JPH10279070A - 基板搬送用フィンガ - Google Patents
基板搬送用フィンガInfo
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- JPH10279070A JPH10279070A JP9410597A JP9410597A JPH10279070A JP H10279070 A JPH10279070 A JP H10279070A JP 9410597 A JP9410597 A JP 9410597A JP 9410597 A JP9410597 A JP 9410597A JP H10279070 A JPH10279070 A JP H10279070A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】各支持点に確実に接触した状態で基板を吸着
し、搬送することができる基板搬送用フィンガを提供す
る。 【解決手段】基板を吸着して搬送するための基板搬送用
フィンガであって、平板状のフィンガ本体１と、フィン
ガ本体１上に配設され、基板を支持するための高さの等
しい少なくとも４つの支持部材２と、支持部材２の間の
略中央部に配置された基板を吸着するための吸着部材３
であって、少なくとも４つの支持部材２と高さの異なる
少なくとも１つの吸着部材３とを具備する。
し、搬送することができる基板搬送用フィンガを提供す
る。 【解決手段】基板を吸着して搬送するための基板搬送用
フィンガであって、平板状のフィンガ本体１と、フィン
ガ本体１上に配設され、基板を支持するための高さの等
しい少なくとも４つの支持部材２と、支持部材２の間の
略中央部に配置された基板を吸着するための吸着部材３
であって、少なくとも４つの支持部材２と高さの異なる
少なくとも１つの吸着部材３とを具備する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示装置用ガ
ラス基板等の基板を吸着して搬送するための基板搬送用
フィンガに関するものである。
ラス基板等の基板を吸着して搬送するための基板搬送用
フィンガに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、ガラス基板の搬送用フィンガとし
ては、本願出願人が既に出願している特開平８−２０８
００３号に記載されたものが知られている。
ては、本願出願人が既に出願している特開平８−２０８
００３号に記載されたものが知られている。
【０００３】この従来例では、ガラス基板搬送用フィン
ガは、クリーン度を保ったあと、ガラス基板表面に傷等
をつけないように必要最少限の支持点で支持及び吸着を
行っている。
ガは、クリーン度を保ったあと、ガラス基板表面に傷等
をつけないように必要最少限の支持点で支持及び吸着を
行っている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来例では、各支持点の高さに機械加工精度でバラツキ
があり、一様にならない場合があり、ガラス基板の搬送
中に支持点に接触しないガラス基板の部分が振動してた
たき音が発生したりや、吸着ミスが発生する場合がある
という問題点があった。
従来例では、各支持点の高さに機械加工精度でバラツキ
があり、一様にならない場合があり、ガラス基板の搬送
中に支持点に接触しないガラス基板の部分が振動してた
たき音が発生したりや、吸着ミスが発生する場合がある
という問題点があった。
【０００５】従って、本発明は上述した課題に鑑みてな
されたものであり、その目的は、各支持点に確実に接触
した状態で基板を吸着し、搬送することができる基板搬
送用フィンガを提供することである。
されたものであり、その目的は、各支持点に確実に接触
した状態で基板を吸着し、搬送することができる基板搬
送用フィンガを提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上述した課題を解決し、
目的を達成するために、本発明に係わる基板搬送用フィ
ンガは、基板を吸着して搬送するための基板搬送用フィ
ンガであって、平板状のフィンガ本体と、該フィンガ本
体上に配設され、前記基板を支持するための高さの等し
い少なくとも４つの支持部材と、該支持部材の間の略中
央部に配置された前記基板を吸着するための吸着部材で
あって、前記少なくとも４つの支持部材と高さの異なる
少なくとも１つの吸着部材とを具備することを特徴とし
ている。
目的を達成するために、本発明に係わる基板搬送用フィ
ンガは、基板を吸着して搬送するための基板搬送用フィ
ンガであって、平板状のフィンガ本体と、該フィンガ本
体上に配設され、前記基板を支持するための高さの等し
い少なくとも４つの支持部材と、該支持部材の間の略中
央部に配置された前記基板を吸着するための吸着部材で
あって、前記少なくとも４つの支持部材と高さの異なる
少なくとも１つの吸着部材とを具備することを特徴とし
ている。
【０００７】また、この発明に係わる基板搬送用フィン
ガにおいて、前記フィンガは、搬送用ロボットに水平に
片持ち固定されていることを特徴としている。
ガにおいて、前記フィンガは、搬送用ロボットに水平に
片持ち固定されていることを特徴としている。
【０００８】また、この発明に係わる基板搬送用フィン
ガにおいて、前記吸着部材は、前記支持部材間の中心線
状に３個並んで配置されていることを特徴としている。
ガにおいて、前記吸着部材は、前記支持部材間の中心線
状に３個並んで配置されていることを特徴としている。
【０００９】また、この発明に係わる基板搬送用フィン
ガにおいて、前記吸着部材の上面の高さは、前記少なく
とも４個の支持部材の上面の高さよりも所定値だけ高く
設定されている特徴としている。
ガにおいて、前記吸着部材の上面の高さは、前記少なく
とも４個の支持部材の上面の高さよりも所定値だけ高く
設定されている特徴としている。
【００１０】また、この発明に係わる基板搬送用フィン
ガにおいて、前記支持部材が支持する四角形状の前記基
板の縦の長さをＡ、横の長さをＢとすると、前記支持部
材は前記基板の横の辺より０．２１×Ａだけ内側で且つ
縦の辺より０．２１×Ｂだけ内側の位置に配置されてい
ることを特徴としている。
ガにおいて、前記支持部材が支持する四角形状の前記基
板の縦の長さをＡ、横の長さをＢとすると、前記支持部
材は前記基板の横の辺より０．２１×Ａだけ内側で且つ
縦の辺より０．２１×Ｂだけ内側の位置に配置されてい
ることを特徴としている。
【００１１】また、この発明に係わる基板搬送用フィン
ガにおいて、前記少なくとも４個の支持部材は、前記フ
ィンガ本体に対して高さ調整可能に配設されていること
を特徴としている。
ガにおいて、前記少なくとも４個の支持部材は、前記フ
ィンガ本体に対して高さ調整可能に配設されていること
を特徴としている。
【００１２】また、この発明に係わる基板搬送用フィン
ガにおいて、前記少なくとも４個の支持部材は、スペー
サにより前記フィンガ本体に対して高さ調整可能に配設
されていることを特徴としている。
ガにおいて、前記少なくとも４個の支持部材は、スペー
サにより前記フィンガ本体に対して高さ調整可能に配設
されていることを特徴としている。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な一実施形態
について、添付図面を参照して詳細に説明する。
について、添付図面を参照して詳細に説明する。
【００１４】図１は、本発明の一実施形態に係わる基板
搬送用フィンガのフィンガ本体を上方から見た斜視図で
ある。また、図２は図１のフィンガ本体を背面から見た
斜視図、図３乃至図５はそれぞれ図１のフィンガ本体の
Ａ−Ａ、Ｃ−ＣおよびＢ−Ｂにおける断面図である。
搬送用フィンガのフィンガ本体を上方から見た斜視図で
ある。また、図２は図１のフィンガ本体を背面から見た
斜視図、図３乃至図５はそれぞれ図１のフィンガ本体の
Ａ−Ａ、Ｃ−ＣおよびＢ−Ｂにおける断面図である。
【００１５】フィンガ本体１は図３に示す断面形状Ａを
有する第１形状部１ａと図５に示す断面形状Ｂを有する
第２形状部１ｂと複数（図１では４か所）の基板支持用
張出し部１ｃ（図４参照）とから構成される。張出し部
１ｃには、不図示の基板を支持するための支持部材２が
設けられている。
有する第１形状部１ａと図５に示す断面形状Ｂを有する
第２形状部１ｂと複数（図１では４か所）の基板支持用
張出し部１ｃ（図４参照）とから構成される。張出し部
１ｃには、不図示の基板を支持するための支持部材２が
設けられている。
【００１６】第１形状部１ａの中心線上には、基板を吸
着するための吸着パッド３が設けられている（図１では
３か所）。フィンガ本体１の裏面には、図２に示すよう
に、基板を吸着するための吸着エアーを導くための配管
部４が配設されている。具体的にはフィンガ本体１に溝
４を切り、後で帯状部材５を接着剤等で接着し、溝４を
密封することによって、配管路を構成している。もちろ
ん、ロングドリル等で丸穴をあけてもよい。溝４は図１
の吸着パッド部において吸着パッド３の穴３ａと貫通し
ている。
着するための吸着パッド３が設けられている（図１では
３か所）。フィンガ本体１の裏面には、図２に示すよう
に、基板を吸着するための吸着エアーを導くための配管
部４が配設されている。具体的にはフィンガ本体１に溝
４を切り、後で帯状部材５を接着剤等で接着し、溝４を
密封することによって、配管路を構成している。もちろ
ん、ロングドリル等で丸穴をあけてもよい。溝４は図１
の吸着パッド部において吸着パッド３の穴３ａと貫通し
ている。
【００１７】フィンガ１をロボット等と固定する部分に
は取付用ボルト穴７および吸着エア供給用穴６が形成さ
れている。上述のように構成されたフィンガは、図６の
ようにロボット１０１（詳細図は図示せず）に固定さ
れ、例えばカセット１０２にガラス基板１０３を収納し
たり、逆にカセットからガラス基板１０４を取り出した
りするのに用いられる。
は取付用ボルト穴７および吸着エア供給用穴６が形成さ
れている。上述のように構成されたフィンガは、図６の
ようにロボット１０１（詳細図は図示せず）に固定さ
れ、例えばカセット１０２にガラス基板１０３を収納し
たり、逆にカセットからガラス基板１０４を取り出した
りするのに用いられる。
【００１８】次に基板支持部材２の位置であるが、図７
に示すように基板１０３の寸法をＰ×Ｑ、基板支持部材
２の各辺からの距離をｐ，ｑとすると、公知のとおり、 ｐ1 ＝０．２１Ｐ、ｑ1 ＝０．２１Ｑ …（１） となるようにｐ及びｑの値を概略決定すると基板のたわ
み量が最小となる。
に示すように基板１０３の寸法をＰ×Ｑ、基板支持部材
２の各辺からの距離をｐ，ｑとすると、公知のとおり、 ｐ1 ＝０．２１Ｐ、ｑ1 ＝０．２１Ｑ …（１） となるようにｐ及びｑの値を概略決定すると基板のたわ
み量が最小となる。
【００１９】次に、本発明の特徴的な部分である基板支
持部材２及び吸着パッド３の高さ関係について述べる。
持部材２及び吸着パッド３の高さ関係について述べる。
【００２０】ガラス基板１０３を図７に示した状態で支
持したときのガラス基板１０３の変形は図８（ｂ）のよ
うになり、基板１０３のガラス基板吸着部ａ，ｂ，ｃで
の変形はＸ−Ｘ断面、Ｙ−Ｙ断面でそれぞれ示され、そ
の変形量をｖ1 ，ｖ2 とすると、ｖ1 ＜ｖ2 となる関係
がある。つまり、吸着部ｂに対応するガラス基板１０３
の部位は吸着部ａ，ｃに対応するガラス基板１０３の部
位よりも変形量が大きい。
持したときのガラス基板１０３の変形は図８（ｂ）のよ
うになり、基板１０３のガラス基板吸着部ａ，ｂ，ｃで
の変形はＸ−Ｘ断面、Ｙ−Ｙ断面でそれぞれ示され、そ
の変形量をｖ1 ，ｖ2 とすると、ｖ1 ＜ｖ2 となる関係
がある。つまり、吸着部ｂに対応するガラス基板１０３
の部位は吸着部ａ，ｃに対応するガラス基板１０３の部
位よりも変形量が大きい。
【００２１】次に、図９のようにガラス基板１０３を３
ヶ所の吸着部パッド３のみで吸着支持したとき（すなわ
ち基板支持部材２を取り除いた状態）のガラス基板１０
３の変形は、図９（ｂ）のようになり、ガラス基板支持
部に対応する位置ａ’，ｂ’，ｃ’，ｄ’での変形は
Ｘ’−Ｘ’断面で示される。その変形量をｖ1 ’とす
る。
ヶ所の吸着部パッド３のみで吸着支持したとき（すなわ
ち基板支持部材２を取り除いた状態）のガラス基板１０
３の変形は、図９（ｂ）のようになり、ガラス基板支持
部に対応する位置ａ’，ｂ’，ｃ’，ｄ’での変形は
Ｘ’−Ｘ’断面で示される。その変形量をｖ1 ’とす
る。
【００２２】更に、前記のようにガラス基板１０３を図
８のように支持したときとのたわみ量の比較を行うと、
ｖ1 ＜ｖ2 ＜ｖ1 ’なる関係がある。すなわち、ガラス
基板１０３を吸着パッドのみで支持したときが、ガラス
基板１０３のたわみ量が最も大きくなる。
８のように支持したときとのたわみ量の比較を行うと、
ｖ1 ＜ｖ2 ＜ｖ1 ’なる関係がある。すなわち、ガラス
基板１０３を吸着パッドのみで支持したときが、ガラス
基板１０３のたわみ量が最も大きくなる。
【００２３】例えば、図７において、Ｑ＝３６０ｍｍ、
Ｐ＝４６５ｍｍ、ｑ1 ＝７５ｍｍ、ｐ1 ＝９７．５ｍｍ
とすると、厚さｔ＝１．１ｍｍ、ｔ＝０．７ｍｍのガラ
ス基板の各部位の変形量は図１１のようになる。
Ｐ＝４６５ｍｍ、ｑ1 ＝７５ｍｍ、ｐ1 ＝９７．５ｍｍ
とすると、厚さｔ＝１．１ｍｍ、ｔ＝０．７ｍｍのガラ
ス基板の各部位の変形量は図１１のようになる。
【００２４】当然ながら、ガラス基板１０３の厚みが厚
い方が支持時の変形量が少ない。
い方が支持時の変形量が少ない。
【００２５】このようにガラス基板１０３を図８のよう
に外側４ヶ所の支持部で支持するか、図９のように３ヶ
所の吸着パッド３で支持するかによって、外側４ヶ所の
支持部２の上面の高さと、３ヶ所の吸着パッド３の上面
の高さの差に要求される精度（許容公差）が変わってく
る。
に外側４ヶ所の支持部で支持するか、図９のように３ヶ
所の吸着パッド３で支持するかによって、外側４ヶ所の
支持部２の上面の高さと、３ヶ所の吸着パッド３の上面
の高さの差に要求される精度（許容公差）が変わってく
る。
【００２６】言い換えれば、ガラス基板１０３を外側４
ヶ所の基板支持部材２で支持する場合には、吸着パッド
３の高さが、基板支持部材２と同じ高さか、ガラス基板
１０３の中央部での自重変形分だけ低い高さとの間にあ
れば、吸着パッド３でガラス基板１０３を吸着したとき
にガラス基板１０３が支持部材２から浮いてしまうこと
もないし、吸着パッド３がガラス基板１０３を吸着でき
ないことも起こらない。すなわち、支持部材２の高さと
吸着パッド３の高さの差に要求される許容公差は、（支
持部材２の高さ）と（支持部材２の高さ−ガラス基板の
自重変形によるたわみ量）の間となる。また、３つの吸
着パッド３でガラス基板１０３を支持する場合も同様
で、支持部材２の高さと吸着パッド３の高さの差に要求
される許容公差は、（支持部材２の高さ）と（支持部材
２の高さ−ガラス基板の自重変形によるたわみ量）の間
となる。
ヶ所の基板支持部材２で支持する場合には、吸着パッド
３の高さが、基板支持部材２と同じ高さか、ガラス基板
１０３の中央部での自重変形分だけ低い高さとの間にあ
れば、吸着パッド３でガラス基板１０３を吸着したとき
にガラス基板１０３が支持部材２から浮いてしまうこと
もないし、吸着パッド３がガラス基板１０３を吸着でき
ないことも起こらない。すなわち、支持部材２の高さと
吸着パッド３の高さの差に要求される許容公差は、（支
持部材２の高さ）と（支持部材２の高さ−ガラス基板の
自重変形によるたわみ量）の間となる。また、３つの吸
着パッド３でガラス基板１０３を支持する場合も同様
で、支持部材２の高さと吸着パッド３の高さの差に要求
される許容公差は、（支持部材２の高さ）と（支持部材
２の高さ−ガラス基板の自重変形によるたわみ量）の間
となる。
【００２７】具体的には、図８のように外側４ヶ所の支
持部材２の上面を基準とし、３６０×４６５ｍｍ、ｔ＝
１．１ｍｍのガラス基板１０３を把持しようとした時、
支持部材２の上面の高さと３ヶ所の吸着パッド３の上面
との高さの差の公差（この場合、支持部材２の上面より
吸着パッド３の上面のほうが低い）は、ａ，ｃ部で０．
０５ｍｍ以下、ｂ部で０．１７ｍｍ以下となる。支持部
材２の高さと吸着パッド３の高さの差がこれらの数値以
内のとき、ガラス基板１０３は全ての支持点および吸着
面で接触する。高さの差がこれより大きくなると吸着面
に接触せず、吸着不能となる。これがガラス基板の中凹
把持である。
持部材２の上面を基準とし、３６０×４６５ｍｍ、ｔ＝
１．１ｍｍのガラス基板１０３を把持しようとした時、
支持部材２の上面の高さと３ヶ所の吸着パッド３の上面
との高さの差の公差（この場合、支持部材２の上面より
吸着パッド３の上面のほうが低い）は、ａ，ｃ部で０．
０５ｍｍ以下、ｂ部で０．１７ｍｍ以下となる。支持部
材２の高さと吸着パッド３の高さの差がこれらの数値以
内のとき、ガラス基板１０３は全ての支持点および吸着
面で接触する。高さの差がこれより大きくなると吸着面
に接触せず、吸着不能となる。これがガラス基板の中凹
把持である。
【００２８】一方、図９のように３ヶ所の吸着パッド３
の上面を基準として３６０×４６５ｍｍ、ｔ＝１．１ｍ
ｍのガラス基板１０３を把持しようとしたとき、外側４
ヶ所の支持部材２の上面の高さと吸着パッド３の上面の
高さの差の公差（この場合、支持部材２の上面より吸着
パッド３の上面のほうが高い）は０．２ｍｍ以下とな
る。図８の場合と同様に支持部材２の高さと吸着パッド
３の高さの差がこの数値以内のときガラス基板１０３は
全ての支持点および吸着面で接触する。高さの差がこれ
より大きくなると吸着面に接触せず、吸着不能となる。
これがガラス基板の中凸把持である。
の上面を基準として３６０×４６５ｍｍ、ｔ＝１．１ｍ
ｍのガラス基板１０３を把持しようとしたとき、外側４
ヶ所の支持部材２の上面の高さと吸着パッド３の上面の
高さの差の公差（この場合、支持部材２の上面より吸着
パッド３の上面のほうが高い）は０．２ｍｍ以下とな
る。図８の場合と同様に支持部材２の高さと吸着パッド
３の高さの差がこの数値以内のときガラス基板１０３は
全ての支持点および吸着面で接触する。高さの差がこれ
より大きくなると吸着面に接触せず、吸着不能となる。
これがガラス基板の中凸把持である。
【００２９】以上にようにみてみると、中凸把持の方が
支持部材２と吸着パッド３の高さの差に許される公差が
大きくとれるため、基板搬送フィンガの製作上の精度が
ゆるくなり有利であることがわかる（図１０のｘ）。ま
た、実際にはガラス基板１０３に初期ソリがあったり、
プロセス（工程）による変形があったりするため、交差
の範囲は若干大小する。
支持部材２と吸着パッド３の高さの差に許される公差が
大きくとれるため、基板搬送フィンガの製作上の精度が
ゆるくなり有利であることがわかる（図１０のｘ）。ま
た、実際にはガラス基板１０３に初期ソリがあったり、
プロセス（工程）による変形があったりするため、交差
の範囲は若干大小する。
【００３０】更に、機械工作精度によるバラツキをとり
やすくするため、図１０に示すように外側４ヶ所の支持
部材２のフィンガ取付面側に支持部材２の高さを調整で
きるようにスペーサを配置しておくと良い。吸着パッド
３側をスペーサ調整するとバキュームエアーがリークし
やすくなるので好ましくない。
やすくするため、図１０に示すように外側４ヶ所の支持
部材２のフィンガ取付面側に支持部材２の高さを調整で
きるようにスペーサを配置しておくと良い。吸着パッド
３側をスペーサ調整するとバキュームエアーがリークし
やすくなるので好ましくない。
【００３１】以上説明したように、上記の実施形態にお
いては、吸着パッドの高さを支持部材の高さより若干高
くしておくことにより、支持部材の高さと吸着パッドの
高さの差に許される公差が大きくなり、基板搬送フィン
ガの製作が容易になる。
いては、吸着パッドの高さを支持部材の高さより若干高
くしておくことにより、支持部材の高さと吸着パッドの
高さの差に許される公差が大きくなり、基板搬送フィン
ガの製作が容易になる。
【００３２】なお、本発明は、その主旨を逸脱しない範
囲で、上記実施形態を修正又は変形したものに適用可能
である。
囲で、上記実施形態を修正又は変形したものに適用可能
である。
【００３３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
以下のような効果が得られる。 （１）ガラス基板を確実に吸着把持できる基板搬送用フ
ィンガを提供できる。 （２）ガラス基板を安定に吸着把持及び搬送できる。 （３）機械加工精度上、作り易い基板搬送用フィンガを
提供できる。 （４）支持点の高さ調整が容易にできる。
以下のような効果が得られる。 （１）ガラス基板を確実に吸着把持できる基板搬送用フ
ィンガを提供できる。 （２）ガラス基板を安定に吸着把持及び搬送できる。 （３）機械加工精度上、作り易い基板搬送用フィンガを
提供できる。 （４）支持点の高さ調整が容易にできる。
【００３４】
【図１】本発明の一実施形態に係わるフィンガの上面斜
視図である。
視図である。
【図２】図１のフィンガの下面斜視図である。
【図３】図１のフィンガのＡ−Ａ断面図である。
【図４】図１のフィンガのＣ−Ｃ断面図である。
【図５】図１のフィンガのＢ−Ｂ断面図である。
【図６】図１のフィンガをロボットに装着した様子を示
す図である。
す図である。
【図７】図１のフィンガにおける基板支持位置を示す図
である。
である。
【図８】４ヶ所の基板支持部材のみで支持したときの基
板の変形を示す図である。
板の変形を示す図である。
【図９】３ヶ所の吸着パッドのみで支持したときの基板
の変形を示す図である。
の変形を示す図である。
【図１０】図１のフィンガの４ヶ所の基板支持部材上面
と、３ヶ所の吸着パッド上面との高さ関係を示す図であ
る。
と、３ヶ所の吸着パッド上面との高さ関係を示す図であ
る。
【図１１】基板の厚さと基板の自重によるたわみ量の関
係を示す図である。
係を示す図である。
１ フィンガ本体 １ａ 第１形状部 １ｂ 第２形状部 ２ 基板支持部材 ３ 基板吸着パッド ３ａ 吸着パッドの穴 ４ 吸着エアー配管路（溝） ５ エアー配管カバー ６ 吸着エアー供給穴 ７ フィンガ固定用穴 １０ スペーサ １１ フィンガ固定位置（フィンガ固定端） １０１ ロボット １０２ カセット １０３ ガラス基板 １０４ カセットに収納された基板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ Ｈ０１Ｌ 21/68 Ｈ０１Ｌ 21/68 Ｂ
Claims (7)
- 【請求項１】 基板を吸着して搬送するための基板搬送
用フィンガであって、 平板状のフィンガ本体と、 該フィンガ本体上に配設され、前記基板を支持するため
の高さの等しい少なくとも４つの支持部材と、 該支持部材の間の略中央部に配置された前記基板を吸着
するための吸着部材であって、前記少なくとも４つの支
持部材と高さの異なる少なくとも１つの吸着部材とを具
備することを特徴とする基板搬送用フィンガ。 - 【請求項２】 前記フィンガは、搬送用ロボットに水平
に片持ち固定されていることを特徴とする請求項１に記
載の基板搬送用フィンガ。 - 【請求項３】 前記吸着部材は、前記支持部材間の中心
線状に３個並んで配置されていることを特徴とする請求
項１に記載の基板搬送用フィンガ。 - 【請求項４】 前記吸着部材の上面の高さは、前記少な
くとも４個の支持部材の上面の高さよりも所定値だけ高
く設定されている特徴とする請求項１に記載の基板搬送
用フィンガ。 - 【請求項５】 前記支持部材が支持する四角形状の前記
基板の縦の長さをＡ、横の長さをＢとすると、前記支持
部材は前記基板の横の辺より０．２１×Ａだけ内側で且
つ縦の辺より０．２１×Ｂだけ内側の位置に配置されて
いることを特徴とする請求項１に記載の基板搬送用フィ
ンガ。 - 【請求項６】 前記少なくとも４個の支持部材は、前記
フィンガ本体に対して高さ調整可能に配設されているこ
とを特徴とする請求項１に記載の基板搬送用フィンガ。 - 【請求項７】 前記少なくとも４個の支持部材は、スペ
ーサにより前記フィンガ本体に対して高さ調整可能に配
設されていることを特徴とする請求項６に記載の基板搬
送用フィンガ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9410597A JPH10279070A (ja) | 1997-04-11 | 1997-04-11 | 基板搬送用フィンガ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9410597A JPH10279070A (ja) | 1997-04-11 | 1997-04-11 | 基板搬送用フィンガ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10279070A true JPH10279070A (ja) | 1998-10-20 |
Family
ID=14101169
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9410597A Withdrawn JPH10279070A (ja) | 1997-04-11 | 1997-04-11 | 基板搬送用フィンガ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10279070A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002305233A (ja) * | 2001-04-05 | 2002-10-18 | Olympus Optical Co Ltd | ウェハ搬送用アーム |
| JP2004026426A (ja) * | 2002-06-26 | 2004-01-29 | Espec Corp | 基板支持構造とその積載装置及びロボットハンド |
| WO2004113205A1 (ja) * | 2003-06-19 | 2004-12-29 | Rorze Corporation | 薄板支持体 |
| KR100520232B1 (ko) * | 2002-08-23 | 2005-10-11 | 로체 시스템즈(주) | 유리기판 반송 로봇용 엔드이펙터 |
| JP2007008700A (ja) * | 2005-07-04 | 2007-01-18 | Toshiba Mach Co Ltd | 平板状搬送物の搬送方法及びその装置 |
| KR100916532B1 (ko) * | 2007-01-19 | 2009-09-11 | 피에스케이 주식회사 | 기판 반송 장치 |
| KR20200062152A (ko) * | 2020-05-27 | 2020-06-03 | 세메스 주식회사 | 가열 플레이트, 이를 구비하는 기판 열처리 장치 및 가열 플레이트의 제조 방법 |
| US11735443B2 (en) | 2018-08-21 | 2023-08-22 | Semes Co., Ltd. | Hot plate, substrate heat-treating apparatus including the hot plate, and method of fabricating the hot plate |
-
1997
- 1997-04-11 JP JP9410597A patent/JPH10279070A/ja not_active Withdrawn
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
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