JPH101364A - 圧電磁器材料 - Google Patents
圧電磁器材料Info
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- JPH101364A JPH101364A JP8156559A JP15655996A JPH101364A JP H101364 A JPH101364 A JP H101364A JP 8156559 A JP8156559 A JP 8156559A JP 15655996 A JP15655996 A JP 15655996A JP H101364 A JPH101364 A JP H101364A
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- piezoelectric ceramic
- mol
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 電気機械結合係数Kp=0.3〜0.6 ，誘電率ε≧
500 ，機械的品質係数Qm≧500 ，共振周波数Tkfr≦100p
pm/ ℃，及びＱm の温度変化ΔQm/Qm ≦50% の特性を実
現し，特に，従来において得られなかった機械的品質係
数の温度安定性と共振周波数の温度安定性とを両立させ
た圧電磁器材料を提供すること。 【解決手段】 圧電磁器材料は，一般式ａ・ＰｂＴｉＯ
3 ＋ｂ・ＰｂＺｒＯ3 （但し，ａ＝４７．０〜５０．０
ｍｏｌ％，ｂ＝５０．０〜５３．０ｍｏｌ％，ａ＋ｂ＝
１００ｍｏｌ％）で示される組成を有する主成分に，一
般式ｃ・ＭｎＯ＋ｄ・Ｓｍ2 Ｏ3 で示される組成を有す
る副成分（但し，主成分と副成分との合量を重量で１０
０％としたとき，ｃ＝０．０７〜０．５０ｗｔ％，ｄ＝
０．１１〜１．００ｗｔ％，ｄ／ｃ＝１．５〜２．０）
を含む。
500 ，機械的品質係数Qm≧500 ，共振周波数Tkfr≦100p
pm/ ℃，及びＱm の温度変化ΔQm/Qm ≦50% の特性を実
現し，特に，従来において得られなかった機械的品質係
数の温度安定性と共振周波数の温度安定性とを両立させ
た圧電磁器材料を提供すること。 【解決手段】 圧電磁器材料は，一般式ａ・ＰｂＴｉＯ
3 ＋ｂ・ＰｂＺｒＯ3 （但し，ａ＝４７．０〜５０．０
ｍｏｌ％，ｂ＝５０．０〜５３．０ｍｏｌ％，ａ＋ｂ＝
１００ｍｏｌ％）で示される組成を有する主成分に，一
般式ｃ・ＭｎＯ＋ｄ・Ｓｍ2 Ｏ3 で示される組成を有す
る副成分（但し，主成分と副成分との合量を重量で１０
０％としたとき，ｃ＝０．０７〜０．５０ｗｔ％，ｄ＝
０．１１〜１．００ｗｔ％，ｄ／ｃ＝１．５〜２．０）
を含む。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は，圧電磁器材料に関
し，特に圧電振動ジャイロに使用される圧電磁器材料に
関するものである。
し，特に圧電振動ジャイロに使用される圧電磁器材料に
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年，圧電振動子を用いた小型で低価格
のジャイロが市場に提供されるようになり携帯ビデオカ
メラ及び携帯カメラの手ぶれ防止や自動車のナビゲーシ
ョンシステム，ＡＢＳシステムに活用されている。これ
らの圧電ジャイロは，現在大まかに分類すると，次の４
つの方式がある。
のジャイロが市場に提供されるようになり携帯ビデオカ
メラ及び携帯カメラの手ぶれ防止や自動車のナビゲーシ
ョンシステム，ＡＢＳシステムに活用されている。これ
らの圧電ジャイロは，現在大まかに分類すると，次の４
つの方式がある。
【０００３】まず，第１の方式は，恒弾性金属の音叉に
圧電セラミックを貼りつけた振動子で直行する２方向の
振動モードを利用して一方を駆動，他方を角速度で発生
するコリオリ力で誘起する直交方向の振動から角速度を
検出に用いる方式である。
圧電セラミックを貼りつけた振動子で直行する２方向の
振動モードを利用して一方を駆動，他方を角速度で発生
するコリオリ力で誘起する直交方向の振動から角速度を
検出に用いる方式である。
【０００４】また，第２の方式は，恒弾性金属の４角柱
に圧電セラミックを接合し棒の屈曲振動を発生させコリ
オリ力で発生する直交した屈曲振動を別の圧電セラミッ
クで検出する方式である。
に圧電セラミックを接合し棒の屈曲振動を発生させコリ
オリ力で発生する直交した屈曲振動を別の圧電セラミッ
クで検出する方式である。
【０００５】また，第３の方式は，圧電セラミックの円
柱に交差指電極を表面に長さ方向に形成し分極してなる
振動子で一組の電極で一方向の屈曲振動を発生させ，他
の二組の電極で発生電圧を検出する構成でコリオリ力に
応じて発生する直交方向の振動の効果で検出側の出力の
アンバランスから出力電圧差を検出し角速度を検出する
方式である。
柱に交差指電極を表面に長さ方向に形成し分極してなる
振動子で一組の電極で一方向の屈曲振動を発生させ，他
の二組の電極で発生電圧を検出する構成でコリオリ力に
応じて発生する直交方向の振動の効果で検出側の出力の
アンバランスから出力電圧差を検出し角速度を検出する
方式である。
【０００６】更に，第４の方式は，第２の方式と第３の
方式との折衷方式であり，恒弾性金属の三角柱の側面に
圧電セラミック板を三枚接合し一つを駆動用他の二つを
検出用に用いる方式である。
方式との折衷方式であり，恒弾性金属の三角柱の側面に
圧電セラミック板を三枚接合し一つを駆動用他の二つを
検出用に用いる方式である。
【０００７】これらの方式の内，上記第３の方式（以
下，セラミック丸棒方式と呼ぶ）は，接着工程を必要と
せず構成が単純で信頼性が高い利点を有する。一方，振
動子特性の全てが圧電セラミックの材質特性で決定され
るため使用できる材料の選択範囲は著しく限定されてし
まうことになる。
下，セラミック丸棒方式と呼ぶ）は，接着工程を必要と
せず構成が単純で信頼性が高い利点を有する。一方，振
動子特性の全てが圧電セラミックの材質特性で決定され
るため使用できる材料の選択範囲は著しく限定されてし
まうことになる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】前述したセラミック丸
棒方式による振動ジャイロの特性は，圧電セラミックの
材料特性に密接に関連する。
棒方式による振動ジャイロの特性は，圧電セラミックの
材料特性に密接に関連する。
【０００９】まず，第１に，機械的品質係数Ｑｍは感度
の大きさと比例するが一般に圧電セラミックの機械的品
質係数の温度係数は大きく中には使用温度領域内で数百
％になる材質もある。この場合感度の温度変化も大きく
なり実用上の問題が発生する。これに対する対策とし
て，駆動電圧にＱｍの温度変化と逆の温度特性を持たせ
感度の温度変化を補正することで出力の温度変動を抑制
できる。
の大きさと比例するが一般に圧電セラミックの機械的品
質係数の温度係数は大きく中には使用温度領域内で数百
％になる材質もある。この場合感度の温度変化も大きく
なり実用上の問題が発生する。これに対する対策とし
て，駆動電圧にＱｍの温度変化と逆の温度特性を持たせ
感度の温度変化を補正することで出力の温度変動を抑制
できる。
【００１０】しかしながら，この場合，駆動電圧が温度
によって変動することになり安定な動作が得られにくく
なる。特に，カーナビゲーションへの応用の場合，ヌル
電圧の変動が位置精度の誤差要因となる実用上の問題が
あるが，駆動電圧が変動することはこのヌル電圧変動の
大きな要因となる。
によって変動することになり安定な動作が得られにくく
なる。特に，カーナビゲーションへの応用の場合，ヌル
電圧の変動が位置精度の誤差要因となる実用上の問題が
あるが，駆動電圧が変動することはこのヌル電圧変動の
大きな要因となる。
【００１１】また，第２に，共振周波数の温度変化も駆
動周波数の変動要因となり感度及びヌル電圧の変動要因
になる。更に感度を決める要素としてＱｍの絶対値と電
気機械結合係数がある。基本的にはＱｍが大きく電気機
械結合係数も大きい方が好ましい。
動周波数の変動要因となり感度及びヌル電圧の変動要因
になる。更に感度を決める要素としてＱｍの絶対値と電
気機械結合係数がある。基本的にはＱｍが大きく電気機
械結合係数も大きい方が好ましい。
【００１２】従って，一定値以上のＱｍを有し，その温
度変化が少なく共振周波数の温度変化も少ない圧電磁器
組成物を提供する事が必要である。
度変化が少なく共振周波数の温度変化も少ない圧電磁器
組成物を提供する事が必要である。
【００１３】そこで，ジャイロ特性と材料特性との関連
を把握するために種々の特性を有する圧電磁器で丸棒型
のジャイロを試作した結果を下記表１に示す。
を把握するために種々の特性を有する圧電磁器で丸棒型
のジャイロを試作した結果を下記表１に示す。
【００１４】
【表１】 上記表１の各特性項目の内容については，下記表２，表
３に詳細にまとめる。
３に詳細にまとめる。
【００１５】
【表２】
【００１６】
【表３】
【００１７】上記表１から材料特性とジャイロ特性の関
連について以下（イ）〜（ホ）のように結論づけられ
る。
連について以下（イ）〜（ホ）のように結論づけられ
る。
【００１８】（イ）感度ＳはＱｍに強く支配され，Ｑｍ
が同じ程度の場合Ｋｐが大きいほうが感度が高い傾向に
あるが，６０％以上の場合も充分な感度が得られていな
い。
が同じ程度の場合Ｋｐが大きいほうが感度が高い傾向に
あるが，６０％以上の場合も充分な感度が得られていな
い。
【００１９】（ロ）感度Ｓは誘電率に依存する。
【００２０】（ハ）感度変化率ΔＳ／ＳはＱｍの変化率
ΔＱｍ／Ｑｍが支配され，ΔＱｍ／Ｑｍが小さいほど感
度の変化は小さくなる。
ΔＱｍ／Ｑｍが支配され，ΔＱｍ／Ｑｍが小さいほど感
度の変化は小さくなる。
【００２１】（ニ）ヌル電圧変動ΔＮは共振周波数の温
度変動Ｔｋｆｒに強く支配されＴｋｆｒが小さいほどヌ
ル電圧変動の少ない材料が得られる。
度変動Ｔｋｆｒに強く支配されＴｋｆｒが小さいほどヌ
ル電圧変動の少ない材料が得られる。
【００２２】（ホ）Ｓ／Ｎ比は感度に比例して感度が大
きいほど良好になる。
きいほど良好になる。
【００２３】以上の実験結果を踏まえてカーナヒゲーシ
ョンに使用できる感度が高くてその温度変動も少なく，
またヌル電圧の変動の少ない丸棒型圧電ジャイロを実現
するための丸棒型圧電セラミックジャイロの基準スペッ
クとして表４の値を設けた。
ョンに使用できる感度が高くてその温度変動も少なく，
またヌル電圧の変動の少ない丸棒型圧電ジャイロを実現
するための丸棒型圧電セラミックジャイロの基準スペッ
クとして表４の値を設けた。
【００２４】
【表４】
【００２５】上記表１の実験結果と上記表４の基準スペ
ックとを対照させた結果，カーナビゲーションに対応で
きる丸棒型圧電セラミックを実現できる圧電セラミック
を提供するためには圧電セラミックの基本特性として下
記表５の要求条件を実現する事が必要であることが分か
った。
ックとを対照させた結果，カーナビゲーションに対応で
きる丸棒型圧電セラミックを実現できる圧電セラミック
を提供するためには圧電セラミックの基本特性として下
記表５の要求条件を実現する事が必要であることが分か
った。
【００２６】
【表５】
【００２７】従って，本発明の技術的課題は，上記表５
の特性を実現し，特に，従来において得られなかった機
械的品質係数の温度安定性と共振周波数の温度安定性と
を両立させた圧電磁器材料を提供することにある。
の特性を実現し，特に，従来において得られなかった機
械的品質係数の温度安定性と共振周波数の温度安定性と
を両立させた圧電磁器材料を提供することにある。
【００２８】
【課題を解決するための手段】前記技術的課題を解決す
るため，種々の検討を行った結果，本発明者らは，一般
式ａ・ＰｂＴｉＯ3 ＋ｂ・ＰｂＺｒＯ3 （但し，ａ＝４
７．０〜５０．０ｍｏｌ％，ｂ＝５０．０〜５３．０ｍ
ｏｌ％，ａ＋ｂ＝１００ｍｏｌ％）で示される組成を有
する主成分に，一般式ｃ・ＭｎＯ＋ｄ・Ｓｍ2 Ｏ3 で示
される組成を有する副成分（但し，主成分と副成分との
合量を重量で１００％としたとき，ｃ＝０．０７〜０．
５０ｗｔ％，ｄ＝０．１１〜１．００ｗｔ％，ｄ／ｃ＝
１．５〜２．０）を含むことにより，温度安定性が高い
ジャイロを提供できる圧電磁器材料が得られることを見
いだし，本発明を為すに至ったものである。
るため，種々の検討を行った結果，本発明者らは，一般
式ａ・ＰｂＴｉＯ3 ＋ｂ・ＰｂＺｒＯ3 （但し，ａ＝４
７．０〜５０．０ｍｏｌ％，ｂ＝５０．０〜５３．０ｍ
ｏｌ％，ａ＋ｂ＝１００ｍｏｌ％）で示される組成を有
する主成分に，一般式ｃ・ＭｎＯ＋ｄ・Ｓｍ2 Ｏ3 で示
される組成を有する副成分（但し，主成分と副成分との
合量を重量で１００％としたとき，ｃ＝０．０７〜０．
５０ｗｔ％，ｄ＝０．１１〜１．００ｗｔ％，ｄ／ｃ＝
１．５〜２．０）を含むことにより，温度安定性が高い
ジャイロを提供できる圧電磁器材料が得られることを見
いだし，本発明を為すに至ったものである。
【００２９】即ち，本発明によれば，一般式ａ・ＰｂＴ
ｉＯ3 ＋ｂ・ＰｂＺｒＯ3 （但し，ａ＝４７．０〜５
０．０ｍｏｌ％，ｂ＝５０．０〜５３．０ｍｏｌ％，ａ
＋ｂ＝１００ｍｏｌ％）で示される組成を有する主成分
に，一般式ｃ・ＭｎＯ＋ｄ・Ｓｍ2 Ｏ3 で示される組成
の副成分（但し，主成分と副成分との合量を重量で１０
０％としたとき，ｃ＝０．０７〜０．５０ｗｔ％，ｄ＝
０．１１〜１．００ｗｔ％，ｄ／ｃ＝１．５〜２．０）
を含むことを特徴とする圧電磁器材料が得られる。
ｉＯ3 ＋ｂ・ＰｂＺｒＯ3 （但し，ａ＝４７．０〜５
０．０ｍｏｌ％，ｂ＝５０．０〜５３．０ｍｏｌ％，ａ
＋ｂ＝１００ｍｏｌ％）で示される組成を有する主成分
に，一般式ｃ・ＭｎＯ＋ｄ・Ｓｍ2 Ｏ3 で示される組成
の副成分（但し，主成分と副成分との合量を重量で１０
０％としたとき，ｃ＝０．０７〜０．５０ｗｔ％，ｄ＝
０．１１〜１．００ｗｔ％，ｄ／ｃ＝１．５〜２．０）
を含むことを特徴とする圧電磁器材料が得られる。
【００３０】ところで，ジャイロ用の材料は，前述のよ
うにＱｍが５００以上であること，ΔＱｍ／Ｑｍが５０
％以下であること（−３０〜＋８０℃），Ｋｐが３０％
〜６０％であること，εｒが５００以上であること，そ
して，Ｔｋｆｒが１００ｐｐｍ／℃以下であること（−
３０〜＋８０℃）が必要である。
うにＱｍが５００以上であること，ΔＱｍ／Ｑｍが５０
％以下であること（−３０〜＋８０℃），Ｋｐが３０％
〜６０％であること，εｒが５００以上であること，そ
して，Ｔｋｆｒが１００ｐｐｍ／℃以下であること（−
３０〜＋８０℃）が必要である。
【００３１】ここで，主成分であるＰｂＴｉＯ3 −Ｐｂ
ＺｒＯ3 の固溶体（二成分系ＰＺＴセラミック）は，Ｍ
ＰＢ近傍で優れた圧電的特性を示すが，Ｑｍが５００未
満と低くジャイロ用材料としては適していない。そこ
で，副成分として，Ｍｎの添加物を加えることによりＱ
ｍレベルが上がり，その結果ジャイロ感度を向上させる
ことができたものである。ここで，添加するＭｎＯ量が
０．０７〜０．５０ｗｔ％のときにＱｍ≧５００，ΔＱ
ｍ／Ｑｍ≦５０％となり，ジャイロ材料として望ましい
特性が得られる。
ＺｒＯ3 の固溶体（二成分系ＰＺＴセラミック）は，Ｍ
ＰＢ近傍で優れた圧電的特性を示すが，Ｑｍが５００未
満と低くジャイロ用材料としては適していない。そこ
で，副成分として，Ｍｎの添加物を加えることによりＱ
ｍレベルが上がり，その結果ジャイロ感度を向上させる
ことができたものである。ここで，添加するＭｎＯ量が
０．０７〜０．５０ｗｔ％のときにＱｍ≧５００，ΔＱ
ｍ／Ｑｍ≦５０％となり，ジャイロ材料として望ましい
特性が得られる。
【００３２】加えて，ＭｎＯを添加したのみではＴｋｆ
ｒが大きく，ジャイロ感度及びヌル電圧の温度安定性が
悪い。
ｒが大きく，ジャイロ感度及びヌル電圧の温度安定性が
悪い。
【００３３】そこで，本発明では，さらにＳｍ2 Ｏ3 を
添加することによりＴｋｆｒが改善されて，よりジャイ
ロ特性の温度変化を小さくすることが可能となることを
見いだしたものである。
添加することによりＴｋｆｒが改善されて，よりジャイ
ロ特性の温度変化を小さくすることが可能となることを
見いだしたものである。
【００３４】
【発明の実施の形態】以下，本発明の実施の形態につい
て説明する。
て説明する。
【００３５】主成分及び副成分の原料として，ＰｂＯ，
ＴｉＯ2 ，ＺｒＯ2 ，ＭｎＣＯ3 ，Ｓｍ2 Ｏ3 を目的の
組成となるように秤量した。この原料粉をジルコニアボ
ールとともにアクリルポット中に入れ，２０時間湿式混
合した。この混合粉を脱水乾燥後，アルミナこう鉢中で
８００℃，２時間の予焼を行った。この予焼粉をアクリ
ルポット中ジルコニアボールにて１５時間湿式粉砕し
た。続いて蒸発乾燥し，得られた予焼粉砕粉にバインダ
を混合して加圧し，直径２０ｍｍ，厚さ１５ｍｍに成形
した。この成形体を１２００℃〜１２６０℃で２時間焼
成し，得られた焼結体を１ｍｍの厚さに加工した後，両
面に銀ペーストを塗布し，４５０℃で焼き付けて電極を
形成し，試料とした。このようにして得られた試料を，
１００℃，４ｋＶ／ｍｍ，１５分で分極処理をし，比誘
電率εｒ，電気機械結合係数Ｋｐ，機械的品質係数Ｑｍ
を測定した。さらにこの試料を２×１０ｍｍの矩形板に
切断し，−３０℃〜＋８０℃の温度範囲でＱｍと共振周
波数ｆｒを測定し，ΔＱｍ／Ｑｍ及びＴｋｆｒを求め
た。その測定結果を下記表６に示す。
ＴｉＯ2 ，ＺｒＯ2 ，ＭｎＣＯ3 ，Ｓｍ2 Ｏ3 を目的の
組成となるように秤量した。この原料粉をジルコニアボ
ールとともにアクリルポット中に入れ，２０時間湿式混
合した。この混合粉を脱水乾燥後，アルミナこう鉢中で
８００℃，２時間の予焼を行った。この予焼粉をアクリ
ルポット中ジルコニアボールにて１５時間湿式粉砕し
た。続いて蒸発乾燥し，得られた予焼粉砕粉にバインダ
を混合して加圧し，直径２０ｍｍ，厚さ１５ｍｍに成形
した。この成形体を１２００℃〜１２６０℃で２時間焼
成し，得られた焼結体を１ｍｍの厚さに加工した後，両
面に銀ペーストを塗布し，４５０℃で焼き付けて電極を
形成し，試料とした。このようにして得られた試料を，
１００℃，４ｋＶ／ｍｍ，１５分で分極処理をし，比誘
電率εｒ，電気機械結合係数Ｋｐ，機械的品質係数Ｑｍ
を測定した。さらにこの試料を２×１０ｍｍの矩形板に
切断し，−３０℃〜＋８０℃の温度範囲でＱｍと共振周
波数ｆｒを測定し，ΔＱｍ／Ｑｍ及びＴｋｆｒを求め
た。その測定結果を下記表６に示す。
【００３６】
【表６】
【００３７】上記表６からは，本発明の圧電材料に関し
て組成範囲を決定する理由として，排除されるべき以下
の（１）〜（３）の不適事項を列挙することができる。
即ち，εｒ≧５００，３０％≦Ｋｐ≦６０％，Ｑｍ≧５
００，ΔＱｍ／Ｑｍ≦５０％／℃，Ｔｋｆｒ≦１００ｐ
ｐｍ／℃を満たさない場合，本発明の範囲から除外する
こととした。
て組成範囲を決定する理由として，排除されるべき以下
の（１）〜（３）の不適事項を列挙することができる。
即ち，εｒ≧５００，３０％≦Ｋｐ≦６０％，Ｑｍ≧５
００，ΔＱｍ／Ｑｍ≦５０％／℃，Ｔｋｆｒ≦１００ｐ
ｐｍ／℃を満たさない場合，本発明の範囲から除外する
こととした。
【００３８】（１）ＰｂＴｉＯ3 量ａが４７．０ｍｏｌ
％未満，及びＰｂＺｒＯ3 量ｂが５３．０ｍｏｌ％を越
えると，εｒが低下するため好ましくない。（例えば，
表６中の試料Ｎｏ．１） また，ａが５０．０ｍｏｌ％を越え，ｂが５０．０ｍｏ
ｌ％未満では，Ｋｐが低い値となるため好ましくない。
（例えば，表６中の試料Ｎｏ．４） （２）ＭｎＯ量ｃが０．０７ｗｔ％未満では，Ｑｍレベ
ルが低く適さない。（例えば，表６中の試料Ｎｏ．５） また０．５０ｗｔ％を越えると，ΔＱｍ／Ｑｍが大きく
なるので好ましくない。（例えば，表６中の試料Ｎｏ．
１０） （３）Ｓｍ2 Ｏ3 量ｄが０．１１〜１．００の範囲外で
は，Ｔｋｆｒが１００ｐｐｍ／℃以上となり，適さない
（例えば，表６中の試料Ｎｏ．６，試料Ｎｏ．９）。
％未満，及びＰｂＺｒＯ3 量ｂが５３．０ｍｏｌ％を越
えると，εｒが低下するため好ましくない。（例えば，
表６中の試料Ｎｏ．１） また，ａが５０．０ｍｏｌ％を越え，ｂが５０．０ｍｏ
ｌ％未満では，Ｋｐが低い値となるため好ましくない。
（例えば，表６中の試料Ｎｏ．４） （２）ＭｎＯ量ｃが０．０７ｗｔ％未満では，Ｑｍレベ
ルが低く適さない。（例えば，表６中の試料Ｎｏ．５） また０．５０ｗｔ％を越えると，ΔＱｍ／Ｑｍが大きく
なるので好ましくない。（例えば，表６中の試料Ｎｏ．
１０） （３）Ｓｍ2 Ｏ3 量ｄが０．１１〜１．００の範囲外で
は，Ｔｋｆｒが１００ｐｐｍ／℃以上となり，適さない
（例えば，表６中の試料Ｎｏ．６，試料Ｎｏ．９）。
【００３９】上記の理由により，一般式ａ・ＰｂＴｉＯ
3 ＋ｂ・ＰｂＺｒＯ3 （但し，ａ＝４７．０〜５０．０
ｍｏｌ％，ｂ＝５０．０〜５３．０ｍｏｌ％，ａ＋ｂ＝
１００ｍｏｌ％）で示される組成を備えた主成分と，一
般式ｃ・ＭｎＯ＋ｄ・Ｓｍ2Ｏ3 で示される組成を有す
る副成分（但し，主成分と副成分との合量を重量で１０
０％としたとき，ｃ＝０．０７〜０．５０ｗｔ％，ｄ＝
０．１１〜１．００ｗｔ％，ｄ／ｃ＝１．５〜２．０）
とを含むジャイロ用圧電磁器材料が得られることを見い
だしたものである。
3 ＋ｂ・ＰｂＺｒＯ3 （但し，ａ＝４７．０〜５０．０
ｍｏｌ％，ｂ＝５０．０〜５３．０ｍｏｌ％，ａ＋ｂ＝
１００ｍｏｌ％）で示される組成を備えた主成分と，一
般式ｃ・ＭｎＯ＋ｄ・Ｓｍ2Ｏ3 で示される組成を有す
る副成分（但し，主成分と副成分との合量を重量で１０
０％としたとき，ｃ＝０．０７〜０．５０ｗｔ％，ｄ＝
０．１１〜１．００ｗｔ％，ｄ／ｃ＝１．５〜２．０）
とを含むジャイロ用圧電磁器材料が得られることを見い
だしたものである。
【００４０】本発明の実施の形態による材料について，
ジャイロ特性を評価した一例を下記表７に示す。
ジャイロ特性を評価した一例を下記表７に示す。
【００４１】
【表７】
【００４２】
【発明の効果】以上の説明のように，本発明による圧電
磁器を丸棒型圧電振動ジャイロに使用した場合，適度の
電気機械結合係数，及び機械的品質係数により高い感度
を示すと同時に共振周波数の安定性からヌル電圧変動が
抑制される。
磁器を丸棒型圧電振動ジャイロに使用した場合，適度の
電気機械結合係数，及び機械的品質係数により高い感度
を示すと同時に共振周波数の安定性からヌル電圧変動が
抑制される。
【００４３】また，機械的品質係数の温度安定性から感
度の温度安定性が得られ温度補正回路が不用となる。こ
の場合駆動電圧の安定性が得られるのでヌル電圧変動の
他の要因も改善できる。以上の結果ヌル電圧の安定性が
得られカーナビゲーションにも対応できる高精度で安価
な圧電振動ジャイロが提供できる。
度の温度安定性が得られ温度補正回路が不用となる。こ
の場合駆動電圧の安定性が得られるのでヌル電圧変動の
他の要因も改善できる。以上の結果ヌル電圧の安定性が
得られカーナビゲーションにも対応できる高精度で安価
な圧電振動ジャイロが提供できる。
Claims (1)
- 【請求項１】 一般式ａ・ＰｂＴｉＯ3 ＋ｂ・ＰｂＺｒ
Ｏ3 （但し，ａ＝４７．０〜５０．０ｍｏｌ％，ｂ＝５
０．０〜５３．０ｍｏｌ％，ａ＋ｂ＝１００ｍｏｌ％）
で示される組成を有する主成分に，一般式ｃ・ＭｎＯ＋
ｄ・Ｓｍ2 Ｏ3 で示される組成を有する副成分（但し，
主成分と副成分との合量を重量で１００％としたとき，
ｃ＝０．０７〜０．５０ｗｔ％，ｄ＝０．１１〜１．０
０ｗｔ％，ｄ／ｃ＝１．５〜２．０）を含むことを特徴
とする圧電磁器材料。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8156559A JPH101364A (ja) | 1996-06-18 | 1996-06-18 | 圧電磁器材料 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8156559A JPH101364A (ja) | 1996-06-18 | 1996-06-18 | 圧電磁器材料 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH101364A true JPH101364A (ja) | 1998-01-06 |
Family
ID=15630448
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8156559A Withdrawn JPH101364A (ja) | 1996-06-18 | 1996-06-18 | 圧電磁器材料 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH101364A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003101946A2 (de) * | 2002-05-29 | 2003-12-11 | Siemens Aktiengesellschaft | Piezokeramische zusammensetzung, piezokeramischer körper mit der zusammensetzung und verfahren zum herstellen der zusammensetzung und des körpers |
| CN115894021A (zh) * | 2022-12-26 | 2023-04-04 | 西安创研电子科技有限公司 | 一种高机械品质因数硬性压电陶瓷材料及其制备方法 |
-
1996
- 1996-06-18 JP JP8156559A patent/JPH101364A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003101946A2 (de) * | 2002-05-29 | 2003-12-11 | Siemens Aktiengesellschaft | Piezokeramische zusammensetzung, piezokeramischer körper mit der zusammensetzung und verfahren zum herstellen der zusammensetzung und des körpers |
| WO2003101946A3 (de) * | 2002-05-29 | 2005-10-27 | Siemens Ag | Piezokeramische zusammensetzung, piezokeramischer körper mit der zusammensetzung und verfahren zum herstellen der zusammensetzung und des körpers |
| CN115894021A (zh) * | 2022-12-26 | 2023-04-04 | 西安创研电子科技有限公司 | 一种高机械品质因数硬性压电陶瓷材料及其制备方法 |
| CN115894021B (zh) * | 2022-12-26 | 2024-01-16 | 西安创研电子科技有限公司 | 一种高机械品质因数硬性压电陶瓷材料及其制备方法 |
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|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20030902 |