JPH102843A - 製造工程管理システム - Google Patents

製造工程管理システム

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JPH102843A
JPH102843A JP15454196A JP15454196A JPH102843A JP H102843 A JPH102843 A JP H102843A JP 15454196 A JP15454196 A JP 15454196A JP 15454196 A JP15454196 A JP 15454196A JP H102843 A JPH102843 A JP H102843A
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JP
Japan
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power spectrum
allowable range
range curve
curve
calculating means
Prior art date
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Pending
Application number
JP15454196A
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English (en)
Inventor
Shoji Inabayashi
昌二 稲林
Takamitsu Gunji
隆充 郡司
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SYST SOGO KAIHATSU KK
Original Assignee
SYST SOGO KAIHATSU KK
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Publication date
Application filed by SYST SOGO KAIHATSU KK filed Critical SYST SOGO KAIHATSU KK
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Publication of JPH102843A publication Critical patent/JPH102843A/ja
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    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P90/00Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
    • Y02P90/02Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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    • Y02P90/00Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
    • Y02P90/30Computing systems specially adapted for manufacturing

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  • Testing Of Devices, Machine Parts, Or Other Structures Thereof (AREA)
  • Multi-Process Working Machines And Systems (AREA)
  • General Factory Administration (AREA)
  • Testing And Monitoring For Control Systems (AREA)
  • Management, Administration, Business Operations System, And Electronic Commerce (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 製造工程のチェックやその製品の品質を把握
するための判定を容易且つ確実に行うことができるとと
もに、状況変化に応じた判定基準の設定をも容易且つ確
実に行うこと。 【解決手段】 許容範囲カーブと随時求められたパワー
スペクトルとの比較を周波数軸上で行い、パワースペク
トルが許容範囲カーブ内に収まっている場合には正常で
あると判定し、パワースペクトルが許容範囲カーブから
外れている場合には異常であると判定する。ディスプレ
イ40には許容範囲カーブが表示されるとともに、パワ
ースペクトルが重畳表示されるので、視覚による正常又
は異常の判定が容易となる。許容範囲カーブは、パワー
スペクトルの平均値と標準偏差とで決定するとともに、
パワースペクトルの平均値と標準偏差とを、時間の経過
に追随して随時計算するとともに、その求められた値を
更新するようにしたので、現状にフィットした許容範囲
カーブが得られる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、連続的或いはバッ
チ的工程によって製造される生産物の品質に直接或いは
間接的に関与する製造工程の管理を行うための製造工程
管理システムに関する。
【0002】
【従来の技術】電動機等からの駆動力によって所定の生
成物を製造するための製造工程においては、製造工程の
チェックやその製品の品質を把握するために、電動機等
からの負荷信号(負荷電力又は負荷電流等)をFFT
(高速フーリエ変換)により分析して得られる周波数特
性であるパワースペクトルによって表現する方法が広く
知られている。
【0003】そして、このような方法により、電動機等
のような周期性をもった製造工程における生成物の微妙
な状態変化を捉えることができるようになっている。
【0004】すなわち、時間とともに変化する負荷の特
性を、その大きさ(Amplitude )、変化傾向(Trend
)、振動成分(Vibration )に分解して把握する方法
は極めてオーソドックスなものであり、これらの特性の
それぞれは負荷レベル(パワーの大小)、レベル変化
(概括的な経時変化)、パワースペクトル分布(内容物
の振動を通して観測される質的な特性)を代表するもの
とし、相互に補完することで、全体のプロセス特性が捉
えられるようになっている。
【0005】その中で周波数特性であるパワースペクト
ルによる製造工程の監視は、内容生成物の質的な状態の
推移を把握するための方法として利用されており、パワ
ースペクトルによって表現された対象状態(時系列的と
横断面的とを問わず)を判定して適正/異常の判断を行
ったり、特定の状態を検出したり、識別したりすること
が可能となっている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】ところが、このような
パワースペクトルによる場合、単一のスカラ量で表され
る一般的な判定基準とは異なり、周波数軸とパワー軸と
で構成される2次元空間上の曲線で表されることから、
判定のための基準(規準パターン)を設定するに際し
て、判定対象となる対象物についての豊富な知識と経験
に基づく高度な判断能力とが必要となっている。
【0007】すなわち、パワースペクトルによる製造工
程の監視においては、特定のプロセスのある時点のパワ
ースペクトルを規準パターンとして画面上で登録するこ
とが行われているが、単一のパワースペクトル曲線の登
録だけでは規準としての比較は可能であっても、個々の
測定におけるパワースペクトルの状態が適正か異常かの
判定を行うための規準とはならない。そこで、概略的な
上限カーブを追加設定してそれを超えるか否かによって
適否判定をさせる方法も提案されているが、その設定方
法は恣意的なものとならざるを得ないばかりか、規準パ
ターンの下方へのズレに対してはチェックがされないと
いう欠点もある。
【0008】また、得られた規準パターンが対象プロセ
スの経時的変化に対して常に有効性を維持できるよう
に、状況変化に追随させるための再設定も必要とされて
いる。
【0009】すなわち、このような状況変化への追随
は、人手による判断で設定をし直すというのが一般的で
あり、そのタイミング及び修正方法についての合理的な
基準は確立されていない。
【0010】本発明は、このような事情に対処してなさ
れたもので、製造工程のチェックやその製品の品質を把
握するための判定を容易且つ確実に行うことができると
ともに、状況変化に応じた判定環境の設定をも容易且つ
確実に行うことができる製造工程管理システムを提供す
ることを目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明は、
駆動源からの駆動力により、各種製造物を連続的又はバ
ッチ的に生産するための製造工程の管理を行う製造工程
管理システムにおいて、前記駆動源からの負荷情報のサ
ンプリングデータに対し、FFT(高速フーリエ変換)
処理を施して所定の帯域の周波数のパワースペクトルを
随時求めるパワースペクトル演算手段と、このパワース
ペクトル演算手段によって求められた周波数のパワース
ペクトルから所定の幅をもった許容範囲カーブを求める
許容範囲カーブ演算手段と、この許容範囲カーブ演算手
段によって求められた許容範囲カーブと前記パワースペ
クトル演算手段によって随時求められた周波数のパワー
スペクトルとの比較を行う比較手段と、この比較手段に
よる比較の結果、前記パワースペクトル演算手段によっ
て随時求められた周波数のパワースペクトルが前記許容
範囲カーブ内に収まっている場合には正常であると判定
し、前記パワースペクトルが前記許容範囲カーブから外
れている場合には異常であると判定する判定手段とが具
備されていることを特徴とする。
【0012】請求項1記載の発明によれば、許容範囲カ
ーブ演算手段によって求められた許容範囲カーブとパワ
ースペクトル演算手段によって随時求められた周波数の
パワースペクトルとの比較により、判定手段によって随
時求められた周波数のパワースペクトルが許容範囲カー
ブ内に収まっている場合には正常であると判定され、パ
ワースペクトルが許容範囲カーブから外れている場合に
は異常であると判定される。
【0013】許容範囲カーブは新しいパワースペクトル
を基にして随時計算され更新されるため、経時変化に伴
うシステムの質的な変化があっても、その変化に対応し
た許容範囲カーブの設定が可能となり、製造工程のチェ
ックやその製品の品質を管理するための判定が容易且つ
確実なものとなる。
【0014】請求項2記載の発明は、許容範囲カーブ演
算手段によって求められた前記許容範囲カーブを表示す
るとともに、前記許容範囲カーブに対して前記パワース
ペクトル演算手段によって求められた前記周波数のパワ
ースペクトルを重畳表示する表示手段が具備されている
ことを特徴とする。
【0015】請求項2記載の発明によれば、表示手段に
許容範囲カーブ演算手段によって求められた許容範囲カ
ーブが表示されるとともに、パワースペクトル演算手段
によって求められた周波数のパワースペクトルが重畳表
示されるので、視覚による正常又は異常の判定確認が容
易となる。
【0016】請求項3記載の発明は、許容範囲カーブ演
算手段によって求められた前記許容範囲カーブは、前記
パワースペクトル演算手段によって求められた前記パワ
ースペクトルの平均値と標準偏差とで決定されることを
特徴とする。
【0017】請求項3記載の発明によれば、許容範囲カ
ーブを、パワースペクトル演算手段によって求められた
パワースペクトルの平均値と標準偏差とで決定するよう
にしたので、経時変化に伴うシステムの質的な変化があ
っても、その変化に対応した許容範囲カーブの設定が可
能となる。
【0018】請求項4記載の発明は、パワースペクトル
の平均値と標準偏差とは、時間の経過に追随して随時計
算されるとともに、その求められた値が更新されること
を特徴とする。
【0019】請求項4記載の発明によれば、パワースペ
クトルの平均値と標準偏差とで決定される許容範囲カー
ブが随時更新されることで、現状にフィットした許容範
囲カーブの設定が可能となる。
【0020】請求項5の発明は、前記許容範囲カーブ演
算手段によって求められた許容範囲カーブは記憶手段に
記憶されることを特徴とする。
【0021】請求項5の発明によれば、許容範囲カーブ
演算手段によって求められた許容範囲カーブが記憶手段
に記憶されるので、最新の許容範囲カーブの使用が可能
となる。
【0022】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。図1は、本発明の工程管理システ
ムの一実施の形態を示すものである。
【0023】同図に示すように、工程管理システムの製
造装置10は、たとえば混練りを伴う製品を製造するた
めのものであり、モータ20からの駆動力を得て混練り
動作を行うようになっている。また、製造装置10に
は、予めバッチ処理を行うものと、連続処理を行うもの
とが別個に用意されており、運転開始スイッチ11の操
作によってバッチ処理又は連続処理の動作の開始タイミ
ングが与えられるようになっている。
【0024】なお、製造装置10における処理は、混練
りに限らず、掻き混ぜや捏ね等の処理も可能である。
【0025】ここで、運転開始スイッチ11によってバ
ッチ処理又は連続処理が開始されると、開始を示す信号
がパソコン本体30側のDI(ディジタル入力ボード)
32を介してCPU31に与えられ、運転開始タイミン
グが認識できる。
【0026】モータ20の負荷特性(負荷電力等)を示
すアナログ信号は、パソコン本体30側のA/D変換器
33によってディジタル信号に変換されるようになって
いる。ここで、モータ20の負荷特性には、製品の内面
を表す特性(言い換えれば製品の品質を表す特性であ
る)が含まれていると考えられている。
【0027】また、パソコン本体30側のCPU31
は、図示しないメモリに格納されているFFT計算プロ
グラムに基づいた演算により、図2に示すような許容範
囲カーブ(パワースペクトルの上下限の許容値を表すも
の)やパワースペクトル等を求めるようになっている。
更に、パソコン本体30側のハードディスク34には、
上記の許容範囲カーブ等が記録されるようになっている
とともに、製造工程のチェックやその製品の品質を把握
するための判定が行われる際に、パソコン本体30の周
辺機器であるディスプレイ40に表示されるようになっ
ている。
【0028】更にまた、ディスプレイ40には、CPU
31によって求められたパワースペクトルが許容範囲カ
ーブに対して重畳表示されるようになっており、そのパ
ワースペクトルが許容範囲カーブから外れている場合に
は、製造装置10及び/又はモータ20に何らかの異常
が発生していることを容易に推定されるようになってい
る。
【0029】ここで、キーボード50のキー入力によ
り、ハードディスク34に記録されている許容範囲カー
ブのデータが更新されるようになっているため、パワー
スペクトルが正常である場合に、そのデータに基づき許
容範囲カーブの更新を行うことで、常に状況の変化に応
じた最新の許容範囲カーブ保持が可能となっている。ち
なみに、上記のCPU31によって求められたパワース
ペクトルのデータもハードディスク34に記録されるよ
うになっている。
【0030】続いて、以上のような構成の製造工程管理
システムの動作を、図3乃至図5を用いて説明する。
【0031】まず、図3のフローを用いてバッチ処理の
動作説明を行う。すなわち、製造装置10の混練りが開
始されると(ステップ301)、t秒後の許容範囲カー
ブがディスプレイ40に表示される(ステップ30
2)。次いで、(ステップ303,304)で得られた
情報がA/D変換された後、FFT演算によってパワー
スペクトルが求められる(ステップ306,307)。
【0032】ここで、上記のパワースペクトル及び許容
範囲カーブの求め方について説明する。
【0033】すなわち、製造装置10に駆動力を与える
ためのモータ20の負荷特性の情報をある時刻tから、
サンプリング間隔ΔTでm個収集する。ここで、その負
荷特性としては、上述した負荷電力に限らず、振動或い
は音声信号等の情報も含まれる。
【0034】そして、パソコン本体30側のCPU31
がFFT計算プログラムに基づき、上記のサンプリング
データの演算処理を行う。
【0035】すなわち、そのデータをFFT計算プログ
ラムに従って、周波数成分に分解すると、m個の周波数
成分のパワースペクトルが求まる。このとき、時間tに
おける周波数fi のパワースペクトルを P(t,fi ) (i=1,2,・・・m) と記述する。
【0036】そして、t1 ,t2 ,t3 ,・・・tn の
各時点でのパワースペクトルが求められると、t1 〜t
n までのn個のデータに基づき、各周波数別に平均値S
1 (fi )と標準偏差σ(fi )とが求められるが、こ
れらを求めるに先立ち、二乗和の平均値S2 (fi )を
求めておく。
【0037】すなわち、平均値S1 (fi ),S2 (f
i )及び標準偏差σ(fi )は、次の〜式によって
求められる。
【数1】
【0038】また、許容範囲カーブH(fi )は、次の
式によって求めることができる。
【数2】
【0039】ここで、αは、α=2であれば許容範囲カ
ーブの中に観測値の入る確率が95.5%であることが
統計的に知られている。したがって、FFTによって求
められたパワースペクトルがこの許容範囲カーブから外
れた場合には、製造装置10及び/又はモータ20に何
らかの異常が発生しているとみなすことができる。
【0040】ちなみに、α=1の場合は63.8%、α
=3の場合は99.7%の管理基準で管理することがで
きるようになっている。
【0041】ここで、許容範囲カーブを高精度で表示す
るためには、データ数nを増やして式に従いH(fi
)を求めればよいが、nが大きすぎると必要以上に過
去のデータに引きずられて新しいデータの効果が薄れて
しまう。また逆にnが小さすぎると、統計的な根拠が成
立し難くなる(ちなみに、特異なデータ等が使われたと
きには許容範囲カーブは歪んだものになってしまうの
で、注意を要する)。
【0042】このnは対象システムによってそれぞれ適
切な値があるものと考えられるが、現存のシステムにお
いては、妥当なnを使用しているものとして、(n+
1)個目のデータP(tn+1 ,fi )が得られたとき、
これで許容範囲カーブの更新を行う場合の平均値S1
(fi )と二乗平均値S2 (fi ) は次のようにして求
められる。
【0043】
【数3】
【0044】つまり、S1 (fi ),S2 (fi ) は平
均的な値が1つ無くなり、新しいデータが1つ追加され
た意味合いをもつ。この結果を用いることにより、上記
の,式より更新された許容範囲カーブH(fi ) が
得られる。
【0045】そして、このようにして得られた許容範囲
カーブH(fi ) を、周波数軸上に表示するとともに、
現在のデータによって求めたパワースペクトルが重畳表
示される(ステップ307)。この状態で、パワースペ
クトルが許容範囲カーブから外れているか否かが判定さ
れ、図5に示すように、パワースペクトルが許容範囲カ
ーブ内に収まっている場合は正常と判定され、図6に示
すように、パワースペクトルが許容範囲カーブから外れ
ている場合には異常と判定される(ステップ308〜3
10)。
【0046】以上のようなパワースペクトルの正常又は
異常の判定が数回繰り返された後、バッチ処理が終了さ
れると、許容範囲カーブの更新の有無が判断される(ス
テップ311〜313)。
【0047】ここで、許容範囲カーブの更新を行う場
合、上述したように、キーボード50のキー入力によ
り、ハードディスク34に記録されている許容範囲カー
ブのデータが更新されるとともに、CPU31によって
求められたパワースペクトルのデータも併せてハードデ
ィスク34に記録される(ステップ314,315)。
【0048】このように、許容範囲カーブのデータの更
新とともに、パワースペクトルのデータの記録の繰り返
しによって現状にフィットした適切な許容範囲カーブが
構築されることになり、より適切な管理が可能となるば
かりか、この許容範囲カーブのデータはハードディスク
34に記録されるため、常に最適な許容範囲カーブの使
用が可能となる。
【0049】一方、製造装置10が連続的な処理工程で
ある場合、図4に示すフローに従う。
【0050】すなわち、(ステップ401)において、
ディスプレイ40に上述のように更新によって最適化さ
れたハードディスク34の許容範囲カーブが表示され
る。そして、(ステップ402)〜(ステップ410)
まで上述した手順に従って流れ、(ステップ411)に
て許容範囲カーブの更新がなされ、(ステップ412)
において収集データの記録が行われる。
【0051】このように、本実施の形態では、比較手段
(たとえば(ステップ308))による許容範囲カーブ
演算手段としてのCPU31によって求められた許容範
囲カーブとパワースペクトル演算手段(たとえば(ステ
ップ306))によって随時求められた周波数のパワー
スペクトルとの比較が行われるとともに、判定手段(た
とえば(ステップ309,310))によって周波数の
パワースペクトルが許容範囲カーブ内に収まっている場
合には正常であると判定され、パワースペクトルが許容
範囲カーブから外れている場合には異常であると判定さ
れる。
【0052】また、許容範囲カーブは(ステップ31
4)で常に最新のデータを基にして構築することができ
るので、経時変化に伴うシステムの質的な変化があって
も、その変化に対応した製造工程のチェックやその製品
の品質を把握するための判定が容易且つ確実なものとな
る。
【0053】また、表示手段としてのディスプレイ40
に上記の許容範囲カーブが表示されるとともに、パワー
スペクトル演算手段(たとえば(ステップ306))に
よって求められた周波数のパワースペクトルが重畳表示
されるので、視覚による正常又は異常の判定確認が容易
となる。
【0054】更に、許容範囲カーブを、パワースペクト
ル演算手段(たとえば(ステップ306))によって求
められたパワースペクトルの平均値と標準偏差とで決定
するようにしたので、経時変化に伴うシステムの質的な
変化があっても、その変化に対応した許容範囲カーブの
設定が上記同様に可能となる。
【0055】更にまた、パワースペクトルの平均値と標
準偏差とを、時間の経過に追随して随時計算するととも
に、その求められた値を更新するようにしたので、現状
にフィットした許容範囲カーブが得られる。
【0056】また、許容範囲カーブ演算手段としてのC
PU31によって求められた許容範囲カーブが記憶手段
としてのハードディスク34に記憶されるので、最新の
許容範囲カーブの使用が可能となる。なお、上記の実施
の形態では、サンプリングデータの演算処理を行うため
にFFTを採用した場合について説明したが、この例に
限らず、ウェーブレッド解析を用いるようにしてもよ
い。
【0057】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の製造工程
管理システムによれば、許容範囲カーブ演算手段によっ
て求められた許容範囲カーブとパワースペクトル演算手
段によって随時求められたパワースペクトルとの周波数
軸上での比較により、パワースペクトルが許容範囲カー
ブ内に収まっている場合には正常であると判定し、パワ
ースペクトルが許容範囲カーブから外れている場合には
異常であると判定することができる。また許容範囲カー
ブは正常の実測データから得られたパワースペクトルに
より更新することができるので、経時変化に伴うシステ
ムの質的な変化があっても、その変化に対応した判定が
可能となる。
【0058】また、表示手段に許容範囲カーブ演算手段
によって求められた許容範囲カーブが表示されるととも
に、パワースペクトル演算手段によって求められたパワ
ースペクトルが周波数軸上で重畳表示されるので、視覚
による正常又は異常の判定が容易となる。
【0059】更に、許容範囲カーブを、パワースペクト
ル演算手段によって求められたパワースペクトルの平均
値と標準偏差とで決定するようにしたので、経時変化に
伴うシステムの質的な変化があっても、その変化に対応
した許容範囲カーブの更新が可能となる。
【0060】更にまた、パワースペクトルの平均値と標
準偏差とで決定される許容範囲カーブが随時更新される
ことで、現状によりフィットした設定とされる。
【0061】また、許容範囲カーブ演算手段によって求
められた許容範囲カーブが記憶手段に記憶されるので、
最新の許容範囲カーブの使用が可能となる。
【0062】したがって、製造工程のチェックやその製
品の品質を把握するための判定を容易且つ確実に行うこ
とができるとともに、状況変化に応じた判定環境の設定
をも容易且つ確実に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の工程管理システムの一実施の形態を示
すブロック図である。
【図2】図1の工程管理システムにおける許容範囲カー
ブと測定パワースペクトルとの関係を示す図である。
【図3】図1の工程管理システムにおけるバッチ処理の
動作を示すフローチャートである。
【図4】図1の工程管理システムにおける連続処理の動
作を示すフローチャートである。
【図5】図1の工程管理システムにおける動作状態の判
定結果を示す図である。
【図6】図1の工程管理システムにおける動作状態の判
定結果を示す図である。
【符号の説明】
10 製造装置 11 運転開始スイッチ 20 モータ 30 パソコン本体 33 A/D変換器 34 ハードディスク 40 ディスプレイ 50 キーボード
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成8年7月11日
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0037
【補正方法】変更
【補正内容】
【0037】すなわち、平均値S1 (fi ),S2 (f
i )及び標準偏差σ(fi )は、次の〜式によって
求められる。
【数1】
【手続補正2】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0038
【補正方法】変更
【補正内容】
【0038】また、許容範囲カーブH(fi )は、次の
式によって求めることができる。
【数2】
【手続補正3】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0041
【補正方法】変更
【補正内容】
【0041】ここで、許容範囲カーブを高精度で表示す
るためには、データ数nを増やして式に従いH(fi
)を求めればよいが、nが大きすぎると必要以上に過
去のデータに引きずられて新しいデータの効果が薄れて
しまう。また逆にnが小さすぎると、統計的な根拠が成
立し難くなる(ちなみに、特異なデータ等が使われたと
きには許容範囲カーブは歪んだものになってしまうの
で、注意を要する)。
【手続補正4】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0043
【補正方法】変更
【補正内容】
【0043】
【数3】
【手続補正5】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図1
【補正方法】変更
【補正内容】
【図1】

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 駆動源からの駆動力により、各種製造物
    を連続的又はバッチ的に生産するための製造工程の管理
    を行う製造工程管理システムにおいて、 前記駆動源からの負荷情報のサンプリングデータに対
    し、FFT(高速フーリエ変換)処理を施して所定の帯
    域の周波数のパワースペクトルを随時求めるパワースペ
    クトル演算手段と、 このパワースペクトル演算手段によって求められた周波
    数のパワースペクトルから所定の幅をもった許容範囲カ
    ーブを求める許容範囲カーブ演算手段と、 この許容範囲カーブ演算手段によって求められた許容範
    囲カーブと前記パワースペクトル演算手段によって随時
    求められた周波数のパワースペクトルとの比較を行う比
    較手段と、 この比較手段による比較の結果、前記パワースペクトル
    演算手段によって随時求められた周波数のパワースペク
    トルが前記許容範囲カーブ内に収まっている場合には正
    常であると判定し、前記パワースペクトルが前記許容範
    囲カーブから外れている場合には異常であると判定する
    判定手段とが具備されていることを特徴とする製造工程
    管理システム。
  2. 【請求項2】 前記許容範囲カーブ演算手段によって求
    められた前記許容範囲カーブを表示するとともに、前記
    許容範囲カーブに対して前記パワースペクトル演算手段
    によって求められた前記周波数のパワースペクトルを重
    畳表示する表示手段が具備されていることを特徴とする
    請求項1記載の製造工程管理システム。
  3. 【請求項3】 前記許容範囲カーブ演算手段によって求
    められた前記許容範囲カーブは、前記パワースペクトル
    演算手段によって求められた前記パワースペクトルの平
    均値と標準偏差とで決定されることを特徴とする請求項
    1又は2記載の製造工程管理システム。
  4. 【請求項4】 前記パワースペクトルの平均値と標準偏
    差とは、時間の経過に追随して随時計算されるととも
    に、その求められた値が更新されることを特徴とする請
    求項1、2又は3記載の製造工程管理システム。
  5. 【請求項5】 前記許容範囲カーブ演算手段によって求
    められた許容範囲カーブは記憶手段に記憶されることを
    特徴とする請求項1、2、3又は4記載の製造工程管理
    システム。
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