JPH103973A - Csp socket structure - Google Patents

Csp socket structure

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JPH103973A
JPH103973A JP8155286A JP15528696A JPH103973A JP H103973 A JPH103973 A JP H103973A JP 8155286 A JP8155286 A JP 8155286A JP 15528696 A JP15528696 A JP 15528696A JP H103973 A JPH103973 A JP H103973A
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csp
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a chip size package(CSP) socket structure for mounting and testing a surface-mount type semiconductor composed as a chip size package in which positioning of a terminal of the CSP socket to a foot print of a measuring printed circuit board is easy, and in which semiconductor heat radiation effect is provided. SOLUTION: A contact part 5 to physically and electrically correspond to a contact pin 4 which gets in contact with a terminal of a semiconductor 1 is provided at a lower part 3 of a cover part 2, and the contact part 5 is extended to provide a probe pin 6 penetrating the cover part 2 to an upper part 7. By this means, a structure in which positioning of a terminal of a CSP socket to a measured printed circuit board 11 is easy, and in which semiconductor heat radiation effect is provided can be provided.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、CSPと略称され
る形状のチップサイズパッケージに構成した表面実装形
の半導体を実装し試験するソケットであるCSPソケッ
トの構造に関わり、当該CSPソケットの端子と測定プ
リント回路板のフットプリントとの接続時の位置決めが
容易で、半導体の放熱効果を持つ構造の実現に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a structure of a CSP socket, which is a socket for mounting and testing a surface-mount type semiconductor formed in a chip size package having a shape abbreviated as a CSP. The present invention relates to the realization of a structure that facilitates positioning at the time of connection with a footprint of a measurement printed circuit board and has a semiconductor heat radiation effect.

【0002】[0002]

【従来の技術】図6に示す従来例のCSPソケット構造
は、チップサイズパッケージに構成した半導体51を試
験する準備として、CSPソケット52を測定プリント
回路板53に仮止めを行った後、CSPソケット52の
端子55と測定プリント回路板53のフットプリント5
6との間の位置決めを例えばテスタプローブで4隅の複
数のコンタクトピン54と正常な接続位置との導通の確
認あるいは異常な短絡の有無の確認によって微調整す
る。そして数度にわたる確認作業を実施した後にねじ止
めなどで固定する。しかし半導体の進歩によってコンタ
クトピン54は、間隔が微小化し先端が小さい、さらに
CSPソケット52の内部に位置している、また上下動
が可能になっているので、この数度にわたる正常な導通
と異常な短絡の有無の確認作業は困難になっている。ま
た試験が長時間になる場合には、半導体51から発生す
る熱により半導体51自身に悪影響を与える場合も発生
するという問題がある。
2. Description of the Related Art In a conventional CSP socket structure shown in FIG. 6, a CSP socket 52 is temporarily fixed to a measurement printed circuit board 53 in preparation for testing a semiconductor 51 formed in a chip size package. Terminal 55 of 52 and footprint 5 of measurement printed circuit board 53
6 is finely adjusted by, for example, confirming the continuity between the plurality of contact pins 54 at the four corners and the normal connection position using a tester probe or confirming the presence or absence of an abnormal short circuit. After performing the checking operation several times, it is fixed with screws or the like. However, due to advances in semiconductors, the contact pins 54 have a small spacing and a small tip, are located inside the CSP socket 52, and can move up and down. It is difficult to check for the presence of a short circuit. Further, when the test is performed for a long time, there is a problem that heat generated from the semiconductor 51 may adversely affect the semiconductor 51 itself.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、前記の従来
のCSPソケット構造の次の問題点の解決を課題とす
る。コンタクトピン54は、間隔が微小化し先端が小
さい、さらにCSPソケット52の内部に位置してい
る、また上下動が可能になっているので、テスタプロー
ブでの正常な導通と異常な短絡の有無の確認作業による
CSPソケット52の端子55と測定プリント回路板5
3のフットプリント56との位置決め作業が困難になっ
ている。試験が長時間になる場合には半導体51から
発生する熱の対策が不十分で半導体51自身に悪影響を
与える場合も発生する。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to solve the following problems of the above-mentioned conventional CSP socket structure. The contact pins 54 have a small interval and a small tip, and are located inside the CSP socket 52. Since the contact pins 54 can be moved up and down, normal contact with the tester probe and presence or absence of an abnormal short circuit are determined. Terminal 55 of CSP socket 52 and measurement printed circuit board 5 by confirmation work
The positioning work with the third footprint 56 is difficult. When the test is performed for a long time, the heat generated by the semiconductor 51 may not be sufficiently counteracted and may adversely affect the semiconductor 51 itself.

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】本発明は上記問題を解決
するために、半導体の端子と接触するコンタクトピンに
物理的かつ電気的に対応してコンタクト部を蓋部の下部
に設け、当該コンタクト部を延長してプローブピンを蓋
部の上部に貫通して構成した。この手段によって、CS
Pソケットの端子と測定プリント回路板のフットプリン
トとの間の位置決め作業を、蓋部の上部に貫通し、外部
に構成したプローブピンをテスタプローブで触れて行う
構造のため、CSPソケットと測定プリント回路板との
間の正常な導通と異常な短絡の有無を確認する作業を容
易にして位置決めするとともに、プローブピンに半導体
から発生する熱を伝導し、放熱させることを兼ね備える
ことを可能とするCSPソケット構造を提供する。
SUMMARY OF THE INVENTION In order to solve the above problems, the present invention provides a contact portion physically and electrically corresponding to a contact pin contacting a terminal of a semiconductor, provided at a lower portion of a lid portion. The portion was extended so that the probe pin penetrated the upper portion of the lid portion. By this means, CS
The CSP socket and the measurement print are positioned because the work of positioning between the terminal of the P socket and the footprint of the measurement printed circuit board is performed by penetrating the top of the lid and touching the externally configured probe pins with a tester probe. A CSP that facilitates the work of checking for normal conduction and the presence or absence of an abnormal short circuit between the circuit board and positioning, and also has the function of conducting and radiating heat generated from the semiconductor to the probe pins. Provide a socket structure.

【0005】[0005]

【発明の実施の形態】まず、請求項1の第1の発明にお
いては、図1に示すように、半導体1の端子と接触する
コンタクトピン4に物理的かつ電気的に対応してコンタ
クト部5を蓋部2の下部3に設け、当該コンタクト部5
を延長してプローブピン6を蓋部2の上部7に貫通して
構成した。この手段によって、CSPソケットと測定プ
リント回路板11との間の正常な導通と異常な短絡の有
無を確認する場合、蓋部2の上部7に貫通して外部に構
成したプローブピン6を触れる構造のため、CSPソケ
ットと測定プリント回路板11との間の接続を確認する
作業を容易にしてCSPソケットと測定プリント回路板
との位置決めすることができる作用を得る。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS First, according to a first aspect of the present invention, as shown in FIG. 1, a contact portion 5 physically and electrically corresponds to a contact pin 4 contacting a terminal of a semiconductor 1. Is provided on the lower portion 3 of the lid portion 2 and the contact portion 5 is provided.
To extend the probe pin 6 through the upper part 7 of the lid 2. When the normal conduction between the CSP socket and the measurement printed circuit board 11 and the presence or absence of an abnormal short circuit are confirmed by this means, the probe pin 6 penetrates the upper part 7 of the lid 2 and touches the probe pin 6 formed outside. Therefore, the operation of confirming the connection between the CSP socket and the measurement printed circuit board 11 is facilitated, and the operation of positioning the CSP socket and the measurement printed circuit board is obtained.

【0006】次に、請求項2の第2の発明においては、
図2に示すように、前記プローブピン6を蓋部2の上部
7の表面より落ち込んだ形態に貫通して構成した。この
手段によって、CSPソケットと測定プリント回路板1
1との間の正常な導通と異常な短絡の有無を確認する場
合、テスタプローブにより凹部に構成したプローブピン
6を容易に位置決めして触れることができるため、CS
Pソケットと測定プリント回路板11との間の正常な導
通と異常な短絡の有無を確認する作業を隣接するプロー
ブピン6と絶縁をしてテスタプローブで連続的に滑らせ
て、より容易にしてCSPソケットと測定プリント回路
板との位置決めすることができる作用を得る。
Next, in a second aspect of the present invention,
As shown in FIG. 2, the probe pins 6 were formed so as to penetrate the upper part 7 of the lid 2 in a form that fell down from the surface. By this means, the CSP socket and the measuring printed circuit board 1
In order to confirm whether there is normal conduction and abnormal short-circuit between the probe pin 1 and the probe pin 6 formed in the concave portion by the tester probe, the probe pin 6 can be easily positioned and touched.
The task of checking for normal conduction and abnormal short-circuit between the P-socket and the measurement printed circuit board 11 is made easier by continuously insulating the adjacent probe pins 6 and sliding them with a tester probe. The effect that the CSP socket and the measurement printed circuit board can be positioned can be obtained.

【0007】また、請求項3の第3の発明においては、
図3に示すように、プローブピン6を半導体1の外周端
子に対応した部分のみに取り付け、当該端子以外の部分
には相互を短絡するショートコンタクト部8を設け、当
該部分を代表してショートコンタクト部8の4隅を延長
してプローブピン6を構成した。この手段によって、C
SPソケットと測定プリント回路板11との間の正常な
導通を確認する場合、蓋部2の上部7に貫通して外部に
構成した外周端子に対応したプローブピン6を触れる構
造、また異常な短絡の有無を確認する場合前記外周端子
に対応したプローブピン6とショートコンタクト部8の
4隅を延長したプローブピン6を触れる構造のため、C
SPソケットと測定プリント回路板11との間の正常な
導通と異常な短絡の有無を確認する作業を減らすことの
できるようにしてCSPソケットと測定プリント回路板
との位置決めすることができる作用を得る。
[0007] In a third aspect of the present invention,
As shown in FIG. 3, the probe pin 6 is attached only to a portion corresponding to the outer peripheral terminal of the semiconductor 1, and a short contact portion 8 for short-circuiting each other is provided in a portion other than the terminal. The probe pins 6 were formed by extending the four corners of the portion 8. By this means, C
When confirming normal conduction between the SP socket and the measurement printed circuit board 11, a structure penetrating the upper part 7 of the lid part 2 and touching the probe pins 6 corresponding to the outer peripheral terminals formed outside, and an abnormal short circuit In order to check the presence or absence of the contact, the probe pin 6 corresponding to the outer peripheral terminal and the probe pin 6 extending from the four corners of the short contact portion 8 are touched.
An operation of positioning the CSP socket and the measurement printed circuit board can be obtained by reducing the work of checking whether there is a normal conduction between the SP socket and the measurement printed circuit board 11 and whether there is an abnormal short circuit. .

【0008】さらに、請求項4の第4の発明において
は、図4に示すように、蓋部2の上部7に貫通して構成
したプローブピン6に放熱板9を着脱自在に備えた。こ
の手段によって、チップサイズパッケージに構成した半
導体1の熱を放熱板9に伝導するため、放熱効果を持つ
構造にすることができる作用を得る。
Further, in a fourth aspect of the present invention, as shown in FIG. 4, a heat radiating plate 9 is detachably provided on a probe pin 6 penetrating through an upper portion 7 of the lid 2. By this means, the heat of the semiconductor 1 formed in the chip size package is conducted to the heat radiating plate 9, so that an effect that a structure having a heat radiating effect can be obtained is obtained.

【0009】次に、請求項5の第5の発明においては、
図5に示すように、熱伝導シート10を蓋部2の下部3
にコンタクト部5またはショートコンタクト部8に挟ま
せて構成した。この手段によって、半導体の表面に柔軟
に接触して発熱部との接触面積を増大させるため、チッ
プサイズパッケージに構成した半導体1の熱伝導効果を
高める構造にすることができる作用を得る。
Next, in a fifth aspect of the present invention,
As shown in FIG. 5, the heat conductive sheet 10 is
And the contact portion 5 or the short contact portion 8. By this means, the surface of the semiconductor is flexibly contacted to increase the contact area with the heat-generating portion, so that an effect of increasing the heat conduction effect of the semiconductor 1 configured in the chip size package is obtained.

【0010】[0010]

【実施例】以下、図1ないし図5の本発明に関わる実施
例の図面を参照して説明する。
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of the present invention; FIG.

【0011】図1ないし図5の本発明に関わる実施例の
図面に用いた符号について一括して以下に説明する。1
はチップサイズパッケージに構成した半導体である。2
はソケットを構成する半導体1の装着や抜去時に開閉す
る合成樹脂でなる蓋部である。3は蓋部2の下部であ
る。4は半導体1の端子と接触する上下動ができるコン
タクトピンである。5はコンタクトピン4に対応して設
けたコンタクト部である。6はコンタクト部5を延長し
て設けたプローブピンである。7は蓋部2の上部であ
る。8は半導体1の外周端子以外の部分を相互に短絡す
るショートコンタクト部である。9は半導体1の熱を放
熱する放熱板である。10は半導体1の熱をプローブピ
ン6に伝導する弾性を持つ熱伝導シートである。11は
半導体1の動作試験のための測定プリント回路板であ
る。
Reference numerals used in the drawings of the embodiments according to the present invention shown in FIGS. 1 to 5 will be collectively described below. 1
Is a semiconductor configured in a chip size package. 2
Is a lid made of synthetic resin which opens and closes when the semiconductor 1 constituting the socket is mounted or removed. Reference numeral 3 denotes a lower portion of the lid 2. Reference numeral 4 denotes a contact pin that can move up and down to contact the terminal of the semiconductor 1. Reference numeral 5 denotes a contact portion provided corresponding to the contact pin 4. Reference numeral 6 denotes a probe pin provided by extending the contact portion 5. Reference numeral 7 denotes an upper portion of the lid 2. Reference numeral 8 denotes a short contact portion that short-circuits portions other than the outer peripheral terminals of the semiconductor 1 with each other. 9 is a heat radiating plate for radiating heat of the semiconductor 1. Reference numeral 10 denotes a heat conductive sheet having elasticity for conducting heat of the semiconductor 1 to the probe pins 6. Reference numeral 11 denotes a measurement printed circuit board for an operation test of the semiconductor 1.

【0012】図1は、本発明の原理図である。同図にお
いて、ソケットを構成する蓋部2の下部3にチップサイ
ズパッケージに構成した半導体1の端子と接触するコン
タクトピン4に物理的かつ電気的に対応してコンタクト
部5を設け、当該コンタクト部5を延長してプローブピ
ン6を蓋部2の穴を通して上部7に貫通して構成した。
このことによって、CSPソケットと測定プリント回路
板11との間の正常な導通と異常な短絡の有無を確認す
る作業を蓋部2の上部7に貫通して外部に構成したプロ
ーブピン6を通常のテスタプローブで触れることができ
るため、CSPソケットと測定プリント回路板11との
間の導通などの確認を容易にして位置決めすることがで
きる。
FIG. 1 is a diagram illustrating the principle of the present invention. In the figure, a contact portion 5 is provided in a lower portion 3 of a lid portion 2 constituting a socket, physically and electrically corresponding to a contact pin 4 contacting a terminal of a semiconductor 1 formed in a chip size package. 5 was extended to penetrate the probe pin 6 into the upper part 7 through the hole in the lid 2.
As a result, the operation for confirming the normal conduction and the presence or absence of an abnormal short circuit between the CSP socket and the measurement printed circuit board 11 is passed through the upper portion 7 of the lid 2 and the probe pin 6 formed outside is replaced with a normal one. Since it can be touched by the tester probe, it is possible to easily check the conduction between the CSP socket and the measurement printed circuit board 11 and perform positioning.

【0013】図2は、本発明の請求項2実施例図であ
る。同図において、前記プローブピン6を蓋部2の上部
7の表面より落ち込んだ形態に貫通して構成した。この
ことによって、凹部に構成したプローブピン6は隣接す
るプローブピン6と絶縁された状態で外部から触れるこ
とができるため、CSPソケットと測定プリント回路板
11との間の正常な導通と異常な短絡の有無の確認を通
常のテスタプローブで容易にして位置決めすることがで
きる。
FIG. 2 is a diagram showing a second embodiment of the present invention. In the same figure, the probe pin 6 is formed so as to penetrate the upper part 7 of the lid 2 in a form that is recessed from the surface. As a result, the probe pins 6 formed in the concave portions can be touched from the outside while being insulated from the adjacent probe pins 6, so that normal conduction and abnormal short-circuit between the CSP socket and the measurement printed circuit board 11 are achieved. The position can be easily determined by using a normal tester probe.

【0014】図3は、本発明の請求項3実施例図であ
る。同図において、プローブピン6を半導体1の外周端
子に対応した部分のみに取り付け、当該端子以外の部分
には相互を短絡するショートコンタクト部8を設け、当
該部分を代表してショートコンタクト部8の4隅を延長
してプローブピン6aを構成した。このことによって、
CSPソケットと測定プリント回路板11との間の正常
な導通と異常な短絡の有無を確認する場合、蓋部2の上
部7に貫通して外部に構成した外周端子に対応したプロ
ーブピン6を触れる構造のため、CSPソケットと測定
プリント回路板11との間の正常な導通と異常な短絡の
有無を確認する作業箇所を少数化して位置決めすること
ができる。
FIG. 3 is a diagram showing a third embodiment of the present invention. In the figure, a probe pin 6 is attached only to a portion corresponding to an outer peripheral terminal of the semiconductor 1, and a short contact portion 8 for short-circuiting each other is provided in a portion other than the terminal. The probe pins 6a were formed by extending the four corners. This allows
When confirming whether there is normal conduction between the CSP socket and the measurement printed circuit board 11 and whether there is an abnormal short circuit, touch the probe pin 6 corresponding to the outer peripheral terminal formed through the upper part 7 of the lid part 2 and outside. Due to the structure, it is possible to reduce the number of work locations for checking whether there is normal conduction between the CSP socket and the measurement printed circuit board 11 and whether there is an abnormal short circuit, and position the work locations.

【0015】図4は、本発明の請求項4実施例図であ
る。同図において、蓋部2の上部7に貫通して構成した
プローブピン6に物理的に対応して放熱板9には予め設
けた穴にばね材を挿入しておき、当該ばね材と前記プロ
ーブピン6との装着によって着脱自在に取り付けした。
このことによって、プローブピン6を介在してチップサ
イズパッケージに構成した半導体1の放熱効果を得られ
るため、放熱構造にすることができる。
FIG. 4 is a diagram showing a fourth embodiment of the present invention. In the figure, a spring material is inserted into a hole provided in advance on a heat sink 9 so as to physically correspond to a probe pin 6 penetrating through an upper portion 7 of a lid 2, and the spring material and the probe It was detachably attached by attaching to the pin 6.
Thus, the heat radiation effect of the semiconductor 1 configured in the chip size package can be obtained with the probe pins 6 interposed therebetween, so that the heat radiation structure can be obtained.

【0016】図5は、本発明の請求項5実施例図であ
る。同図において、弾性を持つ熱伝導シート10を蓋部
2の下部3にコンタクト部5またはショートコンタクト
部8に挟ませて構成した。このことによって、発熱部と
の接触面積を広くできるため、チップサイズパッケージ
に構成した半導体1の放熱効果をより高める構造にする
ことができる。
FIG. 5 is a diagram showing a fifth embodiment of the present invention. In the figure, a heat conductive sheet 10 having elasticity is sandwiched between a contact portion 5 or a short contact portion 8 at a lower portion 3 of a lid portion 2. As a result, the contact area with the heat generating portion can be increased, so that a structure can be obtained in which the heat radiation effect of the semiconductor 1 configured in the chip size package is further enhanced.

【0017】[0017]

【発明の効果】以上説明した本発明の効果について,請
求項順に説明する。
The effects of the present invention described above will be described in the order of claims.

【0018】請求項1記載の構成を備えたCSPソケッ
ト構造は、ソケットを構成する蓋部の下部に半導体の端
子と接触するコンタクトピンに物理的かつ電気的に対応
してコンタクト部を設け、当該コンタクト部を延長して
プローブピンを蓋部の上部に貫通して構成した。このこ
とで、CSPソケットと測定プリント回路板との間の導
通の正常あるいは異常を確認する作業は、蓋部の上部に
貫通して外部に構成したプローブピンを触れる構造のた
め、CSPソケットと測定プリント回路板との間の位置
決め作業を容易にすることができる。
[0018] In the CSP socket structure having the structure according to the first aspect, a contact portion is provided at a lower portion of a lid portion constituting the socket, physically and electrically corresponding to a contact pin contacting a semiconductor terminal. The contact portion was extended so that the probe pin penetrated the upper portion of the lid portion. As a result, the work of confirming the normal or abnormal conduction between the CSP socket and the measurement printed circuit board is performed by touching a probe pin formed outside through the upper part of the lid part and measuring the CSP socket and the measurement. The positioning work with the printed circuit board can be facilitated.

【0019】請求項2記載の構成を備えたCSPソケッ
ト構造は、プローブピンを蓋部の上部の表面より落ち込
んだ形態に貫通して構成した。このことで、凹部に構成
したプローブピンを外部から隣接するプローブピンと絶
縁して触れることができるため、請求項1記載の効果に
加え、CSPソケットと測定プリント回路板との間の導
通の正常あるいは異常の確認をテスタプローブで連続的
に滑らせて実施できCSPソケットと測定プリント回路
板との間の位置決め作業をより容易にすることができ
る。
In the CSP socket structure having the structure according to the second aspect, the probe pin is formed so as to penetrate the probe pin so as to fall from the upper surface of the lid. As a result, the probe pin formed in the concave portion can be insulated from the outside and be in contact with the adjacent probe pin, so that, in addition to the effect of claim 1, normal or normal conduction between the CSP socket and the measurement printed circuit board can be achieved. The abnormality can be confirmed by continuously sliding the tester probe, and the positioning operation between the CSP socket and the measurement printed circuit board can be more easily performed.

【0020】請求項3記載の構成を備えたCSPソケッ
ト構造は、蓋部の上部に貫通して構成したプローブピン
を半導体の外周端子に対応する部分と当該端子以外を短
絡して代表する4隅のみにした。このことで、CSPソ
ケットと測定プリント回路板との間の導通の正常あるい
は異常の確認箇所を少数化したため、請求項1記載の効
果に加え、CSPソケットと測定プリント回路板との間
の位置決めを短時間で作業することができる。
According to a third aspect of the present invention, there is provided a CSP socket structure having a probe pin penetrating an upper portion of a lid portion and representing four corners of a portion corresponding to an outer peripheral terminal of a semiconductor by short-circuiting a portion other than the terminal. Only. As a result, the number of places where the continuity between the CSP socket and the measurement printed circuit board is confirmed to be normal or abnormal has been reduced, and in addition to the effect of claim 1, positioning between the CSP socket and the measurement printed circuit board can be performed. You can work in a short time.

【0021】請求項4記載の構成を備えたCSPソケッ
ト構造は、蓋部の上部に貫通して構成したプローブピン
に放熱板を着脱自在に取り付けした。このことで、プロ
ーブピンを介在してチップサイズパッケージに構成した
半導体の放熱効果を得られるため、請求項1または3記
載の効果に加え、放熱構造にすることができるので、半
導体自身に熱の影響を与えないようにすることができ
る。
In the CSP socket structure having the structure described in claim 4, a heat sink is detachably attached to a probe pin penetrating the upper part of the lid. With this configuration, a heat radiation effect of the semiconductor configured in the chip size package can be obtained with the probe pins interposed therebetween, and in addition to the effects described in the first or third aspect, the heat radiation structure can be provided. Can have no effect.

【0022】請求項5記載の構成を備えたCSPソケッ
ト構造は、熱伝導シートを蓋部の下部にコンタクト部ま
たはショートコンタクト部に挟ませて構成した。このこ
とで、プローブピンに半導体から発生する熱を広い接触
面積で伝導させることができるので、請求項1ないし4
記載の効果に加え半導体の表面に柔軟に接触して放熱効
果をより高め、半導体自身に熱の影響を与えないように
することができる。
The CSP socket structure having the structure described in claim 5 is configured such that the heat conductive sheet is sandwiched between the contact portion and the short contact portion under the lid. With this, the heat generated from the semiconductor can be conducted to the probe pin with a wide contact area.
In addition to the effects described above, the heat radiation effect can be further improved by softly contacting the surface of the semiconductor, and the semiconductor itself can be prevented from being affected by heat.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の原理図である。FIG. 1 is a principle diagram of the present invention.

【図2】本発明の請求項2実施例図である。FIG. 2 is a diagram showing a second embodiment of the present invention.

【図3】本発明の請求項3実施例図である。FIG. 3 is a diagram showing a third embodiment of the present invention.

【図4】本発明の請求項4実施例図である。FIG. 4 is a diagram showing a fourth embodiment of the present invention.

【図5】本発明の請求項5実施例図である。FIG. 5 is a diagram showing a fifth embodiment of the present invention.

【図6】従来例の実施例図である。FIG. 6 is a diagram showing an example of a conventional example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 半導体 2 蓋部 3 下部 4 コンタクトピン 5 コンタクト部 6 プローブピン 7 上部 8 ショートコンタクト部 9 放熱板 10 熱伝導シート 11 測定プリント回路板 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Semiconductor 2 Lid part 3 Lower part 4 Contact pin 5 Contact part 6 Probe pin 7 Upper part 8 Short contact part 9 Heat sink 10 Thermal conductive sheet 11 Measurement printed circuit board

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 チップサイズパッケージに構成した表面
実装形の半導体を試験するための当該半導体を実装する
ソケットであるCSPソケット構造において、半導体
(1)の端子と接触するコンタクトピン(4)に物理的
かつ電気的に対応してコンタクト部(5)を蓋部(2)
の下部(3)に設け、当該コンタクト部(5)を延長し
てプローブピン(6)を前記蓋部(2)の上部(7)に
貫通して構成したことを特徴とするCSPソケット構
造。
In a CSP socket structure which is a socket for mounting a semiconductor mounted on a chip-size package for testing a surface-mounted semiconductor, a contact pin (4) for contacting a terminal of the semiconductor (1) is physically connected to a contact pin (4). The contact part (5) is electrically and electrically corresponding to the lid part (2).
A CSP socket structure, wherein the contact portion (5) is extended to extend the probe pin (6) through the upper portion (7) of the lid portion (2).
【請求項2】 前記プローブピン(6)を蓋部(2)の
上部(7)の表面より落ち込んだ位置まで貫通して構成
したことを特徴とする請求項1記載のCSPソケット構
造。
2. The CSP socket structure according to claim 1, wherein said probe pin (6) penetrates to a position which is lowered from a surface of an upper part (7) of said lid part (2).
【請求項3】 前記プローブピン(6)を半導体(1)
の外周端子に対応した部分のみに取り付け、当該端子以
外の部分には相互を短絡するショートコンタクト部
(8)を設け、当該部分を代表してショートコンタクト
部(8)の4隅を延長してプローブピン(6)を構成し
たことを特徴とする請求項1記載のCSPソケット構
造。
3. The semiconductor device according to claim 1, wherein said probe pin is a semiconductor.
And a short contact portion (8) for short-circuiting each other is provided in a portion other than the terminal, and four corners of the short contact portion (8) are extended on behalf of the portion. 2. The CSP socket structure according to claim 1, wherein the probe pins (6) are formed.
【請求項4】 前記プローブピン(6)に放熱板(9)
を着脱自在に備えたことを特徴とする請求項1または3
記載のCSPソケット構造。
4. A radiator plate (9) is provided on the probe pin (6).
4. The device according to claim 1, further comprising:
CSP socket structure as described.
【請求項5】 熱伝導シート(10)を蓋部(2)の下
部(3)にコンタクト部(5)またはショートコンタク
ト部(8)に挟ませて構成したことを特徴とする請求項
1ないし4のいずれか1項記載のCSPソケット構造。
5. A heat conductive sheet (10) sandwiched between a contact part (5) or a short contact part (8) in a lower part (3) of a lid part (2). 5. The CSP socket structure according to any one of 4.
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JP2013250235A (en) * 2012-06-04 2013-12-12 Mitsubishi Electric Corp Inspection apparatus and inspection method

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