JPH10277898A - 両頭平面研削盤 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ドレッサの構造が簡単であるとともに、両回
転砥石の研削面を平行状態に正確にドレッシングするこ
とができる両頭平面研削盤を提供する。 【解決手段】 一対の回転砥石１５，１６を回転砥石ホ
ルダ２９，４３に支持した状態で、それらの研削面１５
ａ，１６ａが平行となるように対向配置する。両回転砥
石１５，１６間にワークを挿入配置して、そのワークの
両面を両回転砥石１５，１６の研削面１５ａ，１６ａに
より平行に研削する。回転砥石１５，１６を支持する砥
石ホルダ２９，４３には、ドレッサ６５が交互に装着さ
れる。ドレッサ６５により、対向する回転砥石ホルダ４
３，２９上の回転砥石１６，１５の研削面１６ａ，１５
ａをドレッシングする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、半導体に使用さ
れる硬質な薄板状のウェハの両面を超精密にかつ平行に
微細研削する両頭平面研削盤に関するもので、特に回転
砥石のドレッシングのための構成に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】この種の両頭平面研削盤においては、例
えば図１２に示すように、一対の回転軸８１，８２が軸
線Ｌ１−Ｌ１，Ｌ２−Ｌ２上に回転可能に配設されてい
る。各回転軸８１，８２の対向端部には回転砥石８３，
８４が回転砥石ホルダ８５，８６を介して取り付けら
れ、それらの回転砥石８３，８４は研削面８３ａ，８４
ａが平行となるように対向配置されている。そして、両
回転砥石８３，８４間にはワーク８７がワークホルダ８
８等に保持して挿入配置され、この状態で両回転砥石８
３，８４が回転されるとともに、ワーク８７に接近移動
されて、両回転砥石８３，８４の研削面８３ａ，８４ａ
により、ワーク８７の両面が同時に平行に研削されるよ
うになっている。

【０００３】この両頭平面研削盤では、一対の回転砥石
８３，８４によりワーク８７の両面が同時に研削される
ため、大量にワーク８７を研削加工する場合に広く使用
されている。しかしながら、この両頭平面研削盤におい
ては、両回転砥石８３，８４の研削面８３ａ，８４ａが
接離可能に対向配置されているため、それらの研削面８
３ａ，８４ａをドレッシングするのが困難であった。

【０００４】そのため、従来の両頭平面研削盤では、例
えば特開平１−２８９６０２号公報及び米国特許第４９
８４３９０号に示されるような構成のものが提案されて
いる。即ち、図１２及び図１３に示すように、両回転砥
石８３，８４の外側方にドレッサ８９を配設し、そのド
レッサ８９により両回転砥石８３，８４の研削面８３
ａ，８４ａをドレッシングするようにした構成が提案さ
れている。

【０００５】この従来構成においては、回転アーム９０
が回転砥石８３，８４の回転軸線Ｌ１−Ｌ１，Ｌ２−Ｌ
２と平行な軸線Ｌ３−Ｌ３の周りで回動可能に支持さ
れ、回動用モータ９１により回動されるようになってい
る。回転アーム９０の先端にはダイヤモンドホイール等
よりなるドレッシングホイール９２が回転可能に支持さ
れ、回転用モータ９３により回転されるようになってい
る。

【０００６】そして、通常の研削加工時には、図１３に
鎖線で示すように、回転アーム９０が回転砥石８３，８
４の外方位置に退避されている。また、ドレッシング時
には、図１３に実線で示すように、回転アーム９０が回
転砥石８３，８４間の位置に回動されて、ドレッシング
ホイール９２が回転砥石８３，８４と相対配置される。
この状態で、回動用モータ９１により回転アーム９０が
回転砥石８３，８４間の位置において所定範囲で往復回
動されながら、回転用モータ９３によりドレッシングホ
イール９２が回転されるとともに、回転砥石８３，８４
が回転されて、その砥石面８３ａ，８４ａがドレッシン
グされる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ところが、この従来の
両頭平面研削盤においては、ドレッサ８９の回転アーム
９０が、回転砥石８３，８４の回転軸線Ｌ１−Ｌ１，Ｌ
２−Ｌ２から離間した軸線Ｌ３−Ｌ３の周りで回動可能
に配設され、その回転アーム９０の先端にドレッシング
ホイール９２が支持されている。このため、両砥石の平
行度等のドレッシング精度を確保するために、回転アー
ム９０の回動軸線Ｌ３−Ｌ３を各回転砥石８３，８４の
回転軸線Ｌ１−Ｌ１，Ｌ２−Ｌ２に対して、平行となる
ように設定配置する必要があるとともに、回転アーム９
０の剛性を高めて、ドレッシング時に撓曲が生じないよ
うに形成する必要がある。

【０００８】ちなみに、前記３軸線の平行度が崩れた
り、回転アーム９０が撓曲したりすると、両回転砥石８
３，８４の研削面８３ａ，８４ａを平行状態に正確にド
レッシングすることができなくなり、研削面８３ａ，８
４ａは円錐状又は逆円錐状になる。よって、この従来構
成においては、ドレッサ８９の構造が複雑になるばかり
でなく、回転砥石８３，８４の研削面８３ａ，８４ａを
平行状態に正確にドレッシングするのが難しいという問
題があった。

【０００９】この発明は、このような従来の技術に存在
する問題点に着目してなされたものである。その目的と
するところは、ドレッサの構造が簡単であるとともに、
両回転砥石の研削面を平行状態に正確にドレッシングす
ることができる両頭平面研削盤を提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、請求項１に記載の発明では、一対の回転砥石を回
転砥石ホルダに支持した状態で、それらの研削面が平行
となるように対向配置し、両回転砥石間にワークを挿入
配置して、そのワークの両面を両回転砥石の研削面によ
り平行に研削するようにした両頭平面研削盤において、
前記回転砥石を支持する各回転砥石ホルダには、対向す
る回転砥石ホルダ上の回転砥石の研削面をドレッシング
するためのドレッサを装着したものである。

【００１１】請求項２に記載の発明では、請求項１に記
載の両頭平面研削盤において、ドレッサは、砥石ホルダ
に対して着脱可能である。請求項３に記載の発明では、
請求項１または２に記載の両頭平面研削盤において、ド
レッシング時には、ドレッサを支持する回転砥石ホルダ
または対向する回転砥石ホルダが研削面に沿って低速回
転されるようにしたものである。

【００１２】さて、この発明の両頭平面研削盤におい
て、研削加工を行う場合には、ワークがワーク支持板等
に支持された状態で、両回転砥石間に挿入配置される。
そして、この状態で両回転砥石が高速回転されるととも
にワークに接近移動されて、両回転砥石の研削面により
ワークの両面が同時に研削される。

【００１３】そして、各回転砥石の研削面をドレッシン
グする場合には、ドレッサを支持する回転砥石ホルダま
たは対向する回転砥石ホルダが研削面に沿って低速回転
される。このため回転砥石の研削面がドレッシングされ
る。このドレッシング時には、ドレッサが各回転砥石ホ
ルダ上の定位置に装着されているため、両回転砥石の回
転軸線の平行度が出ていれば、両回転砥石の研削面は平
行状態に正確にドレッシングされる。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下に、この発明の一実施形態
を、図１〜図５に基づいて詳細に説明する。図１〜図４
に示すように、この実施形態の両頭平面研削盤は下部フ
レーム１１を備え、その下部フレーム１１上には上部フ
レーム１１１が固定されている。下部フレーム１１には
下部砥石回転昇降機構１２及びワーク保持機構１４が装
設され、上部フレーム１１１には上部砥石回転昇降機構
１３が装設されている。両砥石回転昇降機構１２，１３
には回転砥石１５，１６が配設され、それらの回転砥石
１５，１６の上部または下部端面の研削面１５ａ，１６
ａが互いに平行となるように対向配置されている。そし
て、ワーク１７がワーク保持機構１４に支持された状態
で、両砥石回転昇降機構１２，１３の回転砥石１５，１
６間に挿入配置され、それらの回転砥石１５，１６の研
削面１５ａ，１６ａにより、ワーク１７の両面が同時に
研削されるようになっている。

【００１５】図２及び図３に示すように、前記下部砥石
回転昇降機構１２の回転砥石台２０は下部フレーム１１
上にガイド２１を介して、回転砥石１５の回転軸線と直
交する方向へ移動可能に支持されている。移動用モータ
２２はフレーム１１の側部に配設され、このモータ２２
の回転により、ボールネジ２３を介して回転砥石台２０
が水平横方向に移動される。軸支筒２４は回転砥石台２
０にガイド２４ａを介して回転砥石１５の回転軸線方向
へ昇降可能に支持されている。昇降用モータ２５は回転
砥石台２０の下部に配設され、このモータ２５の回転に
より、ウォームとウォームホイールで構成される回転伝
達機構２６及びボールネジ２７を介して図示しないガイ
ド２４ａに案内されて軸支筒２４が昇降される。なお、
この昇降ストロークはわずかである。

【００１６】回転軸２８は前記軸支筒２４内の軸受２４
ｂ，２４ｃを介して回転可能に支持され、その上端に一
体的に形成された回転砥石ホルダ２９を介して回転砥石
１５が装着されている。ドレッシング用モータ３０は軸
支筒２４の外側部に配設され、上砥石１６のドレッシン
グに際して、このモータ３０の回転により、プーリ３
１、ベルト３２、プーリ３３、クラッチ３５及び回転軸
２８を介して回転砥石１５が低速回転される。回転軸２
８を回転させる加工用モータ３４は軸支筒２４の内部に
配設され、研削加工に際して、このモータ３４の回転に
より、回転軸２８を介して回転砥石１５が高速回転され
る。

【００１７】前記クラッチ３５は前記回転軸２８とプー
リ３３との間に介装されている。そして、ドレッシング
に際してドレッシング用モータ３０が回転されるときに
は、このクラッチ３５が回転軸２８と接続状態になっ
て、モータ３０から回転軸２８側への動力伝達が許容さ
れる。一方、研削加工に際して加工用モータ３４が回転
されたときには、クラッチ３５が解放状態になって、回
転軸２８からドレッシング用モータ３０側への動力伝達
が阻止される。

【００１８】図３及び図４に示すように、前記上部砥石
回転昇降機構１３の軸支筒３８は中間フレーム１００上
に固定された上部フレーム１１１と一体のガイド３９を
介して、回転砥石１６の回転軸線方向へ昇降可能に支持
されている。昇降用モータ４０は上部フレーム１１１の
側部に配設され、このモータ４０の回転により、ボール
ネジ４１を介して軸支筒３８が昇降される。

【００１９】回転軸４２は前記軸支筒３８内に回転可能
に支持され、その下端には一体的に形成された回転砥石
ホルダ４３を介して回転砥石１６が装着されている。ド
レッシング用モータ４４は軸支筒３８の外側部に配設さ
れ、下砥石１５のドレッシング加工に際して、このモー
タ４４の回転により、プーリ４５、ベルト４６、プーリ
４７、クラッチ４９及び回転軸４２を介して回転砥石１
６が低速回転される。加工用モータ４８は軸支筒３８の
内部に配設され、研削加工に際して、このモータ４８の
回転により、回転軸４２を介して回転砥石１６が高速回
転される。

【００２０】クラッチ４９は前記回転軸４２とプーリ４
７との間に介装されている。そして、ドレッシングに際
してドレッシング用モータ４４が回転されたときには、
このクラッチ４９が回転軸４２と接続状態になって、モ
ータ４４から回転軸４２側への動力伝達が許容される。
一方、研削加工に際して加工用モータ４８が回転された
ときには、クラッチ４９が解放状態になって、回転軸４
２からドレッシング用モータ４４側への動力伝達が阻止
される。

【００２１】図２，図４，図５及び図６に示すように、
前記ワーク保持機構１４の支持台５２は両砥石回転昇降
機構１２，１３間において、下部フレーム１１上に配設
されている。移動枠５３は支持台５２上の一対のガイド
レール５４を介して、下部砥石回転昇降機構１２の回転
砥石台２０の移動方向と同方向へ移動可能に支持されて
いる。移動用モータ５５は支持台５２上に配設され、こ
のモータ５５の回転により、ボールネジ５６を介して移
動枠５３が移動される。

【００２２】円環状の回転枠５７は前記移動枠５３内に
３個のガイドローラ５８を介して回転可能に支持され、
その下部外周にはギヤ５９が形成されている。ワーク支
持板６０はワーク１７より薄く形成され、回転枠５７の
下面にその重力で撓んで変形しないように水平外周方向
に張設され、その中央部或いは若干偏心した位置にはワ
ーク１７を着脱可能にセットするためのセット孔６０ａ
が形成されている。セット孔６０ａにはワーク１７の溝
１７ａと係合可能な突起６０ｂが設けられている。回転
用モータ６１は移動枠５３上に配設され、そのモータ軸
には回転枠５７のギヤ５９に噛合するギヤ６２が固定さ
れている。そして、このモータ６１の回転により、ギヤ
６２，５９を介して回転枠５７が移動枠５３に対し回転
される。

【００２３】図３及び図７に示すように、各複数のねじ
孔７０は前記両砥石ホルダ２９，４３の端部に形成され
ている。ドレッサ６５は前記ねじ孔７０に螺入されるボ
ルト７１により回転砥石１５，１６から外方へ離隔した
位置において砥石ホルダ２９の上面または砥石ホルダ４
３の下面に選択的に装着される。このドレッサ６５のハ
ウジング６６は支持杆６７を介して、砥石ホルダ２９の
上面または砥石ホルダ４３の下面に固定される。ダイヤ
モンドホイール等よりなるドレッシングホイール６８は
ハウジング６６の外側面に回転可能に支持され、ハウジ
ング６６内に配設された駆動源としてのモータ６９によ
り回転駆動される。

【００２４】そして、下部砥石回転昇降機構１２の回転
砥石１５の研削面１５ａをドレッシングする際には、図
７に示すように、ドレッサ６５が上部の砥石ホルダ４３
に固定される。この状態で、下部砥石回転昇降機構１２
の回転砥石１５が移動用モータ２２にて図９に示すＰ１
の位置に移動される。次に、図６に示すように、移動枠
５３が移動用モータ５５にて側方に退避される。これに
より、このドレッサ６５のドレッシングホイール６８
が、回転砥石１５の研削面１５ａに相対配置される。こ
の状態で、上部砥石回転昇降機構１３の軸支筒３８が昇
降用モータ４０にて下降されることにより、回転砥石１
５の研削面１５ａがドレッシングホイール６８に接合さ
れる。

【００２５】一方、図６に示すように、上部砥石回転昇
降機構１３の回転砥石１６の研削面１６ａをドレッシン
グする際には、ドレッサ６５が下部の砥石ホルダ２９に
固定される。前記下部砥石回転昇降機構１２の回転砥石
１５のドレスの場合と同様に、この状態で下部砥石回転
昇降機構１２の砥石ホルダ２９が移動用モータ２２に
て、図８に示すＰ２点へ移動されるとともに、図６のよ
うに移動枠５３が側方に退避される。これにより、この
ドレッサ６５のドレッシングホイール６８が、回転砥石
１６の研削面１６ａに相対配置される。この状態で、上
部回転砥石機構１３の軸支筒３８が昇降用モータ４０に
て下降されることにより、回転砥石１６の研削面１６ａ
がドレッシングホイール６８に接合される。

【００２６】次に、前記のように構成された両頭平面研
削盤の動作を説明する。さて、この両頭平面研削盤にお
いて、研削加工を行う場合には、ワーク１７がワーク保
持機構１４のワーク支持板６０に保持された状態で、上
下両砥石回転昇降機構１２，１３の回転砥石１５，１６
間に挿入配置される。この状態で、上下両砥石回転昇降
機構１２，１３の回転砥石１５，１６が高速回転される
とともに、回転用モータ６１が回転駆動され、ワーク支
持板６０はギヤ６２，５９を介して回転され、セット孔
６０ａに挿入保持され、かつ突起６０ｂに係合されたワ
ーク１７が回転される。そして、上部砥石回転昇降機構
１３の回転砥石１６がワーク１７に向かって下降接近さ
れて、両回転砥石１５，１６の研削面１５ａ，１６ａに
より、ワーク１７の両面が同時に研削される。

【００２７】このように、ワーク１７の研削加工が繰り
返し行われて、各回転砥石１５，１６の研削面１５ａ，
１６ａをドレッシングする必要が生じた場合には、次の
ようなドレッシング動作が行われる。

【００２８】まず、上部砥石回転昇降機構１３の回転砥
石１６の研削面１６ａをドレッシングする場合には、図
８に示すように、ドレッサ６５が下部の砥石ホルダ２９
に固定される。そして、下部砥石回転昇降機構１２の砥
石ホルダ２９が図８のＰ２の位置に移動されるととも
に、図６に示すように、移動枠５３が退避移動され、ド
レッサ６５のドレッシングホイール６８が、回転砥石１
６の研削面１６ａに相対配置される。さらに、上部砥石
回転昇降機構１３の軸支筒３８が下降されて、回転砥石
１６の研削面１６ａがドレッシングホイール６８に接合
される。

【００２９】この状態で、ドレッシングホイール６８が
モータ６９により回転されるとともに、回転砥石１６が
加工用（研削用）モータ４８により高速回転されて、そ
の回転砥石１６の研削面１６ａがドレッシングされる。

【００３０】このとき、上下両砥石回転昇降機構１２，
１３の回転砥石１５，１６の回転軸線が平行に配置され
た状態で、ドレッサ６５が下部砥石回転昇降機構１２の
回転砥石１５の回転軸線に近接して、その回転砥石１５
を支持する回転砥石ホルダ２９上の外周定位置に装着さ
れ、回転砥石１５の軸線を中心にしてドレス用モータ３
０により低速で回転している。このため、ドレッサ６５
の上砥石１６に対する運動の軌跡は図８に示すように、
砥石１６の中心に向かう円弧状になる。そして、ドレッ
サ６５が回転砥石１６の非砥石面１６ｂに達した時、ド
レッシング用モータ３０が逆転され、ドレッサ６５が上
部砥石１６の外側の位置、すなわちドレス開始点まで戻
る。以後ドレッサ６５は所定の回数を往復動作する。

【００３１】又、図１０に示すようにドレッサホイール
６８の上部砥石１６に対する軌跡は円弧Ｘ１になるが、
上砥石１６のドレスに対しては同上砥石１６の中心を通
る直線Ｙ１のようになるのが望ましい。そのため、円弧
Ｘ１と直線Ｙ１の差Δ１の値を補正するため、ドレッシ
ング用モータ３０の動きに同期させながら、下部砥石ホ
ルダ２９を移動用モータ２２により回転させる。それに
より、上部砥石回転昇降機構１３の回転砥石１６の研削
面１６ａは、下部砥石回転昇降機構１２の回転砥石１５
の研削面１５ａと平行になるように正確にドレッシング
される。

【００３２】次に、下部砥石回転昇降機構１２の回転砥
石１５の研削面１５ａをドレッシングする場合には、図
３及び図９に示すように、ドレッサ６５が上部の砥石ホ
ルダ４３に固定される。この状態で、下部砥石回転昇降
機構１２の回転砥石１５が図９のＰ１点へ移動されると
ともに、図６に示すように、移動枠５３が退避移動され
て、ドレッサ６５のドレッシングホイール６８が、回転
砥石１５の研削面１５ａに相対配置される。さらに、上
部砥石回転昇降機構１３の軸支筒３８が下降されて、回
転砥石１５の研削面１５ａがドレッシングホイール６８
に接合される。

【００３３】この状態で、ドレッシングホイール６８が
モータ６９により回転されるとともに、回転砥石１５が
加工用モータ３４により高速回転されて、その回転砥石
１５の研削面１５ａがドレッシングされる。

【００３４】このとき、上下両砥石回転昇降機構１２，
１３の回転砥石１５，１６の回転軸線が平行に配置され
た状態で、ドレッサ６５が上部砥石回転昇降機構１３の
回転砥石１６の回転軸線に近接して、その回転砥石１６
を支持する回転砥石ホルダ４３上の外周定位置に装着さ
れ、回転砥石１６の軸線を中心にしてドレス用モータ４
４により低速で回転している。このため、ドレッサホイ
ール６８の下砥石１５に対する運動の軌跡は図９に示す
ように、砥石１５の中心に向かう円弧状となる。そし
て、ドレッサ６５が回転砥石１５の非砥石面１５ｂに達
した時、ドレッシング用モータ３０が逆転され、ドレッ
サ６５が下部砥石１５の外側の位置、すなわちドレス開
始点まで戻る。以後ドレッサ６５は所定の回数を往復動
作する。

【００３５】又、図１１に示すようにドレッサホイール
６８の下部砥石１５に対する軌跡は円弧Ｘ２になるが、
下砥石１５のドレスに対しては同下砥石１５の中心を通
る直線Ｙ２のようになるのが望ましい。そのため、円弧
Ｘ２と直線Ｙ２の差Δ２の値を補正するため、ドレッシ
ング用モータ４４の動きに同期させながら、下部砥石ホ
ルダ２９を移動用モータ２２により前後させる。それに
より、下部砥石回転昇降機構１２の回転砥石１５の研削
面１５ａは、上部砥石回転昇降機構１３の回転砥石１６
の研削面１６ａと平行になるように正確にドレッシング
される。

【００３６】前記の実施形態によって期待できる効果に
ついて、以下に記載する。この実施形態の両頭平面研削
盤においては、回転砥石１５，１６を支持する各回転砥
石ホルダ２９，４３にドレッサ６５が着脱可能に装着さ
れ、このドレッサ６５により、対向する回転砥石ホルダ
４３，２９上の回転砥石１６，１５の研削面１６ａ，１
５ａをドレッシングするようになっている。このため、
回転アームの先端にドレッシングホイールを支持した従
来構成のドレッサとは異なり、回転アームの回動軸線と
両回転砥石の回転軸線との平行度を出したり、回転アー
ムの剛性を高めたりする必要がなく、ドレッサ６５の位
置精度を向上できる。よって、両回転砥石１５，１６の
研削面１５ａ，１６ａを平行状態に正確にドレッシング
することができる。

【００３７】前述したように、回転アームの回動軸線と
両回転砥石の回転軸線との平行度を出したり、回転アー
ムの剛性を高めたりする必要がない。よって、組付けが
容易になり、装置の製造が簡単になる。

【００３８】ドレッサ６５が砥石ホルダ２９，４３に着
脱されるものであるため、ドレッサ６５は１個でよく、
構成が簡単である。

【００３９】

【発明の効果】この発明は、以上のように構成されてい
るため、次のような効果を奏する。請求項１に記載の発
明によれば、ドレッサの構造が簡単であるとともに、両
回転砥石の研削面を平行状態に正確にドレッシングする
ことができる。

【００４０】請求項２に記載の発明によれば、ドレッサ
が１個でよく、構成が簡単である。請求項２に記載の発
明によれば、ドレッシング時に、ドレッサのドレッシン
グホイールを対向する回転砥石の研削面に容易に相対配
置させることができて、その研削面を正確にドレッシン
グすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この発明の両頭平面研削盤の一実施形態を示
す正面図。

【図２】 下部フレーム部分の要部断面図。

【図３】 上部フレーム部分の要部断面図。

【図４】 ワーク保持機構の平面図。

【図５】 図３ワークの支持構成を示す拡大断面図。

【図６】 同じく斜視図。

【図７】 ドレッサ取付部分の拡大断面図。

【図８】 上部の回転砥石のドレッシング状態を示す平
面図。

【図９】 下部の回転砥石のドレッシング状態を示す平
面図。

【図１０】 ドレッサの上砥石に対する運動軌跡を示す
説明図。

【図１１】 ドレッサの下砥石に対する運動軌跡を示す
説明図。

【図１２】 従来の構成を示す側面図。

【図１３】 同じく平面図。

【符号の説明】

１１…下部フレーム、１１１…上部フレーム、１２…下
部砥石回転昇降機構、１３…上部砥石回転昇降機構、１
４…ワーク保持機構、１５…回転砥石、１５ａ…研削
面、１６…回転砥石、１６ａ…研削面、１７…ワーク、
２０…回転砥石台、６５…ドレッサ。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 村井 史朗 富山県東砺波郡福野町100番地 株式会社 日平トヤマ富山工場内

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 一対の回転砥石を砥石ホルダに支持した
   状態で、それらの研削面が平行となるように対向配置
   し、両回転砥石間にワークを挿入配置して、そのワーク
   の両面を両回転砥石の研削面により平行に研削するよう
   にした両頭平面研削盤において、 前記回転砥石を支持する砥石ホルダには、対向する砥石
   ホルダ上の回転砥石の研削面をドレッシングするための
   ドレッサを装着した両頭平面研削盤。
2. 【請求項２】 ドレッサは、砥石ホルダに対して着脱可
   能である請求項１に記載の両頭平面研削盤。
3. 【請求項３】 ドレッシング時には、ドレッサを支持す
   る回転砥石ホルダまたは対向する回転砥石ホルダが研削
   面に沿って低速回転されるようにした請求項１または２
   に記載の両頭平面研削盤。