JPH10201262A - 振動アクチュエータ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 従来の振動アクチュエータでは、加圧機構を
解消することはできないため、達成できる小型化には限
界がある。 【解決手段】 振動子２と、振動子２に加圧接触して振
動子２との間で相対運動を発生する移動子１４と、振動
子２及び移動子１４を支持する支持部材１０とを備える
振動アクチュエータ１であって、支持部材１０が、振動
子２と移動子１４との間の加圧方向に関する弾性変形部
を支持ピン１２として備えるとともに、振動子２と移動
子１４との間の加圧が、支持ピン１２が発生する弾性力
により、行われる。これにより、専用の加圧機構が不要
となり、その分だけ、超音波アクチュエータ１の全長を
低減できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、振動アクチュエー
タに関し、より具体的には、振動子と、振動子に加圧さ
れた状態で接触して振動子との間で相対運動を発生する
相対運動部材と、振動子及び相対運動部材を支持する支
持部材とを備える振動アクチュエータに関する。

【０００２】

【従来の技術】振動アクチュエータは、小型，軽量，低
速さらには高トルク等の優れた特徴を有する。そのた
め、カメラ製品等を始めとして次々に実用化が図られて
いる。近年では、よりいっそう活発に開発が推進されて
いる。

【０００３】図７は、この振動アクチュエータ１００の
一例の構成を示す縦断面図である。この振動アクチュエ
ータ１００は、中空円柱状の振動子１０１と、振動子１
０１の一方の端面Ｄに加圧接触する相対運動部材１０２
（移動子）とを備えるタイプである。振動子１０１，相
対運動部材１０２は、いずれもそれぞれの中空部を貫通
する支持軸１０３により支持される。振動子１０１は、
支持軸１０３の大径部１０３ａにボルト１０４ａ，１０
４ｂがネジ止めされることにより、また相対運動部材１
０２はベアリング１０５等を介して回転自在に、それぞ
れ支持軸１０３により支持される。

【０００４】すなわち、この振動アクチュエータ１００
では、振動子１０１は、中空円柱状の弾性体１０６と弾
性体１０６に装着される２種の電気機械変換素子（図示
しない。）とにより、構成される。

【０００５】これら２種の電気機械変換素子に（π／
２）位相差を有する駆動電圧をそれぞれ印加して、電気
機械変換素子に発生する逆圧電効果を利用することによ
り、振動子１０１に、振動子１０１の軸方向への伸縮振
動と振動子１０１の軸方向に関する捩じり振動とを調和
的に発生する。

【０００６】そして、振動子１０１の一方の端面Ｄに、
これらの振動の合成振動である楕円運動を発生させる。
発生した楕円運動により、この端面Ｄに加圧接触する相
対運動部材１０２が一方向に回転駆動される。

【０００７】このように、この振動アクチュエータ１０
０では、振動子１０１の端面Ｄに発生した楕円運動を効
率的かつ確実に相対運動部材１０２に、摩擦力を介して
伝達する。このためには、振動子１０１と相対運動部材
１０２との間の加圧力の値を適当な範囲に制御して摩擦
力の大きさを調整することが有効である。

【０００８】そこで、この振動アクチュエータ１００で
は、支持軸１０３の相対運動部材１０２側の端部に、例
えば加圧機構として皿バネ１０７を設け、皿バネ１０７
が発生するバネ力を利用して、相対運動部材１０２を振
動子１０１側に向けて付勢していた。

【０００９】ところで、この振動アクチュエータ１００
の「小型」という特徴を最大限に生かすためには、振動
子１０１及び相対運動部材１０２のみならず、加圧機構
の小型化も当然要請される。すなわち、前述の振動アク
チュエータ１００においても、皿バネ１０７を小型化す
れば、振動アクチュエータ１００の支持軸１０３の軸方
向に関する全長を低減できるからである。

【００１０】そのため、加圧機構として小型化に有効な
皿バネ１０７を用いたり、加圧機構を相対運動部材１０
２の一部に内蔵すること等により、小型化を図ってい
た。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】しかし、これらの技術
は、加圧機構を小型化するものであって加圧機構を解消
するものではないため、達成できる小型化には限界があ
る。

【００１２】また、加圧機構をできるだけ小型化するた
めに、それに対応して、振動子１０１や相対運動部材１
０２の設計に工夫を凝らす必要もあり、振動子１０１や
相対運動部材１０２が複雑化するとともにそれらの設計
自由度が低下してしまう。

【００１３】本発明の目的は、構造を複雑にすることな
く、小型化を図ることができる振動アクチュエータを提
供することである。

【００１４】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題に鑑
みてなされたものであり、専用の加圧機構を設けること
により相対運動部材を振動子に加圧するのではなく、支
持軸系の一部にこのような加圧機能を与えて専用の加圧
機構を廃することにより、上記課題の解決を図るもので
ある。

【００１５】請求項１の発明は、振動を発生する振動子
と、振動子に加圧された状態で接触して振動子との間で
相対運動を発生する相対運動部材と、振動子及び相対運
動部材を支持する支持部材とを備える振動アクチュエー
タであって、支持部材が、振動子と相対運動部材との間
の加圧方向に関する弾性変形部を備えるとともに、振動
子と相対運動部材との間の加圧が、弾性変形部が発生す
る弾性力により、行われることを特徴とする。

【００１６】請求項２の発明は、請求項１に記載された
振動アクチュエータにおいて、加圧方向に関する弾性変
形部の剛性が、前記加圧方向以外の方向に関する剛性よ
りも、低いことを特徴とする。

【００１７】請求項３の発明は、請求項１又は請求項２
に記載された振動アクチュエータにおいて、支持部材
が、振動子及び相対運動部材を貫通した状態で配置され
る支持軸、又は、振動子及び相対運動部材を被包する収
容体であることを特徴とする。

【００１８】請求項４の発明は、請求項３に記載された
振動アクチュエータにおいて、支持部材が支持軸である
場合には、弾性変形部が、支持軸に設けられた切欠き
部、及び／又は、振動子及び支持軸を貫通する支持ピン
により、構成されることを特徴とする。

【００１９】請求項５の発明は、請求項４に記載された
振動アクチュエータにおいて、支持軸における支持ピン
の貫通部分には、座ぐり穴が設けられることを特徴とす
る。

【００２０】請求項６の発明は、請求項１から請求項５
までのいずれか１項に記載された振動アクチュエータに
おいて、振動子が、柱状の外形を呈して軸方向への伸縮
振動及び軸方向に関する捩じり振動を発生することを特
徴とする。

【００２１】

【発明の実施の形態】

（第１実施形態）以下、本発明にかかる振動アクチュエ
ータの実施形態を添付図面を参照しながら詳細に説明す
る。なお、以降の実施形態の説明は、振動アクチュエー
タとして超音波の振動域を利用する超音波アクチュエー
タを例にとって、行う。

【００２２】図１は、第１実施形態における超音波アク
チュエータ１の構成を示す縦断面図である。振動子２
は、駆動信号により励振される電気機械変換素子である
圧電体３と、圧電体３を接合して圧電体３の励振により
１次の縦振動と２次の捩じり振動とが発生することによ
り振動子２の駆動面Ｄに駆動力を発生する弾性体４とに
より、構成される。

【００２３】弾性体４は、図１に示すように、その側面
に形成された３つの小径部４ａ，４ｂ及び４ｃと、３つ
の小径部４ａ〜４ｃに区切られることにより形成される
４つの大径部４Ａ，４Ｂ，４Ｃ及び４Ｄとを有する。

【００２４】弾性体４は、略中心軸を含む縦面により高
さ方向に沿って２つの半弾性体５ａ，５ｂに分割されて
構成されており、これら２つの分割面それぞれに圧電体
３を挟んだ状態で保持する。

【００２５】圧電体３は、それぞれ２層ずつの縦振動用
圧電体３ａ，捩じり振動用圧電体３ｂにより、構成され
る。縦振動用圧電体３ａは圧電定数ｄ₃₁を用いる圧電体
からなり、弾性体４に発生する１次の縦振動の節を含む
位置（１箇所）に設けられる。一方、捩じり振動用圧電
体３ｂは圧電定数ｄ₁₅を用いる圧電体からなり、弾性体
４に発生する２次の捩じり振動の節位置のうちの駆動面
Ｄ側の節位置を含む位置（１箇所）に設けられる。

【００２６】弾性体４の各大径部４Ａ〜４Ｄそれぞれの
振動子２の長手方向略中央部には、圧電体３の積層方向
と平行な方向に、それぞれ貫通孔６ａ〜６ｄが設けられ
る。２つの半弾性体５ａ，５ｂは、これらの貫通孔６ａ
〜６ｄにボルト７ａ〜７ｄを挿入してナット８ａ〜８ｄ
を締結することにより、圧電体３ａ，３ｂを挟んだ状態
で固定される。

【００２７】弾性体４の小径部４ｂには、貫通孔６ａ〜
６ｄの形成方向と平行な方向に向けて貫通孔９が設けら
れる。振動子２の中央に振動子長手方向に形成される中
空部には、振動子２の内面と隙間を有した状態で支持軸
１０が貫通する。支持軸１０の長手方向略中央部には、
貫通孔９と同一の内径の貫通孔１１が設けられる。振動
子２は、貫通孔９及び貫通孔１１に、嵌合する支持ピン
１２を嵌合させることにより、支持軸１０に固定・保持
される。また、支持軸１０には、ボルト７ａ〜７ｄを貫
通させるための貫通孔１３ａ〜１３ｄが設けられる。

【００２８】すなわち、半弾性体５ａ，５ｂは、支持軸
１０を所定位置に挟んだ状態で、縦振動用圧電体３ａ，
捩じり振動用圧電体３ｂを分割面に挟んで、ボルト７ａ
〜７ｄ及びナット８ａ〜８ｄにより締結固定し、さら
に、支持ピン１２を装着することにより、固定される。

【００２９】この支持ピン１２のうちの、振動子２と支
持軸１０との間に位置する部分１２ａ，１２ｂは、振動
子２に支持軸１０の長手方向への外力が作用すると、弾
性変形して撓む。すなわち、本実施形態では、支持ピン
１２は、振動子２を支持するとともに、振動子２と移動
子１４との間の加圧方向に関して弾性変形する弾性変形
部をなしている。

【００３０】振動子２との間で相対運動を行う移動子１
４は、厚肉円環状の移動子母材１４ａと、移動子母材１
４ａの振動子２側の端面に装着されて、振動子２の駆動
面Ｄに接触する円環状の摺動材１４ｂとにより、構成さ
れる。

【００３１】移動子母材１４ａの反振動子側の端面の内
縁部１５には、ベアリング１６が装着される。このベア
リング１６は、支持軸１０に装着される。これにより、
移動子１４は、支持軸１０に対して回転自在に支持され
る。

【００３２】支持軸１０の端部であって、ベアリング１
６装着部から露出する部分には、ネジ部１０ａが形成さ
れており、ベアリング１６に接触する状態でナット１７
をネジ部１０ａにネジ止めすることにより、移動子１４
は、支持軸１０の長手方向に位置決めされて、振動子２
の駆動面Ｄに加圧接触する。

【００３３】このように、本実施形態の超音波アクチュ
エータ１では、振動子２と移動子１４との間の加圧は、
弾性変形部である支持ピン１２が発生する弾性力によ
り、行われる。

【００３４】図１を用いて説明したように、本実施形態
の超音波アクチュエータ１では、移動子１４を振動子２
に向けて加圧接触させるための専用の加圧機構は存在し
ない。そのため、振動子２の長手方向に関する全長を、
図７に示す従来の超音波アクチュエータよりも低減する
ことができる。

【００３５】図２は、本実施形態の超音波アクチュエー
タ１で用いる振動子２の構成を示す説明図であり、図２
（ａ）は振動子２の中心線よりも左半分を断面で示す側
面図であり、図２（ｂ）は図２（ａ）におけるＡ−Ａ断
面，Ｂ−Ｂ断面及びＣ−Ｃ断面である。

【００３６】図２（ａ）に示すように、弾性体４は中空
円柱状の弾性部材を縦に２分割した半弾性体５ａ，５ｂ
の分割面に、圧電体３ａ，３ｂを挟み込んだ状態で保持
する。圧電体３ａ，３ｂは２群から成っており、各群は
それぞれ２層の圧電体からなる。

【００３７】前述したように、２群の圧電体のうちの１
群は、弾性体４に発生する１次の縦振動の節位置を含む
位置に圧電定数ｄ₃₁を用いる圧電体３ａが用いられる。
一方、残りの１群は、それぞれ２次の捩じり振動の節位
置を含む位置のうちの駆動面Ｄ側の端面に圧電定数ｄ₁₅
を用いる圧電体３ｂが用いられる。

【００３８】なお、本実施形態では、２次の捩じり振動
の節位置を含む位置のうちの駆動面Ｄと反対側には、圧
電体３ａ，３ｂと同一の厚さの補強材１８が装着され
る。この補強材１８は、弾性体４の内部に隙間が発生す
ることを防止して、振動発生及び伝搬に悪影響を及ぶこ
とを防止する。

【００３９】圧電定数ｄ₁₅を用いる圧電体３ｂは、弾性
体４の長手方向に対して剪断変位を発生する。図２
（ｂ）のＡ−Ａ断面における４枚の圧電体３ｂは、弾性
体４の円周方向への剪断変形が、手前方向及び反対方向
それぞれについて交互になるように、配置される。４枚
の圧電体３ｂがこのように配置されて、それぞれの圧電
体３ｂが剪断変形すると、振動子２には、２次の捩じり
変位が発生する。

【００４０】後者の圧電定数ｄ₃₁を用いる圧電体３ａ
は、弾性体４の長手方向に対して伸縮変位を発生する。
図２（ｂ）のＢ−Ｂ断面における４枚の縦振動用圧電体
３ａは、全てある電位が印加されると、全て同じ方向へ
伸縮変位が発生するように、配置される。

【００４１】以上のように、圧電定数ｄ₁₅を用いる捩じ
り振動用圧電体３ｂと、圧電定数ｄ₃₁を用いる縦振動用
圧電体ｄ₃₁とを配置すると、捩じり振動用圧電体３ｂに
正弦波電圧を入力することにより、振動子２にはこれに
応じて捩じり運動が発生する。一方、縦振動用圧電体３
ａに正弦波電圧を入力することにより、振動子２にはこ
れに応じて伸縮運動が発生する。

【００４２】図２（ｂ）に示すように、駆動回路２０
は、駆動信号を発振する発振部２１と、発振された駆動
信号を（１／４）λ位相差のある信号に振り分ける移相
部２２と、捩じり振動用圧電体３ｂに入力する駆動信号
を増幅するＴ増幅部２３と、縦振動用圧電体３ａに入力
する駆動信号を増幅するＬ増幅部２４とから構成されて
いる。

【００４３】超音波アクチュエータ１では、発振部２１
は駆動信号を発振し、発振された駆動信号は移相部２２
により２つの（１／４）λ位相差を有する信号に分割さ
れ、それぞれＴ増幅部２３及びＬ増幅部２４によって増
幅される。

【００４４】Ｔ増幅部２３により増幅された駆動信号
は、４枚の捩じり振動用圧電体３ｂに入力される。一
方、Ｌ増幅部２４により増幅された駆動信号は、４枚の
縦振動用圧電体３ａに入力される。

【００４５】Ｔ増幅部２３及びＬ増幅部２４それぞれか
ら振動子２へ駆動信号が印加されると、縦振動用圧電体
３ａ及び捩じり振動用圧電体３ｂの励振により、振動子
２には、１次の縦振動と２次の捩じり振動とが発生す
る。

【００４６】図３は、振動子２に発生する縦振動及び捩
じり振動の一例を示す説明図である。振動子２に駆動信
号が印加されると、振動子２には、図３に示すような振
動の腹及び節を有する、１次の縦振動（Ｌ１モード）と
２次の捩じり振動（Ｔ２モード）とが発生する。このと
き、捩じり振動は、捩じり剛性の弱い第１小径部４ａと
第３小径部４ｃの二つに節が存在し、駆動面Ｄは腹位置
となる。一方、縦振動は、第２小径部４ｂに節が存在
し、駆動面Ｄは腹位置となる。

【００４７】このとき、捩じり振動用圧電体３ｂ及び縦
振動用圧電体３ａそれぞれに印加する周期電圧の位相差
を、（１／４）λずらして設定すると、振動子２の駆動
面Ｄには、縦振動と捩じり振動との合成振動である楕円
運動が発生する。

【００４８】図４は、このようにして振動子２の駆動面
Ｄに楕円運動が発生することを経時的に示す説明図であ
る。なお、図４においては駆動面Ｄに加圧接触する移動
子１４は、説明の便宜上、省略する。

【００４９】図４に示すように、角周波数をωとする
と、ｔ＝（６／４）・（π／ω）の時点では、捩じり振
動Ｔの変位は左側に最大であり、一方、縦振動Ｌの変位
は零である。この状態では、移動子は、支持軸１０の有
する弾性力により、振動子２の駆動面Ｄに加圧接触す
る。

【００５０】この状態から、ｔ＝（７／４）・（π／
ω）〜０〜（２／４）・（π／ω）までは、捩じり振動
Ｔは、左側の最大から右側の最大まで変位し、一方、縦
振動Ｌは、零から上側の最大に変位し再び零に戻る。し
たがって、振動子２の駆動面Ｄの定点は、移動子を押し
ながら右方向に回転し、移動子は駆動される。

【００５１】次に、ｔ＝（２／４）・（π／ω）〜（６
／４）・（π／ω）までは、捩じり振動Ｔは、右側の最
大から左側の最大まで変位し、一方、縦振動Ｌは、零か
ら下側の最大に変位し再び零に戻る。したがって、振動
子２の駆動面Ｄの定点は、移動子を離れながら左方向に
回転するため、移動子は駆動されない。このときに、移
動子は支持軸１０の有する弾性力により加圧されていて
も固有振動数が異なるため、振動子２の縮みに追従しな
い。

【００５２】この捩じり振動の振動数を捩じり振動の共
振周波数に略一致させるとともに、縦振動の振動数を縦
振動の共振周波数に略一致させることにより、共振して
振動子２の駆動面Ｄにおいて発生する楕円運動が拡大す
る。

【００５３】本実施形態の超音波アクチュエータ１で
は、振動子２単体によって、発生する縦振動及び捩じり
振動それぞれの共振周波数を略一致させることができ
る。すなわち、本実施形態の超音波アクチュエータ１で
は、振動子２だけで捩じり共振振動数と縦共振周波数と
をともに決定することができるため、移動子１４の形状
を自由に設定することができる。

【００５４】以上詳細に説明したように、本実施形態の
超音波アクチュエータ１では、振動子２を支持ピン１２
を介して支持軸１０に対して変位自在に支持するように
構成したため、振動子２を移動子１４に加圧するための
専用の加圧機構を設ける必要がなくなる。したがって、
専用の加圧機構を設ける必要がなくなるため、超音波ア
クチュエータ１の加圧方向に関する全長を低減すること
ができる。

【００５５】すなわち、本実施形態の超音波アクチュエ
ータ１によれば、超音波アクチュエータ１の小型化を図
りながら、確実に移動子１４を振動子２に向けて加圧す
ることが可能となる。

【００５６】（第２実施形態）以下、本発明の第２実施
形態を添付図面を参照しながら詳細に説明する。なお、
以降の各実施形態の説明では、第１実施形態と相違する
部分だけを説明することとし、共通する部分について
は、同一の図中符号を付すことにより、重複する説明を
省略する。

【００５７】図５は、本実施形態の超音波アクチュエー
タ１−１において、支持ピン１２の貫通部付近を拡大し
て示す縦断面図である。図５に示すように、第１実施形
態と同様に支持ピン１２により弾性変形部が構成される
が、さらに、本実施形態では、支持軸１０の支持ピン１
２の貫通部に、座ぐり孔を設けて小径部１０ｂを形成し
ている。

【００５８】小径部１０ｂを形成することにより、支持
ピン１２の弾性変形量を拡大することができるため、振
動子２と移動子１４との間の加圧力の設定幅を拡大する
ことが可能となる。

【００５９】（第３実施形態）図６は、第３実施形態の
超音波アクチュエータ１−２において、振動子２の支持
部付近を拡大して示す縦断面図である。

【００６０】本実施形態の超音波アクチュエータ１−２
は、第１実施形態及び第２実施形態とは異なり、支持軸
１０への振動子２の固定には支持ピン１２は用いず、図
７に示す従来の超音波アクチュエータ１００と同様に、
ボルト１０４ａ，１０４ｂを用いている。また、振動子
１０の長手方向略中央部に大径部１０ｃを設けた点も超
音波アクチュエータ１００と同様である。

【００６１】本実施形態では、支持軸１０のボルト１０
４ａ，１０４ｂ貫通部と、振動子駆動面Ｄとの間に、適
宜手段により切欠き部１０ｄ，１０ｅを設けている。本
実施形態では、切欠き部１０ｄ，１０ｅを設けた部分
が、弾性変形部として機能する。

【００６２】これらの切欠き部１０ｄ，１０ｅを形成す
ることにより、支持軸１０において加圧方向（支持軸１
０の長手方向）に関する弾性変形部の剛性が、加圧方向
以外の方向に関する剛性よりも、低下する。これによ
り、支持軸１０は、ボルト１０４ａ，１０４ｂ貫通部よ
りも上側の部分において、その長手方向に関して弾性変
形（伸縮変形）自在となる。

【００６３】すなわち、本実施形態によれば、支持軸１
０のボルト止め位置と振動子２との位置関係は固定され
るが、伸縮変形自在の支持軸１０に回転自在に支持され
た移動子１４と、支持軸１０のボルト止め位置との関係
は可変となる。

【００６４】これにより、移動子１４は、振動子２に適
宜加圧力で加圧接触する。したがって、本実施形態にお
いても、支持軸１０の一部に弾性変形部を設けたことに
なるため、専用の加圧機構は不要になる。

【００６５】（変形形態）各実施形態の説明では、超音
波アクチュエータを用いたが、本発明にかかる振動アク
チュエータはこのような態様に限定されるものではな
く、他の振動域を利用する振動アクチュエータについて
も、等しく適用することが可能である。

【００６６】また、各実施形態の説明では、電気機械変
換素子として圧電体を用いたが、本発明にかかる振動ア
クチュエータはこのような態様に限定されるものではな
く、電気エネルギを機械的変位に変換することができる
ものであれば等しく適用することができる。例えば、圧
電体以外に電歪素子を例示することができる。

【００６７】また、各実施形態の説明では、中央部を貫
通する支持軸により振動子及び移動子が支持される振動
アクチュエータを例にとったが、本発明にかかる振動ア
クチュエータはこのような態様に限定されるものではな
い。

【００６８】例えば、振動子と加圧接触する移動子とを
被包する収容体（ケーシング）により、振動子を固定・
支持するとともに移動子を回転自在に支持する振動アク
チュエータについても、等しく適用することが可能であ
る。この場合には、ケーシングの、振動子支持部と移動
子支持部との間に、適宜手段により、弾性変形部を形成
すればよい。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１実施形態の超音波アクチュエータの構成を
示す縦断面図である。

【図２】第１実施形態の超音波アクチュエータで用いる
振動子の構成を示す説明図であり、図２（ａ）は振動子
の中心線よりも左半分を断面で示す側面図であり、図２
（ｂ）は図２（ａ）におけるＡ−Ａ断面，Ｂ−Ｂ断面及
びＣ−Ｃ断面である。

【図３】第１実施形態の超音波アクチュエータにおい
て、振動子に発生する縦振動及び捩じり振動の一例を示
す説明図である。

【図４】第１実施形態の超音波アクチュエータにおい
て、振動子の駆動面に楕円運動が発生することを経時的
に示す説明図である。

【図５】第２実施形態の超音波アクチュエータにおい
て、支持ピンの貫通部付近を拡大して示す縦断面図であ
る。

【図６】第３実施形態の超音波アクチュエータにおい
て、振動子の支持部付近を拡大して示す縦断面図であ
る。

【図７】従来の振動アクチュエータの構成を示す縦断面
図である。

【符号の説明】

１ 超音波アクチュエータ ２ 振動子 ３ 圧電体 ３ａ 縦振動用圧電体 ３ｂ 捩じり振動用圧電体 ４ 弾性体 ４ａ〜４ｃ 小径部 ４Ａ〜４Ｄ 大径部 ５ａ，５ｂ 半弾性体 ６ａ〜６ｄ 貫通孔 ７ａ〜７ｄ ボルト ８ａ〜８ｄ ナット ９ 貫通孔 １０ 支持軸 １０ａ ネジ部 １１ 貫通孔 １２ 支持ピン １３ａ〜１３ｄ 貫通孔 １４ 移動子 １６ ベアリング １７ ナット １８ 補強材 ２０ 駆動回路 ２１ 発振部 ２２ 移相部 ２３ Ｔ増幅部 ２４ Ｌ増幅部

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 振動を発生する振動子と、前記振動子に
   加圧された状態で接触して前記振動子との間で相対運動
   を発生する相対運動部材と、前記振動子及び前記相対運
   動部材を支持する支持部材とを備える振動アクチュエー
   タであって、 前記支持部材は、前記振動子と前記相対運動部材との間
   の加圧方向に関する弾性変形部を備えるとともに、 前記振動子と前記相対運動部材との間の加圧は、前記弾
   性変形部が発生する弾性力により、行われることを特徴
   とする振動アクチュエータ。
2. 【請求項２】 請求項１に記載された振動アクチュエー
   タにおいて、 前記加圧方向に関する前記弾性変形部の剛性は、前記加
   圧方向以外の方向に関する剛性よりも、低いことを特徴
   とする振動アクチュエータ。
3. 【請求項３】 請求項１又は請求項２に記載された振動
   アクチュエータにおいて、 前記支持部材は、前記振動子及び前記相対運動部材を貫
   通した状態で配置される支持軸、又は、前記振動子及び
   前記相対運動部材を被包する収容体であることを特徴と
   する振動アクチュエータ。
4. 【請求項４】 請求項３に記載された振動アクチュエー
   タにおいて、 前記支持部材が前記支持軸である場合には、前記弾性変
   形部は、前記支持軸に設けられた切欠き部、及び／又
   は、前記振動子及び前記支持軸を貫通する支持ピンによ
   り、構成されることを特徴とする振動アクチュエータ。
5. 【請求項５】 請求項４に記載された振動アクチュエー
   タにおいて、 前記支持軸における前記支持ピンの貫通部分には、座ぐ
   り穴が設けられることを特徴とする振動アクチュエー
   タ。
6. 【請求項６】 請求項１から請求項５までのいずれか１
   項に記載された振動アクチュエータにおいて、 前記振動子は、柱状の外形を呈して軸方向への伸縮振動
   及び前記軸方向に関する捩じり振動を発生することを特
   徴とする振動アクチュエータ。