JPH10215414A - 固体撮像装置、および固体撮像素子の駆動方法 - Google Patents

固体撮像装置、および固体撮像素子の駆動方法

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JPH10215414A
JPH10215414A JP9016399A JP1639997A JPH10215414A JP H10215414 A JPH10215414 A JP H10215414A JP 9016399 A JP9016399 A JP 9016399A JP 1639997 A JP1639997 A JP 1639997A JP H10215414 A JPH10215414 A JP H10215414A
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JP
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vertical
imaging device
solid
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JP9016399A
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English (en)
Inventor
Keiichi Akagawa
圭一 赤川
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Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、光検出部の出力を垂直転送路およ
び水平転送路を介して読み出す固体撮像装置およびその
駆動方法とに関し、垂直転送路の狭小化を可能としつ
つ、垂直転送路の駆動速度を低減することを目的とす
る。 【解決手段】 面状配列された複数の光検出部1と、光
検出部1に蓄積された信号電荷を予め定められた水平ラ
イン単位に読み出し、垂直転送するための垂直転送路2
の群と、垂直転送路群2から出力された信号電荷を水平
転送するための水平転送路3とを備えた固体撮像装置に
おいて、水平ラインの垂直幅以上に長い電位井戸4を垂
直転送路2上に複数形成して、該電位井戸4を垂直移動
させる垂直駆動手段5と、水平ラインの読み出し順に従
って光検出部1を順次選び、選ばれた光検出部1が空の
電位井戸4に隣接したタイミングで、該光検出部1に蓄
積された信号電荷を空の電位井戸4に移送するゲート手
段6とを備えて構成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、面状に配列された
光検出部の出力を垂直転送路および水平転送路を介して
読み出す固体撮像装置と、固体撮像素子の駆動方法とに
関する。
【0002】
【従来の技術】従来、電子カメラやビデオカメラなどに
は、CCD撮像素子やMOS撮像素子などからなる固体
撮像装置が搭載される。この種の固体撮像装置の従来例
をいくつか挙げて説明する。図21は、固体撮像装置
(プログレッシブ走査)の一例を示す図である。
【0003】図21において、ホトダイオードなどから
なる光検出部51が撮像面上に二次元配列される。これ
ら光検出部51の垂直列の間には、転送ゲート53を介
して垂直転送路52(VCCD)が複数配置される。ま
た、垂直転送路52の個々には、電荷転送用の3相電極
φ1〜φ3が周期的に配置され、垂直転送路52の出力
端には、水平転送路54(HCCD)が水平方向に配置
される。この水平転送路54の出力側には、出力アンプ
55が接続される。
【0004】このような構成の固体撮像装置では、撮像
面の受光量に応じて光検出部51に信号電荷が蓄積され
る。また、電極φ2,φ3に対し高電位を印加すること
により、電極φ2,φ3の下に、信号電荷を蓄積するた
めの電位井戸を形成する。このとき、電位井戸の長さ
は、図21に示されるように、水平ラインの垂直幅に対
し2/3倍程度の長さとなる。
【0005】この状態で光検出部51に蓄積された信号
電荷は、転送ゲート53を介して、垂直転送路52上の
各電位井戸に一括して移送される。次に、電極φ1〜φ
3に対し3相の駆動パルスが印加され、電位井戸内の信
号電荷は垂直方向に順次転送される。垂直転送路52の
一群から出力される1水平ライン分の信号電荷は、水平
帰線期間中に水平転送路54に取り込まれる。このよう
に取り込まれた水平ライン分の信号電荷は、1水平走査
期間をかけて外部に水平転送される。
【0006】このような転送出力に対して、公知の色信
号処理およびγ補正などを施すことにより、フレーム単
位の画像信号が生成される。図22は、固体撮像装置
(2線混合インターレース走査)の一例を示す図であ
る。図22において、ホトダイオードなどからなる光検
出部61が撮像面上に二次元配列される。これら光検出
部61の垂直列の間には、転送ゲート63を介して垂直
転送路62(VCCD)が複数配置される。
【0007】また、垂直転送路62の個々には、電荷転
送用の4相電極φ1〜φ4が周期的に配置され、垂直転
送路62の出力端には、水平転送路64(HCCD)が
水平方向に配置される。この水平転送路64の出力側に
は、出力アンプ66が接続される。このような構成の固
体撮像装置では、インターレース読み出しが可能とな
る。以下、奇数フィールドを読み出す場合について説明
を行う。
【0008】まず、電極φ1〜3に対し高電位を印加す
ることにより、電極φ1〜3の下に、信号電荷を蓄積す
るための電位井戸を形成する。このとき、電位井戸の長
さは、図22に示されるように、水平ライン(二行分の
光検出部)の垂直幅に対し、3/4倍程度の長さとな
る。この状態で光検出部61に蓄積された信号電荷は、
転送ゲート63を介して垂直転送路62上の電位井戸に
一括移送される。このとき、n行目(nは奇数)とn+
1行目の光検出部61に蓄積された信号電荷は1つの電
位井戸において混合され、1水平ライン分の信号電荷を
生成する。
【0009】次に、電極φ1〜φ4に対し4相の駆動パ
ルスが印加され、電位井戸内の信号電荷は垂直方向に順
次転送される。水平転送路64は、水平帰線期間中に、
垂直転送路62の一群から出力される1水平ライン分の
信号電荷を取り込む。このように取り込まれた水平ライ
ン分の信号電荷は1水平走査期間をかけて水平転送され
る。
【0010】このような転送出力に対して、公知の色信
号処理およびγ補正などを施すことにより、奇数フィー
ルドの画像信号が生成される。なお、偶数フィールドの
読み出しに際しては、電極φ4,φ1,φ2の下に電位
井戸を形成して、n行目(nは奇数)とn−1行目の光
検出部61に蓄積された信号電荷を混合し、1水平ライ
ン分の信号電荷を生成する。
【0011】図23は、固体撮像装置(CSD方式)の
一例を説明する図である。図23において、垂直転送路
71上には、電極φ1〜φmが順に配置される。この垂
直転送路71の出力端には、蓄積部72とゲート部73
とを介して、水平転送路74が配置される。この蓄積部
72は、信号電荷を一時蓄積するためのスペースであ
り、電荷蓄積用の電極φCが配置される。また、ゲート
部73は、蓄積部72と水平転送路74との間を開閉す
るためのトランスファゲートであり、ゲート電極φTが
配置される。
【0012】一方、水平転送路74は、垂直転送路71
から取り込まれた1水平ライン分の信号電荷を水平転送
するための電極φHが配置される。このような構造の固
体撮像装置では、垂直転送路71上の電極φ1〜φmに
高電位が一斉に印加され、垂直転送路71の全長にわた
る電位井戸が形成される。この状態で、1水平ラインを
構成する光検出部(図示せず)の信号電荷が、垂直転送
路71上の電位井戸に移送される(図23中のt1)。
【0013】次に、垂直転送路71の他端側から電極φ
1〜φmの電位を降順に下げて、電位井戸内の信号電荷
を蓄積部72に順次押し出す(図23中のt2〜t
5)。蓄積部72に蓄積された信号電荷は、水平帰線期
間中にゲート部73を介して水平転送路74上に転送さ
れる(図23中のt6〜t8)。水平転送路74上の信
号電荷は、1水平走査期間をかけて水平転送される(図
23中のt9)。
【0014】以上の動作(図23中のt1〜t9)を、
水平ラインの読み出し位置をずらしながら繰り返すこと
により、撮像面全体の画像信号を外部に読み出す。
【0015】
【発明が解決しようとする課題】ところで、近年では、
撮像素子のチップサイズを縮小したり、撮像面上の画素
数を増やしたり、1画素当たりの開口率を増加させるた
めに、垂直転送路の狭小化が強く要望されている。
【0016】しかしながら、図21,図22に示した従
来例では、電位井戸一つ分の長さが、水平ラインの垂直
幅よりも短く制限される。そのため、電位井戸から信号
電荷が溢れないようにするためには、垂直転送路の横幅
を必要十分に確保しなければならない。したがって、図
21,図22に示した従来例では、垂直転送路の狭小化
が困難であるという問題点があった。
【0017】一方、図23に示した従来例では、垂直転
送路の全長にわたって電位井戸を形成するので、信号電
荷の収納量が必要以上に大きい。そのため、垂直転送路
の狭小化に適した構造である。しかしながら、図23に
示した従来例では、1水平ラインを垂直転送路71に移
送してから水平転送路74に出力するまでの一連の動作
を、1水平期間内に完了している。そのため、垂直転送
路を格別に高速駆動する必要がある。
【0018】例えば、垂直転送路上の電極を254段で
構成した場合、1水平期間(約0.25μsec )に信号
電荷を254段押し出す必要があり、4MHz程度の高
速駆動を実施しなければならない。一般に、垂直転送路
上の各電極は、水平方向の画素数だけ並列接続されてい
る。そのため、垂直転送路上の各電極には、大きな容量
性インピーダンスが発生する。このように大きな容量を
高速駆動すると、大きな駆動電流が必要となり固体撮像
装置の消費電力が大きくなるという問題点があった。
【0019】また、駆動電流が大きく流れることにより
駆動回路の発熱量が増し、暗電流ノイズの増加などの弊
害を招くという問題点もあった。さらに、大きな容量分
を高速駆動する際に駆動電圧の波形が鈍り、信号電荷の
転送漏れを招いてしまうという問題点があった。そこ
で、請求項1,2に記載の発明では、上記の問題点を解
決するために、垂直転送路の狭小化を可能としつつ、垂
直転送路の駆動速度を低減することができる固体撮像装
置を提供することを目的とする。
【0020】請求項3に記載の発明では、請求項1の目
的と併せて、垂直転送路と水平転送路とのインターフェ
ース部に信号電荷の蓄積手段などを設ける必要がない固
体撮像装置を提供することを目的とする。請求項4に記
載の発明では、請求項1の目的と併せて、垂直転送路の
駆動タイミングの設計自由度が高い固体撮像装置を提供
することを目的とする。
【0021】請求項5に記載の発明では、請求項1の目
的と併せて、垂直転送路上の信号電荷の転送漏れによる
弊害を防止することができる固体撮像装置を提供するこ
とを目的とする。請求項6に記載の発明では、請求項5
の目的と併せて、垂直転送路における信号電荷の転送効
率を一層高めることができる固体撮像装置を提供するこ
とを目的とする。
【0022】請求項7に記載の発明では、請求項1の目
的と併せて、電子シャッタ機能を有する固体撮像装置を
提供することを目的とする。請求項8に記載の発明で
は、請求項1の目的と併せて、インターレース走査の機
能を有する固体撮像装置を提供することを目的とする。
請求項9,10に記載の発明では、請求項1の目的と同
様に、垂直転送路の狭小化を可能としつつ、垂直転送路
の駆動速度を低減することができる固体撮像素子の駆動
方法を提供することを目的とする。
【0023】請求項11に記載の発明では、請求項9の
目的と併せて、垂直転送路と水平転送路との間で動作タ
イミングを調整するための構成を不要にする固体撮像素
子の駆動方法を提供することを目的とする。請求項12
に記載の発明では、請求項9の目的と併せて、垂直転送
路の駆動タイミングの設計自由度が高い固体撮像素子の
駆動方法を提供することを目的とする。
【0024】請求項13に記載の発明では、請求項9の
目的と併せて、垂直転送路上の信号電荷の転送漏れによ
る弊害を防止することができる固体撮像素子の駆動方法
を提供することを目的とする。請求項14に記載の発明
では、請求項13の目的と併せて、垂直転送路における
信号電荷の転送効率を一層高めることができる固体撮像
素子の駆動方法を提供することを目的とする。
【0025】請求項15に記載の発明では、請求項9の
目的と併せて、電子シャッタ機能を実現する固体撮像素
子の駆動方法を提供することを目的とする。請求項16
に記載の発明では、請求項9の目的と併せて、インター
レース走査の機能を実現する固体撮像素子の駆動方法を
提供することを目的とする。
【0026】
【課題を解決するための手段】図1は、請求項1〜3に
記載の発明を説明する図である。
【0027】請求項1に記載の発明は、水平垂直方向に
配列された複数の光検出部1と、複数の光検出部1に蓄
積された信号電荷を予め定められた水平ラインごとに読
み出し、垂直方向に転送するための垂直転送路2の群
と、垂直転送路群2から出力された信号電荷を水平方向
に転送するための水平転送路3とを備えた固体撮像装置
において、水平ラインの垂直幅以上に長い電位井戸4を
垂直転送路2上に複数形成し、かつ該電位井戸4を垂直
方向に順次移動させる垂直駆動手段5と、水平ラインの
読み出し順に従って該当する光検出部1を順次選び、選
ばれた光検出部1が空の電位井戸4に隣接するタイミン
グに同期して、該光検出部1に蓄積された信号電荷を空
の電位井戸4に移送するゲート手段6とを備えたことを
特徴とする。
【0028】請求項2に記載の発明は、請求項1に記載
の固体撮像装置において、垂直駆動手段5は、信号電荷
を有する電位井戸4の少なくとも1つ以上を、複数の水
平期間をかけて垂直転送路2の端まで移動することを特
徴とする。請求項3に記載の発明は、請求項1または請
求項2に記載の固体撮像装置において、垂直駆動手段5
は、水平転送路3において信号電荷の転送動作が中断す
る水平帰線期間中に、垂直転送路2の端に位置する電位
井戸4内の信号電荷を水平転送路3へ出力することを特
徴とする。
【0029】図2は、請求項4に記載の発明を説明する
図である。請求項4に記載の発明は、請求項1または請
求項2に記載の固体撮像装置において、垂直転送路群2
と水平転送路3とのインターフェース部に信号電荷を一
時蓄積するための蓄積手段7を備え、垂直駆動手段5
は、垂直転送路2の端に位置する電位井戸4内の信号電
荷を蓄積手段7に一時蓄積し、水平転送路3において信
号電荷の転送動作が中断する水平帰線期間を待って、蓄
積手段7内の信号電荷を水平転送路3へ出力することを
特徴とする。
【0030】図3は、請求項5,6に記載の発明を説明
する図である。請求項5に記載の発明は、請求項1乃至
請求項4のいずれか1項に記載の固体撮像装置におい
て、ゲート手段6は、信号電荷を有する電位井戸4に後
続して、信号電荷を有しない空の電位井戸4aを配する
ことを特徴とする。請求項6に記載の発明は、請求項5
に記載の固体撮像装置において、垂直駆動手段5は、電
位井戸4に蓄積された信号電荷と、該電位井戸4に後続
する空の電位井戸4aにおいて拾得された信号電荷の漏
れ分とを水平転送路3上へ加算出力することを特徴とす
る。
【0031】図4は、請求項7に記載の発明を説明する
図である。請求項7に記載の発明は、請求項1乃至請求
項6のいずれか1項に記載の固体撮像装置において、垂
直転送路2上の不要電荷を掃き出すための排出部8を備
え、ゲート手段6は、光検出部1に蓄積された不要電荷
を電位井戸4bに移送し、かつ該移送時点から所定の露
光時間の経過後に、光検出部1に蓄積された信号電荷を
別の電位井戸4に改めて移送し、垂直駆動手段5は、ゲ
ート手段6の移送タイミングに基づいて、垂直転送路2
上の予め定められた箇所を通過する電荷が不要電荷か否
かを選別し、不要電荷を排出部8へ掃き出すことを特徴
とする。
【0032】図5は、請求項8に記載の発明を説明する
図である。請求項8に記載の発明は、請求項1乃至請求
項7のいずれか1項に記載の固体撮像装置において、水
平ラインは、光検出部1の水平行の束から構成され、か
つ該水平行の束は奇数フィールドと偶数フィールドとに
おいて垂直方向に半位相ずれることを特徴とする。
【0033】請求項9に記載の発明は、水平垂直方向に
配列された複数の光検出部1と、複数の光検出部1に蓄
積された信号電荷を水平ラインごとに読み出し、垂直方
向に転送するための垂直転送路2の群と、垂直転送路群
2から出力された信号電荷を水平方向に転送するための
水平転送路3とを備えてなる固体撮像素子に対して信号
電荷の読み出しを行う駆動方法であって、水平ラインの
垂直幅以上に長い電位井戸4を垂直転送路2上に複数形
成し、かつ電位井戸4を垂直方向に順次移動させるステ
ップと、水平ラインの読み出し順に従って該当する光検
出部1を順次選び、選ばれた光検出部1が空の電位井戸
4に隣接するタイミングに同期して、該光検出部1内の
信号電荷を空の電位井戸4に移送するステップとを有す
ることを特徴とする。
【0034】請求項10に記載の発明は、請求項9に記
載の駆動方法において、信号電荷を有する電位井戸4の
少なくとも1つ以上を、複数の水平期間をかけて垂直転
送路2の端まで移動させることを特徴とする。
【0035】請求項11に記載の発明は、請求項9また
は請求項10に記載の駆動方法において、水平転送路3
において信号電荷の転送動作が中断する水平帰線期間中
に、垂直転送路2の端に位置する電位井戸4内の信号電
荷を水平転送路3へ出力することを特徴とする。請求項
12に記載の発明は、請求項9または請求項10に記載
の駆動方法において、垂直転送路2の端に位置する電位
井戸4内の信号電荷を一時蓄積するステップと、水平転
送路3において信号電荷の転送動作が中断する水平帰線
期間を待って、一時蓄積された該信号電荷を水平転送路
3へ出力するステップとを有することを特徴とする。
【0036】請求項13に記載の発明は、請求項9乃至
請求項12のいずれか1項に記載の駆動方法において、
信号電荷を有する電位井戸4に後続して、信号電荷を有
しない空の電位井戸4aを配することを特徴とする。請
求項14に記載の発明は、請求項13に記載の駆動方法
において、電位井戸4に蓄積された信号電荷と、該電位
井戸4に後続する空の電位井戸4aにおいて拾得された
信号電荷の漏れ分とを水平転送路3上へ加算出力するこ
とを特徴とする。
【0037】請求項15に記載の発明は、請求項9乃至
請求項14のいずれか1項に記載の駆動方法において、
光検出部1に蓄積された不要電荷を電位井戸4bに移送
し、かつ該移送時点から所定の露光時間の経過後に、光
検出部1に蓄積された信号電荷を別の電位井戸4に移送
するステップと、不要電荷の移送タイミングに基づい
て、垂直転送路2上の予め定められた箇所を通過する電
荷が不要電荷か否かを選別し、該不要電荷を外部に掃き
出すステップとを有することを特徴とする。
【0038】請求項16に記載の発明は、請求項9乃至
請求項15のいずれか1項に記載の駆動方法において、
水平ラインは、光検出部1の水平行の束から構成され、
かつ該水平行の束は奇数フィールドと偶数フィールドと
において垂直方向に半位相ずれることを特徴とする。
【0039】(作用)請求項1の固体撮像装置では、光
検出部1に光が照射されると、受光量に応じて信号電荷
が発生する。このように発生した信号電荷は、予め定め
られた水平ラインごとに読み出され、垂直転送路2およ
び水平転送路3を介して外部に読み出される。
【0040】このような信号電荷の読み出し動作に際
し、垂直駆動手段5は、垂直転送路2上に電位井戸4を
複数形成する。この電位井戸4は、水平ラインの垂直幅
以上の長さを有する。これら電位井戸4の相互間には、
信号電荷を分離するために間隙が空けられる。このよう
な構成のため、垂直転送路2の上に一度に形成できる電
位井戸4の数は、水平ラインの本数よりも少なくなる。
したがって、従来のプログレッシブ走査(図21)やイ
ンターレース走査(図22)とは異なり、光検出部1の
信号電荷を垂直転送路2上に一括して移送することはで
きない。
【0041】そこで、ゲート手段6は、下記の手順を踏
んで、光検出部1の信号電荷を垂直転送路2上に順次移
送する。まず、ゲート手段6は、水平ラインの読み出し
順に従って、該当する光検出部1を順次選択する。次
に、ゲート手段6は、選択中の光検出部1が、空の電位
井戸4に隣接するタイミングを待って、この光検出部1
内の信号電荷を電位井戸4に移送する。このように移送
された信号電荷は、垂直駆動手段5による電位井戸4の
移動に合わせて垂直転送路2上を移動し、水平転送路3
に到達する。
【0042】このようにして、信号電荷の移送を時間差
を設けて実行することにより、全ての水平ラインについ
て読み出し動作が完了する。請求項2の固体撮像装置で
は、垂直転送路2上に複数の電位井戸4を配するので、
垂直転送路2上に複数ライン分の信号電荷を前もって蓄
積することが可能となる。このような複数ライン分の信
号電荷は、複数の水平期間をかけて垂直転送路2上を転
送される。
【0043】従来、CSD方式(図23)の固体撮像装
置では、垂直転送路上に1つの電位井戸のみを配するた
め、1水平期間内に信号電荷の垂直転送を完了しなけれ
ばならなかった。しかし、本発明では、複数の水平期間
をかけて信号電荷を垂直転送すればよく、垂直転送路2
の駆動速度が無理なく低減される。請求項3の固体撮像
装置では、垂直駆動手段5は、水平帰線期間中に、垂直
転送路2の端に位置する電位井戸4内の信号電荷を水平
転送路3へ出力する。
【0044】このような動作により、垂直転送路2と水
平転送路3との動作タイミングの調整がなされるので、
タイミング調整のための構成を別途設ける必要がなくな
る。請求項4の固体撮像装置では、蓄積手段7を介し
て、信号電荷を水平転送路3に出力する際のタイミング
を調整する。請求項5の固体撮像装置では、ゲート手段
6は、信号電荷を有する電位井戸4に後続して、信号電
荷を有しない空の電位井戸4aを配する。
【0045】このような空の電位井戸4aは、先行する
電位井戸4の転送漏れを拾得する。その結果、転送漏れ
が別の信号電荷に混入するなどの不具合を確実に防ぐこ
とができる。請求項6の固体撮像装置では、電位井戸4
に蓄積された信号電荷と、該電位井戸4に後続する空の
電位井戸4aにおいて拾得された転送漏れとが、水平転
送路3上へ加算出力される。
【0046】このような動作により、信号電荷の転送漏
れを失うことがなくなり、垂直転送路2における信号電
荷の転送効率が高くなる。請求項7の固体撮像装置で
は、ゲート手段6が、光検出部1に蓄積された不要電荷
を電位井戸4bに移送する。この移送時点から所定の露
光時間の経過後に、ゲート手段6は、光検出部1に蓄積
された信号電荷を別の電位井戸4に改めて移送する。
【0047】このような動作により、垂直転送路2上に
は、不要電荷を有する電位井戸4bと、信号電荷を有す
る電位井戸4とが混在し、一方向に垂直転送される。一
方、垂直駆動手段5は、不要電荷の移送タイミングに基
づいて、垂直転送路2上の予め定められた箇所を通過す
る電荷が不要電荷か否かを選別し、不要電荷であれば排
出部8へ掃き出す。
【0048】したがって、所定の露光時間だけ蓄積され
た信号電荷のみが水平転送路3に到達し、外部に読み出
される。この露光時間を適宜に設定することにより、電
子シャッタ機能が実現する。請求項8の固体撮像装置で
は、読み出し単位である水平ラインが次のように設定さ
れる。
【0049】まず、1本の水平ラインは、光検出部1の
水平行を複数束ねて構成される。この水平ラインは、奇
数フィールドと偶数フィールドとにおいて垂直方向に半
位相ずつずれる。このような水平ラインの設定により、
インターレース走査の機能が実現される。請求項9の駆
動方法では、まず、水平ラインの垂直幅以上に長い電位
井戸4を垂直転送路2上に複数形成し、これらの電位井
戸4を垂直方向に順次移動させる。
【0050】このように移動する空の電位井戸4が、水
平ラインの読み出し順に該当する光検出部1に隣接する
タイミングを見計らって、この光検出部1内の信号電荷
を電位井戸4に順次移送する。このようにして電位井戸
4に順次移送された信号電荷は、電位井戸4の移動に伴
って垂直転送路2上を一方向に転送され、水平転送路3
に順次到達する。
【0051】請求項10の駆動方法では、信号電荷を有
する電位井戸4の少なくとも1つ以上を、複数の水平期
間をかけて垂直転送路2の端まで移動させる。従来、C
SD方式(図23)の固体撮像装置では、垂直転送路上
に1つの電位井戸のみを配するため、1水平期間内に信
号電荷の垂直転送を完了しなければならなかった。しか
し、本発明では、複数の水平期間をかけて信号電荷を垂
直転送すればよく、垂直転送路2の駆動速度が無理なく
低減される。
【0052】請求項11の駆動方法では、水平転送路3
において信号電荷の転送動作が中断する水平帰線期間中
に、垂直転送路2の端に位置する電位井戸4内の信号電
荷を水平転送路3へ出力する。このような動作により、
垂直転送路2と水平転送路3との動作タイミングが適宜
に調整されるので、タイミング調整のための構成を別途
設ける必要がなくなる。
【0053】請求項12の駆動方法では、垂直転送路群
2と水平転送路3とのインターフェース部において信号
電荷を一時蓄積することにより、信号電荷を水平転送路
3に出力する際のタイミングを調整する。請求項13の
駆動方法では、信号電荷を有する電位井戸4に後続し
て、信号電荷を有しない空の電位井戸4aを配する。
【0054】このような空の電位井戸4aは、先行する
電位井戸4の転送漏れを拾得するので、転送漏れが別の
信号電荷に混入するなどの不具合を確実に防ぐことがで
きる。請求項14の駆動方法では、電位井戸4に蓄積さ
れた信号電荷と、該電位井戸4に後続する空の電位井戸
4aにおいて拾得された信号電荷の漏れ分とを水平転送
路3上へ加算出力する。
【0055】このようにして、信号電荷の転送漏れを損
なうことがなくなり、垂直転送路2における信号電荷の
転送効率が高くなる。請求項15の駆動方法では、光検
出部1に蓄積された不要電荷を電位井戸4bに移送す
る。この移送時点から所定の露光時間の経過後に、光検
出部1に蓄積された信号電荷を別の電位井戸4に改めて
移送する。
【0056】このような動作により、垂直転送路2上に
は、不要電荷を有する電位井戸4bと、信号電荷を有す
る電位井戸4とが混在し、一方向に垂直転送される。こ
のような垂直転送に併行して、垂直転送路2上の予め定
められた箇所を通過する電荷が不要電荷か否かを不要電
荷の移送タイミングに基づいて選別し、不要電荷であれ
ば排出部8へ掃き出す。
【0057】したがって、所定の露光時間だけ蓄積され
た信号電荷のみが水平転送路3に到達し、外部に読み出
される。この露光時間を適宜に設定することにより、電
子シャッタ機能が実現する。請求項16の駆動方法で
は、水平ラインは、光検出部1の水平行の束から構成さ
れ、かつ該水平行の束は奇数フィールドと偶数フィール
ドとにおいて垂直方向に半位相ずれる。
【0058】このような水平ラインの設定により、イン
ターレース走査の機能が実現される。
【0059】
【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて本発明にお
ける実施の形態を説明する。 (第1の実施形態)図6は、第1の実施形態(請求項1
〜3,9〜11に対応)を示す図である。
【0060】図6において、ホトダイオードなどからな
る光検出部が垂直水平方向に配列される。これらの光検
出部は、垂直方向に254行並んで構成される。ここで
は、各行ごとの光検出部に対しP1〜P254の参照番
号を付与して説明を行う。これらの光検出部P1〜P2
54の各垂直列ごとに、垂直転送路11がそれぞれ配置
され、これらの垂直転送路11には、電極φ1〜φ50
8および電極φTが設けられる。これらの電極φ1〜φ
508および電極φTは、垂直駆動回路12に接続され
る。
【0061】また、垂直転送路11の出力端に沿って水
平転送路13が配置され、水平転送路13には水平転送
用の電極φHが配置される。水平転送路13の出力端に
は出力アンプ14が接続される。図7は、垂直転送路1
1上の電極配置を詳細に示す図である。図7において、
1つの光検出部P1に対応して、2つの電極φ1,φ2
が垂直転送路11上に配置される。片方の電極φ1は、
光検出部P1に接触して配置されることにより、ゲート
手段6の機能を兼ねる。
【0062】図8は、本実施形態における電極φ1〜φ
508の駆動回路(垂直駆動回路12の一部)を示す図
である。図8において、スタートパルスSTとクロック
CLKとが外部から入力されるシフトレジスタ21が配
置される。このシフトレジスタ21の254段の出力
は、254個のAND回路22にそれぞれ入力され、ゲ
ートパルスGTとの論理積が個別に取られる。
【0063】AND回路22からの各出力SR1〜SR
254は、254個のドライバ回路23の入力端子IN
2に入力される。これらドライバ回路23の入力端子I
N1には、外部同期信号V1,V3,V5,V7が周期
的に接続される。このようなドライバ回路23における
254個の出力端子Outは、奇数番目の電極φ1,φ
3・・φ507にそれぞれ接続される。
【0064】一方、偶数番目の電極φ2,φ4・・φ5
08には、外部同期信号V2,V4,V6,V8が周期
的に接続される。図9は、ドライバ回路23を説明する
図である。図9において、入力端子IN1は、NAND
回路25の第1入力,NAND回路26の第1入力およ
びNOR回路27の第1入力にそれぞれ接続される。入
力端子IN2は、NAND回路25の第2入力,NOR
回路27の第2入力およびNOT回路28の入力にそれ
ぞれ接続され、NOT回路28の出力はNAND回路2
6の第2入力に接続される。
【0065】NAND回路25の出力は、PMOSトラ
ンジスタ32のゲートに接続され、NOR回路27の出
力は、NMOSトランジスタ33のゲートに接続され
る。NAND回路26の出力は、PMOSトランジスタ
29のゲートおよびNOT回路30の入力に接続され、
NOT回路30の出力は、NMOSトランジスタ31の
ゲートに接続される。
【0066】PMOSトランジスタ29のソースおよび
NMOSトランジスタ31のドレインは定電圧源VMに
それぞれ接続され、PMOSトランジスタ32のソース
は定電圧源VHに接続される。NMOSトランジスタ3
3のソースは定電圧源VLに接続される。一方、PMO
Sトランジスタ29のドレイン,NMOSトランジスタ
31のソース,PMOSトランジスタ32のドレインお
よびNMOSトランジスタ33のドレインは互いに接続
され、出力端子Outとして出力される。
【0067】なお、請求項1〜3に記載の発明と第1の
実施形態との対応関係については、光検出部1は光検出
部P1〜P256に対応し、垂直転送路2は垂直転送路
11に対応し、水平転送路3は水平転送路13に対応
し、垂直駆動手段5は垂直駆動回路12の「垂直転送路
11上の信号電荷を垂直転送する機能」に対応し、ゲー
ト手段6は垂直駆動回路12の「信号電荷を垂直転送路
11に移送する機能」に対応する。
【0068】図10は、第1の実施形態のタイミングチ
ャートを示す図である。図11は、第1の実施形態の動
作を説明する図である。以下、図11に示される時刻t
1〜t508に従って、第1の実施形態の動作を説明す
る。 (時刻t1)まず、垂直駆動回路12は、電極φ1およ
び電極φ2に中間電位VMを印加することにより、光検
出部P1の水平行(水平ライン)の垂直幅と等しい長さ
の電位井戸を形成する。
【0069】このようにして、光検出部P1に空の電位
井戸が隣接したタイミングに同期して、垂直駆動回路1
2は電極φ1に対し高電位VHを印加する。その結果、
光検出部P1に蓄積された信号電荷は電位井戸に移送さ
れる。 (時刻t1.5)次に、垂直駆動回路12は、電極φT
に対し中間電位VMを印加して、垂直転送路11と水平
転送路13との間の障壁を取り除く。
【0070】この状態で、垂直駆動回路12は、電極φ
2に対し低電位を印加することにより、電位井戸内の信
号電荷を水平転送路13上に押し出す。このような信号
電荷の押し出しは、水平帰線期間中に完了する。 (時刻t2)水平転送路13の電極φHが駆動され、1
水平走査期間をかけて水平転送路13上の信号電荷が外
部に読み出される。
【0071】この水平走査期間中に、垂直駆動回路12
は、電極φ3および電極φ4に中間電位VMを印加する
ことにより、光検出部P2の水平行(水平ライン)の垂
直幅と等しい長さの電位井戸を形成する。このようにし
て、光検出部P2に空の電位井戸が隣接したタイミング
に同期して、垂直駆動回路12は電極φ3に対し高電位
VHを印加する。その結果、光検出部P2に蓄積された
信号電荷は電位井戸に移送される。
【0072】(時刻t3)垂直駆動回路12は、光検出
部P2から移送された信号電荷を、電位井戸の移動に伴
って電極φ1および電極φ2の下に転送する。一方、垂
直駆動回路12は、電極φ5および電極φ6に中間電位
VMを印加することにより、光検出部P3の水平行(水
平ライン)の垂直幅と等しい長さの電位井戸を形成す
る。
【0073】このようにして、光検出部P3に空の電位
井戸が隣接したタイミングに同期して、垂直駆動回路1
2は電極φ5に対し高電位VHを印加する。その結果、
光検出部P3に蓄積された信号電荷は電位井戸に移送さ
れる。 (時刻t4)水平帰線期間内に、垂直駆動回路12は、
光検出部P2から移送された信号電荷を水平転送路13
へ出力する。
【0074】一方、水平転送路13では電極φHが駆動
され、1水平走査期間をかけて水平転送路13上の信号
電荷が外部に読み出される。この水平走査期間中に、垂
直駆動回路12は、電極φ7および電極φ8に中間電位
VMを印加することにより、光検出部P2の水平行(水
平ライン)の垂直幅と等しい長さの電位井戸を形成す
る。
【0075】このようにして、光検出部P4に空の電位
井戸が隣接したタイミングに同期して、垂直駆動回路1
2は電極φ7に対し高電位VHを印加する。その結果、
光検出部P4に蓄積された信号電荷は、電位井戸に移送
される。 (時刻t5)垂直駆動回路12は、光検出部P3,P4
から移送された信号電荷を、電位井戸の移動に伴って一
段ずつ転送する。
【0076】この状態で、垂直駆動回路12は、電極φ
9および電極φ10に中間電位VMを印加することによ
り、光検出部P5の水平行(水平ライン)の垂直幅と等
しい長さの電位井戸を形成する。このようにして、光検
出部P5に空の電位井戸が隣接したタイミングに同期し
て、垂直駆動回路12は電極φ9に対し高電位VHを印
加する。その結果、光検出部P5に蓄積された信号電荷
は、電位井戸に移送される。
【0077】(時刻t6〜t254)上述の動作を繰り
返し行うことにより、光検出部P3〜P127までの信
号電荷は、垂直転送路11および水平転送路13を介し
て外部に読み出される。一方、垂直転送路11上には、
光検出部P128〜P254の信号電荷が残存する。
【0078】(時刻t255〜t507)この期間、光
検出部P1〜P254からの信号電荷の移送は終了し、
垂直転送路11上に残存する信号電荷が、端から順に水
平転送路13を介して読み出される。 (時刻t508)光検出部P254から移送された信号
電荷が、水平転送路13を介して外部に読み出され、1
フレーム分の全ての信号電荷が外部に読み出される。
【0079】以上説明した動作により、第1の実施形態
では、電位井戸が、水平ラインの垂直幅と等しい。した
がって、プログレッシブ走査(図21)やインターレー
ス走査(図22)のように電位井戸が短い場合に比べ
て、電位井戸の電荷収納量を大きく確保することができ
る。その結果、垂直転送路11の狭小化を無理なく実現
することが可能となる。
【0080】また、第1の実施形態では、信号電荷を有
する電位井戸の少なくとも1つ以上が、複数の水平期間
をかけて垂直転送の端まで移動している。したがって、
従来のCSD方式(図23)に比べ、垂直転送路の駆動
速度を格段に低減することができる。さらに、第1の実
施形態では、水平帰線期間中に限定して、垂直転送路1
1から水平転送路13へ信号電荷を出力している。した
がって、垂直転送路11と水平転送路13との間に信号
電荷の蓄積手段などを設ける必要が一切ない。
【0081】次に、別の実施形態について説明する。 (第2の実施形態)図12は、第2の実施形態のタイミ
ングチャートを示す図である。この第2の実施形態は、
請求項1〜3および請求項1〜9に記載の発明に対応し
た実施形態である。
【0082】図13は、第2の実施形態の動作を詳細に
説明する図である。なお、第2の実施形態の素子構成な
どについては、第1の実施形態(図6)と同様なので、
ここでの説明を省略する。以下、第2の実施形態の動作
を説明する。まず、垂直駆動回路12は、垂直転送路1
1上の電極6〜7枚分ごとに中間電位VMを印加するこ
とにより、水平ラインの3〜3.5本分の長さを有する
電位井戸を複数形成する。
【0083】次に、垂直駆動回路12は、水平帰線期間
に限定して、垂直転送路11上の電極φ1〜φ508に
8相駆動のパルスを印加し、これらの電位井戸を水平転
送路13に向け順次移動させる。垂直駆動回路12は、
水平ラインの読み出し順に従って、光検出部P1〜P2
54を昇順に選び、選ばれた光検出部Pnが空の電位井
戸に隣接するタイミングを待って、電極φ(2n−1)
に高電位VHを印加する。
【0084】このような動作により、光検出部P1〜P
254の信号電荷は、時間差を設けて電位井戸内に順次
移送され、垂直転送路11および水平転送路13を介し
て外部に読み出される。このような動作により、第2の
実施形態では、電位井戸が、水平ラインの3〜3.5本
分の垂直幅を有する。したがって、プログレッシブ走査
(図21)やインターレース走査(図22)のように電
位井戸が短い場合に比べ、電位井戸の電荷収納量を3〜
4倍程度確保することができる。その結果、垂直転送路
11の狭小化を無理なく実現することが可能となる。
【0085】また、第2の実施形態では、信号電荷を有
する電位井戸の少なくとも1つ以上が、複数の水平期間
をかけて垂直転送の端まで移動している。したがって、
従来のCSD方式(図23)に比べ、垂直転送路の駆動
速度を格段に低減することができる。さらに、第2の実
施形態では、水平帰線期間中に限定して、垂直転送路1
1から水平転送路13へ信号電荷を出力している。した
がって、垂直転送路11と水平転送路13との間に信号
電荷の蓄積手段などを設ける必要が一切ない。
【0086】次に、別の実施形態について説明する。 (第3の実施形態)図14は、第3の実施形態のタイミ
ングチャートを示す図である。この第3の実施形態は、
請求項5,6,13,14の発明に対応した実施形態で
ある。図15は、第3の実施形態の動作を詳細に説明す
る図である。
【0087】なお、第3の実施形態の素子構成などにつ
いては、第1の実施形態(図6)と同様なので、ここで
の説明を省略する。第3の実施形態における動作上の特
徴点は、信号電荷を有する電位井戸に後続して、空の電
位井戸を配した点である。このような動作により、第3
の実施形態では、信号電荷の転送に伴って生じた漏れ分
(図15中の黒丸)が、後続する空の電位井戸に拾得さ
れる。したがって、漏れ分が別の信号電荷に混入する不
具合がなくなり、画像の垂直分解能の低下を確実に防ぐ
ことができる。
【0088】また、空の電位井戸により拾得された漏れ
分を、水平転送路13上で再び信号電荷に加算している
ので、転送漏れを損なうことがなく、信号電荷の転送効
率を高めることがことができる。次に、別の実施形態に
ついて説明する。 (第4の実施形態)図16は、第4の実施形態(請求項
7,15に対応)を示す図である。
【0089】第4の実施形態における構成上の特徴点
は、垂直転送路11と水平転送路13との間に、信号電
荷を掃き出すための排出部41が設けられ、この排出部
41を制御するための電極φDが垂直駆動回路12に接
続されている点である。なお、図6に示す構成要件と同
様の構成要件については、同じ参照番号を付与して図1
6に示し、ここでの説明を省略する。
【0090】図17は、第4の実施形態のタイミングチ
ャートを示す図である。図18は、第4の実施形態の動
作を詳細に説明する図である。第4の実施形態における
動作上の特徴点は、次の2点である。 (1)光検出部に蓄積された不要電荷を電位井戸に移送
して、光検出部内の電荷を一掃し、所定の露光時間だけ
蓄積された信号電荷を改めて別の電位井戸に移送する。
【0091】(2)不要電荷の移送タイミングに基づい
て、排出部41の横を通過する電荷が不要電荷か否かを
選別し、不要電荷ならば電極φDを介して不要電荷を排
出部41に掃き出す。例えば、図18では、時刻t10
11において光検出部P1内の不要電荷が一掃され、こ
の時点から時刻t1まで蓄積された信号電荷が外部に読
み出されている。
【0092】また、時刻t1014において光検出部P
2内の不要電荷が一掃され、この時点から時刻t4まで
蓄積された信号電荷が外部に読み出されている。さら
に、時刻t1において光検出部P3内の不要電荷が一掃
され、この時点から時刻t7まで蓄積された信号電荷が
外部に読み出されている。このような動作により、第4
の実施形態では、光検出部の露光時間が制限され、電子
シャッタの機能を実現することが可能となる。
【0093】なお、上述した実施形態では、垂直転送路
11と水平転送路13とのインターフェース部に、信号
電荷の蓄積手段などを特に設けていないが、このような
構成に限定されるものではない。例えば、図19に示す
ように、蓄積部42を設けてもよい。このような構成で
は、水平転送路13に信号電荷を出力する際のタイミン
グを蓄積部42を介して調整することができる。したが
って、水平転送路の駆動タイミングに拘束されずに、垂
直転送路の駆動タイミングを自由に設定することが可能
になる。
【0094】前記の効果により、例えば、各水平行の光
検出部から垂直転送路へ電荷を転送するタイミングを等
間隔に設定することが非常に容易になる。このようなタ
イミング設定においては、被写体の動きを一層滑らかに
撮像することが可能となる。また、上述した実施形態で
は、プログレッシブ走査の場合について説明したが、こ
の説明に限定されるものではない。例えば、図20に示
すような動作タイミングで信号電荷の転送を行うことに
より、インターレース走査を実現することもできる。
【0095】
【発明の効果】以上説明したように、請求項1,9に記
載の発明では、空の電荷井戸が光検出部に隣接するタイ
ミングを見計らって、信号電荷の移送を順次に実行す
る。したがって、本発明の構成では水平ラインの本数よ
りも電位井戸の数が少ないにもかかわらず、全ての水平
ラインについて読み出しを実行することが可能となる。
【0096】また、電位井戸が、水平ラインの垂直幅以
上に長いので、プログレッシブ走査(図21)やインタ
ーレース走査(図22)のように電位井戸が短い場合に
比べ、電位井戸の電荷収納量が大きくなる。したがっ
て、垂直転送路の狭小化を無理なく実現することが可能
となる。このような垂直転送路の狭小化に伴って、撮像
素子のチップサイズを縮小したり、撮像面上の画素数を
増やしたり、1画素当たりの開口率を増加させることが
容易に実現できる。
【0097】請求項2,10に記載の発明では、信号電
荷を有する電位井戸の少なくとも1つ以上を、複数の水
平期間をかけて垂直転送の端まで移動する。したがっ
て、従来のCSD方式(図23)に比べ、垂直転送路の
駆動速度を無理なく低減することができる。このように
垂直転送路の駆動速度が低減されることにより、垂直転
送路の駆動電流を効果的に低減し、消費電力を小さくす
ることができる。
【0098】また、駆動電流が減少することにより駆動
回路の発熱量が低下し、暗電流ノイズの発生を抑制する
ことができる。さらに、垂直転送路の駆動速度が低減さ
れることにより、駆動電圧の波形鈍りが少なくなり、信
号電荷の転送漏れを低く抑えることができる。請求項
3,11に記載の発明では、水平帰線期間中に垂直転送
路から水平転送路へ信号電荷を出力する。このようにタ
イミングをとることにより、垂直転送路と水平転送路と
のインターフェース部に信号電荷の蓄積手段などを特に
設ける必要がなくなる。
【0099】請求項4,12に記載の発明では、垂直転
送路と水平転送路との間で信号電荷を一時蓄積すること
により、水平転送路に信号電荷を出力する際のタイミン
グを調整する。したがって、水平転送路の駆動タイミン
グに拘束されずに、垂直転送路の駆動タイミングを設定
することが可能となる。請求項5,13に記載の発明で
は、空の電位井戸4aが、先行する電位井戸4の転送漏
れを拾得するので、転送漏れが別の信号電荷に混入する
などの不具合を確実に防ぐことができる。
【0100】請求項6,14に記載の発明では、空の電
位井戸において拾得された信号電荷の転送漏れを捨てず
に、元の信号電荷に加算する。したがって、転送漏れは
損なわれず、垂直転送路における信号電荷の転送効率を
一層高めることが可能となる。請求項7,15に記載の
発明では、垂直転送路上に、不要電荷を有する電位井戸
と、信号電荷を有する電位井戸とが混在し、一方向に垂
直転送される。これらの電荷の内、不要電荷であれば外
部に捨てられる。
【0101】したがって、所定の露光時間だけ蓄積され
た信号電荷のみが水平転送路に到達し、外部に読み出さ
れる。この露光時間を適宜に設定することにより、電子
シャッタ機能を実現することができる。請求項8,16
に記載の発明では、水平ラインの設定によりインターレ
ース走査の機能が簡便に実現される。
【図面の簡単な説明】
【図1】請求項1〜3に記載の発明を説明する図であ
る。
【図2】請求項4に記載の発明を説明する図である。
【図3】請求項5,6に記載の発明を説明する図であ
る。
【図4】請求項7に記載の発明を説明する図である。
【図5】請求項8に記載の発明を説明する図である。
【図6】第1の実施形態(請求項1〜3,9〜11に対
応)を示す図である。
【図7】垂直転送路11上の電極配置を示す図である。
【図8】本実施形態における電極φ1〜φ508の駆動
回路(垂直駆動回路12の一部)を示す図である。
【図9】ドライバ回路23を説明する図である。
【図10】第1の実施形態のタイミングチャートを示す
図である。
【図11】第1の実施形態の動作を説明する図である。
【図12】第2の実施形態(請求項1〜3,請求項9〜
11に対応)のタイミングチャートを示す図である。
【図13】第2の実施形態の動作を詳細に説明する図で
ある。
【図14】第3の実施形態(請求項5,6,13,14
に対応)のタイミングチャートを示す図である。
【図15】第3の実施形態の動作を詳細に説明する図で
ある。
【図16】第4の実施形態(請求項7,15に対応)を
示す図である。
【図17】第4の実施形態のタイミングチャートを示す
図である。
【図18】第4の実施形態の動作を詳細に説明する図で
ある。
【図19】請求項4,12に対応する実施形態を示す図
である。
【図20】請求項8,16に対応する実施形態のタイミ
ングチャートを示す図である。
【図21】従来の固体撮像装置(プログレッシブ走査)
の一例を示す図である。
【図22】従来の固体撮像装置(2線混合インターレー
ス走査)の一例を示す図である。
【図23】従来の固体撮像装置(CSD方式)の一例を
説明する図である。
【符号の説明】
1 光検出部 2 垂直転送路 3 水平転送路 4 電位井戸 5 垂直駆動手段 6 ゲート手段 7 蓄積手段 8 排出部 11 垂直転送路 12 垂直駆動回路 13 水平転送路 21 シフトレジスタ 22 AND回路 23 ドライバ回路 25 NAND回路 26 NAND回路 27 NOR回路 28 NOT回路 29 PMOSトランジスタ 30 NOT回路 31 NMOSトランジスタ 32 PMOSトランジスタ 33 NMOSトランジスタ 41 排出部 42 蓄積部 51 光検出部 52 垂直転送路 53 転送ゲート 54 水平転送路 55 出力アンプ 71 垂直転送路 72 蓄積部 73 ゲート部 74 水平転送路

Claims (16)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 水平垂直方向に配列された複数の光検出
    部と、 前記複数の光検出部に蓄積された信号電荷を予め定めら
    れた水平ラインごとに読み出し、垂直方向に転送するた
    めの垂直転送路の群と、 前記垂直転送路群から出力された信号電荷を水平方向に
    転送するための水平転送路とを備えた固体撮像装置にお
    いて、 前記水平ラインの垂直幅以上に長い電位井戸を前記垂直
    転送路上に複数形成し、かつ該電位井戸を垂直方向に順
    次移動させる垂直駆動手段と、 前記水平ラインの読み出し順に従って該当する光検出部
    を順次選び、選ばれた光検出部が空の電位井戸に隣接す
    るタイミングに同期して、該光検出部に蓄積された信号
    電荷を前記空の電位井戸に移送するゲート手段とを備え
    たことを特徴とする固体撮像装置。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載の固体撮像装置におい
    て、 前記垂直駆動手段は、 前記信号電荷を有する前記電位井戸の少なくとも1つ以
    上を、複数の水平期間をかけて前記垂直転送路の端まで
    移動させることを特徴とする固体撮像装置。
  3. 【請求項3】 請求項1または請求項2に記載の固体撮
    像装置において、 前記垂直駆動手段は、 前記水平転送路において信号電荷の転送動作が中断する
    水平帰線期間中に、前記垂直転送路の端に位置する電位
    井戸内の信号電荷を前記水平転送路へ出力することを特
    徴とする固体撮像装置。
  4. 【請求項4】 請求項1または請求項2に記載の固体撮
    像装置において、 前記垂直転送路群と前記水平転送路とのインターフェー
    ス部に信号電荷を一時蓄積するための蓄積手段を備え、 前記垂直駆動手段は、 前記垂直転送路の端に位置する電位井戸内の信号電荷を
    前記蓄積手段に一時蓄積し、前記水平転送路において信
    号電荷の転送動作が中断する水平帰線期間を待って、前
    記蓄積手段内の信号電荷を前記水平転送路へ出力するこ
    とを特徴とする固体撮像装置。
  5. 【請求項5】 請求項1乃至請求項4のいずれか1項に
    記載の固体撮像装置において、 前記ゲート手段は、 前記信号電荷を有する電位井戸に後続して、信号電荷を
    有しない空の電位井戸を配することを特徴とする固体撮
    像装置。
  6. 【請求項6】 請求項5に記載の固体撮像装置におい
    て、 前記垂直駆動手段は、 電位井戸に蓄積された信号電荷と、該電位井戸に後続す
    る空の電位井戸において拾得された前記信号電荷の漏れ
    分とを水平転送路上へ加算出力することを特徴とする固
    体撮像装置。
  7. 【請求項7】 請求項1乃至請求項6のいずれか1項に
    記載の固体撮像装置において、 前記垂直転送路上の不要電荷を掃き出すための排出部を
    備え、 前記ゲート手段は、 前記光検出部に蓄積された不要電荷を電位井戸に移送
    し、かつ該移送時点から所定の露光時間の経過後に、前
    記光検出部に蓄積された信号電荷を別の電位井戸に移送
    し、 前記垂直駆動手段は、 前記ゲート手段の移送タイミングに基づいて、前記垂直
    転送路上の予め定められた箇所を通過する電荷が前記不
    要電荷か否かを選別し、前記不要電荷を前記排出部へ掃
    き出すことを特徴とする固体撮像装置。
  8. 【請求項8】 請求項1乃至請求項7のいずれか1項に
    記載の固体撮像装置において、 前記水平ラインは、 前記光検出部の水平行の束から構成され、かつ該水平行
    の束は奇数フィールドと偶数フィールドとにおいて垂直
    方向に半位相ずれることを特徴とする固体撮像装置。
  9. 【請求項9】 水平垂直方向に配列された複数の光検出
    部と、前記複数の光検出部に蓄積された信号電荷を水平
    ラインごとに読み出し、垂直方向に転送するための垂直
    転送路の群と、前記垂直転送路群から出力された信号電
    荷を水平方向に転送するための水平転送路とを備えてな
    る固体撮像素子を駆動して、前記信号電荷の読み出しを
    行う駆動方法において、 前記水平ラインの垂直幅以上に長い電位井戸を前記垂直
    転送路上に複数形成し、かつ前記電位井戸を垂直方向に
    順次移動させるステップと、 前記水平ラインの読み出し順に従って該当する前記光検
    出部を順次選び、選ばれた光検出部が空の電位井戸に隣
    接するタイミングに同期して、該光検出部内の信号電荷
    を前記空の電位井戸に移送するステップとを有すること
    を特徴とする固体撮像素子の駆動方法。
  10. 【請求項10】 請求項9に記載の固体撮像素子の駆動
    方法において、 前記信号電荷を有する前記電位井戸の少なくとも1つ以
    上を、複数の水平期間をかけて前記垂直転送路の端まで
    移動させることを特徴とする固体撮像素子の駆動方法。
  11. 【請求項11】 請求項9または請求項10に記載の固
    体撮像素子の駆動方法において、 前記水平転送路において信号電荷の転送動作が中断する
    水平帰線期間中に、前記垂直転送路の端に位置する電位
    井戸内の信号電荷を水平転送路へ出力することを特徴と
    する固体撮像素子の駆動方法。
  12. 【請求項12】 請求項9または請求項10に記載の固
    体撮像素子の駆動方法において、 前記垂直転送路の端に位置する電位井戸内の信号電荷を
    一時蓄積するステップと、 前記水平転送路において信号電荷の転送動作が中断する
    水平帰線期間を待って、一時蓄積された該信号電荷を水
    平転送路へ出力するステップとを有することを特徴とす
    る固体撮像素子の駆動方法。
  13. 【請求項13】 請求項9乃至請求項12のいずれか1
    項に記載の固体撮像素子の駆動方法において、 前記信号電荷を有する電位井戸に後続して、信号電荷を
    有しない空の電位井戸を配することを特徴とする固体撮
    像素子の駆動方法。
  14. 【請求項14】 請求項13に記載の固体撮像素子の駆
    動方法において、 電位井戸に蓄積された信号電荷と、該電位井戸に後続す
    る空の電位井戸において拾得された前記信号電荷の漏れ
    分とを水平転送路上へ加算出力することを特徴とする固
    体撮像素子の駆動方法。
  15. 【請求項15】 請求項9乃至請求項14のいずれか1
    項に記載の固体撮像素子の駆動方法において、 前記光検出部に蓄積された不要電荷を電位井戸に移送
    し、かつ該移送時点から所定の露光時間の経過後に、前
    記光検出部に蓄積された信号電荷を別の電位井戸に移送
    するステップと、 前記不要電荷の移送タイミングに基づいて、前記垂直転
    送路上の予め定められた箇所を通過する電荷が前記不要
    電荷か否かを選別し、該不要電荷を外部に掃き出すステ
    ップとを有することを特徴とする固体撮像素子の駆動方
    法。
  16. 【請求項16】 請求項9乃至請求項15のいずれか1
    項に記載の固体撮像素子の駆動方法において、 前記水平ラインは、 前記光検出部の水平行の束から構成され、かつ該水平行
    の束は奇数フィールドと偶数フィールドとにおいて垂直
    方向に半位相ずれることを特徴とする固体撮像素子の駆
    動方法。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001244451A (ja) * 2000-02-29 2001-09-07 Fuji Film Microdevices Co Ltd 固体撮像装置

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