JPH10227572A

JPH10227572A - 熱処理炉

Info

Publication number: JPH10227572A
Application number: JP4462297A
Authority: JP
Inventors: Akiyoshi Onishi; 明義大西
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1997-02-12
Filing date: 1997-02-12
Publication date: 1998-08-25

Abstract

(57)【要約】【課題】熱処理ゾーンの雰囲気を均一に保つこと、及
び雰囲気の切換を確実に行うことが可能で、しかも、バ
インダー分解ガスなどのタール化に起因する悪臭の発生
や断熱材の機能低下、漏電などを防止することが可能な
熱処理炉を提供する熱処理ゾーンを雰囲気を均一に保つ
とともに、雰囲気の切換を確実に行うことが可能で、し
かも、バインダー分解ガスのタール化に起因する悪臭の
発生や断熱材の機能低下、漏電などを引き起こすことの
ない熱処理炉を提供する。【解決手段】ガス供給路から、炉床部と炉本体の隙間
に雰囲気ガスと同種のガスを供給する。また、ガス供給
路を、熱処理ゾーンの内部側に向かってガスを吹き出す
内部側ガス吹出口を有する第１ガス供給管と、熱処理ゾ
ーンの外部側に向かってガスを吹き出す外部側ガス吹出
口を有する第２ガス供給管とを備えてなる構成とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、熱処理炉に関し、
詳しくは、セラミック電子部品の製造に用いられるセラ
ミック成形体などを熱処理するのに用いられる熱処理炉
に関する。

【０００２】

【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】セラミ
ック電子部品などを製造する工程において用いられる熱
処理炉の一つに、例えば、図５に示すような熱処理炉が
ある。この熱処理炉Ｃは、底面側が開口した炉本体５１
と、炉本体５１の底面側に、昇降可能に配設された炉床
部（テーブル）５２と、炉本体５１と炉床部５２とから
形成された熱処理ゾーン５４の内部に挿入、配設された
ＳｉＣなどからなるヒータ５５と、炉本体５１の周囲に
配設された雰囲気ガス供給路５６と、熱処理ゾーン５４
内で発生する燃焼ガスや未消費の雰囲気ガスなどを排気
するためのガス排気路５７とを備えて構成されている。
なお、図５は、匣５３に入れた被熱処理物を炉床部５２
に載置して熱処理ゾーン５４内に収容した状態を示して
いる。

【０００３】そして、この熱処理炉Ｃを用いた熱処理
は、通常、次のような方法により行われている。

【０００４】まず、降下させておいた炉床部５２上に被
熱処理物を入れた匣５３を載置し、炉床部５２を上昇さ
せて匣５３を熱処理ゾーン５４内に収納する。それか
ら、雰囲気ガス供給路５６から雰囲気ガスを供給し、ヒ
ータ５５に通電して発熱させることにより熱処理ゾーン
５４内を昇温させ、所定の雰囲気下で脱脂（脱バインダ
ー）及び本焼成を行う。そして、所定の温度にまで冷却
した後、炉床部５２を降下させ、匣５３とともにその内
部に収容された被熱処理物を取り出す。

【０００５】ところで、上記従来の熱処理炉Ｃにおいて
は、燃焼ガスなどをガス排気路５７から排出するととも
に、炉本体５１の周囲に配設された雰囲気ガス供給路５
６から雰囲気ガスを供給することにより熱処理ゾーン５
４内の雰囲気を所定の雰囲気に保つようにしているが、
熱処理ゾーン５４の下部の炉床部５２に近い位置まで炉
内雰囲気を均一にすることは困難で、雰囲気に偏りが生
じる場合がある。

【０００６】また、焼成工程の途中で、炉内雰囲気を酸
化雰囲気から還元雰囲気に切り換えたり、還元雰囲気か
ら酸化雰囲気に切り換えたりすることが必要になる場合
があるが、そのような場合に、熱処理ゾーン５４の下部
の炉床部５２の近傍では、雰囲気ガスが十分に置換され
ず、所望の雰囲気に切り換えることができない場合があ
る。

【０００７】また、上記従来の熱処理炉Ｃにおいては、
炉床部５２の昇降を可能にするために、炉本体５１と炉
床部５２との間に所定の隙間５８が形成されているた
め、隙間５８に入り込んだガスやバインダー分解ガスな
どが冷却されて生じたタール分（すなわち残留炭素分）
が再び熱処理ゾーン５４内に入り、雰囲気を乱すという
問題点がある。

【０００８】なお、脱脂時に発生するバインダー分解ガ
スは、空気より比重が大きく、炉床部近傍に溜まるばか
りでなく、炉本体５１と炉床部５２との間の隙間５８に
流れ込み、そこを通過する間に温度が下がってタール化
する。そして、このタール分の一部が再び気化して上述
のように熱処理ゾーン５４に入り込むとともに、残りの
タール分が隙間５８やその周囲に蓄積され、悪臭の発
生、断熱材の機能低下、漏電などの原因になるという問
題点がある。

【０００９】なお、ここでは、従来の熱処理炉として、
炉床部の昇降を可能とした熱処理炉を例にとって説明し
たが、炉床部を昇降及び回転可能とした熱処理炉（炉床
回転式熱処理炉）も広く用いられており、上述の問題点
は、この炉床回転式熱処理炉にも当てはまるものであ
る。

【００１０】本発明は、上記問題点を解決するものであ
り、熱処理ゾーンの雰囲気を均一に保つこと、雰囲気の
切換を確実に行うことが可能で、しかも、バインダー分
解ガスなどのタール化に起因する悪臭の発生や断熱材の
機能低下、漏電などを防止することが可能な熱処理炉を
提供することを目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の熱処理炉は、被熱処理物が載置される炉床
部と、前記炉床部とともに、被熱処理物の熱処理が行わ
れる熱処理ゾーンを形成する炉本体と、前記熱処理ゾー
ンを所定の温度に昇温させるためのヒータと、前記熱処
理ゾーン内に雰囲気ガスを供給するための雰囲気ガス供
給路と、前記炉床部と前記炉本体の隙間に雰囲気ガスと
同種のガスを供給して、前記熱処理ゾーンの内部側及び
外部側に向かって前記ガスを吹き出させるガス供給路と
を備えたことを特徴としている。

【００１２】上記ガス供給路から、炉床部と炉本体の隙
間に雰囲気ガスと同種のガスを供給して熱処理ゾーンの
内部側及び外部側に向かって前記ガスを吹き出させるこ
とにより、炉床部近傍及び炉床部と炉本体の隙間に気流
が生じ、熱処理ゾーンの炉床部近傍にバインダー分解ガ
スなどが溜まって雰囲気が不均一になったり、炉床部で
の雰囲気ガスの切り換えが確実に行われなかったりする
ことを抑制、防止することができるようになる。また、
炉床部近傍及び炉床部と炉本体の隙間に雰囲気ガスと同
種のガスが供給され、隙間に入り込んだバインダー分解
ガスの一部が、熱処理ゾーンの内部側に吹き出されるガ
スにより熱処理ゾーンに戻されるとともに、隙間の奥に
まで入り込んだバインダー分解ガスが、熱処理ゾーンの
外部側に吹き出されるガスにより系外に追い出されるた
め、バインダー分解ガスがタール化して蓄積することを
防止して悪臭の発生や断熱材の機能低下、漏電などの発
生を確実に抑制、防止することができるようになる。な
お、本発明において、雰囲気ガスと同種のガスとは、雰
囲気ガスと同じガス及び実質的に同じ組成を有するガス
を含む広い概念である。

【００１３】また、本発明の熱処理炉は、前記ガス供給
路が、前記隙間から前記熱処理ゾーンの内部側に向かっ
てガスを吹き出す内部側ガス吹出口を有する第１ガス供
給管と、熱処理ゾーンの外部側に向かってガスを吹き出
す外部側ガス吹出口を有する第２ガス供給管とを備えて
構成されていることを特徴としている。ガス供給路を、
内部側ガス吹出口を有する第１ガス供給管と、外部側ガ
ス吹出口を有する第２ガス供給管とを備えてなる構成と
した場合、第１ガス供給管及び第２ガス供給管から熱処
理ゾーンの内部側及び外部側に向かってガスを確実に吹
き出すことが可能になり、炉床部近傍及び炉本体と炉床
部との隙間にバインダー分解ガスや置換前のガスなどが
溜まって雰囲気に偏りが生じることを効率よく防止でき
るようになる。したがって、熱処理ゾーンの雰囲気を均
一にすることが可能になるとともに、熱処理ゾーンの雰
囲気を確実に切り換えることが可能になり、かつ、バイ
ンダー分解ガスなどのタール化（液化）に起因する悪臭
の発生や断熱材の機能低下、漏電の発生などを抑制、防
止することが可能になる。

【００１４】また、本発明の熱処理炉は、前記ガス供給
路が、一本のガス供給管に、熱処理ゾーンの内部側に向
かって前記ガスを吹き出す内部側ガス吹出口と、熱処理
ゾーンの外部側に向かって前記ガスを吹き出す外部側ガ
ス吹出口とを配設してなるものであることを特徴として
いる。一本のガス供給管に、内部側ガス吹出口と外部側
ガス吹出口の両方を配設することにより、ガス供給路の
構成を簡略化して設備の小型化を図ることが可能になる
とともに、設備コストを低減することが可能になる。

【００１５】また、本発明の熱処理炉は、前記外部側ガ
ス吹出口及び内部側ガス吹出口の大きさが、直径０．２
〜１．０mmの範囲にあることを特徴としている。外部側
ガス吹出口及び内部側ガス吹出口の大きさを、直径０．
２〜１．０mmの範囲とすることにより、タール分などに
よる目詰りを防止しつつ、炉本体と炉床部との隙間から
ガスを所定の勢いで吹き出させることが可能になり、本
発明をより実効あらしめることができる。

【００１６】また、本発明の熱処理炉は、前記炉床部が
回転駆動されるものであることを特徴としている。炉床
部が回転駆動されるタイプの熱処理炉においては、炉本
体と炉床部の間に十分な隙間を形成することが必要で、
特に上述の種々の問題を生じやすいが、回転炉床式の熱
処理炉に本発明を適用することにより、熱処理ゾーンを
確実に所望の雰囲気にすることが可能になるとともに、
バインダー分解ガスなどのタール化に起因する悪臭の発
生や断熱材の機能低下、漏電などの発生を抑制、防止す
ることができるようになる。

【００１７】また、本発明の熱処理炉は、前記ガス供給
路を、炉本体内を蛇行・貫通させて前記隙間まで導くこ
とにより、その経路を長くして内部を通過するガスの予
熱時間を増大させたことを特徴としている。ガス供給路
を、炉本体内を蛇行・貫通させて前記隙間まで導くこと
により、その経路が長くなり、内部を通過するガスが十
分に予熱されるため、熱処理ゾーンの温度低下を招いた
りすることなく、上述の本発明の効果を確実に奏させる
ことが可能になる。

【００１８】また、本発明の熱処理炉は、前記ガス供給
路から熱処理ゾーンの外部側に向かって吹き出されるガ
スを所定の割合で系外に排出させるための排出機構を設
けたことを特徴としている。ガス供給路から熱処理ゾー
ンの外部側に向かって吹き出されるガスを所定の割合で
系外に排出するための排出機構を設けることにより、第
１ガス供給管から吹き出されるガスによって熱処理ゾー
ンに戻せなかったバインダー分解ガスや、置換前の炉床
部滞留ガスを確実に系外に排出して炉内に滞留させない
ようにすることが可能になり、本発明をより実効あらし
めることができる。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図に
基づいて説明する。

【００２０】［実施形態１］図１は本発明の一実施形態
にかかる熱処理炉を示す正面図、図２は図１のII−II線
断面図である。この実施形態の熱処理炉（炉床回転式熱
処理炉）Ａは、底面側が開口した炉本体１と、炉本体１
の底面側に、昇降及び回転可能に配設された炉床部（テ
ーブル）２と、炉本体１と炉床部２とから形成された熱
処理ゾーン４の内部に挿入、配設されたＳｉＣなどから
なるヒータ５と、炉本体１の上部から熱処理ゾーン４内
に挿入された雰囲気ガス供給管６と、熱処理ゾーン４内
で発生する燃焼ガスや未消費の雰囲気ガスなどを排気す
るためのガス排気路７と、炉床部２を回転駆動させる回
転駆動手段（電動モータ）９とを備えて構成されてい
る。なお、図１は、匣３に入れた被熱処理物を炉床部２
に載置して熱処理ゾーン４内に収容した状態を示してい
る。

【００２１】また、この熱処理炉Ａにおいては、炉床部
２の昇降及び回転を可能にするために、炉本体１と炉床
部２との間に所定の隙間８が形成されているとともに、
この隙間８に、雰囲気ガスと同種のガスを供給するため
のガス供給路１０が配設されている。なお、この実施形
態では、ガス供給路１０は第１ガス供給管１１及び第２
ガス供給管１２から形成されている。

【００２２】そして、第１ガス供給管１１及び第２ガス
供給管１２は、それぞれ、その経路が長くなるように、
炉本体１の下部を蛇行して貫通するとともに、隙間８を
周回するように配設されている。

【００２３】そして、第１ガス供給管１１の隙間８を周
回する環状部分１１ａの上面側には、上記隙間８から熱
処理ゾーン４の内部側に向かってガスを吹き出す複数の
内部側ガス吹出口１３が形成されており、また、第２ガ
ス供給管１２の隙間８を周回する環状部分１２ａの下面
側には、隙間８から熱処理ゾーン４の外部側に向かって
ガスを吹き出す複数の外部側ガス吹出口１４が形成され
ている。

【００２４】なお、第１ガス供給管１１及び第２ガス供
給管１２には、外径６〜１０mmで、炉の使用温度で軟
化、変形することのないインコネルやステンレスなどの
材料からなるパイプが用いられており、また、内部側ガ
ス吹出口１３及び外部側ガス吹出口１４は環状部分１１
ａの周方向に所定のピッチで形成されており、その口径
は０．２〜１．０mmとされている。また、第１ガス供給
管１１には、ガス供給量の調節及び第１ガス供給管１１
の開閉を行うための電磁弁１５及び流量計１６が配設さ
れており、第２ガス供給管１２には、ガス供給量の調節
及び第２ガス供給管１２の開閉を行うための電磁弁１７
及び流量計１８が配設されている。

【００２５】また、炉本体１及び炉床部２などから形成
される熱処理炉Ａの下部外周には、第２ガス供給管１２
から熱処理ゾーン４の外部側に向かって吹き出されるガ
スを所定の割合で系外に排出させるための排出機構（排
気ダンパー）１９が配設されている。

【００２６】次に、この熱処理炉Ａを用いて熱処理を行
う方法について説明する。まず、降下させておいた炉床部２上に被熱処理物を入
れた匣３を載置し、炉床部２を上昇させて匣３を熱処理
ゾーン４内に収納する。そして、炉床部２を回転させ、雰囲気ガス供給管６か
ら雰囲気ガスを供給するとともに、第１ガス供給管１１
及び第２ガス供給管１２から炉本体１と炉床部２との隙
間８に雰囲気ガスと同じガスを供給しながらヒータ５に
通電して発熱させることにより熱処理ゾーン４内を昇温
させ、所定の温度プロファイルで脱脂（脱バインダー）
及び本焼成を行う。なお、第１ガス供給管１１及び第２
ガス供給管１２は、炉本体１の内部を蛇行して炉本体１
と炉床部２との隙間８に至っており、その経路が長く、
十分に予熱されて隙間８に供給されるため、所定の温度
プロファイルに従って確実に脱脂及び本焼成が行われ
る。そして、所定の温度にまで冷却した後、炉床部２を降
下させ、匣３とともにその内部に収容された被熱処理物
を取り出す。

【００２７】なお、上記の脱脂及び本焼成の工程で
は、炉本体１と炉床部２との隙間８に第１ガス供給管１
１及び第２ガス供給管１２から雰囲気ガスと同じガスが
供給されるため、脱脂工程で発生するバインダー分解ガ
ス（冷却されると液化してタール化する成分を含むガ
ス）が隙間８に流れ込んでも、タール化する前に第１ガ
ス供給管１１の内部側ガス吹出口１３から上方に吹き出
されるガスにより熱処理ゾーン４に戻されるとともに、
隙間８から炉床部２の下方にまで流れ込んだバインダー
分解ガスの残りの部分は、第２ガス供給管１２の外部側
ガス吹出口１４から下方に、隙間８内のバインダー分解
ガスを巻き込まない程度の割合で吹き出されるガスによ
り、排気ダンパー１９を経て所定の割合で系外に排出さ
れるため、炉床部２の下方に溜まるガスが確実に置換さ
れ、タール分の析出が防止される。したがって、熱処理
ゾーン４の雰囲気を均一にすることが可能になるととも
に、雰囲気切換時に炉床部に滞留しやすい切換前（置換
前）のガスを置換して、熱処理ゾーン４の雰囲気を確実
に切り換えることが可能になり、かつ、バインダー分解
ガスなどのタール化（液化）に起因する悪臭の発生や断
熱材の機能低下、漏電などの発生を抑制、防止すること
が可能になる。

【００２８】［実施形態２］図３は本発明の他の実施形
態にかかる熱処理炉（炉床回転式熱処理炉）Ｂを示す正
面断面図、図４は図３のIV−IV線断面図である。この実
施形態の熱処理炉Ｂは、インコネルやステンレスなどの
耐熱性を有する一本のガス供給管２１からなるガス供給
路２０を備えている。そして、このガス供給路２０の、
炉本体１と炉床部２との間の隙間８に配設された環状部
分２１ａの上面側に、熱処理ゾーン４の内部側に向かっ
てガスを吹き出す内部側ガス吹出口２３を形成し、下面
側に、熱処理ゾーン４の外部側に向かってガスを吹き出
す外部側ガス吹出口２４を形成することにより、一本の
ガス供給管２１で、ガスを熱処理ゾーン４の内部側及び
外部側に吹き出すことができるように形成されている。

【００２９】なお、内部側ガス吹出口２３から吹き出さ
れるガス量が外部側ガス吹出口２４から吹き出されるガ
ス量より多くなるように、内部側ガス吹出口２３の配設
ピッチを、外部側ガス吹出口２４の配設ピッチより小さ
くしている。また、ガス供給路２０には、ガス供給量の
調節及びガス供給路２０の開閉を行うための電磁弁２５
及び流量計２６が配設されている。また、電磁弁２５及
び流量計２６が配設された方と逆側には、環状部分２１
ａを保持するための端部支持継手２７（図４）及び支持
端部２８（図４）が配設されており、支持端部２８は封
止されている。

【００３０】なお、その他の構成は、上記実施形態１と
同様であるため説明を省略する。なお、図３及び図４に
おいては、図１及び図２に示した熱処理炉Ａと同一又は
相当する部分に同一符号を付している。

【００３１】この実施形態の熱処理炉Ｂにおいても、ガ
ス供給路２０の上面側の内部側ガス吹出口２３及び下面
側の外部側ガス吹出口２４から、炉本体１と炉床部２と
の間の隙間８に、所定の割合で雰囲気ガスと同一のガス
を供給するようにしているので、上記実施形態１の場合
と同様の効果を得ることができる。

【００３２】さらに、この実施形態の熱処理炉Ｂにおい
ては、ガス供給路２０が一本のガス供給管２１から形成
されているため、装置構成を簡略化して設備の小型化及
び製造コストの低減を図ることが可能になる。

【００３３】なお、上記実施形態１，２では、ガス供給
路を構成するガス供給管の一部（炉本体と炉床部の隙間
に配設された部分）を環状とした場合について説明した
が、ガス供給路を構成するガス供給管の形状については
特別の制約はなく、炉本体と炉床部の隙間にガスを供給
することが可能な種々の形状とすることが可能である。
また、ガス供給路に配設された内部側ガス及び外部側の
ガス吹出口の形状や配設位置、配設ピッチなどに関して
も上記実施形態に限定されるものではなく、種々の構成
とすることが可能である。

【００３４】また、上記実施形態１，２では、ヒータと
してＳｉＣヒータを用いた場合について説明したが、ヒ
ータの種類については特に制約はなく、その他の種々の
ヒータを用いることが可能である。

【００３５】本発明はさらにその他の点においても上記
実施形態に限定されるものではなく、脱バインダー用か
本焼成用か、あるいは連続炉かバッチ炉かなどの熱処理
炉の種類、炉本体や炉床部の具体的な形状及び構造、雰
囲気ガス供給路やガス排気路の配設位置、炉床部を昇降
及び回転駆動させるための機構などに関し、発明の要旨
の範囲内において種々の応用、変形を加えることが可能
である。

【００３６】

【発明の効果】上述のように、本発明の熱処理炉は、ガ
ス供給路から、炉床部と炉本体の隙間に雰囲気ガスと同
種のガスを供給するようにしているので、炉床部近傍及
び炉床部と炉本体の隙間にバインダー分解ガスなどが溜
まって雰囲気が不均一になったり、雰囲気ガスの切り換
えを行うことが困難になったりすることを確実に抑制、
防止することができる。

【００３７】また、炉床部近傍及び炉床部と炉本体の隙
間に雰囲気ガスと同種のガスが供給され、隙間に入り込
んだバインダー分解ガスの一部が、熱処理ゾーンの内部
側に吹き出されるガスにより熱処理ゾーンに戻されると
ともに、隙間の奥にまで入り込んだバインダー分解ガス
が、熱処理ゾーンの外部側に吹き出されるガスにより系
外に追い出されるため、バインダー分解ガスがタール化
して蓄積することを防止して悪臭の発生や断熱材の機能
低下、漏電の発生などを確実に抑制、防止することがで
きる。

【００３８】また、ガス供給路を、熱処理ゾーンの内部
側に向かってガスを吹き出す内部側ガス吹出口を有する
第１ガス供給管と、熱処理ゾーンの外部側に向かってガ
スを吹き出す外部側ガス吹出口を有する第２ガス供給管
とを備えてなる構成とした場合、ガス供給路を、内部側
ガス吹出口を有する第１ガス供給管と、外部側ガス吹出
口を有する第２ガス供給管とを備えてなる構成とした場
合、第１ガス供給管及び第２ガス供給管から熱処理ゾー
ンの内部側及び外部側に向かってガスを確実に吹き出し
て、炉床部近傍や炉本体と炉床部との隙間にバインダー
分解ガスなどが溜まって雰囲気に偏りが生じること効率
よく防止できるようになる。したがって、熱処理ゾーン
の雰囲気を均一にすることが可能になるとともに、熱処
理ゾーンの雰囲気を確実に切り換えることが可能にな
り、かつ、バインダー分解ガスなどのタール化に起因す
る悪臭の発生や断熱材の機能低下、漏電の発生などを抑
制、防止することが可能になる。

【００３９】また、一本のガス供給管に、内部側ガス吹
出口と外部側ガス吹出口を配設するようにした場合、ガ
ス供給路の構成を簡略化して、設備の小型化を図ること
が可能になるとともに、設備コストを低減することが可
能になる。

【００４０】また、外部側ガス吹出口及び内部側ガス吹
出口の大きさを、直径０．２〜１．０mmの範囲とした場
合、タール分などによる目詰りを防止しつつ、ガスを所
定の勢いで吹き出させることが可能になり、本発明をよ
り実効あらしめることができる。

【００４１】また、炉床部が回転駆動されるタイプの熱
処理炉においては、その構造から、雰囲気ガスの偏りや
タール分の溜まりなどの問題点が生じやすいが、本発明
を適用することにより、これらの問題点を解決して、熱
処理ゾーンを確実に所望の雰囲気にすることが可能にな
るとともに、バインダー分解ガスなどのタール化に起因
する悪臭の発生や断熱材の機能低下、漏電の発生などを
抑制、防止することができるようになる。

【００４２】また、ガス供給路を、炉本体内を蛇行・貫
通させて、炉本体と炉床部との隙間まで導くようにした
場合、その経路が長くなり、内部を通過するガスが十分
に予熱されるため、熱処理ゾーンの温度低下を招いたり
することなく、上述の効果を確実に得ることが可能にな
り、本発明をより実効あらしめることができる。

【００４３】また、ガス供給路から熱処理ゾーンの外部
側に向かって吹き出されるガスを所定の割合で系外に排
出するための排出機構を設けた場合、タール分などを含
むガスを確実に系外に排出して炉内に滞留させないよう
にすることが可能になり、本発明をより実効あらしめる
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態にかかる熱処理炉を示す正
面断面図である。

【図２】図１の熱処理炉のII−II線断面図である。

【図３】本発明の他の実施形態にかかる熱処理炉を示す
正面断面図である。

【図４】図３の熱処理炉のIV−IV線断面図である。

【図５】従来の熱処理炉を示す正面断面図である。

【符号の説明】

１炉本体２炉床部（テーブル）３匣４熱処理ゾーン５ヒータ６雰囲気ガス供給管７ガス排気路８隙間９回転駆動手段（電動モータ）１０ガス供給路１１第１ガス供給管１１ａ環状部分１２第２ガス供給管１２ａ環状部分１３内部側ガス吹出口１４外部側ガス吹出口１５，１７電磁弁１６，１８流量計１９排出機構（排気ダンパー）２０ガス供給路２１ガス供給管２１ａ環状部分２３内部側ガス吹出口２４外部側ガス吹出口２５電磁弁２６流量計２７端部支持継手２８支持端部Ａ，Ｂ熱処理炉

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被熱処理物が載置される炉床部と、前記炉床部とともに、被熱処理物の熱処理が行われる熱
処理ゾーンを形成する炉本体と、前記熱処理ゾーンを所定の温度に昇温させるためのヒー
タと、前記熱処理ゾーン内に雰囲気ガスを供給するための雰囲
気ガス供給路と、前記炉床部と前記炉本体の隙間に雰囲気ガスと同種のガ
スを供給して、前記熱処理ゾーンの内部側及び外部側に
向かって前記ガスを吹き出させるガス供給路とを備えた
ことを特徴とする熱処理炉。
【請求項２】前記ガス供給路が、前記隙間から前記熱処
理ゾーンの内部側に向かってガスを吹き出す内部側ガス
吹出口を有する第１ガス供給管と、熱処理ゾーンの外部
側に向かってガスを吹き出す外部側ガス吹出口を有する
第２ガス供給管とを備えて構成されていることを特徴と
する請求項１記載の熱処理炉。
【請求項３】前記ガス供給路が、一本のガス供給管に、
熱処理ゾーンの内部側に向かって前記ガスを吹き出す内
部側ガス吹出口と、熱処理ゾーンの外部側に向かって前
記ガスを吹き出す外部側ガス吹出口とを配設してなるも
のであることを特徴とする請求項１記載の熱処理炉。
【請求項４】前記外部側ガス吹出口及び内部側ガス吹出
口の大きさが、直径０．２〜１．０mmの範囲にあること
を特徴とする請求項２又は３記載の熱処理炉。
【請求項５】前記炉床部が回転駆動されるものであるこ
とを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の熱処理
炉。
【請求項６】前記ガス供給路を、炉本体内を蛇行・貫通
させて前記隙間まで導くことにより、その経路を長くし
て内部を通過するガスの予熱時間を増大させたことを特
徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の熱処理炉。
【請求項７】前記ガス供給路から熱処理ゾーンの外部側
に向かって吹き出されるガスを所定の割合で系外に排出
させるための排出機構を設けたことを特徴とする請求項
１〜５のいずれかに記載の熱処理炉。