JPH10176149A - ポリイミド樹脂接着テープ - Google Patents
ポリイミド樹脂接着テープInfo
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- JPH10176149A JPH10176149A JP33934796A JP33934796A JPH10176149A JP H10176149 A JPH10176149 A JP H10176149A JP 33934796 A JP33934796 A JP 33934796A JP 33934796 A JP33934796 A JP 33934796A JP H10176149 A JPH10176149 A JP H10176149A
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- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/481—Disposition
- H01L2224/48151—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/48221—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/48245—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
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Landscapes
- Adhesive Tapes (AREA)
- Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 加工性に優れたポリイミド樹脂接着テープ
を提供する。 【解決手段】 ポリイミド樹脂製フィルムの両面に熱可
塑性ポリイミド樹脂接着剤を配してなり、当該ポリイミ
ド樹脂製フィルムと当該熱可塑性ポリイミド樹脂接着剤
の界面剥離強度が0.4kg/cm以上であるポリイミド樹
脂接着テープ、又は、ポリイミド樹脂製フィルムの両面
に熱可塑性ポリイミド樹脂接着剤を配してなり、当該熱
可塑性ポリイミド樹脂接着剤の厚みが片面それぞれ5μ
m以上、22μm以下であるポリイミド樹脂接着テー
プ。 【効果】 ベース基材となるポリイミド樹脂製フイル
ムとポリイミド樹脂接着剤界面を強化し、或いは熱可塑
製ポリイミド樹脂接着剤の厚みを特定することで、接着
テープのバリの発生を防止し、生産性、加工性の良好な
ポリイミド樹脂接着テープを提供し、これを用いた半導
体装置の信頼性の向上を図る。
を提供する。 【解決手段】 ポリイミド樹脂製フィルムの両面に熱可
塑性ポリイミド樹脂接着剤を配してなり、当該ポリイミ
ド樹脂製フィルムと当該熱可塑性ポリイミド樹脂接着剤
の界面剥離強度が0.4kg/cm以上であるポリイミド樹
脂接着テープ、又は、ポリイミド樹脂製フィルムの両面
に熱可塑性ポリイミド樹脂接着剤を配してなり、当該熱
可塑性ポリイミド樹脂接着剤の厚みが片面それぞれ5μ
m以上、22μm以下であるポリイミド樹脂接着テー
プ。 【効果】 ベース基材となるポリイミド樹脂製フイル
ムとポリイミド樹脂接着剤界面を強化し、或いは熱可塑
製ポリイミド樹脂接着剤の厚みを特定することで、接着
テープのバリの発生を防止し、生産性、加工性の良好な
ポリイミド樹脂接着テープを提供し、これを用いた半導
体装置の信頼性の向上を図る。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体分野で、その
組み立て工程において使用される接着用テープに関す
る。
組み立て工程において使用される接着用テープに関す
る。
【0002】
【従来の技術】半導体の組み立て工程において、多ピン
リードフレームのインナーリードの固定、放熱板とリー
ドフレームとの接着、ダイパットと半導体素子との接
着、特に近年急速に伸びつつあるリードオンチップ(以
下、LOCという。)に見られるリードフレームと半導
体素子との接着等の各部の固定用・接着用等に接着テー
プの使用は不可欠である(特開平2−246125号公
報など)。
リードフレームのインナーリードの固定、放熱板とリー
ドフレームとの接着、ダイパットと半導体素子との接
着、特に近年急速に伸びつつあるリードオンチップ(以
下、LOCという。)に見られるリードフレームと半導
体素子との接着等の各部の固定用・接着用等に接着テー
プの使用は不可欠である(特開平2−246125号公
報など)。
【0003】これらの用途において使用される接着テー
プは、最終的に半導体装置内部に組み込まれるため、半
導体装置の信頼性に与える影響は大きく、これらの用途
に高耐熱性、高純度のポリイミド樹脂が使われる。上記
のポリイミド樹脂接着テープは、二個以上の部品を接着
するため、両面接着性を必要とし、ポリイミド樹脂製フ
ィルムの両面に熱可塑性ポリイミド樹脂をコーティング
して製造される(特開平6−218880号公報)。
プは、最終的に半導体装置内部に組み込まれるため、半
導体装置の信頼性に与える影響は大きく、これらの用途
に高耐熱性、高純度のポリイミド樹脂が使われる。上記
のポリイミド樹脂接着テープは、二個以上の部品を接着
するため、両面接着性を必要とし、ポリイミド樹脂製フ
ィルムの両面に熱可塑性ポリイミド樹脂をコーティング
して製造される(特開平6−218880号公報)。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ポリイミド樹脂接着テ
ープは、使用に当たって必要な形状、大きさに金型で打
ち抜かれる。この際に、テープの接着剤間に存在するポ
リイミド樹脂製フィルムから打ち抜きバリが発生する。
この打ち抜きバリは、容易にテープから脱離し、最終製
品である半導体装置の信頼性を低下させるという問題が
ある。この信頼性を確保するためにバリの検査や除去工
程を必要とし、従って、半導体装置の製造工程が繁雑に
なり、生産性が悪く、製造コストも高くならざるを得な
い。本発明は、上記の課題を解決し、打ち抜き時のバリ
発生を防止し、生産性、加工性の良好なポリイミド樹脂
接着テープを提供し、半導体装置の信頼性の向上をはか
るものである。
ープは、使用に当たって必要な形状、大きさに金型で打
ち抜かれる。この際に、テープの接着剤間に存在するポ
リイミド樹脂製フィルムから打ち抜きバリが発生する。
この打ち抜きバリは、容易にテープから脱離し、最終製
品である半導体装置の信頼性を低下させるという問題が
ある。この信頼性を確保するためにバリの検査や除去工
程を必要とし、従って、半導体装置の製造工程が繁雑に
なり、生産性が悪く、製造コストも高くならざるを得な
い。本発明は、上記の課題を解決し、打ち抜き時のバリ
発生を防止し、生産性、加工性の良好なポリイミド樹脂
接着テープを提供し、半導体装置の信頼性の向上をはか
るものである。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明者は、種々解析を
重ねた結果、打ち抜きバリの発生はポリイミド樹脂製フ
ィルムとポリイミド樹脂接着剤との界面剥離強度及び/
又はポリイミド樹脂接着剤の厚みと密接な関係があるこ
とを見出した。すなわち界面剥離強度が低いと打ち抜き
の際に加えられた力が界面に沿って分散され、ポリイミ
ド樹脂製フィルムを切断するための十分な力が加わら
ず、バリを発生させる原因となる。更に検討を重ねた結
果、界面剥離強度をあるレベル以上に保つことで打ち抜
きバリの発生を抑えることができることを見出した。
重ねた結果、打ち抜きバリの発生はポリイミド樹脂製フ
ィルムとポリイミド樹脂接着剤との界面剥離強度及び/
又はポリイミド樹脂接着剤の厚みと密接な関係があるこ
とを見出した。すなわち界面剥離強度が低いと打ち抜き
の際に加えられた力が界面に沿って分散され、ポリイミ
ド樹脂製フィルムを切断するための十分な力が加わら
ず、バリを発生させる原因となる。更に検討を重ねた結
果、界面剥離強度をあるレベル以上に保つことで打ち抜
きバリの発生を抑えることができることを見出した。
【0006】また、熱可塑性ポリイミド樹脂接着剤の厚
みが厚いと、打ち抜きの際に加えられた力が接着剤層を
伝播する間に大きく拡散し、ポリイミド樹脂製フイルム
に切断するために必要な力が十分に加わらず、バリを発
生させる原因となる。そこで更に検討を重ねた結果、熱
可塑性ポリイミド樹脂接着剤の厚みを特定の値の範囲に
制御することで打ち抜きバリの発生を抑えることができ
ることを見出した。
みが厚いと、打ち抜きの際に加えられた力が接着剤層を
伝播する間に大きく拡散し、ポリイミド樹脂製フイルム
に切断するために必要な力が十分に加わらず、バリを発
生させる原因となる。そこで更に検討を重ねた結果、熱
可塑性ポリイミド樹脂接着剤の厚みを特定の値の範囲に
制御することで打ち抜きバリの発生を抑えることができ
ることを見出した。
【0007】すなわち、本発明は、(1)ポリイミド樹
脂製フィルムの両面に熱可塑性ポリイミド樹脂接着剤を
配してなり、当該ポリイミド樹脂製フィルムと当該熱可
塑性ポリイミド樹脂接着剤の界面剥離強度が0.4kg/
cm以上であるポリイミド樹脂接着テープ、及び(2)ポ
リイミド樹脂製フィルムの両面に熱可塑性ポリイミド樹
脂接着剤を配してなり、当該熱可塑性ポリイミド樹脂接
着剤の厚みが片面それぞれ5μm以上、22μm以下で
あるポリイミド樹脂接着テープである。
脂製フィルムの両面に熱可塑性ポリイミド樹脂接着剤を
配してなり、当該ポリイミド樹脂製フィルムと当該熱可
塑性ポリイミド樹脂接着剤の界面剥離強度が0.4kg/
cm以上であるポリイミド樹脂接着テープ、及び(2)ポ
リイミド樹脂製フィルムの両面に熱可塑性ポリイミド樹
脂接着剤を配してなり、当該熱可塑性ポリイミド樹脂接
着剤の厚みが片面それぞれ5μm以上、22μm以下で
あるポリイミド樹脂接着テープである。
【0008】本発明の目的は、上記の(1)又は(2)
項のいづれかを満足すれば、達成することができるが、
上記(1)項及び(2)項をともに満足させることによ
っても本発明の目的を達成することは勿論である。
項のいづれかを満足すれば、達成することができるが、
上記(1)項及び(2)項をともに満足させることによ
っても本発明の目的を達成することは勿論である。
【0009】
【発明の実施の形態】本発明に使用されるポリイミド樹
脂製フィルムは、通常加熱により容易に溶融しないポリ
イミドを使用し、熱溶融したとしても、450℃以下、
好ましくは500℃以下の温度で熱溶融しないポリイミ
ドを用いる。その上限温度はポリイミド樹脂自身の熱分
解を考慮すると600℃以下である。450℃以下の温
度で熱溶融しないものとは、450℃以下の温度におけ
る弾性率が100MPa以上、好ましくは200MPa
以上のものであり、通常は1000MPa以下である。
このようなポリイミド樹脂製フィルムは公知の各種のポ
リイミドから容易に選択することができ、その市販例と
しては、ユーピレックス(宇部興産社製)、カプトン
(デュポン社製)、アピカル(鐘淵化学社製)等が上げ
られる。これらのポリイミド樹脂製フィルムは、ポリイ
ミド樹脂接着剤との界面で高い剥離強度を得るために、
カップリング剤処理、コロナ処理、プラズマ処理、熱処
理、ブラスト処理等を施してあることが好ましい。ポリ
イミド樹脂製フィルムとしては、5〜200μmの厚み
のフィルムが使用できるが、10〜125μmのものが
好ましく用いられる。
脂製フィルムは、通常加熱により容易に溶融しないポリ
イミドを使用し、熱溶融したとしても、450℃以下、
好ましくは500℃以下の温度で熱溶融しないポリイミ
ドを用いる。その上限温度はポリイミド樹脂自身の熱分
解を考慮すると600℃以下である。450℃以下の温
度で熱溶融しないものとは、450℃以下の温度におけ
る弾性率が100MPa以上、好ましくは200MPa
以上のものであり、通常は1000MPa以下である。
このようなポリイミド樹脂製フィルムは公知の各種のポ
リイミドから容易に選択することができ、その市販例と
しては、ユーピレックス(宇部興産社製)、カプトン
(デュポン社製)、アピカル(鐘淵化学社製)等が上げ
られる。これらのポリイミド樹脂製フィルムは、ポリイ
ミド樹脂接着剤との界面で高い剥離強度を得るために、
カップリング剤処理、コロナ処理、プラズマ処理、熱処
理、ブラスト処理等を施してあることが好ましい。ポリ
イミド樹脂製フィルムとしては、5〜200μmの厚み
のフィルムが使用できるが、10〜125μmのものが
好ましく用いられる。
【0010】本発明において使用される熱可塑性ポリイ
ミド樹脂接着剤としては、450℃以下、好ましくは4
00℃以下の温度で熱可塑性を示すものを使用する。4
50℃以下で熱可塑性を示すものとは、450℃以下の
温度における弾性率が、100Pa以上、1MPa以
下、好ましくは200Pa以上、0.9MPa以下のも
のを使用する。100Pa未満では十分な機械特性を得
ることができず、1MPaを超えた場合、被接着物に対
して十分な接着性を得ることができない。
ミド樹脂接着剤としては、450℃以下、好ましくは4
00℃以下の温度で熱可塑性を示すものを使用する。4
50℃以下で熱可塑性を示すものとは、450℃以下の
温度における弾性率が、100Pa以上、1MPa以
下、好ましくは200Pa以上、0.9MPa以下のも
のを使用する。100Pa未満では十分な機械特性を得
ることができず、1MPaを超えた場合、被接着物に対
して十分な接着性を得ることができない。
【0011】このようなポリイミド樹脂接着剤は耐熱性
を考えた場合、芳香族基を有するジアミン化合物と芳香
族基を有する酸二無水物とより公知の方法により重合さ
れるもので、かつ、その対数粘度が0.1g/ml以
上、2.0g/ml以下、好ましくは0.3g/ml以
上、1.0g/ml以下のポリイミドからなる接着剤で
ある。対数粘度が0.1g/ml未満では機械特性が低
下し、2.0g/mlを超えると弾性率が高くなり、接
着性を得るに十分な熱溶融性が得られない。
を考えた場合、芳香族基を有するジアミン化合物と芳香
族基を有する酸二無水物とより公知の方法により重合さ
れるもので、かつ、その対数粘度が0.1g/ml以
上、2.0g/ml以下、好ましくは0.3g/ml以
上、1.0g/ml以下のポリイミドからなる接着剤で
ある。対数粘度が0.1g/ml未満では機械特性が低
下し、2.0g/mlを超えると弾性率が高くなり、接
着性を得るに十分な熱溶融性が得られない。
【0012】ここで対数粘度とは、次式、 対数粘度=log(η/η0)/C で算出される値であり、ηは溶媒N,N−ジメチルアセ
トアミド100ml中に該ポリイミド樹脂の前駆体であ
るポリアミド酸0.5gを溶かした溶液の35℃で測定
した粘度、η0 は上記溶媒の35℃で測定した粘度、C
は溶媒100ml中のポリアミド酸のgで表した重合体
の溶液濃度である。
トアミド100ml中に該ポリイミド樹脂の前駆体であ
るポリアミド酸0.5gを溶かした溶液の35℃で測定
した粘度、η0 は上記溶媒の35℃で測定した粘度、C
は溶媒100ml中のポリアミド酸のgで表した重合体
の溶液濃度である。
【0013】前記のジアミンの具体的な例としては、p
−フェニレンジアミン、4,4’−ジアミノジフェニル
メタン、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、4,
4’−ジアミノベンゾフェノン、3,3’−ジアミノベ
ンゾフェノン、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)
ベンゼン、ビス4−(3−アミノフェノキシ)ビフェニ
ル、ビス4−(4−アミノフェノキシ)ビフェニル、
2,2−ビス(4−(3−アミノフェノキシ)フェニ
ル)プロパン、2,2−ビス(4−(4−アミノフェノ
キシ)フェニル)プロパン等が挙げられ、これらは単独
または二種以上混合して使用される。
−フェニレンジアミン、4,4’−ジアミノジフェニル
メタン、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、4,
4’−ジアミノベンゾフェノン、3,3’−ジアミノベ
ンゾフェノン、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)
ベンゼン、ビス4−(3−アミノフェノキシ)ビフェニ
ル、ビス4−(4−アミノフェノキシ)ビフェニル、
2,2−ビス(4−(3−アミノフェノキシ)フェニ
ル)プロパン、2,2−ビス(4−(4−アミノフェノ
キシ)フェニル)プロパン等が挙げられ、これらは単独
または二種以上混合して使用される。
【0014】酸二無水物の具体的例としては、ピロメリ
ット酸二無水物、ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無
水物、フェニレンジオキシジフタル酸二無水物、ビフェ
ニルテトラカルボン酸二無水物等が挙げられ、これらは
単独または二種以上混合して使用される。しかしながら
本発明は、これらの例示に限定されるものではなく、芳
香族基を有し、最終的に接着剤としたとき、450℃以
下の温度で熱可塑性を示すものは全て使用可能である。
また耐熱性を損なわない範囲で脂肪族系のジアミンある
いはシリコーン系のジアミンを併用することも可能であ
る。
ット酸二無水物、ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無
水物、フェニレンジオキシジフタル酸二無水物、ビフェ
ニルテトラカルボン酸二無水物等が挙げられ、これらは
単独または二種以上混合して使用される。しかしながら
本発明は、これらの例示に限定されるものではなく、芳
香族基を有し、最終的に接着剤としたとき、450℃以
下の温度で熱可塑性を示すものは全て使用可能である。
また耐熱性を損なわない範囲で脂肪族系のジアミンある
いはシリコーン系のジアミンを併用することも可能であ
る。
【0015】本発明においては、ポリイミド樹脂製フィ
ルムの両面にポリイミド樹脂またはポリイミド樹脂の前
駆体であるポリアミド酸を溶剤に溶解したワニス状態で
コーティングする。使用可能な溶剤としては、前記ポリ
イミド樹脂あるいはその前駆体であるポリアミド酸が溶
解する溶剤なら全て使用可能である。好ましく用いられ
る溶剤としては、N−メチル−2−ピロリドン、ジメチ
ルアセトアミド、ジメチルホルムアミド、ジグライム、
トリグライム等である。
ルムの両面にポリイミド樹脂またはポリイミド樹脂の前
駆体であるポリアミド酸を溶剤に溶解したワニス状態で
コーティングする。使用可能な溶剤としては、前記ポリ
イミド樹脂あるいはその前駆体であるポリアミド酸が溶
解する溶剤なら全て使用可能である。好ましく用いられ
る溶剤としては、N−メチル−2−ピロリドン、ジメチ
ルアセトアミド、ジメチルホルムアミド、ジグライム、
トリグライム等である。
【0016】本発明では、前記のポリイミド樹脂製フィ
ルムの両面に前記のポリイミド樹脂ワニスまたはポリア
ミド酸ワニスをダイコーター、バーコーター、グラビア
コーター等によりコーティングした後、連続的に乾燥工
程により溶剤を飛散・乾燥させて固化し、接着剤層を形
成させる。乾燥に当たっては、ポリイミド樹脂製フィル
ムと熱可塑性ポリイミド樹脂接着剤の熱膨張差に起因す
る残留応力を小さくし、高い界面剥離強度を得るために
最高乾燥温度300℃以下で乾燥し、急激な溶剤の飛散
を防ぐために100℃から段階的に温度を上げることが
好ましい。乾燥方式に関しては特に限定されるものでは
なく、加熱エア方式、赤外線、遠赤外線方式等が用いら
れる。
ルムの両面に前記のポリイミド樹脂ワニスまたはポリア
ミド酸ワニスをダイコーター、バーコーター、グラビア
コーター等によりコーティングした後、連続的に乾燥工
程により溶剤を飛散・乾燥させて固化し、接着剤層を形
成させる。乾燥に当たっては、ポリイミド樹脂製フィル
ムと熱可塑性ポリイミド樹脂接着剤の熱膨張差に起因す
る残留応力を小さくし、高い界面剥離強度を得るために
最高乾燥温度300℃以下で乾燥し、急激な溶剤の飛散
を防ぐために100℃から段階的に温度を上げることが
好ましい。乾燥方式に関しては特に限定されるものでは
なく、加熱エア方式、赤外線、遠赤外線方式等が用いら
れる。
【0017】このようにして得られたポリイミド樹脂接
着テープで、本発明の目的を達成するためには、ポリイ
ミド樹脂製フィルムと熱可塑性ポリイミド樹脂接着剤と
の界面剥離強度が、0.4kg/cm以上、好ましくは0.
5kg/cm以上であることが必要である。0.4kg/cm未
満では打ち抜きバリを抑制する効果が得られない。界面
剥離強度の上限は特に限定されないが、特性上2kg/cm
を超えることはない。界面剥離強度を0.4kg/cm
以上に保つための手段としては、そのひとつが、ポリイ
ミド樹脂製フイルムの表面を化学的あるいは物理的に処
理する方法である。例えば、カップリング剤処理、プラ
ズマ処理、コロナ処理、熱処理、ブラスト処理などがあ
げられる。さらに、界面における残留応力を低下させて
界面剥離強度の劣化を防ぐために、ポリイミド樹脂接着
剤をコーテイングした後の最高乾燥温度を300℃以下
とする必要がある。
着テープで、本発明の目的を達成するためには、ポリイ
ミド樹脂製フィルムと熱可塑性ポリイミド樹脂接着剤と
の界面剥離強度が、0.4kg/cm以上、好ましくは0.
5kg/cm以上であることが必要である。0.4kg/cm未
満では打ち抜きバリを抑制する効果が得られない。界面
剥離強度の上限は特に限定されないが、特性上2kg/cm
を超えることはない。界面剥離強度を0.4kg/cm
以上に保つための手段としては、そのひとつが、ポリイ
ミド樹脂製フイルムの表面を化学的あるいは物理的に処
理する方法である。例えば、カップリング剤処理、プラ
ズマ処理、コロナ処理、熱処理、ブラスト処理などがあ
げられる。さらに、界面における残留応力を低下させて
界面剥離強度の劣化を防ぐために、ポリイミド樹脂接着
剤をコーテイングした後の最高乾燥温度を300℃以下
とする必要がある。
【0018】本発明の目的を達成するためのもう一つの
方法は、ポリイミド樹脂接着剤のそれぞれ片面の厚み
を、5μm以上、22μm以下、好ましくは、8μm以
上、20μm以下にする必要がある。5μm未満では、
十分な接着力を得ることができず、22μmを超えると
打ち抜きバリを抑制する効果が得られない。
方法は、ポリイミド樹脂接着剤のそれぞれ片面の厚み
を、5μm以上、22μm以下、好ましくは、8μm以
上、20μm以下にする必要がある。5μm未満では、
十分な接着力を得ることができず、22μmを超えると
打ち抜きバリを抑制する効果が得られない。
【0019】以上の様に製造されたポリイミド樹脂接着
テープは加工性に優れ、高い信頼性を要求される半導体
分野での絶縁接着用途に有用である。以下、実施例を上
げて本発明の優位性を説明する。
テープは加工性に優れ、高い信頼性を要求される半導体
分野での絶縁接着用途に有用である。以下、実施例を上
げて本発明の優位性を説明する。
【0020】
実施例1〜4及び比較例1、2 厚み50μmのユーピレックスフィルム(宇部興産社
製)の両面に、熱可塑性ポリイミド接着剤PI−Pm
(三井東圧化学社製)を乾燥後片面20μmづつの厚み
となるようにコーティング、乾燥してポリイミド樹脂接
着テープを得た。この際、ユーピレックスの処理法、乾
燥の際の最高乾燥温度を変更し、種々の界面剥離強度の
テープを得た。界面剥離強度は90°ピールテストによ
り測定した。引張り速度は50mm/minである。バリはテ
ープ打ち抜き機により1000回打ち抜きを行い、その
発生状況(サイズ、個数)を測定した。結果を表1に示
す。バリに付いては、サイズ別にバリの発生した個数を
100分率で示した。
製)の両面に、熱可塑性ポリイミド接着剤PI−Pm
(三井東圧化学社製)を乾燥後片面20μmづつの厚み
となるようにコーティング、乾燥してポリイミド樹脂接
着テープを得た。この際、ユーピレックスの処理法、乾
燥の際の最高乾燥温度を変更し、種々の界面剥離強度の
テープを得た。界面剥離強度は90°ピールテストによ
り測定した。引張り速度は50mm/minである。バリはテ
ープ打ち抜き機により1000回打ち抜きを行い、その
発生状況(サイズ、個数)を測定した。結果を表1に示
す。バリに付いては、サイズ別にバリの発生した個数を
100分率で示した。
【0021】
【表1】
【0022】実施例5〜11及び比較例3、4 厚み50μmのユーピレックスフィルム(宇部興産社
製)の両面に、熱可塑性ポリイミド接着剤PI−Pm
(三井東圧化学社製)を乾燥後の厚みが異なるようにコ
ーティング、乾燥して熱可塑性ポリイミド樹脂接着剤の
厚みが異なるポリイミド樹脂接着テープを得た。これら
のテープはマイクロメーターでテープの厚みを測定し、
予め測定しておいたユーピレックスフィルムの厚みより
熱可塑性ポリイミド樹脂接着剤層の厚みを求めた。接着
強度は42アロイに350℃、20kg/cm2 の条件で3
秒間加熱圧着した後、引張り試験機により90°ピール
テストにより測定した。打ち抜きバリはテープ打ち抜き
機により1000回打ち抜きを行い、バリの発生率を測
定した。結果を表2に示す。
製)の両面に、熱可塑性ポリイミド接着剤PI−Pm
(三井東圧化学社製)を乾燥後の厚みが異なるようにコ
ーティング、乾燥して熱可塑性ポリイミド樹脂接着剤の
厚みが異なるポリイミド樹脂接着テープを得た。これら
のテープはマイクロメーターでテープの厚みを測定し、
予め測定しておいたユーピレックスフィルムの厚みより
熱可塑性ポリイミド樹脂接着剤層の厚みを求めた。接着
強度は42アロイに350℃、20kg/cm2 の条件で3
秒間加熱圧着した後、引張り試験機により90°ピール
テストにより測定した。打ち抜きバリはテープ打ち抜き
機により1000回打ち抜きを行い、バリの発生率を測
定した。結果を表2に示す。
【0023】
【表2】
【0024】
【発明の効果】本発明は、半導体装置などに使用される
ポリイミド樹脂接着テープの打ち抜き時のバリ発生を防
止し、生産性、加工性の良好なポリイミド樹脂接着テー
プを提供し、半導体装置の信頼性の向上をはかる。
ポリイミド樹脂接着テープの打ち抜き時のバリ発生を防
止し、生産性、加工性の良好なポリイミド樹脂接着テー
プを提供し、半導体装置の信頼性の向上をはかる。
フロントページの続き (72)発明者 田辺 健二 神奈川県横浜市栄区笠間町1190番地 三井 東圧化学株式会社内 (72)発明者 中村 一宜 茨城県日立市助川町3−1−1 日立電線 株式会社内
Claims (2)
- 【請求項1】ポリイミド樹脂製フィルムの両面に熱可塑
性ポリイミド樹脂接着剤を配してなり、当該ポリイミド
樹脂製フィルムと当該熱可塑性ポリイミド樹脂接着剤の
界面剥離強度が0.4kg/cm以上であるポリイミド樹脂
接着テープ。 - 【請求項2】ポリイミド樹脂製フィルムの両面に熱可塑
性ポリイミド樹脂接着剤を配してなり、当該熱可塑性ポ
リイミド樹脂接着剤の厚みが片面それぞれ5μm以上、
22μm以下であるポリイミド樹脂接着テープ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33934796A JPH10176149A (ja) | 1996-12-19 | 1996-12-19 | ポリイミド樹脂接着テープ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33934796A JPH10176149A (ja) | 1996-12-19 | 1996-12-19 | ポリイミド樹脂接着テープ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10176149A true JPH10176149A (ja) | 1998-06-30 |
Family
ID=18326599
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP33934796A Pending JPH10176149A (ja) | 1996-12-19 | 1996-12-19 | ポリイミド樹脂接着テープ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH10176149A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009263400A (ja) * | 2008-04-21 | 2009-11-12 | Nitto Denko Corp | 熱硬化型粘接着テープ又はシート |
-
1996
- 1996-12-19 JP JP33934796A patent/JPH10176149A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009263400A (ja) * | 2008-04-21 | 2009-11-12 | Nitto Denko Corp | 熱硬化型粘接着テープ又はシート |
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