JPH0967559A - 電子部品用接着テープ及び液状接着剤 - Google Patents

電子部品用接着テープ及び液状接着剤

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JPH0967559A
JPH0967559A JP7245149A JP24514995A JPH0967559A JP H0967559 A JPH0967559 A JP H0967559A JP 7245149 A JP7245149 A JP 7245149A JP 24514995 A JP24514995 A JP 24514995A JP H0967559 A JPH0967559 A JP H0967559A
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修 岡
Takeshi Nishigaya
剛 西ヶ谷
Fumiyoshi Yamanashi
史義 山梨
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 比較的低温で接着、硬化ができ、十分な耐熱
性、信頼性等を有する電子部品用接着テープ及び電子部
品用液状接着剤を提供する。 【解決手段】 電子部品用接着テープは、耐熱性フィル
ムの少なくとも一面、又は剥離性フィルムの一面に、下
記式(1)で表される構造単位95〜40モル%及び下
記式(2)で表される構造単位5〜60モル%を含有す
る1つ以上のポリイミドからなる接着層を積層して構成
される。 【化1】 (式中、Xは−SO2 −及び/又は−C(=O)−OC
2 CH2 O−C(=O)−を示し、Arは芳香環を有
する特定の構造から選ばれた二価の基、Rは炭素数1〜
10のアルキレン基又は−CH2 OC6 4 −を示す。
nは1〜20の整数を意味する。)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体装置を構成する
リードフレーム周辺の部材間、例えば、リードピン、半
導体チップ搭載用基盤、放熱板、半導体チップ自体の接
着等に使用するための電子部品用接着テープ及び液状接
着剤に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、樹脂封止型半導体装置内において
使用される接着テープ等には、リードフレーム固定用接
着テープ、TABテープなどがあり、例えば、リードフ
レーム固定用接着テープの場合には、リードフレームの
リードピンを固定し、リードフレーム自体及び半導体ア
センブリ工程全体の生産歩留まり及び生産性の向上を目
的として使用されており、一般にリードフレームメーカ
ーでリードフレーム上にテーピングされ、半導体メーカ
ーに持ち込まれ、IC搭載後、樹脂封止される。そのた
め、リードフレーム固定用接着テープには、半導体レベ
ルでの一般的な信頼性及びテーピング時の作業性は勿論
のこと、テーピング直後の十分な室温接着力、半導体装
置組み立て工程での加熱に耐える十分な耐熱性等が要求
される。従来、このような用途に使用される接着テープ
としては、例えば、ポリイミドフィルム等の支持体フィ
ルム上に、ポリアクリロニトリル、ポリアクリル酸エス
テル或いはアクリロニトリル−ブタジエン共重合体等の
合成ゴム系樹脂等の単独、または他の樹脂で変性したも
の、或いは他の樹脂と混合した接着剤を塗布し、Bステ
ージ状態としたものが使用されている。
【0003】近年、図1〜図3に示されるような構造の
樹脂封止型半導体装置(半導体パッケージ)が開発また
は製造されている。図1においては、リードピン3とプ
レーン2とが、接着層6によって接続され、半導体チッ
プ1がプレーン2上に搭載されており、半導体チップ1
とリードピン3との間のボンディングワイヤー4と共
に、樹脂5によって封止された構造を有している。図2
においては、リードフレームのリードピン3が半導体チ
ップ1と接着層6によって固定されており、ボンディン
グワイヤー4と共に、樹脂5によって封止された構造を
有している。また、図3においては、ダイパッド7の上
に半導体チップ1が搭載され、また、電極8が接着層6
によって固定されており、そして、半導体チップ1と電
極8との間および電極8とリードピン3との間が、それ
ぞれボンディングワイヤー4によって連結され、それら
が樹脂5によって封止された構造を有している。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】これら図1〜図3に示
される構造の樹脂封止型半導体装置における接着層にお
いて、従来の接着剤を塗布した接着テープを使用した場
合には、耐熱性が十分でないため、発生ガスがリードを
汚染して接着力の低下を招いたり、パッケージクラック
の発生原因になる等の問題がある。本発明は、従来の技
術における上記のような実情に鑑み、その改善を図るべ
くなされたものである。すなわち、本発明の目的は、十
分な耐熱性、信頼性等を有する電子部品用接着テープお
よび電子部品用液状接着剤を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明の第1の電子部品
用接着テープは、耐熱性フィルムの少なくとも一面に、
下記式(1a)で表される構造単位及び下記式(1b)
で表される構造単位の少なくとも1種を95〜40モル
%と、下記式(2a)で表される構造単位及び下記式
(2b)で表される構造単位の少なくとも1種を5〜6
0モル%とを含有する1つ以上のポリイミドからなる接
着層を積層してなることを特徴とする。
【化6】 (式中、Arは芳香環を有する下記の構造から選ばれた
二価の基を示す。)
【0006】
【化7】
【0007】
【化8】 (式中、Rは炭素数1〜10のアルキレン基または−C
2 OC6 4 −を示す。nは1〜20の整数を意味す
る。)
【0008】本発明の第2の電子部品用接着テープは、
剥離性フィルムの一面に、上記式(1a)で表される構
造単位及び上記式(1b)で表される構造単位の少なく
とも1種を95〜40モル%と、上記式(2a)で表さ
れる構造単位及び上記式(2b)で表される構造単位の
少なくとも1種を5〜60モル%とを含有する1つ以上
のポリイミドからなる接着層を積層してなることを特徴
とする。また、本発明の電子部品用液状接着剤は、有機
溶剤中に、上記式(1a)で表される構造単位及び上記
式(1b)で表される構造単位の少なくとも1種を95
〜40モル%と、上記式(2a)で表される構造単位及
び上記式(2b)で表される構造単位の少なくとも1種
を5〜60モル%とを含有する1つ以上のポリイミドを
溶解してなることを特徴とする。
【0009】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て詳細に説明する。本発明の電子部品用接着テープおよ
び電子部品用液状接着剤に使用されるポリイミドは、下
記式(1a)で表される構造単位及び下記式(1b)で
表される構造単位の少なくとも1種を95〜40モル%
含有するものである。この場合、式(1a)で表される
構造単位及び式(1b)で表される構造単位の少なくと
も1種とは、式(1a)で表される構造単位単独からな
るもの、式(1b)で表される構造単位単独からなるも
の及び両者の構造単位からなるもののいずれも含むもの
である。
【化9】 (式中、Arは前記したと同意義を有する。)
【0010】また、本発明に使用されるポリイミドは、
下記式(2a)で表される構造単位及び下記式(2b)
で表される構造単位の少なくとも1種を5〜60モル%
含有するものである。この場合、式(2a)で表される
構造単位及び式(2b)で表される構造単位の少なくと
も1種とは、式(2a)で表される構造単位単独からな
るもの、式(2b)で表される構造単位単独からなるも
の及び両者の構造単位からなるもののいずれも含むもの
である。
【化10】 (式中、R及びnは、前記したと同意義を有する。)
【0011】本発明において使用される上記のポリイミ
ドは、式(1a)及び式(1b)で表される構造単位
(以下、これを[(1a)+(1b)]と記す。)が多
いほどガラス転移温度が高くなり、式(2a)及び式
(2b)で表される構造単位(以下、これを[(2a)
+(2b)]と記す。)が多いほどガラス転移温度が低
くなる。また、式(1b)及び式(2b)で表される構
造単位が多くなるほどガラス転移温度が低くなる。この
ため、上記のポリイミドは、ガラス転移温度を制御する
ことによって、接着剤の圧着可能温度を制御することが
可能である。一方、上記のポリイミドの溶解性について
は、ポリイミド中の[(2a)+(2b)]の割合が大
きく寄与するものであり、その割合が5モル%より少な
くなると、アミド系溶剤に溶解するにすぎないものとな
る。
【0012】本発明に使用するポリイミドは、一般的な
ポリイミドの製造方法を用いて製造することができる。
すなわち、各繰り返し構造単位に対応するテトラカルボ
ン酸無水物と、各繰り返し構造単位に対応するジアミン
またはジイソシアナートとから製造することが可能であ
る。具体的には、上記のポリイミドは、下記式(3a)
及び式(3b)で表されるテトラカルボン酸二無水物、
下記式(4)で表される化合物及び下記式(5)で表さ
れるシロキサン系化合物とを反応させることにより製造
することができる。
【化11】 (式中、Arは芳香環を有する下記の構造から選ばれた
二価の基、Yはアミノ基またはイソシアナート基を示
す。)
【化12】 (式中、Rは炭素数1〜10のアルキレン基または−C
2 OC6 4 −を示す。nは1〜20の整数を意味す
る。Yはアミノ基またはイソシアナート基を示す。)
【0013】ポリイミドの製造原料として使用され、ポ
リイミドの基本的な繰り返し構造単位を構成する上記式
(3a)及び式(3b)で表されるテトラカルボン酸二
無水物としては、それぞれ3,3′,4,4′−ジフェ
ニルスルホンテトラカルボン酸二無水物及びエチレング
リコールビストリメリテート二無水物である。
【0014】また、上記式(4)で表される化合物とし
ては、Arは上記した芳香環を有する構造から選ばれた
二価の基で示されるものであり、また、官能基Yがアミ
ノ基であるジアミン類としては、具体的には、次のもの
が挙げられる。3,3′−ジアミノビフェニル、3,
4′−ジアミノビフェニル、4,4′−ジアミノビフェ
ニル、3,3′−ジアミノジフェニルメタン、3,4′
−ジアミノジフェニルメタン、4,4′−ジアミノジフ
ェニルメタン、2,2−(3,3′−ジアミノジフェニ
ル)プロパン、2,2−(3,4′−ジアミノジフェニ
ル)プロパン、2,2−(4,4′−ジアミノジフェニ
ル)プロパン、2,2−(3,3′−ジアミノジフェニ
ル)ヘキサフルオロプロパン、2,2−(3,4′−ジ
アミノジフェニル)ヘキサフルオロプロパン、2,2−
(4,4′−ジアミノジフェニル)ヘキサフルオロプロ
パン、3,3′−オキシジアニリン、3,4′−オキシ
ジアニリン、4,4′−オキシジアニリン、3,3′−
ジアミノジフェニルスルフィド、3,4′−ジアミノジ
フェニルスルフィド、4,4′−ジアミノジフェニルス
ルフィド、3,3′−ジアミノジフェニルスルホン、
3,4′−ジアミノジフェニルスルホン、4,4′−ジ
アミノジフェニルスルホン、1,3−ビス[1−(3−
アミノフェニル)−1−メチルエチル]ベンゼン、1,
3−ビス[1−(4−アミノフェニル)−1−メチルエ
チル]ベンゼン、1,4−ビス[1−(3−アミノフェ
ニル)−1−メチルエチル]ベンゼン、1,4−ビス
[1−(4−アミノフェニル)−1−メチルエチル]ベ
ンゼン、1,3−ビス (3−アミノフェノキシ)ベン
ゼン、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼ
ン、1,4−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、
1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、3,
3′−ビス(3−アミノフェノキシ)ジフェニルエーテ
ル、3,3′−ビス(4−アミノフェノキシ)ジフェニ
ルエーテル、3,4′−ビス(3−アミノフェノキシ)
ジフェニルエーテル、3,4′−ビス(4−アミノフェ
ノキシ)ジフェニルエーテル、4,4′−ビス(3−ア
ミノフェノキシ)ジフェニルエーテル、4,4′−ビス
(4−アミノフェノキシ)ジフェニルエーテル、3,
3′−ビス(3−アミノフェノキシ)ビフェニル、3,
3′−ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニル、3,
4′−ビス(3−アミノフェノキシ)ビフェニル、3,
4′−ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニル、4,
4′−ビス(3−アミノフェノキシ)ビフェニル、4,
4′−ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニル、ビス
[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル)スルホン、
ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]スルホ
ン、2,2−ビス[3−(3−アミノフェノキシ)フェ
ニル]プロパン、2,2−ビス[3−(4−アミノフェ
ノキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(3
−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビ
ス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパ
ン、2,2−ビス[3−(3−アミノフェノキシ)フェ
ニル]ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス[3−
(4−アミノフェノキシ)フェニル]ヘキサフルオロプ
ロパン、2,2−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)
フェニル]ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス[4
−(4−アミノフェノキシ)フェニル]ヘキサフルオロ
プロパン、9,9−ビス(3−アミノフェニル)フルオ
レン、9,9−ビス(4−アミノフェニル)フルオレン
等である。また、式(4)で表される化合物において、
官能基Yがイソシアナート基であるジイソシアンート類
としては、上記に例示したジアミン類において、「アミ
ノ」を「イソシアナート」に置き換えたものを挙げるこ
とができる。
【0015】ポリイミドの製造原料として使用する式
(5)で表される化合物において、官能基Yがアミノ基
であるジアミン類としては、ビス(3−アミノプロピ
ル)テトラメチルジシロキサン、ビス(10−アミノデ
カメチレン)テトラメチルジシロキサン、アミノプロピ
ル末端のジメチルシロキサンの4量体及び8量体、ビス
(3−アミノフェノキシメチル)テトラメチルジシロキ
サン等が挙げられ、これらを併用して用いることも可能
である。また、式(5)で表される化合物において、官
能基Yがイソシアナート基であるジイソシアナート類と
しては、上記に例示したジアミン類において、「アミ
ノ」を「イソシアナート」に置き換えたものを挙げるこ
とができる。上記式(4)及び式(5)で表される化合
物において、官能基Yがイソシアナート基であるジイソ
シアンート類は、上記に例示した対応するジアミンを常
法によりホスゲンと反応させることにより容易に製造す
ることができる。
【0016】本発明に使用されるポリイミドは、次のよ
うにして製造することができる。テトラカルボン酸二無
水物とジアミンとを使用する場合、これらを有機溶媒
中、必要に応じて、トリブチルアミン、トリエチルアミ
ン、亜リン酸トリフェニル等の触媒の存在下(反応物の
20重量部以下)で、100℃以上、好ましくは180
℃以上に加熱し、直接ポリイミドを得る方法、テトラカ
ルボン酸二無水物とジアミンとを有機溶媒中、100℃
以下で反応させることにより、ポリイミドの前駆体であ
るポリアミド酸を得た後、必要に応じて、p−トルエン
スルホン酸等の脱水触媒(テトラカルボン酸二無水物の
1〜5倍モル)を加え、加熱してイミド化反応させるこ
とによりポリイミドを得る方法、或いはこのポリアミド
酸を、無水酢酸、無水プロピオン酸、無水安息香酸等の
酸無水物、ジシクロへキシルカルボジイミド等のカルボ
ジイミド化合物等の脱水閉環剤と、必要に応じて、ピリ
ジン、イソキノリン、イミダゾール、トリエチルアミン
等の閉環触媒(脱水閉環剤および閉環触媒はテトラカル
ボン酸二無水物の2〜10倍モル)を添加して、比較的
低温(室温〜100℃程度)で閉環反応させる方法等が
ある。
【0017】上記の反応に用いる有機溶媒としては、N
−メチル−2−ピロリドン、N,N−ジメチルアセトア
ミド、N,N−ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホ
キシド、スルホラン、ヘキサメチルリン酸トリアミド、
1,3−ジメチル−2−イミダゾリドン等の非プロトン
性極性溶媒、フェノール、クレゾール、キシレノール、
p−クロロフェノール等のフェノール系溶媒等が挙げら
れる。また、必要に応じて、ベンゼン、トルエン、キシ
レン、メチルエチルケトン、アセトン、テトラヒドロフ
ラン、ジオキサン、モノグライム、ジグライム、メチル
セロソルブ、セロソルブアセテート、メタノール、エタ
ノール、イソプロパノール、塩化メチレン、クロロホル
ム、トリクレン、ニトロベンゼン等を上記の溶媒に混合
して用いることも可能である。また、原料として、テト
ラカルボン酸二無水物とジイソシアナートとを使用する
場合には、上記したポリイミドを直接得る方法に順じて
製造することが可能であり、このときの反応温度は室温
以上、特に60℃以上であることが好ましい。テトラカ
ルボン酸二無水物とジアミンまたはジイソシアナートと
を等モル量で反応させることにより、高重合度のポリイ
ミドを得ることが可能であるが、必要に応じて、いずれ
か一方を10モル%以下の範囲で過剰量で用いてポリイ
ミドを製造することも可能である。
【0018】本発明に使用される上記ポリイミド樹脂の
分子量は、繰り返し構造単位の種類によって成膜性の発
現が異なるので、成膜性に応じて適宜設定することがで
きる。本発明に使用される場合、液状であっても、接着
層にはある程度の成膜性が必要であり、また、耐熱性も
低下するので、あまり低分子量のものは好ましくはな
い。本発明においては、一般的には、数平均分子量が4
000以上であることが必要である。また、熱可塑性の
接着剤として使用する場合、溶融時の粘性が高すぎると
接着性が著しく悪化する。溶融時の粘性を規定する要因
の一つとして、分子量があるが、本発明において使用さ
れるポリイミド樹脂の場合、概ね数平均分子量として4
00,000以下であり、それ以上になると、粘性の増
加が大きく、接着剤等として使用することが困難にな
る。
【0019】本発明の液状接着剤は、上記のポリイミド
樹脂を有機溶剤に溶解することによって作製される。上
記ポリイミドを溶解する有機溶剤としては、N−メチル
−2−ピロリドン、N,N−ジメチルアセトアミド、
N,N−ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシ
ド、スルホラン、ヘキサメチルリン酸トリアミド、1,
3−ジメチル−2−イミダゾリドン等の非プロトン性極
性溶媒、フェノール、クレゾール、キシレノール、p−
クロロフェノール等のフェノール系溶媒、イソホロン、
シクロヘキサノン、カルビトールアセテート、ジグライ
ム、ジオキサン、テトラヒドロフラン等の広範な有機溶
媒が挙げられる。更にこれにメタノール、エタノール、
イソプロパノール等のアルコール系溶剤や、酢酸メチ
ル、酢酸エチル、酢酸ブチル等のエステル系溶剤、アセ
トニトリル、ベンゾニトリル等のニトリル系溶剤、ベン
ゼン、トルエン、キシレン等の芳香族系溶媒、クロロホ
ルム、ジクロロメタン等のハロゲン系溶媒等をポリイミ
ド樹脂を析出させない程度に混合して用いることもでき
る。本発明の液状接着剤の溶媒は、液状接着剤の塗布方
法や基材によって必要な粘度や揮発性が異なるので、そ
れらに合わせて上記の有機溶剤から適宜選択することが
可能である。
【0020】本発明の液状接着剤には、貼り合わせ時の
特性を制御する目的で、粒径1μm以下のフィラーを含
有させてもよい。フィラーを含有させる場合の含有量
は、全固形分の1〜50重量%の範囲が好ましく、より
好ましくは4〜25重量%の範囲である。フィラーの量
が50重量%よりも多くなると、接着力の低下が著しく
なり、また、1重量%未満ではフィラー添加の効果が得
られなくなる。フィラーとしては、例えば、シリカ、石
英粉、マイカ、アルミナ、ダイヤモンド粉、ジルコン
粉、炭酸カルシウム、酸化マグネシウム、フッ素樹脂等
が使用される。
【0021】本発明の第1及び第2の電子部品用接着テ
ープは、上記の液状接着剤を使用して作製することがで
きる。第1の電子部品用接着テープは、耐熱性フィルム
の片面または両面に上記の液状接着剤を塗布し、乾燥す
ることにより作製され、また、第2の電子部品用接着テ
ープは、剥離性フィルムの片面に上記の液状接着剤を塗
布し、乾燥することにより作製される。
【0022】本発明に使用される耐熱性フィルムとして
は、ポリイミド、ポリフェニレンサルファイド、ポリエ
ーテル、ポリパラバン酸、ポリエチレンテレフタレート
等の耐熱性樹脂フィルムやエポキシ樹脂−ガラスクロ
ス、エポキシ樹脂−ポリイミド−ガラスクロス等の複合
耐熱フィルム等があげられるが、特にポリイミドフィル
ムが好ましい。これら耐熱性フィルムは、厚さ5〜15
0μm、好ましくは10〜75μmの範囲のものが好ま
しく使用される。耐熱性フィルムの厚さが厚すぎると、
接着テープの打ち抜き作業が困難になり、一方薄すぎる
と接着テープの腰が不十分になる。これら耐熱性フィル
ムの片面または両面に形成される接着層の膜厚は、1〜
100μm、好ましくは5〜50μmの範囲である。
【0023】また、第2の電子部品用接着テープにおけ
る剥離性フィルムは、仮の支持体として作用するもので
あって、厚さ1〜200μmのものが使用される。具体
的には、ポリエチレン、ポリプロピレン、フッ素系樹
脂、ポリエチレンテレフタレート、ポリイミド等の樹脂
フィルムまたは紙、ないしはそれらの表面にシリコーン
系の離型剤で離型処理を施したものが使用される。
【0024】これら耐熱性フィルムの片面または両面、
および離型性フィルムの片面に形成される接着層の膜厚
は、1〜100μm、好ましくは5〜50μmの範囲で
ある。また、形成される接着層の上には、上記の剥離性
フィルムを保護層として設けることも可能である。
【0025】
【実施例】以下、実施例により本発明を具体的に説明す
る。まず、液状接着剤の作製例を示す。 実施例1 撹拌機を備えたフラスコに、3,4′−ジアミノビフェ
ニル12.34g(67ミリモル)と1,3−ビス(3
−アミノプロピル)−1,1,3,3−テトラメチルジ
シロキサン8.20g(33ミリモル)と3,3′,
4,4′−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水
物35.83g(100ミリモル)及びN−メチル−2
−ピロリドン300mlを氷温下に導入し、1時間撹拌
を続けた。次いで、この溶液を室温で3時間反応させて
ポリアミド酸を合成した。得られたポリアミド酸に50
mlのトルエンと1.0gのp−トルエンスルホン酸を
加えて160℃に加熱し、反応の進行に伴ってトルエン
と共沸してきた水分を分離しながら、3時間イミド化反
応を行った。その後トルエンを留去し、得られたポリイ
ミドワニスをメタノール中に注いで、得られた沈澱物を
分離、粉砕、洗浄及び乾燥させる工程を経ることによ
り、上記した式で表される各構造単位のモル比が[(1
a)+(1b)]:[(2a)+(2b)]=67:3
3[(1a):(1b)=100:0、(2a):(2
b)=100:0]で示されるポリイミド50.0g
(収率95%)を得た。得られたポリイミドの赤外吸収
スペクトルを測定したところ、1718cm-1及び17
83cm-1に典型的なイミドの吸収が認められた。ま
た、その分子量、ガラス転移点及び熱分解開始温度を測
定した。それらの結果を表1に示す。このポリイミド
を、テトラヒドロフラン(THF)に25重量%の濃度
で溶解することにより、液状接着剤を得た。
【0026】実施例2 4,4′−オキシジアニリン13.41g(67ミリモ
ル)と1,3−ビス(3−アミノプロピル)−1,1,
3,3−テトラメチルジシロキサン8.20g(33ミ
リモル)と3,3′,4,4′−ジフェニルスルホンテ
トラカルボン酸二無水物35.83g(100ミリモ
ル)及びN−メチル−2−ピロリドン300mlとを用
いて、実施例1と同様の方法で、各構造単位のモル比が
[(1a)+(1b)]:[(2a)+(2b)]=6
7:33[(1a):(1b)=100:0、(2
a):(2b)=100:0]で示されるポリイミド5
1.0g(収率95%)を得た。得られたポリイミドの
赤外吸収スペクトルを測定したところ、1718cm-1
及び1783cm-1に典型的なイミドの吸収が認められ
た。また、その分子量、ガラス転移点及び熱分解開始温
度を測定した。それらの結果を表1に示す。このポリイ
ミド樹脂を、テトラヒドロフランに25重量%の濃度に
なるように溶解して液状接着剤を得た。
【0027】実施例3 4,4′−ジアミノジフェニルメタン13.29g(6
7ミリモル)と1,3−ビス(3−アミノプロピル)−
1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン8.20g
(33ミリモル)と3,3′,4,4′−ジフェニルス
ルホンテトラカルボン酸二無水物35.83g(100
ミリモル)及びN−メチル−2−ピロリドン300ml
を用いて、実施例1と同様の方法で、各構造単位のモル
比が[(1a)+(1b)]:[(2a)+(2b)]
=67:33[(1a):(1b)=100:0、(2
a):(2b)=100:0]で示されるポリイミド5
2.0g(収率97%)を得た。得られたポリイミドの
赤外吸収スペクトルを測定したところ、1718cm-1
及び1783cm-1に典型的なイミドの吸収が認められ
た。また、その分子量、ガラス転移点及び熱分解開始温
度を測定した。それらの結果を表1に示す。このポリイ
ミド樹脂を、テトラヒドロフランに25重量%の濃度に
なるように溶解して液状接着剤を得た。
【0028】実施例4 4,4′−ジアミノジフェニルスルフィド14.49g
(67ミリモル)と1,3−ビス(3−アミノプロピ
ル)−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン8.
20g(33ミリモル)と3,3′,4,4′−ジフェ
ニルスルホンテトラカルボン酸二無水物35.83g
(100ミリモル)及びN−メチル−2−ピロリドン3
00mlとを用いて、実施例1と同様の方法で、各構造
単位のモル比が[(1a)+(1b)]:[(2a)+
(2b)]=67:33[(1a):(1b)=10
0:0、(2a):(2b)=100:0]で示される
ポリイミド51.0g(収率93%)を得た。得られた
ポリイミドの赤外吸収スペクトルを測定したところ、1
718cm-1及び1780cm-1に典型的なイミドの吸
収が認められた。また、その分子量、ガラス転移点及び
熱分解開始温度を測定した。それらの結果を表1に示
す。このポリイミド樹脂を、テトラヒドロフランに25
重量%の濃度になるように溶解して液状接着剤を得た。
【0029】実施例5 3,3′−ジアミノジフェニルスルホン16.64g
(67ミリモル)と1,3−ビス(3−アミノプロピ
ル)−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン8.
20g(33ミリモル)と3,3′,4,4′−ジフェ
ニルスルホンテトラカルボン酸二無水物35.83g
(100ミリモル)及びN−メチル−2−ピロリドン3
00mlを用いて、実施例1と同様の方法で、各構造単
位のモル比が[(1a)+(1b)]:[(2a)+
(2b)]=67:33[(1a):(2b)=10
0:0、(2a):(2b)=100:0]で示される
ポリイミド51.5g(収率90%)を得た。得られた
ポリイミドの赤外吸収スペクトルを測定したところ、1
715cm-1及び1783cm-1に典型的なイミドの吸
収が認められた。また、その分子量、ガラス転移点及び
熱分解開始温度を測定した。それらの結果を表1に示
す。このポリイミド樹脂を、テトラヒドロフランに25
重量%の濃度になるように溶解して液状接着剤を得た。
【0030】実施例6 2,2−ビス(4−アミノフェニル)プロパン15.1
6g(67ミリモル)と1,3−ビス(3−アミノプロ
ピル)−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン
8.20g(33ミリモル)と3,3′,4,4′−ジ
フェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物35.83
g(100ミリモル)及びN−メチル−2−ピロリドン
300mlとを用いて、実施例1と同様の方法で、各構
造単位のモル比が[(1a)+(1b)]:[(2a)
+(2b)]=67:33[(1a):(1b)=10
0:0、(2a):(2b)=100:0]で示される
ポリイミド54.0g(収率97%)を得た。得られた
ポリイミドの赤外吸収スペクトルを測定したところ、1
718cm-1及び1783cm-1に典型的なイミドの吸
収が認められた。また、その分子量、ガラス転移点及び
熱分解開始温度を測定した。それらの結果を表1に示
す。このポリイミド樹脂を、テトラヒドロフランに25
重量%の濃度になるように溶解して液状接着剤を得た。
【0031】実施例7 2,2−ビス(4−アミノフェニル)ヘキサフルオロプ
ロパン22.40g(67ミリモル)と1,3−ビス
(3−アミノプロピル)−1,1,3,3−テトラメチ
ルジシロキサン8.20g(33ミリモル)と3,
3′,4,4′−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸
二無水物35.83g(100ミリモル)及びN−メチ
ル−2−ピロリドン300mlを用いて、実施例1と同
様の方法で、各構造単位のモル比が[(1a)+(1
b)]:[(2a)+(2b)]=67:33[(1
a):(1b)=100:0、(2a):(2b)=1
00:0]で示されるポリイミド60.0g(収率95
%)を得た。得られたポリイミドの赤外吸収スペクトル
を測定したところ、1721cm-1及び1783cm-1
に典型的なイミドの吸収が認められた。また、その分子
量、ガラス転移点及び熱分解開始温度を測定した。それ
らの結果を表1に示す。このポリイミド樹脂を、テトラ
ヒドロフランに25重量%の濃度になるように溶解して
液状接着剤を得た。
【0032】実施例8 1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン19.
58g(67ミリモル)と1,3−ビス(3−アミノプ
ロピル)−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン
8.20g(33ミリモル)と3,3′,4,4′−ジ
フェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物35.83
g(100ミリモル)及びN−メチル−2−ピロリドン
300mlを用いて、実施例1と同様の方法で、各構造
単位のモル比が[(1a)+(1b)]:[(2a)+
(2b)]=67:33[(1a):(1b)=10
0:0、(2a):(2b)=100:0]で示される
ポリイミド58.0g(収率97%)を得た。得られた
ポリイミドの赤外吸収スペクトルを測定したところ、1
718cm-1及び1780cm-1に典型的なイミドの吸
収が認められた。また、その分子量、ガラス転移点及び
熱分解開始温度を測定した。それらの結果を表1に示
す。このポリイミド樹脂を、テトラヒドロフランに25
重量%の濃度になるように溶解して液状接着剤を得た。
【0033】実施例9 1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン19.
58g(67ミリモル)と1,3−ビス(3−アミノプ
ロピル)−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン
8.20g(33ミリモル)と3,3′,4,4′−ジ
フェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物35.83
g(100ミリモル)及びN−メチル−2−ピロリドン
300mlを用いて、実施例1と同様の方法で、各構造
単位のモル比が[(1a)+(1b)]:[(2a)+
(2b)]=67:33[(1a):(1b)=10
0:0、(2a):(2b)=100:0]で示される
ポリイミド58.0g(収率97%)を得た。得られた
ポリイミドの赤外吸収スペクトルを測定したところ、1
718cm-1及び1780cm-1に典型的なイミドの吸
収が認められた。また、その分子量、ガラス転移点及び
熱分解開始温度を測定した。それらの結果を表1に示
す。このポリイミド樹脂を、テトラヒドロフランに25
重量%の濃度になるように溶解して液状接着剤を得た。
【0034】実施例10 1,3−ビス[1−(4−アミノフェニル)−1−メチ
ルエチル]ベンゼン23.08g(67ミリモル)と
1,3−ビス(3−アミノプロピル)−1,1,3,3
−テトラメチルジシロキサン8.20g(33ミリモ
ル)と3,3′,4,4′−ジフェニルスルホンテトラ
カルボン酸二無水物35.83g(100ミリモル)及
びN−メチル−2−ピロリドン300mlを用いて、実
施例1と同様の方法で、各構造単位のモル比が[(1
a)+(1b)]:[(2a)+(2b)]=67:3
3[(1a):(1b)=100:0、(2a):(2
b)=100:0]で示されるポリイミド62.5g
(収率98%)を得た。得られたポリイミドの赤外吸収
スペクトルを測定したところ、1718cm-1及び17
83cm-1に典型的なイミドの吸収が認められた。ま
た、その分子量、ガラス転移点及び熱分解開始温度を測
定した。それらの結果を表1に示す。このポリイミド樹
脂を、テトラヒドロフランに25重量%の濃度になるよ
うに溶解して液状接着剤を得た。
【0035】実施例11 ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニル24.68g
(67ミリモル)と1,3−ビス(3−アミノプロピ
ル)−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン8.
20g(33ミリモル)と3,3′,4,4′−ジフェ
ニルスルホンテトラカルボン酸二無水物35.83g
(100ミリモル)及びN−メチル−2−ピロリドン3
00mlを用いて、実施例1と同様の方法で、各構造単
位のモル比が[(1a)+(1b)]:[(2a)+
(2b)]=67:33[(1a):(1b)=10
0:0、(2a):(2b)=100:0]で示される
ポリイミド64.0g(収率98%)を得た。得られた
ポリイミドの赤外吸収スペクトルを測定したところ、1
718cm-1及び1780cm-1に典型的なイミドの吸
収が認められた。また、その分子量、ガラス転移点及び
熱分解開始温度を測定した。それらの結果を表1に示
す。このポリイミド樹脂を、テトラヒドロフランに25
重量%の濃度になるように溶解して液状接着剤を得た。
【0036】実施例12 ビス[(4−アミノフェノキシ)フェニル]エーテル2
5.75g(67ミリモル)と1,3−ビス(3−アミ
ノプロピル)−1,1,3,3−テトラメチルジシロキ
サン8.20g(33ミリモル)と3,3′,4,4′
−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物35.
83g(100ミリモル)及びN−メチル−2−ピロリ
ドン300mlを用いて、実施例1と同様の方法で、各
構造単位のモル比が[(1a)+(1b)]:[(2
a)+(2b)]=67:33[(1a):(1b)=
100:0、(2a):(2b)=100:0]で示さ
れるポリイミド64.0g(収率97%)を得た。得ら
れたポリイミドの赤外吸収スペクトルを測定したとこ
ろ、1718cm-1及び1783cm-1に典型的なイミ
ドの吸収が認められた。また、その分子量、ガラス転移
点及び熱分解開始温度を測定した。それらの結果を表1
に示す。このポリイミド樹脂を、テトラヒドロフランに
25重量%の濃度になるように溶解して液状接着剤を得
た。
【0037】実施例13 ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]スルホ
ン28.98g(67ミリモル)と1,3−ビス(3−
アミノプロピル)−1,1,3,3−テトラメチルジシ
ロキサン8.20g(33ミリモル)と3,3′,4,
4′−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物3
5.83g(100ミリモル)及びN−メチル−2−ピ
ロリドン300mlを用いて、実施例1と同様の方法
で、各構造単位のモル比が[(1a)+(1b)]:
[(2a)+(2b)]=67:33[(1a):(1
b)=100:0、(2a):(2b)=100:0]
で示されるポリイミド65.0g(収率94%)を得
た。得られたポリイミドの赤外吸収スペクトルを測定し
たところ、1719cm-1及び1785cm-1に典型的
なイミドの吸収が認められた。また、その分子量、ガラ
ス転移点及び熱分解開始温度を測定した。それらの結果
を表1に示す。このポリイミド樹脂を、テトラヒドロフ
ランに25重量%の濃度になるように溶解して液状接着
剤を得た。
【0038】実施例14 2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニ
ル]プロパン27.50g(67ミリモル)と1,3−
ビス(3−アミノプロピル)−1,1,3,3−テトラ
メチルジシロキサン8.20g(33ミリモル)と3,
3′,4,4′−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸
二無水物35.83g(100ミリモル)及びN−メチ
ル−2−ピロリドン300mlを用いて、実施例1と同
様の方法で、各構造単位のモル比が[(1a)+(1
b)]:[(2a)+(2b)]=67:33[(1
a):(1b)=100:0、(2a):(2b)=1
00:0]で示されるポリイミド65.0g(収率96
%)を得た。得られたポリイミドの赤外吸収スペクトル
を測定したところ、1720cm-1及び1783cm-1
に典型的なイミドの吸収が認められた。また、その分子
量、ガラス転移点及び熱分解開始温度を測定した。それ
らの結果を表1に示す。このポリイミド樹脂を、テトラ
ヒドロフランに25重量%の濃度になるように溶解して
液状接着剤を得た。
【0039】実施例15 2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニ
ル]ヘキサフルオロプロパン34.74g(67ミリモ
ル)と1,3−ビス(3−アミノプロピル)−1,1,
3,3−テトラメチルジシロキサン8.20g(33ミ
リモル)と3,3′,4,4′−ジフェニルスルホンテ
トラカルボン酸二無水物35.83g(100ミリモ
ル)及びN−メチル−2−ピロリドン300mlを用い
て、実施例1と同様の方法で、各構造単位のモル比が
[(1a)+(1b)]:[(2a)+(2b)]=6
7:33[(1a):(1b)=100:0、(2
a):(2b)=100:0]で示されるポリイミド7
4.0g(収率98%)を得た。得られたポリイミドの
赤外吸収スペクトルを測定したところ、1715cm-1
及び1786cm-1に典型的なイミドの吸収が認められ
た。また、その分子量、ガラス転移点及び熱分解開始温
度を測定した。それらの結果を表1に示す。このポリイ
ミド樹脂を、テトラヒドロフランに25重量%の濃度に
なるように溶解して液状接着剤を得た。
【0040】実施例16 9,9−ビス(4−アミノフェノキシ)フルオレン2
3.35g(67ミリモル)と1,3−ビス(3−アミ
ノプロピル)−1,1,3,3−テトラメチルジシロキ
サン8.20g(33ミリモル)と3,3′,4,4′
−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物35.
83g(100ミリモル)及びN−メチル−2−ピロリ
ドン300mlを用いて、実施例1と同様の方法で、各
構造単位のモル比が[(1a)+(1b)]:[(2
a)+(2b)]=67:33[(1a):(1b)=
100:0、(2a):(2b)=100:0]で示さ
れるポリイミド60.5g(収率95%)を得た。得ら
れたポリイミドの赤外吸収スペクトルを測定したとこ
ろ、1720cm-1及び1780cm-1に典型的なイミ
ドの吸収が認められた。また、その分子量、ガラス転移
点及び熱分解開始温度を測定した。それらの結果を表1
に示す。このポリイミド樹脂を、テトラヒドロフランに
25重量%の濃度になるように溶解して液状接着剤を得
た。
【0041】実施例17 3,4′−ジアミノビフェニル13.82g(75ミリ
モル)と1,3−ビス(3−アミノプロピル)−1,
1,3,3−テトラメチルジシロキサン6.21g(2
5ミリモル)とエチレングリコールビストリメリテート
二無水物41.03g(100ミリモル)及びN−メチ
ル−2−ピロリドン300mlを用いて、実施例1と同
様の方法で、各構造単位のモル比が[(1a)+(1
b)]:[(2a)+(2b)]=75:25[(1
a):(1b)=0:100、(2a):(2b)=
0:100]で示されるポリイミド54.0g(収率9
4%)を得た。得られたポリイミドの赤外吸収スペクト
ルを測定したところ、1718cm-1及び1783cm
-1に典型的なイミドの吸収が認められた。また、その分
子量、ガラス転移点及び熱分解開始温度を測定した。そ
れらの結果を表1に示す。このポリイミド樹脂を、テト
ラヒドロフランに25重量%の濃度になるように溶解し
て液状接着剤を得た。
【0042】実施例18 4,4′−オキシジアニリン15.02g(75ミリモ
ル)と1,3−ビス(3−アミノプロピル)−1,1,
3,3−テトラメチルジシロキサン6.21g(25ミ
リモル)とエチレングリコールビストリメリテート二無
水物41.03g(100ミリモル)及びN−メチル−
2−ピロリドン300mlを用いて、実施例1と同様の
方法で、各構造単位のモル比が[(1a)+(1
b)]:[(2a)+(2b)]=75:25[(1
a):(1b)=0:100、(2a):(2b)=
0:100]で示されるポリイミド52.0g(収率8
9%)を得た。得られたポリイミドの赤外吸収スペクト
ルを測定したところ、1718cm-1及び1783cm
-1に典型的なイミドの吸収が認められた。また、その分
子量、ガラス転移点及び熱分解開始温度を測定した。そ
れらの結果を表1に示す。このポリイミド樹脂を、テト
ラヒドロフランに25重量%の濃度になるように溶解し
て液状接着剤を得た。
【0043】実施例19 4,4′−ジアミノジフェニルメタン14.87g(7
5ミリモル)と1,3−ビス(3−アミノプロピル)−
1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン6.21g
(25ミリモル)とエチレングリコールビストリメリテ
ート二無水物41.03g(100ミリモル)及びN−
メチル−2−ピロリドン300mlを用いて、実施例1
と同様の方法で、各構造単位のモル比が[(1a)+
(1b)]:[ (2a)+(2b)]=75:25
[(1a):(1b)=0:100、(2a):(2
b)=0:100]で示されるポリイミド55.0g
(収率94%)を得た。得られたポリイミドの赤外吸収
スペクトルを測定したところ、1718cm-1及び17
83cm-1に典型的なイミドの吸収が認められた。ま
た、その分子量、ガラス転移点及び熱分解開始温度を測
定した。それらの結果を表1に示す。このポリイミド樹
脂を、テトラヒドロフランに25重量%の濃度になるよ
うに溶解して液状接着剤を得た。
【0044】実施例20 4,4′−ジアミノジフェニルスルフィド16.22g
(75ミリモル)と1,3−ビス(3−アミノプロピ
ル)−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン6.
21g(25ミリモル)とエチレングリコールビストリ
メリテート二無水物41.03g(100ミリモル)及
びN−メチル−2−ピロリドン300mlを用いて、実
施例1と同様の方法で、各構造単位のモル比が[(1
a)+(1b)]:[(2a)+(2b)]=75:2
5[(1a):(1b)=0:100、 (2a):
(2b)=0:100]で示されるポリイミド54.0
g(収率90%)を得た。得られたポリイミドの赤外吸
収スペクトルを測定したところ、1718cm-1及び1
780cm-1に典型的なイミドの吸収が認められた。ま
た、その分子量、ガラス転移点及び熱分解開始温度を測
定した。それらの結果を表1に示す。このポリイミド樹
脂を、テトラヒドロフランに25重量%の濃度になるよ
うに溶解して液状接着剤を得た。
【0045】実施例21 3,3′−ジアミノジフェニルスルホン18.63g
(75ミリモル)と1,3−ビス(3−アミノプロピ
ル)−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン6.
21g(25ミリモル)とエチレングリコールビストリ
メリテート二無水物41.03g(100ミリモル)及
びN−メチル−2−ピロリドン300mlを用いて、実
施例1と同様の方法で、各構造単位のモル比が[(1
a)+(1b)]:[(2a)+(2b)]=75:2
5[(1a):(1b)=0:100、(2a):(2
b)=0:100]で示されるポリイミド55.5g
(収率89%)を得た。得られたポリイミドの赤外吸収
スペクトルを測定したところ、1715cm-1及び17
83cm-1に典型的なイミドの吸収が認められた。ま
た、その分子量、ガラス転移点及び熱分解開始温度を測
定した。それらの結果を表1に示す。このポリイミド樹
脂を、テトラヒドロフランに25重量%の濃度になるよ
うに溶解して液状接着剤を得た。
【0046】実施例22 2,2−ビス(4−アミノフェニル)プロパン16.9
7g(75ミリモル)と1,3−ビス(3−アミノプロ
ピル)−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン
6.21g(25ミリモル)とエチレングリコールビス
トリメリテート二無水物41.03g(100ミリモ
ル)及びN−メチル−2−ピロリドン300mlを用い
て、実施例1と同様の方法で、各構造単位のモル比が
[(1a)+(1b)]:[(2a)+(2b)]=7
5:25[(1a):(1b)=0:100、(2
a):(2b)=0:100]で示されるポリイミド5
7.0g(収率94%)を得た。得られたポリイミドの
赤外吸収スペクトルを測定したところ、1718cm-1
及び1783cm-1に典型的なイミドの吸収が認められ
た。また、その分子量、ガラス転移点及び熱分解開始温
度を測定した。それらの結果を表1に示す。このポリイ
ミド樹脂を、テトラヒドロフランに25重量%の濃度に
なるように溶解して液状接着剤を得た。
【0047】実施例23 2,2−ビス(4−アミノフェニル)ヘキサフルオロプ
ロパン25.07g(75ミリモル)と1,3−ビス
(3−アミノプロピル)−1,1,3,3−テトラメチ
ルジシロキサン6.21g(25ミリモル)とエチレン
グリコールビストリメリテート二無水物41.03g
(100ミリモル)及びN−メチル−2−ピロリドン3
00mlを用いて、実施例1と同様の方法で、各構造単
位のモル比が[(1a)+(1b)]:[(2a)+
(2b)]=75:25[(1a):(1b)=0:1
00、(2a):(2b)=0:100]で示されるポ
リイミド67.0g(収率98%)を得た。得られたポ
リイミドの赤外吸収スペクトルを測定したところ、17
21cm-1及び1783cm-1に典型的なイミドの吸収
が認められた。また、その分子量、ガラス転移点及び熱
分解開始温度を測定した。それらの結果を表1に示す。
このポリイミド樹脂を、テトラヒドロフランに25重量
%の濃度になるように溶解して液状接着剤を得た。
【0048】実施例24 1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン21.
92g(75ミリモル)と1,3−ビス(3−アミノプ
ロピル)−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン
6.21g(25ミリモル)とエチレングリコールビス
トリメリテート二無水物41.03g(100ミリモ
ル)及びN−メチル−2−ピロリドン300mlを用い
て、実施例1と同様の方法で、各構造単位のモル比が
[(1a)+(1b)]:[(2a)+(2b)]=7
5:25[(1a):(1b)=0:100、(2
a):(2b)=0:100]で示されるポリイミド6
2.0g(収率95%)を得た。得られたポリイミドの
赤外吸収スペクトルを測定したところ、1718cm-1
及び1780cm-1に典型的なイミドの吸収が認められ
た。また、その分子量、ガラス転移点及び熱分解開始温
度を測定した。それらの結果を表1に示す。このポリイ
ミド樹脂を、テトラヒドロフランに25重量%の濃度に
なるように溶解して液状接着剤を得た。
【0049】実施例25 1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン21.
92g(75ミリモル)と1,3−ビス(3−アミノプ
ロピル)−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン
6.21g(25ミリモル)とエチレングリコールビス
トリメリテート二無水物41.03g(100ミリモ
ル)及びN−メチル−2−ピロリドン300mlを用い
て、実施例1と同様の方法で、各構造単位のモル比が
[(1a)+(1b)]:[(2a)+(2b)]=7
5:25[(1a):(1b)=0:100、(2
a):(2b)=0:100]で示されるポリイミド6
4.0g(収率97%)を得た。得られたポリイミドの
赤外吸収スペクトルを測定したところ、1718cm-1
及び1780cm-1に典型的なイミドの吸収が認められ
た。また、その分子量、ガラス転移点及び熱分解開始温
度を測定した。それらの結果を表1に示す。このポリイ
ミド樹脂を、テトラヒドロフランに25重量%の濃度に
なるように溶解して液状接着剤を得た。
【0050】実施例26 1,3−ビス[1−(4−アミノフェニル)−1−メチ
ルエチル]ベンゼン25.84g(75ミリモル)と
1,3−ビス(3−アミノプロピル)−1,1,3,3
−テトラメチルジシロキサン6.21g(25ミリモ
ル)とエチレングリコールビストリメリテート二無水物
41.03g(100ミリモル)及びN−メチル−2−
ピロリドン300mlを用いて、実施例1と同様の方法
で、各構造単位のモル比が[(1a)+(1b)]:
[(2a)+(2b)]=75:25[(1a):(1
b)=0:100、(2a):(2b)=0:100]
で示されるポリイミド67.0g(収率96%)を得
た。得られたポリイミドの赤外吸収スペクトルを測定し
たところ、1718cm-1及び1783cm-1に典型的
なイミドの吸収が認められた。また、その分子量、ガラ
ス転移点及び熱分解開始温度を測定した。それらの結果
を表2に示す。このポリイミド樹脂を、テトラヒドロフ
ランに25重量%の濃度になるように溶解して液状接着
剤を得た。
【0051】実施例27 ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニル27.63g
(75ミリモル)と1,3−ビス(3−アミノプロピ
ル)−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン6.
21g(25ミリモル)とエチレングリコールビストリ
メリテート二無水物41.03g(100ミリモル)及
びN−メチル−2−ピロリドン300mlを用いて、実
施例1と同様の方法で、各構造単位のモル比が[(1
a)+(1b)]:[(2a)+(2b)]=75:2
5[(1a):(1b)=0:100、 (2a):
(2b)=0:100]で示されるポリイミド69.5
g(収率98%)を得た。得られたポリイミドの赤外吸
収スペクトルを測定したところ、1718cm-1及び1
780cm-1に典型的なイミドの吸収が認められた。ま
た、その分子量、ガラス転移点及び熱分解開始温度を測
定した。それらの結果を表2に示す。このポリイミド樹
脂を、テトラヒドロフランに25重量%の濃度になるよ
うに溶解して液状接着剤を得た。
【0052】実施例28 ビス[(4−アミノフェノキシ)フェニル]エーテル2
8.82g(75ミリモル)と1,3−ビス(3−アミ
ノプロピル)−1,1,3,3−テトラメチルジシロキ
サン6.21g(25ミリモル)とエチレングリコール
ビストリメリテート二無水物41.03g(100ミリ
モル)及びN−メチル−2−ピロリドン300mlを用
いて、実施例1と同様の方法で、各構造単位のモル比が
[(1a)+(1b)]:[(2a)+(2b)]=7
5:25[(1a):(1b)=0:100、(2
a):(2b)=0:100]で示されるポリイミド7
0.0g (収率97%)を得た。得られたポリイミド
の赤外吸収スペクトルを測定したところ、1718cm
-1及び1783cm-1に典型的なイミドの吸収が認めら
れた。また、その分子量、ガラス転移点及び熱分解開始
温度を測定した。それらの結果を表2に示す。このポリ
イミド樹脂を、テトラヒドロフランに25重量%の濃度
になるように溶解して液状接着剤を得た。
【0053】実施例29 ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]スルホ
ン32.08g(75ミリモル)と1,3−ビス(3−
アミノプロピル)−1,1,3,3−テトラメチルジシ
ロキサン6.21g(25ミリモル)とエチレングリコ
ールビストリメリテート二無水物41.03g(100
ミリモル)及びN−メチル−2−ピロリドン300ml
を用いて、実施例1と同様の方法で、各構造単位のモル
比が[(1a)+(1b)]:[(2a)+(2b)]
=75:25[(1a):(1b)=0:100、(2
a):(2b)=0:100]で示されるポリイミド7
4.0g(収率97%)を得た。得られたポリイミドの
赤外吸収スペクトルを測定したところ、1719cm-1
及び1785cm-1に典型的なイミドの吸収が認められ
た。また、その分子量、ガラス転移点及び熱分解開始温
度を測定した。それらの結果を表2に示す。このポリイ
ミド樹脂を、テトラヒドロフランに25重量%の濃度に
なるように溶解して液状接着剤を得た。
【0054】実施例30 2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニ
ル]プロパン30.78g(75ミリモル)と1,3−
ビス(3−アミノプロピル)−1,1,3,3−テトラ
メチルジシロキサン6.21g(25ミリモル)とエチ
レングリコールビストリメリテート二無水物41.03
g(100ミリモル)及びN−メチル−2−ピロリドン
300mlを用いて、実施例1と同様の方法で、各構造
単位のモル比が[(1a)+(1b)]:[(2a)+
(2b)]=75:25[(1a):(1b)=0:1
00、(2a):(2b)=0:100]で示されるポ
リイミド73.0g(収率98%)を得た。得られたポ
リイミドの赤外吸収スペクトルを測定したところ、17
20cm-1及び1783cm-1に典型的なイミドの吸収
が認められた。また、その分子量、ガラス転移点及び熱
分解開始温度を測定した。それらの結果を表2に示す。
このポリイミド樹脂を、テトラヒドロフランに25重量
%の濃度になるように溶解して液状接着剤を得た。
【0055】実施例31 2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニ
ル]ヘキサフルオロプロパン38.89g(75ミリモ
ル)と1,3−ビス(3−アミノプロピル)−1,1,
3,3−テトラメチルジシロキサン6.21g(25ミ
リモル)とエチレングリコールビストリメリテート二無
水物41.03g(100ミリモル)及びN−メチル−
2−ピロリドン300mlを用いて、実施例1と同様の
方法で、各構造単位のモル比が[(1a)+(1
b)]:[(2a)+(2b)]=75:25[(1
a):(1b)=0:100、(2a):(2b)=
0:100]で示されるポリイミド80.0g(収率9
7%)を得た。得られたポリイミドの赤外吸収スペクト
ルを測定したところ、1715cm-1及び1786cm
-1に典型的なイミドの吸収が認められた。また、その分
子量、ガラス転移点及び熱分解開始温度を測定した。そ
れらの結果を表2に示す。このポリイミドを、テトラヒ
ドロフランに25重量%の濃度になるように溶解して液
状接着剤を得た。
【0056】実施例32 9,9−ビス(4−アミノフェノキシ)フルオレン2
6.14g(75ミリモル)と1,3−ビス(3−アミ
ノプロピル)−1,1,3,3−テトラメチルジシロキ
サン6.21g(25ミリモル)とエチレングリコール
ビストリメリテート二無水物41.03g(100ミリ
モル)及びN−メチル−2−ピロリドン300mlを用
いて、実施例1と同様の方法で、各構造単位のモル比が
[(1a)+(1b)]:[(2a)+(2b)]=7
5:25[(1a):(1b)=0:100、(2
a):(2b)=0:100]で示されるポリイミド6
6.0g (収率95%)を得た。得られたポリイミド
の赤外吸収スペクトルを測定したところ、1720cm
-1及び1780cm-1に典型的なイミドの吸収が認めら
れた。また、その分子量、ガラス転移点及び熱分解開始
温度を測定した。それらの結果を表2に示す。このポリ
イミドを、テトラヒドロフランに25重量%の濃度にな
るように溶解して液状接着剤を得た。
【0057】実施例33 2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニ
ル]プロパン20.53g(50ミリモル)と1,3−
ビス(3−アミノプロピル)−1,1,3,3−テトラ
メチルジシロキサン12.43g(50ミリモル)と
3,3′,4,4′−ジフェニルスルホンテトラカルボ
ン酸二無水物35.83g(100ミリモル)及びN−
メチル−2−ピロリドン300mlを用いて、実施例1
と同様の方法で、各構造単位のモル比が[(1a)+
(1b)]:[(2a)+(2b)]=50:50
[(1a):(1b)=100:0、(2a):(2
b)=100:0]で示されるポリイミド61.0g
(収率93%)を得た。得られたポリイミドの赤外吸収
スペクトルを測定したところ、1715cm-1及び17
86cm-1に典型的なイミドの吸収が認められた。ま
た、その分子量、ガラス転移点及び熱分解開始温度を測
定した。それらの結果を表2に示す。このポリイミド
を、テトラヒドロフランに25重量%の濃度になるよう
に溶解して液状接着剤を得た。
【0058】実施例34 2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニ
ル]プロパン30.79g(75ミリモル)と1,3−
ビス(3−アミノプロピル)−1,1,3,3−テトラ
メチルジシロキサン6.21g(25ミリモル)と3,
3′,4,4′−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸
二無水物35.83g(100ミリモル)及びN−メチ
ル−2−ピロリドン300mlを用いて、実施例1と同
様の方法で、各構造単位のモル比が[(1a)+(1
b)]:[(2a)+(2b)]=75:25[(1
a):(1b)=100:0、(2a):(2b)=1
00:0]で示されるポリイミド65.0g(収率94
%)を得た。得られたポリイミドの赤外吸収スペクトル
を測定したところ、1720cm-1及び1783cm-1
に典型的なイミドの吸収が認められた。また、その分子
量、ガラス転移点及び熱分解開始温度を測定した。それ
らの結果を表2に示す。このポリイミドを、テトラヒド
ロフランに25重量%の濃度になるように溶解して液状
接着剤を得た。
【0059】実施例35 2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニ
ル]プロパン32.84g(80ミリモル)と1,3−
ビス(3−アミノプロピル)−1,1,3,3−テトラ
メチルジシロキサン4.97g(20ミリモル)と3,
3′,4,4′−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸
二無水物35.83g(100ミリモル)及びN−メチ
ル−2−ピロリドン300mlを用いて、実施例1と同
様の方法で、各構造単位のモル比が[(1a)+(1
b)]:[(2a)+(2b)]=80:20[(1
a):(1b)=100:0、(2a):(2b)=1
00:0]で示されるポリイミド68.0g(収率97
%)を得た。得られたポリイミドの赤外吸収スペクトル
を測定したところ、1720cm-1及び1783cm-1
に典型的なイミドの吸収が認められた。また、その分子
量、ガラス転移点及び熱分解開始温度を測定した。それ
らの結果を表2に示す。このポリイミドを、テトラヒド
ロフランに25重量%の濃度になるように溶解して液状
接着剤を得た。
【0060】実施例36 2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニ
ル]プロパン36.95g(90ミリモル)と1,3−
ビス(3−アミノプロピル)−1,1,3,3−テトラ
メチルジシロキサン2.49g(10ミリモル)と3,
3′,4,4′−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸
二無水物35.83g(100ミリモル)及びN−メチ
ル−2−ピロリドン300mlを用いて、実施例1と同
様の方法で、各構造単位のモル比が[(1a)+(1
b)]:[(2a)+(2b)]=90:10[(1
a):(1b)=100:0、(2a):(2b)=1
00:0]で示されるポリイミド69.0g(収率97
%)を得た。得られたポリイミドの赤外吸収スペクトル
を測定したところ、1720cm-1及び1783cm-1
に典型的なイミドの吸収が認められた。また、その分子
量、ガラス転移点及び熱分解開始温度を測定した。それ
らの結果を表2に示す。このポリイミドを、テトラヒド
ロフランに25重量%の濃度になるように溶解して液状
接着剤を得た。
【0061】実施例37 2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニ
ル]プロパン30.79g(75ミリモル)と1,3−
ビス(3−アミノプロピル)−1,1,3,3−テトラ
メチルジシロキサン6.21g(25ミリモル)と3,
3′,4,4′−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸
二無水物17.91g(50ミリモル)とエチレングリ
コールビストリメリテート二無水物20.53g(50
ミリモル)及びN−メチル−2−ピロリドン300ml
を用いて、実施例1と同様の方法で、各構造単位のモル
比が[(1a)+(1b)]:[(2a)+(2b)]
=75:25[(1a):(1b)=50:50、(2
a):(2b)=50:50]で示されるポリイミド6
8.5g(収率95%)を得た。得られたポリイミドの
赤外吸収スペクトルを測定したところ、1715cm-1
及び1786cm-1に典型的なイミドの吸収が認められ
た。また、その分子量、ガラス転移点及び熱分解開始温
度を測定した。それらの結果を表2に示す。このポリイ
ミドを、テトラヒドロフランに25重量%の濃度になる
ように溶解して液状接着剤を得た。
【0062】実施例38 2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニ
ル]プロパン30.79g(75ミリモル)と1,3−
ビス(3−アミノプロピル)−1,1,3,3−テトラ
メチルジシロキサン6.21g(25ミリモル)と3,
3′,4,4′−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸
二無水物8.96g(25ミリモル)とエチレングリコ
ールビストリメリテート二無水物30.77g(75ミ
リモル)及びN−メチル−2−ピロリドン300mlを
用いて、実施例1と同様の方法で、各構造単位のモル比
が[(1a)+(1b)]:[(2a)+(2b)]=
75:25[(1a):(1b)=25:75、(2
a):(2b)=25:75]で示されるポリイミド6
9.5g(収率95%)を得た。得られたポリイミドの
赤外吸収スペクトルを測定したところ、1715cm-1
及び1786cm-1に典型的なイミドの吸収が認められ
た。また、その分子量、ガラス転移点及び熱分解開始温
度を測定した。それらの結果を表2に示す。このポリイ
ミドを、テトラヒドロフランに25重量%の濃度になる
ように溶解して液状接着剤を得た。
【0063】実施例39 2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニ
ル]プロパン30.79g(75ミリモル)と1,3−
ビス(3−アミノプロピル)−1,1,3,3−テトラ
メチルジシロキサン6.21g(25ミリモル)と3,
3′,4,4′−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸
二無水物26.87g(75ミリモル)とエチレングリ
コールビストリメリテート二無水物10.26g(25
ミリモル)及びN−メチル−2−ピロリドン300ml
を用いて、実施例1と同様の方法で、各構造単位のモル
比が[(1a)+(1b)]:[(2a)+(2b)]
=75:25[(1a):(1b)=75:25、(2
a):(2b)=75:25]で示されるポリイミド6
6.0g(収率94%)を得た。得られたポリイミドの
赤外吸収スペクトルを測定したところ、1715cm-1
及び1786cm-1に典型的なイミドの吸収が認められ
た。また、その分子量、ガラス転移点及び熱分解開始温
度を測定した。それらの結果を表2に示す。このポリイ
ミドを、テトラヒドロフランに25重量%の濃度になる
ように溶解して液状接着剤を得た。
【0064】実施例40 2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニ
ル]プロパン30.79g(75ミリモル)と1,3−
ビス[(アミノフェノキシ)メチル]−1,1,3,3
−テトラメチルジシロキサン9.42g(25ミリモ
ル)と3,3′,4,4′−ジフェニルスルホンテトラ
カルボン酸二無水物35.83g(100ミリモル)及
びN−メチル−2−ピロリドン300mlを用いて、実
施例1と同様の方法で、各構造単位のモル比が[(1
a)+(1b)]:[(2a)+(2b)]=75:2
5[(1a):(1b)=100:0、(2a):(2
b)=100:0]で示されるポリイミド69.0g
(収率95%)を得た。得られたポリイミドの赤外吸収
スペクトルを測定したところ、1720cm-1及び17
83cm-1に典型的なイミドの吸収が認められた。ま
た、その分子量、ガラス転移点及び熱分解開始温度を測
定した。それらの結果を表2に示す。このポリイミド
を、テトラヒドロフランに25重量%の濃度になるよう
に溶解して液状接着剤を得た。
【0065】実施例41 2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニ
ル]プロパン30.79g(75ミリモル)と下記一般
式(5)で示されるアミノプロピル末端のジメチルシロ
キサン4量体(Y=NH2 、R=プロピレン、n=3)
10.72g(25ミリモル)と
【化13】 3,3′,4,4′−ジフェニルスルホンテトラカルボ
ン酸二無水物35.83g(100ミリモル)及びN−
メチル−2−ピロリドン300mlを用いて、実施例1
と同様の方法で、各構造単位のモル比が[(1a)+
(1b)]:[(2a)+(2b)]=75:25
[(1a):(1b)=100:0、(2a):(2
b)=100:0]で示されるポリイミド67.0g
(収率91%)を得た。得られたポリイミドの赤外吸収
スペクトルを測定したところ、1712cm-1及び17
83cm-1に典型的なイミドの吸収が認められた。ま
た、その分子量、ガラス転移点及び熱分解開始温度を測
定した。それらの結果を表2に示す。このポリイミド
を、テトラヒドロフランに25重量%の濃度になるよう
に溶解して液状接着剤を得た。
【0066】
【表1】
【0067】
【表2】 表1及び2において、ポリイミドの分子量測定は、テト
ラヒドロフランを溶離液とし、カラムはShodex8
0M×2を使用して行った。分子量値は、GPCによる
数平均分子量であり、ポリスチレン換算によるものであ
る。ガラス転移点は、示差熱分析(窒素中、10℃/分
で昇温)により測定し、また、熱分解開始温度は、熱重
量分析(窒素中、10℃/分で昇温)により測定したも
のである。
【0068】実施例42 実施例1得られた液状接着剤60重量部に対し、実施例
10で得られた液状接着剤40重量部を混合することに
よって液状接着剤を得た。 実施例43 実施例16で得られた液状接着剤60重量部に対し、実
施例10で得られた液状接着剤40重量部を混合するこ
とによって液状接着剤を得た。 実施例44 実施例33で得られた液状接着剤50重量部に対し、実
施例36で得られた液状接着剤50重量部を混合するこ
とによって液状接着剤を得た。 実施例45 実施例33で得られた液状接着剤80重量部に対し、実
施例36で得られた液状接着剤20重量部を混合するこ
とによって液状接着剤を得た。
【0069】実施例46 実施例10で得られた液状接着剤100重量部に対し、
アルミナフィラー(昭和電工社製、粒径0.05μm)
10重量部を分散混合することによって液状接着剤を得
た。 実施例47 実施例14で得られた液状接着剤100重量部に対し、
アルミナフィラー(昭和電工社製、粒径0.05μm)
10重量部を分散混合することによって液状接着剤を得
た。 実施例48 実施例34で得られた液状接着剤100重量部に対し、
アルミナフィラー(昭和電工社製、粒径0.05μm)
10重量部を分散混合することによって液状接着剤を得
た。
【0070】実施例49 実施例10で得られた液状接着剤100重量部に対し、
シリカフィラー(荒川化学社製、粒径0.07μm)1
0重量部を分散混合することによって液状接着剤を得
た。 実施例50 実施例14で得られた液状接着剤100重量部に対し、
シリカフィラー(荒川化学社製、粒径0.07μm)1
0重量部を分散混合することによって液状接着剤を得
た。 実施例51 実施例34で得られた液状接着剤100重量部に対し、
シリカフィラー(荒川化学社製、粒径0.07μm)1
0重量部を分散混合することによって液状接着剤を得
た。
【0071】
【表3】 表3における各測定値は、前記したと同様に測定して求
めたものである。なお、「−」は、ポリイミドの混合物
であるので、平均分子量の意味をなさないため記載しな
かった。
【0072】比較例1 ナイロンエポキシ系接着剤(トレジンFS−410、帝
国化学産業(株)製、固形分率20%,溶剤:イソプロ
パノール/メチルエチルケトン=2/1)を用意した。 比較例2 ポリイミド系ワニス(ラークTPI、三井東圧化学
(株)製)のN−メチル−2−ピロリドン20重量%溶
液を用意した。
【0073】接着テープの作製例(1) 実施例1〜51の液状接着剤を、ポリイミドフィルムの
両面に塗布し、熱風循環型乾燥機中にて150℃で5分
間乾燥し、接着テープを作製した。塗工時に各接着層の
厚さが20μmになるように調整した。 接着テープの作製例(2) 実施例1〜41で得られたポリイミドを、N−メチル−
2−ピロリドン/キシレン=90/10からなる混合溶
媒に、20重量%の濃度になるように溶解して液状接着
剤を得た。得られた液状接着剤を、ポリイミドフィルム
の両面に塗布し、熱風循環型乾燥機中にて180℃で1
0分間乾燥し、接着テープを作製した。塗工時に各接着
層の厚さが20μmになるように調整した。 接着テープの作製例(3) 実施例1〜41で得られたポリイミドを、N,N−ジメ
チルアセトアミド/トルエン=95/5からなる混合溶
媒に、20重量%の濃度になるように溶解して液状接着
剤を得た。得られた液状接着剤を、ポリイミドフィルム
の両面に塗布し、熱風循環型乾燥機中にて180℃で5
分間乾燥し、接着テープを作製した。塗工時に各接着層
の厚さが20μmになるように調整した。
【0074】比較テープの作製例1 比較例1の液状接着剤を、ポリイミドフィルムの両面に
塗布し、熱風循環型乾燥機中にて150℃で15分間乾
燥し、接着テープを作製した。塗工時に各接着層の厚さ
が20μmになるように調整した。 比較テープの作製例2 比較例2の液状接着剤を、ポリイミドフィルムの両面に
塗布し、熱風循環型乾燥機中にて150℃で120分間
乾燥し、さらに250℃で60分間乾燥して接着テープ
を作製した。塗工時に各接着層の厚さが20μmになる
ように調整した。
【0075】(リードフレームの組立て)図1に示す半
導体パッケージに用いられるリードフレームを、次に示
す手順で表4に示す作業条件の下で組立てた。 (a)接着テープの打ち抜き 金型による接着テープのリング状打ち抜き。 (b)接着テープの仮接着 ホットプレート上にプレーンを置き、リング状に打ち抜
いたテープをプレーンに金属ロッドで押し付け仮接着し
た。 (c)リードフレームの組立て 上記工程で接着テープを仮接着したプレーンとリードフ
レーム本体を位置合わせし、下記表4に示した条件にて
加熱したホットプレート上で加熱加圧し、リードフレー
ムとプレーンを接着テープを介して貼り合わせた。 (d)接着テープキュアー 比較例1の液状接着剤を使用した場合について行った。
すなわち、熱風循環型オーブン内を窒素置換し、3つの
工程で組立てたリードフレーム上で、表4に記載の条件
で硬化させた。
【0076】
【表4】
【0077】(半導体パッケージの組立て)その後、作
成したリードフレームを使用し、以下の手順で半導体パ
ッケージを組立てた。リードフレーム組立て時に接着条
件が異なるのは、各接着テープの特性が異なるためであ
る。ここでは、各接着テープに最適の接着条件を選定
し、それに基づいて接着硬化させた。 (a)ダイボンディング 半導体チップをダイボンディング用銀ペーストを用い
て、プレーン部に接着し、150℃で2時間硬化させ
た。 (b)ワイヤーボンディング ワイヤーボンダーにより、金線で半導体チップ上のワイ
ヤーパッドとインナーリード線端部の銀メッキ部分とを
配線する。 (c)モールディング エポキシ系モールド剤でトランスファーモールドする。 (d)仕上げ工程 ホーミング、ダイカット、アウターリード部のメッキ等
の工程を含め、パッケージに仕上げる。
【0078】(接着テープおよび半導体パッケージの評
価結果) (a)リードフレームの酸化 接着層硬化中に、リードフレーム表面の酸化が起こって
いるか否かの評価を、リードフレーム表面の変色に対す
る視覚判定により行った。その結果、本発明の接着テー
プは、酸化は生じなかったが、比較例2の場合は、接着
に際し長時間高温にさらされるために変色が認められ、
リードフレームの酸化が生じていた。 (b)接着力 銅板にリードフレーム組み立て時の条件(表4)で接着
テープを貼着(テーピング)した後の、10mm幅のテ
ープの室温での90°ピール強度を測定した。その結
果、本発明の接着テープは、35〜50g/10mmで
あるのに対して、比較例1の場合は2〜4g/10mm
であり、また、比較例2の場合は10〜40g/10m
mで変動幅が大きかった。 (c)ボイド 接着層を硬化させる際に、接着層内に発生するボイドが
実用上問題になるレベルにあるか否かを顕微鏡による視
覚判定にて評価した。その結果、本発明の接着テープ
は、ボイドの発生は全くなかったが、比較例1の場合は
ボイドの発生が認められた。 (d)作業性 リードフレームの組立ての際の接着テープのテーピング
等、使用時のハンドリング性(カール、走行性)および
接着テープの接着剤表面のタックについて評価を行っ
た。その結果、本発明の接着テープは、全てハンドリン
グ性が良好であり、表面のタックを生じなかったが、比
較例2の場合は、ハンドリング性に問題を生じた。
【0079】(e)ワイヤーボンダビリティー パッケージ組立てに際して、金線のワイヤーボンディン
グ時のリードフレーム上へのワイヤーボンダビリティー
を確認した。その結果、本発明の接着テープを使用した
場合、832ピンの試験において、ボンディング不良は
ゼロであった。一方、比較例1の場合は、832ピン中
123ピンのボンディング不良が確認され、金ワイヤー
のボンディングを十分な強度にすることができなかっ
た。 (f)半導体パッケージの評価 前述のようにして得られたパッケージに対して、PCB
T試験(Pressure Cooker Biase
d Test)を行った。条件は5ボルト印加、121
℃、2atm、100%RHで実施し、電気的信頼性テ
ストを行った。その結果、本発明の接着テープの場合
は、1000時間でショートが生じなかった。
【0080】以上の結果から明らかなように、本発明の
電子部品用接着テープの場合は、半導体パッケージを良
好に作製することができる。これに対して、比較例の接
着テープの場合には、リードフレームの酸化が生じる、
接着条件がリードフレームの組立てに適さない、およ
び、金線のワイヤーボンディングを行うことができな
い、等の問題があり、電子部品作製の用途に適していな
い。
【0081】
【発明の効果】本発明の液状接着剤及びそれを用いた電
子部品用接着テープは、上記した試験結果等から明らか
なように、十分な耐熱性、信頼性等を有しているもので
あり、その液状接着剤は、半導体装置を構成するリード
フレーム周辺の部材間の接着、例えば、リードピン、半
導体チップ搭載用基板、放熱板、半導体チップ自体等の
接着に好適に使用することができ、また、その電子部品
用接着テープは、例えば、リードフレーム固定用テー
プ、TABテープ等として好適に使用することができる
ものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明または従来の接着テープを使用した樹
脂封止型半導体装置の一例の断面図である。
【図2】 本発明または従来の接着テープを使用した樹
脂封止型半導体装置の他の一例の断面図である。
【図3】 本発明または従来の接着テープを使用した樹
脂封止型半導体装置のさらに他の一例の断面図である。
【符号の説明】
1…半導体チップ、2…プレーン、3…リードピン、4
…ボンディングワイヤー、5…樹脂、6…接着層、7…
ダイパッド、8…電極。
【手続補正書】
【提出日】平成8年8月27日
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項1
【補正方法】変更
【補正内容】
【化1】 (式中、Arは芳香環を有する下記の構造から選ばれた
二価の基を示す。)
【化2】
【化3】 (式中、Rは炭素数1〜10のアルキレン基またはメチ
レン基がSiに結合している−CH2 OC6 4 −を示
す。nは1〜20の整数を意味する。)
【手続補正2】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項6
【補正方法】変更
【補正内容】
【化4】 (式中、Arは、請求項1に記載したと同意義を有す
る。)
【化5】 (式中、Rは炭素数1〜10のアルキレン基またはメチ
レン基がSiに結合している−CH2 OC6 4 −を示
す。nは1〜20の整数を意味する。)
【手続補正3】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0007
【補正方法】変更
【補正内容】
【0007】
【化8】 (式中、Rは炭素数1〜10のアルキレン基またはメチ
レン基がSiに結合している−CH2 OC6 4 −を示
す。nは1〜20の整数を意味する。)
【手続補正4】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0012
【補正方法】変更
【補正内容】
【0012】本発明に使用するポリイミドは、一般的な
ポリイミドの製造方法を用いて製造することができる。
すなわち、各繰り返し構造単位に対応するテトラカルボ
ン酸無水物と、各繰り返し構造単位に対応するジアミン
またはジイソシアナートとから製造することが可能であ
る。具体的には、上記のポリイミドは、下記式(3a)
及び式(3b)で表されるテトラカルボン酸二無水物、
下記式(4)で表される化合物及び下記式(5)で表さ
れるシロキサン系化合物とを反応させることにより製造
することができる。
【化11】 (式中、Arは芳香環を有する前記の構造から選ばれた
二価の基、Yはアミノ基またはイソシアナート基を示
す。)
【化12】 (式中、Rは炭素数1〜10のアルキレン基またはメチ
レン基がSiに結合している−CH2 OC6 4 −を示
す。nは1〜20の整数を意味する。Yはアミノ基また
はイソシアナート基を示す。)
【手続補正5】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0014
【補正方法】変更
【補正内容】
【0014】また、上記式(4)で表される化合物
Arは上記した芳香環を有する構造から選ばれた二価の
基で示されるものであるが、官能基Yがアミノ基である
ジアミン類としては、具体的には、次のものが挙げられ
る。3,3′−ジアミノビフェニル、3,4′−ジアミ
ノビフェニル、4,4′−ジアミノビフェニル、3,
3′−ジアミノジフェニルメタン、3,4′−ジアミノ
ジフェニルメタン、4,4′−ジアミノジフェニルメタ
ン、2,2−(3,3′−ジアミノジフェニル)プロパ
ン、2,2−(3,4′−ジアミノジフェニル)プロパ
ン、2,2−(4,4′−ジアミノジフェニル)プロパ
ン、2,2−(3,3′−ジアミノジフェニル)ヘキサ
フルオロプロパン、2,2−(3,4′−ジアミノジフ
ェニル)ヘキサフルオロプロパン、2,2−(4,4′
−ジアミノジフェニル)ヘキサフルオロプロパン、3,
3′−オキシジアニリン、3,4′−オキシジアニリ
ン、4,4′−オキシジアニリン、3,3′−ジアミノ
ジフェニルスルフィド、3,4′−ジアミノジフェニル
スルフィド、4,4′−ジアミノジフェニルスルフィ
ド、3,3′−ジアミノジフェニルスルホン、3,4′
−ジアミノジフェニルスルホン、4,4′−ジアミノジ
フェニルスルホン、1,3−ビス[1−(3−アミノフ
ェニル)−1−メチルエチル]ベンゼン、1,3−ビス
[1−(4−アミノフェニル)−1−メチルエチル]ベ
ンゼン、1,4−ビス[1−(3−アミノフェニル)−
1−メチルエチル]ベンゼン、1,4−ビス[1−(4
−アミノフェニル)−1−メチルエチル]ベンゼン、
1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,
3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4−
ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4−ビス
(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、3,3′−ビス
(3−アミノフェノキシ)ジフェニルエーテル、3,
3′−ビス(4−アミノフェノキシ)ジフェニルエーテ
ル、3,4′−ビス(3−アミノフェノキシ)ジフェニ
ルエーテル、3,4′−ビス(4−アミノフェノキシ)
ジフェニルエーテル、4,4′−ビス(3−アミノフェ
ノキシ)ジフェニルエーテル、4,4′−ビス(4−ア
ミノフェノキシ)ジフェニルエーテル、3,3′−ビス
(3−アミノフェノキシ)ビフェニル、3,3′−ビス
(4−アミノフェノキシ)ビフェニル、3,4′−ビス
(3−アミノフェノキシ)ビフェニル、3,4′−ビス
(4−アミノフェノキシ)ビフェニル、4,4′−ビス
(3−アミノフェノキシ)ビフェニル、4,4′−ビス
(4−アミノフェノキシ)ビフェニル、ビス[4−(3
−アミノフェノキシ)フェニルスルホン、ビス[4−
(4−アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、2,2
−ビス[3−(3−アミノフェノキシ)フェニル]プロ
パン、2,2−ビス[3−(4−アミノフェノキシ)フ
ェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(3−アミノフ
ェノキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−
(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、2,2
−ビス[3−(3−アミノフェノキシ)フェニル]ヘキ
サフルオロプロパン、2,2−ビス[3−(4−アミノ
フェノキシ)フェニル]ヘキサフルオロプロパン、2,
2−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]ヘ
キサフルオロプロパン、2,2−ビス[4−(4−アミ
ノフェノキシ)フェニル]ヘキサフルオロプロパン、
9,9−ビス(3−アミノフェニル)フルオレン、9,
9−ビス(4−アミノフェニル)フルオレン等である。
また、式(4)で表される化合物において、官能基Yが
イソシアナート基であるジイソシアート類としては、
上記に例示したジアミン類において、「アミノ」を「イ
ソシアナート」に置き換えたものを挙げることができ
る。
【手続補正6】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0015
【補正方法】変更
【補正内容】
【0015】ポリイミドの製造原料として使用する式
(5)で表される化合物において、官能基Yがアミノ基
であるジアミン類としては、ビス(3−アミノプロピ
ル)テトラメチルジシロキサン、ビス(10−アミノデ
カメチレン)テトラメチルジシロキサン、アミノプロピ
ル末端のジメチルシロキサンの4量体及び8量体、ビス
(3−アミノフェノキシメチル)テトラメチルジシロキ
サン等が挙げられ、これらを併用して用いることも可能
である。また、式(5)で表される化合物において、官
能基Yがイソシアナート基であるジイソシアナート類と
しては、上記に例示したジアミン類において、「アミ
ノ」を「イソシアナート」に置き換えたものを挙げるこ
とができる。上記式(4)及び式(5)で表される化合
物において、官能基Yがイソシアナート基であるジイソ
シアート類は、上記に例示した対応するジアミンを常
法によりホスゲンと反応させることにより容易に製造す
ることができる。
【手続補正7】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0036
【補正方法】変更
【補正内容】
【0036】実施例124,4′−ビス(4−アミノフェノキシ)ジフェニルエ
ーテル 25.75g(67ミリモル)と1,3−ビス
(3−アミノプロピル)−1,1,3,3−テトラメチ
ルジシロキサン8.20g(33ミリモル)と3,
3′,4,4′−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸
二無水物35.83g(100ミリモル)及びN−メチ
ル−2−ピロリドン300mlを用いて、実施例1と同
様の方法で、各構造単位のモル比が[(1a)+(1
b)]:[(2a)+(2b)]=67:33[(1
a):(1b)=100:0、(2a):(2b)=1
00:0]で示されるポリイミド64.0g(収率97
%)を得た。得られたポリイミドの赤外吸収スペクトル
を測定したところ、1718cm-1及び1783cm-1
に典型的なイミドの吸収が認められた。また、その分子
量、ガラス転移点及び熱分解開始温度を測定した。それ
らの結果を表1に示す。このポリイミド樹脂を、テトラ
ヒドロフランに25重量%の濃度になるように溶解して
液状接着剤を得た。
【手続補正8】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0052
【補正方法】変更
【補正内容】
【0052】実施例284,4′−ビス(4−アミノフェノキシ)ジフェニルエ
ーテル 28.82g(75ミリモル)と1,3−ビス
(3−アミノプロピル)−1,1,3,3−テトラメチ
ルジシロキサン6.21g(25ミリモル)とエチレン
グリコールビストリメリテート二無水物41.03g
(100ミリモル)及びN−メチル−2−ピロリドン3
00mlを用いて、実施例1と同様の方法で、各構造単
位のモル比が[(1a)+(1b)]:[(2a)+
(2b)]=75:25[(1a):(1b)=0:1
00、(2a):(2b)=0:100]で示されるポ
リイミド70.0g(収率97%)を得た。得られたポ
リイミドの赤外吸収スペクトルを測定したところ、17
18cm-1及び1783cm-1に典型的なイミドの吸収
が認められた。また、その分子量、ガラス転移点及び熱
分解開始温度を測定した。それらの結果を表2に示す。
このポリイミド樹脂を、テトラヒドロフランに25重量
%の濃度になるように溶解して液状接着剤を得た。
【手続補正9】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0068
【補正方法】変更
【補正内容】
【0068】実施例42 実施例1得られた液状接着剤60重量部に対し、実施
例10で得られた液状接着剤40重量部を混合すること
によって液状接着剤を得た。 実施例43 実施例16で得られた液状接着剤60重量部に対し、実
施例10で得られた液状接着剤40重量部を混合するこ
とによって液状接着剤を得た。 実施例44 実施例33で得られた液状接着剤50重量部に対し、実
施例36で得られた液状接着剤50重量部を混合するこ
とによって液状接着剤を得た。 実施例45 実施例33で得られた液状接着剤80重量部に対し、実
施例36で得られた液状接着剤20重量部を混合するこ
とによって液状接着剤を得た。
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01L 23/29 H01L 23/30 R 23/31

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 耐熱性フィルムの少なくとも一面に、下
    記式(1a)で表される構造単位及び下記式(1b)で
    表される構造単位の少なくとも1種を95〜40モル%
    と、下記式(2a)で表される構造単位及び下記式(2
    b)で表される構造単位の少なくとも1種を5〜60モ
    ル%とを含有する1つ以上のポリイミドからなる接着層
    を積層してなることを特徴とする電子部品用接着テー
    プ。 【化1】 (式中、Arは芳香環を有する下記の構造から選ばれた
    二価の基を示す。) 【化2】 【化3】 (式中、Rは炭素数1〜10のアルキレン基または−C
    2 OC6 4 −を示す。nは1〜20の整数を意味す
    る。)
  2. 【請求項2】 耐熱性フイルムが、ポリイミド樹脂フイ
    ルムであることを特徴とする請求項1に記載の電子部品
    用接着テープ。
  3. 【請求項3】 接着層に粒径1μm以下のフィラーが1
    〜50重量部含まれていることを特徴とする請求項1に
    記載の電子部品用接着テープ。
  4. 【請求項4】 剥離性フィルムの一面に、上記式(1
    a)で表される構造単位及び上記式(1b)で表される
    構造単位の少なくとも1種を95〜40モル%と、上記
    式(2a)で表される構造単位及び上記式(2b)で表
    される構造単位の少なくとも1種を5〜60モル%とを
    含有するポリイミドの1つ以上を配合した接着層を積層
    してなることを特徴とする電子部品用接着テープ。
  5. 【請求項5】 接着層に粒径1μm以下のフィラーが1
    〜50重量部含まれていることを特徴とする請求項4に
    記載の電子部品用接着テープ。
  6. 【請求項6】 有機溶剤中に、下記式(1a)で表され
    る構造単位及び下記式(1b)で表される構造単位の少
    なくとも1種を95〜40モル%と、下記式(2a)で
    表される構造単位及び下記式(2b)で表される構造単
    位の少なくとも1種を5〜60モル%とを含有する1つ
    以上のポリイミドを溶解してなることを特徴とする電子
    部品用液状接着剤。 【化4】 (式中、Arは、請求項1に記載したと同意義を有す
    る。) 【化5】 (式中、Rは炭素数1〜10のアルキレン基または−C
    2 OC6 4 −を示す。nは1〜20の整数を意味す
    る。)
  7. 【請求項7】 粒径1μm以下のフィラーが全固形分の
    1〜50重量部含まれていることを特徴とする請求項6
    に記載の電子部品用液状接着剤。
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