JP5034891B2 - 透明板状体の形状測定装置及び板ガラスの製造方法 - Google Patents
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Description
近年、厚さの薄い大面積のガラス板に対して、面の形状が極めて平坦なガラス板が求められている。このため、製造されたガラス板の表面の平坦度を容易に求めるために、上述のストライプパターンを利用した検査方法が好適に用いられる。
面形状検査装置100は、透明板状体102にストライプパターン情報を持つ光を照射する照明光学系104と、反射したストライプパターンの像を撮像するカメラ110と、撮像したストライプパターンの像のデータから透明板状体102の凹凸形状を算出するコンピュータ112とを有する。
照明光学系104は、照明光源106と、照明光源106の前面に設けられたストライプパターンを有するフィルムとを有する。照明光学系104によりストライプパターン情報を持つ光を透明板状体に照射し、透明板状体の面で反射したストライプパターン画像の暗部の線は、図10(a)中のA方向に延在している。このA方向は、照明光学系の配置位置を透明板状体102の面に垂直に射影した位置と、カメラ110の配置位置を透明板状体102の面に垂直に射影した位置とを結ぶ方向(図10(a)のB方向)に直交する方向である。
カメラ110は、例えば一方向に受光素子が並ぶラインセンサであり、ストライプパターン画像の暗部の線を横切るように読み取る。
このように、表面反射像の暗部の線と裏面反射像の暗部の線が部分的に重なる場合、ソフトウェア処理にて分離することは困難である。断面形状の検査方法として好適に用いられる上述の方法では、表面反射像の暗部の位置を数値として知ることによって表面の傾きの情報を得、この傾きの情報から透明板状体の断面形状を算出する。このため、裏面反射像の影響を含んだ表面反射像のデータを用いるのでは、精度の良い断面形状を求めることはできない。
ここで、前記明部及び暗部の繰り返し方向が前記第1の方向に対して角度を有するとは、この角度が0度でないことをいう。また、明部及び暗部の繰り返しからなるパターン画像とは、明部及び暗部が不規則的に繰り返されたものでもよく、明部及び暗部は直線形状のみならず、曲線形状のものも含まれるが、明部及び暗部は直線形状のものが好適に用いることができる。
その際、前記パターン画像は、一方向に直線状に延在した複数の暗部の線が一定間隔で並列配置したストライプパターン情報を持つ光が透明板状体で反射したストライプパターン画像であり、前記撮像デバイスは、複数の受光素子が1次元に配列し、前記第1の方向の異なる複数の位置で前記暗部の線を横切るようにラインで読み取る複数のラインセンサを有し、前記複数のラインセンサのうち1つは、前記表面反射パターンの像をラインで読み取り、残りのラインセンサのうち1つは、前記裏面反射パターンの像をラインで読み取ることが好ましい。
W ≧ P + R (1)
B ≦ P×2 − R (2)
P + R ≦ T ≦ P×2 −R×2 (3)
但し、T(mm)は、透明板状体の板厚をt(mm)、透明板状体の屈折率をn、前記ストライプパターン情報を持つ光が透明板状体の読み取り位置に入射する入射角度をθ(ラジアン)としたとき、T=t×tan(sin-1((1/n)×sinθ))×2で定まる値を表す。
なお、前記形状算出手段は、読み取った前記表面反射パターンの像と前記裏面反射パターンの像の少なくとも一方を用いて、透明板状体の表面の断面形状及び裏面の断面形状の少なくとも一方を算出することが好ましい。
前記透明板状体は、前記第1の方向に搬送され、この搬送中に透明板状体の面形状を測定することが好ましい。
形状測定装置10は、ガラス板等の透明板状体Gにストライプパターン情報を持つ光を照射して、その反射したストライプパターン画像の反射像を読み取り、透明板状体Gの面の面形状を算出する装置である。透明板状体Gは、表面が鏡面反射し、かつ、透明性を有する板状物体であれば、いずれのものであってもよい。
撮像デバイス14は、後述するように撮像レンズの焦点位置を、照明光学系12のストライプパターン画像をつくるパターンフィルム上に合せて撮像するが、このときの撮像範囲の中心位置を透明板状体Gの面に垂直に射影した位置、これが、照明光学系12の配置位置を透明板状体Gの面に垂直に射影した位置である。撮像デバイス14の配置位置を透明板状体の面に射影した位置とは、撮像デバイス14の受光ラインの中心位置を透明板状体Gの面に射影した位置である。なお、本実施形態では形状測定装置10を固定し、透明板状体1Gを搬送する他、透明板状体Gを固定し、形状測定装置10を移動させて測定してもよい。
本実施形態では、4本の直線が一定間隔で並列配置したストライプパターン画像であるが、本発明では、暗部の線は直線に限定されず、曲線であってもよい。さらに、暗部の線の間隔は一定でなくてもよい。本発明のパターン画像はストライプパターン画像に限定されず、表面反射パターンの像と裏面反射パターンの像とが一部で分離可能であればよく、明部及び暗部の繰り返しが一方向に延びたパターン画像であればよい。
このように、ストライプパターン画像の暗部の線の延在方向をA方向に一致又は略一致するようにストライプパターン情報を持つ光を照射するのは、透明板状体Gの表面で反射した表面反射ストライプパターンの像と、透明板状体の裏面で反射した裏面反射ストライプパターンの像とを、図中A方向の位置ずれ(この位置ずれを、縦方向位置ずれという)によって少なくとも一部で分離させるためである。この点は、後述する。
なお、本実施形態では、ストライプパターン画像の直線状の暗部の線の延在方向が、図1(a)中のA方向に一致又は略一致するように、又、明部及び暗部の線の繰り返し方向がA方向に直交あるいは略直交するように、パターンフィルム16を照明光源15の前面に配置するが、本発明では、ストライプパターン画像の明部及び暗部の繰り返し方向がA方向に対して角度を有するようにパターンフィルム16を配置すればよい。したがって、本実施形態では、ストライプパターン画像の直線状の暗部の線の延在方向が少なくともA方向と直交しない方向であればよい。
この横方向位置ずれ量に加えて、照明光学系12及び撮像デバイス14の配置位置及びパターンフィルム上のストライプパターンの寸法に関する既知の情報を用いて、幾何学的関係式に基づいて、透明板状体Gの撮像位置における表面の傾斜角度が算出される。この傾斜角度は、面形状の形状関数と一定の関係を有するので、この関係を用いて、算出された傾斜角度から形状関数を算出することによって、透明板状体Gの面形状を求めることができる。詳細については、特開2005−345383号公報の〔0038〕〜〔0054〕に記載されている。
こうして、表面反射ストライプパターンの像又は裏面反射ストライプパターンの像のデータが撮像デバイス14から出力され、コンピュータ17でサンプリングされて、所定のデータ処理が施されて、透明板状体Gの断面及び面形状が算出される。
透明板状体Gは、搬送ローラ等の搬送手段で搬送されるため、機械的振動が発生する。しかし、撮像デバイス14の画像の読み取り速度は、上記機械的振動に比べてはるかに高周波で、例えば1kHz以上でデータのサンプリングを行うことができるので、透明板状体Gが搬送中であっても有効な断面及び面形状データを求めることができる。
このような遮蔽は、図3(b)に示すパターンフィルム16aの暗部の線の一部の領域にマスク18を設けることによって作られる。マスク18の図中の縦方向(ストライプパターン画像の暗部の延在する方向)の長さ及びその縦方向の位置は、測定対象とする透明板状体Gの板厚に応じて設定することができる。透明板状体Gの板厚によって、表面反射ストライプパターンの像と裏面反射ストライプパターンの像との間の縦方向位置ずれ量が定まるからである。
なお、図3(a)の例ではラインセンサは表面反射ストライプパターンの像及び裏面反射ストライプパターンの像の一方しか読み取らないので、撮像範囲内でマスク18による遮蔽領域の位置とラインセンサの読み取るラインの位置とが変動して読み取りができない場合も生じる。したがって、このような場合を考慮して、後述するようなマスク18b(図4(a)参照)を用いることが好ましい。また、本形状測定装置10は、照明光学系12及び撮像デバイス14の配置位置ずれ、および板厚の厚さ方向の位置変動は測定の許容範囲内にあるが、透明板状体Gの板厚偏差は測定値に影響する。このため、板厚偏差が例えば±0.5mm以内であり、かつ透明板状体Gの形状の反りも小さい場合、特に有効に用いることができる。
本実施形態では、図1(a)に示す装置構成と同様の装置構成が用いられる。異なる点は、ストライプパターン画像が、図1(a)〜(c)及び図3(a),(b)に示すストライプパターン画像と異なっていることと、撮像デバイス14によるストライプパターン画像の読み取りが、一定の間隔で平行に配置された3つのラインセンサで行われることである。なお、本実施形態では3つのラインセンサを用いるが、本発明では2つ以上のラインセンサを用いればよい。しかし、3つあるいはそれ以上のラインセンサを用いることが好ましい。
なお、マスク18bは、一定の幅で、一定間隔で図4(a)中の縦方向に周期的に設けられているが、本発明では、マスク18bは、明部及び暗部の繰り返し方向と直交又は略直交するする方向に対して角度を有する方向に延在し、そのマスクの延在方向と直交する方向に、一定の幅で、一定距離離間して周期的に複数設けられていればよい。
W ≧ P + R (1)
B ≦ P×2 − R (2)
P + R ≦ T ≦ P×2 − R×2 (3)
P = p × L × (撮像レンズの定数)
同様に、R(mm)は、下記式に示すように、実際の撮像デバイス14におけるラインセンサの幅r(μm)に、読取位置からラインセンサの受光素子までの距離L(mm)と、撮像デバイス14の撮像レンズ(図示されない)の定数(倍率)とを乗算して得られる。
R = r × L × (撮像レンズの定数)
一方、表面反射ストライプパターンの像と裏面反射ストライプパターンの像との縦方向位置ずれ量T(mm)は、図1(d)に示すように透明板状体Gの板厚をt(mm)、透明板状体Gの屈折率をnとしたとき、光学における入射角度と及び屈折の式を用いて下記式にて表すことができる。θは、読み取り位置におけるストライプパターン情報を持つ光の入射角度(=反射角度)である。
T = t × tan(sin-1(1/n×sinθ)) × 2
上記式(1)では、隣り合うラインセンサのうち、一方のラインセンサが必ず表面反射ストライプパターンの像又は裏面反射ストライプパターンの像のライン読み取りを行うための条件を表し、上記式(2)は、3つのラインセンサの読み取り位置が1つの遮蔽領域19に同時に隠れないための条件、すなわち、3つのラインセンサの1つの読み取り位置が必ず、遮蔽領域19の外に位置するための条件を表している。上記式(3)は、表面反射ストライプパターンの像と裏面反射ストライプパターンの像の縦方向位置ずれ量T(mm)(以下、縦方向位置ずれ量という)の分だけ、読み取り位置が異なっていても、いずれのラインセンサも表面反射ストライプパターンの像と裏面反射ストライプパターンの像のライン読み取りを同時に行わないための条件を表している。したがって、上記式(3)を満足するとき、3ラインセンサの読み取り位置は、図4(c)に示されるように、ラインセンサ1で表面反射ストライプパターンの像を読み取る位置X11、ラインセンサ2で表面反射ストライプパターンの像を読み取る位置X12、ラインセンサ1で裏面反射ストライプパターンの像を読み取る位置X21、ラインセンサ3で表面反射ストライプパターンの像を読み取る位置X13の順番になる。
式(3)について細かく説明すると、縦方向位置ずれ量T(mm)だけ位置ずれした第1のラインセンサの読み取りの位置X11及びX21と、縦方向位置ずれ量T(mm)だけ位置ずれした第2のラインセンサの読み取りの位置X21及びX22と、縦方向位置ずれ量T(mm)だけ位置ずれした第3のラインセンサの読み取りの位置X13及びX31とが、いずれも表面反射ストライプパターンの像の領域に同時に位置せず、さらに裏面反射ストライプパターンの像の領域にも同時に位置しない条件は、下記式(4)で表される。
W ≦ T − R (4)
又、上記第1、第2及び第3のラインセンサが読み取りを行う位置X11及びX21、位置X21及びX22、位置X31及びX32がそれぞれ同時に遮蔽領域19に含まれる場合が必ず存在する条件は、下記式(5)で表される。
B ≧ T + R (5)
したがって、表面反射ストライプパターンの像と裏面反射ストライプパターンの像を同時に読み取らない条件を表す式(4)及び表面反射ストライプパターンの像の読み取り位置と裏面反射ストライプパターンの像の読み取り位置が同時に遮蔽領域19に来る条件を表す式(5)と、上記式(1)及び(2)とを整理することにより、式(3)を得ることができる。特に、透明板状体Gの板厚の適用範囲を可能な限り拡げるために、縦方向位置ずれ量T(mm)の範囲を広くすることが好ましい。このため、式(1)及び(2)に変えて下記式(6)及び(7)を満たすことがより好ましい。
W = P + R (6)
B = P×2 − R (7)
なお、図5(a)では、表面反射ストライプパターンの像のデータ及び裏面反射ストライプパターンの像のデータをいずれも台形形状で表しているが、本来は、図5(b)に示すように、ストライプパターン画像の暗部の線に対応して凹凸を繰り返す高周波信号からなり、図5(a)では、その信号の包絡線を台形形状で表している。
このようにして、コンピュータ17では、表面反射ストライプパターン画像のデータ、あるいは、裏面反射ストライプパターン画像のデータが取り出され、このデータに対して、上述した所定のデータ処理を施すことで、透明板状体Gの面の断面及び面形状を算出することができる。したがって、透明板状体Gが搬送ローラに支持されて搬送中であり、上下に振動しても、面形状を安定して測定することができる。
なお、本発明の透明板状体の形状測定装置を、例えばガラス板の製造設備に備え、製造され搬送される工程中、ガラス板の面形状を全検することができる。製造設備のライン内で製造されるガラス板の面形状を測定できるので効率が良い。例えば、面形状のうねりが所定の大きさを超える場合は、そのガラス板を製造ラインから取り除く、又はガラス板のランク付けを行うことができる。又、表面形状に問題がある場合、面形状が正常となるように、上流の工程にフィードバックをかけることも可能である。すなわち、本発明は、上述の形状測定装置を用いて板ガラスを製造する板ガラスの製造方法に好適に適用できる。
照明光学系12の照明光源15として、高周波蛍光灯SFC社製SL1000を用い、パターンフィルム16として、図6(a),(b)に示すパターンを透明フィルムに黒印刷したものを用いた。パターンのサイズ(有効範囲)は250mm×30mmとし、ストライプパターンの暗部の直線の幅aを0.15mm、直線のピッチbを0.6mm、マスク幅cを0.49mm、このマスクの離間距離を0.35mmとした。このcは上記式(2)中のBに対応するものであり、dは上記式(1)中のWに対応するものである。このc(=B)、d(=W)は、上述の式(1)〜(3)を満たす。このパターンにおける隣接する暗部の直線との間の距離は0.45mmであり、すなわち、ガラス板表面上で約0.5mmのサンプリングに相当する。このサンプリングの間隔は、従来の方法において限界であった1.0mmよりも短い。このサンプリングの間隔約0.5mmは、上述したように、表面反射ストライプパターンの像のデータと裏面反射ストライプパターンの像のデータを分離することができることによって可能となっている。又、サンプリングの間隔は、暗部の線幅の2倍まで小さくできるので、本実施例では0.3mmまで小さくすることができる。
照明光学系12は、図6(c)に示すように、透明板状体Gの表面から198mmの高さの位置に配置した。撮像デバイス14は、透明板状体Gの表面から884mmの高さの位置に配置して、透明板状体Gを斜め上方45度の方向から画像読み取りを行うように配置した。そのとき、ストライプパターン画像の透明板状体G上の幅は230mmであった(図6(d)参照)。このときのレンズの絞りは16とした。撮像デバイス14による読み取り間隔は3m秒とし、透明板状体Gについて230mmの長さ分の読み取りを行った。
図8は、その一部分の3次元表面形状の断面形状を示す図であり、実線は、本発明の方法により得られた結果であり、点線(従来方法)は従来技術である図10(a)に示す方法で行った結果である。但し、従来方法では、0.4mmのガラス板の表反射による像と裏面反射による像を分離することが困難であるので、裏面に反射防止用テープを貼り、裏面反射による像を消すことにより、表面反射による像を読み取って得たデータである。本発明の方法は、図10(a)に示すように、ストライプパターンをA方向に延在させて計測を行う従来方法と同様の結果を示すことがわかる。本発明は、例えば透明板状体が0.4mmの薄板であっても、表面形状の平坦度が悪くても、従来方法に比べて効率よく断面及び面形状を算出することができる。さらに、サンプリングの間隔を、従来に比べて短く設定できるので、精度良く断面及び面形状を測定できる。
また、ガラス板の製造設備に本発明の透明板状体の形状測定装置を備えれば、製造されるガラス板の面形状を製造設備のライン内で精度良く全検することができる。
12,104 照明光学系
14 撮像デバイス
15,106 照明光源
16,16a,16b,108 パターンフィルム
17,112 コンピュータ
18,18b マスク
19 遮蔽領域
102 透明板状体
110 カメラ
Claims (6)
- 明部及び暗部の繰り返しからなるパターン情報を持つ光を透明板状体に照射する照明光学系と、前記パターン情報を持つ光が透明板状体の面で反射したパターン画像を読み取る撮像デバイスと、読み取った前記パターン画像のデータから、透明板状体の断面形状を算出する形状算出手段と、を有する透明板状体の形状測定装置であって、
前記照明光学系は、照明光源と、この照明光源と透明板状体との間に配され、前記パターン画像をつくるように、明部及び暗部が繰り返すパターンフィルムと、を含み、
前記パターンフィルムには、前記パターン画像の、透明板状体の表面で反射した表面反射パターンの像及び透明板状体の裏面で反射した裏面反射パターンの像の少なくとも一方の像を遮蔽するように、前記パターンフィルムの前記明部及び暗部の繰り返し方向と直交又は略直交する方向に対して角度を有する方向に延在するマスクが、前記マスクの延在方向と直交する方向に、一定の幅で、一定距離離間して周期的に複数設けられており、
前記照明光学系の配置位置を透明板状体の面に垂直に射影した位置と、前記撮像デバイスの配置位置を透明板状体の面に垂直に射影した位置とを結ぶ方向を第1の方向というとき、
前記照明光学系は、前記パターン画像の前記明部及び暗部の繰り返し方向が前記第1の方向に対して角度を有するように前記パターン画像を照射することにより、前記表面反射パターンの像と前記裏面反射パターンの像とを、前記第1の方向に少なくとも一部で分離させ、
前記形状算出手段は、分離した前記表面反射パターンの像及び前記裏面反射パターンの像の少なくとも一方の像のデータを用いて透明板状体の断面形状を算出することを特徴とする透明板状体の形状測定装置。 - 前記パターン画像は、一方向に直線状に延在した複数の暗部の線が一定間隔で並列配置したストライプパターン情報を持つ光が透明板状体で反射したストライプパターン画像であり、
前記撮像デバイスは、複数の受光素子が1次元に配列し、前記第1の方向の異なる複数の位置で前記暗部の線を横切るようにラインで読み取る複数のラインセンサを有し、
前記複数のラインセンサのうち1つは、前記表面反射パターンの像をラインで読み取り、残りのラインセンサのうち1つは、前記裏面反射パターンの像をラインで読み取る請求項1に記載の透明板状体の形状測定装置。 - 前記パターンフィルムの前記マスクの前記一定の幅をB(mm)とし、前記一定距離をW(mm)、前記表面反射パターンの像又は前記裏面反射パターンの像上における前記複数のラインセンサのセンサの幅をR(mm)、前記複数のラインセンサにおける隣り合うラインセンサとの間のピッチをP(mm)、前記表面反射パターンの像と前記裏面反射パターンの像との分離距離をT(mm)としたとき、B(mm)、W(mm)、P(mm)、R(mm)及びT(mm)は、下記式(1)〜(3)を満足する請求項2に記載の透明板状体の形状測定装置。
W ≧ P + R (1)
B ≦ P×2 − R (2)
P + R ≦ T ≦ P×2 −R×2 (3)
但し、T(mm)は、透明板状体の板厚をt(mm)、透明板状体の屈折率をn、前記ストライプパターン情報を持つ光が透明板状体の読み取り位置に入射する入射角度をθ(ラジアン)としたとき、T=t×tan(sin-1((1/n)×sinθ))×2で定まる値を表す。 - 前記形状算出手段は、読み取った前記表面反射パターンの像と前記裏面反射パターンの像の少なくとも一方を用いて、透明板状体の表面の断面形状及び裏面の断面形状の少なくとも一方を算出する請求項1〜3のいずれか1項に記載の透明板状体の形状測定装置。
- 前記透明板状体は、前記第1の方向に搬送され、この搬送中に透明板状体の面形状を測定する請求項1〜4のいずれか1項に記載の透明板状体の形状測定装置。
- 板ガラスを製造する際、
板ガラスを搬送する工程と、
搬送する工程中、請求項1〜5のいずれか1項に記載の透明板状体の形状測定装置を用いて面形状を測定する工程と、を有することを特徴とする板ガラスの製造方法。
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