JPH10228770A - 半導体集積回路 - Google Patents

半導体集積回路

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JPH10228770A
JPH10228770A JP9030158A JP3015897A JPH10228770A JP H10228770 A JPH10228770 A JP H10228770A JP 9030158 A JP9030158 A JP 9030158A JP 3015897 A JP3015897 A JP 3015897A JP H10228770 A JPH10228770 A JP H10228770A
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voltage
burst length
power supply
internal power
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JP9030158A
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Takashi Ito
孝 伊藤
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Mitsubishi Electric Corp
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Mitsubishi Electric Corp
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    • G11C5/14Power supply arrangements, e.g. power down, chip selection or deselection, layout of wirings or power grids, or multiple supply levels
    • G11C5/147Voltage reference generators, voltage or current regulators; Internally lowered supply levels; Compensation for voltage drops
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
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    • G11C7/00Arrangements for writing information into, or reading information out from, a digital store
    • G11C7/10Input/output [I/O] data interface arrangements, e.g. I/O data control circuits, I/O data buffers
    • G11C7/1015Read-write modes for single port memories, i.e. having either a random port or a serial port
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  • Static Random-Access Memory (AREA)
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 バースト長によって変動することがない安定
した出力電圧を内部回路に供給することができる内部電
源回路を備えた、バーストモードで動作する半導体集積
回路を得る。 【解決手段】 バーストモードで動作する半導体集積回
路において、所定の基準電圧を基に外部からの電源電圧
を降圧して内部電源電圧を生成し出力する内部電源降圧
部と、外部から入力されるアドレスデータからバースト
長を判定するバースト長判定部とを備え、内部電源降圧
部は、バースト長判定部で判定されたバースト長が長い
ほど内部電源電圧の低下に対する出力電流の増加速度を
速くする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体集積回路に
関し、特に外部から供給される電源電圧に対して所定の
電圧に変換して内部回路に供給する内部電源回路を有
し、バーストモードで動作する半導体集積回路に関す
る。
【0002】
【従来の技術】図15は、バーストモードで動作する6
4Mbit×8のシンクロナスDRAMの従来例を示した
概略のブロック図である。図15において、シンクロナ
スDRAM(以下、SDRAMと呼ぶ)200は、内部
電源降圧回路201、基板電圧発生回路202、昇圧電
圧発生回路203及び基準電圧発生回路204を有する
内部電源回路205を備えている。更に、SDRAM2
00は、アドレスバッファ回路206と、制御信号バッ
ファ回路207と、クロックバッファ回路208と、4
つのメモリアレイバンク209,210,211,21
2と、データの入出力を行う入出力バッファ回路213
と、モードレジスタ回路214を有し各メモリアレイバ
ンク209〜212及び入出力バッファ回路213の制
御を行う制御回路215とを備えている。
【0003】上記内部電源降圧回路201は、電源端子
Vccから供給される外部からの電源電圧を降圧して内部
電源電圧int.Vccを生成し、SDRAM200の各内部
回路に供給するものであり、基準電圧発生回路204か
ら入力される基準電圧Vrefによって、内部電源電圧in
t.Vccの電圧値が決まる。すなわち、内部電源降圧回路
201は、基準電圧発生回路204から入力された基準
電圧Vrefになるように、内部電源電圧int.Vccの電圧
値を制御して出力する。基板電圧発生回路202は、半
導体基板のバイアス電圧を生成して出力し、半導体基板
に負の基板電圧Vbbを印加する。昇圧電圧発生回路20
3は、電源端子Vccから供給される外部からの電源電圧
を昇圧して昇圧電圧Vppを生成し、各メモリアレイバン
ク209〜212に供給する。
【0004】上記アドレスバッファ回路206は、外部
からアドレス信号が入力されるアドレス信号入力端子に
接続され、例えばバンクセレクト信号が入力されるBA
0,BA1端子、アドレス信号が入力されるA0〜A11端
子に接続される。また、制御信号バッファ回路207
は、外部から制御信号が入力される各制御信号入力端子
にそれぞれ接続され、例えばチップセレクト信号が入力
される/CS端子、ロウアドレスストローブ信号が入力
される/RAS端子、カラムアドレスストローブ信号が
入力される/CAS端子、ライトイネーブル信号が入力
される/WE端子、及び入出力マスク信号が入力される
DQM端子に接続される。
【0005】上記クロックバッファ回路208は、外部
から入力されるクロック信号から内部クロック信号を生
成して出力するものであり、アドレスバッファ回路20
6、制御信号バッファ回路207、入出力バッファ回路
213及び制御回路215に接続される。クロックバッ
ファ回路208は、更に、外部からのクロック信号が入
力されるCLK端子、及びクロックイネーブル信号が入
力されるCKE端子に接続される。
【0006】上記制御回路215は、各メモリアレイバ
ンク209〜212にそれぞれ接続され、更に、アドレ
スバッファ回路206、制御信号バッファ回路207及
び入出力バッファ回路213に接続される。また、上記
モードレジスタ回路214は、アドレス信号入力端子か
ら入力されるアドレス信号からバースト長の判定を行う
ときに制御回路215によって使用される。
【0007】上記のような構成において、SDRAM2
00が、バースト長1、2、4、8と変えることができ
るとする。制御回路215は、例えば/CS端子、/R
AS端子、/CAS端子及び/WE端子がすべて「L」
レベルとなると、モードレジスタ回路214にセット信
号を出力し、該セット信号を受けてモードレジスタ回路
214は、アドレスバッファ回路206から入力された
アドレス信号の内、バースト長を示す所定の複数の信号
をそれぞれラッチする。制御回路215は、モードレジ
スタ回路214にラッチされた信号レベルを参照して、
バースト転送動作を行う場合のバースト長を制御する。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記内部電源
降圧回路201及び昇圧電圧発生回路203において
は、バースト長が短いときよりもバースト長が長いとき
のほうが消費される電流量が大きくなることから、出力
電圧である内部電源電圧int.Vcc及び昇圧電圧Vppの低
下が大きくなるという問題があった。また、基板電圧発
生回路202においては、バースト長が短いときよりも
バースト長が長いときのほうが出力電圧である負の電圧
の基板電圧Vbbが上昇しやすいという問題があった。
【0009】本発明は、上記問題を解決するためになさ
れたものであり、バースト長によって変動することがな
い安定した出力電圧を内部回路に供給することができる
内部電源回路を備えた、バーストモードで動作する半導
体集積回路を得ることを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】本第1の発明に係る半導
体集積回路は、バーストモードで動作する半導体集積回
路において、所定の基準電圧を基に外部からの電源電圧
を降圧して内部電源電圧を生成し出力する内部電源降圧
部と、外部から入力されるアドレスデータからバースト
長を判定するバースト長判定部とを備え、上記内部電源
降圧部は、バースト長判定部で判定されたバースト長が
長いほど内部電源電圧の低下に対する出力電流の増加速
度を速くするものである。
【0011】本第2の発明に係る半導体集積回路は、第
1の発明において、上記内部電源降圧部は、出力した内
部電源電圧と所定の基準電圧とが入力される差動増幅回
路部と、該差動増幅回路部に流れる電流を制御し差動増
幅回路部のゲインを制御するゲイン制御部と、上記差動
増幅回路部の出力電圧に応じて電流供給能力を変える出
力回路部とを備え、上記ゲイン制御部は、バースト長が
長いほど差動増幅回路部に流れる電流を増加させ、差動
増幅回路部のゲインを大きくするものである。
【0012】本第3の発明に係る半導体集積回路は、第
2の発明において、上記ゲイン制御部は、差動増幅回路
部に電流を供給するゲートサイズの異なる複数のMOS
トランジスタで形成され、バースト長が長いほどドレイ
ン電流の大きいMOSトランジスタを作動させて差動増
幅回路部に流れる電流を増加させるものである。
【0013】本第4の発明に係る半導体集積回路は、第
2の発明において、上記ゲイン制御部は、差動増幅回路
部に電流を供給する複数のMOSトランジスタで形成さ
れ、バースト長が長いほど作動させるMOSトランジス
タ数を増やして差動増幅回路部に流れる電流を増加させ
るものである。
【0014】本第5の発明に係る半導体集積回路は、第
2の発明において、上記ゲイン制御部は、差動増幅回路
部に電流を供給するMOSトランジスタと、バースト長
に応じて該MOSトランジスタのゲート電圧を制御する
ゲート電圧制御回路とからなり、ゲート電圧制御回路
は、バースト長が長いほど差動増幅回路部に供給する電
流を増加させるように上記MOSトランジスタのゲート
電圧を制御するものである。
【0015】本第6の発明に係る半導体集積回路は、バ
ーストモードで動作する半導体集積回路において、異な
る複数の基準電圧を生成して出力する基準電圧発生部
と、該基準電圧発生部から入力される基準電圧を選択
し、該選択した基準電圧を基に外部からの電源電圧を降
圧して内部電源電圧を生成し出力する内部電源降圧部
と、外部から入力されるアドレスデータからバースト長
を判定するバースト長判定部とを備え、上記内部電源降
圧部は、バースト長判定部で判定されたバースト長が長
いほど大きい基準電圧を選択し、内部電源電圧の低下を
補償する。
【0016】本第7の発明に係る半導体集積回路は、第
6の発明において、上記内部電源降圧部は、バースト長
に応じて基準電圧発生部からの基準電圧を選択する基準
電圧選択部と、出力した内部電源電圧と基準電圧選択部
で選択された基準電圧とが入力される差動増幅回路部
と、差動増幅回路部の出力電圧に応じて電流供給能力を
変える出力回路部とを備え、上記基準電圧選択部は、バ
ースト長が長いほど大きい基準電圧を選択するものであ
る。
【0017】本第8の発明に係る半導体集積回路は、バ
ーストモードで動作する半導体集積回路において、所定
の基準電圧を基に外部からの電源電圧を降圧して内部電
源電圧を生成し出力する内部電源降圧部と、外部から入
力されるアドレスデータからバースト長を判定するバー
スト長判定部とを備え、上記内部電源降圧部は、バース
ト長判定部で判定されたバースト長が長いほど出力電流
供給能力を増加させるものである。
【0018】本第9の発明に係る半導体集積回路は、第
8の発明において、上記内部電源降圧部は、出力した内
部電源電圧と所定の基準電圧とが入力される差動増幅回
路部と、バースト長に応じて電流供給能力を変える出力
回路部とを備え、該出力回路部は、バースト長が長いほ
ど電流供給能力を増加させるものである。
【0019】本第10の発明に係る半導体集積回路は、
第1から第9の発明において、半導体基板のバイアス電
圧を生成して出力し、半導体基板に基板電圧を印加する
基板電圧発生部を更に備え、該基板電圧発生部は、バー
スト長判定部で判定されたバースト長が長いほど、基板
電圧の上昇に対する応答性をよくし、基板電圧の上昇を
検出する速度を速くするものである。
【0020】本第11の発明に係る半導体集積回路は、
第1から第10の発明において、外部からの電源電圧を
昇圧して昇圧電圧を生成して出力する昇圧電圧発生部を
更に備え、該昇圧電圧発生部は、バースト長判定部で判
定されたバースト長が長いほど、昇圧電圧の低下に対す
る応答性をよくし、昇圧電圧の低下を検出する速度を速
くするものである。
【0021】本第12の発明に係る半導体集積回路は、
バーストモードで動作する半導体集積回路において、半
導体基板のバイアス電圧を生成して出力し、半導体基板
に基板電圧を印加する基板電圧発生部と、外部から入力
されるアドレスデータからバースト長を判定するバース
ト長判定部とを備え、上記基板電圧発生部は、バースト
長判定部で判定されたバースト長が長いほど、基板電圧
の上昇に対する応答性をよくし、基板電圧の上昇を検出
する速度を速くするものである。
【0022】本第13の発明に係る半導体集積回路は、
第12の発明において、上記基板電圧発生部は、基板電
圧を低下させるチャージポンプ回路部と、出力した基板
電圧の検出を行い、基板電圧が所定値以上になるとチャ
ージポンプ回路部を作動させる基板電圧検出部とを備
え、上記基板電圧検出部は、バースト長が長いほど、基
板電圧の上昇に対する応答性をよくし、基板電圧が所定
値以上になったことを検出する速度を速くするものであ
る。
【0023】本第14の発明に係る半導体集積回路は、
バーストモードで動作する半導体集積回路において、外
部からの電源電圧を昇圧して昇圧電圧を生成して出力す
る昇圧電圧発生部と、外部から入力されるアドレスデー
タからバースト長を判定するバースト長判定部とを備
え、上記昇圧電圧発生部は、バースト長判定部で判定さ
れたバースト長が長いほど、昇圧電圧の低下に対する応
答性をよくし、昇圧電圧の低下を検出する速度を速くす
るものである。
【0024】本第15の発明に係る半導体集積回路は、
第14の発明において、上記昇圧電圧発生部は、昇圧電
圧を上昇させるチャージポンプ回路部と、出力した昇圧
電圧の検出を行い、昇圧電圧が所定値以下になるとチャ
ージポンプ回路部を作動させる昇圧電圧検出部とを備
え、上記昇圧電圧検出部は、バースト長が長いほど、昇
圧電圧の低下に対する応答性をよくし、昇圧電圧が所定
値以下になったことを検出する速度を速くするものであ
る。
【0025】
【発明の実施の形態】次に、図面に示す実施の形態に基
づいて、本発明を詳細に説明する。 実施の形態1.図1は、本発明の実施の形態1における
半導体集積回路の例を示した概略のブロック図であり、
バーストモードで動作する64Mbit×8のシンクロナ
スDRAMを例にして示している。なお、図1で示した
シンクロナスDRAMは、バースト長1、2、4、8と
変えることができるものとする。
【0026】図1において、シンクロナスDRAM(以
下、SDRAMと呼ぶ)1は、内部電源降圧回路2、基
板電圧発生回路3、昇圧電圧発生回路4、及び基準電圧
Vrefを生成して出力する基準電圧発生回路5を有する
内部電源回路10を備えている。更に、SDRAM1
は、アドレスバッファ回路11と、制御信号バッファ回
路12と、クロックバッファ回路13と、4つのメモリ
アレイバンク14,15,16,17と、データの入出
力を行う入出力バッファ回路18と、モードレジスタ回
路19を有し各メモリアレイバンク14〜17及び入出
力バッファ回路18の制御を行う制御回路20とを備え
ている。なお、上記内部電源降圧回路2及び基準電圧発
生回路5は内部電源降圧部をなし、上記モードレジスタ
回路19はバースト長判定部をなす。
【0027】上記内部電源回路10は、外部から電源が
供給される電源端子Vccに接続され、上記基準電圧発生
回路5は内部電源降圧回路2に接続され、内部電源降圧
回路2は、SDRAM1の各内部回路に接続されるがそ
の接続は省略する。また、上記基板電圧発生回路3は、
SDRAM1が形成された半導体基板に接続されるがそ
の接続は省略する。上記昇圧電圧発生回路4は、メモリ
アレイバンク14〜17にそれぞれ接続される。
【0028】上記アドレスバッファ回路11には、外部
からのアドレス信号が入力されるA0〜A11端子、並び
に外部からバンクセレクト信号が入力されるBA0及び
BA1端子がそれぞれ接続され、アドレスバッファ回路
11は制御回路20に接続される。また、上記制御信号
バッファ回路12には、チップセレクト信号が入力され
る/CS端子、ロウアドレスストローブ信号が入力され
る/RAS端子、カラムアドレスストローブ信号が入力
される/CAS端子、ライトイネーブル信号が入力され
る/WE端子、及び入出力マスク信号が入力されるDQ
M端子がそれぞれ接続され、制御信号バッファ回路12
は制御回路20に接続される。
【0029】上記クロックバッファ回路13には、外部
からクロック信号が入力されるCLK端子、及び外部か
ら入力されるクロックイネーブル信号が入力されるCK
E端子がそれぞれ接続され、クロックバッファ回路13
は、アドレスバッファ回路11、制御信号バッファ回路
12、入出力バッファ回路18及び制御回路20にそれ
ぞれ接続される。また、モードレジスタ回路19は、内
部電源降圧回路2に接続され、制御回路20は、各メモ
リアレイバンク14〜17にそれぞれ接続され、更に、
入出力バッファ回路18に接続される。入出力バッファ
回路18には、データの入出力が行われるデータ入出力
端子DQ0〜DQ7がそれぞれ接続される。
【0030】上記内部電源降圧回路2は、電源端子Vcc
から供給される外部からの電源電圧を降圧して内部電源
電圧int.Vccを生成し、SDRAM1の各内部回路に供
給するものであり、基準電圧発生回路5から入力される
基準電圧Vrefによって、内部電源電圧int.Vccの電圧
値が決まる。すなわち、内部電源降圧回路2は、基準電
圧発生回路5から入力された基準電圧Vrefになるよう
に、内部電源電圧int.Vccの電圧値を制御して出力す
る。基板電圧発生回路3は、半導体基板のバイアス電圧
を生成して出力し、半導体基板に負の基板電圧Vbbを印
加するものである。昇圧電圧発生回路4は、電源端子V
ccから供給される外部からの電源電圧を昇圧して昇圧電
圧Vppを生成し、各メモリアレイバンク14〜17にそ
れぞれ供給する。
【0031】上記クロックバッファ回路13は、外部か
ら入力されるクロック信号より内部クロック信号を生成
して出力するものであり、アドレスバッファ回路11、
制御信号バッファ回路12、入出力バッファ回路18及
び制御回路20は、クロックバッファ回路13から入力
される内部クロック信号を基にして動作する。制御回路
20は、アドレス信号入力端子から入力されるアドレス
信号からバースト長の判定を行うときに、モードレジス
タ回路19を使用する。
【0032】上記制御回路20は、例えば/CS端子、
/RAS端子、/CAS端子及び/WE端子がすべて
「L」レベルとなると、モードレジスタ回路19にセッ
ト信号を出力し、該セット信号を受けてモードレジスタ
回路19は、アドレスバッファ回路11から入力された
アドレス信号の内、バースト長を示す所定の複数の信号
をそれぞれラッチする。制御回路20は、モードレジス
タ回路19にラッチされた信号レベルを参照して、バー
スト転送動作を行う場合のバースト長を制御する。ま
た、上記内部電源降圧回路2は、モードレジスタ回路1
9から出力されるバースト長を示す信号に応じて電流供
給能力を切り換える。
【0033】図2は、モードレジスタ回路19の回路例
を示した図である。図2において、モードレジスタ回路
19は、3つのレジスタ回路31,32,33で形成さ
れており、各レジスタ回路31〜33の構成はそれぞれ
同じであるので、レジスタ回路32を例にして説明す
る。レジスタ回路32は、スリーステートインバータ回
路35と3つのインバータ回路36,37,38で形成
されている。
【0034】スリーステートインバータ回路35は、反
転制御入力35aと非反転制御入力35bの2つの制御
信号入力を備え、反転制御入力35aに「L」レベルの
信号が入力されると共に、非反転制御入力35bに
「H」レベルの信号が入力されると、インバータ回路と
して動作する。また、スリーステートインバータ回路3
5は、反転制御入力35aに「H」レベルの信号が入力
されるか、又は非反転制御入力35bに「L」レベルの
信号が入力されると、出力は高インピーダンス状態とな
る。
【0035】スリーステートインバータ回路35の入力
はレジスタ回路32の入力をなし、該入力には、アドレ
ス入力端子からアドレスバッファ回路11を介して入力
されたアドレス信号の内、アドレス入力端子A1に入力
された信号が制御回路20より入力される。また、イン
バータ回路36及び37はラッチ回路を形成しており、
インバータ回路36の出力とインバータ回路37の入力
の接続部がスリーステートインバータ回路35の出力に
接続される。インバータ回路36の入力とインバータ回
路37の入力の接続部は、レジスタ回路32の非反転出
力MA1をなすと共に、インバータ回路38の入力が接
続され、インバータ回路38の出力がレジスタ回路32
の反転出力/MA1をなす。
【0036】制御回路20は、レジスタ回路32をセッ
トするとき、例えば/CS端子、/RAS端子、/CA
S端子及び/WE端子がすべて「L」レベルになったと
き、スリーステートインバータ回路35の非反転制御入
力35bに「H」レベルのワンパルス信号であるモード
レジスタセット信号MRSETを出力し、反転制御入力35
aにモードレジスタセット信号MRSETの反転信号/MRSET
を出力する。このことから、スリーステートインバータ
回路35は、モードレジスタセット信号MRSET及びその
反転信号/MRSETが入力されている間、インバータ回路と
して動作する。
【0037】同様にして、レジスタ回路31の入力をな
すスリーステートインバータ回路の入力には、アドレス
入力端子からアドレスバッファ回路11を介して入力さ
れたアドレス信号の内、アドレス入力端子A0に入力さ
れた信号が入力され、レジスタ回路33の入力をなすス
リーステートインバータ回路の入力には、アドレス入力
端子からアドレスバッファ回路11を介して入力された
アドレス信号の内、アドレス入力端子A2に入力された
信号が入力される。
【0038】制御回路20は、モードレジスタ回路19
をセットする場合、レジスタ回路31〜33の各スリー
ステートインバータ回路の非反転制御入力に、上記モー
ドレジスタセット信号MRSETをそれぞれ出力すると共
に、各スリーステートインバータ回路の反転制御入力
に、モードレジスタセット信号MRSETの反転信号/MRSET
をそれぞれ出力する。このようにして、レジスタ回路3
1のラッチ回路にはアドレス入力端子A0に入力された
1ビットデータが、レジスタ回路32のラッチ回路には
アドレス入力端子A1に入力された1ビットデータが、
レジスタ回路33のラッチ回路にはアドレス入力端子A
2に入力された1ビットデータがそれぞれラッチされ
る。
【0039】また、レジスタ回路31における非反転出
力をMA0、反転出力を/MA0とし、レジスタ回路33
における非反転出力をMA2、反転出力を/MA2とする
と、制御回路20は、下記表1を用いて、MA0〜MA2
の値よりバースト転送動作を行うときのバースト長を制
御する。
【0040】
【表1】
【0041】ここで、上記表1より、MA1の値が
「L」レベルである「0」のときバースト長が1又は2
であり、MA1の値が「H」レベルである「1」のとき
バースト長は4又は8である。このことから、MA1及
び/MA1の値を利用して、バースト長が1又は2のと
きと、バースト長が4又は8のときで内部電源降圧回路
2の電流供給能力を切り換えるようにする。
【0042】図3は、内部電源降圧回路2の回路例を示
した図である。図3において、内部電源降圧回路2は、
2つのpチャネル型MOSトランジスタ41及び42、
並びに2つのnチャネル型MOSトランジスタ43及び
44で形成された差動増幅回路45と、2つのnチャネ
ル型MOSトランジスタ46及び47で形成され、差動
増幅回路45のゲインの制御を行うゲイン制御回路48
と、出力回路を形成するpチャネル型MOSトランジス
タ49とからなる。なお、上記差動増幅回路45は差動
増幅回路部をなし、上記ゲイン制御回路48はゲイン制
御部をなし、pチャネル型MOSトランジスタ49は出
力回路部をなす。
【0043】差動増幅回路45において、pチャネル型
MOSトランジスタ41及び42の各ゲートは接続さ
れ、該接続部はpチャネル型MOSトランジスタ41の
ドレインに接続される。また、pチャネル型MOSトラ
ンジスタ41及び42の各ソースはそれぞれ電源端子V
ccに接続される。更に、pチャネル型MOSトランジス
タ41のドレインはnチャネル型MOSトランジスタ4
3のドレインに接続され、pチャネル型MOSトランジ
スタ42のドレインはnチャネル型MOSトランジスタ
44のドレインに接続され、該接続部にはpチャネル型
MOSトランジスタ49のゲートが接続される。
【0044】nチャネル型MOSトランジスタ43のゲ
ートには、内部電源降圧回路2から出力される内部電源
電圧int.Vccが入力され、nチャネル型MOSトランジ
スタ44のゲートは基準電圧発生回路5に接続され、基
準電圧Vrefが入力される。nチャネル型MOSトラン
ジスタ43及び44の各ソースは接続され、該接続部
は、ゲイン制御回路48における、nチャネル型MOS
トランジスタ46及び47の各ドレインの接続部に接続
される。
【0045】nチャネル型MOSトランジスタ46及び
47の各ソースは接続されて接地される。nチャネル型
MOSトランジスタ46及び47の各ゲートは、それぞ
れモードレジスタ回路19に接続され、nチャネル型M
OSトランジスタ46のゲートは、レジスタ回路32の
非反転出力MA1に接続され、nチャネル型MOSトラ
ンジスタ47のゲートは、レジスタ回路19の反転出力
/MA1に接続される。また、pチャネル型MOSトラ
ンジスタ49のソースは、電源端子Vccに接続され、p
チャネル型MOSトランジスタ49のドレインは、内部
電源降圧回路2の出力をなし、pチャネル型MOSトラ
ンジスタ49のドレインから内部電源電圧int.Vccが出
力される。
【0046】上記のような構成において、ゲイン制御回
路48を形成するnチャネル型MOSトランジスタ46
及び47は、ゲートのサイズが異なったものに形成され
ており、nチャネル型MOSトランジスタ46は、nチ
ャネル型MOSトランジスタ47よりも大きな電流が流
れるように形成されている。すなわち、nチャネル型M
OSトランジスタ47は、nチャネル型MOSトランジ
スタ46よりもゲート幅を狭く形成されているか、又は
ゲート長を長く形成されている。
【0047】このようにすることにより、バースト長が
1又は2のときは、モードレジスタ回路19の非反転出
力MA1は「L」レベルとなると共に、モードレジスタ
回路19の反転出力/MA1は「H」レベルとなり、n
チャネル型MOSトランジスタ46がオフすると共にn
チャネル型MOSトランジスタ47がオンし、nチャネ
ル型MOSトランジスタ47にドレイン電流id12が流
れる。次に、バースト長が4又は8のときは、モードレ
ジスタ回路19の非反転出力MA1は「H」レベルとな
ると共に、モードレジスタ回路19の反転出力/MA1
は「L」レベルとなり、nチャネル型MOSトランジス
タ46がオンすると共にnチャネル型MOSトランジス
タ47がオフし、nチャネル型MOSトランジスタ46
にドレイン電流id48が流れる。
【0048】ここで、nチャネル型MOSトランジスタ
46は、nチャネル型MOSトランジスタ47よりも大
きな電流が流れるように形成されていることから、id4
8>id12となる。すなわち、上記nチャネル型MOSト
ランジスタ47がオンしたときよりも、nチャネル型M
OSトランジスタ46がオンしたときの方が差動増幅回
路45に流れる電流が大きくなる。
【0049】上記差動増幅回路45に流れる電流が大き
いほど、差動増幅回路45のゲインが大きくなって応答
性がよくなり、内部電源電圧int.Vccの低下に対してp
チャネル型MOSトランジスタ49のゲート電圧を短時
間で低下させることができる。また、pチャネル型MO
Sトランジスタ49はゲート電圧が低くなると流れる電
流が大きくなる。これらのことから、バースト長1又は
2のときよりもバースト長4又は8のときの方が、内部
電源電圧int.Vccの低下に対して短時間で多くの電流を
供給することができ、内部電源電圧int.Vccの低下を防
ぐことができる。
【0050】一方、上記図3では、nチャネル型MOS
トランジスタ47のゲートをモードレジスタ回路19の
反転出力/MA1に接続したが、実施の形態1における
変形例として、図4で示すように、nチャネル型MOS
トランジスタ47のゲートを、反転出力/MA1に接続
せずに電源端子Vccに接続する等して、常時「H」レベ
ルになるようにし、nチャネル型MOSトランジスタ4
7を常時オンさせるようにしてもよい。このようにする
ことにより、バースト長1又は2のときは、nチャネル
型MOSトランジスタ47のみがオンし、バースト長4
又は8のときは、nチャネル型MOSトランジスタ46
及び47がオンする。このことから、バースト長1又は
2のときよりもバースト長4又は8のときの方が、差動
増幅回路45に流れる電流が大きくなることから、図3
で示した場合と同様の効果を得ることができる。
【0051】このように、本発明の実施の形態1におけ
る半導体集積回路は、内部電源降圧回路2の差動増幅回
路45において、バースト長に応じてゲインを変えて応
答性を変えるようにした。すなわち、内部電源降圧回路
2において、バースト長4又は8のときは、バースト長
1又は2のときよりも差動増幅回路45のゲインが大き
くなるようにして応答性を良くした。このことから、内
部電源降圧回路2は、バースト長4又は8のときにおい
て、内部電源電圧int.Vccの低下に対して短時間で多く
の電流を供給することができるため、バースト長が長い
場合に起きる内部電源電圧int.Vccの低下を防ぐことが
できる。更に、バースト長が短いときには、差動増幅回
路45で消費される電流を削減することができ、SDR
AMにおける消費電流の低下を図ることができる。
【0052】実施の形態2.上記実施の形態1において
は、ゲイン制御回路48を2つのnチャネル型MOSト
ランジスタ46及び47で形成し、該2つのnチャネル
型MOSトランジスタ46及び47を用いて、バースト
長1又は2のときと、バースト長4又は8のときとで、
差動増幅回路45に流れる電流を変えることによって、
差動増幅回路45のゲインを変えて応答性を変えるよう
にしたが、差動増幅回路45に流れる電流を1つのnチ
ャネル型MOSトランジスタで制御するようにしてもよ
く、このようにしたものを本発明の実施の形態2とす
る。
【0053】図5は、本発明の実施の形態2における半
導体集積回路の例を示した概略のブロック図であり、バ
ーストモードで動作する64Mbit×8のシンクロナス
DRAMを例にして示している。なお、図5において、
上記図1と同じものは同じ符号で示しており、ここでは
その説明を省略すると共に、図1との相違点のみ説明す
る。また、図5で示したSDRAMは、バースト長1、
2、4、8と変えることができるものとする。
【0054】図5における図1との相違点は、図1の内
部電源降圧回路2における回路構成を変えることによっ
て内部電源降圧回路51とすると共に、第1電圧発生回
路52及び第2電圧発生回路53を追加したことにあ
り、図1の内部電源回路10が、内部電源降圧回路5
1、基板電圧発生回路3、昇圧電圧発生回路4、基準電
圧発生回路5、第1電圧発生回路52及び第2電圧発生
回路53を有することから、図1の内部電源回路10を
内部電源回路54とし、これらに伴って、図1のSDR
AM1をSDRAM55としたことにある。上記内部電
源降圧回路51は内部電源降圧部をなす。
【0055】図5において、SDRAM55は、内部電
源降圧回路51、基板電圧発生回路3、昇圧電圧発生回
路4、基準電圧発生回路5、所定の電圧Va12を生成し
て出力する第1電圧発生回路52、及び所定の電圧Va4
8を生成して出力する第2電圧発生回路53を有する内
部電源回路54を備えている。更に、SDRAM55
は、アドレスバッファ回路11と、制御信号バッファ回
路12と、クロックバッファ回路13と、4つのメモリ
アレイバンク14,15,16,17と、データの入出
力を行う入出力バッファ回路18と、モードレジスタ回
路19を有し各メモリアレイバンク14〜17及び入出
力バッファ回路18の制御を行う制御回路20とを備え
ている。
【0056】上記内部電源回路54は、外部から電源が
供給される電源端子Vccに接続され、上記基準電圧発生
回路5、第1電圧発生回路52及び第2電圧発生回路5
3はそれぞれ内部電源降圧回路51に接続され、内部電
源降圧回路51は、SDRAM55の各内部回路に接続
されるがその接続は省略する。また、モードレジスタ回
路19は、内部電源降圧回路51に接続される。
【0057】上記内部電源降圧回路51は、電源端子V
ccから供給される外部からの電源電圧を降圧して内部電
源電圧int.Vccを生成し、SDRAM55の各内部回路
に供給するものであり、基準電圧発生回路5から入力さ
れる基準電圧Vrefによって、内部電源電圧int.Vccの
電圧値が決まる。すなわち、内部電源降圧回路51は、
基準電圧発生回路5から入力された基準電圧Vrefにな
るように、内部電源電圧int.Vccの電圧値を制御して出
力する。内部電源降圧回路51は、モードレジスタ回路
19から出力されるバースト長を示す信号に応じて電流
供給能力を切り換える。
【0058】図6は、内部電源降圧回路51の回路例を
示した図である。なお、図6において、図3と同じもの
は同じ符号で示しており、ここではその説明を省略する
と共に、図3との相違点を説明する。図6における図3
との相違点は、ゲイン制御回路48を、nチャネル型M
OSトランジスタ61、2つのトランスミッションゲー
ト62及び63で形成したことから、図3のゲイン制御
回路48をゲイン制御回路64としたことにある。な
お、上記ゲイン制御回路64、第1電圧発生回路52及
び第2電圧発生回路53はゲイン制御部をなし、上記ト
ランスミッションゲート62及び63は、ゲート電圧制
御回路をなす。
【0059】図6において、内部電源降圧回路51は、
差動増幅回路45と、nチャネル型MOSトランジスタ
61、トランスミッションゲート62及び63で形成さ
れ、差動増幅回路45のゲインの制御を行うゲイン制御
回路64と、出力回路を形成するpチャネル型MOSト
ランジスタ49とからなる。nチャネル型MOSトラン
ジスタ43及び44の各ソースは接続され、該接続部は
nチャネル型MOSトランジスタ61のドレインに接続
され、nチャネル型MOSトランジスタ61のソースは
接地される。nチャネル型MOSトランジスタ61のゲ
ートは、トランスミッションゲート62及び63の各出
力がそれぞれ接続され、トランスミッションゲート62
の入力は第1電圧発生回路52に接続され、トランスミ
ッションゲート63の入力は第2電圧発生回路53に接
続される。
【0060】トランスミッションゲート62を形成する
pチャネル型MOSトランジスタのゲート、及びトラン
スミッションゲート63を形成するnチャネル型MOS
トランジスタのゲートは、モードレジスタ回路19の非
反転出力MA1にそれぞれ接続され、トランスミッショ
ンゲート62を形成するnチャネル型MOSトランジス
タのゲート、及びトランスミッションゲート63を形成
するpチャネル型MOSトランジスタのゲートは、モー
ドレジスタ回路19の反転出力/MA1にそれぞれ接続
される。
【0061】上記のような構成において、トランスミッ
ションゲート62の入力には、第1電圧発生回路52か
ら入力された所定の電圧Va12が入力され、トランスミ
ッションゲート63の入力には、第2電圧発生回路53
から入力された所定の電圧Va48が入力される。上記所
定の電圧Va12とVa48は、Va48>Va12という関係にあ
る。バースト長が1又は2の場合、非反転出力MA1は
「L」レベルであると共に反転出力/MA1は「H」レ
ベルである。このことから、トランスミッションゲート
62はオンして導通状態となり、トランスミッションゲ
ート63はオフして非導通状態となる。このため、nチ
ャネル型MOSトランジスタ61のゲートには所定の電
圧Va12が入力される。
【0062】一方、バースト長が4又は8の場合、非反
転出力MA1は「H」レベルであると共に反転出力/M
A1は「L」レベルである。このことから、トランスミ
ッションゲート62はオフして非導通状態となり、トラ
ンスミッションゲート63はオンして導通状態となる。
このため、nチャネル型MOSトランジスタ61のゲー
トには所定の電圧Va48が入力される。上記のようにVa
48>Va12という関係から、バースト長1又は2のとき
よりもバースト長4又は8のときの方が、nチャネル型
MOSトランジスタ61のゲートに入力される電圧が高
く、すなわち、nチャネル型MOSトランジスタ61の
ドレイン電流が大きくなり、差動増幅回路45に流れる
電流が大きくなる。
【0063】上記差動増幅回路45に流れる電流が大き
いほど、差動増幅回路45のゲインが大きくなって応答
性がよくなり、内部電源電圧int.Vccの低下に対してp
チャネル型MOSトランジスタ49のゲート電圧を短時
間で低下させることができる。また、pチャネル型MO
Sトランジスタ49は、ゲート電圧が低くなると流れる
電流が大きくなる。これらのことから、バースト長1又
は2のときよりもバースト長4又は8のときの方が、内
部電源電圧int.Vccの低下に対して短時間で多くの電流
を供給することができ、内部電源電圧int.Vccの低下を
防ぐことができる。
【0064】このように、本発明の実施の形態2におけ
る半導体集積回路は、内部電源降圧回路2の差動増幅回
路45において、バースト長に応じてゲインを変えて応
答性を変えるようにした。すなわち、内部電源降圧回路
2において、バースト長4又は8のときは、バースト長
1又は2のときよりも差動増幅回路45のゲインが大き
くなるようにして応答性を良くした。このことから、内
部電源降圧回路2は、バースト長4又は8のときにおい
て、内部電源電圧int.Vccの低下に対して短時間で多く
の電流を供給することができるため、バースト長が長い
場合に起きる内部電源電圧int.Vccの低下を防ぐことが
できる。更に、バースト長が短いときには、差動増幅回
路45で消費される電流を削減することができ、SDR
AMにおける消費電流の低下を図ることができる。
【0065】実施の形態3.上記実施の形態1及び2に
おいては、差動増幅回路45に流れる電流を変えること
によって、差動増幅回路45のゲインを変えて応答性を
変えるようにしたが、差動増幅回路45のnチャネル型
MOSトランジスタ44のゲートに入力されるゲート電
圧、すなわち基準電圧を、バースト長1又は2のときと
バースト長4又は8のときで変えることによって、バー
スト長が長い場合に起きる内部電源電圧int.Vccの低下
を補償するようにしてもよく、このようにしたものを本
発明の実施の形態3とする。
【0066】図7は、本発明の実施の形態3における半
導体集積回路の例を示した概略のブロック図であり、バ
ーストモードで動作する64Mbit×8のSDRAMを
例にして示している。なお、図7において、上記図1と
同じものは同じ符号で示しており、ここではその説明を
省略すると共に、図1との相違点のみ説明する。また、
図7で示したSDRAMは、バースト長1、2、4、8
と変えることができるものとする。
【0067】図7における図1との相違点は、図1の基
準電圧発生回路5を廃止し、図1の内部電源降圧回路2
における回路構成を変えることによって内部電源降圧回
路71とすると共に、第1基準電圧発生回路72及び第
2基準電圧発生回路73を追加したことにあり、図1の
内部電源回路10が、内部電源降圧回路71、基板電圧
発生回路3、昇圧電圧発生回路4、第1基準電圧発生回
路72及び第2基準電圧発生回路73を有することか
ら、図1の内部電源回路10を内部電源回路74とし、
これらに伴って、図1のSDRAM1をSDRAM75
としたことにある。なお、上記内部電源降圧回路71は
内部電源降圧部をなし、上記第1基準電圧発生回路72
及び第2基準電圧発生回路73は基準電圧発生部をな
す。
【0068】図7において、SDRAM75は、内部電
源降圧回路71、基板電圧発生回路3、昇圧電圧発生回
路4、基準電圧Vr12を生成して出力する第1基準電圧
発生回路72、及び基準電圧Vr48を生成して出力する
第2基準電圧発生回路73を有する内部電源回路74を
備えている。更に、SDRAM75は、アドレスバッフ
ァ回路11と、制御信号バッファ回路12と、クロック
バッファ回路13と、4つのメモリアレイバンク14,
15,16,17と、データの入出力を行う入出力バッ
ファ回路18と、モードレジスタ回路19を有し各メモ
リアレイバンク14〜17及び入出力バッファ回路18
の制御を行う制御回路20とを備えている。
【0069】上記内部電源回路74は、外部から電源が
供給される電源端子Vccに接続され、上記第1基準電圧
発生回路72及び第2基準電圧発生回路73はそれぞれ
内部電源降圧回路71に接続され、内部電源降圧回路7
1は、SDRAM75の各内部回路に接続されるがその
接続は省略する。また、モードレジスタ回路19は、内
部電源降圧回路71に接続される。
【0070】上記内部電源降圧回路71は、電源端子V
ccから供給される外部からの電源電圧を降圧して内部電
源電圧int.Vccを生成し、SDRAM75の各内部回路
に供給するものであり、第1基準電圧発生回路72から
入力される基準電圧Vr12又は第2基準電圧発生回路7
3から入力される基準電圧Vr48によって、内部電源電
圧int.Vccの電圧値が決まる。すなわち、内部電源降圧
回路71は、第1基準電圧発生回路72から入力された
基準電圧Vr12、又は第2基準電圧発生回路73から入
力された基準電圧Vr48になるように、内部電源電圧in
t.Vccの電圧値を制御して出力する。内部電源降圧回路
71は、モードレジスタ回路19から出力されるバース
ト長を示す信号に応じて基準電圧Vr12及びVr48の切り
換えを行う。
【0071】図8は、内部電源降圧回路71の回路例を
示した図である。なお、図8において、図3と同じもの
は同じ符号で示しており、ここではその説明を省略する
と共に、図3との相違点を説明する。図8における図3
との相違点は、図3のゲイン制御回路48を廃止し、図
3の差動増幅回路45に定電流源81を追加したことか
ら、図3の差動増幅回路45を差動増幅回路82とし、
トランスミッションゲート83及び84からなる基準電
圧切換回路85を追加したことにある。なお、上記差動
増幅回路82は差動増幅回路部をなし、上記基準電圧切
換回路85は基準電圧選択部をなす。
【0072】図8において、内部電源降圧回路71は、
差動増幅回路82と、基準電圧切換回路85と、出力回
路を形成するpチャネル型MOSトランジスタ49とか
らなる。差動増幅回路82は、2つのpチャネル型MO
Sトランジスタ41,42、2つのnチャネル型MOS
トランジスタ43,44及び定電流源81で形成され、
nチャネル型MOSトランジスタ43及び44の各ソー
スの接続部と接地との間に、定電流源81が接続され
る。また、基準電圧切換回路85は、トランスミッショ
ンゲート83及び84で形成されており、トランスミッ
ションゲート83及び84の各出力は、nチャネル型M
OSトランジスタ44のゲートに接続される。更に、ト
ランスミッションゲート83の入力は第1基準電圧発生
回路72に接続され、トランスミッションゲート84の
入力は第2基準電圧発生回路73に接続される。
【0073】トランスミッションゲート83を形成する
pチャネル型MOSトランジスタのゲート、及びトラン
スミッションゲート84を形成するnチャネル型MOS
トランジスタのゲートは、モードレジスタ回路19の非
反転出力MA1に接続され、トランスミッションゲート
83を形成するnチャネル型MOSトランジスタのゲー
ト、及びトランスミッションゲート84を形成するpチ
ャネル型MOSトランジスタのゲートは、モードレジス
タ回路19の反転出力/MA1に接続される。
【0074】上記のような構成において、トランスミッ
ションゲート83の入力には、第1基準電圧発生回路7
2から入力された基準電圧Vr12が入力され、トランス
ミッションゲート84の入力には、第2基準電圧発生回
路73から入力された基準電圧Vr48が入力される。上
記基準電圧Vr12とVr48は、Vr48>Vr12という関係に
ある。バースト長が1又は2の場合、非反転出力MA1
は「L」レベルであると共に反転出力/MA1は「H」
レベルである。このことから、トランスミッションゲー
ト83はオンして導通状態となり、トランスミッション
ゲート84はオフして非導通状態となる。このため、n
チャネル型MOSトランジスタ44のゲートには基準電
圧Vr12が入力される。
【0075】一方、バースト長が4又は8の場合、非反
転出力MA1は「H」レベルであると共に反転出力/M
A1は「L」レベルである。このことから、トランスミ
ッションゲート83はオフして非導通状態となり、トラ
ンスミッションゲート84はオンして導通状態となる。
このため、nチャネル型MOSトランジスタ44のゲー
トには基準電圧Vr48が入力される。上記のようにVr48
>Vr12という関係から、バースト長1又は2のときよ
りもバースト長4又は8のときの方が、nチャネル型M
OSトランジスタ44のゲートに入力される電圧が高
く、すなわち、差動増幅回路82の基準電圧が高くなる
ことから、内部電源降圧回路71から出力される内部電
源電圧int.Vccが高くなり、バースト長が長いときにお
きる内部電源電圧int.Vccの低下を補償することができ
る。
【0076】このように、本発明の実施の形態3におけ
る半導体集積回路は、バースト長に応じて内部電源降圧
回路71から出力される内部電源電圧int.Vccの電圧を
変えることができる。すなわち、バースト長1又は2の
ときよりもバースト長4又は8のときにおける、内部電
源降圧回路71から出力される内部電源電圧int.Vccの
電圧を高くして、バースト長が長いときに起きる内部電
源電圧int.Vccの低下を補償するようにした。このた
め、バースト長が長い場合に起きる内部電源電圧int.V
ccの低下を防ぐことができる。
【0077】実施の形態4.上記実施の形態1から実施
の形態3においては、内部電源降圧回路における出力回
路をなすpチャネル型MOSトランジスタは1つであっ
たが、内部電源降圧回路の出力回路を複数のpチャネル
型MOSトランジスタで形成し、バースト長に応じて出
力回路をなすpチャネル型MOSトランジスタのオンさ
せる数を変えることによって、内部電源降圧回路におけ
る出力電流供給能力を変えるようにしても良く、このよ
うにしたものを本発明の実施の形態4とする。
【0078】図9は、本発明の実施の形態4における半
導体集積回路の例を示した概略のブロック図であり、バ
ーストモードで動作する64Mbit×8のシンクロナス
DRAMを例にして示している。なお、図9において、
上記図1と同じものは同じ符号で示しており、ここでは
その説明を省略すると共に、図1との相違点のみ説明す
る。また、図9で示したSDRAMは、バースト長1、
2、4、8と変えることができるものとする。
【0079】図9における図1との相違点は、図1の内
部電源降圧回路2における回路構成を変えることによっ
て内部電源降圧回路91としたことにあり、図1の内部
電源回路10が、内部電源降圧回路91、基板電圧発生
回路3、昇圧電圧発生回路4及び基準電圧発生回路5を
有することから、図1の内部電源回路10を内部電源回
路92とし、これらに伴って、図1のSDRAM1をS
DRAM95としたことにある。なお、上記内部電源降
圧回路91は内部電源降圧部をなす。
【0080】図9において、SDRAM95は、内部電
源降圧回路91、基板電圧発生回路3、昇圧電圧発生回
路4、及び基準電圧Vrefを生成して出力する基準電圧
発生回路5を有する内部電源回路92を備えている。更
に、SDRAM95は、アドレスバッファ回路11と、
制御信号バッファ回路12と、クロックバッファ回路1
3と、4つのメモリアレイバンク14,15,16,1
7と、データの入出力を行う入出力バッファ回路18
と、モードレジスタ回路19を有し各メモリアレイバン
ク14〜17及び入出力バッファ回路18の制御を行う
制御回路20とを備えている。
【0081】上記内部電源回路92は、外部から電源が
供給される電源端子Vccに接続され、上記基準電圧発生
回路5は内部電源降圧回路91に接続され、内部電源降
圧回路91は、SDRAM95の各内部回路に接続され
るがその接続は省略する。また、上記基板電圧発生回路
3は、SDRAM95が形成された半導体基板に接続さ
れるがその接続は省略する。上記モードレジスタ回路1
9は、内部電源降圧回路91に接続される。
【0082】上記内部電源降圧回路91は、電源端子V
ccから供給される外部からの電源電圧を降圧して内部電
源電圧int.Vccを生成し、SDRAM95の各内部回路
に供給するものであり、基準電圧発生回路5から入力さ
れる基準電圧Vrefによって、内部電源電圧int.Vccの
電圧値が決まる。すなわち、内部電源降圧回路91は、
基準電圧発生回路5から入力された基準電圧Vrefにな
るように、内部電源電圧int.Vccの電圧値を制御して出
力する。また、上記内部電源降圧回路91は、モードレ
ジスタ回路19から出力されるバースト長を示す信号に
応じて電流供給能力を切り換える。
【0083】図10は、内部電源降圧回路91の回路例
を示した図である。なお、図10において、図3と同じ
ものは同じ符号で示しており、ここではその説明を省略
すると共に、図3との相違点を説明する。図10におけ
る図3との相違点は、図3のゲイン制御回路48を廃止
し、図3の差動増幅回路45に定電流源101を追加し
たことから、図3の差動増幅回路45を差動増幅回路1
02とし、2つのpチャネル型MOSトランジスタ10
3,104、及びトランスミッションゲート105を追
加し、pチャネル型MOSトランジスタ49,103,
104及びトランスミッションゲート105で出力回路
106を形成したことにある。なお、上記差動増幅回路
102は差動増幅回路部をなし、上記出力回路106は
出力回路部をなす。
【0084】図10において、内部電源降圧回路91
は、差動増幅回路102と、出力回路106とからな
る。差動増幅回路102は、2つのpチャネル型MOS
トランジスタ41,42、2つのnチャネル型MOSト
ランジスタ43,44及び定電流源101で形成され、
nチャネル型MOSトランジスタ43及び44の各ソー
スの接続部と接地との間に、定電流源101が接続され
る。また、出力回路106は、pチャネル型MOSトラ
ンジスタ49,103,104及びトランスミッション
ゲート105で形成されている。
【0085】pチャネル型MOSトランジスタ49のゲ
ートは、トランスミッションゲート105の入力に接続
され、トランスミッションゲート105の出力はpチャ
ネル型MOSトランジスタ103のゲートに接続される
と共に、該接続部にpチャネル型MOSトランジスタ1
04のドレインが接続される。pチャネル型MOSトラ
ンジスタ103及び104の各ソースはそれぞれ電源端
子Vccに接続され、pチャネル型MOSトランジスタ1
03のドレインは、pチャネル型MOSトランジスタ4
9のドレインに接続され、該接続部が内部電源降圧回路
91の出力をなす。
【0086】トランスミッションゲート105を形成す
るnチャネル型MOSトランジスタのゲート、及びpチ
ャネル型MOSトランジスタ104のゲートは、モード
レジスタ回路19の非反転出力MA1にそれぞれ接続さ
れ、トランスミッションゲート105を形成するpチャ
ネル型MOSトランジスタのゲートは、モードレジスタ
回路19の反転出力/MA1に接続される。
【0087】上記のような構成において、バースト長が
1又は2の場合、非反転出力MA1は「L」レベルであ
ると共に反転出力/MA1は「H」レベルである。この
ことから、トランスミッションゲート105はオフして
非導通状態となり、pチャネル型MOSトランジスタ1
04はオンして、pチャネル型MOSトランジスタ10
3のゲートを「H」レベルにすることから、pチャネル
型MOSトランジスタ103はオフして非導通状態とな
る。このため、内部電源降圧回路91の出力は、pチャ
ネル型MOSトランジスタ49のみから出力電流を供給
する。
【0088】一方、バースト長が4又は8の場合、非反
転出力MA1は「H」レベルであると共に反転出力/M
A1は「L」レベルである。このことから、トランスミ
ッションゲート105はオンして導通状態となると共
に、pチャネル型MOSトランジスタ104はオフして
非導通状態となる。このため、pチャネル型MOSトラ
ンジスタ49及び103の各ゲートは接続状態となり、
内部電源降圧回路91の出力は、pチャネル型MOSト
ランジスタ49及び103の両方から出力電流を供給で
き、内部電源降圧回路91は、上記バースト長1又は2
の場合よりも出力電流の電流供給能力を大きくすること
ができる。
【0089】このように、本発明の実施の形態4におけ
る半導体集積回路は、バースト長に応じて内部電源降圧
回路91から出力される電流の電流供給能力を変えるこ
とができる。すなわち、バースト長1又は2の場合、内
部電源降圧回路91から出力される電流の電流供給能力
を小さくし、バースト長4又は8の場合、内部電源降圧
回路91から出力される電流の電流供給能力を大きくす
ることができる。このことから、バースト長が長い場合
に起きる内部電源電圧int.Vccの低下を防ぐことができ
ると共に、バースト長が短い場合には、内部電源降圧回
路91からの出力電流を減少させることができ、SDR
AMにおける消費電流の低下を図ることができる。
【0090】実施の形態5.上記実施の形態1から実施
の形態4においては、バースト長に応じて内部電源降圧
回路の出力制御を行ったが、バースト長に応じて基板電
圧発生回路の出力制御を行うようにしたものを本発明の
実施の形態5とする。
【0091】図11は、本発明の実施の形態5における
半導体集積回路の例を示した概略のブロック図であり、
バーストモードで動作する64Mbit×8のシンクロナ
スDRAMを例にして示している。なお、図11におい
て、上記図1と同じものは同じ符号で示しており、ここ
ではその説明を省略すると共に、図1との相違点のみ説
明する。また、図11で示したSDRAMは、バースト
長1、2、4、8と変えることができるものとする。
【0092】図11における図1との相違点は、図1の
基板電圧発生回路3における回路構成を変えることによ
って基板電圧発生回路111とすると共に、第1電圧発
生回路112及び第2電圧発生回路113を追加したこ
とにあり、図1の内部電源回路10が、内部電源降圧回
路2、基板電圧発生回路111、昇圧電圧発生回路4、
基準電圧発生回路5、第1電圧発生回路112及び第2
電圧発生回路113を有することから、図1の内部電源
回路10を内部電源回路114とし、これらに伴って、
図1のSDRAM1をSDRAM115としたことにあ
る。なお、上記基板電圧発生回路111、第1電圧発生
回路112及び第2電圧発生回路113は基板電圧発生
部をなす。
【0093】図11において、SDRAM115は、内
部電源降圧回路2、基板電圧発生回路111、昇圧電圧
発生回路4、基準電圧発生回路5、所定の電圧Vb12を
生成して出力する第1電圧発生回路112、及び所定の
電圧Vb48を生成して出力する第2電圧発生回路113
を有する内部電源回路114を備えている。更に、SD
RAM115は、アドレスバッファ回路11と、制御信
号バッファ回路12と、クロックバッファ回路13と、
4つのメモリアレイバンク14,15,16,17と、
データの入出力を行う入出力バッファ回路18と、モー
ドレジスタ回路19を有し各メモリアレイバンク14〜
17及び入出力バッファ回路18の制御を行う制御回路
20とを備えている。
【0094】上記内部電源回路114は、外部から電源
が供給される電源端子Vccに接続され、上記基準電圧発
生回路5は内部電源降圧回路2に接続され、内部電源降
圧回路2は、SDRAM115の各内部回路に接続され
るがその接続は省略する。また、上記第1電圧発生回路
112及び第2電圧発生回路113はそれぞれ基板電圧
発生回路111に接続され、基板電圧発生回路111
は、SDRAM115が形成された半導体基板に接続さ
れるがその接続は省略する。また、モードレジスタ回路
19は、内部電源降圧回路2及び基板電圧発生回路11
1にそれぞれ接続される。
【0095】上記内部電源降圧回路2は、電源端子Vcc
から供給される外部からの電源電圧を降圧して内部電源
電圧int.Vccを生成し、SDRAM115の各内部回路
に供給するものである。基板電圧発生回路111は、半
導体基板のバイアス電圧を生成して出力し、半導体基板
に負の基板電圧Vbbを印加するものである。
【0096】図12は、基板電圧発生回路111の回路
例を示した図である。図12において、基板電圧発生回
路111は、3つのpチャネル型MOSトランジスタ1
21,122,123、2つのnチャネル型MOSトラ
ンジスタ124,125、及び2つのトランスミッショ
ンゲート126,127で形成された基板電圧検出回路
128と、チャージポンプ回路129とからなる。な
お、基板電圧検出回路128は基板電圧検出部をなし、
チャージポンプ回路129はチャージポンプ回路部をな
す。
【0097】基板電圧検出回路128において、pチャ
ネル型MOSトランジスタ121及び122の各ゲート
は接続され、該接続部はpチャネル型MOSトランジス
タ121のドレインに接続される。また、pチャネル型
MOSトランジスタ121及び122の各ソースはそれ
ぞれ電源端子Vccに接続される。更に、pチャネル型M
OSトランジスタ121のドレインはnチャネル型MO
Sトランジスタ124のドレインに接続される。pチャ
ネル型MOSトランジスタ122のドレインはnチャネ
ル型MOSトランジスタ125のドレインに接続され、
該接続部は、基板電圧検出回路128の出力をなし、チ
ャ−ジポンプ回路129の入力に接続される。チャージ
ポンプ回路129の出力は、基板電圧発生回路111の
出力をなし、チャージポンプ回路129の出力から基板
電圧Vbbが出力される。
【0098】nチャネル型MOSトランジスタ124の
ソースは接地され、nチャネル型MOSトランジスタ1
25のソースは、pチャネル型MOSトランジスタ12
3のソースに接続される。pチャネル型MOSトランジ
スタ123のゲートはpチャネル型MOSトランジスタ
123のドレインに接続され、該接続部には基板電圧V
bbが入力される。nチャネル型MOSトランジスタ12
4及び125の各ゲートは接続され、該接続部には、ト
ランスミッションゲート126及び127の各出力がそ
れぞれ接続される。
【0099】トランスミッションゲート126の入力は
第1電圧発生回路112に接続され、トランスミッショ
ンゲート127の入力は第2電圧発生回路113に接続
される。トランスミッションゲート126を形成するp
チャネル型MOSトランジスタのゲート、及びトランス
ミッションゲート127を形成するnチャネル型MOS
トランジスタのゲートは、モードレジスタ回路19の非
反転出力MA1にそれぞれ接続され、トランスミッショ
ンゲート126を形成するnチャネル型MOSトランジ
スタのゲート、及びトランスミッションゲート127を
形成するpチャネル型MOSトランジスタのゲートは、
モードレジスタ回路19の反転出力/MA1にそれぞれ
接続される。
【0100】上記のような構成において、トランスミッ
ションゲート126の入力には、第1電圧発生回路11
2から入力された所定の電圧Vb12が入力され、トラン
スミッションゲート127の入力には、第2電圧発生回
路113から入力された所定の電圧Vb48が入力され
る。上記所定の電圧Vb12とVb48は、Vb48>Vb12とい
う関係にある。バースト長が1又は2の場合、非反転出
力MA1は「L」レベルであると共に反転出力/MA1は
「H」レベルである。このことから、トランスミッショ
ンゲート126はオンして導通状態となり、トランスミ
ッションゲート127はオフして非導通状態となる。こ
のため、nチャネル型MOSトランジスタ124及び1
25の各ゲートにはそれぞれ所定の電圧Vb12が入力さ
れる。
【0101】一方、バースト長が4又は8の場合、非反
転出力MA1は「H」レベルであると共に反転出力/M
A1は「L」レベルである。このことから、トランスミ
ッションゲート126はオフして非導通状態となり、ト
ランスミッションゲート127はオンして導通状態とな
る。このため、nチャネル型MOSトランジスタ124
及び125の各ゲートには所定の電圧Vb48がそれぞれ
入力される。
【0102】nチャネル型MOSトランジスタ124及
び125は、基板電圧検出回路128の電流源を形成し
ている。上記のようにVb48>Vb12という関係から、バ
ースト長1又は2のときよりもバースト長4又は8のと
きの方が、nチャネル型MOSトランジスタ124及び
125の各ゲートにそれぞれ入力される電圧が高く、す
なわち、nチャネル型MOSトランジスタ124及び1
25に流れる電流が大きくなり、pチャネル型MOSト
ランジスタ121及び122の各ゲート電圧が低くなっ
てpチャネル型MOSトランジスタ122のドレイン電
流が大きくなる。
【0103】上記基板電圧検出回路128の出力は、基
板電圧Vbbが上昇すると、pチャネル型MOSトランジ
スタ123がオフして非導通状態となることから、
「L」レベルから「H」レベルとなり、チャージポンプ
回路129の入力が「L」レベルから「H」レベルにな
る。ここで、基板電圧検出回路128の出力が「L」レ
ベルから「H」レベルに遷移する時間は、pチャネル型
MOSトランジスタ122から流れる電流が大きいほど
短くなる。すなわち、バースト長1又は2のときよりも
バースト長4又は8のときの方が、基板電圧Vbbの上昇
によってpチャネル型MOSトランジスタ123がオフ
して非導通状態となってから、短時間で基板電圧検出回
路128の出力が「L」レベルから「H」レベルにな
り、基板電圧検出回路128の応答性が良くなる。
【0104】上記チャージポンプ回路129は、基板電
圧Vbbが上昇して、基板電圧検出回路128の出力が
「L」レベルから「H」レベルになると基板電圧Vbbを
低下させ、基板電圧Vbbが低下してpチャネル型MOS
トランジスタ123がオンし、基板電圧検出回路128
の出力が「L」レベルになると動作を停止する。
【0105】なお、本実施の形態5においては、上記実
施の形態1における基板電圧発生回路3をバースト長に
応じて基板電圧検出回路の応答性を変えるようにした
が、本発明はこれに限定するものではなく、上記実施の
形態2から実施の形態4における基板電圧発生回路3を
上記基板電圧発生回路111に置き換えると共に、第1
電圧発生回路112及び第2電圧発生回路113を追加
しても良い、更に、従来の内部電源降圧回路を備えた内
部電源回路に上記基板電圧発生回路111、第1電圧発
生回路112及び第2電圧発生回路113を備えるよう
にしても良い。
【0106】このように、本発明の実施の形態5におけ
る半導体集積回路は、基板電圧発生回路111の基板電
圧検出回路128において、バースト長に応じて応答性
を変えるようにした。すなわち、基板電圧発生回路11
1において、バースト長4又は8のときは、バースト長
1又は2のときよりも基板電圧検出回路128の応答性
を良くした。このことから、基板電圧発生回路111
は、バースト長4又は8のときにおいて、基板電圧Vbb
の上昇を短時間で検出して基板電圧Vbbを低下させるこ
とができるため、バースト長が長い場合に起きる基板電
圧Vbbの上昇を防ぐことができる。更に、バースト長が
短いときには、基板電圧検出回路128で消費される電
流を削減することができ、SDRAMにおける消費電流
の低下を図ることができる。
【0107】実施の形態6.上記実施の形態1から実施
の形態4においては、バースト長に応じて内部電源降圧
回路の出力制御を行い、実施の形態5においては、更
に、バースト長に応じて基板電圧発生回路の出力制御を
行ったが、バースト長に応じて昇圧電圧発生回路の出力
制御を行うようにしたものを本発明の実施の形態6とす
る。
【0108】図13は、本発明の実施の形態6における
半導体集積回路の例を示した概略のブロック図であり、
バーストモードで動作する64Mbit×8のシンクロナ
スDRAMを例にして示している。なお、図13におい
て、上記図11と同じものは同じ符号で示しており、こ
こではその説明を省略すると共に、図11との相違点の
み説明する。また、図13で示したSDRAMは、バー
スト長1、2、4、8と変えることができるものとす
る。
【0109】図13における図11との相違点は、図1
1の昇圧電圧発生回路4における回路構成を変えること
によって昇圧電圧発生回路131とすると共に、第3電
圧発生回路132及び第4電圧発生回路133を追加し
たことにあり、図11の内部電源回路114が、内部電
源降圧回路2、基板電圧発生回路111、昇圧電圧発生
回路131、基準電圧発生回路5、第1電圧発生回路1
12、第2電圧発生回路113、第3電圧発生回路13
2及び第4電圧発生回路133を有することから、図1
1の内部電源回路114を内部電源回路134とし、こ
れらに伴って、図11のSDRAM115をSDRAM
135としたことにある。なお、上記昇圧電圧発生回路
131、第3電圧発生部132及び第4電圧発生部13
3は昇圧電圧発生部をなす。
【0110】図13において、SDRAM135は、内
部電源降圧回路2、基板電圧発生回路111、昇圧電圧
発生回路131、基準電圧発生回路5、第1電圧発生回
路112、第2電圧発生回路113、所定の電圧Vc12
を生成して出力する第3電圧発生回路132、及び所定
の電圧Vc48を生成して出力する第4電圧発生回路13
3を有する内部電源回路134を備えている。更に、S
DRAM135は、アドレスバッファ回路11と、制御
信号バッファ回路12と、クロックバッファ回路13
と、4つのメモリアレイバンク14,15,16,17
と、データの入出力を行う入出力バッファ回路18と、
モードレジスタ回路19を有し各メモリアレイバンク1
4〜17及び入出力バッファ回路18の制御を行う制御
回路20とを備えている。
【0111】上記内部電源回路134は、外部から電源
が供給される電源端子Vccに接続され、上記基準電圧発
生回路5は内部電源降圧回路2に接続され、内部電源降
圧回路2は、SDRAM135の各内部回路に接続され
るがその接続は省略する。また、上記第1電圧発生回路
112及び第2電圧発生回路113はそれぞれ基板電圧
発生回路111に接続され、基板電圧発生回路111
は、SDRAM135が形成された半導体基板に接続さ
れるがその接続は省略する。上記第3電圧発生回路13
2及び第4電圧発生回路133はそれぞれ昇圧電圧発生
回路131に接続され、昇圧電圧発生回路131は、各
メモリアレイバンク14〜17にそれぞれ接続される。
また、モードレジスタ回路19は、内部電源降圧回路
2、基板電圧発生回路111及び昇圧電圧発生回路13
1にそれぞれ接続される。
【0112】上記内部電源降圧回路2は、電源端子Vcc
から供給される外部からの電源電圧を降圧して内部電源
電圧int.Vccを生成し、SDRAM135の各内部回路
に供給するものである。昇圧電圧発生回路131は、電
源端子Vccから供給される外部からの電源電圧を昇圧し
て昇圧電圧Vppを生成し、各メモリアレイバンク14〜
17に供給するものである。
【0113】図14は、昇圧電圧発生回路131の回路
例を示した図である。図14において、昇圧電圧発生回
路131は、3つのnチャネル型MOSトランジスタ1
41,142,143、2つのpチャネル型MOSトラ
ンジスタ144,145、2つのトランスミッションゲ
ート146,147及びコンデンサ148で形成された
昇圧電圧検出回路149と、チャージポンプ回路150
とからなる。なお、昇圧電圧検出回路149は昇圧電圧
検出部をなし、チャージポンプ回路150はチャージポ
ンプ回路部をなす。
【0114】昇圧電圧検出回路149において、nチャ
ネル型MOSトランジスタ141及び142の各ゲート
は接続され、該接続部はnチャネル型MOSトランジス
タ141のドレインに接続される。また、nチャネル型
MOSトランジスタ141及び142の各ソースはそれ
ぞれ接地される。更に、nチャネル型MOSトランジス
タ141のドレインはpチャネル型MOSトランジスタ
144のドレインに接続される。nチャネル型MOSト
ランジスタ142のドレインはpチャネル型MOSトラ
ンジスタ145のドレインに接続され、該接続部は、昇
圧電圧検出回路149の出力をなし、チャ−ジポンプ回
路150の入力に接続される。チャージポンプ回路15
0の出力は、昇圧電圧発生回路131の出力をなし、チ
ャージポンプ回路150の出力から昇圧電圧Vppが出力
される。
【0115】pチャネル型MOSトランジスタ144の
ソースは、nチャネル型MOSトランジスタ143のソ
ースに接続され、該接続部と接地との間にコンデンサ1
48が接続され、pチャネル型MOSトランジスタ14
5のソースは電源端子Vccに接続される。nチャネル型
MOSトランジスタ143のゲートはnチャネル型MO
Sトランジスタ143のドレインに接続され、該接続部
には昇圧電圧Vppが入力される。pチャネル型MOSト
ランジスタ144及び145の各ゲートは接続され、該
接続部には、トランスミッションゲート146及び14
7の各出力がそれぞれ接続される。
【0116】トランスミッションゲート146の入力は
第3電圧発生回路132に接続され、トランスミッショ
ンゲート147の入力は第2電圧発生回路133に接続
される。トランスミッションゲート146を形成するp
チャネル型MOSトランジスタのゲート、及びトランス
ミッションゲート147を形成するnチャネル型MOS
トランジスタのゲートは、モードレジスタ回路19の非
反転出力MA1にそれぞれ接続され、トランスミッショ
ンゲート146を形成するnチャネル型MOSトランジ
スタのゲート、及びトランスミッションゲート147を
形成するpチャネル型MOSトランジスタのゲートは、
モードレジスタ回路19の反転出力/MA1にそれぞれ
接続される。
【0117】上記のような構成において、トランスミッ
ションゲート146の入力には、第3電圧発生回路13
2から入力された所定の電圧Vc12が入力され、トラン
スミッションゲート147の入力には、第4電圧発生回
路133から入力された所定の電圧Vc48が入力され
る。上記所定の電圧Vc12とVc48は、Vc12>Vc48とい
う関係にある。バースト長が1又は2の場合、非反転出
力MA1は「L」レベルであると共に反転出力/MA1は
「H」レベルである。このことから、トランスミッショ
ンゲート146はオンして導通状態となり、トランスミ
ッションゲート147はオフして非導通状態となる。こ
のため、pチャネル型MOSトランジスタ144及び1
45の各ゲートにはそれぞれ所定の電圧Vc12が入力さ
れる。
【0118】一方、バースト長が4又は8の場合、非反
転出力MA1は「H」レベルであると共に反転出力/M
A1は「L」レベルである。このことから、トランスミ
ッションゲート146はオフして非導通状態となり、ト
ランスミッションゲート147はオンして導通状態とな
る。このため、pチャネル型MOSトランジスタ144
及び145の各ゲートには所定の電圧Vc48がそれぞれ
入力される。
【0119】上記のようにVc12>Vc48という関係か
ら、バースト長1又は2のときよりもバースト長4又は
8のときの方が、pチャネル型MOSトランジスタ14
4及び145の各ゲートにそれぞれ入力される電圧が低
く、すなわち、pチャネル型MOSトランジスタ144
及び145に流れる電流が大きくなり、nチャネル型M
OSトランジスタ143がオンして導通状態の場合、n
チャネル型MOSトランジスタ141及び142の各ゲ
ート電圧が高くなってpチャネル型MOSトランジスタ
145のドレイン電流が大きくなる。
【0120】上記昇圧電圧検出回路149の出力は、昇
圧電圧Vppが低下すると、nチャネル型MOSトランジ
スタ143がオフして非導通状態となることから、
「L」レベルから「H」レベルとなり、チャージポンプ
回路150の入力が「L」レベルから「H」レベルにな
る。ここで、昇圧電圧検出回路149の出力が「L」レ
ベルから「H」レベルに遷移する時間は、pチャネル型
MOSトランジスタ145から流れる電流が大きいほど
短くなる。すなわち、バースト長1又は2のときよりも
バースト長4又は8のときの方が、昇圧電圧Vppの低下
によってnチャネル型MOSトランジスタ143がオフ
して非導通状態となってから、短時間で昇圧電圧検出回
路149の出力が「L」レベルから「H」レベルにな
り、昇圧電圧検出回路149の応答性が良くなる。
【0121】上記チャージポンプ回路150は、昇圧電
圧Vppが低下して、昇圧電圧検出回路149の出力が
「L」レベルから「H」レベルになると昇圧電圧Vppを
昇圧させ、昇圧電圧Vppが上昇してnチャネル型MOS
トランジスタ143がオンし、基板電圧検出回路149
の出力が「L」レベルになると動作を停止する。
【0122】なお、本実施の形態6においては、上記実
施の形態5における昇圧電圧発生回路4をバースト長に
応じて昇圧電圧検出回路における応答性を変えるように
したが、本発明はこれに限定するものではなく、上記実
施の形態1から実施の形態4における昇圧電圧発生回路
4の代わりに上記昇圧電圧発生回路131、第3電圧発
生回路132及び第4電圧発生回路133を用いても良
い。更に、従来の内部電源降圧回路及び基板電圧発生回
路を備えた内部電源回路に上記昇圧電圧発生回路13
1、第3電圧発生回路132及び第4電圧発生回路13
3を備えるようにしても良い。
【0123】このように、本発明の実施の形態6におけ
る半導体集積回路は、昇圧電圧発生回路131の昇圧電
圧検出回路149において、バースト長に応じて応答性
を変えるようにした。すなわち、昇圧電圧発生回路13
1において、バースト長4又は8のときは、バースト長
1又は2のときよりも昇圧電圧検出回路149の応答性
を良くした。このことから、昇圧電圧発生回路131
は、バースト長4又は8のときにおいて、昇圧電圧Vpp
の低下を短時間で検出して昇圧電圧Vppを昇圧させるこ
とができるため、バースト長が長い場合に起きる昇圧電
圧Vppの低下を防ぐことができる。更に、バースト長が
短いときには、昇圧電圧検出回路149で消費される電
流を削減することができ、SDRAMにおける消費電流
の低下を図ることができる。
【0124】
【発明の効果】第1の発明に係る半導体集積回路は、バ
ースト長判定部において判定されたバースト長が長いほ
ど内部電源電圧の低下に対する出力電流の増加速度を速
くすることから、バースト長が長いときに、内部電源電
圧の低下に対して短時間で多くの電流を供給することが
できるため、バースト長が長い場合に起きる内部電源電
圧の低下を防ぐことができる。
【0125】第2の発明に係る半導体集積回路は、第1
の発明において、具体的には、内部電源降圧部は、出力
した内部電源電圧と所定の基準電圧とが入力される差動
増幅回路部と、差動増幅回路部に流れる電流を制御し差
動増幅回路部のゲインを制御するゲイン制御部と、差動
増幅回路部の出力電圧に応じて電流供給能力を変える出
力回路部とを備え、ゲイン制御部は、バースト長が長い
ほど差動増幅回路部に流れる電流を増加させ、差動増幅
回路部のゲインを大きくする。このことから、バースト
長が長いほど、差動増幅回路部のゲインが大きくなるよ
うにして応答性を良くした。このため、バースト長が長
いときにおいて、内部電源電圧の低下に対して短時間で
多くの電流を供給することができるため、バースト長が
長い場合に起きる内部電源電圧の低下を防ぐことができ
る。
【0126】第3の発明に係る半導体集積回路は、第2
の発明において、具体的には、ゲイン制御部を、差動増
幅回路部に電流を供給するゲートサイズの異なる複数の
MOSトランジスタで形成し、バースト長が長いほどド
レイン電流の大きいMOSトランジスタを作動させて差
動増幅回路部に流れる電流を増加させるようにした。こ
のことから、バースト長が長いほど、差動増幅回路部の
ゲインが大きくなるようにして応答性を良くした。この
ため、バースト長が長いときにおいて、内部電源電圧の
低下に対して短時間で多くの電流を供給することができ
るため、バースト長が長い場合に起きる内部電源電圧の
低下を防ぐことができる。更に、バースト長が短いとき
には、差動増幅回路部で消費される電流を削減すること
ができ、半導体集積回路における消費電流の低下を図る
ことができる。
【0127】第4の発明に係る半導体集積回路は、第2
の発明において、具体的には、ゲイン制御部を、差動増
幅回路部に電流を供給する複数のMOSトランジスタで
形成し、バースト長が長いほど作動させるMOSトラン
ジスタ数を増やして差動増幅回路部に流れる電流を増加
させるようにした。このことから、バースト長が長いほ
ど、差動増幅回路部のゲインが大きくなるようにして応
答性を良くした。このため、バースト長が長いときにお
いて、内部電源電圧の低下に対して短時間で多くの電流
を供給することができるため、バースト長が長い場合に
起きる内部電源電圧の低下を防ぐことができる。更に、
バースト長が短いときには、差動増幅回路部で消費され
る電流を削減することができ、半導体集積回路における
消費電流の低下を図ることができる。
【0128】第5の発明に係る半導体集積回路は、第2
の発明において、具体的には、ゲイン制御部を、差動増
幅回路部に電流を供給するMOSトランジスタと、バー
スト長に応じて該MOSトランジスタのゲート電圧を制
御するゲート電圧制御回路で形成し、ゲート電圧制御回
路で、バースト長が長いほど差動増幅回路部に供給する
電流を増加させるように上記MOSトランジスタのゲー
ト電圧を制御するようにした。このことから、バースト
長が長いほど、差動増幅回路部のゲインが大きくなるよ
うにして応答性を良くした。このため、バースト長が長
いときにおいて、内部電源電圧の低下に対して短時間で
多くの電流を供給することができるため、バースト長が
長い場合に起きる内部電源電圧の低下を防ぐことができ
る。更に、バースト長が短いときには、差動増幅回路部
で消費される電流を削減することができ、半導体集積回
路における消費電流の低下を図ることができる。
【0129】第6の発明に係る半導体集積回路は、内部
電源降圧部で、バースト長が長いほど大きい基準電圧を
選択し、内部電源電圧の低下を補償する。このことか
ら、バースト長が長い場合、内部電源降圧部から出力さ
れる内部電源電圧の電圧を高くして、バースト長が長い
ときに起きる内部電源電圧の低下を補償するようにし
た。このため、バースト長が長い場合に起きる内部電源
電圧の低下を防ぐことができる。
【0130】第7の発明に係る半導体集積回路は、第6
の発明において、具体的には、内部電源降圧部は、バー
スト長に応じて基準電圧発生部からの基準電圧を選択す
る基準電圧選択部と、出力した内部電源電圧と基準電圧
選択部で選択された基準電圧とが入力される差動増幅回
路部と、差動増幅回路部の出力電圧に応じて電流供給能
力を変える出力回路部とを備え、基準電圧選択部は、バ
ースト長が長いほど大きい基準電圧を選択するようにし
た。このことから、バースト長が長い場合、内部電源降
圧部から出力される内部電源電圧の電圧を高くして、バ
ースト長が長いときに起きる内部電源電圧の低下を補償
するようにした。このため、バースト長が長い場合に起
きる内部電源電圧の低下を防ぐことができる。
【0131】第8の発明に係る半導体集積回路は、バー
スト長が長いほどに内部電源降圧部から出力される電流
の電流供給能力を増加させるようにした。このことか
ら、バースト長が短い場合、内部電源降圧部から出力さ
れる電流の電流供給能力を小さくし、バースト長が長い
場合、内部電源降圧部から出力される電流の電流供給能
力を大きくすることができる。このため、バースト長が
長い場合に起きる内部電源電圧の低下を防ぐことができ
ると共に、バースト長が短い場合には、内部電源降圧部
からの出力電流を減少させることができ、半導体集積回
路における消費電流の低下を図ることができる。
【0132】第9の発明に係る半導体集積回路は、第8
の発明において、具体的には、内部電源降圧部は、出力
した内部電源電圧と所定の基準電圧とが入力される差動
増幅回路部と、バースト長に応じて電流供給能力を変え
る出力回路部とを備え、出力回路部は、バースト長が長
いほど電流供給能力を増加させるようにした。このこと
から、バースト長が短い場合、内部電源降圧部から出力
される電流の電流供給能力を小さくし、バースト長が長
い場合、内部電源降圧部から出力される電流の電流供給
能力を大きくすることができる。このため、バースト長
が長い場合に起きる内部電源電圧の低下を防ぐことがで
きると共に、バースト長が短い場合には、内部電源降圧
部からの出力電流を減少させることができ、半導体集積
回路における消費電流の低下を図ることができる。
【0133】第10の発明に係る半導体集積回路は、第
1から第9の発明において、更に備えた基板電圧発生部
は、バースト長判定部で判定されたバースト長が長いほ
ど、基板電圧の上昇に対する応答性をよくし、基板電圧
の上昇を検出する速度を速くするようにした。このこと
から、基板電圧発生部は、バースト長が長いときに、基
板電圧の上昇を短時間で検出して基板電圧を低下させる
ことができるため、バースト長が長い場合に起きる基板
電圧の上昇をも防ぐことができる。
【0134】第11の発明に係る半導体集積回路は、第
1から第10の発明において、更に備えた昇圧電圧発生
部は、バースト長判定部で判定されたバースト長が長い
ほど、昇圧電圧の低下に対する応答性をよくし、昇圧電
圧の低下を検出する速度を速くするようにした。このこ
とから、昇圧電圧発生部は、バースト長が長いときに、
昇圧電圧の低下を短時間で検出して昇圧電圧を昇圧させ
ることができるため、バースト長が長い場合に起きる昇
圧電圧の低下をも防ぐことができる。
【0135】第12の発明に係る半導体集積回路は、バ
ースト長が長いほど、基板電圧の上昇に対する応答性を
よくし、基板電圧の上昇を検出する速度を速くするよう
にした。このことから、バースト長が長いときに、基板
電圧の上昇を短時間で検出して基板電圧を低下させるこ
とができるため、バースト長が長い場合に起きる基板電
圧の上昇を防ぐことができる。
【0136】第13の発明に係る半導体集積回路は、第
12の発明において、具体的には、基板電圧発生部は、
基板電圧を低下させるチャージポンプ回路部と、出力し
た基板電圧の検出を行い、基板電圧が所定値以上になる
とチャージポンプ回路部を作動させる基板電圧検出部と
を備え、基板電圧検出部は、バースト長が長いほど、基
板電圧が所定値以上になったことを検出する速度を速く
する。このことから、バースト長が長いときは、基板電
圧検出部の応答性を良くしたため、バースト長が長いと
きに、基板電圧の上昇を短時間で検出して基板電圧を低
下させることができるため、バースト長が長い場合に起
きる基板電圧の上昇を防ぐことができる。
【0137】第14の発明に係る半導体集積回路は、バ
ースト長の長さが長いほど、昇圧電圧の低下に対する応
答性をよくし、昇圧電圧の低下を検出する速度を速くす
るようにした。このことから、バースト長が長いとき
に、昇圧電圧の低下を短時間で検出して昇圧電圧を上昇
させることができるため、バースト長が長い場合に起き
る昇圧電圧の低下を防ぐことができる。
【0138】第15の発明に係る半導体集積回路は、第
14の発明において、具体的には、昇圧電圧発生部は、
昇圧電圧を上昇させるチャージポンプ回路部と、出力し
た昇圧電圧の検出を行い、昇圧電圧が所定値以下になる
とチャージポンプ回路部を作動させる昇圧電圧検出部と
を備え、昇圧電圧検出部は、バースト長が長いほど、昇
圧電圧が所定値以下になったことを検出する速度を速く
するようにした。このことから、バースト長が長いとき
に、昇圧電圧検出部の応答性を良くしたため、バースト
長が長いときに、昇圧電圧の低下を短時間で検出して昇
圧電圧を昇圧させることができるため、バースト長が長
い場合に起きる昇圧電圧の低下を防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施の形態1における半導体集積回
路の例を示した概略のブロック図である。
【図2】 図1におけるモードレジスタ回路19の回路
例を示した図である。
【図3】 図1における内部電源降圧回路2の回路例を
示した図である。
【図4】 本発明の実施の形態1における半導体集積回
路の変形例を示した回路図である。
【図5】 本発明の実施の形態2における半導体集積回
路の例を示した概略のブロック図である。
【図6】 図5における内部電源降圧回路51の回路例
を示した図である。
【図7】 本発明の実施の形態3における半導体集積回
路の例を示した概略のブロック図である。
【図8】 図7における内部電源降圧回路71の回路例
を示した図である。
【図9】 本発明の実施の形態4における半導体集積回
路の例を示した概略のブロック図である。
【図10】 図9における内部電源降圧回路91の回路
例を示した図である。
【図11】 本発明の実施の形態5における半導体集積
回路の例を示した概略のブロック図である。
【図12】 図11における基板電圧発生回路111の
回路例を示した図である。
【図13】 本発明の実施の形態6における半導体集積
回路の例を示した概略のブロック図である。
【図14】 図13における昇圧電圧発生回路131の
回路例を示した図である。
【図15】 バーストモードで動作する64Mbit×8
のシンクロナスDRAMの従来例を示した概略のブロッ
ク図である。
【符号の説明】
1,55,75,95,115,135 SDRAM、
2,51,71,91 内部電源降圧回路、 5 基
準電圧発生回路、 10,54,74,92,114,
134 内部電源回路、 19 モードレジスタ回路、
41,42,49,103,104,121,12
2,123,144,145 pチャネル型MOSトラ
ンジスタ、 43,44,46,47,61,124,
125,141,142,143 nチャネル型MOS
トランジスタ、 45,82,102 差動増幅回路、
48,64 ゲイン制御回路、 52,112 第1
電圧発生回路、 53,113 第2電圧発生回路、
62,63,83,84,105,126,127,1
46,147 トランスミッションゲート、 72第1
基準電圧発生回路、 73 第2基準電圧発生回路、
81,101 定電流源、 85 基準電圧切換回路、
106 出力回路、 111 基板電圧発生回路、
128 基板電圧検出回路、 129,150 チャー
ジポンプ回路、 131 昇圧電圧発生回路、 132
第3電圧発生回路、 133 第4電圧発生回路、
148 コンデンサ、 149 昇圧電圧検出回路

Claims (15)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 バーストモードで動作する半導体集積回
    路において、 所定の基準電圧を基に外部からの電源電圧を降圧して内
    部電源電圧を生成し出力する内部電源降圧部と、 外部から入力されるアドレスデータからバースト長を判
    定するバースト長判定部とを備え、 上記内部電源降圧部は、バースト長判定部で判定された
    バースト長が長いほど内部電源電圧の低下に対する出力
    電流の増加速度を速くすることを特徴とする半導体集積
    回路。
  2. 【請求項2】 上記内部電源降圧部は、 出力した内部電源電圧と所定の基準電圧とが入力される
    差動増幅回路部と、 該差動増幅回路部に流れる電流を制御し差動増幅回路部
    のゲインを制御するゲイン制御部と、 上記差動増幅回路部の出力電圧に応じて電流供給能力を
    変える出力回路部とを備え、 上記ゲイン制御部は、バースト長が長いほど差動増幅回
    路部に流れる電流を増加させ、差動増幅回路部のゲイン
    を大きくすることを特徴とする請求項1に記載の半導体
    集積回路。
  3. 【請求項3】 上記ゲイン制御部は、差動増幅回路部に
    電流を供給するゲートサイズの異なる複数のMOSトラ
    ンジスタで形成され、バースト長が長いほどドレイン電
    流の大きいMOSトランジスタを作動させて差動増幅回
    路部に流れる電流を増加させることを特徴とする請求項
    2に記載の半導体集積回路。
  4. 【請求項4】 上記ゲイン制御部は、差動増幅回路部に
    電流を供給する複数のMOSトランジスタで形成され、
    バースト長が長いほど作動させるMOSトランジスタ数
    を増やして差動増幅回路部に流れる電流を増加させるこ
    とを特徴とする請求項2に記載の半導体集積回路。
  5. 【請求項5】 上記ゲイン制御部は、差動増幅回路部に
    電流を供給するMOSトランジスタと、バースト長に応
    じて該MOSトランジスタのゲート電圧を制御するゲー
    ト電圧制御回路とからなり、ゲート電圧制御回路は、バ
    ースト長が長いほど差動増幅回路部に供給する電流を増
    加させるように上記MOSトランジスタのゲート電圧を
    制御することを特徴とする請求項2に記載の半導体集積
    回路。
  6. 【請求項6】 バーストモードで動作する半導体集積回
    路において、 異なる複数の基準電圧を生成して出力する基準電圧発生
    部と該基準電圧発生部から入力される基準電圧を選択
    し、該選択した基準電圧を基に外部からの電源電圧を降
    圧して内部電源電圧を生成し出力する内部電源降圧部
    と、 外部から入力されるアドレスデータからバースト長を判
    定するバースト長判定部とを備え、 上記内部電源降圧部は、バースト長判定部で判定された
    バースト長が長いほど大きい基準電圧を選択し、内部電
    源電圧の低下を補償することを特徴とする半導体集積回
    路。
  7. 【請求項7】 上記内部電源降圧部は、 バースト長に応じて基準電圧発生部からの基準電圧を選
    択する基準電圧選択部と、 出力した内部電源電圧と基準電圧選択部で選択された基
    準電圧とが入力される差動増幅回路部と、 差動増幅回路部の出力電圧に応じて電流供給能力を変え
    る出力回路部とを備え、 上記基準電圧選択部は、バースト長が長いほど大きい基
    準電圧を選択することを特徴とする請求項6に記載の半
    導体集積回路。
  8. 【請求項8】 バーストモードで動作する半導体集積回
    路において、 所定の基準電圧を基に外部からの電源電圧を降圧して内
    部電源電圧を生成し出力する内部電源降圧部と、 外部から入力されるアドレスデータからバースト長を判
    定するバースト長判定部とを備え、 上記内部電源降圧部は、バースト長判定部で判定された
    バースト長が長いほど出力電流供給能力を増加させるこ
    とを特徴とする半導体集積回路。
  9. 【請求項9】 上記内部電源降圧部は、 出力した内部電源電圧と所定の基準電圧とが入力される
    差動増幅回路部と、 バースト長に応じて電流供給能力を変える出力回路部と
    を備え、 該出力回路部は、バースト長が長いほど電流供給能力を
    増加させることを特徴とする請求項8に記載の半導体集
    積回路。
  10. 【請求項10】 半導体基板のバイアス電圧を生成して
    出力し、半導体基板に基板電圧を印加する基板電圧発生
    部を更に備え、該基板電圧発生部は、バースト長判定部
    で判定されたバースト長が長いほど、基板電圧の上昇に
    対する応答性をよくし、基板電圧の上昇を検出する速度
    を速くすることを特徴とする請求項1から請求項9のい
    ずれかに記載の半導体集積回路。
  11. 【請求項11】 外部からの電源電圧を昇圧して昇圧電
    圧を生成して出力する昇圧電圧発生部を更に備え、該昇
    圧電圧発生部は、バースト長判定部で判定されたバース
    ト長が長いほど、昇圧電圧の低下に対する応答性をよく
    し、昇圧電圧の低下を検出する速度を速くすることを特
    徴とする請求項1から請求項10のいずれかに記載の半
    導体集積回路。
  12. 【請求項12】 バーストモードで動作する半導体集積
    回路において、 半導体基板のバイアス電圧を生成して出力し、半導体基
    板に基板電圧を印加する基板電圧発生部と、 外部から入力されるアドレスデータからバースト長を判
    定するバースト長判定部とを備え、 上記基板電圧発生部は、バースト長判定部で判定された
    バースト長が長いほど、基板電圧の上昇に対する応答性
    をよくし、基板電圧の上昇を検出する速度を速くするこ
    とを特徴とする半導体集積回路。
  13. 【請求項13】 上記基板電圧発生部は、 基板電圧を低下させるチャージポンプ回路部と、 出力した基板電圧の検出を行い、基板電圧が所定値以上
    になるとチャージポンプ回路部を作動させる基板電圧検
    出部とを備え、 上記基板電圧検出部は、バースト長が長いほど、基板電
    圧の上昇に対する応答性をよくし、基板電圧が所定値以
    上になったことを検出する速度を速くすることを特徴と
    する請求項12に記載の半導体集積回路。
  14. 【請求項14】 バーストモードで動作する半導体集積
    回路において、 外部からの電源電圧を昇圧して昇圧電圧を生成して出力
    する昇圧電圧発生部と、 外部から入力されるアドレスデータからバースト長を判
    定するバースト長判定部とを備え、 上記昇圧電圧発生部は、バースト長判定部で判定された
    バースト長が長いほど、昇圧電圧の低下に対する応答性
    をよくし、昇圧電圧の低下を検出する速度を速くするこ
    とを特徴とする半導体集積回路。
  15. 【請求項15】 上記昇圧電圧発生部は、 昇圧電圧を上昇させるチャージポンプ回路部と、 出力した昇圧電圧の検出を行い、昇圧電圧が所定値以下
    になるとチャージポンプ回路部を作動させる昇圧電圧検
    出部とを備え、 上記昇圧電圧検出部は、バースト長が長いほど、昇圧電
    圧の低下に対する応答性をよくし、昇圧電圧が所定値以
    下になったことを検出する速度を速くすることを特徴と
    する請求項14に記載の半導体集積回路。
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