JP4973854B2 - 加圧接合装置及びそれを用いた圧電素子ユニットの製造方法 - Google Patents
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Description
かかる本発明の加圧接合装置では、位置決め治具を構成する当接部材とチャック部材とがそれぞれ独立しているため、これら当接部材及びチャック部材が圧電素子形成部材に接触することによる圧電素子形成部材の割れや欠けの発生を防止することができる。
かかる本発明の製造方法では、当接部材及びチャック部材が圧電素子形成部材に接触することによる圧電素子形成部材の割れや欠けの発生を確実に防止することができる。
図1は、本実施形態に係る加圧接合装置を用いて製造した圧電素子ユニットの概略斜視図であり、図2は、図1のA−A′断面図である。図1及び図2に示すように、圧電素子ユニット10は、複数の圧電素子11がその幅方向に並設された列12を有する圧電素子形成部材13と、圧電素子形成部材13の先端部側が自由端となるようにその基端部側が接着剤20によって接着される固定基板14とを有する。
Claims (5)
- 個別電極と共通電極とが圧電材料層を挟んで交互に複数積層されてなりその先端部側が複数のスリットによって櫛歯状に切り分けられた圧電素子の列と、該圧電素子の列の両外側に設けられた位置決め部とを備える圧電素子形成部材と、該圧電素子形成部材の基端部側が接合される固定基板と、を具備する圧電素子ユニットを形成する際に用いられ、前記圧電素子形成部材と前記固定基板とを位置決めした状態で加圧接合する加圧接合装置であって、
基台上の所定位置に前記固定基板を位置決めした状態で保持する保持治具と、
前記保持治具に保持された前記固定基板の端面に対向して移動可能に配されて前記圧電素子形成部材の前記先端部側の端面に当接される当接部材と、前記当接部材に沿って移動可能に当該当接部材の両端部に配されて前記圧電素子形成部材の両側端面にそれぞれ当接される一対のチャック部材とを有し、前記基台上の規定位置に前記圧電素子形成部材を位置決めして保持する位置決め治具と、
前記圧電素子形成部材を前記固定基板側に押圧する加圧手段と、
を具備し、
前記当接部材が、前記圧電素子形成部材の前記位置決め部が形成される部分にそれぞれ当接する突出部を有することを特徴とする加圧接合装置。 - 前記チャック部材の前記圧電素子形成部材側の面が、当該圧電素子形成部材側が凸となる曲面で形成されていることを特徴とする請求項1に記載の加圧接合装置。
- 前記位置決め治具が、前記圧電素子形成部材の基端部側の端面に当接して当該圧電素子形成部材を前記当接部材側に押圧する押圧部材をさらに有することを特徴とする請求項1又は2に記載の加圧接合装置。
- 請求項1〜3の何れか一項に記載の加圧接合装置を用いた圧電素子ユニットの製造方法であって、
前記保持治具によって所定位置に位置決めした状態で前記固定基板を前記基台上に保持し、
前記当接部材及び一方の前記チャック部材を前記規定位置に合わせて移動して固定し、
前記圧電素子形成部材を、その先端側の端面の前記位置決め部が形成される部分に前記当接部材の前記突出部が当接し且つその側端面が前記一方のチャック部材に当接するように前記固定基板上に接着剤を介して配置し、
他方の前記チャック部材を前記圧電素子形成部材の側端面に当接させて前記圧電素子形成部材を規定位置に位置決めし、
当該圧電素子形成部材を前記規定位置に位置決めした状態で、前記加圧手段によって前記圧電素子形成部材を前記固定基板側に押圧して前記接着剤によって前記圧電素子形成部材と前記固定基板とを接合することを特徴とする圧電素子ユニットの製造方法。 - 前記圧電素子形成部材と前記固定基板とを接合後、前記当接部材及び前記チャック部材のそれぞれを前記圧電素子形成部材の外側に向かって移動させてから前記圧電素子形成部材と前記固定基板との接合体を前記基台上から取り外すことを特徴とする請求項4に記載の圧電素子ユニットの製造方法。
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