JP2006082145A - オスカータイプ両面研磨機 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】
キャリア1に保持されたワーク(WK)を間にして対向配置された、ワーク(WK)よりも大径の一対の定盤(U1、D1)と、前記キャリア(1)を保持して回転させるキャリア駆動手段(歯車G1、G2)と、前記キャリア駆動手段(歯車G1、G2)を保持して前記定盤(U1、D1)の半径方向に揺動するキャリアサポート(上キャリアサポート2U、下キャリアサポート2D)と、前記一対の定盤(U1、D1)を回転駆動させる定盤駆動手段(M1、M2)と、前記キャリアサポート(2U、2D)を揺動させる揺動手段(モータM3、クランクシャフト28)とを具備することとした。
【選択図】図1
Description
前記キャリアは、中央部にワーク保持用の開口が形成された歯車からなると共に、前記キャリア駆動手段は、上記歯車に噛み合う複数の駆動歯車からなることとした(請求項3)。
例えば、キャリアの直径方向で対向する位置にそれぞれ歯車を設けてキャリア外周部の歯に噛み合わせ、キャリアを回転させる構成とする。
本発明にかかるオスカータイプ両面研磨機の実施の形態を説明する前に、参考事例としてオスカータイプ片面研磨機を例示に説明する。図12はオスカータイプ片面研磨機の外観斜視図、図13は同機の要部平面図、図14は同機の要部正面図をそれぞれ示す。
図1乃至7により本発明にかかるオスカータイプ両面研磨機の構成を説明する。
図1はオスカータイプ両面研磨機の要部平面図、図2は同機の要部正面部分断面図をそれぞれ示す。
本発明にかかるオスカータイプ両面研磨機の特徴は、キャリア1に保持されたワークWKを間にして対向し得るように上定盤U1と下定盤D1とを配置し、キャリア1に保持されて回転するワークWKに上下定盤を接触させて回転させて研磨する。その際、キャリア1をこれら定盤の回転中心と直交する平面内で揺動させるようにした。上定盤U1と下定盤D1とは同じ回転中心上で互いに逆向きとなるようにして定位置で回転駆動手段により回転駆動されるようにした。本例では、上定盤U1、下定盤D1、キャリア1は略同一径としたが、これに限定されるわけではない。
2.2.1 機体構造
機体4は筐体状の構造物からなる。機体4の底板5上に上部構造物支えアーム6の一部である2つの円柱部が固定されている。これら2つの円柱部の上部は架橋状の部材である架橋部で連結されていて、当該上部構造物支えアーム6は全体としてコの字状をした構造物として底板5と一体化されている。
当該オスカータイプ両面研磨機に対するキャリア1やワークWKなどの着脱が可能なように、下定盤D1に対して上定盤U1を上下動させる機構を採用し、下定盤D1と上定盤U1との間隔を調整できるようにしている。
図1〜3において、底板5に設けられた中心軸3は固定軸であり、この中心軸3の下部には上下位置決め用のカラー12が該中心軸3に回転可能に嵌合している。カラー12の下端部は底板5と一体的な座面に当接している。カラー12の上端部には中心軸3により挿通された下キャリアサポート2Dの下面が接している。下キャリアサポート2D上面には、中心軸3により挿通された筒状をした間隔規制部材13の下端部が接している。間隔規制部材13の上端部には、上キャリアサポート2Uの下面が接するようにして中心軸3により挿通されている。
図7にキャリア1及びワークWKを示す。キャリア1は歯車状をしている。中央部にワークWKの矩形形状に合わせて嵌合可能に形成されたワーク保持用の開口40が設けられている。キャリア1はワークWKの厚さよりも厚さが薄く、上キャリアサポート2Uの厚さに等しい。開口40にワークWKが嵌合挿入された状態でキャリア1は下定盤D1上に載置される。このとき、ワークWKの上面はキャリア1の上面よりも上位に位置する。これにより、ワークWKの下面は下定盤1Dに摺動可能になり、ワークWKの上面は上定盤1Uに摺動可能になりワークWKの両面の研磨が可能になる。キャリア1の外周部は歯車G1、G2と噛み合うための歯が形成されている。キャリア1の外径はキャリア保持穴34に回転可能に嵌合する大きさで作られている。
下定盤D1の駆動手段について説明する。図1、図2を参照するに、主軸7と一体的に構成されたプーリ8と中間プーリ42との間はベルト43で掛けまわされている。中間プーリ42と中間プーリ44とは一体に構成されていて、機体4に固定された軸に軸支されている。中間プーリ43は機体4の側部に設けたモータM2の回転軸に取り付けられたプーリ45との間をベルト46により掛け回されている。かかる構成により、モータM2を駆動すると、プーリ45、ベルト46、プーリ44、42、ベルト43の順に駆動力が伝達されて下定盤D1が回転する。
図2に示したように、エアシリンダ19を起動して上定盤U1を上昇させた状態のもとで、上キャリアサポート2Uのキャリア保持穴34にキャリア1を装着する。その際、キャリア1の下面は下定盤D1に均等に接する。また、キャリア1の外周部に形成された歯が歯車G1、G2の各歯と噛み合う。
2U 上キャリアサポート
2D 下キャリアサポート
28 (揺動手段としての)クランクシャフト
M3 (揺動手段としての)モータ
G1、G2 (キャリア駆動手段としての)歯車
U1 上定盤
D1 下定盤
WK ワーク
Claims (7)
- キャリアに保持されたワークを間にして対向配置された、ワークよりも大径の一対の定盤と、
前記キャリアを保持して回転させるキャリア駆動手段と、
前記キャリア駆動手段を保持して前記定盤の半径方向に揺動するキャリアサポートと、
前記一対の定盤を回転駆動させる定盤駆動手段と、
前記キャリアサポートを揺動させる揺動手段とを具備してなることを特徴とするオスカータイプ両面研磨機。 - 請求項1記載のオスカータイプ両面研磨機において、
前記一対の定盤は互いに逆向きに回転駆動されることを特徴とするオスカータイプ両面研磨機。 - 請求項1又は2記載のオスカータイプ両面研磨機において、
前記キャリアは、中央部にワーク保持用の開口が形成された歯車からなると共に、前記キャリア駆動手段は、上記歯車に噛み合う複数の駆動歯車からなることを特徴とするオスカータイプ両面研磨機。 - 請求項3記載のオスカータイプ両面研磨機において、
前記複数の駆動歯車は前記キャリアの外周上に等間隔に配置されていることを特徴とするオスカータイプ両面研磨機。 - 請求項1乃至4の何れかに記載のオスカータイプ両面研磨機において、
前記キャリアサポートは、その一端部に揺動のための支点軸を有し、該支点軸から離れた自由端側に前記キャリア駆動手段を保持していることを特徴とするオスカータイプ両面研磨機。 - 請求項1乃至5の何れかに記載のオスカータイプ両面研磨機において、
前記一対の定盤は上下方向に対向する上定盤と下定盤から構成されていて、前記上定盤を前記下定盤に対して接離する方向に移動させる上下動手段を備えることを特徴とするオスカータイプ両面研磨機。 - 請求項1乃至6の何れかに記載のオスカータイプ両面研磨機において、
前記キャリアサポートと共に揺動する前記キャリアの回転中心の揺動軌跡は、前記一対の定盤の回転中心を通らないことを特徴とするオスカータイプ両面研磨機。
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