JPH10278263A - インクジェット記録ヘッド - Google Patents
インクジェット記録ヘッドInfo
- Publication number
- JPH10278263A JPH10278263A JP9089299A JP8929997A JPH10278263A JP H10278263 A JPH10278263 A JP H10278263A JP 9089299 A JP9089299 A JP 9089299A JP 8929997 A JP8929997 A JP 8929997A JP H10278263 A JPH10278263 A JP H10278263A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ink jet
- diaphragm
- pressure chamber
- recording head
- piezoelectric element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
つきのないインクジェットヘッドを提供する。 【解決手段】 ポリフェノレンサルファイド等の有機材
料からなる薄い膜11の両面にステンレス等の金属膜1
2を接着した後にエッチング加工によって島状厚肉部1
2aと流路基板28の接続部分12bとを形成して振動
板27を製作し、これに積層圧電素子23と流路基板2
8とを接着するので、接着剤のはみ出しの影響を受けな
いため吐出性能のばらつきが少ないインクジェットヘッ
ドを提供できる。
Description
記録媒体上へ選択的に付着させるインクジェットヘッド
の構造に関する。
て圧力室の壁の一つを形成した振動板を変位させて圧力
室内に充填したインクを加圧し該圧力室に連通するノズ
ルよりインクを噴射するインクジェットヘッドは特公平
7−57545に示されている。その構造の概要は図4
に示すように剛性部材109上に積層圧電材料104を
電極105及び電極110を挟んで接着したのち積層圧
電材料104に溝加工を施すことで独立的に駆動可能な
複数の積層圧電素子107を形成し、さらにこの積層圧
電素子107の自由端側に電極106および電極108
を介して振動板103とインクを溜める溝を有する流路
基板101を順次接着することで構成し、流路基板10
1と振動板103とで形成する圧力室102の振動板1
03側を積層圧電素子107で変形させて圧力室102
内に充填したインクを加圧し圧力室102に連通するノ
ズル111よりインク滴を噴射するものである。この構
成は圧電体を積層することで厚さ方向の変位量を大きく
し結果として圧力室を高密度で配置することを目的とす
るものである。
ていくと振動板103の膜部分の張力が増大し、積層圧
電素子107の変位量が振動板103の張力によって押
し戻されるため十分に圧力室102内のインクを加圧す
ることができない。また、積層圧電素子107の変位量
を増やし無理に圧力室102を変形させると振動板10
3の膜の張力がさらに増大し圧力室102を形成する流
路基板101の壁を変形させることで隣接圧力室102
に影響を及ぼすクロストーク現象が生じる。さらに、振
動板103を流路基板101に接着する際に接着剤のは
み出し量がばらつくため機械振動系が不安定となり、結
果としてインクの吐出速度やインク滴径などの特性にば
らつきを生じる。
を鑑みなされたものであり、その目的とするところは、
積層圧電素子を基板に並べ振動板と圧力室で印字ヘッド
を構成し積層圧電素子と基板と圧力室の並び方向の端面
からインクを噴射するインクジェット記録ヘッドにおい
て、吐出特性が安定しており結果として印字品質が良い
高密度で小型のインクジェット記録ヘッドを提供するこ
とにある。
本発明のインクジェットヘッドは、下記記載の構成を採
用する。本発明によるインクジェット記録ヘッドは、圧
電素子の変位を振動板を介して圧力室に伝達して圧力室
内に充填したインクを加圧し圧力室に連通する複数のノ
ズルよりインク滴を噴射する圧電式のインクジェット記
録ヘッドにおいて、前記圧力室を形成するための流路基
板の壁と前記振動板の間に、幅が流路基板の壁の幅より
も狭い薄板を挿入したことを特徴とする。
製造方法は、ポリフェノレンサルファイド等の有機材料
からなる薄い膜の両面にステンレス等の金属膜を接着し
た後にエッチング加工によって島状厚肉部と流路基板と
の接続部分を形成して振動板を製作することを特徴とす
る。
ためのインクジェット記録ヘッドの概要構成を表わして
おり、インク滴を噴射するノズル板の面と平行な面での
インクジェット記録ヘッドの断面図であり、図2は同イ
ンクジェット記録ヘッドの分解斜視図、図3は同インク
ジェット記録ヘッドのノズル面に垂直な面の断面図であ
る。以下この図を用いてインクジェット記録ヘッドの概
要構成を説明する。
m程度の薄いペースト状の圧電材料板30上に銀とパラ
ジウムを主成分とするペースト状の電極層31を積層し
さらに圧電材料板30と電極層31を順次複数積層した
後に焼成することで積層圧電体20を形成する。尚電極
層31は一つ一つの圧電材料板30の両面に形成され一
方が端面の集電極22aに露出し、他方が対向する端面
の集電極22bに露出している。集電極22a,22b
は積層圧電体20にクロム、ニッケル、金を順次真空蒸
着法等の薄膜形成手段を施すことによって形成する。積
層圧電体20の集電極22aと集電極22b間に電圧を
印加すると一つ一つの圧電材料板30に電界が発生し一
つ一つの圧電材料板は厚さ方向に微小な寸法だけ伸び、
その集積として積層圧電体20は厚さ方向に必要量変位
する。
ラミック等の絶縁材料からなる絶縁性基板21上に接着
する。さらに積層圧電体20の上面からワイヤーソーな
どの機械加工手段で溝加工を施すことにより積層圧電体
20を独立に駆動可能な積層圧電素子23に分割し圧電
素子ユニット25を形成する。外部からの電力はFPC
(フレキシブル、プリント、ケーブル)24で供給され
端部付近で裸線化した線状の接点24aと集電極22
a、集電極22bとをハンダ付け等の方法で電気的に接
続する。積層圧電素子23は厚み方向に変位すると同時
にその垂直方向で長さ方向および幅方向にも変位するの
で、電極パターンを積層圧電素子23の上面や下面また
は他の部材に形成し集電極22a,22bの面と接続す
る従来の方法によるとその接続するつなき部分でよく断
線を起こす。本発明の実施例のようにFPC24を積層
圧電素子23の集電極22a,22bに直接電気接続す
る方法をとると、電極パターンを積層圧電素子23の上
面や下面または他の部材に形成する方法に比べ、集電極
の部分だけで電気的に接続しているので電気的接点数が
減るので信頼性が向上する。またさらにはFPC24の
先端または先端付近部を裸線化し線状の金属電気接点と
しているので積層圧電素子23の厚さ方向の変形に対し
て線状の金属電気接点が伸びることで、FPCの持つ剛
性によって積層圧電素子23の変形を規制することがな
くなる。このため電気機械変換効率が向上する。
21と積層圧電体20とFPC24によって構成された
圧電素子ユニット25を中央部に窓が形成された樹脂材
料からなる固定部材26に挿入する。さらに、積層圧電
素子23の絶縁性基板21の接着面と反対側の面である
自由端面と、固定部材26の上面が平坦になるようにし
た後に、絶縁性基板21と固定部材26との間の隙間に
接着剤を充填して圧電素子ユニットを固定部材26に固
定する。
電素子23の自由端面とで形成された平面上に薄い振動
板27を積層し、振動板27を積層圧電素子23の自由
端と固定部材26の上面とに接着する。さらに積層圧電
素子23の一つ一つに対応した圧力室32とインク供給
口33とを備え樹脂材料で形成した流路基板28を接着
する。次ぎに、固定部材26と振動板27と流路基板2
8の端面をラップ等の機械加工によって平坦にし、この
平面にノズル41が形成されたノズル板43を接着す
る。
する。図1に示すように、数μmの厚みのポリフェノレ
ンサルファイド(PPS)からなる有機膜11の両面に
20μm程度のステンレスの薄膜12を接着し両面から
エッチング加工を施し、積層圧電素子23と接続する島
状厚肉部12aと流路基板28との接続部分12bを形
成する。
押さえるために用いられる。ノズル41のピッチ密度に
もよるが100dpi(100ドット/インチ)以上の
インクジェット記録ヘッドを構成するためにはPPSの
有機膜11は10μm以下できれば5μm程度が望まし
い。
位を確実にPPSの有機膜11の変形に置き換えるため
にある。積層圧電素子23と振動板27の接着において
接着剤のはみ出し13が生じても、圧力室23を押し出
す面積つまり島状厚肉部12aの面積はいつも一定とな
るので、異なった圧力室23間のばらつきはなくなる。
また、高密度なヘッドを構成していくと、積層圧電素子
23を形成するためのワイヤーソーの幅限界から図1に
示すように積層圧電素子23の幅Aがピッチ密度に比べ
相対的に大きくなる。島状厚肉部12aを形成すると圧
力室23を押し出す幅は図1のBとなり容易に小さくす
ることができる。このため、振動板27の張力に合わせ
た設計が可能となる。
振動板27との接着において接着剤のはみ出し14があ
っても、接続部分12bが振動板27の支点Xを安定化
するので、振動板27の支点Xと作用点Y間の距離Lを
一定に保つことができる。このため振動板の弾性係数を
一定にすることができ安定したインク滴の速度やインク
滴径を生成することが可能となる。
発明の構成は効果を発揮する。例えば、120dpiの
ノズルピッチでヘッドを構成する場合、隣接するのノズ
ル間の距離は211μmであり、島状厚肉部12aの幅
Bを70μm、流路基板28の壁の幅Cを80μmとす
ると接続部12bを用いないとLは30μmとなる。こ
こで接着剤のはみ出し14がたかが3μmあっても膜の
張力はLの三乗に比例するので約30%張力に差が生じ
吐出特性に大きな影響を及ぼす。
幅Dを流路基板28の壁の幅Cよりも小さくするとLを
大きくすることが可能となり、密度に応じた振動板の張
力が発生できるので高密度のインクジェットヘッドを設
計することが可能となる。これは、接続部分12bを流
路の壁に接着する際接着剤のはみ出しを気にしないで製
作できるので圧力室32をシールし振動板27と流路基
板28を強固に結合する接着剤の量が十分確保できるこ
とによる。前述の120dpiのヘッド場合、接続部分
12bの幅Dは50μmでよく結果として振動板27の
支点Xと作用点Y間の距離Lは45μmとなる。このよ
うに構成すると振動板の膜の張力を3分の1に低減でき
積層圧電素子23によって十分に振動板27を押し込む
ことができるのでインク滴速度の速い高性能なインクジ
ェットヘッドが構成できる。
と振動板の膜の張力が高くなり、振動板27を必要な力
で圧力室23の方向に押し込むと振動板の高い張力によ
って流路基板28の壁を変形させる力が働くため、隣接
する圧力室23どうしが干渉しあういわゆるクロストー
ク現象が発生するが、本発明の構成によれば振動板27
の支点Xと作用点Y間の距離Lを確保し振動板の張力を
低減でいるので、この現象を低減できる。
ヘッドの構成によると、ポリフェノレンサルファイド等
の有機材料からなる薄い膜の両面にステンレス等の金属
膜を接着した後にエッチング加工によって島状厚肉部と
流路基板との接続部分を形成して振動板を製作し、これ
と積層圧電素子と流路基板とを接着するので、接着剤の
はみ出しの影響を受けない吐出ばらつきの少ないインク
ジェットヘッドを構成することができる。
ットヘッドの構成によると、振動板の薄肉部の長さを確
保できるのでノズル間のピッチを密にしても振動板の張
力を低く押さえることができるので、クロストーク現象
の少なく、インク滴の吐出速度の速い高性能で高密度は
インクジェットヘッドを構成することができる。
す断面図。
す分解斜視図。
す断面図。
機膜 12aステンレスからなる島状厚肉部 12bステンレスからなる接続部分 13接着剤のはみ出し部 14接着剤のはみ出し部 21絶縁性基板 23積層圧電素子 27振動板 28流路基板 32圧力室 A 積層圧電素子の幅 B 島状厚肉部の幅 C 流路基板の壁の幅 D 接続部分の幅 L 振動板27の支点Xと作用点Y間の距離
Claims (2)
- 【請求項1】 圧電素子の変位を振動板を介して圧力室
に伝達して圧力室内に充填したインクを加圧し圧力室に
連通する複数のノズルよりインク滴を噴射する圧電式の
インクジェット記録ヘッドにおいて、前記圧力室を形成
するための流路基板の壁と前記振動板の間に、幅が流路
基板の壁の幅よりも狭い薄板を挿入したことを特徴とす
るインクジェット記録ヘッド。 - 【請求項2】 ポリフェノレンサルファイド等の有機材
料からなる薄い膜の両面にステンレス等の金属膜を接着
した後にエッチング加工によって島状厚肉部と流路基板
との接続部分を形成して振動板を製作することを特徴す
る請求項1に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方
法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9089299A JPH10278263A (ja) | 1997-04-08 | 1997-04-08 | インクジェット記録ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9089299A JPH10278263A (ja) | 1997-04-08 | 1997-04-08 | インクジェット記録ヘッド |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10278263A true JPH10278263A (ja) | 1998-10-20 |
Family
ID=13966802
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9089299A Pending JPH10278263A (ja) | 1997-04-08 | 1997-04-08 | インクジェット記録ヘッド |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH10278263A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6547376B1 (en) | 1999-04-21 | 2003-04-15 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Ink jet head and method for the manufacture thereof |
US6695438B2 (en) | 2001-09-26 | 2004-02-24 | Seiko Epson Corporation | Liquid jetting head |
US7305764B2 (en) | 1999-11-11 | 2007-12-11 | Seiko Epson Corporation | Method of manufacturing an ink-jet recording head |
EP1886816A1 (en) * | 2006-08-11 | 2008-02-13 | Océ-Technologies B.V. | Ink jet device and method of manufacturing the same |
US7976124B2 (en) | 2006-08-11 | 2011-07-12 | Oce-Technologies B.V. | Ink jet device and method of manufacturing the same |
-
1997
- 1997-04-08 JP JP9089299A patent/JPH10278263A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6547376B1 (en) | 1999-04-21 | 2003-04-15 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Ink jet head and method for the manufacture thereof |
US7305764B2 (en) | 1999-11-11 | 2007-12-11 | Seiko Epson Corporation | Method of manufacturing an ink-jet recording head |
US6695438B2 (en) | 2001-09-26 | 2004-02-24 | Seiko Epson Corporation | Liquid jetting head |
EP1886816A1 (en) * | 2006-08-11 | 2008-02-13 | Océ-Technologies B.V. | Ink jet device and method of manufacturing the same |
US7976124B2 (en) | 2006-08-11 | 2011-07-12 | Oce-Technologies B.V. | Ink jet device and method of manufacturing the same |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3208775B2 (ja) | インクジェットヘッド及びインクジェットヘッドの製造方法 | |
JP4258605B2 (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP2001113700A (ja) | インクジェットヘッド | |
JP3215789B2 (ja) | インクジェット記録ヘッド | |
JP3291999B2 (ja) | インクジェット式印字ヘッド | |
JPH10278263A (ja) | インクジェット記録ヘッド | |
JP4129614B2 (ja) | インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置 | |
JPH09300609A (ja) | インクジェットヘッド | |
JP3879842B2 (ja) | 液体噴射ヘッドの製造方法 | |
JP3384186B2 (ja) | インクジェットヘッド | |
JP2004351879A (ja) | 圧電インクジェットヘッド | |
JP2006082393A (ja) | インクジェット記録ヘッド及びインクジェットプリンタ | |
JP3595129B2 (ja) | インクジェットヘッド | |
US7163279B2 (en) | Inkjet head having relay member interposed between piezoelectric element and diaphragm | |
JP3201004B2 (ja) | インクジェットヘッド | |
JP3149532B2 (ja) | インクジェットヘッド | |
JP2959052B2 (ja) | インクジェット式印字ヘッド | |
JP2010012724A (ja) | 液滴吐出ヘッド、画像形成装置、及び液滴吐出ヘッドの製造方法 | |
JP2658541B2 (ja) | インクジェット記録ヘッド | |
JP3298755B2 (ja) | インクジェットヘッドの製造方法 | |
JP2959056B2 (ja) | インクジェット式印字ヘッド | |
JP3454841B2 (ja) | インクジェットヘッド | |
JP3261919B2 (ja) | インクジェット式印字ヘッド | |
JP3173189B2 (ja) | インクジェットヘッド | |
JP3232632B2 (ja) | インクジェット式印字ヘッド |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20051216 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
|
A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20080116 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080325 |
|
A521 | Written amendment |
Effective date: 20080421 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090804 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090804 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120814 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 3 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120814 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 4 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130814 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |