JPH08153388A - 半導体記憶装置 - Google Patents

半導体記憶装置

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JPH08153388A
JPH08153388A JP6293311A JP29331194A JPH08153388A JP H08153388 A JPH08153388 A JP H08153388A JP 6293311 A JP6293311 A JP 6293311A JP 29331194 A JP29331194 A JP 29331194A JP H08153388 A JPH08153388 A JP H08153388A
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JP
Japan
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power supply
supply voltage
internal
circuit
memory device
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JP6293311A
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English (en)
Inventor
Shigeki Tomishima
茂樹 冨嶋
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Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Publication date
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    • G11C5/147Voltage reference generators, voltage or current regulators; Internally lowered supply levels; Compensation for voltage drops
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/317Testing of digital circuits
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    • G01R31/31715Testing of input or output circuits; test of circuitry between the I/C pins and the functional core, e.g. testing of input or output driver, receiver, buffer

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Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【目的】 半導体記憶装置のセンスアンプなどの内部回
路に安定な内部電源電圧を供給し、内部回路の動作の高
速化を図ることのできる電源降圧回路を有する半導体記
憶装置を提供する。 【構成】 半導体記憶装置の電源降圧回路は、参照電圧
発生回路10と、参照電圧VREF と内部電源intVCC
の電圧レベルとを比較するカレントミラーアンプ11
と、カレントミラーアンプ11の出力をゲートに受ける
PMOS13とを備える。さらに、電源降圧回路は、セ
ンスアンプ7が作動する前に信号φsを発生させるφs
発生回路14と、信号φsをゲートに受けるPMOS1
5とを備える。そして、電源降圧回路は、信号φsによ
り、センスアンプ7が作動する前に内部電源電圧を発生
させるためセンスアンプの作動による大きな内部電源i
ntVCCの電圧レベルの低下を防ぎ、安定な内部電源電
圧を供給することができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体記憶装置に関
し、特に、内部電源電圧レベルの安定化と内部電源電圧
により作動するセンスアンプなどの内部回路の動作の高
速化を実現するための電源降圧回路を有する半導体記憶
装置に関する。
【0002】
【従来の技術】半導体記憶装置における電源降圧回路
(VDC)は、たとえば、特開平6−131869号公
報、特開平3−212893号公報、特開平5−217
370号公報、IEEE Journal of So
lid−State Circuits vol.2
4、No.5、1989、P1170−1175、IS
SCC Digest of Technical P
apers、1986、P272−273に開示されて
いる。
【0003】図11は、このような従来の電源降圧回路
(VDC)を有する半導体記憶装置の一例の構成を示す
回路図である。
【0004】図11において、VDCは、内部回路90
で発生される活性化信号Sをレベル変換するレベル変換
回路91と、レベル変換回路91の出力をワンショット
パルス化するワンショットパルス発生回路93と、ワン
ショットパルス発生回路93の出力をゲートに受け、ソ
ースが外部電源extVCCに、ドレインが内部電源in
tVCCに接続されたPチャネルMOSトランジスタ15
(以下、「PMOS」という)とを備える。
【0005】さらに、VDCは、参照電圧発生回路97
と参照電圧発生回路97で作った参照電圧VREF と内部
電源intVCCの電圧レベルとを比較するカレントミラ
ーアンプ11と、カレントミラーアンプ11の出力をゲ
ートに受け、ソースが外部電源extVCCに、ドレイン
が内部電源intVCCに接続されたPMOS13とを備
える。
【0006】図12は、図11に示したVDCを有する
半導体記憶装置の動作波形図である。
【0007】図12に従って、図11のVDCを有する
半導体記憶装置の動作を説明する。時刻t1 において、
内部回路90は、内部電源intVCCの電圧レベルから
大きく電流を消費し、内部電源intVCCはレベル低下
を起こし始めるものとする(図12の(a))。
【0008】内部電源intVCCがレベル低下を起こし
始める前の時刻t0 において、活性化信号S(図12の
(c))が“L”から“H”(intVCCレベル)へと
変化し、これに応じて、ノードN1の電圧レベル(図1
2の(d))がレベル変換回路91の働きにより“L”
から“H”(extVCCレベル)へ変化する。
【0009】そして、ワンショットパルス発生回路93
の働きにより、ノードN2には時刻t1 からt3 の間
に、“L”側のワンショットパルスが発生する(図12
の(e))。
【0010】その間、PMOS15はオンし、extV
CCからintVCCへの電圧の供給が急速に行なわれる。
【0011】さらに、時刻t2 において、内部電源in
tVCCのレベル低下に伴なうカレントミラーアンプ11
の働きにより、ノードN3のレベル(図12の(b))
は徐々に低下するため、PMOS13がオンし、ext
CCからintVCCへ電圧が供給される。
【0012】そして、時刻t4 において、内部電源in
tVCCの電圧レベルが回復するとノードN3の電圧レベ
ルも回復し、PMOS13はオフする。
【0013】このように、従来のVDCを有する半導体
記憶装置は、内部電源intVCCの電圧レベルの低下の
タイミングに併せ、内部回路から発生する所定の信号に
応答したワンショットパルスにより、外部電源extV
CCから内部電源intVCCへ電圧を供給する。
【0014】さらに、カレントミラーアンプ11は、内
部電源intVCCの電圧レベルの現実の低下を検出し、
PMOS13をオンさせ、外部電源extVCCから内部
電源intVCCへ電圧を供給する。
【0015】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図11
の構成を用いても、内部電源intVCCの電圧レベルは
依然としてΔVだけ低下する。さらに、内部電源int
CCの電圧のレベルの完全復帰には、時間がかかる(t
4 −t1 時間)。
【0016】このため、内部回路90およびその図示し
ない周辺回路の動作が悪影響を受けるという問題点があ
った。
【0017】この発明は、以上のような問題点を解決す
るためになされたもので、内部回路の動作のための内部
電源電圧レベルの低下を防ぐとともに、レベル復帰の時
間を短くする安定な内部電源電圧を供給する電源降圧回
路(VDC)を有する半導体記憶装置を提供することを
目的とする。
【0018】さらに、この発明の他の目的は、半導体記
憶装置の内部回路としてセンスアンプを用いた場合に、
センスアンプの作動を早くするとともに、駆動力も大き
くし、半導体記憶装置全体のセンスアンプの動作の高速
化を図ることのできる、内部電源電圧を発生するVDC
を有する半導体記憶装置を提供することを目的とする。
【0019】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項1の半導
体記憶装置は、外部電源から内部電源電圧を発生する電
源降圧回路と、内部電源電圧により作動する内部回路と
を備え、電源降圧回路は、外部電源から供給される外部
電源電圧を降圧して、内部電源電圧を発生する第1の降
圧手段と、内部回路を作動させる内部回路活性化信号が
発生する前に、第1の降圧手段が作動するように作動信
号の出力を制御する第1の制御手段と、参照電圧を発生
する参照電圧発生手段と、第1の降圧手段と並列に接続
され、外部電源電圧を降圧して、内部電源電圧を発生す
る第2の降圧手段と、参照電圧と内部電源電圧とを比較
した結果に応じて、第2の降圧手段を制御する第2の制
御手段とを含むものである。
【0020】本発明の請求項2の半導体記憶装置は、請
求項1の半導体記憶装置において、内部回路を、選択さ
れたメモリセルに接続されるビット線対間の電位差を増
幅する電位差増幅手段としたものである。
【0021】本発明の請求項3の半導体記憶装置は、請
求項2の半導体記憶装置において、電位差増幅手段をセ
ンスアンプとしたものである。
【0022】本発明の請求項4の半導体記憶装置は、請
求項3の半導体記憶装置において、第1の制御手段とし
て、行アドレスストローブ信号に基づく基本信号を遅延
させて、内部信号を発生する手段と、センスアンプを作
動させる内部回路活性化信号の遅延量を制御する遅延制
御手段と、遅延制御手段から発生する遅延信号と内部回
路活性化信号より早く発生する内部信号とを比較した結
果に応じて作動信号の出力を制御する比較制御手段とを
含むものである。
【0023】本発明の請求項5に記載の半導体記憶装置
は、請求項3の半導体装置において、第1の降圧手段が
所定時間、発生する内部電源電圧を外部電源電圧のレベ
ルにしたものである。
【0024】
【作用】請求項1の半導体記憶装置は、内部回路を作動
させる内部回路活性化信号が発生する所定時間前に、第
1の降圧手段により、外部電源電圧を降圧して内部電源
電圧を発生させ、内部電源電圧のレベル低下を防ぐ。
【0025】さらに、請求項1の半導体記憶装置は、内
部回路の作動による内部電源電圧のレベル低下を検知し
て、第2の降圧手段により、内部電源電圧を発生させ、
内部電源電圧のレベル低下を防ぐ。
【0026】請求項2の半導体記憶装置は、選択された
メモリセルに接続されるビット線対間の電位差を増幅す
る電位差増幅手段の作動する所定時間前に外部電源電圧
を降圧して、内部電源電圧を発生させ、電位差増幅手段
の作動による内部電源電圧のレベルの低下を防ぐ。
【0027】請求項3の半導体記憶装置は、電位差増幅
手段として、センスアンプを用いており、センスアンプ
の作動する所定時間前に、内部電源電圧を発生させ、セ
ンスアンプの作動による内部電源電圧レベルの低下を防
ぐ。
【0028】請求項4の半導体記憶装置は、センスアン
プを作動させる前に、センスアンプを作動させる内部回
路活性化信号を遅延させた遅延信号と内部回路活性化信
号より早く発生する内部信号とを比較した結果に応じ
て、外部電源電圧を降圧して内部電源電圧を発生させ、
センスアンプの作動による内部電源電圧レベルの低下を
防ぐ。
【0029】請求項5の半導体記憶装置は、センスアン
プの作動する所定時間前に、所定時間、外部電源電圧レ
ベルの内部電源電圧を発生させ、内部電源電圧のレベル
の低下を防ぐ。
【0030】
【実施例】以下、本発明による半導体記憶装置について
図面を参照しながら説明する。
【0031】(第1の実施例)図1は、この発明の第1
の実施例による半導体記憶装置の全体構成を示す概略ブ
ロック図である。
【0032】図1の半導体記憶装置において、外部電源
パッド1から外部電源extVCCとして、外部電源電圧
が半導体記憶装置内部に供給される。このとき、半導体
記憶装置の消費電流を減らすため、半導体記憶装置の内
部回路4を作動させるための内部電源電圧を外部電源電
圧から降圧して発生する。
【0033】すなわち、外部電源パッド1から供給され
た外部電源電圧は、電源降圧回路(VDC)3によって
降圧され、内部電源intVCCが作られ、内部電源電圧
が半導体記憶装置内部全体に供給される。
【0034】そして、内部電源電圧は周辺回路5、メモ
リアレイ(特に、センスアンプ)7からなる内部回路4
で消費される。なお、周辺回路5は、明確には示さない
がロウデコーダ、データ入出力回路などを含む。
【0035】一方、外部接地パッド9からはGNDレベ
ルが入力され、半導体記憶装置全体に供給される。
【0036】一方、図2は、この発明の第1の実施例に
よる半導体記憶装置の他の例の全体構成を示す概略ブロ
ック図である。
【0037】図2の半導体記憶装置において、外部電源
パッド1から外部電源extVCCとして、外部電源電圧
が半導体記憶装置内部に供給される。このとき、半導体
記憶装置の消費電流を減らすため、半導体記憶装置の内
部回路4を作動させるための内部電源電圧を外部電源電
圧から降圧して発生する。
【0038】すなわち、周辺回路5用の電源降圧回路3
aとメモリアレイ(特に、センスアンプ)7用の電源降
圧回路3bとにより、外部電源パッド1から供給された
外部電源電圧は、降圧され、それぞれの内部電源(in
tVCC1、intVCC2)が作られ、内部電源電圧は周
辺回路5、メモリアレイ(センスアンプ)7に個別に供
給される。なお、この図2においても、周辺回路5およ
びメモリアレイ(センスアンプ)7は内部回路4を構成
する。
【0039】一方、外部接地パッド9からはGNDレベ
ルが入力され、半導体記憶装置全体に供給される。
【0040】図3は、図1および図2に示す電源降圧回
路(VDC)3、3a、3bの詳細を示す回路図であ
る。
【0041】図3においてVDCは、参照電圧発生回路
10と、参照電圧VREF と内部電源intVCCの電圧レ
ベルとを比較するカレントミラーアンプ11と、カレン
トミラーアンプ11の出力をゲートに受け、ソースが外
部電源extVCCに、ドレインが内部電源intVCC
接続されたPチャネルMOSトランジスタ(以下、「P
MOS」という)13とを備える。
【0042】そして、内部電源電圧と参照電圧VREF
を比較した結果に応じて(内部電源電圧のレベルの低下
を検知して)、PMOS13をオンにし、外部電源電圧
を降圧して、内部電源電圧を発生する。
【0043】さらに、VDCにおいて、図1および図2
に示す内部回路4が作動する所定時間前に(内部電源電
圧のレベルが低下し始める前に)、信号φsを発生させ
るφs発生回路14と、内部電源intVCCと外部電源
extVCCとの間に接続され、信号φsをゲートに受
け、内部電源電圧を外部電源電圧から降圧して発生する
PMOS15とを備える。
【0044】一方、図4は、電源降圧回路3、3a、3
bの他の例の詳細を示す回路図である。
【0045】図4において、VDCは、参照電圧発生回
路10と、レベルシフタ17と、参照電圧VREF と、内
部電源電圧がレベルシフタ17でシフトされた電圧レベ
ルとを比較するカレントミラーアンプ11と、カレント
ミラーアンプ11の出力をゲートに受け、ソースが外部
電源extVCCに、ドレインが内部電源intVCCに接
続されたPMOS13とを備える。
【0046】そして、シフト電圧VSHIFと参照電圧V
REF とを比較した結果に応じて(内部電源電圧のレベル
の低下を検知して)、PMOS13をオンにし、外部電
源電圧を降圧して、内部電源電圧を発生する。
【0047】さらに、VDCにおいて、図1および図2
に示す内部回路4が作動する所定時間前に(内部電源電
圧のレベルが低下し始める前に)、信号φsを発生させ
るφs発生回路14と、内部電源intVCCと外部電源
extVCCとの間に接続され、信号φsをゲートに受
け、内部電源電圧を外部電源電圧から降圧して発生する
PMOS15とを備える。
【0048】図5は、図4に示したレベルシフタ17の
詳細を示す回路図の一例である。図5において、レベル
シフタ17は、内部電源と接地との間に直列に接続され
た抵抗19、21からなる。
【0049】内部電源電圧が抵抗19によりシフトさ
れ、シフト電圧VSHIFが発生する。以上の結果、第1の
実施例における半導体記憶装置は、内部電源電圧レベル
が低下し始める所定時間前に内部電源電圧を外部電源電
圧から降圧して発生するので、内部回路の動作時におけ
る内部電源電圧のレベルの低下を防ぎ、安定な内部電源
電圧を供給することができる。
【0050】(第2の実施例)この発明の第2の実施例
による半導体記憶装置の全体構成は、第1の実施例にお
ける半導体記憶装置と同様である。また、この発明の第
2の実施例におけるVDCの構成も、図3および図4に
示した第1の実施例におけるVDCと同様である。
【0051】以下、内部回路4のうち、センスアンプの
VDCについて説明する。図6は、センスアンプの詳細
を示す回路図である。
【0052】図6において、2個のPチャネルMOSト
ランジスタ(以下、「PMOS」という)23、25で
構成されたクロスカップル型のセンスアンプ(以下、
「Pチャネルセンスアンプ」という)はPチャネルセン
スアンプ活性化信号ZS0Pをゲートに受けるPMOS
27を介して内部電源intVCCに接続される。さら
に、2個のNチャネルMOSランジスタ(以下、「NM
OS」という)29、31で構成されたクロスカップル
型のセンスアンプ(以下、「Nチャネルセンスアンプ」
という)は、Nチャネルセンスアンプ活性化信号S0N
をゲートに受けるNMOS33を介してGNDに接続さ
れる。
【0053】以下は、Pチャネルセンスアンプを作動さ
せる内部電源intVCCを外部電源電圧を降圧して得る
電源降圧回路(3、3b)について説明する。
【0054】図7は、Pチャネルセンスアンプ活性化信
号ZS0Pより早く電源降圧回路をオンさせ、内部電源
電圧を発生させるための信号φs(図3および図4の信
号φsに相当)を発生させるφs発生回路14の一例を
示す回路図である。
【0055】図7(a)において、φs発生回路は、行
アドレスストローブ信号に基づく基本信号ZRXTを図
示しない複数のインバータからなる遅延段35、37に
より遅延させ、遅延信号ZRXDを得る。
【0056】インバータ39、41、43、45、4
7、49は、遅延信号ZRXDの波形を正すためのもの
である。
【0057】図7(b)において、遅延信号ZRXDは
3つのインバータ51、53、55により遅延され、N
チャネルセンスアンプ活性化信号S0Nにされる。
【0058】さらに、遅延信号ZRXDは、図示しない
インバータからなる遅延段57、59により、遅延さ
れ、遅延信号ZRXDとともにNOR回路61に入力さ
れる。
【0059】そして、NOR回路61からの出力は、イ
ンバータ63、65、67より波形が正され、Pチャネ
ルセンスアンプ活性化信号ZS0Pにされる。
【0060】なお、NOR回路61の前段に設けられる
インバータ69、71、73、75、77、79は、N
OR回路への入力波形を正すためのものである。
【0061】図7(c)において、Pチャネルセンスア
ンプ活性化信号ZS0Pは遅延段69により遅延され、
Nチャネルセンスアンプ活性化信号S0NとともにNA
ND回路71に入力される。
【0062】そして、NAND回路71の出力は3つの
インバータ73により波形が正され、Pチャネルセンス
アンプ活性化信号ZS0Pより早く電源降圧回路を作動
させるための信号φsにされる。なお、インバータ6
8、70は入出力波形を正すためのものである。
【0063】図8は、図7に示されたφs発生回路の動
作波形図である。この図8は、図7に示したφsの発生
回路の動作を表わす主なクロック信号および内部電源電
圧レベルを示す。
【0064】クロック信号は、行アドレスストローブ信
号に基づく信号ZRXTを遅延した信号ZRXD(図8
の(a))、Nチャネルセンスアンプ活性化信号S0N
(図8の(b))、Pチャネルセンスアンプ活性化信号
ZS0P(図8の(c))およびZS0Pを遅延した信
号ZS0PD(図8の(d))である。
【0065】次に、図8を参照しながら図7のφs発生
回路の動作について説明する。行アドレスストローブ信
号に基づく信号ZRXTを遅延した信号ZRXDが時刻
0 にLレベルに立下がり始めると、Nチャネルセンス
アンプ活性化信号S0Nがt1 にHレベルに立上がり始
める。
【0066】このとき(t1 )、Pチャネルセンスアン
プ活性化信号ZS0Pは、Hレベルにあり、NAND回
路71の出力はLレベルになる。
【0067】すなわち、t2 で信号φsがLレベルに立
下がり始め(e)、図3および図4に示す電源降圧回路
のPMOS15をオンさせ、内部電源電圧を発生する
(f)。
【0068】その後t3 で、Pチャネルセンスアンプ活
性化信号ZS0PがLレベルに立下がり始め、Pチャネ
ルセンスアンプをオンさせる。
【0069】さらにt4 で、ZS0Pが遅延段69によ
り遅延された信号ZS0PDがLレベルに立下がり始め
る。
【0070】このとき(t4 )、S0Nは、Hレベルに
あり、NAND回路71の出力は、Hレベルである。
【0071】すなわち、t5 で信号φsがHレベルに立
上がり始め、図3および図4に示す回路のPMOS15
をオフさせ、電圧の供給をストップする。
【0072】なお、図3および図4に示すようにφs
は、外部電源extVCC系のPMOS15のゲートに入
るため、図7に示すNAND回路の出力波形を正すため
の3つのインバータ73の代わりに、レベル変換回路を
用いて信号φsを内部電源電圧レベルではなく外部電源
電圧レベルにするほうが好ましい。
【0073】図9は、図8のインバータ73の代わりに
用いられるべきレベル変換回路75の詳細を示す回路図
である。
【0074】図9において、レベル変換回路75は、3
つのPMOS77、79、81、3つのNMOS83、
85、87およびインバータ89からなる。
【0075】以上のように、実施例は、Nチャネルセン
スアンプ活性化信号S0NとPチャネルセンスアンプ活
性化信号ZS0Pを遅延した信号ZS0PDとを比較し
た結果に応じて、信号φsの出力を制御する。
【0076】そして、Nチャネルセンスアンプ活性化信
号ZS0Pより早く信号φsを立下げ、電源降圧回路の
PMOS(図3および図4のPMOS15に相当)をオ
ンさせ、内部電源電圧を発生させる。
【0077】以上のことから、第2の実施例における半
導体記憶装置は、内部電源電圧のレベルの低下を防ぐ。
【0078】また、図11に示すような従来の電源降圧
回路では、内部回路(実施例ではPチャネルセンスアン
プ)の内部電源電圧のレベルの低下は図12に示すΔV
である。
【0079】そして、図8に示すように実施例のレベル
の低下もΔVで同じである。しかし、実施例は、内部電
源電圧レベルから見たレベルの低下は小さく(Δ
int )、レベルの完全復帰までの時間も短くて済む。
【0080】その結果、半導体装置は、安定な内部電源
電圧を供給することができる。 (第3の実施例)この発明の第3の実施例による半導体
記憶装置の全体構成およびVDCの構成は、第1の実施
例と同様である。
【0081】この発明の第3の実施例によるセンスアン
プの構成、φs発生回路およびレベル変換回路は、第2
の実施例と同様である。
【0082】図10は、VDCによって外部電源電圧レ
ベルの内部電源電圧を発生する場合のφs発生回路の動
作波形および内部電源intVccの電圧を示す図であ
る。
【0083】図10において、φs発生回路の動作波形
の説明は、第2の実施例と同様である。
【0084】図10において、Nチャネルセンスアンプ
活性化信号ZS0Pの立下がり(c)より速い時間t2
で信号φsがLレベルに立下がり始めると(e)、図3
および図4に示すVDCのPMOS15がオンになり、
VDCは、外部電源電圧レベルの内部電源電圧を発生す
る(f)。
【0085】なお外部電源電圧レベルの内部電源電圧を
長時間供給しすぎないように、φsが立上がり始める時
間t5 は、ZS0PDを立下げる時間t4 によって、調
整する。
【0086】その結果、図6に示すPチャネルセンスア
ンプを構成するPMOS23および25のそれぞれのゲ
ートとソース間の電位差が大きくなり、Pチャネルセン
スアンプは早く作動する。
【0087】また、Pチャネルセンスアンプを構成する
PMOS23および25のそれぞれのドレインとソース
間の電位差も大きいため、Pチャネルセンスアンプの駆
動力が増す。
【0088】すなわち、この発明の第3の実施例による
と、前述の第1および第2の実施例の効果に加えて、半
導体記憶装置全体におけるPチャネルセンスアンプの動
作の高速化が図れる。
【0089】
【発明の効果】以上のように、本発明の請求項1の半導
体記憶装置は、内部回路を作動させる内部回路活性化信
号が発生する所定時間前に第1の降圧手段により外部電
源電圧を降圧して内部電源電圧を発生させ、内部電源電
圧のレベル低下を防ぐ。
【0090】さらに、請求項1の半導体記憶装置は、内
部回路の作動による内部電源電圧のレベル低下を検知し
て、第2の降圧手段により、内部電源電圧を発生させ、
内部電源電圧のレベル低下を防ぐ。
【0091】その結果、安定な内部電源電圧を供給で
き、内部電源電圧のレベル低下による周辺回路への影響
も少なくすることができる。
【0092】本発明の請求項2の半導体記憶装置は、選
択されたメモリセルに接続されるビット線対間の電位差
を増幅する電位差増幅手段の作動する所定時間前に外部
電源電圧を降圧して内部電源電圧を発生させ、電位差増
幅手段の作動による内部電源電圧のレベルの低下を防
ぐ。
【0093】その結果、内部電源電圧のレベルの低下は
小さく、レベルの完全復帰までの時間も短くて済み、電
位差増幅手段の動作の高速化が図れる。
【0094】その他の効果は、請求項1の半導体記憶装
置と同様である。本発明の請求項3の半導体記憶装置
は、電位差増幅手段として、センスアンプを用いてお
り、センスアンプの作動する所定時間前に、内部電源電
圧を発生させ、センスアンプの作動による内部電源電圧
レベルの低下を防ぐ。
【0095】その結果、請求項2の半導体装置と同様の
効果を奏する。本発明の請求項4の半導体記憶装置は、
センスアンプを作動させる前に、センスアンプを作動さ
せる内部回路活性化信号を遅延させた遅延信号と内部回
路活性化信号より早く発生する内部信号とを比較した結
果に応じて、外部電源電圧を降圧して内部電源電圧を発
生させ、センスアンプの作動による内部電源電圧レベル
の低下を防ぐ。
【0096】その結果、内部回路活性化信号の遅延量を
制御することにより、外部電源から降圧して得られる内
部電源電圧の発生時間をコントロールすることができ
る。
【0097】その他の効果は請求項3の半導体記憶装置
と同様である。本発明の請求項5の半導体記憶装置は、
センスアンプの作動する所定時間前に、所定の時間、外
部電源電圧レベル内部電源電圧を発生させ、内部電源電
圧レベルの低下を防ぐ。
【0098】その結果、センスアンプを構成するPMO
Sのゲートとソース間の電位差が大きくなり、センスア
ンプが早く作動する。さらに、センスアンプの駆動力が
増す。
【0099】そして、内部電源電圧レベルの低下は小さ
く、レベルの完全復帰までの時間も短くて済みセンスア
ンプの動作の高速化が図れる。
【0100】したがって、半導体記憶装置全体における
センスアンプの動作の高速化が図れる。
【0101】その他の効果は、請求項3の半導体記憶装
置と同様である。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の第1の実施例による半導体記憶装置
の全体構成を示す概略ブロック図である。
【図2】 実施例1による半導体記憶装置の他の例の全
体構成を示す概略ブロック図である。
【図3】 実施例1による電源降圧回路(VDC)の詳
細を示す回路図である。
【図4】 実施例1による電源降圧回路(VDC)の他
の例の詳細を示す回路図である。
【図5】 実施例1によるレベルシフタの詳細を示す回
路図である。
【図6】 本発明の第2の実施例によるセンスアンプの
詳細を示す回路図である。
【図7】 実施例2によるPチャネルセンスアンプ活性
化信号ZS0Pより早く、電源降圧回路をオンにし、外
部電源電圧レベルに近い内部電源電圧を発生させるため
の信号φsを発生させるφs発生回路の一例を示す回路
図である。
【図8】 実施例2によるφs発生回路の動作波形およ
び内部電源電位レベルを示す図である。
【図9】 実施例2によるレベル変換回路の詳細を示す
回路図である。
【図10】 本発明の第3の実施例によるφs発生回路
の動作波形および内部電源電圧レベルを示す図である。
【図11】 従来の電源降圧回路を有する半導体記憶装
置の一例の構成を示す回路図である。
【図12】 従来の電源降圧回路を有する半導体記憶装
置の動作波形図である。
【符号の説明】
1 外部電源パッド、3,3a,3b 電源降圧回路、
4 内部回路、5 周辺回路、7 メモリアレイ(セン
スアンプ)、9 外部接地パッド、11 カレントミラ
ーアンプ、10,97 参照電圧発生回路、13,1
5,23,25,27,77,79,81 PMOS、
14 φs発生回路、17 レベルシフタ、19,21
抵抗、29,31,33,83,85,87 NMO
S、35,37,57,59,69 遅延段、39,4
1,43,45,47,49,51,53,55,6
3,65,67,68,69,70,71,73,7
5,77,79,89 インバータ、61 NOR回
路、71 NAND回路、75,91 レベル変換回
路、90 内部回路、93 ワンショットパルス発生回
路。

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 半導体記憶装置であって、 外部電源から内部電源電圧を発生する電源降圧回路と、 前記内部電源電圧により作動する内部回路とを備え、 前記電源降圧回路は、 前記外部電源から供給される外部電源電圧を降圧して、
    前記内部電源電圧を発生する第1の降圧手段と、 前記内部回路を作動させる内部回路活性化信号が発生す
    る前に前記第1の降圧手段が作動するように作動信号の
    出力を制御する第1の制御手段と、 参照電圧を発生する参照電圧発生手段と、 前記第1の降圧手段と並列に接続され、前記外部電源電
    圧を降圧して、前記内部電源電圧を発生する第2の降圧
    手段と、 前記参照電圧と前記内部電源電圧とを比較した結果に応
    じて、前記第2の降圧手段を制御する第2の制御手段と
    を含む、半導体記憶装置。
  2. 【請求項2】 前記内部回路は、選択されたメモリセル
    に接続されるビット線対間の電位差を増幅する電位差増
    幅手段である、請求項1に記載の半導体記憶装置。
  3. 【請求項3】 前記電位差増幅手段は、センスアンプで
    ある、請求項2に記載の半導体記憶装置。
  4. 【請求項4】 前記第1の制御手段は、 行アドレスストローブ信号に基づく基本信号を遅延させ
    て、内部信号を発生する手段と、 前記センスアンプを作動させる前記内部回路活性化信号
    の遅延量を制御する遅延制御手段と、 前記遅延制御手段から発生する遅延信号と前記内部回路
    活性化信号より早く発生する前記内部信号とを比較した
    結果に応じて前記作動信号の出力を制御する比較制御手
    段とを含む、請求項3に記載の半導体記憶装置。
  5. 【請求項5】 前記第1の降圧手段は、所定時間、前記
    外部電源電圧のレベルの前記内部電源電圧を発生する、
    請求項3に記載の半導体記憶装置。
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