが、このとき、プッシャ1
4に設けられたガイド141および142の位置関係は
エアシリンダ143が縮んだ状態、すなわち図4(a)
のようにガイド142が下がった状態になっている。こ
の状態でプッシャ14が上昇することによって基板列L
Wをガイド141によって支持しつつ突き上げ、それに
よって基板列LWが上昇して第4基板位置WP4に位置
する。その後、外側チャック16が閉じて前述のように
基板列LWを挟持する。そしてさらにその後、プッシャ
14は降下する。
【0080】つぎに、図10(d)に示すように、第2
搬送部17の移動に従って処理キャリアPCがX軸の正
方向に移動した後に第3停止位置P3で停止する。
搬送部17の移動に従って処理キャリアPCがX軸の正
方向に移動した後に第3停止位置P3で停止する。
【0081】つぎに、図10(e)に示すように、第1
搬送部12の移動に従って搬送キャリアTCがX軸の正
方向に移動して第2停止位置P2で停止する。
搬送部12の移動に従って搬送キャリアTCがX軸の正
方向に移動して第2停止位置P2で停止する。
【0082】つぎに、図10(f)に示すように、プッ
シャ14が再び上昇する。このときも前述の図4(a)
に示すようにガイド142が下がった状態になってい
る。そしてそのプッシャ14がガイド141によって基
板列LWを支持した後に、外側チャック16が基板列L
Wを解放し、さらにその後にプッシャ14が降下するこ
とによって第2停止位置P2に位置していた処理キャリ
アPC内に基板列LWが収納され、第2基板位置WP2
に位置する。
シャ14が再び上昇する。このときも前述の図4(a)
に示すようにガイド142が下がった状態になってい
る。そしてそのプッシャ14がガイド141によって基
板列LWを支持した後に、外側チャック16が基板列L
Wを解放し、さらにその後にプッシャ14が降下するこ
とによって第2停止位置P2に位置していた処理キャリ
アPC内に基板列LWが収納され、第2基板位置WP2
に位置する。
【0083】最後に、図10(g)に示すように、第1
搬送部12の移動に従って搬送キャリアTCがX軸の負
方向に移動して第1停止位置P1で停止する。これによ
って処理キャリアPCから搬送キャリアTCへの基板移
替え処理を終了する。
搬送部12の移動に従って搬送キャリアTCがX軸の負
方向に移動して第1停止位置P1で停止する。これによ
って処理キャリアPCから搬送キャリアTCへの基板移
替え処理を終了する。
【0084】以上において基板移替え装置の処理手順を
説明してきたが、基板移替え部10はY軸の正側および
負側にこの基板移替え装置を1機ずつ備えており、両方
の基板移替え装置で上記の処理をそれぞれ並列して行
う。
説明してきたが、基板移替え部10はY軸の正側および
負側にこの基板移替え装置を1機ずつ備えており、両方
の基板移替え装置で上記の処理をそれぞれ並列して行
う。
【0085】以上、説明してきたように第1の実施の形
態の基板処理装置1における基板移替え装置は、プッシ
ャ14が切換え可能な第1ガイド141および第2ガイ
ド142を備えるとともに、基板挟持部CWは切換え可
能な内側チャック15および外側チャック16を備える
構成であるため、基板の移替えの際に基板列LWに当接
する部分が搬送キャリアTCから処理キャリアPCへ基
板列LWを移替えるときにはガイド153およびガイド
141であり、処理キャリアPCから搬送キャリアTC
へ基板列LWを移替えるときのガイド163およびガイ
ド142というように異なるようになっているため、未
処理の基板列LWに当接する部分に付着したパーティク
ル等の汚染物質が処理済みの基板列LWに付着して汚染
することがない。
態の基板処理装置1における基板移替え装置は、プッシ
ャ14が切換え可能な第1ガイド141および第2ガイ
ド142を備えるとともに、基板挟持部CWは切換え可
能な内側チャック15および外側チャック16を備える
構成であるため、基板の移替えの際に基板列LWに当接
する部分が搬送キャリアTCから処理キャリアPCへ基
板列LWを移替えるときにはガイド153およびガイド
141であり、処理キャリアPCから搬送キャリアTC
へ基板列LWを移替えるときのガイド163およびガイ
ド142というように異なるようになっているため、未
処理の基板列LWに当接する部分に付着したパーティク
ル等の汚染物質が処理済みの基板列LWに付着して汚染
することがない。
【0086】また、第1搬送部12、内側チャック1
5、外側チャック16、第2搬送部17は、それぞれ並
進または回動動作については全て2つのポジション間で
動作するのみであるので、エアシリンダ等の簡単な駆動
機構を利用することができるので装置全体を小型化する
ことができ、部品数も少なくできるので低コストの装置
とすることができるとともに、装置の製造段階やメンテ
ナンス時のポジション調節等が容易である。
5、外側チャック16、第2搬送部17は、それぞれ並
進または回動動作については全て2つのポジション間で
動作するのみであるので、エアシリンダ等の簡単な駆動
機構を利用することができるので装置全体を小型化する
ことができ、部品数も少なくできるので低コストの装置
とすることができるとともに、装置の製造段階やメンテ
ナンス時のポジション調節等が容易である。
【0087】また、上記のようにキャリアの停止位置が
少なくて済むので第1搬送部12および第2搬送部17
による搬送キャリアTCおよび処理キャリアPCの移動
距離が短くてすみ、スループットが向上する。
少なくて済むので第1搬送部12および第2搬送部17
による搬送キャリアTCおよび処理キャリアPCの移動
距離が短くてすみ、スループットが向上する。
【0088】また、搬送キャリアTCの搬送を第1搬送
部12、および処理キャリアPCの搬送を第2搬送部1
7で行う構成であるため、それらのキャリアを互いに個
別に搬送できるので不必要なキャリアの移動がなく効率
的な搬送を行うことができる。
部12、および処理キャリアPCの搬送を第2搬送部1
7で行う構成であるため、それらのキャリアを互いに個
別に搬送できるので不必要なキャリアの移動がなく効率
的な搬送を行うことができる。
【0089】また、外側チャック16の内側に内側チャ
ック15がいれこ状に設けられているため、装置全体を
小さくすることができる。
ック15がいれこ状に設けられているため、装置全体を
小さくすることができる。
【0090】さらに、プッシャ14と基板挟持部CWを
それぞれ1つだけ備える構成であるので、メンテナンス
時等に行う調整がそれらの箇所ですむため、メンテナン
ス性がよい。
それぞれ1つだけ備える構成であるので、メンテナンス
時等に行う調整がそれらの箇所ですむため、メンテナン
ス性がよい。
【0091】
【4.第2の実施の形態】図11は第2の実施の形態の
基板処理装置1における基板移替え部10の基板挟持部
CWの基板列の挟持状態を示す図である。図示のように
基板挟持部CWの中心に長手方向であるY軸方向に回動
軸RAを備えた一対の平板状部材FP,FPが互いに対
向するように筐体11のY軸の正側および負側の両側面
の間に設けられている。そして、回動軸RAには図示し
ないモータが取り付けられており、制御部の制御により
所定のタイミングで180゜ずつ回動することができる
ようになっている。また、平板状部材FPの表面および
裏面に回転対称になるような位置に基板列LWの挟持溝
IDがY軸方向に並んだ状態で2組ずつ設けられてい
る。
基板処理装置1における基板移替え部10の基板挟持部
CWの基板列の挟持状態を示す図である。図示のように
基板挟持部CWの中心に長手方向であるY軸方向に回動
軸RAを備えた一対の平板状部材FP,FPが互いに対
向するように筐体11のY軸の正側および負側の両側面
の間に設けられている。そして、回動軸RAには図示し
ないモータが取り付けられており、制御部の制御により
所定のタイミングで180゜ずつ回動することができる
ようになっている。また、平板状部材FPの表面および
裏面に回転対称になるような位置に基板列LWの挟持溝
IDがY軸方向に並んだ状態で2組ずつ設けられてい
る。
【0092】以上のような構成の基板挟持部CWによっ
て未処理の基板列LWまたは処理済みの基板列LWの挟
持の際に平板状部材FP,FPをそれぞれ180゜回動
して表面が対向した状態であるか裏面が対向した状態で
あるかを切り換えることによって、基板列LWに当接す
る挟持溝IDを切り換えている。これによって未処理の
基板列LWに付着していたパーティクル等が基板挟持部
CWを介して処理済みの基板列LWに付着することがな
い。
て未処理の基板列LWまたは処理済みの基板列LWの挟
持の際に平板状部材FP,FPをそれぞれ180゜回動
して表面が対向した状態であるか裏面が対向した状態で
あるかを切り換えることによって、基板列LWに当接す
る挟持溝IDを切り換えている。これによって未処理の
基板列LWに付着していたパーティクル等が基板挟持部
CWを介して処理済みの基板列LWに付着することがな
い。
【0093】その他の構成は第1の実施の形態の基板移
替え部10と同様である。
替え部10と同様である。
【0094】この第2の実施の形態の基板処理装置1で
は基板挟持部CWが平板状部材FPを回転させることで
挟持溝IDを切り換えることができるので第1の実施の
形態のようにクランク機構等の複雑な駆動機構を必要と
せず、構成部材も少ないため一層低コストの装置とする
ことができる。
は基板挟持部CWが平板状部材FPを回転させることで
挟持溝IDを切り換えることができるので第1の実施の
形態のようにクランク機構等の複雑な駆動機構を必要と
せず、構成部材も少ないため一層低コストの装置とする
ことができる。
【0095】
【5.変形例】上記の第1および第2の実施の形態では
プッシャ14の昇降駆動をモータ148によってボール
ネジ147を回転させて行う構成に限られるものではな
く、エアシリンダ等によって駆動する構成としてもよ
い。また、逆に第1搬送部12および第2搬送部17の
並進駆動もエアシリンダによる構成に限られるものでは
なく、モータ等によるものとしてもよい。
プッシャ14の昇降駆動をモータ148によってボール
ネジ147を回転させて行う構成に限られるものではな
く、エアシリンダ等によって駆動する構成としてもよ
い。また、逆に第1搬送部12および第2搬送部17の
並進駆動もエアシリンダによる構成に限られるものでは
なく、モータ等によるものとしてもよい。
【0096】また、上記の第1および第2の実施の形態
では第1搬送部12と第2搬送部17とを備える構成に
限られるものではなく、2つの停止位置に渡る搬送テー
ブルを1つ設けて、図3のX軸の負側に寄った状態、す
なわち第1停止位置P1と第2停止位置P2に渡って位
置するときに搬送キャリアTCをセットし、逆にX軸の
正側に寄った状態、すなわち第2停止位置P2と第3停
止位置P3に渡って位置するときに処理キャリアPCを
セットするようにする構成等としてもよい。
では第1搬送部12と第2搬送部17とを備える構成に
限られるものではなく、2つの停止位置に渡る搬送テー
ブルを1つ設けて、図3のX軸の負側に寄った状態、す
なわち第1停止位置P1と第2停止位置P2に渡って位
置するときに搬送キャリアTCをセットし、逆にX軸の
正側に寄った状態、すなわち第2停止位置P2と第3停
止位置P3に渡って位置するときに処理キャリアPCを
セットするようにする構成等としてもよい。
【0097】さらに、上記の第1の実施の形態では基板
挟持部CWの駆動機構としてエアシリンダを用いる構成
としたが、各チャックの回動軸にロータリアクチュエー
タを設けて直接回動させる構成等としてもよく、また第
2の実施の形態ではモータを用いる構成としたが第1の
実施の形態のようにクランク機構を用いてエアシリンダ
で駆動する構成等としてもよい。
挟持部CWの駆動機構としてエアシリンダを用いる構成
としたが、各チャックの回動軸にロータリアクチュエー
タを設けて直接回動させる構成等としてもよく、また第
2の実施の形態ではモータを用いる構成としたが第1の
実施の形態のようにクランク機構を用いてエアシリンダ
で駆動する構成等としてもよい。
【0098】また、上記の第1及び第2の実施の形態で
は基板移替え部10は基板移替え装置を図2のY軸の正
側および負側に1機ずつ備え、それぞれ搬送キャリアT
C載置用、処理キャリアPC載置用の搬送テーブルを有
しているが、図12のようにそれぞれの基板移替え装置
の搬送テーブルを共通にしてもよい。図12は変形例に
おける基板移替え部の斜視図である。基板移替え部10
は搬送キャリア搬送テーブル121aを有し、搬送キャ
リア搬送テーブル121aはプッシャ14、14が通過
するための開口121ahが開けられている。この搬送
キャリア搬送テーブル121aは、図3の第1テーブル
駆動部13と同様の機構によって駆動され、X軸の正負
方向に移動可能である。同じく基板移替え部10は処理
キャリア搬送テーブル171aを有し、該処理キャリア
搬送テーブル171aはプッシャ14が通過するための
開口が開けられている。そして、該処理キャリア搬送テ
ーブル171aは図3の第2テーブル駆動部18と同様
の機構によって駆動され、X軸の正負方向に移動可能で
ある。その他は図2の第1の実施の形態における基板移
替え装置と同様である。このように2つの基板移替え装
置の搬送テーブルを共通化すれば各搬送テーブルを駆動
するための駆動機構が一つで済み装置の製作コストを抑
制することができる。
は基板移替え部10は基板移替え装置を図2のY軸の正
側および負側に1機ずつ備え、それぞれ搬送キャリアT
C載置用、処理キャリアPC載置用の搬送テーブルを有
しているが、図12のようにそれぞれの基板移替え装置
の搬送テーブルを共通にしてもよい。図12は変形例に
おける基板移替え部の斜視図である。基板移替え部10
は搬送キャリア搬送テーブル121aを有し、搬送キャ
リア搬送テーブル121aはプッシャ14、14が通過
するための開口121ahが開けられている。この搬送
キャリア搬送テーブル121aは、図3の第1テーブル
駆動部13と同様の機構によって駆動され、X軸の正負
方向に移動可能である。同じく基板移替え部10は処理
キャリア搬送テーブル171aを有し、該処理キャリア
搬送テーブル171aはプッシャ14が通過するための
開口が開けられている。そして、該処理キャリア搬送テ
ーブル171aは図3の第2テーブル駆動部18と同様
の機構によって駆動され、X軸の正負方向に移動可能で
ある。その他は図2の第1の実施の形態における基板移
替え装置と同様である。このように2つの基板移替え装
置の搬送テーブルを共通化すれば各搬送テーブルを駆動
するための駆動機構が一つで済み装置の製作コストを抑
制することができる。
【0099】また、上記の第1の実施の形態では外側チ
ャック16の内側に内側チャック15がいれこ状に設け
られていたが図13のように外側チャック16の代わり
に下側チャック16aを内側チャックの代わりに上側チ
ャック15aをそれぞれ上下2段に設けても良い。図1
3は上側チャック15a,下側チャック16aの駆動機
構を示す図である。なお、上側チャック15aの駆動機
構はY軸負側の筐体11の凸部分に、下側チャック16
aの駆動機構はY軸正側の筐体11の凸部分にそれぞれ
設けられているが、それぞれの駆動機構の位置関係を分
かりやすくするために1つの図に重ね合わせて描いてあ
る。上側チャック15aにおいて図13に示すように回
動軸151aに取り付けられた回動腕152aの回動軸
151が設けられた端部の反対の端部にはガイド153
aが設けられている。また、図6に示すように筐体11
のY軸方向の正側および負側の側面において、回動軸1
51aにはクランク機構154aが接続され、さらに、
クランク機構154aの中央にはその一端においてシャ
フト155aが鉛直に設けられ、そのシャフト155の
他端にはエアシリンダ156が設けられている。そし
て、エアシリンダ156の伸縮による駆動力はクランク
機構154aを伝わって回動軸151aを回動し、回動
腕152aおよびガイド153aが回動軸151aを中
心として回動して基板列を挟持したり開放したりする。
ャック16の内側に内側チャック15がいれこ状に設け
られていたが図13のように外側チャック16の代わり
に下側チャック16aを内側チャックの代わりに上側チ
ャック15aをそれぞれ上下2段に設けても良い。図1
3は上側チャック15a,下側チャック16aの駆動機
構を示す図である。なお、上側チャック15aの駆動機
構はY軸負側の筐体11の凸部分に、下側チャック16
aの駆動機構はY軸正側の筐体11の凸部分にそれぞれ
設けられているが、それぞれの駆動機構の位置関係を分
かりやすくするために1つの図に重ね合わせて描いてあ
る。上側チャック15aにおいて図13に示すように回
動軸151aに取り付けられた回動腕152aの回動軸
151が設けられた端部の反対の端部にはガイド153
aが設けられている。また、図6に示すように筐体11
のY軸方向の正側および負側の側面において、回動軸1
51aにはクランク機構154aが接続され、さらに、
クランク機構154aの中央にはその一端においてシャ
フト155aが鉛直に設けられ、そのシャフト155の
他端にはエアシリンダ156が設けられている。そし
て、エアシリンダ156の伸縮による駆動力はクランク
機構154aを伝わって回動軸151aを回動し、回動
腕152aおよびガイド153aが回動軸151aを中
心として回動して基板列を挟持したり開放したりする。
【0100】さらに、ガイド153aには弾性部材が設
けられている。弾性部材には基板列の基板数と同数の挟
持溝が設けられている。そして、弾性部材の挟持溝にお
いて基板列のそれぞれ基板の周縁が嵌合するように形成
されている。
けられている。弾性部材には基板列の基板数と同数の挟
持溝が設けられている。そして、弾性部材の挟持溝にお
いて基板列のそれぞれ基板の周縁が嵌合するように形成
されている。
【0101】下側チャック16aは上側チャック15a
とほぼ同様の構成であり、回動軸161a,回動腕16
2、ガイド163a,クランク機構164a,シャフト
165a,エアシリンダ166からなっている。また、
ガイド163aには上側チャック15aと同様に弾性部
材が設けられており、基板列の基板数と同数の挟持溝が
設けられている。
とほぼ同様の構成であり、回動軸161a,回動腕16
2、ガイド163a,クランク機構164a,シャフト
165a,エアシリンダ166からなっている。また、
ガイド163aには上側チャック15aと同様に弾性部
材が設けられており、基板列の基板数と同数の挟持溝が
設けられている。
【0102】その他は第1の実施の形態における基板移
替え装置と同様である。この様な構成にすれば上側チャ
ック15a,下側チャック16aを製作するときにそれ
ぞれほぼ同様の部材によって製作できるので製作コスト
を抑制することができる。また、下側チャック16aの
上方に上側チャック15aを設けたので、この基板挟持
機構を用いた基板移替え装置等の占有面積を小さくする
ことができる。
替え装置と同様である。この様な構成にすれば上側チャ
ック15a,下側チャック16aを製作するときにそれ
ぞれほぼ同様の部材によって製作できるので製作コスト
を抑制することができる。また、下側チャック16aの
上方に上側チャック15aを設けたので、この基板挟持
機構を用いた基板移替え装置等の占有面積を小さくする
ことができる。
【0103】
【発明の効果】以上説明したように、請求項1および請
求項2の基板移替え装置ならびにそれを用いた請求項4
の基板処理装置は、基板突き上げ手段は基板列を選択的
に支持する第1ガイドおよび第2ガイドを備えるととも
に、基板保持手段は基板列を選択的に保持する第1保持
機構および第2保持機構を備える構成であるため、第1
キャリアから第2キャリアへ基板列を移替えるときと、
第2キャリアから第1キャリアへ基板列を移替えるとき
とで基板に当接する部分が異なるようにすることができ
るため一方の移替えで基板列に当接する部分に付着した
パーティクル等の汚染物質が他方の移替えの際に基板列
に付着して汚染することがない。
求項2の基板移替え装置ならびにそれを用いた請求項4
の基板処理装置は、基板突き上げ手段は基板列を選択的
に支持する第1ガイドおよび第2ガイドを備えるととも
に、基板保持手段は基板列を選択的に保持する第1保持
機構および第2保持機構を備える構成であるため、第1
キャリアから第2キャリアへ基板列を移替えるときと、
第2キャリアから第1キャリアへ基板列を移替えるとき
とで基板に当接する部分が異なるようにすることができ
るため一方の移替えで基板列に当接する部分に付着した
パーティクル等の汚染物質が他方の移替えの際に基板列
に付着して汚染することがない。
【0104】また、上記のような2種の基板移替え処理
をいずれも基板保持手段の下方の停止位置において行う
ことができるので、第1キャリアおよび第2キャリアの
停止位置が少なくて済むため基板搬送手段の駆動機構と
して簡単なものを利用することができるので装置を小型
化することができ、部品数も少なくできるので低コスト
の装置とすることができる。
をいずれも基板保持手段の下方の停止位置において行う
ことができるので、第1キャリアおよび第2キャリアの
停止位置が少なくて済むため基板搬送手段の駆動機構と
して簡単なものを利用することができるので装置を小型
化することができ、部品数も少なくできるので低コスト
の装置とすることができる。
【0105】また、停止位置が少なくて済むので基板搬
送手段による第1キャリアおよび第2キャリアの移動距
離が短くスループットが向上する。
送手段による第1キャリアおよび第2キャリアの移動距
離が短くスループットが向上する。
【0106】また、請求項2の基板移替え装置は、基板
搬送手段が第1キャリアおよび第2キャリアのそれぞれ
の搬送機構を備える構成であるため、それらのキャリア
を互いに個別に搬送できるので不必要なキャリアの移動
がなく効率的な搬送を行うことができる。
搬送手段が第1キャリアおよび第2キャリアのそれぞれ
の搬送機構を備える構成であるため、それらのキャリア
を互いに個別に搬送できるので不必要なキャリアの移動
がなく効率的な搬送を行うことができる。
【0107】また、請求項3の基板移替え装置は、基板
搬送手段が第1キャリアおよび第2キャリアのそれぞれ
を一つの部材上に保持して同時に水平移動させるもので
あるため、その駆動機構がさらに簡単な構成で済むとと
もに部品数が少なく、一層、製造コストが少なくて済
む。
搬送手段が第1キャリアおよび第2キャリアのそれぞれ
を一つの部材上に保持して同時に水平移動させるもので
あるため、その駆動機構がさらに簡単な構成で済むとと
もに部品数が少なく、一層、製造コストが少なくて済
む。
【0108】さらに、請求項5および請求項6の基板挟
持機構では外側チャックの一対のガイド機構の間に内側
チャックがいれこ状に設けられている構成であるため、
それらを用いて基板移替え装置等を構成する場合に2種
類の基板列のそれぞれを異なるタイミングで挟持する場
合に2組のチャックを並列して設ける必要がないため、
この基板挟持機構を用いた基板移替え装置等を小さくす
ることができる。
持機構では外側チャックの一対のガイド機構の間に内側
チャックがいれこ状に設けられている構成であるため、
それらを用いて基板移替え装置等を構成する場合に2種
類の基板列のそれぞれを異なるタイミングで挟持する場
合に2組のチャックを並列して設ける必要がないため、
この基板挟持機構を用いた基板移替え装置等を小さくす
ることができる。
【0109】また請求項7の基板挟持機構では下側チャ
ックの上方に上側チャックを設けたので、この基板挟持
機構を用いた基板移替え装置等の占有面積を小さくする
ことができる。
ックの上方に上側チャックを設けたので、この基板挟持
機構を用いた基板移替え装置等の占有面積を小さくする
ことができる。
【図1】この発明の第1の実施の形態の基板処理装置の
構成を示す図である。
構成を示す図である。
【図2】第1の実施の形態における基板移替え部の斜視
図である。
図である。
【図3】基板移替え部の正面断面図である。
【図4】プッシャの第1ガイドおよび第2ガイドの基板
列の支持の状態を示す図である。
列の支持の状態を示す図である。
【図5】内側チャックの3方向の投影図である。
【図6】外側チャックの3方向の投影図である。
【図7】内側チャックおよび外側チャックの駆動機構を
示す図である。
示す図である。
【図8】内側チャックおよび外側チャックの基板列の挟
持状態を示す図である。
持状態を示す図である。
【図9】基板移替え装置の処理手順を示す図である。
【図10】基板移替え装置の処理手順を示す図である。
【図11】第2の実施の形態における基板挟持部の基板
列の挟持状態を示す図である。
列の挟持状態を示す図である。
【図12】変形例における基板移替え部の斜視図であ
る。
る。
【図13】変形例における上側チャックおよび下側チャ
ックの駆動機構を示す図である。
ックの駆動機構を示す図である。
【図14】従来装置の処理を示す図である。
【符号の説明】 1 基板処理装置 10 基板移替え部 12 第1搬送部 14 プッシャ 15 内側チャック 16 外側チャック 17 第2搬送部 60 処理槽 141,142,153,163 ガイド 151,161 回動軸 152,162 回動腕 CW 基板挟持部 LW 基板列 PC 処理キャリア TC 搬送キャリア R1〜R4 第1搬送ロボット〜第4搬送ロボット
Claims (7)
- 【請求項1】 整列された複数の基板からなる基板列を
第1キャリアおよび第2キャリアの間で移替える基板移
替え装置であって、 ほぼ同位置で基板列を選択的に保持する第1保持機構お
よび第2保持機構を備える基板保持手段と、 前記基板保持手段の下方に位置するとともに、前記基板
列を選択的に支持する第1ガイドおよび第2ガイドを備
える基板突き上げ手段と、 前記第1キャリアおよび前記第2キャリアのそれぞれを
前記基板保持手段の下方の停止位置を含む複数の停止位
置の間で移動させる基板搬送手段と、を備えることを特
徴とする基板移替え装置。 - 【請求項2】 請求項1の基板移替え装置において、前
記基板搬送手段が、 前記第1キャリアを水平移動する第1基板搬送機構と、 前記第2キャリアを水平移動する第2基板搬送機構と、
を含むことを特徴とする基板移替え装置。 - 【請求項3】 請求項1の基板移替え装置において、前
記基板搬送手段が、前記第1キャリアおよび前記第2キ
ャリアのそれぞれを一つの部材上に保持して同時に水平
移動させるものであることを特徴とする基板移替え装
置。 - 【請求項4】 請求項1ないし請求項3のいずれかの基
板移替え装置を備える基板移替え部と、 前記基板列に対して処理を施す基板処理部と、 前記基板移替え部と前記基板処理部との間において前記
基板列を搬送する基板搬送部と、を備えることを特徴と
する基板処理装置。 - 【請求項5】 整列された複数の基板からなる基板列を
挟持する基板挟持機構であって、 基板列を挟持する一対のガイド機構が互いに対向した状
態で並設された内側チャックおよび外側チャック、を備
え、 前記外側チャックの前記一対のガイド機構の間に前記内
側チャックがいれこ状に設けられていることを特徴とす
る基板挟持機構。 - 【請求項6】 請求項5の基板挟持機構において、前記
一対のガイド機構のそれぞれが、 一端に回動軸を備えたL字形の回動腕と、 前記回動腕の他端に設けられた基板列に当接するガイド
部材と、を備え、 前記内側チャックの前記ガイド部材より前記外側チャッ
クの前記ガイド部材の方が長尺に形成されていることに
より前記外側チャックが前記内側チャックより高い位置
において基板列を挟持することを特徴とする基板挟持機
構。 - 【請求項7】 整列された複数の基板からなる基板列を
挟持する基板挟持機構であって、 基板列を挟持する一対のガイド機構が互いに対向した状
態で並設された上側チャックおよび下側チャックを備
え、 前記下側チャックの上方に前記上側チャックを設けたこ
とを特徴とする基板挟持機構。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18935896A JPH1041369A (ja) | 1996-07-18 | 1996-07-18 | 基板移替え装置およびそれを用いた基板処理装置ならびにそれらに使用可能な基板挟持機構 |
KR1019970032869A KR100257281B1 (ko) | 1996-07-18 | 1997-07-15 | 기판이체장치 및 그것을 사용한 기판처리장치 및그들에 사용가 능한기판끼움기구 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18935896A JPH1041369A (ja) | 1996-07-18 | 1996-07-18 | 基板移替え装置およびそれを用いた基板処理装置ならびにそれらに使用可能な基板挟持機構 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1041369A true JPH1041369A (ja) | 1998-02-13 |
Family
ID=16239996
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18935896A Pending JPH1041369A (ja) | 1996-07-18 | 1996-07-18 | 基板移替え装置およびそれを用いた基板処理装置ならびにそれらに使用可能な基板挟持機構 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH1041369A (ja) |
KR (1) | KR100257281B1 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6321898B1 (en) | 1999-01-08 | 2001-11-27 | Nec Corporation | Display panel transporting apparatus and a display panel transporting unit |
KR100413742B1 (ko) * | 1999-01-08 | 2003-12-31 | 엔이씨 엘씨디 테크놀로지스, 엘티디. | 표시 패널 제조 방법 및 표시 패널 재배치 방법 |
US6755603B2 (en) | 1998-02-18 | 2004-06-29 | Tokyo Electron Limited | Apparatus for and method of transporting substrates to be processed |
WO2015064374A1 (ja) * | 2013-10-29 | 2015-05-07 | 堺ディスプレイプロダクト株式会社 | 板材支持体及び搬送装置 |
-
1996
- 1996-07-18 JP JP18935896A patent/JPH1041369A/ja active Pending
-
1997
- 1997-07-15 KR KR1019970032869A patent/KR100257281B1/ko not_active IP Right Cessation
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US6755603B2 (en) | 1998-02-18 | 2004-06-29 | Tokyo Electron Limited | Apparatus for and method of transporting substrates to be processed |
US6321898B1 (en) | 1999-01-08 | 2001-11-27 | Nec Corporation | Display panel transporting apparatus and a display panel transporting unit |
KR100413742B1 (ko) * | 1999-01-08 | 2003-12-31 | 엔이씨 엘씨디 테크놀로지스, 엘티디. | 표시 패널 제조 방법 및 표시 패널 재배치 방법 |
US6769948B1 (en) | 1999-01-08 | 2004-08-03 | Nec Lcd Technologies, Ltd. | Method of fabricating a display panel and method of relocating a display panel |
WO2015064374A1 (ja) * | 2013-10-29 | 2015-05-07 | 堺ディスプレイプロダクト株式会社 | 板材支持体及び搬送装置 |
CN105683067A (zh) * | 2013-10-29 | 2016-06-15 | 堺显示器制品株式会社 | 板材支承体和搬送装置 |
US10005625B2 (en) | 2013-10-29 | 2018-06-26 | Sakai Display Products Corporation | Plate support body and conveyance apparatus |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR980012235A (ko) | 1998-04-30 |
KR100257281B1 (ko) | 2000-05-15 |
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