JPH10202565A

JPH10202565A - ワーク昇降装置およびワーク把持装置

Info

Publication number: JPH10202565A
Application number: JP2724897A
Authority: JP
Inventors: Kenji Oguro; 謙治小黒
Original assignee: Mitsui Engineering and Shipbuilding Co Ltd
Current assignee: Mitsui Engineering and Shipbuilding Co Ltd
Priority date: 1997-01-27
Filing date: 1997-01-27
Publication date: 1998-08-04

Abstract

(57)【要約】【課題】設置スペースを小さくする。【解決手段】回動軸４０は、クラッチ４６を介して容
器１０の外部に設けたサーボモータ４４の動力を受け、
ベース１８を回動させる。ボックス３０内の回動軸４０
には、直交する２辺を有する回動板が取り付けてあり、
ボックス３０内の摺動部材が２辺と係合することによ
り、ベース１８を水平位置と垂直位置とに固定保持す
る。摺動部材は、エアモータ９４の回転力が伝達される
軸９２に取り付けた円板に設けたピンによって回動板と
の係合が解除される。軸９２がクラッチ９６によってエ
アモータ９４から切り離されると、引張りばねが摺動部
材を回動板に係合させる。ボックス３０が固定してある
ナット部材２６は、昇降サーボモータ４５によってボー
ルねじ軸２４が回転すると昇降し、ワークを固定したベ
ース１８を昇降させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ワークを昇降させ
るワーク昇降装置に係り、特に真空容器内などにおいて
ワークを昇降させるのに好適なワーク昇降装置およびワ
ーク把持装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体ウエハやガラス基板などに薄膜を
形成したり、これをエッチングしたりする場合、半導体
ウエハやガラス基板が導体でないところから、静電気力
を利用した静電チャックがしばしば用いられる。この静
電チャックは、絶縁体に内蔵させた電極に高圧の直流電
圧を印加して絶縁体を分極させ、この分極により生じた
静電引力により半導体ウエハやガラス基板などのワーク
を吸着固定するようになっている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところが、近年、半導
体ウエハやガラス基板を立てた状態で成膜やエッチング
などの処理をすることが多くなってきており、静電チャ
ックを使用した場合、ワークを立てた状態で固定保持す
るために、非常に高い電圧を電極に印加する必要があ
り、絶縁等の面で問題を生ずる。しかも、近年は、ワー
クの大型化に伴ってワーク重量の増大が著しく、実質的
に静電チャックを使用することができない。また、近年
は、ワークを立てた状態で上下方向等に移動させてエッ
チング処理等をするようになっており、従来の静電チャ
ックでは構造が複雑で、これらの要求に対応することが
できない。特に大型化の著しいガラス基板は、一般に水
平なベース上に配置し、ベースを一方向に往復移動させ
ることによってエッチングなどを行っている。ところ
が、大きなガラス基板を水平方向に移動させるため、広
い設置スペースを必要とする。また、ガラス基板は、大
型化されてきているだけでなく、ガラス基板の薄肉化が
進展し、薄く割れやすいガラス基板を真空容器中で立て
て保持することが容易でない。

【０００４】本発明は、前記従来技術の欠点を解消する
ためになされたもので、設置スペースを小さくできるよ
うにすることを目的としている。また、本発明は、ガラ
ス基板などの薄いワークを容易に把持することができる
ようにすること等を目的としている。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明に係るワーク昇降装置は、上面にワークが
配置される容器内に設けたベースと、このベースに前記
ワークを固定する把持手段と、前記容器の外部に設置さ
れ、前記ベースを水平面と交差させて回動させる回動手
段と、前記容器内の前記回動手段と前記ベースとの間に
設られて回動手段の回動力をベース側に伝達、遮断する
連結手段と、前記ベース側に取り付けられた係合部と、
この係合部と係合可能に設けられ、前記ベースを水平位
置と水平面と交差した位置とに固定保持する位置決め手
段と、前記ベースを昇降させる昇降手段とを有する構成
にしてある。係合部は、ベースに固定した回動軸に取り
付けられた交差する２辺を有する回動板とすることがで
きる。また、位置決め手段は、回動板の交差する２辺と
係合可能な摺動部材と、容器の外部に配設され、摺動部
材を前記回動板から後退させる作動部と、摺動部材を回
動板との係合方向に付勢して両者を係合させる弾性体
と、容器内の作動部と摺動部材との間に設けられて作動
部の作動力を摺動部材側に伝達、遮断する第２の連結手
段とを有するように構成できる。

【０００６】そして、上記のワーク昇降装置に適用可能
なワーク把持装置は、ワークが配置されるベースの周縁
部に配置され、前記ワークをベースに押圧するための押
圧部材と、この押圧部材と前記ベースとの間に介装さ
れ、押圧部材を介して前記ワークを前記ベースに押圧固
定する弾性部材と、前記押圧部材を前記弾性部材の弾性
力に抗して移動させ、押圧部材による前記ワークの固定
を解除する固定解除部材とを有する構成にしてある。押
圧部材は、ワークの大きさ、重さなどに応じて適宜の数
設ける。

【０００７】

【作用】上記のごとく構成した本発明に係るワーク昇降
装置は、ガラス基板などのワークが水平位置にあるベー
スの上面に配置されると、これを把持手段によってベー
スに把持固定したのち、回動手段によって回動させると
ともに、位置決め手段を係合部に係合させてベースを水
平面と交差した位置、例えば垂直位置に固定保持する。
そして、（第１の）連結手段によってベース側と回動手
段側とを切り離したのち、昇降手段によってワークを固
定したベースを水平面と交差させた状態のまま昇降させ
る。従って、ベースを回動させるモータなどの回動手段
がベース側と切り離されるとともに、ワークを固定した
ベースが上下方向に移動するため、ワークが大型のガラ
ス基板などであったとしても設置スペースを小さくする
ことができる。しかも、モータなどの回動手段を容器の
外部に設置しているため、回動手段による容器内の汚染
を防ぐことができる。

【０００８】そして、係合部材をベースに固定した回動
軸に取り付けた交差する２辺を有する回動板とし、位置
決め手段に係合板と係合する摺動部材を設けると、この
摺動部材を回動板の交差する２辺に係合させることによ
り、複雑な制御をすることことなくベースを所定の２位
置、例えば水平位置と垂直位置とに容易に位置決めする
ことができ、構造の簡素化とコストの低減とを図ること
ができる。さらに、回動板と摺動部材との係合を解除す
るときに、作動部によって摺動部材を回動板から後退さ
せ、回動板と摺動部材とを係合させるときに、第２の連
結手段によって作動部を摺動部材側から切り離すと、弾
性部材が摺動部材を回動板側に移動させて両者を係合さ
せるため、作動部による係合動作を行わせる必要がな
く、係合制御が容易であるとともに、作動部を容器の外
部に設置できるため、作動部による容器内の汚染を防止
することができる。また、上記のごとく構成した本発明
に係るワーク把持装置は、ワークをベース

【０００９】に配置する場合、押圧部材を、固定解除部
材によって弾性部材の弾性力に抗して移動させてワーク
の固定解除状態にする。そして、ベースと押圧部材との
間にワークを配置して固定解除部材を押圧部材から後退
させると、押圧部材とベースとの間に介装した弾性部材
が押圧部材をワークをベースに押圧する方向に移動さ
せ、押圧部材を介してワークをベースに固定するため、
ガラス基板のような薄く破損しやすいワークの固定、解
除を容易に行える。特に、真空容器内のように、真空吸
着式の把持装置が使用できないような環境においてもワ
ークを確実に把持、固定することができる。

【００１０】

【発明の実施の形態】本発明に係るワーク昇降装置およ
びワーク把持装置の好ましい実施の形態を、添付図面に
従って詳細に説明する。図２は、実施の形態に係るワー
ク昇降装置を設けた真空容器の一部断面図である。図２
において、真空容器１０は、紙面に直交した方向が上下
方向となっている。また、真空容器１０は、隔壁１２に
よって処理室１４と、ワーク昇降装置が配置してある昇
降室１６とに区画してあり、昇降室１６内の摺動部から
生じたパーティクルなどが容易に処理室１４に侵入しな
いようにしてある。そして、処理室１４には、ベースで
あるプラテン１８が配設してあって、これにワークであ
るガラス基板２０が固定してあり、ガラス基板２０に成
膜やエッチング等の処理を行うことができるようにして
ある。

【００１１】一方、昇降室１６には、ガラス基板２０を
固定したプラテン１８を昇降させるワーク昇降装置の昇
降手段を構成しているボールねじ軸２４が配設してあ
る。そして、ボールねじ軸２４に螺合させたナット部材
２６には、前面側（図２の左側）に取付け板２８を介し
て、詳細を後述する位置決め機構を収納したボックス３
０が固定してある。また、ナット部材２６の背面には、
ブラケット３２を介して一対の摺動ガイド３４が取り付
けてある。これらの摺動ガイド３４は、ナット部材２６
の回転を阻止するとともに、プラテン１８を上下方向に
案内するためのもので、昇降室１６の壁面の上下方向に
固定した一対のガイドレール３６に摺動自在に嵌合して
いる。

【００１２】プラテン１８は、ガラス基板２０が配置さ
れる側と反対側の面にボス部３８が形成してあって、こ
のボス部３８に回動軸４０の一端が固定してある。そし
て、プラテン１８は、回動軸４０によって図１の矢印４
２のように水平面と交差して回動させられるとともに、
回動軸４０を介してボックス３０に支持されている。す
なわち、回動軸４０は、ボックス３０に回転自在に支持
されている。このボックス３０は、ナット部材２６によ
って図１の矢印４１のようにボールねじ軸２４に沿って
昇降させられることにより、回動軸４０を介してプラテ
ン１８を矢印４３のように昇降する。そして、ボールね
じ軸２４は、下端が真空容器１０の床部（図示せず）を
貫通していて、真空容器１０の外方に設置した昇降サー
ボモータ４５に接続してある。この昇降サーボモータ４
５は、ボールねじ軸２４を回転してナット部材２６をボ
ールねじ軸２４に沿って昇降させる。また、ボールねじ
軸２４には、真空容器１０の床部を貫通する部分に磁性
体シール４７が設けてあって、ボールねじ軸２４の貫通
部から真空が破れないようにしてある。

【００１３】回動軸４０は、ボックス３０を貫通した他
端に、回動手段であるサーボモータ４４の回転力を伝
達、遮断する第１の連結手段であるクラッチ４６を構成
しているクラッチ板４７が設けてある。そして、サーボ
モータ４４は、スライドベース４８の上に配置した摺動
台５０に固定してあって、サーボモータ４４の駆動軸５
２の軸方向に摺動自在となっている。また、摺動台５０
には、スライドベース４８の上面に取り付けたエアシリ
ンダなどから構成した進退アクチュエータ５４が接続し
てあって、この進退アクチュエータ５４を作動させるこ
とによりサーボモータ４４を回動軸４０に対して進退さ
せ、駆動軸５２のクラッチ板５６と回動軸４０のクラッ
チ板４７とを係合、解除できるようにしてある。駆動軸
５２は、図２に示したように昇降室１６の壁部を貫通し
て外部に露出していて、その昇降室１６から露出させた
端部にサーボモータ４４が設けてある。そして、駆動軸
５２と昇降室１６の壁部との間には、ベロー５８が配設
してあって、駆動軸５２の軸方向移動を可能にするとと
もに、駆動軸５２の貫通部から真空容器１０の真空が破
れないようにしてある。

【００１４】プラテン１８には、図１に示したように、
ガラス基板２０をプラテン１８に固定するための、把持
装置を構成している把持部材である把持具６０が複数
（この実施の形態の場合４つ）設けてある。また、プラ
テン１８には、水平位置から９０度回動して垂直位置と
なったときに、下辺となる辺にガラス基板２０が滑り落
ちるのを防止するとともに、後述するようにガラス基板
２０をプラテン１８に配置する際の、ガラス基板２０の
前進限度位置を定めるためのワーク受６２が設けてあ
る。そして、プラテン１８は、図３に示したように、水
平状態における上面側のガラス基板２０の進入方向に沿
った両側縁部に上方に突出形成した位置決め凸部６４が
形成してあって、ガラス基板２０を一定位置に配置でき
るようにしてある。

【００１５】把持具６０は、押圧部材である本体６６が
コ字状に形成してあって、プラテン１８の縁部を跨いで
配置してある。そして、把持具６０は、図３におけるプ
ラテン１８の上面側に位置する上側対向部６８のプラテ
ン１８との対面側に、ガラス基板２０をプラテン１８に
押圧する押圧部７０が一体に形成してある。さらに、把
持具６０の下側対向部７２には、プラテン１８の下面と
の間に介装した圧縮ばね７４が取り付けてある。この圧
縮ばね７４は、把持具６０を下方に付勢し、押圧部７０
を介してガラス基板２０をプラテン１８の上面に押圧固
定する。

【００１６】各把持具６０の下方には、把持具６０によ
るガラス基板２０の固定を解除するための固定解除部材
である押上げピン７６が配設してある。これらの押上げ
ピン７６は、プラテン１８の下方に設けたシール板７７
を貫通していて、シール板７７の下方に配設したエアシ
リンダなどのアクチュエータ７８に取り付けたアーム８
０に固定してある。そして、押上げピン７６は、アクチ
ュエータ７８を作動させてアーム８０を矢印８２の上昇
させると、把持具６０を圧縮ばね７４の弾性力に抗して
上方に移動させ、把持具６０によるガラス基板２０の固
定を解除できるようになっている。また、シール板７７
の下部の押上げピン７６の周囲には、ベロー８４が配設
してあって、押上げピン７６が貫通しているピン孔から
空気が流入するのを防止している。なお、アーム８０を
板状に形成してこのアーム８０に各把持具６０に対応さ
せた押上げピン７６を取り付けることができる。

【００１７】回動軸４０のボックス３０に挿入してある
部分には、図４に示したように、係合部である回動板８
６が固定してある。この回動板８６は、プラテン１８を
水平位置と垂直位置とに位置決めするためのもので、円
板の外周縁部を切り欠いて形成した水平位置決め辺８８
と垂直位置決め辺９０との直交する２辺を有している。
また、ボックス３０内には、図１に示したように、回動
軸４０と平行な軸９２の先端部が挿入してある。この軸
９２は、位置決め手段を構成しており、ボックス３０か
ら突出している他端に、駆動部であるエアモータ９４の
回転力を伝達、遮断する第２の連結手段となるクラッチ
９６のクラッチ板９８が設けてある。

【００１８】エアモータ９４は、真空容器１０の外部に
設けてあって、サーボモータ４４と同様にスライドベー
ス１００の上に配置した摺動台１０２の上に固定してあ
って、エアモータ９４の回転軸１０４の軸方向に摺動自
在となっている。また、摺動台１０２には、エアシリン
ダなどから構成した進退アクチュエータ１０６が接続し
てあり、エアモータ９４を回転軸１０４の軸方向に往復
移動させることができるようになっている。そして、回
転軸１０４は、先端部が昇降室１６に挿入してあって、
先端に軸９２のクラッチ板９８と係合するクラッチ板１
０８を有している。さらに、昇降室１６の壁部と回転軸
１０４との間には、ベロー１１０が配設してあって、回
転軸１０４の軸方向移動を可能にするとともに、回転軸
１０４の貫通部から真空が破れのを防止している。

【００１９】軸９２の先端部には、図４に示したよう
に、円板１１２が取り付けてある。この円板１１２は、
外周縁部にピン１１４が軸線方向に突設してあって、こ
のピン１１４を介して摺動部材１１６を矢印１１８のよ
うに回動板８６から後退させることができるようになっ
ている。すなわち、摺動部材１１６は、下端にアーム１
２０が円板１１２側に突設してあって、このアーム１２
０に形成した水平方向の長孔１２２にピン１１４が挿入
され、円板１１２が矢印１２４のように回転することに
より、ピン１１４がアーム１２０を介して摺動部材１１
６を矢印１１６のように引き下げ、回動板８６の水平位
置決め辺８８または垂直位置決め辺９０と摺動部材１１
６との係合を解除する。また、摺動部材１１６は、ボッ
クス３０の上下方向に設けたガイドレール１２６に摺動
自在に嵌合しているとともに、上端に引張りばね１２８
の下端が接続してある。この引張りばね１２８は、上端
がボックス３０の天井部に取り付けてあって、摺動部材
１１６を上方に、すなわち回動板８６と係合する方向に
付勢しており、軸９２がクラッチ９６によって回転軸１
０４から切り離されると、摺動部材１１６を矢印１３０
のように引き上げて円板１１２を矢印１３２のように回
動させる。また、摺動部材１１６は、回動板８６側の上
端部に傾斜部１３４が形成してあって、辺８８または辺
９０と容易に係合できるようにしてある。

【００２０】上記のごとく構成した実施の形態の作用
は、次ぎのとおりである。まず、プラテン１８は、図３
に示したように、ワークの受渡し位置である水平位置に
しておく。このとき、摺動部材１１６は、図４に示した
ように、引張りばね１２８によって上限位置に引き上げ
られており、回動板８６の水平位置決め辺８８と係合
し、プラテン１８を水平位置に固定保持している。ま
た、各把持具６０は、押上げピン７６によって上方に押
上げられていて、押圧部７０とプラテン１８の上面との
間にワークであるガラス基板２０を挿入できる間隙が形
成されている。

【００２１】図示しない搬送ロボットによってガラス基
板２０が図３の紙面と直交した方向に搬入され、プラテ
ン１８と押圧部７０との間を前進して先端がワーク受６
２に接触してプラテン１８の上面に配置されると、図示
しない制御装置がアクチュエータ７８を作動し、アーム
８０を介して押上げピン７６を下降させる。これによ
り、把持具６０は、圧縮ばね７４のばね力によって下方
に移動し、押圧部７０がガラス基板２０の周縁部をプラ
テン１８の上面に押圧して固定する。その後、制御装置
は、進退アクチュエータ４８、１０６を作動して摺動台
５０、１０２を介してサーボモータ４４とエアモータ９
４を真空容器１０に向けて前進させ、駆動軸５２および
回転軸１０４をより深く昇降室１６に押し込み、クラッ
チ４６を介して駆動軸５２と回動軸４０とを連結し、ま
たクラッチ９６を介して回転軸１０４と軸９２とを連結
するとともに、エアモータ９４を駆動して円板１１２を
矢印１２４のように図４の時計方向に回転させる。これ
により、円板１１２に設けたピン１１４が長孔１２２の
内部を摺動しつつ２点鎖線に示した位置に下降し、アー
ム１２０を介して摺動部材１１６を矢印１１８のように
回動板８６から後退させ、摺動部材１１６と水平位置決
め辺８８との係合を解除して回動板８８を回動可能状態
にする。

【００２２】回動板８８が回動可能状態になると、サー
ボモータ４４が駆動され、駆動軸５２を介して回動軸４
０を図１の矢印４２のように回動させ、回動板８６を図
４の反時計方向に９０度回転させて垂直位置決め辺９０
が上下方向となるようにし、プラテン１８を図１に示し
たように垂直に立てる。そして、制御装置が進退アクチ
ュエータ１０６を作動して摺動台１０２を後退させてク
ラッチ９６を切り離すと、引張りばね１２８が摺動部材
１１６を図４の矢印１３０のように引き上げ、垂直位置
決め辺９０に摺動部材１１６を係合させてプラテン１８
を垂直位置に固定保持する。このとき、円板１１２は、
摺動部材１１６の上昇に伴ってピン１１４を介して矢印
１３２のように反時計方向に回転させられ、ピン１１４
が実線で示した初期位置に戻される。

【００２３】その後、制御装置は、進退アクチュエータ
５４を作動して摺動台５０を後退させてクラッチ４６を
切り離すとともに、昇降サーボモータ４５を駆動してボ
ールねじ軸２４を図１の矢印４９のように回転させ、ナ
ット部材２６を矢印４１のように複数回昇降させる。こ
れにより、ナット部材２６に固定したボックス３０に回
動軸４０を介して支持されているプラテン１８が矢印４
３のように昇降し、ガラス基板２０の処理が行われる。
そして、ガラス基板２０の処理が終了したならば、昇降
サーボモータ４５を介してナット部材２６を初期位置に
停止させるとともに、前記と同様にしてクラッチ４６、
９６を接続する。

【００２４】次ぎに、制御装置は、エアモータ９４を駆
動して摺動部材１１６を回動板８６から後退させて回動
板８６との係合を解除する。また、サーボモータ４４を
駆動して回動板８６を図４の時計方向に回動させ、水平
位置決め辺８８が上下方向となる初期位置に戻すととも
に、進退アクチュエータ１０６を作動してクラッチ９６
を切り離し、摺動部材１１６を水平位置決め辺８８と係
合させる。さらに、制御装置は、摺動部材１１６が回動
板８６と係合すると、進退アクチュエータ５４を作動し
て駆動軸５２を後退させ、クラッチ４６を切り離す。そ
の後、制御装置は、図３に示したアクチュエータ７８を
作動してアーム８０を介して押上げピン７６を上昇さ
せ、把持具６０を圧縮ばね７４の弾性力に抗して上方に
移動させ、把持具６０によるガラス基板２０の把持、固
定状態を解除する。プラテン１８上のガラス基板２０
は、搬送ロボットによって水平方向に引き出されて次工
程に搬送される。そして、プラテン１８に次ぎのガラス
基板２０が配置されると、前記の工程が繰り返される。

【００２５】このように、実施の形態においては、プラ
テン１８を回動させるサーボモータ４４がクラッチ４６
によってプラテン１８側と切り離されるとともに、ガラ
ス基板２０を固定したプラテン１８を上下方向に移動さ
せるようにしているため、設置スペースを小さくするこ
とができる。また、昇降手段としてボールねじを採用し
たことにより、昇降手段を小さくできるとともに、ボー
ルねじ軸２４を配置した昇降室１６を隔壁１２によって
処理室１４から区画したことにより、昇降室１６内に生
じたパーティクルなどによる処理室１４の汚染を最小限
にすることができる。そして、サーボモータ４４やエア
モータ９４をクラッチ４６、９６によって真空容器１０
側と切り離し可能にして真空容器１０の外部に設置した
ことにより、これらの駆動装置による真空容器１０内の
汚染を防止することができる。

【００２６】しかも、プラテン１８の水平位置と垂直位
置との位置決めを、回動板８６に形成した直交する２辺
８８、９０と、これらの辺に係合する摺動部材１１６と
のより行っているため、複雑な位置決め制御を必要とせ
ず、コストの低減を図ることができる。そして、摺動部
材１１６と回動板８６の水平位置決め辺８８または垂直
位置決め辺９０との係合を引張りばね１２８によって行
っているため、複雑な係合制御を必要とせず、係合制御
が容易で構造の簡素化とコストの低減を図ることができ
る。

【００２７】また、実施の形態の把持具６０において
は、ガラス基板２０の把持固定を圧縮ばね７４のばね力
で行っているため、真空容器１０内においてもガラス基
板２０の把持、固定を容易に行うことができる。しか
も、ガラス基板２０の固定の解除は、押上げピン７６に
よって把持具６０を圧縮ばね７６の弾性力に抗して移動
させるだけであるため、ガラス基板２０の固定、解除を
容易に行うことができる。

【００２８】なお、前記実施の形態においては、回動板
８６に直交する水平位置決め辺８８と垂直位置決め辺９
０との２辺を設けて、プラテン１８を水平位置と垂直位
置とに固定保持する場合について説明したが、摺動部材
１１６と係合する２つの辺を斜交させて、プラテン１８
を水平位置と、水平面と任意の角度で傾斜した斜交位置
とに位置決め固定できるようにしてもよい。また、前記
実施の形態においては、進退アクチュエータ５４、１０
６、アクチュエータ７８がエアシリンダである場合につ
いて説明したが、カム装置やリンク機構などを用いても
よい。そして、前記実施の形態においては、ワークがガ
ラス基板２０である場合について説明したが、ワークは
半導体ウエハ等であってもよい。

【００２９】

【発明の効果】以上に説明したように、本発明のワーク
昇降装置によれば、ワークを水平位置のベースの上面に
配置固定し、ベースを回動手段によって回動させるとと
もに、位置決め手段をベース側に設けた係合部に係合さ
せてベースを水平面と交差した位置とに固定保持し、
（第１の）連結手段によってベース側と回動手段側とを
切り離したのち、昇降手段によってワークを固定したベ
ースを水平面と交差させた状態のまま昇降させため、ベ
ースを回動させるモータなどの回動手段がベース側と切
り離されるとともに、ワークを固定したベースが上下方
向に移動するため、ワークが大型のガラス基板などであ
ったとしても設置スペースを小さくすることができる。
しかも、モータなどの回動手段を容器の外部に設置して
いるため、回動手段による容器内の汚染を防ぐことがで
きる。

【００３０】さらに、係合部をベースに固定した回動軸
に取り付けた交差する２辺を有する回動板とし、位置決
め手段に係合板の２辺と係合する摺動部材を設けたこと
により、複雑な制御をすることことなくベースを所定の
２位置、例えば水平位置と垂直位置とに容易に位置決め
することができ、構造の簡素化とコストの低減を図るこ
とができる。そして、回動板と摺動部材との係合を解除
するときに作動部によって摺動部材を回動板から後退さ
せ、回動板と摺動部材とを係合させるときに、第２の連
結手段によって摺動部材側から切り離して、弾性部材に
よって摺動部材を回動板側に移動させて両者を係合させ
るため、作動部によって係合動作を行わせる必要がな
く、係合制御が容易であるとともに、作動部を容器の外
部に設置できるため、作動部による容器内の汚染を防止
することができる。

【００３１】また、本発明に係るワーク把持装置は、ワ
ークの固定を解除する場合、固定解除部材によって押圧
部材を弾性部材の弾性力に抗して移動させるだけである
ため、ワークの固定解除を容易に行うことができる。そ
して、固定解除部材を押圧部材から後退させると、押圧
部材とベースとの間に介装した弾性部材が押圧部材をワ
ークをベースに押圧する方向に移動させてワークをベー
スに固定するため、ガラス基板のような薄く破損しやす
いワークの固定を容易に行える。特に、弾性部材によっ
てワークを固定するようにしているため、真空容器内の
ように、真空吸着式の把持装置が使用できないような環
境においてもワークを確実に把持、固定することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態に係るワーク昇降装置の斜
視図である。

【図２】本発明の実施の形態に係るワーク昇降装置を備
えた真空容器の要部断面図である。

【図３】実施の形態に係るワーク把持装置の正面図であ
る。

【図４】実施の形態に係る位置決め手段の要部の説明図
である。

【符号の説明】

１０容器（真空容器）１８ベース（プラテン）２０ワーク（ガラス基板）２４、２６昇降手段（ボールねじ軸、昇降サーボ
モータ）４０回動軸４４回動手段（サーボモータ）４６第１の連結手段（クラッチ）５４、１０６進退アクチュエータ６０把持手段（把持具）６６押圧部材（把持具本体）７８押圧部７４弾性部材（圧縮ばね）７６固定解除部材（押上げピン）７８アクチュエータ８６係合部（回動板）８６水平位置決め辺９０垂直位置決め辺９２、９４、１０４、１１２、１１６位置決め手段
（軸、エアモータ、回転軸、円板、摺動部材）

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】上面にワークが配置される容器内に設け
たベースと、このベースに前記ワークを固定する把持手
段と、前記容器の外部に設置され、前記ベースを水平面
と交差させて回動させる回動手段と、前記容器内の前記
回動手段と前記ベースとの間に設られて回動手段の回動
力をベース側に伝達、遮断する連結手段と、前記ベース
側に取り付けられた係合部と、この係合部と係合可能に
設けられ、前記ベースを水平位置と水平面と交差した位
置とに固定保持する位置決め手段と、前記ベースを昇降
させる昇降手段とを有することを特徴とするワーク昇降
装置。
【請求項２】前記係合部は、前記ベースに固定した回
動軸に取り付けられた交差する２辺を有する回動板であ
り、前記位置決め手段は、前記回動板の交差する２辺と係合
可能な摺動部材と、前記容器の外部に配設され、前記摺
動部材を前記回動板から後退させる作動部と、前記摺動
部材を前記回動板との係合方向に付勢して両者を係合さ
せる弾性体と、前記容器内の前記作動部と前記摺動部材
との間に設けられて作動部の作動力を摺動部材側に伝
達、遮断する第２の連結手段とを有することを特徴とす
る請求項１に記載のワーク昇降装置。
【請求項３】ワークが配置されるベースの周縁部に配
置され、前記ワークをベースに押圧するための押圧部材
と、この押圧部材と前記ベースとの間に介装され、押圧
部材を介して前記ワークを前記ベースに押圧固定する弾
性部材と、前記押圧部材を前記弾性部材の弾性力に抗し
て移動させ、押圧部材による前記ワークの固定を解除す
る固定解除部材とを有することを特徴とするワーク把持
装置。
【請求項４】上面にワークが配置される容器内に設け
たベースと、このベースの周縁部に配置されて前記ワー
クをベースに押圧するための押圧部材と、この押圧部材
と前記ベースとの間に介装され、押圧部材を介して前記
ワークを前記ベースに押圧固定する弾性部材と、前記押
圧部材を前記弾性部材の弾性力に抗して移動させ、押圧
部材による前記ワークの固定を解除する固定解除部材
と、前記容器の外部に設置され、前記ベースを水平面と
交差させて回動させる回動手段と、前記容器内の前記回
動手段と前記ベースとの間に設られて回動手段の回動力
をベース側に伝達、遮断する第１の連結手段と、前記ベ
ースに固定した回動軸に取り付けられた交差する２辺を
有する回動板と、この回動板の交差する２辺と係合可能
なに設けられ、前記ベースを水平位置と水平面と交差さ
せた位置とに固定保持する摺動部材と、前記容器の外部
に配設され、前記摺動部材を前記回動板から後退させる
作動部と、前記摺動部材を前記回動板との係合方向に付
勢して両者を係合させる弾性体と、前記容器内の前記作
動部と前記摺動部材との間に設けられて作動部の作動力
を摺動部材側に伝達、遮断する第２の連結手段と、前記
ベースを昇降させる昇降手段とを有することを特徴とす
るワーク昇降装置。