JPH10279070A - 基板搬送用フィンガ - Google Patents
基板搬送用フィンガInfo
- Publication number
- JPH10279070A JPH10279070A JP9410597A JP9410597A JPH10279070A JP H10279070 A JPH10279070 A JP H10279070A JP 9410597 A JP9410597 A JP 9410597A JP 9410597 A JP9410597 A JP 9410597A JP H10279070 A JPH10279070 A JP H10279070A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- finger
- height
- glass substrate
- suction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Manipulator (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】各支持点に確実に接触した状態で基板を吸着
し、搬送することができる基板搬送用フィンガを提供す
る。 【解決手段】基板を吸着して搬送するための基板搬送用
フィンガであって、平板状のフィンガ本体1と、フィン
ガ本体1上に配設され、基板を支持するための高さの等
しい少なくとも4つの支持部材2と、支持部材2の間の
略中央部に配置された基板を吸着するための吸着部材3
であって、少なくとも4つの支持部材2と高さの異なる
少なくとも1つの吸着部材3とを具備する。
し、搬送することができる基板搬送用フィンガを提供す
る。 【解決手段】基板を吸着して搬送するための基板搬送用
フィンガであって、平板状のフィンガ本体1と、フィン
ガ本体1上に配設され、基板を支持するための高さの等
しい少なくとも4つの支持部材2と、支持部材2の間の
略中央部に配置された基板を吸着するための吸着部材3
であって、少なくとも4つの支持部材2と高さの異なる
少なくとも1つの吸着部材3とを具備する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示装置用ガ
ラス基板等の基板を吸着して搬送するための基板搬送用
フィンガに関するものである。
ラス基板等の基板を吸着して搬送するための基板搬送用
フィンガに関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、ガラス基板の搬送用フィンガとし
ては、本願出願人が既に出願している特開平8−208
003号に記載されたものが知られている。
ては、本願出願人が既に出願している特開平8−208
003号に記載されたものが知られている。
【0003】この従来例では、ガラス基板搬送用フィン
ガは、クリーン度を保ったあと、ガラス基板表面に傷等
をつけないように必要最少限の支持点で支持及び吸着を
行っている。
ガは、クリーン度を保ったあと、ガラス基板表面に傷等
をつけないように必要最少限の支持点で支持及び吸着を
行っている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来例では、各支持点の高さに機械加工精度でバラツキ
があり、一様にならない場合があり、ガラス基板の搬送
中に支持点に接触しないガラス基板の部分が振動してた
たき音が発生したりや、吸着ミスが発生する場合がある
という問題点があった。
従来例では、各支持点の高さに機械加工精度でバラツキ
があり、一様にならない場合があり、ガラス基板の搬送
中に支持点に接触しないガラス基板の部分が振動してた
たき音が発生したりや、吸着ミスが発生する場合がある
という問題点があった。
【0005】従って、本発明は上述した課題に鑑みてな
されたものであり、その目的は、各支持点に確実に接触
した状態で基板を吸着し、搬送することができる基板搬
送用フィンガを提供することである。
されたものであり、その目的は、各支持点に確実に接触
した状態で基板を吸着し、搬送することができる基板搬
送用フィンガを提供することである。
【0006】
【課題を解決するための手段】上述した課題を解決し、
目的を達成するために、本発明に係わる基板搬送用フィ
ンガは、基板を吸着して搬送するための基板搬送用フィ
ンガであって、平板状のフィンガ本体と、該フィンガ本
体上に配設され、前記基板を支持するための高さの等し
い少なくとも4つの支持部材と、該支持部材の間の略中
央部に配置された前記基板を吸着するための吸着部材で
あって、前記少なくとも4つの支持部材と高さの異なる
少なくとも1つの吸着部材とを具備することを特徴とし
ている。
目的を達成するために、本発明に係わる基板搬送用フィ
ンガは、基板を吸着して搬送するための基板搬送用フィ
ンガであって、平板状のフィンガ本体と、該フィンガ本
体上に配設され、前記基板を支持するための高さの等し
い少なくとも4つの支持部材と、該支持部材の間の略中
央部に配置された前記基板を吸着するための吸着部材で
あって、前記少なくとも4つの支持部材と高さの異なる
少なくとも1つの吸着部材とを具備することを特徴とし
ている。
【0007】また、この発明に係わる基板搬送用フィン
ガにおいて、前記フィンガは、搬送用ロボットに水平に
片持ち固定されていることを特徴としている。
ガにおいて、前記フィンガは、搬送用ロボットに水平に
片持ち固定されていることを特徴としている。
【0008】また、この発明に係わる基板搬送用フィン
ガにおいて、前記吸着部材は、前記支持部材間の中心線
状に3個並んで配置されていることを特徴としている。
ガにおいて、前記吸着部材は、前記支持部材間の中心線
状に3個並んで配置されていることを特徴としている。
【0009】また、この発明に係わる基板搬送用フィン
ガにおいて、前記吸着部材の上面の高さは、前記少なく
とも4個の支持部材の上面の高さよりも所定値だけ高く
設定されている特徴としている。
ガにおいて、前記吸着部材の上面の高さは、前記少なく
とも4個の支持部材の上面の高さよりも所定値だけ高く
設定されている特徴としている。
【0010】また、この発明に係わる基板搬送用フィン
ガにおいて、前記支持部材が支持する四角形状の前記基
板の縦の長さをA、横の長さをBとすると、前記支持部
材は前記基板の横の辺より0.21×Aだけ内側で且つ
縦の辺より0.21×Bだけ内側の位置に配置されてい
ることを特徴としている。
ガにおいて、前記支持部材が支持する四角形状の前記基
板の縦の長さをA、横の長さをBとすると、前記支持部
材は前記基板の横の辺より0.21×Aだけ内側で且つ
縦の辺より0.21×Bだけ内側の位置に配置されてい
ることを特徴としている。
【0011】また、この発明に係わる基板搬送用フィン
ガにおいて、前記少なくとも4個の支持部材は、前記フ
ィンガ本体に対して高さ調整可能に配設されていること
を特徴としている。
ガにおいて、前記少なくとも4個の支持部材は、前記フ
ィンガ本体に対して高さ調整可能に配設されていること
を特徴としている。
【0012】また、この発明に係わる基板搬送用フィン
ガにおいて、前記少なくとも4個の支持部材は、スペー
サにより前記フィンガ本体に対して高さ調整可能に配設
されていることを特徴としている。
ガにおいて、前記少なくとも4個の支持部材は、スペー
サにより前記フィンガ本体に対して高さ調整可能に配設
されていることを特徴としている。
【0013】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な一実施形態
について、添付図面を参照して詳細に説明する。
について、添付図面を参照して詳細に説明する。
【0014】図1は、本発明の一実施形態に係わる基板
搬送用フィンガのフィンガ本体を上方から見た斜視図で
ある。また、図2は図1のフィンガ本体を背面から見た
斜視図、図3乃至図5はそれぞれ図1のフィンガ本体の
A−A、C−CおよびB−Bにおける断面図である。
搬送用フィンガのフィンガ本体を上方から見た斜視図で
ある。また、図2は図1のフィンガ本体を背面から見た
斜視図、図3乃至図5はそれぞれ図1のフィンガ本体の
A−A、C−CおよびB−Bにおける断面図である。
【0015】フィンガ本体1は図3に示す断面形状Aを
有する第1形状部1aと図5に示す断面形状Bを有する
第2形状部1bと複数(図1では4か所)の基板支持用
張出し部1c(図4参照)とから構成される。張出し部
1cには、不図示の基板を支持するための支持部材2が
設けられている。
有する第1形状部1aと図5に示す断面形状Bを有する
第2形状部1bと複数(図1では4か所)の基板支持用
張出し部1c(図4参照)とから構成される。張出し部
1cには、不図示の基板を支持するための支持部材2が
設けられている。
【0016】第1形状部1aの中心線上には、基板を吸
着するための吸着パッド3が設けられている(図1では
3か所)。フィンガ本体1の裏面には、図2に示すよう
に、基板を吸着するための吸着エアーを導くための配管
部4が配設されている。具体的にはフィンガ本体1に溝
4を切り、後で帯状部材5を接着剤等で接着し、溝4を
密封することによって、配管路を構成している。もちろ
ん、ロングドリル等で丸穴をあけてもよい。溝4は図1
の吸着パッド部において吸着パッド3の穴3aと貫通し
ている。
着するための吸着パッド3が設けられている(図1では
3か所)。フィンガ本体1の裏面には、図2に示すよう
に、基板を吸着するための吸着エアーを導くための配管
部4が配設されている。具体的にはフィンガ本体1に溝
4を切り、後で帯状部材5を接着剤等で接着し、溝4を
密封することによって、配管路を構成している。もちろ
ん、ロングドリル等で丸穴をあけてもよい。溝4は図1
の吸着パッド部において吸着パッド3の穴3aと貫通し
ている。
【0017】フィンガ1をロボット等と固定する部分に
は取付用ボルト穴7および吸着エア供給用穴6が形成さ
れている。上述のように構成されたフィンガは、図6の
ようにロボット101(詳細図は図示せず)に固定さ
れ、例えばカセット102にガラス基板103を収納し
たり、逆にカセットからガラス基板104を取り出した
りするのに用いられる。
は取付用ボルト穴7および吸着エア供給用穴6が形成さ
れている。上述のように構成されたフィンガは、図6の
ようにロボット101(詳細図は図示せず)に固定さ
れ、例えばカセット102にガラス基板103を収納し
たり、逆にカセットからガラス基板104を取り出した
りするのに用いられる。
【0018】次に基板支持部材2の位置であるが、図7
に示すように基板103の寸法をP×Q、基板支持部材
2の各辺からの距離をp,qとすると、公知のとおり、 p1 =0.21P、q1 =0.21Q …(1) となるようにp及びqの値を概略決定すると基板のたわ
み量が最小となる。
に示すように基板103の寸法をP×Q、基板支持部材
2の各辺からの距離をp,qとすると、公知のとおり、 p1 =0.21P、q1 =0.21Q …(1) となるようにp及びqの値を概略決定すると基板のたわ
み量が最小となる。
【0019】次に、本発明の特徴的な部分である基板支
持部材2及び吸着パッド3の高さ関係について述べる。
持部材2及び吸着パッド3の高さ関係について述べる。
【0020】ガラス基板103を図7に示した状態で支
持したときのガラス基板103の変形は図8(b)のよ
うになり、基板103のガラス基板吸着部a,b,cで
の変形はX−X断面、Y−Y断面でそれぞれ示され、そ
の変形量をv1 ,v2 とすると、v1 <v2 となる関係
がある。つまり、吸着部bに対応するガラス基板103
の部位は吸着部a,cに対応するガラス基板103の部
位よりも変形量が大きい。
持したときのガラス基板103の変形は図8(b)のよ
うになり、基板103のガラス基板吸着部a,b,cで
の変形はX−X断面、Y−Y断面でそれぞれ示され、そ
の変形量をv1 ,v2 とすると、v1 <v2 となる関係
がある。つまり、吸着部bに対応するガラス基板103
の部位は吸着部a,cに対応するガラス基板103の部
位よりも変形量が大きい。
【0021】次に、図9のようにガラス基板103を3
ヶ所の吸着部パッド3のみで吸着支持したとき(すなわ
ち基板支持部材2を取り除いた状態)のガラス基板10
3の変形は、図9(b)のようになり、ガラス基板支持
部に対応する位置a’,b’,c’,d’での変形は
X’−X’断面で示される。その変形量をv1 ’とす
る。
ヶ所の吸着部パッド3のみで吸着支持したとき(すなわ
ち基板支持部材2を取り除いた状態)のガラス基板10
3の変形は、図9(b)のようになり、ガラス基板支持
部に対応する位置a’,b’,c’,d’での変形は
X’−X’断面で示される。その変形量をv1 ’とす
る。
【0022】更に、前記のようにガラス基板103を図
8のように支持したときとのたわみ量の比較を行うと、
v1 <v2 <v1 ’なる関係がある。すなわち、ガラス
基板103を吸着パッドのみで支持したときが、ガラス
基板103のたわみ量が最も大きくなる。
8のように支持したときとのたわみ量の比較を行うと、
v1 <v2 <v1 ’なる関係がある。すなわち、ガラス
基板103を吸着パッドのみで支持したときが、ガラス
基板103のたわみ量が最も大きくなる。
【0023】例えば、図7において、Q=360mm、
P=465mm、q1 =75mm、p1 =97.5mm
とすると、厚さt=1.1mm、t=0.7mmのガラ
ス基板の各部位の変形量は図11のようになる。
P=465mm、q1 =75mm、p1 =97.5mm
とすると、厚さt=1.1mm、t=0.7mmのガラ
ス基板の各部位の変形量は図11のようになる。
【0024】当然ながら、ガラス基板103の厚みが厚
い方が支持時の変形量が少ない。
い方が支持時の変形量が少ない。
【0025】このようにガラス基板103を図8のよう
に外側4ヶ所の支持部で支持するか、図9のように3ヶ
所の吸着パッド3で支持するかによって、外側4ヶ所の
支持部2の上面の高さと、3ヶ所の吸着パッド3の上面
の高さの差に要求される精度(許容公差)が変わってく
る。
に外側4ヶ所の支持部で支持するか、図9のように3ヶ
所の吸着パッド3で支持するかによって、外側4ヶ所の
支持部2の上面の高さと、3ヶ所の吸着パッド3の上面
の高さの差に要求される精度(許容公差)が変わってく
る。
【0026】言い換えれば、ガラス基板103を外側4
ヶ所の基板支持部材2で支持する場合には、吸着パッド
3の高さが、基板支持部材2と同じ高さか、ガラス基板
103の中央部での自重変形分だけ低い高さとの間にあ
れば、吸着パッド3でガラス基板103を吸着したとき
にガラス基板103が支持部材2から浮いてしまうこと
もないし、吸着パッド3がガラス基板103を吸着でき
ないことも起こらない。すなわち、支持部材2の高さと
吸着パッド3の高さの差に要求される許容公差は、(支
持部材2の高さ)と(支持部材2の高さ−ガラス基板の
自重変形によるたわみ量)の間となる。また、3つの吸
着パッド3でガラス基板103を支持する場合も同様
で、支持部材2の高さと吸着パッド3の高さの差に要求
される許容公差は、(支持部材2の高さ)と(支持部材
2の高さ−ガラス基板の自重変形によるたわみ量)の間
となる。
ヶ所の基板支持部材2で支持する場合には、吸着パッド
3の高さが、基板支持部材2と同じ高さか、ガラス基板
103の中央部での自重変形分だけ低い高さとの間にあ
れば、吸着パッド3でガラス基板103を吸着したとき
にガラス基板103が支持部材2から浮いてしまうこと
もないし、吸着パッド3がガラス基板103を吸着でき
ないことも起こらない。すなわち、支持部材2の高さと
吸着パッド3の高さの差に要求される許容公差は、(支
持部材2の高さ)と(支持部材2の高さ−ガラス基板の
自重変形によるたわみ量)の間となる。また、3つの吸
着パッド3でガラス基板103を支持する場合も同様
で、支持部材2の高さと吸着パッド3の高さの差に要求
される許容公差は、(支持部材2の高さ)と(支持部材
2の高さ−ガラス基板の自重変形によるたわみ量)の間
となる。
【0027】具体的には、図8のように外側4ヶ所の支
持部材2の上面を基準とし、360×465mm、t=
1.1mmのガラス基板103を把持しようとした時、
支持部材2の上面の高さと3ヶ所の吸着パッド3の上面
との高さの差の公差(この場合、支持部材2の上面より
吸着パッド3の上面のほうが低い)は、a,c部で0.
05mm以下、b部で0.17mm以下となる。支持部
材2の高さと吸着パッド3の高さの差がこれらの数値以
内のとき、ガラス基板103は全ての支持点および吸着
面で接触する。高さの差がこれより大きくなると吸着面
に接触せず、吸着不能となる。これがガラス基板の中凹
把持である。
持部材2の上面を基準とし、360×465mm、t=
1.1mmのガラス基板103を把持しようとした時、
支持部材2の上面の高さと3ヶ所の吸着パッド3の上面
との高さの差の公差(この場合、支持部材2の上面より
吸着パッド3の上面のほうが低い)は、a,c部で0.
05mm以下、b部で0.17mm以下となる。支持部
材2の高さと吸着パッド3の高さの差がこれらの数値以
内のとき、ガラス基板103は全ての支持点および吸着
面で接触する。高さの差がこれより大きくなると吸着面
に接触せず、吸着不能となる。これがガラス基板の中凹
把持である。
【0028】一方、図9のように3ヶ所の吸着パッド3
の上面を基準として360×465mm、t=1.1m
mのガラス基板103を把持しようとしたとき、外側4
ヶ所の支持部材2の上面の高さと吸着パッド3の上面の
高さの差の公差(この場合、支持部材2の上面より吸着
パッド3の上面のほうが高い)は0.2mm以下とな
る。図8の場合と同様に支持部材2の高さと吸着パッド
3の高さの差がこの数値以内のときガラス基板103は
全ての支持点および吸着面で接触する。高さの差がこれ
より大きくなると吸着面に接触せず、吸着不能となる。
これがガラス基板の中凸把持である。
の上面を基準として360×465mm、t=1.1m
mのガラス基板103を把持しようとしたとき、外側4
ヶ所の支持部材2の上面の高さと吸着パッド3の上面の
高さの差の公差(この場合、支持部材2の上面より吸着
パッド3の上面のほうが高い)は0.2mm以下とな
る。図8の場合と同様に支持部材2の高さと吸着パッド
3の高さの差がこの数値以内のときガラス基板103は
全ての支持点および吸着面で接触する。高さの差がこれ
より大きくなると吸着面に接触せず、吸着不能となる。
これがガラス基板の中凸把持である。
【0029】以上にようにみてみると、中凸把持の方が
支持部材2と吸着パッド3の高さの差に許される公差が
大きくとれるため、基板搬送フィンガの製作上の精度が
ゆるくなり有利であることがわかる(図10のx)。ま
た、実際にはガラス基板103に初期ソリがあったり、
プロセス(工程)による変形があったりするため、交差
の範囲は若干大小する。
支持部材2と吸着パッド3の高さの差に許される公差が
大きくとれるため、基板搬送フィンガの製作上の精度が
ゆるくなり有利であることがわかる(図10のx)。ま
た、実際にはガラス基板103に初期ソリがあったり、
プロセス(工程)による変形があったりするため、交差
の範囲は若干大小する。
【0030】更に、機械工作精度によるバラツキをとり
やすくするため、図10に示すように外側4ヶ所の支持
部材2のフィンガ取付面側に支持部材2の高さを調整で
きるようにスペーサを配置しておくと良い。吸着パッド
3側をスペーサ調整するとバキュームエアーがリークし
やすくなるので好ましくない。
やすくするため、図10に示すように外側4ヶ所の支持
部材2のフィンガ取付面側に支持部材2の高さを調整で
きるようにスペーサを配置しておくと良い。吸着パッド
3側をスペーサ調整するとバキュームエアーがリークし
やすくなるので好ましくない。
【0031】以上説明したように、上記の実施形態にお
いては、吸着パッドの高さを支持部材の高さより若干高
くしておくことにより、支持部材の高さと吸着パッドの
高さの差に許される公差が大きくなり、基板搬送フィン
ガの製作が容易になる。
いては、吸着パッドの高さを支持部材の高さより若干高
くしておくことにより、支持部材の高さと吸着パッドの
高さの差に許される公差が大きくなり、基板搬送フィン
ガの製作が容易になる。
【0032】なお、本発明は、その主旨を逸脱しない範
囲で、上記実施形態を修正又は変形したものに適用可能
である。
囲で、上記実施形態を修正又は変形したものに適用可能
である。
【0033】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
以下のような効果が得られる。 (1)ガラス基板を確実に吸着把持できる基板搬送用フ
ィンガを提供できる。 (2)ガラス基板を安定に吸着把持及び搬送できる。 (3)機械加工精度上、作り易い基板搬送用フィンガを
提供できる。 (4)支持点の高さ調整が容易にできる。
以下のような効果が得られる。 (1)ガラス基板を確実に吸着把持できる基板搬送用フ
ィンガを提供できる。 (2)ガラス基板を安定に吸着把持及び搬送できる。 (3)機械加工精度上、作り易い基板搬送用フィンガを
提供できる。 (4)支持点の高さ調整が容易にできる。
【0034】
【図1】本発明の一実施形態に係わるフィンガの上面斜
視図である。
視図である。
【図2】図1のフィンガの下面斜視図である。
【図3】図1のフィンガのA−A断面図である。
【図4】図1のフィンガのC−C断面図である。
【図5】図1のフィンガのB−B断面図である。
【図6】図1のフィンガをロボットに装着した様子を示
す図である。
す図である。
【図7】図1のフィンガにおける基板支持位置を示す図
である。
である。
【図8】4ヶ所の基板支持部材のみで支持したときの基
板の変形を示す図である。
板の変形を示す図である。
【図9】3ヶ所の吸着パッドのみで支持したときの基板
の変形を示す図である。
の変形を示す図である。
【図10】図1のフィンガの4ヶ所の基板支持部材上面
と、3ヶ所の吸着パッド上面との高さ関係を示す図であ
る。
と、3ヶ所の吸着パッド上面との高さ関係を示す図であ
る。
【図11】基板の厚さと基板の自重によるたわみ量の関
係を示す図である。
係を示す図である。
1 フィンガ本体 1a 第1形状部 1b 第2形状部 2 基板支持部材 3 基板吸着パッド 3a 吸着パッドの穴 4 吸着エアー配管路(溝) 5 エアー配管カバー 6 吸着エアー供給穴 7 フィンガ固定用穴 10 スペーサ 11 フィンガ固定位置(フィンガ固定端) 101 ロボット 102 カセット 103 ガラス基板 104 カセットに収納された基板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI H01L 21/68 H01L 21/68 B
Claims (7)
- 【請求項1】 基板を吸着して搬送するための基板搬送
用フィンガであって、 平板状のフィンガ本体と、 該フィンガ本体上に配設され、前記基板を支持するため
の高さの等しい少なくとも4つの支持部材と、 該支持部材の間の略中央部に配置された前記基板を吸着
するための吸着部材であって、前記少なくとも4つの支
持部材と高さの異なる少なくとも1つの吸着部材とを具
備することを特徴とする基板搬送用フィンガ。 - 【請求項2】 前記フィンガは、搬送用ロボットに水平
に片持ち固定されていることを特徴とする請求項1に記
載の基板搬送用フィンガ。 - 【請求項3】 前記吸着部材は、前記支持部材間の中心
線状に3個並んで配置されていることを特徴とする請求
項1に記載の基板搬送用フィンガ。 - 【請求項4】 前記吸着部材の上面の高さは、前記少な
くとも4個の支持部材の上面の高さよりも所定値だけ高
く設定されている特徴とする請求項1に記載の基板搬送
用フィンガ。 - 【請求項5】 前記支持部材が支持する四角形状の前記
基板の縦の長さをA、横の長さをBとすると、前記支持
部材は前記基板の横の辺より0.21×Aだけ内側で且
つ縦の辺より0.21×Bだけ内側の位置に配置されて
いることを特徴とする請求項1に記載の基板搬送用フィ
ンガ。 - 【請求項6】 前記少なくとも4個の支持部材は、前記
フィンガ本体に対して高さ調整可能に配設されているこ
とを特徴とする請求項1に記載の基板搬送用フィンガ。 - 【請求項7】 前記少なくとも4個の支持部材は、スペ
ーサにより前記フィンガ本体に対して高さ調整可能に配
設されていることを特徴とする請求項6に記載の基板搬
送用フィンガ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9410597A JPH10279070A (ja) | 1997-04-11 | 1997-04-11 | 基板搬送用フィンガ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9410597A JPH10279070A (ja) | 1997-04-11 | 1997-04-11 | 基板搬送用フィンガ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10279070A true JPH10279070A (ja) | 1998-10-20 |
Family
ID=14101169
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9410597A Withdrawn JPH10279070A (ja) | 1997-04-11 | 1997-04-11 | 基板搬送用フィンガ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH10279070A (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002305233A (ja) * | 2001-04-05 | 2002-10-18 | Olympus Optical Co Ltd | ウェハ搬送用アーム |
JP2004026426A (ja) * | 2002-06-26 | 2004-01-29 | Espec Corp | 基板支持構造とその積載装置及びロボットハンド |
WO2004113205A1 (ja) * | 2003-06-19 | 2004-12-29 | Rorze Corporation | 薄板支持体 |
KR100520232B1 (ko) * | 2002-08-23 | 2005-10-11 | 로체 시스템즈(주) | 유리기판 반송 로봇용 엔드이펙터 |
JP2007008700A (ja) * | 2005-07-04 | 2007-01-18 | Toshiba Mach Co Ltd | 平板状搬送物の搬送方法及びその装置 |
KR100916532B1 (ko) * | 2007-01-19 | 2009-09-11 | 피에스케이 주식회사 | 기판 반송 장치 |
KR20200062152A (ko) * | 2020-05-27 | 2020-06-03 | 세메스 주식회사 | 가열 플레이트, 이를 구비하는 기판 열처리 장치 및 가열 플레이트의 제조 방법 |
US11735443B2 (en) | 2018-08-21 | 2023-08-22 | Semes Co., Ltd. | Hot plate, substrate heat-treating apparatus including the hot plate, and method of fabricating the hot plate |
-
1997
- 1997-04-11 JP JP9410597A patent/JPH10279070A/ja not_active Withdrawn
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002305233A (ja) * | 2001-04-05 | 2002-10-18 | Olympus Optical Co Ltd | ウェハ搬送用アーム |
JP2004026426A (ja) * | 2002-06-26 | 2004-01-29 | Espec Corp | 基板支持構造とその積載装置及びロボットハンド |
KR100520232B1 (ko) * | 2002-08-23 | 2005-10-11 | 로체 시스템즈(주) | 유리기판 반송 로봇용 엔드이펙터 |
WO2004113205A1 (ja) * | 2003-06-19 | 2004-12-29 | Rorze Corporation | 薄板支持体 |
JP2007008700A (ja) * | 2005-07-04 | 2007-01-18 | Toshiba Mach Co Ltd | 平板状搬送物の搬送方法及びその装置 |
KR100916532B1 (ko) * | 2007-01-19 | 2009-09-11 | 피에스케이 주식회사 | 기판 반송 장치 |
US11735443B2 (en) | 2018-08-21 | 2023-08-22 | Semes Co., Ltd. | Hot plate, substrate heat-treating apparatus including the hot plate, and method of fabricating the hot plate |
KR20200062152A (ko) * | 2020-05-27 | 2020-06-03 | 세메스 주식회사 | 가열 플레이트, 이를 구비하는 기판 열처리 장치 및 가열 플레이트의 제조 방법 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH10279070A (ja) | 基板搬送用フィンガ | |
JP2001223252A (ja) | ロボットの吸着レスハンド | |
JPH11322069A (ja) | 基板搬送用フィンガ組立体 | |
JP2006036365A (ja) | ガラス基板を収納するカセット | |
JPH0547899A (ja) | ウエハー搬送用アーム | |
JPH08236597A (ja) | 移載装置 | |
JPH09266242A (ja) | 吸着用チャック装置 | |
JP4987577B2 (ja) | 物品の固定ジグ | |
KR100839493B1 (ko) | 칩 트레이 | |
US5238110A (en) | Secured PLCC package tray | |
JPH08290382A (ja) | 吸着装置及び搬送装置 | |
JP2004082229A (ja) | 吸着ハンド | |
JP2003086667A (ja) | 薄厚ウェーハ用カセット及び吸着ハンド | |
JP2000133694A (ja) | 基板搬送アーム | |
JPH04267356A (ja) | 半導体素子搬送容器 | |
JP2001087973A (ja) | 搬送用パレット、この搬送用パレットを備える搬送装置及びワーク固定方法 | |
JP2004203436A (ja) | ガラス基板搬送用ボックス | |
JP4024333B2 (ja) | 薄板支持器 | |
JP3926265B2 (ja) | ガラス基板搬送用ボックス | |
CN114454182B (zh) | 工业用机器人的示教方法 | |
JP3654114B2 (ja) | ワークの下受け装置および下受け方法 | |
JPH11116047A (ja) | 薄型基板搬送ロボットにおけるロボットハンド | |
JPH08198405A (ja) | 基板用カセット | |
JP2000053246A (ja) | ガラス基板の支持構造およびガラス基板搬送用ハンド | |
JPH0640482A (ja) | 搬送用トレイ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20040706 |