JPH10221400A - 基板検査装置 - Google Patents
基板検査装置Info
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- JPH10221400A JPH10221400A JP9027651A JP2765197A JPH10221400A JP H10221400 A JPH10221400 A JP H10221400A JP 9027651 A JP9027651 A JP 9027651A JP 2765197 A JP2765197 A JP 2765197A JP H10221400 A JPH10221400 A JP H10221400A
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- JP
- Japan
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- substrate
- electrode surface
- inspected
- electrode
- test
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- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 装置の構造を簡略化することができるととも
に接続端子部の被検査基板に対する位置決めを容易に行
うことができること。 【解決手段】 ヘッド48および50に支持される導体
板28もしくは絶縁板26が、試験電流もしくは試験電
圧が供給されるプリント配線基板78に電気的に接続さ
れる相対向する二つの電極面を有する被検査基板10の
一方の電極面10Aに選択的に当接されて電気的な導通
性もしくは絶縁性の検査が行われるもの。
に接続端子部の被検査基板に対する位置決めを容易に行
うことができること。 【解決手段】 ヘッド48および50に支持される導体
板28もしくは絶縁板26が、試験電流もしくは試験電
圧が供給されるプリント配線基板78に電気的に接続さ
れる相対向する二つの電極面を有する被検査基板10の
一方の電極面10Aに選択的に当接されて電気的な導通
性もしくは絶縁性の検査が行われるもの。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体集積回路な
どが接続される基板の内部配線に対する電気的試験を行
う基板検査装置に関する。
どが接続される基板の内部配線に対する電気的試験を行
う基板検査装置に関する。
【0002】
【従来の技術】電子機器などに実装される半導体集積回
路が配線されるべきフラットパッケージは、実装される
以前の段階で種々の試験が行われその潜在的欠陥が除去
される。被検査基板としてのフラットパッケージに対し
ての試験は、例えば、そのフラットパッケージの一方の
電極面部における各電極間の電気的な絶縁性、および、
フラットパッケージの一方の電極面部と他方の電極面部
との間における電気的な導通性について行われる。
路が配線されるべきフラットパッケージは、実装される
以前の段階で種々の試験が行われその潜在的欠陥が除去
される。被検査基板としてのフラットパッケージに対し
ての試験は、例えば、そのフラットパッケージの一方の
電極面部における各電極間の電気的な絶縁性、および、
フラットパッケージの一方の電極面部と他方の電極面部
との間における電気的な導通性について行われる。
【0003】相対向する一対の電極面部を有する薄板状
のフラットパッケージの一方の電極面部の周縁部には、
例えば、半導体集積回路が配線される各電極が所定の微
小な間隔で形成され、また、フラットパッケージの他方
の電極面部全体には、一方の電極面部に電気的に導通状
態とされ、かつ、外部の端子部に接続される電極が縦横
に所定の間隔で複数形成されている。
のフラットパッケージの一方の電極面部の周縁部には、
例えば、半導体集積回路が配線される各電極が所定の微
小な間隔で形成され、また、フラットパッケージの他方
の電極面部全体には、一方の電極面部に電気的に導通状
態とされ、かつ、外部の端子部に接続される電極が縦横
に所定の間隔で複数形成されている。
【0004】そのようなフラットパッケージについての
検査装置においては、フラットパッケージの一方の電極
面部に対向して配され、その一方の電極面部の各電極ご
とに個別に接触する接触子を複数有する第1の接続端子
部と、フラットパッケージの他方の電極面部に対向して
配され、その他方の電極面部の各電極毎に個別に接触す
る接触子を複数有する第2の接続端子部と、第1の接続
端子部および第2の接続端子部を互いにそれぞれの電極
面部に近接させ、もしくは、離隔させる移動手段とを含
んで構成されている。
検査装置においては、フラットパッケージの一方の電極
面部に対向して配され、その一方の電極面部の各電極ご
とに個別に接触する接触子を複数有する第1の接続端子
部と、フラットパッケージの他方の電極面部に対向して
配され、その他方の電極面部の各電極毎に個別に接触す
る接触子を複数有する第2の接続端子部と、第1の接続
端子部および第2の接続端子部を互いにそれぞれの電極
面部に近接させ、もしくは、離隔させる移動手段とを含
んで構成されている。
【0005】このような構成のもとで、移動手段により
フラットパッケージにおける双方の電極面部にそれぞれ
第1の接続端子部と第2の接続端子部とが接続されると
き、例えば、第1の接続端子部と第2の接続端子部との
間に試験電流が供給されて電極面相互間における導通試
験が行われることとなる。
フラットパッケージにおける双方の電極面部にそれぞれ
第1の接続端子部と第2の接続端子部とが接続されると
き、例えば、第1の接続端子部と第2の接続端子部との
間に試験電流が供給されて電極面相互間における導通試
験が行われることとなる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】上述のような検査装置
においては、フラットパッケージにおける各電極面部間
において電極数および配列が異なるのでそれぞれ接触子
数および配列の異なる第1の接続端子部と第2の接続端
子部とが設けられている。しかし、このように第1の接
続端子部と第2の接続端子部とが設けられることにより
装置の構造が複雑となる。また、フラットパッケージの
各電極面部における電極の相互間隔が微小となり電極数
が増大するにつれて第1の接続端子部および第2の接続
端子部の接触子のフラットパッケージの電極に対する位
置決めが困難となる虞がある。
においては、フラットパッケージにおける各電極面部間
において電極数および配列が異なるのでそれぞれ接触子
数および配列の異なる第1の接続端子部と第2の接続端
子部とが設けられている。しかし、このように第1の接
続端子部と第2の接続端子部とが設けられることにより
装置の構造が複雑となる。また、フラットパッケージの
各電極面部における電極の相互間隔が微小となり電極数
が増大するにつれて第1の接続端子部および第2の接続
端子部の接触子のフラットパッケージの電極に対する位
置決めが困難となる虞がある。
【0007】以上の問題点を考慮し、本発明は、半導体
集積回路が接続される基板の内部配線に対する電気的試
験を行う基板検査装置であって、装置の構造を簡略化す
ることができるとともに接続端子部の被検査基板に対す
る位置決めを容易に行うことができる基板検査装置を提
供することを目的とする。
集積回路が接続される基板の内部配線に対する電気的試
験を行う基板検査装置であって、装置の構造を簡略化す
ることができるとともに接続端子部の被検査基板に対す
る位置決めを容易に行うことができる基板検査装置を提
供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】以上の目的を達成するた
めに、本発明に係る基板検査装置は、一対の対向する配
線部にそれぞれ互いに電気的に導通状態とされる電極面
を有する被検査基板における一方の配線部の電極面が接
続される端子部が設けられ、供給される検査信号を一方
の配線部の電極面に選択的に送出する基板と、被検査基
板における他方の配線部の電極面に選択的に当接し電極
面に接続される検査回路を導通状態とする第1の部材、
および、電極面に選択的に当接し電極面の電極相互間に
おける電路を電気的に絶縁状態とする第2の部材と、第
1の部材および第2の部材を選択的に被検査基板におけ
る他方の配線部の電極面に対して当接状態もしくは離隔
状態をとらせる移動手段と、移動手段に、被検査基板に
対する第1の検査が行われるとき、第1の部材を被検査
基板における他方の配線部の電極面に対して当接する動
作を行わせ、被検査基板に対する第2の検査が行われる
とき、第2の部材を被検査基板における他方の配線部の
電極面に対して当接する動作を行わせる制御部とを備え
て構成される。
めに、本発明に係る基板検査装置は、一対の対向する配
線部にそれぞれ互いに電気的に導通状態とされる電極面
を有する被検査基板における一方の配線部の電極面が接
続される端子部が設けられ、供給される検査信号を一方
の配線部の電極面に選択的に送出する基板と、被検査基
板における他方の配線部の電極面に選択的に当接し電極
面に接続される検査回路を導通状態とする第1の部材、
および、電極面に選択的に当接し電極面の電極相互間に
おける電路を電気的に絶縁状態とする第2の部材と、第
1の部材および第2の部材を選択的に被検査基板におけ
る他方の配線部の電極面に対して当接状態もしくは離隔
状態をとらせる移動手段と、移動手段に、被検査基板に
対する第1の検査が行われるとき、第1の部材を被検査
基板における他方の配線部の電極面に対して当接する動
作を行わせ、被検査基板に対する第2の検査が行われる
とき、第2の部材を被検査基板における他方の配線部の
電極面に対して当接する動作を行わせる制御部とを備え
て構成される。
【0009】また、基板の端子部と被検査基板における
一方の配線部の電極面との間に配され基板の端子部およ
び被検査基板の電極面に対応して設けられる接続部を有
し、接続部を介して端子部と電極面とを選択的に導通状
態とする異方性導電性シートが加えて備えられてもよ
い。
一方の配線部の電極面との間に配され基板の端子部およ
び被検査基板の電極面に対応して設けられる接続部を有
し、接続部を介して端子部と電極面とを選択的に導通状
態とする異方性導電性シートが加えて備えられてもよ
い。
【0010】
【発明の実施の形態】図1および図2は、本発明に係る
基板検査装置の一例を示す。
基板検査装置の一例を示す。
【0011】本発明に係る基板検査装置の一例により検
査される被検査基板10は、例えば、図7の(A)およ
び(B)に示されるように、薄板で略正方形に作られ、
相対向する一対の電極面部10Aおよび10Bを有して
いる。
査される被検査基板10は、例えば、図7の(A)およ
び(B)に示されるように、薄板で略正方形に作られ、
相対向する一対の電極面部10Aおよび10Bを有して
いる。
【0012】電極面部10Aにおける略中央部には、図
7の(A)に一点鎖線で示されるように、被検査基板1
0自体が検査され良品と判断された後、半導体集積回路
12が設けられる。電極面部10Aにおける半導体集積
回路12が設けられる部分を取り囲む各辺の周縁部に
は、半導体集積回路12にそれぞれ接続される電極10
aが所定の間隔、例えば、0.25mmの間隔で配列さ
れている。略長方形とされる電極10aの短辺および長
辺は、例えば、それぞれ、0.1、0.2mmとされ
る。
7の(A)に一点鎖線で示されるように、被検査基板1
0自体が検査され良品と判断された後、半導体集積回路
12が設けられる。電極面部10Aにおける半導体集積
回路12が設けられる部分を取り囲む各辺の周縁部に
は、半導体集積回路12にそれぞれ接続される電極10
aが所定の間隔、例えば、0.25mmの間隔で配列さ
れている。略長方形とされる電極10aの短辺および長
辺は、例えば、それぞれ、0.1、0.2mmとされ
る。
【0013】電極面部10Bには、電極面部10Aの各
電極10aにそれぞれ接続される円形状の電極10bが
所定の間隔、例えば、1.0mmで縦横に格子状に設け
られている。電極10aの直径は、例えば、直径0.5
mmとされる。
電極10aにそれぞれ接続される円形状の電極10bが
所定の間隔、例えば、1.0mmで縦横に格子状に設け
られている。電極10aの直径は、例えば、直径0.5
mmとされる。
【0014】図1および図2において示される検査装置
は、被検査基板10が収容される支持台16が固定され
る平坦部を有する基台部14Aと基台部14Aに連なり
上下方向に伸びベッド部18が固定される支持面を有す
る支持部14Bとを含んでなるコラム部14と、昇降動
可能に支持されるピストンロッド部24を有し、ベッド
部18の一方の端面に固定されるエアシリンダ20と、
エアシリンダ20のピストンロッド部24における一方
の端部に連結され選択的に被検査基板10の電極面部1
0Aに対して当接する第1の部材および第2の部材とし
ての絶縁板26および導体板28を有するヘッド機構部
22とを含んで構成されている。
は、被検査基板10が収容される支持台16が固定され
る平坦部を有する基台部14Aと基台部14Aに連なり
上下方向に伸びベッド部18が固定される支持面を有す
る支持部14Bとを含んでなるコラム部14と、昇降動
可能に支持されるピストンロッド部24を有し、ベッド
部18の一方の端面に固定されるエアシリンダ20と、
エアシリンダ20のピストンロッド部24における一方
の端部に連結され選択的に被検査基板10の電極面部1
0Aに対して当接する第1の部材および第2の部材とし
ての絶縁板26および導体板28を有するヘッド機構部
22とを含んで構成されている。
【0015】コラム部14における支持部14Bの支持
面の位置は、ヘッド機構部22および支持台16に対し
て臨む位置とされている。ベッド部18の他方の端面
は、コラム部14における支持部14Bの支持面に座金
30を介して2本のボルトBaにより固定されている。
ベッド部18の一方の端面には、エアシリンダ20が4
本のボルトBbにより固定されている。図2において
は、2本のボルトBbのみを示す。
面の位置は、ヘッド機構部22および支持台16に対し
て臨む位置とされている。ベッド部18の他方の端面
は、コラム部14における支持部14Bの支持面に座金
30を介して2本のボルトBaにより固定されている。
ベッド部18の一方の端面には、エアシリンダ20が4
本のボルトBbにより固定されている。図2において
は、2本のボルトBbのみを示す。
【0016】エアシリンダ20のピストンロッド部24
は、下端部にヘッド機構部22が連結される連結部24
bを有している。既知の構造を有するエアシリンダ20
におけるピストンロッド部24は、図示が省略される作
動空気供給部からの作動空気圧が供給されるとき、昇降
動せしめられる。
は、下端部にヘッド機構部22が連結される連結部24
bを有している。既知の構造を有するエアシリンダ20
におけるピストンロッド部24は、図示が省略される作
動空気供給部からの作動空気圧が供給されるとき、昇降
動せしめられる。
【0017】ヘッド機構部22は、図3に示されるよう
に、ピストンロッド部24の連結部24bに4本のボル
トBcで固定される連結板32と、連結板32の側端部
に固定されロータリアクチュエータ36を支持する支持
板34と、連結板32の下部に設けられる凹部32a内
にそれぞれの一端が固定され対向配置される側板40お
よび42と、側板40と側板42との間に回動可能に配
される回転軸44を有しヘッド部48および50をそれ
ぞれ支持するアーム46Iおよび46Cとを主要な構成
要素として含んで構成されている。
に、ピストンロッド部24の連結部24bに4本のボル
トBcで固定される連結板32と、連結板32の側端部
に固定されロータリアクチュエータ36を支持する支持
板34と、連結板32の下部に設けられる凹部32a内
にそれぞれの一端が固定され対向配置される側板40お
よび42と、側板40と側板42との間に回動可能に配
される回転軸44を有しヘッド部48および50をそれ
ぞれ支持するアーム46Iおよび46Cとを主要な構成
要素として含んで構成されている。
【0018】連結板32の凹部32aにおける底部に
は、所定の間隔をもってアーム部46Iおよび46Cの
位置決め用のスタッドボルト52Aおよび52Bが雌ね
じ孔32sにはめ合わされナットNuにより固定されて
いる。スタッドボルト52Aおよび52Bの取付位置
は、それぞれ、図1に示されるように、後述するアーム
46Iおよび46Cにおけるボルト46Iaおよび46
Caの上端に対向する位置とされ、これにより、アーム
46Iおよび46Cの回転角度の調整(ストッパー)が
可能とされている。
は、所定の間隔をもってアーム部46Iおよび46Cの
位置決め用のスタッドボルト52Aおよび52Bが雌ね
じ孔32sにはめ合わされナットNuにより固定されて
いる。スタッドボルト52Aおよび52Bの取付位置
は、それぞれ、図1に示されるように、後述するアーム
46Iおよび46Cにおけるボルト46Iaおよび46
Caの上端に対向する位置とされ、これにより、アーム
46Iおよび46Cの回転角度の調整(ストッパー)が
可能とされている。
【0019】支持板34は、図3に示されるように、ボ
ルトBdにより連結板32の側端部に固定されている。
支持板34に支持されるロータリアクチュエータ36
は、例えば、作動空気により作動状態とされ、供給され
る作動空気圧により回動される回転軸36aを有してい
る。回転軸36aは、回転軸44の軸線と一致する仮想
共通軸線上に配されている。回転軸36aの一方の端部
は、回転軸44の端部に向かって支持板34の透孔34
aを通じて突出し、カップリング54により回転軸44
に連結されている。これにより、ロータリアクチュエー
タ36が作動状態の場合、回転軸36aの回動力が回転
軸44に伝達されることとなる。
ルトBdにより連結板32の側端部に固定されている。
支持板34に支持されるロータリアクチュエータ36
は、例えば、作動空気により作動状態とされ、供給され
る作動空気圧により回動される回転軸36aを有してい
る。回転軸36aは、回転軸44の軸線と一致する仮想
共通軸線上に配されている。回転軸36aの一方の端部
は、回転軸44の端部に向かって支持板34の透孔34
aを通じて突出し、カップリング54により回転軸44
に連結されている。これにより、ロータリアクチュエー
タ36が作動状態の場合、回転軸36aの回動力が回転
軸44に伝達されることとなる。
【0020】また、支持板34におけるアーム46Iお
よび46Cに対向する端面には、アーム46Iおよび4
6Cが停止状態とされるとき発生する衝撃力を吸収する
緩衝機構38がボルトにより固定されている。
よび46Cに対向する端面には、アーム46Iおよび4
6Cが停止状態とされるとき発生する衝撃力を吸収する
緩衝機構38がボルトにより固定されている。
【0021】側板40および42は、透孔40aおよび
42aを通じて挿入される回転軸44の両端部をそれぞ
れ回動可能に支持するボールベアリング56Aおよび5
6Bを有している。側板40および42の一端は、ボル
トBoにより連結板32に固定されている。
42aを通じて挿入される回転軸44の両端部をそれぞ
れ回動可能に支持するボールベアリング56Aおよび5
6Bを有している。側板40および42の一端は、ボル
トBoにより連結板32に固定されている。
【0022】回転軸44においてボールベアリング56
Aが嵌合される側の端部には、止め輪Swが設けられて
いる。これにより、回転軸44がその軸線方向に沿って
ロータリアクチュエータ36側へ移動することが規制さ
れることとなる。アーム46Iの基端部およびアーム4
6Cの基端部には、回転軸44が挿入される透孔46i
bおよび46cbがそれぞれ設けられている。アーム4
6Iの基端部の透孔46ibには、回転軸44の半径方
向に伸びる雌ねじ孔46isが連通している。雌ねじ孔
46isには、アーム46Iの基端部を回転軸44に固
定する止めねじ部材60が設けられている。また、アー
ム46Iの基端部とアーム46Cの基端部との相互接触
部には、アーム46Iの基端部とアーム46Cの基端部
とを互いに連結する平行ピン62が回転軸44に沿って
設けられている。
Aが嵌合される側の端部には、止め輪Swが設けられて
いる。これにより、回転軸44がその軸線方向に沿って
ロータリアクチュエータ36側へ移動することが規制さ
れることとなる。アーム46Iの基端部およびアーム4
6Cの基端部には、回転軸44が挿入される透孔46i
bおよび46cbがそれぞれ設けられている。アーム4
6Iの基端部の透孔46ibには、回転軸44の半径方
向に伸びる雌ねじ孔46isが連通している。雌ねじ孔
46isには、アーム46Iの基端部を回転軸44に固
定する止めねじ部材60が設けられている。また、アー
ム46Iの基端部とアーム46Cの基端部との相互接触
部には、アーム46Iの基端部とアーム46Cの基端部
とを互いに連結する平行ピン62が回転軸44に沿って
設けられている。
【0023】アーム46Iの基端部とアーム46Cの基
端部とは、それぞれの基端部が交叉することにより形成
される挟角が略90度となるように互いに2本のボルト
Beで連結されている。2本のボルトBeは、アーム4
6Iの基端部およびアーム46Cの基端部にそれぞれ設
けられる透孔46iaおよび46caにそれぞれ挿入さ
れてナットNubで締結されている。
端部とは、それぞれの基端部が交叉することにより形成
される挟角が略90度となるように互いに2本のボルト
Beで連結されている。2本のボルトBeは、アーム4
6Iの基端部およびアーム46Cの基端部にそれぞれ設
けられる透孔46iaおよび46caにそれぞれ挿入さ
れてナットNubで締結されている。
【0024】アーム46Iの端部およびアーム46Cの
端部には、それぞれ、ヘッド部48および50がボルト
Bfの先端が雌ねじ孔46ihにはめ合わされることに
より固定されている。
端部には、それぞれ、ヘッド部48および50がボルト
Bfの先端が雌ねじ孔46ihにはめ合わされることに
より固定されている。
【0025】ヘッド部48とヘッド部50とは絶縁板2
6および導体板28を除き同一の構造を有するのでヘッ
ド部48について説明し、ヘッド部50についての重複
説明を省略する。
6および導体板28を除き同一の構造を有するのでヘッ
ド部48について説明し、ヘッド部50についての重複
説明を省略する。
【0026】ヘッド部48は、ボルトBfが挿入される
透孔48aを4個所に有している。また、ヘッド部48
の中央部分には、被検査基板10を絶縁板26の表面か
ら引き離す剥離ピン68が配される透孔48gが設けら
れている。透孔48gには、剥離ピン68の頭部に当接
し下方に向けて付勢するコイルスプリング66が配され
ている。アーム46Iの端部には、凹部46gが形成さ
れている。凹部46gには、透孔48gに対向してコイ
ルスプリング66に連結される駒部材66aが選択的に
挿入される。
透孔48aを4個所に有している。また、ヘッド部48
の中央部分には、被検査基板10を絶縁板26の表面か
ら引き離す剥離ピン68が配される透孔48gが設けら
れている。透孔48gには、剥離ピン68の頭部に当接
し下方に向けて付勢するコイルスプリング66が配され
ている。アーム46Iの端部には、凹部46gが形成さ
れている。凹部46gには、透孔48gに対向してコイ
ルスプリング66に連結される駒部材66aが選択的に
挿入される。
【0027】ヘッド部48における支持台16に対向す
る端面には、絶縁板26をその端面に位置決め固定する
押圧板70が設けられている。押圧板70は、絶縁板2
6の平坦部が挿入される開口部70b、および、固定用
のボルトBgが挿入される透孔70aを有している。こ
れにより、押圧板70は、ボルトBgがその透孔70a
を介して端部に設けられる雌ねじ孔にはめ合わせること
により固定されることとなる。
る端面には、絶縁板26をその端面に位置決め固定する
押圧板70が設けられている。押圧板70は、絶縁板2
6の平坦部が挿入される開口部70b、および、固定用
のボルトBgが挿入される透孔70aを有している。こ
れにより、押圧板70は、ボルトBgがその透孔70a
を介して端部に設けられる雌ねじ孔にはめ合わせること
により固定されることとなる。
【0028】絶縁板26は、ゴム材料、例えば、シリコ
ーンゴムで作られている。絶縁板26の中央部には、剥
離ピン68の先端が挿入される透孔26aが設けられて
いる。また、導体板28は、例えば、シリコーンゴムの
中に金によりメッキ処理されたニッケル粉が含有された
ものである。
ーンゴムで作られている。絶縁板26の中央部には、剥
離ピン68の先端が挿入される透孔26aが設けられて
いる。また、導体板28は、例えば、シリコーンゴムの
中に金によりメッキ処理されたニッケル粉が含有された
ものである。
【0029】ヘッド部48および50に対向して基台1
4a上に配される支持台16は、図3に示されるよう
に、基台14a上に載置される絶縁板72と、絶縁板7
2の上面に配される中間部材74と、中間部材74の上
面に配される複合板76と、複合板76の上面に固定さ
れ試験電流を送出するプリント配線基板78と、プリン
ト配線基板78上に配され被検査基板10を収容すると
ともに被検査基板10の電極のプリント配線基板78の
電極に対する位置決めを行う位置決め板82と、被検査
基板10および位置決め板82とプリント配線基板78
との間に配され被検査基板10の電極とプリント配線基
板78の電極との間を選択的に導通状態とする異方性導
電性シート80とを含んで構成されている。
4a上に配される支持台16は、図3に示されるよう
に、基台14a上に載置される絶縁板72と、絶縁板7
2の上面に配される中間部材74と、中間部材74の上
面に配される複合板76と、複合板76の上面に固定さ
れ試験電流を送出するプリント配線基板78と、プリン
ト配線基板78上に配され被検査基板10を収容すると
ともに被検査基板10の電極のプリント配線基板78の
電極に対する位置決めを行う位置決め板82と、被検査
基板10および位置決め板82とプリント配線基板78
との間に配され被検査基板10の電極とプリント配線基
板78の電極との間を選択的に導通状態とする異方性導
電性シート80とを含んで構成されている。
【0030】絶縁板72および中間部材74は、ボルト
Bgが挿入される透孔72aおよび74aをそれぞれ有
している。ボルトBgは基台部14Aにおける所定の2
個所に設けられるT型の溝14atにそれぞれ嵌合され
るブロック部材BLの雌ねじ孔にはめ合わされている。
Bgが挿入される透孔72aおよび74aをそれぞれ有
している。ボルトBgは基台部14Aにおける所定の2
個所に設けられるT型の溝14atにそれぞれ嵌合され
るブロック部材BLの雌ねじ孔にはめ合わされている。
【0031】例えば、ステンレス鋼で作られる中間部材
74には、複合板76の中間部材74に対する位置決め
を行うピン74pが4個所に設けられている。
74には、複合板76の中間部材74に対する位置決め
を行うピン74pが4個所に設けられている。
【0032】複合板76は、ビスBSaにより中間部材
74に固定されている。複合板76は、例えば、図4に
分解し拡大して示されるように、中間部材74の上面に
載置される基板90と、基板90上に積層される絶縁板
88、および、絶縁板84と、絶縁板88と絶縁板84
との間に配される導体板86とを含んで構成される。
74に固定されている。複合板76は、例えば、図4に
分解し拡大して示されるように、中間部材74の上面に
載置される基板90と、基板90上に積層される絶縁板
88、および、絶縁板84と、絶縁板88と絶縁板84
との間に配される導体板86とを含んで構成される。
【0033】絶縁板88、および、絶縁板84は、例え
ば、セラミック材料で作られている。導体板86は、例
えば、銅合金材料で作られ、その表面が金メッキ処理さ
れている。また、導体板86は、後述する計装部の電位
と同電位とされる部位に接地されている。これにより、
支持台16に伝搬され検査装置における計測精度に影響
を及ぼす不所望なノイズが導体板86を通じて容易に除
去されることとなる。
ば、セラミック材料で作られている。導体板86は、例
えば、銅合金材料で作られ、その表面が金メッキ処理さ
れている。また、導体板86は、後述する計装部の電位
と同電位とされる部位に接地されている。これにより、
支持台16に伝搬され検査装置における計測精度に影響
を及ぼす不所望なノイズが導体板86を通じて容易に除
去されることとなる。
【0034】基板90には、位置決めピン92が4箇所
に設けられている。位置決め板82および異方性導電性
シート80のプリント配線基板78に対する位置決めを
行う位置決めピン92は、位置決め板82の端面に対し
て略垂直方向に伸びている。
に設けられている。位置決め板82および異方性導電性
シート80のプリント配線基板78に対する位置決めを
行う位置決めピン92は、位置決め板82の端面に対し
て略垂直方向に伸びている。
【0035】絶縁板88、および、絶縁板84と導体板
86とには、位置決めピン92が挿入される透孔84
a、86a、および、88aがその共通中心軸線上に設
けられている。
86とには、位置決めピン92が挿入される透孔84
a、86a、および、88aがその共通中心軸線上に設
けられている。
【0036】複合板76の上面に載置されるプリント配
線基板78は、図6に示されるように、長方形に形成さ
れ後述する検査回路切換部に接続される端子部78i
a、78ib、および、78icを有している。
線基板78は、図6に示されるように、長方形に形成さ
れ後述する検査回路切換部に接続される端子部78i
a、78ib、および、78icを有している。
【0037】端子部78ia、および、78icはそれ
ぞれ、相対向しその短辺に沿って所定の間隔をもって2
列平行に配列されている。また、端子部78ibは、そ
の長辺のうちの一方の辺に沿って所定の間隔をもって2
列設けられている。
ぞれ、相対向しその短辺に沿って所定の間隔をもって2
列平行に配列されている。また、端子部78ibは、そ
の長辺のうちの一方の辺に沿って所定の間隔をもって2
列設けられている。
【0038】端子部78ia、78ib、および、78
icにおける位置決め板82および異方性導電性シート
80に対向する側は、図示が省略される各導体により中
央部に設けられる電極群78oiの各電極にそれぞれ接
続されている。電極群78oiは、載置される異方性導
電性シート80の端子群80Aに対向して設けられてい
る。電極群78oiの周囲には、位置決めピン92が挿
入される透孔78aが絶縁板84の透孔84aに対応し
て設けられている。
icにおける位置決め板82および異方性導電性シート
80に対向する側は、図示が省略される各導体により中
央部に設けられる電極群78oiの各電極にそれぞれ接
続されている。電極群78oiは、載置される異方性導
電性シート80の端子群80Aに対向して設けられてい
る。電極群78oiの周囲には、位置決めピン92が挿
入される透孔78aが絶縁板84の透孔84aに対応し
て設けられている。
【0039】また、各端子部78ia、および、78i
cと透孔78aとの間には、ボルトBhが挿入される透
孔78bが4個所に設けられている。ボルトBhは位置
決め板82、異方性導電性シート80、および、プリン
ト配線基板78を一体に複合板76に固定している。
cと透孔78aとの間には、ボルトBhが挿入される透
孔78bが4個所に設けられている。ボルトBhは位置
決め板82、異方性導電性シート80、および、プリン
ト配線基板78を一体に複合板76に固定している。
【0040】さらに、透孔78aが設けられる部分近傍
の位置には、皿ビスBSbが挿入される透孔78cが4
個所設けられている。皿ビスBSbは位置決め板82、
異方性導電性シート80、および、プリント配線基板7
8を一体に複合板76に固定している。
の位置には、皿ビスBSbが挿入される透孔78cが4
個所設けられている。皿ビスBSbは位置決め板82、
異方性導電性シート80、および、プリント配線基板7
8を一体に複合板76に固定している。
【0041】プリント配線基板78は、位置決めピン9
2により絶縁板84に対する所定の位置に位置決めされ
るもとでボルトBhおよび皿ビスBSbで複合板76に
固定されることとなる。
2により絶縁板84に対する所定の位置に位置決めされ
るもとでボルトBhおよび皿ビスBSbで複合板76に
固定されることとなる。
【0042】プリント配線基板78上に配される異方性
導電性シート80は、図6に示されるように、位置決め
ピン92が挿入される透孔80aが透孔78aに対応し
て設けられている。また、透孔80aが設けられる部分
近傍の位置には、透孔78cに対応して透孔80cが4
個所に設けられている。
導電性シート80は、図6に示されるように、位置決め
ピン92が挿入される透孔80aが透孔78aに対応し
て設けられている。また、透孔80aが設けられる部分
近傍の位置には、透孔78cに対応して透孔80cが4
個所に設けられている。
【0043】薄板状に形成される異方性導電性シート8
0の中央部分に設けられる端子群80Aは、複数の導電
部からなる。異方性導電性シート80の端子群80A
は、複合導電材料、例えば、シリコーンゴムと金属粒子
からなるもので作られ設けられている。複合導電材料と
しては、異方性導電ゴムが用いられる。異方性導電ゴム
は、その厚み方向に導電性を有し平面に沿った方向には
導電性を有しない材料である。また、異方性導電ゴムに
は、導電部が絶縁性を有するゴムの中に分散している分
散タイプと、導電部が部分的に複数個偏在している偏在
タイプがあり、いずれのタイプが用いられても良い。端
子群80Aがこのような異方性導電ゴムで作られること
により被検査基板10の各電極10bとプリント配線基
板78の電極群78oiとが面接触により接続されるの
で接触不良が回避されるとともに被検査基板10の電極
面10Bとの接触による損傷が回避されることとなる。
0の中央部分に設けられる端子群80Aは、複数の導電
部からなる。異方性導電性シート80の端子群80A
は、複合導電材料、例えば、シリコーンゴムと金属粒子
からなるもので作られ設けられている。複合導電材料と
しては、異方性導電ゴムが用いられる。異方性導電ゴム
は、その厚み方向に導電性を有し平面に沿った方向には
導電性を有しない材料である。また、異方性導電ゴムに
は、導電部が絶縁性を有するゴムの中に分散している分
散タイプと、導電部が部分的に複数個偏在している偏在
タイプがあり、いずれのタイプが用いられても良い。端
子群80Aがこのような異方性導電ゴムで作られること
により被検査基板10の各電極10bとプリント配線基
板78の電極群78oiとが面接触により接続されるの
で接触不良が回避されるとともに被検査基板10の電極
面10Bとの接触による損傷が回避されることとなる。
【0044】位置決め板82は、例えば、アルミニウム
合金材料で作られている。位置決め板82は、図5およ
び図6に示されるように、プリント配線基板78の透孔
78bに対応して透孔82bを有している。また、位置
決め板82は、異方性導電性シート80の透孔80a、
および、透孔80cにそれぞれ対応して透孔82aおよ
び82cを有している。さらに、位置決め板82におい
て異方性導電性シート80の端子群80Aに対向した位
置には、被検査基板10が収容される開口部94が設け
られている。開口部94の寸法は、開口部94の周縁部
と被検査基板10の輪郭線との間に所定の微小な隙間が
形成されるように被検査基板10の一辺の長さよりも長
いものとされる。これにより、開口部94内に配された
被検査基板10の電極10bは異方性導電性シート80
の端子群80Aに対して適正に位置決めされることとな
る。開口部94の周縁部には、段部82dが形成されて
いる。段部82dには、斜面部82eが連なって形成さ
れている。
合金材料で作られている。位置決め板82は、図5およ
び図6に示されるように、プリント配線基板78の透孔
78bに対応して透孔82bを有している。また、位置
決め板82は、異方性導電性シート80の透孔80a、
および、透孔80cにそれぞれ対応して透孔82aおよ
び82cを有している。さらに、位置決め板82におい
て異方性導電性シート80の端子群80Aに対向した位
置には、被検査基板10が収容される開口部94が設け
られている。開口部94の寸法は、開口部94の周縁部
と被検査基板10の輪郭線との間に所定の微小な隙間が
形成されるように被検査基板10の一辺の長さよりも長
いものとされる。これにより、開口部94内に配された
被検査基板10の電極10bは異方性導電性シート80
の端子群80Aに対して適正に位置決めされることとな
る。開口部94の周縁部には、段部82dが形成されて
いる。段部82dには、斜面部82eが連なって形成さ
れている。
【0045】なお、一辺の長さが異なる被検査基板1
0、もしくは、電極数が異なる被検査基板10が複数あ
る場合においては、図5に一点鎖線で示されるように、
その被検査基板10の一辺の長さに応じて各被検査基板
ごとに位置決め板82の開口部94の寸法を拡張もしく
は縮小することにより位置決めすることが可能である。
従って、プリント配線基板78の電極群78oiおよび
異方性導電性シート80の端子群80Aの領域が、予め
対象となる被検査基板10の最大外形寸法に適用しうる
ように設定してある場合、位置決め板82の開口部82
を拡張もしくは縮小することにより位置決めが可能とな
る。
0、もしくは、電極数が異なる被検査基板10が複数あ
る場合においては、図5に一点鎖線で示されるように、
その被検査基板10の一辺の長さに応じて各被検査基板
ごとに位置決め板82の開口部94の寸法を拡張もしく
は縮小することにより位置決めすることが可能である。
従って、プリント配線基板78の電極群78oiおよび
異方性導電性シート80の端子群80Aの領域が、予め
対象となる被検査基板10の最大外形寸法に適用しうる
ように設定してある場合、位置決め板82の開口部82
を拡張もしくは縮小することにより位置決めが可能とな
る。
【0046】従って、外形の大きさや電極数の異なる種
々の被検査基板10に対し、位置決めに関しての対応が
可能となる。
々の被検査基板10に対し、位置決めに関しての対応が
可能となる。
【0047】本発明に係る基板検査装置の一例において
は、加えて、図8に示されるような、制御ユニット10
0を備えている。
は、加えて、図8に示されるような、制御ユニット10
0を備えている。
【0048】制御ユニット100には、装置を動作プロ
グラムに従い起動させるべく各種の必要な制御データを
送出するとともに検査の開始の指令を行う操作部102
からの検査開始指令信号Ss、後述する信号処理部10
4からの検査結果をあらわすデータDrが供給される。
グラムに従い起動させるべく各種の必要な制御データを
送出するとともに検査の開始の指令を行う操作部102
からの検査開始指令信号Ss、後述する信号処理部10
4からの検査結果をあらわすデータDrが供給される。
【0049】制御ユニット100は、被検査基板10に
おける各電極間の導通性もしくは絶縁性の良否の検査を
行うにあたり、試験電流もしくは試験電圧が印加される
回路を変更し被検査基板10の各電極間の導通もしくは
絶縁の検査を順次実行するために検査回路切換部122
の動作制御を行う。
おける各電極間の導通性もしくは絶縁性の良否の検査を
行うにあたり、試験電流もしくは試験電圧が印加される
回路を変更し被検査基板10の各電極間の導通もしくは
絶縁の検査を順次実行するために検査回路切換部122
の動作制御を行う。
【0050】検査回路切換部122は、プリント配線基
板78の端子部78ia、78ib、および、78ic
の入力側にそれぞれ接続されるスイッチ部を有してい
る。図8においては、複数のスイッチ部のうちの一部を
示し、図5に示されるように、端子部78iaにおける
端子Ac、Bc、および、Ccの入力側に接続されるス
イッチ部126、128、および、130を示す。各端
子Ac、Bc、および、Ccは、被検査基板10の各電
極10bにおける電極Ta、Tb、および、Tcにそれ
ぞれ対応して接続される。
板78の端子部78ia、78ib、および、78ic
の入力側にそれぞれ接続されるスイッチ部を有してい
る。図8においては、複数のスイッチ部のうちの一部を
示し、図5に示されるように、端子部78iaにおける
端子Ac、Bc、および、Ccの入力側に接続されるス
イッチ部126、128、および、130を示す。各端
子Ac、Bc、および、Ccは、被検査基板10の各電
極10bにおける電極Ta、Tb、および、Tcにそれ
ぞれ対応して接続される。
【0051】スイッチ部126における可動接点126
aおよび126bは、共通の電路を通じて端子Acに接
続されている。スイッチ部126における選択接点12
6cおよび126fは、それぞれ、入力端子122ia
および122ibに接続されている。また、選択接点1
26dおよび126eは、それぞれ、出力端子122o
aおよび122obに接続されている。
aおよび126bは、共通の電路を通じて端子Acに接
続されている。スイッチ部126における選択接点12
6cおよび126fは、それぞれ、入力端子122ia
および122ibに接続されている。また、選択接点1
26dおよび126eは、それぞれ、出力端子122o
aおよび122obに接続されている。
【0052】スイッチ部128における可動接点128
aおよび128bは、共通の電路を通じて端子Bcに接
続されている。スイッチ部128における選択接点12
8cおよび128fは、それぞれ、入力端子122ia
および122ibに接続されている。また、選択接点1
28dおよび128eは、それぞれ、出力端子122o
aおよび122obに接続されている。
aおよび128bは、共通の電路を通じて端子Bcに接
続されている。スイッチ部128における選択接点12
8cおよび128fは、それぞれ、入力端子122ia
および122ibに接続されている。また、選択接点1
28dおよび128eは、それぞれ、出力端子122o
aおよび122obに接続されている。
【0053】スイッチ部130における可動接点130
aおよび130bは、共通の電路を通じて端子Ccに接
続されている。スイッチ部130における選択接点13
0cおよび130fは、それぞれ、入力端子122ia
および122ibに接続されている。また、選択接点1
30dおよび130eは、それぞれ、出力端子122o
aおよび122obに接続されている。
aおよび130bは、共通の電路を通じて端子Ccに接
続されている。スイッチ部130における選択接点13
0cおよび130fは、それぞれ、入力端子122ia
および122ibに接続されている。また、選択接点1
30dおよび130eは、それぞれ、出力端子122o
aおよび122obに接続されている。
【0054】また、スイッチ部124における可動接点
124aおよび124bは、共通の電路を通じて導体板
28に接続されている。また、選択接点124cおよび
124fは、それぞれ、入力端子122iaおよび12
2ibに接続されている。また、選択接点124dおよ
び124eは、それぞれ、出力端子122oaおよび1
22obに接続されている。
124aおよび124bは、共通の電路を通じて導体板
28に接続されている。また、選択接点124cおよび
124fは、それぞれ、入力端子122iaおよび12
2ibに接続されている。また、選択接点124dおよ
び124eは、それぞれ、出力端子122oaおよび1
22obに接続されている。
【0055】入力端子122iaおよび122ibは、
定電圧/定電流源118に接続されている。これによ
り、入力端子122iaおよび122ibには、所定の
タイミングで所定の値を有する定電圧もしくは定電流が
選択的に印加されることとなる。また、出力端子122
oaおよび122obには、出力端子122oaおよび
122ob間における電流もしくは電圧を測定する測定
装置120に接続されている。
定電圧/定電流源118に接続されている。これによ
り、入力端子122iaおよび122ibには、所定の
タイミングで所定の値を有する定電圧もしくは定電流が
選択的に印加されることとなる。また、出力端子122
oaおよび122obには、出力端子122oaおよび
122ob間における電流もしくは電圧を測定する測定
装置120に接続されている。
【0056】測定装置120は、出力端子122oaお
よび122ob間における電流もしくは電圧に基づいて
電流もしくは電圧を測定し、その測定結果をあらわす信
号Scを信号処理部104に供給する。信号処理部10
4は、制御ユニット100からの指令信号Ccに応じて
測定装置120からの信号Scに基づいて所定のディジ
タル化処理を行い、データDrを形成し、それを制御ユ
ニット100に供給する。
よび122ob間における電流もしくは電圧に基づいて
電流もしくは電圧を測定し、その測定結果をあらわす信
号Scを信号処理部104に供給する。信号処理部10
4は、制御ユニット100からの指令信号Ccに応じて
測定装置120からの信号Scに基づいて所定のディジ
タル化処理を行い、データDrを形成し、それを制御ユ
ニット100に供給する。
【0057】制御ユニット100は、内部メモリ部に格
納された動作プログラムに従い順次、切換制御信号群Q
Cを各スイッチ部に供給する。これにより、被検査基板
10の各電極間に試験電流もしくは試験電圧が印加され
ることとなる。
納された動作プログラムに従い順次、切換制御信号群Q
Cを各スイッチ部に供給する。これにより、被検査基板
10の各電極間に試験電流もしくは試験電圧が印加され
ることとなる。
【0058】制御ユニット100による導通性の検査を
行うにあたり、先ず、操作部102からの検査開始指令
信号Ssに基づいて被検査基板10の電極10bにおけ
る電極Taについて行う場合、制御ユニット100は導
体板28を被検査基板10に対して対向配置するために
ロータリアクチュエータ116の駆動制御を行う駆動制
御部106に制御信号Cnを供給する。これにより、ロ
ータリアクチュエータ116の回転角が駆動制御部10
6からの駆動制御信号に基づいて制御されることにより
アーム46Iおよび46Cと回転軸44とが図1におい
て時計方向に90度回転せしめられる。
行うにあたり、先ず、操作部102からの検査開始指令
信号Ssに基づいて被検査基板10の電極10bにおけ
る電極Taについて行う場合、制御ユニット100は導
体板28を被検査基板10に対して対向配置するために
ロータリアクチュエータ116の駆動制御を行う駆動制
御部106に制御信号Cnを供給する。これにより、ロ
ータリアクチュエータ116の回転角が駆動制御部10
6からの駆動制御信号に基づいて制御されることにより
アーム46Iおよび46Cと回転軸44とが図1におい
て時計方向に90度回転せしめられる。
【0059】次に、制御ユニット100は、導体板28
を位置決め板82の開口部94内に装着された被検査基
板10の電極面10Aに当接させるべく、エアシリンダ
20の駆動制御を行う駆動制御部108に制御信号Ca
を供給する。これにより、エアシリンダ20におけるピ
ストンロッド24が駆動制御部108からの駆動制御信
号に基づいて下降せしめられ、図4に一点鎖線で示され
るように、導体板28の下端面が電極面10Aに当接さ
れてエアシリンダ20内の圧力が所定の値となるとき、
駆動制御信号のエアシリンダ20への供給が停止され
る。その所定の圧力は、例えば、導体板28の下端面の
面圧が10〜100g/mm2 となるように設定されて
いる。
を位置決め板82の開口部94内に装着された被検査基
板10の電極面10Aに当接させるべく、エアシリンダ
20の駆動制御を行う駆動制御部108に制御信号Ca
を供給する。これにより、エアシリンダ20におけるピ
ストンロッド24が駆動制御部108からの駆動制御信
号に基づいて下降せしめられ、図4に一点鎖線で示され
るように、導体板28の下端面が電極面10Aに当接さ
れてエアシリンダ20内の圧力が所定の値となるとき、
駆動制御信号のエアシリンダ20への供給が停止され
る。その所定の圧力は、例えば、導体板28の下端面の
面圧が10〜100g/mm2 となるように設定されて
いる。
【0060】続いて、制御ユニット100は、被検査基
板10の電極10bにおける電極Taに試験電流を供給
するためにスイッチ部124の可動接点124aおよび
124bを選択接点124cおよび124dに接続し、
スイッチ部126の可動接点126aおよび126bを
選択接点126eおよび127fに接続し、また、他の
スイッチ部の可動接点を中立状態(開状態)とすべく、
切換制御信号群QCを検査回路切換部122に供給す
る。
板10の電極10bにおける電極Taに試験電流を供給
するためにスイッチ部124の可動接点124aおよび
124bを選択接点124cおよび124dに接続し、
スイッチ部126の可動接点126aおよび126bを
選択接点126eおよび127fに接続し、また、他の
スイッチ部の可動接点を中立状態(開状態)とすべく、
切換制御信号群QCを検査回路切換部122に供給す
る。
【0061】これにより、定電圧/定電流源118から
の試験電流が被検査基板10の電極10bにおける電極
Taに供給されることとなる。その結果、所定の電圧が
出力端子122oaおよび122ob間に得られ、それ
が測定装置120に供給される。測定装置120は信号
Scを信号処理部104に供給する。これにより、信号
処理部104からのデータDrが制御ユニット100に
供給される。
の試験電流が被検査基板10の電極10bにおける電極
Taに供給されることとなる。その結果、所定の電圧が
出力端子122oaおよび122ob間に得られ、それ
が測定装置120に供給される。測定装置120は信号
Scを信号処理部104に供給する。これにより、信号
処理部104からのデータDrが制御ユニット100に
供給される。
【0062】そして、被検査基板10の電極10bにお
ける電極Tbについて行う場合、スイッチ部124はそ
のままの状態で、スイッチ部128における可動接点1
28aおよび128bを選択接点128eおよび128
fに接続し、他のスイッチ部は中立状態(開状態)のも
とで、上述の同様に行われる。他の電極においても同様
に順次、スイッチ部が切り換えられて検査が実行され
る。
ける電極Tbについて行う場合、スイッチ部124はそ
のままの状態で、スイッチ部128における可動接点1
28aおよび128bを選択接点128eおよび128
fに接続し、他のスイッチ部は中立状態(開状態)のも
とで、上述の同様に行われる。他の電極においても同様
に順次、スイッチ部が切り換えられて検査が実行され
る。
【0063】制御ユニット100は、被検査基板10に
おけるすべての電極に関して導通性についてのデータD
rが得られ、それを内部メモリに格納した後、導体板2
8を被検査基板10の電極面10Aに対して離隔させる
べく、駆動制御部108に制御信号Caを供給する。こ
れにより、ピストンロッド24が所定の高さまで上昇せ
しめられる。
おけるすべての電極に関して導通性についてのデータD
rが得られ、それを内部メモリに格納した後、導体板2
8を被検査基板10の電極面10Aに対して離隔させる
べく、駆動制御部108に制御信号Caを供給する。こ
れにより、ピストンロッド24が所定の高さまで上昇せ
しめられる。
【0064】続いて、制御ユニット100は、絶縁板2
6を装着された被検査基板10に対して対向配置するた
めに駆動制御部106に制御信号Cnを供給する。これ
により、ロータリアクチュエータ116の回転角が駆動
制御部106からの駆動制御信号に基づいて制御される
ことによりアーム46Iおよび46Cと回転軸44とが
図1において反時計方向に90度回転せしめられる。
6を装着された被検査基板10に対して対向配置するた
めに駆動制御部106に制御信号Cnを供給する。これ
により、ロータリアクチュエータ116の回転角が駆動
制御部106からの駆動制御信号に基づいて制御される
ことによりアーム46Iおよび46Cと回転軸44とが
図1において反時計方向に90度回転せしめられる。
【0065】制御ユニット100は、絶縁板26を被検
査基板10の電極面10Aに当接させるべく、エアシリ
ンダ20の駆動制御を行う駆動制御部108に制御信号
Caを供給する。これにより、エアシリンダ20におけ
るピストンロッド24が駆動制御部108からの駆動制
御信号に基づいて下降せしめられ、絶縁板26の下端面
が電極面10Aに当接されてエアシリンダ20内の圧力
が上述と同様な所定の値となるとき、駆動制御信号のエ
アシリンダ20への供給が停止される。
査基板10の電極面10Aに当接させるべく、エアシリ
ンダ20の駆動制御を行う駆動制御部108に制御信号
Caを供給する。これにより、エアシリンダ20におけ
るピストンロッド24が駆動制御部108からの駆動制
御信号に基づいて下降せしめられ、絶縁板26の下端面
が電極面10Aに当接されてエアシリンダ20内の圧力
が上述と同様な所定の値となるとき、駆動制御信号のエ
アシリンダ20への供給が停止される。
【0066】続いて、制御ユニット100は、電極Ta
と他の電極との間の絶縁性を検査すべく、被検査基板1
0の電極10bにおける電極Taに試験電圧を供給する
ためにスイッチ部124の可動接点124aおよび12
4bを中立状態(開状態)とし、スイッチ部126の可
動接点126aおよび126bを選択接点126cおよ
び126dに接続し、また、他のスイッチ部の可動接点
128aおよび128b、130a、および、130b
をそれぞれ選択接点128e、128f、130e、1
30fに接続した状態とすべく、切換制御信号群QCを
検査回路切換部122に供給する。これにより、定電圧
/定電流源118からの試験電圧が被検査基板10の電
極10bにおける電極Taと他の電極間に供給されるこ
ととなる。その結果、所定の値の電流が出力端子122
oaおよび122ob間に得られ、それが測定装置12
0に供給される。測定装置120は、信号Scを信号処
理部104に供給する。これにより、信号処理部104
からのデータDrが制御ユニット100に供給される。
と他の電極との間の絶縁性を検査すべく、被検査基板1
0の電極10bにおける電極Taに試験電圧を供給する
ためにスイッチ部124の可動接点124aおよび12
4bを中立状態(開状態)とし、スイッチ部126の可
動接点126aおよび126bを選択接点126cおよ
び126dに接続し、また、他のスイッチ部の可動接点
128aおよび128b、130a、および、130b
をそれぞれ選択接点128e、128f、130e、1
30fに接続した状態とすべく、切換制御信号群QCを
検査回路切換部122に供給する。これにより、定電圧
/定電流源118からの試験電圧が被検査基板10の電
極10bにおける電極Taと他の電極間に供給されるこ
ととなる。その結果、所定の値の電流が出力端子122
oaおよび122ob間に得られ、それが測定装置12
0に供給される。測定装置120は、信号Scを信号処
理部104に供給する。これにより、信号処理部104
からのデータDrが制御ユニット100に供給される。
【0067】そして、被検査基板10の電極10bにお
ける電極Tbについて行う場合、スイッチ部124はそ
のままの状態で、スイッチ部128における可動接点1
28aおよび128bを選択接点128cおよび128
dに接続し、他のスイッチ部の可動接点126aおよび
126b、130aおよび130bはそれぞれ選択接点
128e、128f、130e、130fに接続した状
態のもとで、上述の同様に行われる。他の電極間におい
ても同様に順次、スイッチ部が切り換えられて検査が実
行される。
ける電極Tbについて行う場合、スイッチ部124はそ
のままの状態で、スイッチ部128における可動接点1
28aおよび128bを選択接点128cおよび128
dに接続し、他のスイッチ部の可動接点126aおよび
126b、130aおよび130bはそれぞれ選択接点
128e、128f、130e、130fに接続した状
態のもとで、上述の同様に行われる。他の電極間におい
ても同様に順次、スイッチ部が切り換えられて検査が実
行される。
【0068】従って、第1の検査としての被検査基板1
0の各電極の導通性検査、もしくは、第2の検査として
の各電極間の絶縁性検査を行うにあたり、導体板28お
よび絶縁板26が選択的に被検査基板10の一方の電極
面10Aに当接されることにより行われるので従来の装
置のように各電極面に接続される複数の接続端子部が不
要となる。また、被検査基板10の電極面10Bの異方
性導電性シート80に対する位置決めは、位置決め板8
2により容易に行われるので接続端子部における接触子
の位置決めが簡略化されることとなる。その結果、検査
装置の構造が簡略化される。
0の各電極の導通性検査、もしくは、第2の検査として
の各電極間の絶縁性検査を行うにあたり、導体板28お
よび絶縁板26が選択的に被検査基板10の一方の電極
面10Aに当接されることにより行われるので従来の装
置のように各電極面に接続される複数の接続端子部が不
要となる。また、被検査基板10の電極面10Bの異方
性導電性シート80に対する位置決めは、位置決め板8
2により容易に行われるので接続端子部における接触子
の位置決めが簡略化されることとなる。その結果、検査
装置の構造が簡略化される。
【0069】制御ユニット100は、すべての電極に関
して絶縁性についてのデータDrが得られ、それを内部
メモリに格納した後、絶縁板26を被検査基板10の電
極面10Aに対して離隔させるべく、駆動制御部108
に制御信号Caを供給する。これにより、ピストンロッ
ド24が所定の高さまで上昇せしめられる。その際、検
査された被検査基板に代えて新たな被検査基板10が位
置決め板82内に装着される。
して絶縁性についてのデータDrが得られ、それを内部
メモリに格納した後、絶縁板26を被検査基板10の電
極面10Aに対して離隔させるべく、駆動制御部108
に制御信号Caを供給する。これにより、ピストンロッ
ド24が所定の高さまで上昇せしめられる。その際、検
査された被検査基板に代えて新たな被検査基板10が位
置決め板82内に装着される。
【0070】また、制御ユニット100は、内部メモリ
に格納されたデータDrに基づいて所定の基準電圧もし
くは所定の基準電流とデータDrがあらわす値とを順次
比較し、欠陥を有する不良の電極を特定する。制御ユニ
ット100は、不良と認められる電極の場所をあらわす
信号Csを形成し、それを表示信号形成部110に供給
する。表示信号形成部110は、信号Csに基づいて表
示信号を形成しそれを表示部112に供給する。これに
より、表示部112は、表示信号に基づき被検査基板1
0において該当する電極の場所を表示する。
に格納されたデータDrに基づいて所定の基準電圧もし
くは所定の基準電流とデータDrがあらわす値とを順次
比較し、欠陥を有する不良の電極を特定する。制御ユニ
ット100は、不良と認められる電極の場所をあらわす
信号Csを形成し、それを表示信号形成部110に供給
する。表示信号形成部110は、信号Csに基づいて表
示信号を形成しそれを表示部112に供給する。これに
より、表示部112は、表示信号に基づき被検査基板1
0において該当する電極の場所を表示する。
【0071】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
に係る基板検査装置によれば、被検査基板の検査を行う
にあたり、基板から供給される検査信号が被検査基板の
一方の配線部の電極面に選択的に供給されるもとで、制
御部が移動手段に、被検査基板に対する第1の検査が行
われるとき、電極面に接続される検査回路を閉状態とす
る第1の部材を被検査基板における他方の配線部の電極
面に対して当接する動作を行わせ、被検査基板に対する
第2の検査が行われるとき、第1の部材を被検査基板に
おける他方の配線部の電極面に対して離隔させ、電極面
の電極相互間における電路を電気的に絶縁状態とする第
2の部材を被検査基板における他方の配線部の電極面に
対して当接する動作を行わせることにより被検査基板の
検査が行われるので被検査基板における電極面間におい
て電極数が異なるときにおいても装置の構造を簡略化す
ることができる。
に係る基板検査装置によれば、被検査基板の検査を行う
にあたり、基板から供給される検査信号が被検査基板の
一方の配線部の電極面に選択的に供給されるもとで、制
御部が移動手段に、被検査基板に対する第1の検査が行
われるとき、電極面に接続される検査回路を閉状態とす
る第1の部材を被検査基板における他方の配線部の電極
面に対して当接する動作を行わせ、被検査基板に対する
第2の検査が行われるとき、第1の部材を被検査基板に
おける他方の配線部の電極面に対して離隔させ、電極面
の電極相互間における電路を電気的に絶縁状態とする第
2の部材を被検査基板における他方の配線部の電極面に
対して当接する動作を行わせることにより被検査基板の
検査が行われるので被検査基板における電極面間におい
て電極数が異なるときにおいても装置の構造を簡略化す
ることができる。
【0072】また、第1の部材および第2の部材がそれ
ぞれ当接されて検査が行われるので被検査基板の電極が
比較的高密度で形成される場合であっても被検査基板に
おける他方の配線部の各電極の第1の部材および第2の
部材に対する位置決めを容易に行うことができる。
ぞれ当接されて検査が行われるので被検査基板の電極が
比較的高密度で形成される場合であっても被検査基板に
おける他方の配線部の各電極の第1の部材および第2の
部材に対する位置決めを容易に行うことができる。
【図1】本発明に係る基板検査装置の一例を示す正面図
である。
である。
【図2】図1に示される例における側面図である。
【図3】図2に示される例における要部を拡大して示す
断面図である。
断面図である。
【図4】本発明に係る基板検査装置の一例の要部を分解
拡大して示す断面図である。
拡大して示す断面図である。
【図5】本発明に係る基板検査装置の一例に用いられる
プリント配線基板を位置決め板とともに示す平面図であ
る。
プリント配線基板を位置決め板とともに示す平面図であ
る。
【図6】本発明に係る基板検査装置の一例に用いられる
プリント配線基板を選択導電基板とともに示す平面図で
ある。
プリント配線基板を選択導電基板とともに示す平面図で
ある。
【図7】(A)および(B)は、本発明に係る基板検査
装置の一例により検査される被検査基板を示す平面図で
ある。
装置の一例により検査される被検査基板を示す平面図で
ある。
【図8】本発明に係る基板検査装置の一例に備えられる
制御ブロックの概略構成を示すブロック図である。
制御ブロックの概略構成を示すブロック図である。
10 被検査基板 10A、10B 電極面 20 エアシリンダ 26 絶縁板 28 導体板 36 ロータリアクチュエータ 46I、46C アーム 48、50 ヘッド部 76 支持板 78 プリント配線基板 80 異方性導電性シート 100 制御ユニット
Claims (2)
- 【請求項1】 一対の対向する配線部にそれぞれ互いに
電気的に導通状態とされる電極面を有する被検査基板に
おける一方の配線部の電極面が接続される端子部が設け
られ、供給される検査信号を該一方の配線部の電極面に
選択的に送出する基板と、 前記被検査基板における他方の配線部の電極面に選択的
に当接し該電極面に接続される検査回路を導通状態とす
る第1の部材、および、該電極面に選択的に当接し該電
極面の電極相互間における電路を電気的に絶縁状態とす
る第2の部材と、 前記第1の部材および第2の部材を選択的に前記被検査
基板における他方の配線部の電極面に対して当接状態も
しくは離隔状態をとらせる移動手段と、 前記移動手段に、前記被検査基板に対する第1の検査が
行われるとき、前記第1の部材を被検査基板における他
方の配線部の電極面に対して当接する動作を行わせ、前
記被検査基板に対する第2の検査が行われるとき、前記
第1の部材を被検査基板における他方の配線部の電極面
に対して離隔させ、前記第2の部材を被検査基板におけ
る他方の配線部の電極面に対して当接する動作を行わせ
る制御部と、を具備して構成される基板検査装置。 - 【請求項2】 前記基板の端子部と前記被検査基板にお
ける一方の配線部の電極面との間に配され該基板の端子
部および該被検査基板の電極面に対応して設けられる接
続部を有し、該接続部を介して前記端子部と前記電極面
とを選択的に導通状態とする異方性導電性シートが加え
て備えられることを特徴とする請求項1記載の基板検査
装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9027651A JPH10221400A (ja) | 1997-02-12 | 1997-02-12 | 基板検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9027651A JPH10221400A (ja) | 1997-02-12 | 1997-02-12 | 基板検査装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10221400A true JPH10221400A (ja) | 1998-08-21 |
Family
ID=12226833
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9027651A Pending JPH10221400A (ja) | 1997-02-12 | 1997-02-12 | 基板検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH10221400A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102550302B1 (ko) * | 2023-05-10 | 2023-07-03 | 주식회사 라이쏠 | 차량 핸들용 스위치 접점 검사 장치 |
-
1997
- 1997-02-12 JP JP9027651A patent/JPH10221400A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102550302B1 (ko) * | 2023-05-10 | 2023-07-03 | 주식회사 라이쏠 | 차량 핸들용 스위치 접점 검사 장치 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040122 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060331 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060404 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20060728 |