JPH10151592A - 搬送ロボットのハンド自動交換システムと装置 - Google Patents
搬送ロボットのハンド自動交換システムと装置Info
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- JPH10151592A JPH10151592A JP31367196A JP31367196A JPH10151592A JP H10151592 A JPH10151592 A JP H10151592A JP 31367196 A JP31367196 A JP 31367196A JP 31367196 A JP31367196 A JP 31367196A JP H10151592 A JPH10151592 A JP H10151592A
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- hand
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 各種の薄型基板に適合するハンドを自動交換
することによって、FA化・システムの多様に対応でき
る搬送ロボットのハンド自動交換システム及び装置を提
供すること。 【解決手段】 架台1上に、基板Wが収納されるカセッ
ト2及びカセット3、ハンドストッカ4が並設されてい
る。カセット2、3及びハンドストッカ4に対向するよ
うにロボット6が移動可能に配設されている。ロボット
6にはロボットハンド部8が配設され、ロボットハンド
8に固定側ハンド20と交換ハンド40が備えられ、交
換ハンド40は固定側ハンド20に着脱可能に構成され
る。ハンドストッカ4には各種の交換ハンド40が配置
され、交換ステージA位置において、交換ハンド40
は、固定側ハンド20に配設されたクランプ手段、クラ
ンプ駆動手段により着脱される。
することによって、FA化・システムの多様に対応でき
る搬送ロボットのハンド自動交換システム及び装置を提
供すること。 【解決手段】 架台1上に、基板Wが収納されるカセッ
ト2及びカセット3、ハンドストッカ4が並設されてい
る。カセット2、3及びハンドストッカ4に対向するよ
うにロボット6が移動可能に配設されている。ロボット
6にはロボットハンド部8が配設され、ロボットハンド
8に固定側ハンド20と交換ハンド40が備えられ、交
換ハンド40は固定側ハンド20に着脱可能に構成され
る。ハンドストッカ4には各種の交換ハンド40が配置
され、交換ステージA位置において、交換ハンド40
は、固定側ハンド20に配設されたクランプ手段、クラ
ンプ駆動手段により着脱される。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、クリーンルーム
内で設置される搬送ロボットに関し、さらに、薄型基板
を吸着把持するロボットのハンドを自動交換するシステ
ムと装置に関する。
内で設置される搬送ロボットに関し、さらに、薄型基板
を吸着把持するロボットのハンドを自動交換するシステ
ムと装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、ガラス基板やシリコンウェハ等の
薄型基板を加工あるいは搬送することについては、薄型
基板が特に汚れを嫌うため、通常その作業がクリーンル
ーム内で行なわれる。薄型基板の需要の増大及び製品の
品質の向上に伴って、クリーンルームではFA化が求め
られ、さらにシステムの多様化に対応しなければならな
くなってきている。一方、クリーンルーム内には搬送ロ
ボットが配置され、カセットに収納された薄型基板をセ
ンタリングして次工程に搬送する作業が行なわれる。そ
のため、搬送ロボットもシステムの多様化に対応するた
め、多種類の薄型基板を自動的に選択して搬送する必要
が生じてきている。
薄型基板を加工あるいは搬送することについては、薄型
基板が特に汚れを嫌うため、通常その作業がクリーンル
ーム内で行なわれる。薄型基板の需要の増大及び製品の
品質の向上に伴って、クリーンルームではFA化が求め
られ、さらにシステムの多様化に対応しなければならな
くなってきている。一方、クリーンルーム内には搬送ロ
ボットが配置され、カセットに収納された薄型基板をセ
ンタリングして次工程に搬送する作業が行なわれる。そ
のため、搬送ロボットもシステムの多様化に対応するた
め、多種類の薄型基板を自動的に選択して搬送する必要
が生じてきている。
【0003】搬送ロボットには、薄型基板を移動するた
めの複数のアームから構成されるロボットハンド部が配
設されている。従来のロボットハンド部50の一例は、
図9に示されるように、ロボットの駆動部から駆動さ
れ、薄型基板を吸着把持する先端部のハンド51、ハン
ド51に連結され屈伸可能な2個のアーム52、53と
から構成されている。ハンド51は、ハンド本体部51
aとハンド支持部51bとからなり、ハンド支持部51
bがアーム52に枢着され、アーム支持部51bにハン
ド本体部51aにボルトで固定されている。
めの複数のアームから構成されるロボットハンド部が配
設されている。従来のロボットハンド部50の一例は、
図9に示されるように、ロボットの駆動部から駆動さ
れ、薄型基板を吸着把持する先端部のハンド51、ハン
ド51に連結され屈伸可能な2個のアーム52、53と
から構成されている。ハンド51は、ハンド本体部51
aとハンド支持部51bとからなり、ハンド支持部51
bがアーム52に枢着され、アーム支持部51bにハン
ド本体部51aにボルトで固定されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来のハンド
51は、上記のように、ハンド本体部51aがハンド支
持部51bとボルトにて結合されているので、多種類の
薄型基板に適合するそれぞれのハンドは、手動によって
交換されなければならなかった。
51は、上記のように、ハンド本体部51aがハンド支
持部51bとボルトにて結合されているので、多種類の
薄型基板に適合するそれぞれのハンドは、手動によって
交換されなければならなかった。
【0005】この発明は、上述の課題を解決するもので
あり、各種の薄型基板に適合するハンドを自動的に交換
することによって、FA化・システムの多様化に対応で
きるようにするもので、そのための搬送ロボットのハン
ド自動交換システム及び装置を提供することを目的とす
る。
あり、各種の薄型基板に適合するハンドを自動的に交換
することによって、FA化・システムの多様化に対応で
きるようにするもので、そのための搬送ロボットのハン
ド自動交換システム及び装置を提供することを目的とす
る。
【0006】
【課題を解決するための手段】この発明にかかわる搬送
ロボットのハンド自動交換システムと装置は、上記の課
題を解決するため、以下のように構成するものである。
すなわち、このシステムは、架台上に、少なくとも、薄
型基板を収納するカセットと、複数個の交換ハンドが収
納されるハンドストッカと、薄型基板を搬送するととも
に前記ハンドストッカの近傍に位置されるハンド交換ス
テージに移動可能なロボットと、が配設される搬送ロボ
ットのハンド自動交換システムであって、前記ロボット
には、前記薄型基板を吸着把持する交換ハンドと、前記
交換ハンドを収容する固定側ハンドと、が備えられると
ともに、前記交換ハンドがハンド着脱手段によって着脱
可能に構成され、前記交換ハンドが、前記ハンドストッ
カで前記ロボットの固定側ハンドに収納可能に配置され
るとともに、前記ハンド交換ステージにおいて、ロボッ
ト側の交換ハンドがハンドストッカ側の交換ハンドと交
換できるように、前記ロボットが駆動されることを特徴
とするものである。
ロボットのハンド自動交換システムと装置は、上記の課
題を解決するため、以下のように構成するものである。
すなわち、このシステムは、架台上に、少なくとも、薄
型基板を収納するカセットと、複数個の交換ハンドが収
納されるハンドストッカと、薄型基板を搬送するととも
に前記ハンドストッカの近傍に位置されるハンド交換ス
テージに移動可能なロボットと、が配設される搬送ロボ
ットのハンド自動交換システムであって、前記ロボット
には、前記薄型基板を吸着把持する交換ハンドと、前記
交換ハンドを収容する固定側ハンドと、が備えられると
ともに、前記交換ハンドがハンド着脱手段によって着脱
可能に構成され、前記交換ハンドが、前記ハンドストッ
カで前記ロボットの固定側ハンドに収納可能に配置され
るとともに、前記ハンド交換ステージにおいて、ロボッ
ト側の交換ハンドがハンドストッカ側の交換ハンドと交
換できるように、前記ロボットが駆動されることを特徴
とするものである。
【0007】また好ましくは、前記着脱手段が、前記固
定側ハンドに配設されるクランプ手段及びクランプ駆動
手段と、前記交換ハンドに配設される被クランプ手段
と、を有して構成されることを特徴とするものであれば
良い。
定側ハンドに配設されるクランプ手段及びクランプ駆動
手段と、前記交換ハンドに配設される被クランプ手段
と、を有して構成されることを特徴とするものであれば
良い。
【0008】またこの装置は、薄型基板を搬送するロボ
ットが、薄型基板を吸着把持するロボットハンド部と、
前記ロボットハンド部の駆動部を配設する機台と、を備
えて構成され、前記ロボットハンド部が、交換ハンドと
固定側ハンドとを備えるハンド部を、有して構成される
搬送ロボットのハンド自動交換装置であって、前記固定
側ハンドが、前記交換ハンドを前記固定側ハンドにクラ
ンプするクランプ手段と、前記クランプ手段を駆動する
クランプ駆動手段とを備え、前記交換ハンドが、薄型基
板を吸着把持するハンド本体部と、前記クランプ手段に
係合する被クランプ手段と、を備え、前記ハンド部に、
前記交換ハンドの前記固定側ハンドとの着脱を検出する
検出手段が配設されることを特徴とするものである。
ットが、薄型基板を吸着把持するロボットハンド部と、
前記ロボットハンド部の駆動部を配設する機台と、を備
えて構成され、前記ロボットハンド部が、交換ハンドと
固定側ハンドとを備えるハンド部を、有して構成される
搬送ロボットのハンド自動交換装置であって、前記固定
側ハンドが、前記交換ハンドを前記固定側ハンドにクラ
ンプするクランプ手段と、前記クランプ手段を駆動する
クランプ駆動手段とを備え、前記交換ハンドが、薄型基
板を吸着把持するハンド本体部と、前記クランプ手段に
係合する被クランプ手段と、を備え、前記ハンド部に、
前記交換ハンドの前記固定側ハンドとの着脱を検出する
検出手段が配設されることを特徴とするものである。
【0009】さらに、このシステムと装置は、前記クラ
ンプ手段が、少なくとも2個のリンクを有するリンク機
構に構成されていることを特徴とするものであれば好ま
しい。
ンプ手段が、少なくとも2個のリンクを有するリンク機
構に構成されていることを特徴とするものであれば好ま
しい。
【0010】また、前記被クランプ手段が、前記リンク
に配設されるローラに係合可能なクランプ面を有して構
成されていることを特徴とするものであればさらに好ま
しい。
に配設されるローラに係合可能なクランプ面を有して構
成されていることを特徴とするものであればさらに好ま
しい。
【0011】またこの装置は、前記検出手段が、ハンド
有り無し用のセンサを有していることを特徴とするもの
であってもよい。
有り無し用のセンサを有していることを特徴とするもの
であってもよい。
【0012】
【発明の実施の形態】以下、この発明の一実施の形態を
図面に基づいて説明する。
図面に基づいて説明する。
【0013】図1は薄型基板(以下、基板という)Wを
搬送する搬送システムの一部概略図を示すものであり、
架台1上に基板Wが収納されるカセット2と、カセット
2に収納された基板Wが搬送されて収納されるカセット
3と、が並設されている。さらにカセット2、3に間隔
をおいて並設されるようにハンドストッカ4が交換ハン
ド40を複数個収納して配置されている。また、カセッ
ト2、カセット3、ハンドストッカ4に平行に対向する
ように搬送レール5が配置され、搬送レール5上を水平
多関節搬送ロボット(以下、ロボットという)6が移動
可能に配設されている。
搬送する搬送システムの一部概略図を示すものであり、
架台1上に基板Wが収納されるカセット2と、カセット
2に収納された基板Wが搬送されて収納されるカセット
3と、が並設されている。さらにカセット2、3に間隔
をおいて並設されるようにハンドストッカ4が交換ハン
ド40を複数個収納して配置されている。また、カセッ
ト2、カセット3、ハンドストッカ4に平行に対向する
ように搬送レール5が配置され、搬送レール5上を水平
多関節搬送ロボット(以下、ロボットという)6が移動
可能に配設されている。
【0014】ロボット6は、駆動部が配置された機台7
と、機台7上に配置され基板Wを吸着把持するロボット
ハンド部8と、を有して搬送レール5上を、カセット2
に対向する位置からハンドストッカ5に対向する位置
(ハンド交換ステージ)Aまで移動する。そして、ロボ
ット6のロボットハンド部8は、関節部を有して屈伸可
能に配置される2個のアーム9A、9Bと、先端側アー
ム9Bに着脱可能に配置されるハンド10と、を含んで
構成されている。
と、機台7上に配置され基板Wを吸着把持するロボット
ハンド部8と、を有して搬送レール5上を、カセット2
に対向する位置からハンドストッカ5に対向する位置
(ハンド交換ステージ)Aまで移動する。そして、ロボ
ット6のロボットハンド部8は、関節部を有して屈伸可
能に配置される2個のアーム9A、9Bと、先端側アー
ム9Bに着脱可能に配置されるハンド10と、を含んで
構成されている。
【0015】ハンド10は図2〜3に示されるように、
固定側ハンド20と交換ハンド40とからなり、固定側
ハンド20はアーム9Bに回動可能に連結され、交換ハ
ンド40はハンドストッカに配置可能に形成されるとと
もに、固定ハンド20に着脱可能に構成される。なお、
図1は交換ハンド40が固定側ハンド20から離脱され
ている状態を示している。
固定側ハンド20と交換ハンド40とからなり、固定側
ハンド20はアーム9Bに回動可能に連結され、交換ハ
ンド40はハンドストッカに配置可能に形成されるとと
もに、固定ハンド20に着脱可能に構成される。なお、
図1は交換ハンド40が固定側ハンド20から離脱され
ている状態を示している。
【0016】固定側ハンド20は、図4〜5に示される
ように、アーム9Bに連結される支持アーム21と、支
持アーム21上に配置され上部に丸状に形成されたクラ
ンプ駆動手段としてのシリンダ室22aとクランプ室2
2bを備え下部にセンサや電線・エア配管等が配設され
る通路22cを備える本体枠22と、からなり、シリン
ダ室22aとクランプ室22bは中央壁23によって遮
断されている。本体枠22のクランプ室22bの交換ハ
ンド20側端面は、交換ハンド20との隙間のほとんど
ない接合をするための段状接合面22dが形成され、段
状接合面22dの内周面にシール部材28が配設されて
いる。
ように、アーム9Bに連結される支持アーム21と、支
持アーム21上に配置され上部に丸状に形成されたクラ
ンプ駆動手段としてのシリンダ室22aとクランプ室2
2bを備え下部にセンサや電線・エア配管等が配設され
る通路22cを備える本体枠22と、からなり、シリン
ダ室22aとクランプ室22bは中央壁23によって遮
断されている。本体枠22のクランプ室22bの交換ハ
ンド20側端面は、交換ハンド20との隙間のほとんど
ない接合をするための段状接合面22dが形成され、段
状接合面22dの内周面にシール部材28が配設されて
いる。
【0017】また、中央壁23の中心部に嵌合されるよ
うにクランプ駆動軸24(クランプ手段)が軸方向に対
して移動可能に配設されている。クランプ駆動軸24の
一端は、シリンダ室22a内に配置され、シリンダ室2
2a内を移動可能なピストン25に取り付けられ、クラ
ンプ駆動軸24の他端は、クランプ室22b内に配置さ
れ、交換ハンド40をクランプする複数(本形態では3
個)のクランパー30(クランプ手段)に取り付けられ
ている。
うにクランプ駆動軸24(クランプ手段)が軸方向に対
して移動可能に配設されている。クランプ駆動軸24の
一端は、シリンダ室22a内に配置され、シリンダ室2
2a内を移動可能なピストン25に取り付けられ、クラ
ンプ駆動軸24の他端は、クランプ室22b内に配置さ
れ、交換ハンド40をクランプする複数(本形態では3
個)のクランパー30(クランプ手段)に取り付けられ
ている。
【0018】また、シリンダ室22aには中央壁23と
ピストン25との間に圧縮エアが充填されるようにエア
室27が形成されるとともに、ピストン25をクランプ
室22b側に付勢するコイルばね26が配設されてい
る。
ピストン25との間に圧縮エアが充填されるようにエア
室27が形成されるとともに、ピストン25をクランプ
室22b側に付勢するコイルばね26が配設されてい
る。
【0019】クランパー30はクランプ駆動軸24に対
して直交する方向に3箇所配設され、3箇所の枢着部3
1aを有しクランプ駆動軸24に直接嵌合される第1リ
ンク31と、一端に第1リンク31の枢着部31aに枢
着され他端にクランプローラ34が軸支される「く」字
状の第2リンク32と、第2リンク32の中央部に一端
が枢着され他端がクランプ室22bに回動可能に支持さ
れる第3リンク33と、を備えて構成されている。
して直交する方向に3箇所配設され、3箇所の枢着部3
1aを有しクランプ駆動軸24に直接嵌合される第1リ
ンク31と、一端に第1リンク31の枢着部31aに枢
着され他端にクランプローラ34が軸支される「く」字
状の第2リンク32と、第2リンク32の中央部に一端
が枢着され他端がクランプ室22bに回動可能に支持さ
れる第3リンク33と、を備えて構成されている。
【0020】従って、クランプ駆動軸24は、エア室2
7の圧縮エアが図示しないバキュームによって吸引され
ると、コイルばね26の付勢力によりクランプ室22b
側(図4の左方)に移動されクランパー30はクランプ
状態にあり、シリンダ室22aのエア室27に圧縮エア
が充填されるとクランプ駆動軸24はコイルばね26の
付勢力に抗してシリンダ室22a側(図4の右方)に移
動されアンクランプの状態になる。
7の圧縮エアが図示しないバキュームによって吸引され
ると、コイルばね26の付勢力によりクランプ室22b
側(図4の左方)に移動されクランパー30はクランプ
状態にあり、シリンダ室22aのエア室27に圧縮エア
が充填されるとクランプ駆動軸24はコイルばね26の
付勢力に抗してシリンダ室22a側(図4の右方)に移
動されアンクランプの状態になる。
【0021】また、通路22c内にはハンド有り無しセ
ンサ36が配設され、通路22cのハンド側端面に自動
脱着コネクタ37及び基板Wを吸着するためのエア用接
続ポート38が配設され、通路22c内に電線及びエア
配管が挿通されている。
ンサ36が配設され、通路22cのハンド側端面に自動
脱着コネクタ37及び基板Wを吸着するためのエア用接
続ポート38が配設され、通路22c内に電線及びエア
配管が挿通されている。
【0022】交換ハンド40は、図2〜3及び図6〜7
に示されるように、フォーク状に形成されたハンド本体
41と、ハンド本体41上に配設される被クランプ本体
部42とからなり、被クランプ本体部42は側面L字状
に形成され、上部に固定側ハンド20のクランプ室22
bに対向するように中空部を有する丸状に形成された被
クランプ室43を備え、下部に中空部が形成されたベー
ス部44を備えている。
に示されるように、フォーク状に形成されたハンド本体
41と、ハンド本体41上に配設される被クランプ本体
部42とからなり、被クランプ本体部42は側面L字状
に形成され、上部に固定側ハンド20のクランプ室22
bに対向するように中空部を有する丸状に形成された被
クランプ室43を備え、下部に中空部が形成されたベー
ス部44を備えている。
【0023】被クランプ室43は、固定側ハンド20側
に丸状の開口部45aが形成される外壁45を有し、壁
45の裏側面にテーパ状のクランプ面46が形成されて
いる。また、外壁45の固定側ハンド20側面には、固
定側ハンド20の本体枠22の段状接合面22dに接合
できるように段状被接合面45bが形成されている。そ
して、被クランプ室43の固定側ハンド20側と対する
側には中空部を塞ぐように蓋47が取り付けられ、ベー
ス部44の固定側ハンド20側に自動脱着コネクタピン
48及び基板吸着用のエア用接続ポート49が配設さ
れ、固定側ハンド20に配設された自動脱着コネクタ3
7及びエア用接続ポート38に接続できるように形成さ
れる。
に丸状の開口部45aが形成される外壁45を有し、壁
45の裏側面にテーパ状のクランプ面46が形成されて
いる。また、外壁45の固定側ハンド20側面には、固
定側ハンド20の本体枠22の段状接合面22dに接合
できるように段状被接合面45bが形成されている。そ
して、被クランプ室43の固定側ハンド20側と対する
側には中空部を塞ぐように蓋47が取り付けられ、ベー
ス部44の固定側ハンド20側に自動脱着コネクタピン
48及び基板吸着用のエア用接続ポート49が配設さ
れ、固定側ハンド20に配設された自動脱着コネクタ3
7及びエア用接続ポート38に接続できるように形成さ
れる。
【0024】なお、交換ハンド40の被クランプ室43
は各種の交換ハンド40とも同一に形成されているが、
ハンド本体41の形状は本形態に限らず、薄型基板Wの
大きさあるいは形状に適合するようにそれぞれ形成され
ている。そして、ハンドストッカ4に収納されている交
換ハンド40は各種の形状のものが揃えられ、被クラン
プ室43の開口部45aを固定側ハンド20に対向する
ように上下方向に配設されている。
は各種の交換ハンド40とも同一に形成されているが、
ハンド本体41の形状は本形態に限らず、薄型基板Wの
大きさあるいは形状に適合するようにそれぞれ形成され
ている。そして、ハンドストッカ4に収納されている交
換ハンド40は各種の形状のものが揃えられ、被クラン
プ室43の開口部45aを固定側ハンド20に対向する
ように上下方向に配設されている。
【0025】次に上記のように構成されたハンド自動交
換装置の作用について、主に図1及び図8に従って説明
する。
換装置の作用について、主に図1及び図8に従って説明
する。
【0026】架台1に所定の基板Wが収納されたカセッ
ト2と、基板Wが収納されていないカセット3が搬送さ
れ所定の位置に配置されると、交換ハンド40が離脱さ
れたままのロボット6がハンドストッカ4と対向する位
置にある交換ステージA位置に移動される。この状態に
おいては、固定側ハンド20内に配設されるシリンダ室
22aのエア室27には圧縮エアが充填され、クランプ
軸24が図8において右方に位置されクランパー30は
アンクランプの状態である。
ト2と、基板Wが収納されていないカセット3が搬送さ
れ所定の位置に配置されると、交換ハンド40が離脱さ
れたままのロボット6がハンドストッカ4と対向する位
置にある交換ステージA位置に移動される。この状態に
おいては、固定側ハンド20内に配設されるシリンダ室
22aのエア室27には圧縮エアが充填され、クランプ
軸24が図8において右方に位置されクランパー30は
アンクランプの状態である。
【0027】ハンドストッカ4には、搬送予定される基
板Wに適合する多種類の交換ハンドがそれぞれ位置決め
固定されて収納されている。図示しないコントローラに
より、カセット2に収納された基板Wに適合する交換ハ
ンド40を選択し、ロボットハンド部8が伸張するとと
もに、ロボットハンド部8に配設された固定側ハンド2
0は、本体枠22の段状接合面22dが交換ハンド40
の外壁45の段状被接合面45bに接合するまで、交換
ハンド40に向かって移動する固定側ハンド20が交換
ハンド40とお互いの接合面で接合されると、固定側ハ
ンド20のエア室27の圧縮エアが、図示しないバキュ
ームにより吸引され、クランプ軸24が図8における左
方に移動される。そして、第2リンク32が第1リンク
31との枢軸点とともに左方に移動され、第2リンク3
2は第3リンク33との枢軸点を中心に図8における時
計方向に回動するため、第2リンク32に配設されたク
ランプローラ34が交換ハンド40のクランプ面46を
押圧することになる。これによって、交換ハンド40が
固定側ハンド20に装着され、ハンドストッカ4に位置
決め固定されていた交換ハンド40は、その位置決め固
定を解除される。
板Wに適合する多種類の交換ハンドがそれぞれ位置決め
固定されて収納されている。図示しないコントローラに
より、カセット2に収納された基板Wに適合する交換ハ
ンド40を選択し、ロボットハンド部8が伸張するとと
もに、ロボットハンド部8に配設された固定側ハンド2
0は、本体枠22の段状接合面22dが交換ハンド40
の外壁45の段状被接合面45bに接合するまで、交換
ハンド40に向かって移動する固定側ハンド20が交換
ハンド40とお互いの接合面で接合されると、固定側ハ
ンド20のエア室27の圧縮エアが、図示しないバキュ
ームにより吸引され、クランプ軸24が図8における左
方に移動される。そして、第2リンク32が第1リンク
31との枢軸点とともに左方に移動され、第2リンク3
2は第3リンク33との枢軸点を中心に図8における時
計方向に回動するため、第2リンク32に配設されたク
ランプローラ34が交換ハンド40のクランプ面46を
押圧することになる。これによって、交換ハンド40が
固定側ハンド20に装着され、ハンドストッカ4に位置
決め固定されていた交換ハンド40は、その位置決め固
定を解除される。
【0028】一方、固定側ハンド20と交換ハンド40
が接合すると同時に、交換ハンド40に配設された自動
脱着コネクタピン48及びエア用接続ポート49が、固
定側ハンド20に配設されている自動脱着コネクタ37
及びエア用接続ポート38に係合されるとともに、ハン
ドありなしセンサ36が、交換ハンド40「有り」を検
出し、図示しないコントローラにそのON信号を送るこ
とになる。従って、ハンド10が固定側ハンド20と交
換ハンド40に分割されていても、固定側ハンド20と
交換ハンド40が接合すれば、コネクタにより交換ハン
ド40との通電が可能になり、また、エア接続ポートに
よりエアが交換ハンド40とのエア流入が可能となるた
め、交換ハンド40側における電線の処理及びエア配管
の処理を必要とすることがなくなる。
が接合すると同時に、交換ハンド40に配設された自動
脱着コネクタピン48及びエア用接続ポート49が、固
定側ハンド20に配設されている自動脱着コネクタ37
及びエア用接続ポート38に係合されるとともに、ハン
ドありなしセンサ36が、交換ハンド40「有り」を検
出し、図示しないコントローラにそのON信号を送るこ
とになる。従って、ハンド10が固定側ハンド20と交
換ハンド40に分割されていても、固定側ハンド20と
交換ハンド40が接合すれば、コネクタにより交換ハン
ド40との通電が可能になり、また、エア接続ポートに
よりエアが交換ハンド40とのエア流入が可能となるた
め、交換ハンド40側における電線の処理及びエア配管
の処理を必要とすることがなくなる。
【0029】さらに、交換ハンド40が固定側ハンド2
0に接合された状態では、その接合面がシール部材28
によってシールされているので、クランプ室22bと、
被クランプ室43は密封されることになるので、ハンド
10から発生するゴミが例えあったとしても、ハンド1
0の外部(クリーンルーム内)にはゴミが漏れることが
ない。
0に接合された状態では、その接合面がシール部材28
によってシールされているので、クランプ室22bと、
被クランプ室43は密封されることになるので、ハンド
10から発生するゴミが例えあったとしても、ハンド1
0の外部(クリーンルーム内)にはゴミが漏れることが
ない。
【0030】その後交換ハンド40が装着されたロボッ
トハンド8は、ハンド10を直線的にロボット機台7側
に移動しながら屈伸されて機台7上に復帰される。
トハンド8は、ハンド10を直線的にロボット機台7側
に移動しながら屈伸されて機台7上に復帰される。
【0031】そして、カセット2に対向する位置に移動
され、カセット2に収納されている基板Wを吸引把持
し、必要であれば基板Wのセンタリングを行なった後、
基板Wをカセット3に収納する。
され、カセット2に収納されている基板Wを吸引把持
し、必要であれば基板Wのセンタリングを行なった後、
基板Wをカセット3に収納する。
【0032】予定されていた最初の基板Wのロット分が
終了すると、ロボット6は再び交換ステージA位置に移
動され、先に取り付けられた交換ハンド40と次の基板
W用の交換ハンド40との自動交換作業が行なわれる。
先に装着された交換ハンド40を離脱する作用は、前述
の装着作用と逆の手順で行なわれ、新たな交換ハンドを
装着する場合は前述と同様に行なわれる。但し、先に装
着された交換ハンド40を離脱する時は、シリンダ室2
2aのエア室27に圧縮エアを充填することによって、
クランパー30がアンクランプになり、交換ハンド40
が固定側ハンド20に対して離脱可能になる。
終了すると、ロボット6は再び交換ステージA位置に移
動され、先に取り付けられた交換ハンド40と次の基板
W用の交換ハンド40との自動交換作業が行なわれる。
先に装着された交換ハンド40を離脱する作用は、前述
の装着作用と逆の手順で行なわれ、新たな交換ハンドを
装着する場合は前述と同様に行なわれる。但し、先に装
着された交換ハンド40を離脱する時は、シリンダ室2
2aのエア室27に圧縮エアを充填することによって、
クランパー30がアンクランプになり、交換ハンド40
が固定側ハンド20に対して離脱可能になる。
【0033】なお、本発明においては、クランプ手段、
被クランプ手段、検出手段等は上記形態に限るものでは
ない。
被クランプ手段、検出手段等は上記形態に限るものでは
ない。
【0034】
【発明の効果】本発明の搬送ロボットのハンド自動交換
システムと装置によれば、ハンド自動交換システムは、
架台上に、少なくとも、薄型基板を収納するカセット
と、複数個の交換ハンドが収納されるハンドストッカ
と、薄型基板を搬送するとともに前記ハンドストッカの
近傍に位置されるハンド交換ステージに移動可能なロボ
ットと、が配設されている。
システムと装置によれば、ハンド自動交換システムは、
架台上に、少なくとも、薄型基板を収納するカセット
と、複数個の交換ハンドが収納されるハンドストッカ
と、薄型基板を搬送するとともに前記ハンドストッカの
近傍に位置されるハンド交換ステージに移動可能なロボ
ットと、が配設されている。
【0035】前記ロボットには、前記薄型基板を吸着把
持する交換ハンドと、前記交換ハンドを収容する固定側
ハンドと、が備えられ、ハンドストッカにある交換ハン
ドと自動的に交換できるように構成されているので、多
種類の薄型基板を自動的に搬送することが可能となり、
従来では行なわれなかったクリーンルーム内でのシステ
ムのFA化、多様化を図ることができる。
持する交換ハンドと、前記交換ハンドを収容する固定側
ハンドと、が備えられ、ハンドストッカにある交換ハン
ドと自動的に交換できるように構成されているので、多
種類の薄型基板を自動的に搬送することが可能となり、
従来では行なわれなかったクリーンルーム内でのシステ
ムのFA化、多様化を図ることができる。
【0036】また、このハンド自動交換装置は、薄型基
板を搬送するロボットが、薄型基板を吸着把持するロボ
ットハンド部と、前記ロボットハンド部の駆動部を配設
する機台と、を備えて構成され、前記ロボットハンド部
が、交換ハンドと固定側ハンドとを備えるハンド部を、
有して構成されている。
板を搬送するロボットが、薄型基板を吸着把持するロボ
ットハンド部と、前記ロボットハンド部の駆動部を配設
する機台と、を備えて構成され、前記ロボットハンド部
が、交換ハンドと固定側ハンドとを備えるハンド部を、
有して構成されている。
【0037】前記固定側ハンドが、前記交換ハンドを前
記固定側ハンドにクランプするクランプ手段と、前記ク
ランプ手段を駆動するクランプ駆動手段とを備え、前記
交換ハンドが、薄型基板を吸着把持するハンド本体部
と、前記クランプ手段に係合する被クランプ部と、を備
え、前記ハンド部に、前記交換ハンドの前記固定側ハン
ドとの着脱を検出する検出手段が配設されるので、多種
類の交換ハンドを自動的に交換することができる。その
ため、クリーンルーム内でのFA化や多様化に対応する
ことができる。
記固定側ハンドにクランプするクランプ手段と、前記ク
ランプ手段を駆動するクランプ駆動手段とを備え、前記
交換ハンドが、薄型基板を吸着把持するハンド本体部
と、前記クランプ手段に係合する被クランプ部と、を備
え、前記ハンド部に、前記交換ハンドの前記固定側ハン
ドとの着脱を検出する検出手段が配設されるので、多種
類の交換ハンドを自動的に交換することができる。その
ため、クリーンルーム内でのFA化や多様化に対応する
ことができる。
【図1】本発明の一実施の形態を示すハンド自動交換シ
ステムの一部概略図
ステムの一部概略図
【図2】同ハンド自動交換装置のハンド部を示す正面図
【図3】同平面図
【図4】同固定側ハンドを示す一部側面断面図
【図5】同正面図
【図6】同交換ハンドを示す一部側面断面図
【図7】同正面図
【図8】同交換ハンドが固定側ハンドに装着されたハン
ドを示す断面図
ドを示す断面図
【図9】従来のハンドを示す図
1…架台 2、3…カセット 4…ハンドストッカ 6…ロボット 8…ロボットハンド部 10…ハンド 20…固定側ハンド 22a…シリンダ室(クランプ駆動手段) 24…クランプ駆動軸(クランプ手段) 30…クランパー(クランプ手段) 31…第1リンク 32…第2リンク 33…第3リンク 34…クランプローラ 40…交換ハンド 41…ハンド本体 46…クランプ面(被クランプ手段) A…交換ステージ W…基板
Claims (6)
- 【請求項1】 架台上に、少なくとも、薄型基板を収納
するカセットと、複数個の交換ハンドが収納されるハン
ドストッカと、薄型基板を搬送するとともに前記ハンド
ストッカの近傍に位置されるハンド交換ステージに移動
可能なロボットと、が配設される搬送ロボットのハンド
自動交換システムであって、 前記ロボットには、前記薄型基板を吸着把持する交換ハ
ンドと、前記交換ハンドを収容する固定側ハンドと、が
備えられるとともに、前記交換ハンドがハンド着脱手段
によって着脱可能に構成され、 前記交換ハンドが、前記ハンドストッカで前記ロボット
の固定側ハンドに収納可能に配置されるとともに、前記
ハンド交換ステージにおいて、ロボット側の交換ハンド
がハンドストッカ側の交換ハンドと交換できるように、
前記ロボットが駆動されることを特徴とする搬送ロボッ
トのハンド自動交換システム。 - 【請求項2】 前記着脱手段が、前記固定側ハンドに配
設されるクランプ手段及びクランプ駆動手段と、前記交
換ハンドに配設される被クランプ手段と、を有して構成
されることを特徴とする請求項1記載の搬送ロボットの
自動交換システム。 - 【請求項3】 薄型基板を搬送するロボットが、薄型基
板を吸着把持するロボットハンド部と、前記ロボットハ
ンド部の駆動部を配設する機台と、を備えて構成され、
前記ロボットハンド部が、交換ハンドと固定側ハンドと
を備えるハンド部を、有して構成される搬送ロボットの
ハンド自動交換装置であって、 前記固定側ハンドが、前記交換ハンドを前記固定側ハン
ドにクランプするクランプ手段と、前記クランプ手段を
駆動するクランプ駆動手段とを備え、 前記交換ハンドが、薄型基板を吸着把持するハンド本体
部と、前記クランプ手段に係合する被クランプ手段と、
を備え、 前記ハンド部に、前記交換ハンドの前記固定側ハンドと
の着脱を検出する検出手段が配設されることを特徴とす
る搬送ロボットのハンド自動交換装置。 - 【請求項4】 前記クランプ手段が、少なくとも2個の
リンクを有するリンク機構に構成されていることを特徴
とする請求項2または3記載の搬送ロボットのハンド自
動交換システムと装置。 - 【請求項5】 前記被クランプ手段が、前記リンクに配
設されるローラに係合可能なクランプ面を有して構成さ
れていることを特徴とする請求項4記載の搬送ロボット
のハンド自動交換システムと装置。 - 【請求項6】 前記検出手段が、ハンド有り無し用のセ
ンサを有していることを特徴とする請求項3記載の搬送
ロボットのハンド自動交換装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP31367196A JPH10151592A (ja) | 1996-11-25 | 1996-11-25 | 搬送ロボットのハンド自動交換システムと装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP31367196A JPH10151592A (ja) | 1996-11-25 | 1996-11-25 | 搬送ロボットのハンド自動交換システムと装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10151592A true JPH10151592A (ja) | 1998-06-09 |
Family
ID=18044115
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP31367196A Withdrawn JPH10151592A (ja) | 1996-11-25 | 1996-11-25 | 搬送ロボットのハンド自動交換システムと装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH10151592A (ja) |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003077982A (ja) * | 2001-09-05 | 2003-03-14 | Disco Abrasive Syst Ltd | 搬送装置 |
KR100648238B1 (ko) * | 2000-09-27 | 2006-11-24 | 에이에스엠 인터내셔널 엔.브이. | 웨이퍼 핸들링 시스템 |
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JP2007169007A (ja) * | 2005-12-22 | 2007-07-05 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | ロボットハンドおよび基板搬送ロボット |
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JP2015103597A (ja) * | 2013-11-22 | 2015-06-04 | 株式会社ディスコ | 搬送装置 |
US20180358250A1 (en) * | 2017-06-08 | 2018-12-13 | Disco Corporation | Processing apparatus |
EP3213886B1 (en) * | 2016-03-01 | 2020-06-17 | Sugino Machine Limited | Hand stocker and hand |
WO2022070924A1 (ja) * | 2020-10-02 | 2022-04-07 | 日本電産サンキョー株式会社 | 産業用ロボットのハンド、産業用ロボット |
-
1996
- 1996-11-25 JP JP31367196A patent/JPH10151592A/ja not_active Withdrawn
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2022070924A1 (ja) * | 2020-10-02 | 2022-04-07 | 日本電産サンキョー株式会社 | 産業用ロボットのハンド、産業用ロボット |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20040203 |