JPH10277898A - 両頭平面研削盤 - Google Patents
両頭平面研削盤Info
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- JPH10277898A JPH10277898A JP8150197A JP8150197A JPH10277898A JP H10277898 A JPH10277898 A JP H10277898A JP 8150197 A JP8150197 A JP 8150197A JP 8150197 A JP8150197 A JP 8150197A JP H10277898 A JPH10277898 A JP H10277898A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotating
- grindstone
- grinding
- dresser
- dressing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ドレッサの構造が簡単であるとともに、両回
転砥石の研削面を平行状態に正確にドレッシングするこ
とができる両頭平面研削盤を提供する。 【解決手段】 一対の回転砥石15,16を回転砥石ホ
ルダ29,43に支持した状態で、それらの研削面15
a,16aが平行となるように対向配置する。両回転砥
石15,16間にワークを挿入配置して、そのワークの
両面を両回転砥石15,16の研削面15a,16aに
より平行に研削する。回転砥石15,16を支持する砥
石ホルダ29,43には、ドレッサ65が交互に装着さ
れる。ドレッサ65により、対向する回転砥石ホルダ4
3,29上の回転砥石16,15の研削面16a,15
aをドレッシングする。
転砥石の研削面を平行状態に正確にドレッシングするこ
とができる両頭平面研削盤を提供する。 【解決手段】 一対の回転砥石15,16を回転砥石ホ
ルダ29,43に支持した状態で、それらの研削面15
a,16aが平行となるように対向配置する。両回転砥
石15,16間にワークを挿入配置して、そのワークの
両面を両回転砥石15,16の研削面15a,16aに
より平行に研削する。回転砥石15,16を支持する砥
石ホルダ29,43には、ドレッサ65が交互に装着さ
れる。ドレッサ65により、対向する回転砥石ホルダ4
3,29上の回転砥石16,15の研削面16a,15
aをドレッシングする。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、半導体に使用さ
れる硬質な薄板状のウェハの両面を超精密にかつ平行に
微細研削する両頭平面研削盤に関するもので、特に回転
砥石のドレッシングのための構成に関するものである。
れる硬質な薄板状のウェハの両面を超精密にかつ平行に
微細研削する両頭平面研削盤に関するもので、特に回転
砥石のドレッシングのための構成に関するものである。
【0002】
【従来の技術】この種の両頭平面研削盤においては、例
えば図12に示すように、一対の回転軸81,82が軸
線L1−L1,L2−L2上に回転可能に配設されてい
る。各回転軸81,82の対向端部には回転砥石83,
84が回転砥石ホルダ85,86を介して取り付けら
れ、それらの回転砥石83,84は研削面83a,84
aが平行となるように対向配置されている。そして、両
回転砥石83,84間にはワーク87がワークホルダ8
8等に保持して挿入配置され、この状態で両回転砥石8
3,84が回転されるとともに、ワーク87に接近移動
されて、両回転砥石83,84の研削面83a,84a
により、ワーク87の両面が同時に平行に研削されるよ
うになっている。
えば図12に示すように、一対の回転軸81,82が軸
線L1−L1,L2−L2上に回転可能に配設されてい
る。各回転軸81,82の対向端部には回転砥石83,
84が回転砥石ホルダ85,86を介して取り付けら
れ、それらの回転砥石83,84は研削面83a,84
aが平行となるように対向配置されている。そして、両
回転砥石83,84間にはワーク87がワークホルダ8
8等に保持して挿入配置され、この状態で両回転砥石8
3,84が回転されるとともに、ワーク87に接近移動
されて、両回転砥石83,84の研削面83a,84a
により、ワーク87の両面が同時に平行に研削されるよ
うになっている。
【0003】この両頭平面研削盤では、一対の回転砥石
83,84によりワーク87の両面が同時に研削される
ため、大量にワーク87を研削加工する場合に広く使用
されている。しかしながら、この両頭平面研削盤におい
ては、両回転砥石83,84の研削面83a,84aが
接離可能に対向配置されているため、それらの研削面8
3a,84aをドレッシングするのが困難であった。
83,84によりワーク87の両面が同時に研削される
ため、大量にワーク87を研削加工する場合に広く使用
されている。しかしながら、この両頭平面研削盤におい
ては、両回転砥石83,84の研削面83a,84aが
接離可能に対向配置されているため、それらの研削面8
3a,84aをドレッシングするのが困難であった。
【0004】そのため、従来の両頭平面研削盤では、例
えば特開平1−289602号公報及び米国特許第49
84390号に示されるような構成のものが提案されて
いる。即ち、図12及び図13に示すように、両回転砥
石83,84の外側方にドレッサ89を配設し、そのド
レッサ89により両回転砥石83,84の研削面83
a,84aをドレッシングするようにした構成が提案さ
れている。
えば特開平1−289602号公報及び米国特許第49
84390号に示されるような構成のものが提案されて
いる。即ち、図12及び図13に示すように、両回転砥
石83,84の外側方にドレッサ89を配設し、そのド
レッサ89により両回転砥石83,84の研削面83
a,84aをドレッシングするようにした構成が提案さ
れている。
【0005】この従来構成においては、回転アーム90
が回転砥石83,84の回転軸線L1−L1,L2−L
2と平行な軸線L3−L3の周りで回動可能に支持さ
れ、回動用モータ91により回動されるようになってい
る。回転アーム90の先端にはダイヤモンドホイール等
よりなるドレッシングホイール92が回転可能に支持さ
れ、回転用モータ93により回転されるようになってい
る。
が回転砥石83,84の回転軸線L1−L1,L2−L
2と平行な軸線L3−L3の周りで回動可能に支持さ
れ、回動用モータ91により回動されるようになってい
る。回転アーム90の先端にはダイヤモンドホイール等
よりなるドレッシングホイール92が回転可能に支持さ
れ、回転用モータ93により回転されるようになってい
る。
【0006】そして、通常の研削加工時には、図13に
鎖線で示すように、回転アーム90が回転砥石83,8
4の外方位置に退避されている。また、ドレッシング時
には、図13に実線で示すように、回転アーム90が回
転砥石83,84間の位置に回動されて、ドレッシング
ホイール92が回転砥石83,84と相対配置される。
この状態で、回動用モータ91により回転アーム90が
回転砥石83,84間の位置において所定範囲で往復回
動されながら、回転用モータ93によりドレッシングホ
イール92が回転されるとともに、回転砥石83,84
が回転されて、その砥石面83a,84aがドレッシン
グされる。
鎖線で示すように、回転アーム90が回転砥石83,8
4の外方位置に退避されている。また、ドレッシング時
には、図13に実線で示すように、回転アーム90が回
転砥石83,84間の位置に回動されて、ドレッシング
ホイール92が回転砥石83,84と相対配置される。
この状態で、回動用モータ91により回転アーム90が
回転砥石83,84間の位置において所定範囲で往復回
動されながら、回転用モータ93によりドレッシングホ
イール92が回転されるとともに、回転砥石83,84
が回転されて、その砥石面83a,84aがドレッシン
グされる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】ところが、この従来の
両頭平面研削盤においては、ドレッサ89の回転アーム
90が、回転砥石83,84の回転軸線L1−L1,L
2−L2から離間した軸線L3−L3の周りで回動可能
に配設され、その回転アーム90の先端にドレッシング
ホイール92が支持されている。このため、両砥石の平
行度等のドレッシング精度を確保するために、回転アー
ム90の回動軸線L3−L3を各回転砥石83,84の
回転軸線L1−L1,L2−L2に対して、平行となる
ように設定配置する必要があるとともに、回転アーム9
0の剛性を高めて、ドレッシング時に撓曲が生じないよ
うに形成する必要がある。
両頭平面研削盤においては、ドレッサ89の回転アーム
90が、回転砥石83,84の回転軸線L1−L1,L
2−L2から離間した軸線L3−L3の周りで回動可能
に配設され、その回転アーム90の先端にドレッシング
ホイール92が支持されている。このため、両砥石の平
行度等のドレッシング精度を確保するために、回転アー
ム90の回動軸線L3−L3を各回転砥石83,84の
回転軸線L1−L1,L2−L2に対して、平行となる
ように設定配置する必要があるとともに、回転アーム9
0の剛性を高めて、ドレッシング時に撓曲が生じないよ
うに形成する必要がある。
【0008】ちなみに、前記3軸線の平行度が崩れた
り、回転アーム90が撓曲したりすると、両回転砥石8
3,84の研削面83a,84aを平行状態に正確にド
レッシングすることができなくなり、研削面83a,8
4aは円錐状又は逆円錐状になる。よって、この従来構
成においては、ドレッサ89の構造が複雑になるばかり
でなく、回転砥石83,84の研削面83a,84aを
平行状態に正確にドレッシングするのが難しいという問
題があった。
り、回転アーム90が撓曲したりすると、両回転砥石8
3,84の研削面83a,84aを平行状態に正確にド
レッシングすることができなくなり、研削面83a,8
4aは円錐状又は逆円錐状になる。よって、この従来構
成においては、ドレッサ89の構造が複雑になるばかり
でなく、回転砥石83,84の研削面83a,84aを
平行状態に正確にドレッシングするのが難しいという問
題があった。
【0009】この発明は、このような従来の技術に存在
する問題点に着目してなされたものである。その目的と
するところは、ドレッサの構造が簡単であるとともに、
両回転砥石の研削面を平行状態に正確にドレッシングす
ることができる両頭平面研削盤を提供することにある。
する問題点に着目してなされたものである。その目的と
するところは、ドレッサの構造が簡単であるとともに、
両回転砥石の研削面を平行状態に正確にドレッシングす
ることができる両頭平面研削盤を提供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、請求項1に記載の発明では、一対の回転砥石を回
転砥石ホルダに支持した状態で、それらの研削面が平行
となるように対向配置し、両回転砥石間にワークを挿入
配置して、そのワークの両面を両回転砥石の研削面によ
り平行に研削するようにした両頭平面研削盤において、
前記回転砥石を支持する各回転砥石ホルダには、対向す
る回転砥石ホルダ上の回転砥石の研削面をドレッシング
するためのドレッサを装着したものである。
めに、請求項1に記載の発明では、一対の回転砥石を回
転砥石ホルダに支持した状態で、それらの研削面が平行
となるように対向配置し、両回転砥石間にワークを挿入
配置して、そのワークの両面を両回転砥石の研削面によ
り平行に研削するようにした両頭平面研削盤において、
前記回転砥石を支持する各回転砥石ホルダには、対向す
る回転砥石ホルダ上の回転砥石の研削面をドレッシング
するためのドレッサを装着したものである。
【0011】請求項2に記載の発明では、請求項1に記
載の両頭平面研削盤において、ドレッサは、砥石ホルダ
に対して着脱可能である。請求項3に記載の発明では、
請求項1または2に記載の両頭平面研削盤において、ド
レッシング時には、ドレッサを支持する回転砥石ホルダ
または対向する回転砥石ホルダが研削面に沿って低速回
転されるようにしたものである。
載の両頭平面研削盤において、ドレッサは、砥石ホルダ
に対して着脱可能である。請求項3に記載の発明では、
請求項1または2に記載の両頭平面研削盤において、ド
レッシング時には、ドレッサを支持する回転砥石ホルダ
または対向する回転砥石ホルダが研削面に沿って低速回
転されるようにしたものである。
【0012】さて、この発明の両頭平面研削盤におい
て、研削加工を行う場合には、ワークがワーク支持板等
に支持された状態で、両回転砥石間に挿入配置される。
そして、この状態で両回転砥石が高速回転されるととも
にワークに接近移動されて、両回転砥石の研削面により
ワークの両面が同時に研削される。
て、研削加工を行う場合には、ワークがワーク支持板等
に支持された状態で、両回転砥石間に挿入配置される。
そして、この状態で両回転砥石が高速回転されるととも
にワークに接近移動されて、両回転砥石の研削面により
ワークの両面が同時に研削される。
【0013】そして、各回転砥石の研削面をドレッシン
グする場合には、ドレッサを支持する回転砥石ホルダま
たは対向する回転砥石ホルダが研削面に沿って低速回転
される。このため回転砥石の研削面がドレッシングされ
る。このドレッシング時には、ドレッサが各回転砥石ホ
ルダ上の定位置に装着されているため、両回転砥石の回
転軸線の平行度が出ていれば、両回転砥石の研削面は平
行状態に正確にドレッシングされる。
グする場合には、ドレッサを支持する回転砥石ホルダま
たは対向する回転砥石ホルダが研削面に沿って低速回転
される。このため回転砥石の研削面がドレッシングされ
る。このドレッシング時には、ドレッサが各回転砥石ホ
ルダ上の定位置に装着されているため、両回転砥石の回
転軸線の平行度が出ていれば、両回転砥石の研削面は平
行状態に正確にドレッシングされる。
【0014】
【発明の実施の形態】以下に、この発明の一実施形態
を、図1〜図5に基づいて詳細に説明する。図1〜図4
に示すように、この実施形態の両頭平面研削盤は下部フ
レーム11を備え、その下部フレーム11上には上部フ
レーム111が固定されている。下部フレーム11には
下部砥石回転昇降機構12及びワーク保持機構14が装
設され、上部フレーム111には上部砥石回転昇降機構
13が装設されている。両砥石回転昇降機構12,13
には回転砥石15,16が配設され、それらの回転砥石
15,16の上部または下部端面の研削面15a,16
aが互いに平行となるように対向配置されている。そし
て、ワーク17がワーク保持機構14に支持された状態
で、両砥石回転昇降機構12,13の回転砥石15,1
6間に挿入配置され、それらの回転砥石15,16の研
削面15a,16aにより、ワーク17の両面が同時に
研削されるようになっている。
を、図1〜図5に基づいて詳細に説明する。図1〜図4
に示すように、この実施形態の両頭平面研削盤は下部フ
レーム11を備え、その下部フレーム11上には上部フ
レーム111が固定されている。下部フレーム11には
下部砥石回転昇降機構12及びワーク保持機構14が装
設され、上部フレーム111には上部砥石回転昇降機構
13が装設されている。両砥石回転昇降機構12,13
には回転砥石15,16が配設され、それらの回転砥石
15,16の上部または下部端面の研削面15a,16
aが互いに平行となるように対向配置されている。そし
て、ワーク17がワーク保持機構14に支持された状態
で、両砥石回転昇降機構12,13の回転砥石15,1
6間に挿入配置され、それらの回転砥石15,16の研
削面15a,16aにより、ワーク17の両面が同時に
研削されるようになっている。
【0015】図2及び図3に示すように、前記下部砥石
回転昇降機構12の回転砥石台20は下部フレーム11
上にガイド21を介して、回転砥石15の回転軸線と直
交する方向へ移動可能に支持されている。移動用モータ
22はフレーム11の側部に配設され、このモータ22
の回転により、ボールネジ23を介して回転砥石台20
が水平横方向に移動される。軸支筒24は回転砥石台2
0にガイド24aを介して回転砥石15の回転軸線方向
へ昇降可能に支持されている。昇降用モータ25は回転
砥石台20の下部に配設され、このモータ25の回転に
より、ウォームとウォームホイールで構成される回転伝
達機構26及びボールネジ27を介して図示しないガイ
ド24aに案内されて軸支筒24が昇降される。なお、
この昇降ストロークはわずかである。
回転昇降機構12の回転砥石台20は下部フレーム11
上にガイド21を介して、回転砥石15の回転軸線と直
交する方向へ移動可能に支持されている。移動用モータ
22はフレーム11の側部に配設され、このモータ22
の回転により、ボールネジ23を介して回転砥石台20
が水平横方向に移動される。軸支筒24は回転砥石台2
0にガイド24aを介して回転砥石15の回転軸線方向
へ昇降可能に支持されている。昇降用モータ25は回転
砥石台20の下部に配設され、このモータ25の回転に
より、ウォームとウォームホイールで構成される回転伝
達機構26及びボールネジ27を介して図示しないガイ
ド24aに案内されて軸支筒24が昇降される。なお、
この昇降ストロークはわずかである。
【0016】回転軸28は前記軸支筒24内の軸受24
b,24cを介して回転可能に支持され、その上端に一
体的に形成された回転砥石ホルダ29を介して回転砥石
15が装着されている。ドレッシング用モータ30は軸
支筒24の外側部に配設され、上砥石16のドレッシン
グに際して、このモータ30の回転により、プーリ3
1、ベルト32、プーリ33、クラッチ35及び回転軸
28を介して回転砥石15が低速回転される。回転軸2
8を回転させる加工用モータ34は軸支筒24の内部に
配設され、研削加工に際して、このモータ34の回転に
より、回転軸28を介して回転砥石15が高速回転され
る。
b,24cを介して回転可能に支持され、その上端に一
体的に形成された回転砥石ホルダ29を介して回転砥石
15が装着されている。ドレッシング用モータ30は軸
支筒24の外側部に配設され、上砥石16のドレッシン
グに際して、このモータ30の回転により、プーリ3
1、ベルト32、プーリ33、クラッチ35及び回転軸
28を介して回転砥石15が低速回転される。回転軸2
8を回転させる加工用モータ34は軸支筒24の内部に
配設され、研削加工に際して、このモータ34の回転に
より、回転軸28を介して回転砥石15が高速回転され
る。
【0017】前記クラッチ35は前記回転軸28とプー
リ33との間に介装されている。そして、ドレッシング
に際してドレッシング用モータ30が回転されるときに
は、このクラッチ35が回転軸28と接続状態になっ
て、モータ30から回転軸28側への動力伝達が許容さ
れる。一方、研削加工に際して加工用モータ34が回転
されたときには、クラッチ35が解放状態になって、回
転軸28からドレッシング用モータ30側への動力伝達
が阻止される。
リ33との間に介装されている。そして、ドレッシング
に際してドレッシング用モータ30が回転されるときに
は、このクラッチ35が回転軸28と接続状態になっ
て、モータ30から回転軸28側への動力伝達が許容さ
れる。一方、研削加工に際して加工用モータ34が回転
されたときには、クラッチ35が解放状態になって、回
転軸28からドレッシング用モータ30側への動力伝達
が阻止される。
【0018】図3及び図4に示すように、前記上部砥石
回転昇降機構13の軸支筒38は中間フレーム100上
に固定された上部フレーム111と一体のガイド39を
介して、回転砥石16の回転軸線方向へ昇降可能に支持
されている。昇降用モータ40は上部フレーム111の
側部に配設され、このモータ40の回転により、ボール
ネジ41を介して軸支筒38が昇降される。
回転昇降機構13の軸支筒38は中間フレーム100上
に固定された上部フレーム111と一体のガイド39を
介して、回転砥石16の回転軸線方向へ昇降可能に支持
されている。昇降用モータ40は上部フレーム111の
側部に配設され、このモータ40の回転により、ボール
ネジ41を介して軸支筒38が昇降される。
【0019】回転軸42は前記軸支筒38内に回転可能
に支持され、その下端には一体的に形成された回転砥石
ホルダ43を介して回転砥石16が装着されている。ド
レッシング用モータ44は軸支筒38の外側部に配設さ
れ、下砥石15のドレッシング加工に際して、このモー
タ44の回転により、プーリ45、ベルト46、プーリ
47、クラッチ49及び回転軸42を介して回転砥石1
6が低速回転される。加工用モータ48は軸支筒38の
内部に配設され、研削加工に際して、このモータ48の
回転により、回転軸42を介して回転砥石16が高速回
転される。
に支持され、その下端には一体的に形成された回転砥石
ホルダ43を介して回転砥石16が装着されている。ド
レッシング用モータ44は軸支筒38の外側部に配設さ
れ、下砥石15のドレッシング加工に際して、このモー
タ44の回転により、プーリ45、ベルト46、プーリ
47、クラッチ49及び回転軸42を介して回転砥石1
6が低速回転される。加工用モータ48は軸支筒38の
内部に配設され、研削加工に際して、このモータ48の
回転により、回転軸42を介して回転砥石16が高速回
転される。
【0020】クラッチ49は前記回転軸42とプーリ4
7との間に介装されている。そして、ドレッシングに際
してドレッシング用モータ44が回転されたときには、
このクラッチ49が回転軸42と接続状態になって、モ
ータ44から回転軸42側への動力伝達が許容される。
一方、研削加工に際して加工用モータ48が回転された
ときには、クラッチ49が解放状態になって、回転軸4
2からドレッシング用モータ44側への動力伝達が阻止
される。
7との間に介装されている。そして、ドレッシングに際
してドレッシング用モータ44が回転されたときには、
このクラッチ49が回転軸42と接続状態になって、モ
ータ44から回転軸42側への動力伝達が許容される。
一方、研削加工に際して加工用モータ48が回転された
ときには、クラッチ49が解放状態になって、回転軸4
2からドレッシング用モータ44側への動力伝達が阻止
される。
【0021】図2,図4,図5及び図6に示すように、
前記ワーク保持機構14の支持台52は両砥石回転昇降
機構12,13間において、下部フレーム11上に配設
されている。移動枠53は支持台52上の一対のガイド
レール54を介して、下部砥石回転昇降機構12の回転
砥石台20の移動方向と同方向へ移動可能に支持されて
いる。移動用モータ55は支持台52上に配設され、こ
のモータ55の回転により、ボールネジ56を介して移
動枠53が移動される。
前記ワーク保持機構14の支持台52は両砥石回転昇降
機構12,13間において、下部フレーム11上に配設
されている。移動枠53は支持台52上の一対のガイド
レール54を介して、下部砥石回転昇降機構12の回転
砥石台20の移動方向と同方向へ移動可能に支持されて
いる。移動用モータ55は支持台52上に配設され、こ
のモータ55の回転により、ボールネジ56を介して移
動枠53が移動される。
【0022】円環状の回転枠57は前記移動枠53内に
3個のガイドローラ58を介して回転可能に支持され、
その下部外周にはギヤ59が形成されている。ワーク支
持板60はワーク17より薄く形成され、回転枠57の
下面にその重力で撓んで変形しないように水平外周方向
に張設され、その中央部或いは若干偏心した位置にはワ
ーク17を着脱可能にセットするためのセット孔60a
が形成されている。セット孔60aにはワーク17の溝
17aと係合可能な突起60bが設けられている。回転
用モータ61は移動枠53上に配設され、そのモータ軸
には回転枠57のギヤ59に噛合するギヤ62が固定さ
れている。そして、このモータ61の回転により、ギヤ
62,59を介して回転枠57が移動枠53に対し回転
される。
3個のガイドローラ58を介して回転可能に支持され、
その下部外周にはギヤ59が形成されている。ワーク支
持板60はワーク17より薄く形成され、回転枠57の
下面にその重力で撓んで変形しないように水平外周方向
に張設され、その中央部或いは若干偏心した位置にはワ
ーク17を着脱可能にセットするためのセット孔60a
が形成されている。セット孔60aにはワーク17の溝
17aと係合可能な突起60bが設けられている。回転
用モータ61は移動枠53上に配設され、そのモータ軸
には回転枠57のギヤ59に噛合するギヤ62が固定さ
れている。そして、このモータ61の回転により、ギヤ
62,59を介して回転枠57が移動枠53に対し回転
される。
【0023】図3及び図7に示すように、各複数のねじ
孔70は前記両砥石ホルダ29,43の端部に形成され
ている。ドレッサ65は前記ねじ孔70に螺入されるボ
ルト71により回転砥石15,16から外方へ離隔した
位置において砥石ホルダ29の上面または砥石ホルダ4
3の下面に選択的に装着される。このドレッサ65のハ
ウジング66は支持杆67を介して、砥石ホルダ29の
上面または砥石ホルダ43の下面に固定される。ダイヤ
モンドホイール等よりなるドレッシングホイール68は
ハウジング66の外側面に回転可能に支持され、ハウジ
ング66内に配設された駆動源としてのモータ69によ
り回転駆動される。
孔70は前記両砥石ホルダ29,43の端部に形成され
ている。ドレッサ65は前記ねじ孔70に螺入されるボ
ルト71により回転砥石15,16から外方へ離隔した
位置において砥石ホルダ29の上面または砥石ホルダ4
3の下面に選択的に装着される。このドレッサ65のハ
ウジング66は支持杆67を介して、砥石ホルダ29の
上面または砥石ホルダ43の下面に固定される。ダイヤ
モンドホイール等よりなるドレッシングホイール68は
ハウジング66の外側面に回転可能に支持され、ハウジ
ング66内に配設された駆動源としてのモータ69によ
り回転駆動される。
【0024】そして、下部砥石回転昇降機構12の回転
砥石15の研削面15aをドレッシングする際には、図
7に示すように、ドレッサ65が上部の砥石ホルダ43
に固定される。この状態で、下部砥石回転昇降機構12
の回転砥石15が移動用モータ22にて図9に示すP1
の位置に移動される。次に、図6に示すように、移動枠
53が移動用モータ55にて側方に退避される。これに
より、このドレッサ65のドレッシングホイール68
が、回転砥石15の研削面15aに相対配置される。こ
の状態で、上部砥石回転昇降機構13の軸支筒38が昇
降用モータ40にて下降されることにより、回転砥石1
5の研削面15aがドレッシングホイール68に接合さ
れる。
砥石15の研削面15aをドレッシングする際には、図
7に示すように、ドレッサ65が上部の砥石ホルダ43
に固定される。この状態で、下部砥石回転昇降機構12
の回転砥石15が移動用モータ22にて図9に示すP1
の位置に移動される。次に、図6に示すように、移動枠
53が移動用モータ55にて側方に退避される。これに
より、このドレッサ65のドレッシングホイール68
が、回転砥石15の研削面15aに相対配置される。こ
の状態で、上部砥石回転昇降機構13の軸支筒38が昇
降用モータ40にて下降されることにより、回転砥石1
5の研削面15aがドレッシングホイール68に接合さ
れる。
【0025】一方、図6に示すように、上部砥石回転昇
降機構13の回転砥石16の研削面16aをドレッシン
グする際には、ドレッサ65が下部の砥石ホルダ29に
固定される。前記下部砥石回転昇降機構12の回転砥石
15のドレスの場合と同様に、この状態で下部砥石回転
昇降機構12の砥石ホルダ29が移動用モータ22に
て、図8に示すP2点へ移動されるとともに、図6のよ
うに移動枠53が側方に退避される。これにより、この
ドレッサ65のドレッシングホイール68が、回転砥石
16の研削面16aに相対配置される。この状態で、上
部回転砥石機構13の軸支筒38が昇降用モータ40に
て下降されることにより、回転砥石16の研削面16a
がドレッシングホイール68に接合される。
降機構13の回転砥石16の研削面16aをドレッシン
グする際には、ドレッサ65が下部の砥石ホルダ29に
固定される。前記下部砥石回転昇降機構12の回転砥石
15のドレスの場合と同様に、この状態で下部砥石回転
昇降機構12の砥石ホルダ29が移動用モータ22に
て、図8に示すP2点へ移動されるとともに、図6のよ
うに移動枠53が側方に退避される。これにより、この
ドレッサ65のドレッシングホイール68が、回転砥石
16の研削面16aに相対配置される。この状態で、上
部回転砥石機構13の軸支筒38が昇降用モータ40に
て下降されることにより、回転砥石16の研削面16a
がドレッシングホイール68に接合される。
【0026】次に、前記のように構成された両頭平面研
削盤の動作を説明する。さて、この両頭平面研削盤にお
いて、研削加工を行う場合には、ワーク17がワーク保
持機構14のワーク支持板60に保持された状態で、上
下両砥石回転昇降機構12,13の回転砥石15,16
間に挿入配置される。この状態で、上下両砥石回転昇降
機構12,13の回転砥石15,16が高速回転される
とともに、回転用モータ61が回転駆動され、ワーク支
持板60はギヤ62,59を介して回転され、セット孔
60aに挿入保持され、かつ突起60bに係合されたワ
ーク17が回転される。そして、上部砥石回転昇降機構
13の回転砥石16がワーク17に向かって下降接近さ
れて、両回転砥石15,16の研削面15a,16aに
より、ワーク17の両面が同時に研削される。
削盤の動作を説明する。さて、この両頭平面研削盤にお
いて、研削加工を行う場合には、ワーク17がワーク保
持機構14のワーク支持板60に保持された状態で、上
下両砥石回転昇降機構12,13の回転砥石15,16
間に挿入配置される。この状態で、上下両砥石回転昇降
機構12,13の回転砥石15,16が高速回転される
とともに、回転用モータ61が回転駆動され、ワーク支
持板60はギヤ62,59を介して回転され、セット孔
60aに挿入保持され、かつ突起60bに係合されたワ
ーク17が回転される。そして、上部砥石回転昇降機構
13の回転砥石16がワーク17に向かって下降接近さ
れて、両回転砥石15,16の研削面15a,16aに
より、ワーク17の両面が同時に研削される。
【0027】このように、ワーク17の研削加工が繰り
返し行われて、各回転砥石15,16の研削面15a,
16aをドレッシングする必要が生じた場合には、次の
ようなドレッシング動作が行われる。
返し行われて、各回転砥石15,16の研削面15a,
16aをドレッシングする必要が生じた場合には、次の
ようなドレッシング動作が行われる。
【0028】まず、上部砥石回転昇降機構13の回転砥
石16の研削面16aをドレッシングする場合には、図
8に示すように、ドレッサ65が下部の砥石ホルダ29
に固定される。そして、下部砥石回転昇降機構12の砥
石ホルダ29が図8のP2の位置に移動されるととも
に、図6に示すように、移動枠53が退避移動され、ド
レッサ65のドレッシングホイール68が、回転砥石1
6の研削面16aに相対配置される。さらに、上部砥石
回転昇降機構13の軸支筒38が下降されて、回転砥石
16の研削面16aがドレッシングホイール68に接合
される。
石16の研削面16aをドレッシングする場合には、図
8に示すように、ドレッサ65が下部の砥石ホルダ29
に固定される。そして、下部砥石回転昇降機構12の砥
石ホルダ29が図8のP2の位置に移動されるととも
に、図6に示すように、移動枠53が退避移動され、ド
レッサ65のドレッシングホイール68が、回転砥石1
6の研削面16aに相対配置される。さらに、上部砥石
回転昇降機構13の軸支筒38が下降されて、回転砥石
16の研削面16aがドレッシングホイール68に接合
される。
【0029】この状態で、ドレッシングホイール68が
モータ69により回転されるとともに、回転砥石16が
加工用(研削用)モータ48により高速回転されて、そ
の回転砥石16の研削面16aがドレッシングされる。
モータ69により回転されるとともに、回転砥石16が
加工用(研削用)モータ48により高速回転されて、そ
の回転砥石16の研削面16aがドレッシングされる。
【0030】このとき、上下両砥石回転昇降機構12,
13の回転砥石15,16の回転軸線が平行に配置され
た状態で、ドレッサ65が下部砥石回転昇降機構12の
回転砥石15の回転軸線に近接して、その回転砥石15
を支持する回転砥石ホルダ29上の外周定位置に装着さ
れ、回転砥石15の軸線を中心にしてドレス用モータ3
0により低速で回転している。このため、ドレッサ65
の上砥石16に対する運動の軌跡は図8に示すように、
砥石16の中心に向かう円弧状になる。そして、ドレッ
サ65が回転砥石16の非砥石面16bに達した時、ド
レッシング用モータ30が逆転され、ドレッサ65が上
部砥石16の外側の位置、すなわちドレス開始点まで戻
る。以後ドレッサ65は所定の回数を往復動作する。
13の回転砥石15,16の回転軸線が平行に配置され
た状態で、ドレッサ65が下部砥石回転昇降機構12の
回転砥石15の回転軸線に近接して、その回転砥石15
を支持する回転砥石ホルダ29上の外周定位置に装着さ
れ、回転砥石15の軸線を中心にしてドレス用モータ3
0により低速で回転している。このため、ドレッサ65
の上砥石16に対する運動の軌跡は図8に示すように、
砥石16の中心に向かう円弧状になる。そして、ドレッ
サ65が回転砥石16の非砥石面16bに達した時、ド
レッシング用モータ30が逆転され、ドレッサ65が上
部砥石16の外側の位置、すなわちドレス開始点まで戻
る。以後ドレッサ65は所定の回数を往復動作する。
【0031】又、図10に示すようにドレッサホイール
68の上部砥石16に対する軌跡は円弧X1になるが、
上砥石16のドレスに対しては同上砥石16の中心を通
る直線Y1のようになるのが望ましい。そのため、円弧
X1と直線Y1の差Δ1の値を補正するため、ドレッシ
ング用モータ30の動きに同期させながら、下部砥石ホ
ルダ29を移動用モータ22により回転させる。それに
より、上部砥石回転昇降機構13の回転砥石16の研削
面16aは、下部砥石回転昇降機構12の回転砥石15
の研削面15aと平行になるように正確にドレッシング
される。
68の上部砥石16に対する軌跡は円弧X1になるが、
上砥石16のドレスに対しては同上砥石16の中心を通
る直線Y1のようになるのが望ましい。そのため、円弧
X1と直線Y1の差Δ1の値を補正するため、ドレッシ
ング用モータ30の動きに同期させながら、下部砥石ホ
ルダ29を移動用モータ22により回転させる。それに
より、上部砥石回転昇降機構13の回転砥石16の研削
面16aは、下部砥石回転昇降機構12の回転砥石15
の研削面15aと平行になるように正確にドレッシング
される。
【0032】次に、下部砥石回転昇降機構12の回転砥
石15の研削面15aをドレッシングする場合には、図
3及び図9に示すように、ドレッサ65が上部の砥石ホ
ルダ43に固定される。この状態で、下部砥石回転昇降
機構12の回転砥石15が図9のP1点へ移動されると
ともに、図6に示すように、移動枠53が退避移動され
て、ドレッサ65のドレッシングホイール68が、回転
砥石15の研削面15aに相対配置される。さらに、上
部砥石回転昇降機構13の軸支筒38が下降されて、回
転砥石15の研削面15aがドレッシングホイール68
に接合される。
石15の研削面15aをドレッシングする場合には、図
3及び図9に示すように、ドレッサ65が上部の砥石ホ
ルダ43に固定される。この状態で、下部砥石回転昇降
機構12の回転砥石15が図9のP1点へ移動されると
ともに、図6に示すように、移動枠53が退避移動され
て、ドレッサ65のドレッシングホイール68が、回転
砥石15の研削面15aに相対配置される。さらに、上
部砥石回転昇降機構13の軸支筒38が下降されて、回
転砥石15の研削面15aがドレッシングホイール68
に接合される。
【0033】この状態で、ドレッシングホイール68が
モータ69により回転されるとともに、回転砥石15が
加工用モータ34により高速回転されて、その回転砥石
15の研削面15aがドレッシングされる。
モータ69により回転されるとともに、回転砥石15が
加工用モータ34により高速回転されて、その回転砥石
15の研削面15aがドレッシングされる。
【0034】このとき、上下両砥石回転昇降機構12,
13の回転砥石15,16の回転軸線が平行に配置され
た状態で、ドレッサ65が上部砥石回転昇降機構13の
回転砥石16の回転軸線に近接して、その回転砥石16
を支持する回転砥石ホルダ43上の外周定位置に装着さ
れ、回転砥石16の軸線を中心にしてドレス用モータ4
4により低速で回転している。このため、ドレッサホイ
ール68の下砥石15に対する運動の軌跡は図9に示す
ように、砥石15の中心に向かう円弧状となる。そし
て、ドレッサ65が回転砥石15の非砥石面15bに達
した時、ドレッシング用モータ30が逆転され、ドレッ
サ65が下部砥石15の外側の位置、すなわちドレス開
始点まで戻る。以後ドレッサ65は所定の回数を往復動
作する。
13の回転砥石15,16の回転軸線が平行に配置され
た状態で、ドレッサ65が上部砥石回転昇降機構13の
回転砥石16の回転軸線に近接して、その回転砥石16
を支持する回転砥石ホルダ43上の外周定位置に装着さ
れ、回転砥石16の軸線を中心にしてドレス用モータ4
4により低速で回転している。このため、ドレッサホイ
ール68の下砥石15に対する運動の軌跡は図9に示す
ように、砥石15の中心に向かう円弧状となる。そし
て、ドレッサ65が回転砥石15の非砥石面15bに達
した時、ドレッシング用モータ30が逆転され、ドレッ
サ65が下部砥石15の外側の位置、すなわちドレス開
始点まで戻る。以後ドレッサ65は所定の回数を往復動
作する。
【0035】又、図11に示すようにドレッサホイール
68の下部砥石15に対する軌跡は円弧X2になるが、
下砥石15のドレスに対しては同下砥石15の中心を通
る直線Y2のようになるのが望ましい。そのため、円弧
X2と直線Y2の差Δ2の値を補正するため、ドレッシ
ング用モータ44の動きに同期させながら、下部砥石ホ
ルダ29を移動用モータ22により前後させる。それに
より、下部砥石回転昇降機構12の回転砥石15の研削
面15aは、上部砥石回転昇降機構13の回転砥石16
の研削面16aと平行になるように正確にドレッシング
される。
68の下部砥石15に対する軌跡は円弧X2になるが、
下砥石15のドレスに対しては同下砥石15の中心を通
る直線Y2のようになるのが望ましい。そのため、円弧
X2と直線Y2の差Δ2の値を補正するため、ドレッシ
ング用モータ44の動きに同期させながら、下部砥石ホ
ルダ29を移動用モータ22により前後させる。それに
より、下部砥石回転昇降機構12の回転砥石15の研削
面15aは、上部砥石回転昇降機構13の回転砥石16
の研削面16aと平行になるように正確にドレッシング
される。
【0036】前記の実施形態によって期待できる効果に
ついて、以下に記載する。この実施形態の両頭平面研削
盤においては、回転砥石15,16を支持する各回転砥
石ホルダ29,43にドレッサ65が着脱可能に装着さ
れ、このドレッサ65により、対向する回転砥石ホルダ
43,29上の回転砥石16,15の研削面16a,1
5aをドレッシングするようになっている。このため、
回転アームの先端にドレッシングホイールを支持した従
来構成のドレッサとは異なり、回転アームの回動軸線と
両回転砥石の回転軸線との平行度を出したり、回転アー
ムの剛性を高めたりする必要がなく、ドレッサ65の位
置精度を向上できる。よって、両回転砥石15,16の
研削面15a,16aを平行状態に正確にドレッシング
することができる。
ついて、以下に記載する。この実施形態の両頭平面研削
盤においては、回転砥石15,16を支持する各回転砥
石ホルダ29,43にドレッサ65が着脱可能に装着さ
れ、このドレッサ65により、対向する回転砥石ホルダ
43,29上の回転砥石16,15の研削面16a,1
5aをドレッシングするようになっている。このため、
回転アームの先端にドレッシングホイールを支持した従
来構成のドレッサとは異なり、回転アームの回動軸線と
両回転砥石の回転軸線との平行度を出したり、回転アー
ムの剛性を高めたりする必要がなく、ドレッサ65の位
置精度を向上できる。よって、両回転砥石15,16の
研削面15a,16aを平行状態に正確にドレッシング
することができる。
【0037】前述したように、回転アームの回動軸線と
両回転砥石の回転軸線との平行度を出したり、回転アー
ムの剛性を高めたりする必要がない。よって、組付けが
容易になり、装置の製造が簡単になる。
両回転砥石の回転軸線との平行度を出したり、回転アー
ムの剛性を高めたりする必要がない。よって、組付けが
容易になり、装置の製造が簡単になる。
【0038】ドレッサ65が砥石ホルダ29,43に着
脱されるものであるため、ドレッサ65は1個でよく、
構成が簡単である。
脱されるものであるため、ドレッサ65は1個でよく、
構成が簡単である。
【0039】
【発明の効果】この発明は、以上のように構成されてい
るため、次のような効果を奏する。請求項1に記載の発
明によれば、ドレッサの構造が簡単であるとともに、両
回転砥石の研削面を平行状態に正確にドレッシングする
ことができる。
るため、次のような効果を奏する。請求項1に記載の発
明によれば、ドレッサの構造が簡単であるとともに、両
回転砥石の研削面を平行状態に正確にドレッシングする
ことができる。
【0040】請求項2に記載の発明によれば、ドレッサ
が1個でよく、構成が簡単である。請求項2に記載の発
明によれば、ドレッシング時に、ドレッサのドレッシン
グホイールを対向する回転砥石の研削面に容易に相対配
置させることができて、その研削面を正確にドレッシン
グすることができる。
が1個でよく、構成が簡単である。請求項2に記載の発
明によれば、ドレッシング時に、ドレッサのドレッシン
グホイールを対向する回転砥石の研削面に容易に相対配
置させることができて、その研削面を正確にドレッシン
グすることができる。
【図1】 この発明の両頭平面研削盤の一実施形態を示
す正面図。
す正面図。
【図2】 下部フレーム部分の要部断面図。
【図3】 上部フレーム部分の要部断面図。
【図4】 ワーク保持機構の平面図。
【図5】 図3ワークの支持構成を示す拡大断面図。
【図6】 同じく斜視図。
【図7】 ドレッサ取付部分の拡大断面図。
【図8】 上部の回転砥石のドレッシング状態を示す平
面図。
面図。
【図9】 下部の回転砥石のドレッシング状態を示す平
面図。
面図。
【図10】 ドレッサの上砥石に対する運動軌跡を示す
説明図。
説明図。
【図11】 ドレッサの下砥石に対する運動軌跡を示す
説明図。
説明図。
【図12】 従来の構成を示す側面図。
【図13】 同じく平面図。
11…下部フレーム、111…上部フレーム、12…下
部砥石回転昇降機構、13…上部砥石回転昇降機構、1
4…ワーク保持機構、15…回転砥石、15a…研削
面、16…回転砥石、16a…研削面、17…ワーク、
20…回転砥石台、65…ドレッサ。
部砥石回転昇降機構、13…上部砥石回転昇降機構、1
4…ワーク保持機構、15…回転砥石、15a…研削
面、16…回転砥石、16a…研削面、17…ワーク、
20…回転砥石台、65…ドレッサ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 村井 史朗 富山県東砺波郡福野町100番地 株式会社 日平トヤマ富山工場内
Claims (3)
- 【請求項1】 一対の回転砥石を砥石ホルダに支持した
状態で、それらの研削面が平行となるように対向配置
し、両回転砥石間にワークを挿入配置して、そのワーク
の両面を両回転砥石の研削面により平行に研削するよう
にした両頭平面研削盤において、 前記回転砥石を支持する砥石ホルダには、対向する砥石
ホルダ上の回転砥石の研削面をドレッシングするための
ドレッサを装着した両頭平面研削盤。 - 【請求項2】 ドレッサは、砥石ホルダに対して着脱可
能である請求項1に記載の両頭平面研削盤。 - 【請求項3】 ドレッシング時には、ドレッサを支持す
る回転砥石ホルダまたは対向する回転砥石ホルダが研削
面に沿って低速回転されるようにした請求項1または2
に記載の両頭平面研削盤。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8150197A JPH10277898A (ja) | 1997-03-31 | 1997-03-31 | 両頭平面研削盤 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8150197A JPH10277898A (ja) | 1997-03-31 | 1997-03-31 | 両頭平面研削盤 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10277898A true JPH10277898A (ja) | 1998-10-20 |
Family
ID=13748124
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8150197A Pending JPH10277898A (ja) | 1997-03-31 | 1997-03-31 | 両頭平面研削盤 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH10277898A (ja) |
-
1997
- 1997-03-31 JP JP8150197A patent/JPH10277898A/ja active Pending
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