JPH101322A - ガラス基板切断装置 - Google Patents
ガラス基板切断装置Info
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- JPH101322A JPH101322A JP15228596A JP15228596A JPH101322A JP H101322 A JPH101322 A JP H101322A JP 15228596 A JP15228596 A JP 15228596A JP 15228596 A JP15228596 A JP 15228596A JP H101322 A JPH101322 A JP H101322A
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- glass substrate
- stage
- scriber
- cutting
- crack line
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B33/00—Severing cooled glass
- C03B33/02—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor
- C03B33/023—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor the sheet or ribbon being in a horizontal position
- C03B33/033—Apparatus for opening score lines in glass sheets
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- C03B33/023—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor the sheet or ribbon being in a horizontal position
- C03B33/03—Glass cutting tables; Apparatus for transporting or handling sheet glass during the cutting or breaking operations
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G2249/00—Aspects relating to conveying systems for the manufacture of fragile sheets
- B65G2249/04—Arrangements of vacuum systems or suction cups
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】切断作業における破損発生を略無くして大サイ
ズ、薄厚のガラス基板でも短時間で切断する。 【解決手段】真空吸着手段を備えて切断対象となるガラ
ス基板を載置固定するステージ３と、ガラス基板１の切
断位置に沿って移動可能に装架して当該ガラス基板１の
上面にクラック線２を形成するスクライバユニット４を
搭載し、ステージ３の平面に対して平行に移動可能とし
たスクライバ支持枠１２と、ガラス基板１に形成したク
ラック線と対応して上記ステージ３に形成したステージ
開口３ａ〜３ｃと、ステージ開口３ａ〜３ｃに設置して
ガラス基板１に形成したクラック線２の直下を突き上げ
ることによりクラック線２に沿ってガラス基板１を切断
するブレークスキージ９とを備えた。
ズ、薄厚のガラス基板でも短時間で切断する。 【解決手段】真空吸着手段を備えて切断対象となるガラ
ス基板を載置固定するステージ３と、ガラス基板１の切
断位置に沿って移動可能に装架して当該ガラス基板１の
上面にクラック線２を形成するスクライバユニット４を
搭載し、ステージ３の平面に対して平行に移動可能とし
たスクライバ支持枠１２と、ガラス基板１に形成したク
ラック線と対応して上記ステージ３に形成したステージ
開口３ａ〜３ｃと、ステージ開口３ａ〜３ｃに設置して
ガラス基板１に形成したクラック線２の直下を突き上げ
ることによりクラック線２に沿ってガラス基板１を切断
するブレークスキージ９とを備えた。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はガラス基板の切断装
置に係り、特に液晶表示装置を構成する液晶パネルのた
めの所定のサイズのガラス基板を得るためのガラス基板
切断装置に関する。
置に係り、特に液晶表示装置を構成する液晶パネルのた
めの所定のサイズのガラス基板を得るためのガラス基板
切断装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、画像表示デバイスとして液晶表示
装置が多くの分野において使用されるようになった。
装置が多くの分野において使用されるようになった。
【０００３】この種の液晶表示装置は、表示窓をもつ上
フレームと、駆動回路基板を一体化したガラス基板等の
少なくとも一方が透明な一対の基板からなる液晶パネル
と、光拡散板と導光板等からなる背面照明部材である導
光体組立と、少なくとも一辺に線状のバクライト光源を
搭載する中間フレームと、下フレーム等を有し、これら
を上記の順で積層し、上記上フレームと下フレームとを
連結固定してなるのが一般的である。なお、中間フレー
ムと下フレームとを一体化したものもある。
フレームと、駆動回路基板を一体化したガラス基板等の
少なくとも一方が透明な一対の基板からなる液晶パネル
と、光拡散板と導光板等からなる背面照明部材である導
光体組立と、少なくとも一辺に線状のバクライト光源を
搭載する中間フレームと、下フレーム等を有し、これら
を上記の順で積層し、上記上フレームと下フレームとを
連結固定してなるのが一般的である。なお、中間フレー
ムと下フレームとを一体化したものもある。
【０００４】そして、上記液晶パネルを構成する一対の
ガラス基板の液晶対向面には走査電極、信号電極、配向
膜、その他の機能膜群を有し、それらの対向ギャップに
シリカあるいはプラスチック等からなる略々球形あるい
は断面円形の微小スペーサを分散させて介在させること
により一対の基板を所定のセル厚（以下、単にギャップ
とも言う）で保持させるようにしている。
ガラス基板の液晶対向面には走査電極、信号電極、配向
膜、その他の機能膜群を有し、それらの対向ギャップに
シリカあるいはプラスチック等からなる略々球形あるい
は断面円形の微小スペーサを分散させて介在させること
により一対の基板を所定のセル厚（以下、単にギャップ
とも言う）で保持させるようにしている。
【０００５】カラー対応の液晶表示装置では、上記一対
のガラス基板の一方のガラス基板（例えば、上ガラス基
板）の内面に複数色のカラーフィルタ層を始め、何れか
のガラス基板には画素選択用の透明電極などの機能膜群
が形成され、上記一方のガラス基板または他方のガラス
基板（下ガラス基板）には信号印加用の透明電極（画素
の点灯／非点灯を制御する制御手段として薄膜トランジ
スタ等のスイッチング素子を用いたＴＦＴ型などのアク
ティブ方式の液晶表示装置では、下ガラス基板に画素選
択用の薄膜トランジスタ等のスイッチング素子およびそ
の信号電極）等の上記一方のガラス基板とは異なる構成
の機能膜群が設けられている。
のガラス基板の一方のガラス基板（例えば、上ガラス基
板）の内面に複数色のカラーフィルタ層を始め、何れか
のガラス基板には画素選択用の透明電極などの機能膜群
が形成され、上記一方のガラス基板または他方のガラス
基板（下ガラス基板）には信号印加用の透明電極（画素
の点灯／非点灯を制御する制御手段として薄膜トランジ
スタ等のスイッチング素子を用いたＴＦＴ型などのアク
ティブ方式の液晶表示装置では、下ガラス基板に画素選
択用の薄膜トランジスタ等のスイッチング素子およびそ
の信号電極）等の上記一方のガラス基板とは異なる構成
の機能膜群が設けられている。
【０００６】なお、この種の液晶表示装置の従来技術を
開示したものとしては、特公昭５１−１３６６６号公
報、特開昭６３−３０９９２１号公報を挙げることがで
きる。図６は本発明を適用するＴＦＴ型液晶表示モジュ
ールの構造例を説明する展開斜視図である。
開示したものとしては、特公昭５１−１３６６６号公
報、特開昭６３−３０９９２１号公報を挙げることがで
きる。図６は本発明を適用するＴＦＴ型液晶表示モジュ
ールの構造例を説明する展開斜視図である。
【０００７】同図において、ＭＤＬは液晶表示モジュー
ル、ＳＨＤは上フレームである金属製のシールドケー
ス、ＷＤは液晶表示モジュールの有効画面を画定する表
示窓、ＰＮＬは液晶表示素子からなる液晶パネル、ＰＣ
Ｂ１はドレイン側回路基板、ＰＣＢ２はゲート側回路基
板、ＰＣＢ３はインターフェース回路基板、ＰＲＳはプ
リズムシート、ＳＰＳは拡散シート、ＧＬＢは導光体、
ＲＦＳは反射シート、ＢＬはバックライト、ＬＰはバッ
クライトＢＬのランプを構成する冷陰極蛍光灯、ＬＳは
反射シート、ＧＣはゴムブッシュ、ＬＰＣはランプケー
ブル、ＭＣＡは導光体ＧＬＢを設置する開口ＭＯを有す
る下側ケース、ＪＮ１，２，３は回路基板間を接続する
ジョイナ、ＴＣＰ１，２はテープキャリアパッケージ、
ＩＮＳ１，２，３は絶縁シート、ＧＣはゴムクッショ
ン、ＢＡＴは両面粘着テープ、ＩＬＳは遮光スペーサ、
ＬＰは冷陰極蛍光灯（蛍光管）、ＬＳは反射シート、Ｌ
ＰＣはランプケーブル、ＲＦＳは反射シート、ＢＬはバ
ックライト構造体である。
ル、ＳＨＤは上フレームである金属製のシールドケー
ス、ＷＤは液晶表示モジュールの有効画面を画定する表
示窓、ＰＮＬは液晶表示素子からなる液晶パネル、ＰＣ
Ｂ１はドレイン側回路基板、ＰＣＢ２はゲート側回路基
板、ＰＣＢ３はインターフェース回路基板、ＰＲＳはプ
リズムシート、ＳＰＳは拡散シート、ＧＬＢは導光体、
ＲＦＳは反射シート、ＢＬはバックライト、ＬＰはバッ
クライトＢＬのランプを構成する冷陰極蛍光灯、ＬＳは
反射シート、ＧＣはゴムブッシュ、ＬＰＣはランプケー
ブル、ＭＣＡは導光体ＧＬＢを設置する開口ＭＯを有す
る下側ケース、ＪＮ１，２，３は回路基板間を接続する
ジョイナ、ＴＣＰ１，２はテープキャリアパッケージ、
ＩＮＳ１，２，３は絶縁シート、ＧＣはゴムクッショ
ン、ＢＡＴは両面粘着テープ、ＩＬＳは遮光スペーサ、
ＬＰは冷陰極蛍光灯（蛍光管）、ＬＳは反射シート、Ｌ
ＰＣはランプケーブル、ＲＦＳは反射シート、ＢＬはバ
ックライト構造体である。
【０００８】上記の各構成材は、金属製のシールドケー
スＳＨＤと下側ケースＭＣＡの間に積層されて挟持固定
されて液晶表示モジュールＭＤＬを構成する。
スＳＨＤと下側ケースＭＣＡの間に積層されて挟持固定
されて液晶表示モジュールＭＤＬを構成する。
【０００９】液晶パネルＰＮＬはＴＦＴ、カラーフィル
タ、その他の構成層を成膜した二枚のガラス基板から構
成され、その一方または両方の面に複屈折媒体と偏光板
が積層され、その周辺に各種の回路基板を取り付けて画
像表示のための駆動がなされる。
タ、その他の構成層を成膜した二枚のガラス基板から構
成され、その一方または両方の面に複屈折媒体と偏光板
が積層され、その周辺に各種の回路基板を取り付けて画
像表示のための駆動がなされる。
【００１０】また、液晶パネルＰＮＬの裏面には冷陰極
蛍光灯（蛍光管）ＬＰを一辺に備えた導光体ＧＬＢに各
種の光学シートを積層してなるバックライト構造体ＢＬ
が設置され、液晶表示パネルＰＮＬに形成された画像を
照明して表示窓ＷＤに表示する。
蛍光灯（蛍光管）ＬＰを一辺に備えた導光体ＧＬＢに各
種の光学シートを積層してなるバックライト構造体ＢＬ
が設置され、液晶表示パネルＰＮＬに形成された画像を
照明して表示窓ＷＤに表示する。
【００１１】液晶パネルＰＮＬを構成するガラス基板は
１枚の素材ガラス板にＴＦＴ等の薄膜処理を施した後、
所定のサイズに切断し、最終的に一対のガラス基板とし
て当該液晶パネルに組立てられる。
１枚の素材ガラス板にＴＦＴ等の薄膜処理を施した後、
所定のサイズに切断し、最終的に一対のガラス基板とし
て当該液晶パネルに組立てられる。
【００１２】図７は液晶パネル用のガラス基板の形成工
程の典型例の説明図であって、１’は素材ガラス板、１
は清浄化後のガラス板、１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄは一次
切断した中間分割ガラス基板、１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄ
は二次切断した最終サイズのガラス基板、Ａ，Ｂ，Ｃ，
Ｄは薄膜領域を示す。
程の典型例の説明図であって、１’は素材ガラス板、１
は清浄化後のガラス板、１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄは一次
切断した中間分割ガラス基板、１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄ
は二次切断した最終サイズのガラス基板、Ａ，Ｂ，Ｃ，
Ｄは薄膜領域を示す。
【００１３】同図において、（ａ）液晶パネルの製造工
程に搬入された素材ガラス板１’は、清浄化処理されて
ガラス板１とした後、（ｂ）ＴＦＴ等の成膜処理がなさ
れて薄膜領域Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄが形成される。
程に搬入された素材ガラス板１’は、清浄化処理されて
ガラス板１とした後、（ｂ）ＴＦＴ等の成膜処理がなさ
れて薄膜領域Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄが形成される。
【００１４】（ｃ）上記ガラス板１は、薄膜領域Ａ，Ｂ
を有する中間分割ガラス基板１Ａと薄膜領域Ｃ，Ｄを有
する中間分割ガラス基板１Ｂ、および余分のガラス部分
１Ｃ，１Ｄとに一次切断される。
を有する中間分割ガラス基板１Ａと薄膜領域Ｃ，Ｄを有
する中間分割ガラス基板１Ｂ、および余分のガラス部分
１Ｃ，１Ｄとに一次切断される。
【００１５】上記薄膜領域Ａ，Ｂを有する中間分割ガラ
ス基板１Ａと薄膜領域Ｃ，Ｄを有する中間分割ガラス基
板１Ｂについて、所要の薄膜処理を施した後、（ｄ）薄
膜領域Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄをそれぞれ有する液晶パネルに組
み合わされる個別の単位ガラス基板１ａ，１ｂ，１ｃ，
１ｄに二次切断される。
ス基板１Ａと薄膜領域Ｃ，Ｄを有する中間分割ガラス基
板１Ｂについて、所要の薄膜処理を施した後、（ｄ）薄
膜領域Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄをそれぞれ有する液晶パネルに組
み合わされる個別の単位ガラス基板１ａ，１ｂ，１ｃ，
１ｄに二次切断される。
【００１６】なお、上記の薄膜形成工程中でそれぞれの
検査工程があり、中間分割ガラス基板１Ａと１Ｂの各薄
膜領域Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄの合否が判定されて、二次切断さ
れたガラス基板１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄの選択がなされ
るが、ここでは説明は省略する。
検査工程があり、中間分割ガラス基板１Ａと１Ｂの各薄
膜領域Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄの合否が判定されて、二次切断さ
れたガラス基板１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄの選択がなされ
るが、ここでは説明は省略する。
【００１７】また、上記（ｃ）での薄膜形成後、個別の
単位ガラス基板１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄに切断する以前
に、中間分割ガラス基板１Ａと１Ｂを対として貼り合わ
せて一対の液晶パネルを一体形成した後に二次切断する
方法もある。
単位ガラス基板１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄに切断する以前
に、中間分割ガラス基板１Ａと１Ｂを対として貼り合わ
せて一対の液晶パネルを一体形成した後に二次切断する
方法もある。
【００１８】以下の説明では、切断される素材ガラス
板、清浄化後のガラス板、一次切断した中間分割ガラス
基板、二次切断対象の最終サイズのガラス基板を共通に
ガラス板として説明する。
板、清浄化後のガラス板、一次切断した中間分割ガラス
基板、二次切断対象の最終サイズのガラス基板を共通に
ガラス板として説明する。
【００１９】図８は従来のガラス板の切断方法の説明図
であって、１はガラス基板、２はクラック、３’はスク
ライブ装置のステージ（定盤）、３”はブレーク装置の
ステージ、４’はスクライブユニット、９’はスキージ
である。
であって、１はガラス基板、２はクラック、３’はスク
ライブ装置のステージ（定盤）、３”はブレーク装置の
ステージ、４’はスクライブユニット、９’はスキージ
である。
【００２０】従来のガラス基板の切断方法は、同図に示
したように２つの装置で行っている。すなわち、（ａ）
に示したスクライブ装置はステージ３にガラス基板１を
載置し、真空により吸着して固定保持する。これに対し
て、回転歯を有するスクライブユニット４’を所定の切
断線に沿って押圧移動させてクラック線２を形成する。
したように２つの装置で行っている。すなわち、（ａ）
に示したスクライブ装置はステージ３にガラス基板１を
載置し、真空により吸着して固定保持する。これに対し
て、回転歯を有するスクライブユニット４’を所定の切
断線に沿って押圧移動させてクラック線２を形成する。
【００２１】次に、（ｂ）クラック線２を形成したガラ
ス基板１を移載ロボット等を用いてブレーク装置に移載
し、その主要部分をステージ３”に真空により吸着して
固定保持する。このとき、クラック線２を形成した切断
線をステージ３”の端縁に一致させ、切り離し部分を張
り出させた状態とし、クラック線２を形成した側と同一
方向である上方からスキージ９’を下降させて押圧する
ことでクラック線２に沿った切断を行う。
ス基板１を移載ロボット等を用いてブレーク装置に移載
し、その主要部分をステージ３”に真空により吸着して
固定保持する。このとき、クラック線２を形成した切断
線をステージ３”の端縁に一致させ、切り離し部分を張
り出させた状態とし、クラック線２を形成した側と同一
方向である上方からスキージ９’を下降させて押圧する
ことでクラック線２に沿った切断を行う。
【００２２】なお、上記従来のガラス基板の切断装置に
ついては周知であるので、特に文献を挙げない。
ついては周知であるので、特に文献を挙げない。
【００２３】
【発明が解決しようとする課題】スクライブ装置でクラ
ック線を形成し、これをブレーク装置に移送して切断を
行う二つの装置を使用する上記従来の技術においては、
クラック線が入った状態のガラス基板をブレーク装置に
移載することから、移載途上でのガラス基板の割れが発
生する。液晶パネル用のガラス基板は、その厚さが０．
７ｍｍ、あるいは厚くても１．１ｍｍ程度しかないた
め、クラック線を形成したガラス基板をスクライブ装置
のステージからの引き剥がす際の微小な捩じれによる応
力や、自重による撓みによる応力でクラック線から割れ
が進行し、場合によっては割れがクラック線から外れて
進行してガラス基板の破損が生じるという問題があっ
た。
ック線を形成し、これをブレーク装置に移送して切断を
行う二つの装置を使用する上記従来の技術においては、
クラック線が入った状態のガラス基板をブレーク装置に
移載することから、移載途上でのガラス基板の割れが発
生する。液晶パネル用のガラス基板は、その厚さが０．
７ｍｍ、あるいは厚くても１．１ｍｍ程度しかないた
め、クラック線を形成したガラス基板をスクライブ装置
のステージからの引き剥がす際の微小な捩じれによる応
力や、自重による撓みによる応力でクラック線から割れ
が進行し、場合によっては割れがクラック線から外れて
進行してガラス基板の破損が生じるという問題があっ
た。
【００２４】このような移載時または移載途上でのガラ
ス基板の破損は、ガラス基板のサイズが大きくなる程、
またその厚さが薄くなる程顕著になり、ガラス基板の切
断工程での歩留りが著しく低下すると共に、切断作業に
要する時間の短縮には自ずと限度があった。
ス基板の破損は、ガラス基板のサイズが大きくなる程、
またその厚さが薄くなる程顕著になり、ガラス基板の切
断工程での歩留りが著しく低下すると共に、切断作業に
要する時間の短縮には自ずと限度があった。
【００２５】本発明の目的は、上記従来技術の諸問題点
を解消し、切断作業における破損発生を略無くして大サ
イズ、薄厚のガラス基板でも短時間で切断することので
きるガラス基板切断装置を提供することにある。
を解消し、切断作業における破損発生を略無くして大サ
イズ、薄厚のガラス基板でも短時間で切断することので
きるガラス基板切断装置を提供することにある。
【００２６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、クラック線を形成したガラス基板を移載
することなく切断できるようにしたものである。
に、本発明は、クラック線を形成したガラス基板を移載
することなく切断できるようにしたものである。
【００２７】すなわち、請求項１に記載の第１の発明
は、真空吸着手段を備えて切断対象となるガラス基板を
載置固定するステージ３と、ガラス基板１の切断位置に
沿って移動可能に装架して当該ガラス基板１の上面にク
ラック線２を形成するスクライバユニット４を搭載し、
ステージ３の平面に対して平行に移動可能としたスクラ
イバ支持枠１２と、載置したガラス基板１に形成したク
ラック線と対応して上記ステージ３に形成した少なくと
も１つのステージ開口３ａ〜３ｃと、このステージ開口
３ａ〜３ｃに設置して上記ガラス基板１に形成したクラ
ック線２の直下を突き上げることにより上記クラック線
２に沿ってガラス基板１を切断するためのブレークスキ
ージ９とを備えたことを特徴とする。
は、真空吸着手段を備えて切断対象となるガラス基板を
載置固定するステージ３と、ガラス基板１の切断位置に
沿って移動可能に装架して当該ガラス基板１の上面にク
ラック線２を形成するスクライバユニット４を搭載し、
ステージ３の平面に対して平行に移動可能としたスクラ
イバ支持枠１２と、載置したガラス基板１に形成したク
ラック線と対応して上記ステージ３に形成した少なくと
も１つのステージ開口３ａ〜３ｃと、このステージ開口
３ａ〜３ｃに設置して上記ガラス基板１に形成したクラ
ック線２の直下を突き上げることにより上記クラック線
２に沿ってガラス基板１を切断するためのブレークスキ
ージ９とを備えたことを特徴とする。
【００２８】上記第１の発明の構成によれば、ガラス基
板にクラック線を形成するスクライブ作業と、クラック
線に沿ったブレークを行う切断作業とがステージ３に載
置した状態で行われるため、ガラス基板の切断工程で、
当該ガラス基板の移載作業が不要となるため、従来の切
断作業において頻発していたガラス基板の破損を理論的
には皆無とすることが可能となり、特に大サイズ、薄厚
のガラス基板の切断が破損事故なしに可能となる。
板にクラック線を形成するスクライブ作業と、クラック
線に沿ったブレークを行う切断作業とがステージ３に載
置した状態で行われるため、ガラス基板の切断工程で、
当該ガラス基板の移載作業が不要となるため、従来の切
断作業において頻発していたガラス基板の破損を理論的
には皆無とすることが可能となり、特に大サイズ、薄厚
のガラス基板の切断が破損事故なしに可能となる。
【００２９】また、請求項２に記載の第２の発明は、真
空吸着手段を備えて切断対象となるガラス基板を載置固
定すると共に載置したガラス基板１に形成したクラック
線と対応して形成した少なくとも１つのステージ開口３
ａ〜３ｃを有する複数の回転ステージ２３ａ，２３ｂ，
２３ｃ，２３ｄと、回転ステージ２３ａ，２３ｂ，２３
ｃ，２３ｄを同一軌跡内で回転可能に支持する回転軸３
２と、回転ステージ２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄの
停止位置の少なくとも１箇所に設置して当該回転ステー
ジに載置固定されたガラス基板の上記ステージ開口３ａ
〜３ｃの位置にクラックを形成するスクライブユニット
２４と、スクライブユニット２４から回転ステージ２３
ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄの回転方向下流における回
転ステージ２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄの停止位置
の少なくとも１箇所に設置されて回転ステージ２３ａ，
２３ｂ，２３ｃ，２３ｄのステージ開口３ａ〜３ｃを下
方から通してガラス基板１に形成されたクラック線の直
下を突き上げることにより上記クラック線２に沿ってガ
ラス基板１を切断するためのブレークスキージ２９とを
有するブレークユニット３１を備えたことを特徴とす
る。
空吸着手段を備えて切断対象となるガラス基板を載置固
定すると共に載置したガラス基板１に形成したクラック
線と対応して形成した少なくとも１つのステージ開口３
ａ〜３ｃを有する複数の回転ステージ２３ａ，２３ｂ，
２３ｃ，２３ｄと、回転ステージ２３ａ，２３ｂ，２３
ｃ，２３ｄを同一軌跡内で回転可能に支持する回転軸３
２と、回転ステージ２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄの
停止位置の少なくとも１箇所に設置して当該回転ステー
ジに載置固定されたガラス基板の上記ステージ開口３ａ
〜３ｃの位置にクラックを形成するスクライブユニット
２４と、スクライブユニット２４から回転ステージ２３
ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄの回転方向下流における回
転ステージ２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄの停止位置
の少なくとも１箇所に設置されて回転ステージ２３ａ，
２３ｂ，２３ｃ，２３ｄのステージ開口３ａ〜３ｃを下
方から通してガラス基板１に形成されたクラック線の直
下を突き上げることにより上記クラック線２に沿ってガ
ラス基板１を切断するためのブレークスキージ２９とを
有するブレークユニット３１を備えたことを特徴とす
る。
【００３０】上記第２の発明の構成によれば、第１の発
明によるものと同様の効果が得られると共に、複数のス
テージの回転と停止を連続して行わせることで多数のガ
ラス基板を迅速に切断することができる。
明によるものと同様の効果が得られると共に、複数のス
テージの回転と停止を連続して行わせることで多数のガ
ラス基板を迅速に切断することができる。
【００３１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につ
き、実施例の図面を参照して詳細に説明する。図１は本
発明によるガラス基板切断装置の第１実施例の構成を説
明する断面図、図２は上面図であって、１はガラス基
板、２はクラック線、３はステージ、３ａ，３ｂ，３ｃ
はステージ開口、４はスクライブユニット、４ａはスク
ライバ、５はスクライバ加圧シリンダ、６はスクライバ
前後軸モータ、７はスクライバ上下軸モータ、８はスク
ライバ左右軸モータ、８ａはギヤーボックス、９はブレ
ークスキージ、１０ａ，１０ｂ，１０ｃはスキージ加圧
シリンダ、１１は機台、１２はスクライバ支持枠、１２
ａ，１２ｂはスクライバユニットのガイドレール、１３
はスリュウシャフト、１４ａ，１４ｂはスクライバ支持
枠のガイドレールである。
き、実施例の図面を参照して詳細に説明する。図１は本
発明によるガラス基板切断装置の第１実施例の構成を説
明する断面図、図２は上面図であって、１はガラス基
板、２はクラック線、３はステージ、３ａ，３ｂ，３ｃ
はステージ開口、４はスクライブユニット、４ａはスク
ライバ、５はスクライバ加圧シリンダ、６はスクライバ
前後軸モータ、７はスクライバ上下軸モータ、８はスク
ライバ左右軸モータ、８ａはギヤーボックス、９はブレ
ークスキージ、１０ａ，１０ｂ，１０ｃはスキージ加圧
シリンダ、１１は機台、１２はスクライバ支持枠、１２
ａ，１２ｂはスクライバユニットのガイドレール、１３
はスリュウシャフト、１４ａ，１４ｂはスクライバ支持
枠のガイドレールである。
【００３２】図１、図２において、ガラス基板切断装置
は機台１１に固定したステージ３と、このステージ３を
跨ぐように、かつステージ３上に載置したガラス基板１
の上面に対して平行に移動するスクライバ支持枠１２を
有している。
は機台１１に固定したステージ３と、このステージ３を
跨ぐように、かつステージ３上に載置したガラス基板１
の上面に対して平行に移動するスクライバ支持枠１２を
有している。
【００３３】スクライバ支持枠１２は、スクライバ左右
軸モータ８とギヤーボックス８ａで回転されるスリュウ
シャフト１３により矢印Ａ方向にガイドレール１４ａ，
１４ｂに乗って移動する。
軸モータ８とギヤーボックス８ａで回転されるスリュウ
シャフト１３により矢印Ａ方向にガイドレール１４ａ，
１４ｂに乗って移動する。
【００３４】このスクライバ支持枠１２にはスクライブ
ユニット４が搭載されており、スクライバ前後軸モータ
６によりガイドレール１２ａ，１２ｂ上を矢印Ｂ方向に
移動可能に取り付けられている。また、スクライブユニ
ット４はスクライバ加圧シリンダ５でガラス基板１方向
に加圧される回転ホイールを有するスクライバ４ａがス
クライバ上下軸モータ７で回転されるスクリュウシャフ
ト７ａで上下可能に取り付けされている。
ユニット４が搭載されており、スクライバ前後軸モータ
６によりガイドレール１２ａ，１２ｂ上を矢印Ｂ方向に
移動可能に取り付けられている。また、スクライブユニ
ット４はスクライバ加圧シリンダ５でガラス基板１方向
に加圧される回転ホイールを有するスクライバ４ａがス
クライバ上下軸モータ７で回転されるスクリュウシャフ
ト７ａで上下可能に取り付けされている。
【００３５】一方、ステージ３には、真空吸着で載置固
定したガラス基板１に形成したクラック線２と対応して
上記ステージ３に形成した少なくとも１つのステージ開
口３ａ〜３ｃが形成されている。なお、真空融着構造は
前記図８で説明したものと同様であり、図１では図示を
省略している。
定したガラス基板１に形成したクラック線２と対応して
上記ステージ３に形成した少なくとも１つのステージ開
口３ａ〜３ｃが形成されている。なお、真空融着構造は
前記図８で説明したものと同様であり、図１では図示を
省略している。
【００３６】そして、このステージ開口３ａ〜３ｃ内に
は、上記ガラス基板１に形成したクラック線２の直下を
突き上げることにより上記クラック線２に沿ってガラス
基板１を切断するためのブレークスキージ９が設置され
ている。
は、上記ガラス基板１に形成したクラック線２の直下を
突き上げることにより上記クラック線２に沿ってガラス
基板１を切断するためのブレークスキージ９が設置され
ている。
【００３７】ブレークスキージ９は、スキージ加圧シリ
ンダ１０ａ，１０ｂ，１０ｃによりステージ開口３ａ〜
３ｃ内をガラス基板１に上昇可能に構成されており、ス
クライブユニット４によるクラック線２の形成時にはガ
ラス基板１の裏面を支え、切断時にはガラス基板１に形
成されたクラック線２の裏面を突き上げるように駆動さ
れる。
ンダ１０ａ，１０ｂ，１０ｃによりステージ開口３ａ〜
３ｃ内をガラス基板１に上昇可能に構成されており、ス
クライブユニット４によるクラック線２の形成時にはガ
ラス基板１の裏面を支え、切断時にはガラス基板１に形
成されたクラック線２の裏面を突き上げるように駆動さ
れる。
【００３８】ステージ３に載置されたガラス基板は、真
空吸着で固定され、スクライバ支持枠１２を矢印Ａ方向
に移動させて、ステージ開口３ａ〜３ｃの位置でスクラ
イブユニット４をスクライバ上下軸モータ７でガラス基
板１に下降させ、スクライバ加圧シリンダ５でガラス基
板１の表面にクラック線２を形成しながら、スクライブ
前後モータ６で移動させることでガラス基板１の表面に
垂直のクラック線２を形成する。
空吸着で固定され、スクライバ支持枠１２を矢印Ａ方向
に移動させて、ステージ開口３ａ〜３ｃの位置でスクラ
イブユニット４をスクライバ上下軸モータ７でガラス基
板１に下降させ、スクライバ加圧シリンダ５でガラス基
板１の表面にクラック線２を形成しながら、スクライブ
前後モータ６で移動させることでガラス基板１の表面に
垂直のクラック線２を形成する。
【００３９】その後、スキージ加圧シリンダ１０ａ，１
０ｂ，１０ｃを動作させてブレークスキージ９をガラス
基板１方向に上昇させて当該ガラス基板１に形成したク
ラック線２の直下を突き上げることでガラス基板１に僅
かに撓ませることにより、当該クラック線２に沿ってガ
ラス基板１を切断する。
０ｂ，１０ｃを動作させてブレークスキージ９をガラス
基板１方向に上昇させて当該ガラス基板１に形成したク
ラック線２の直下を突き上げることでガラス基板１に僅
かに撓ませることにより、当該クラック線２に沿ってガ
ラス基板１を切断する。
【００４０】図３はガラス基板へのクラック線の形成と
ブレークスキージによるガラス基板の切断態様を説明す
る部分図である。
ブレークスキージによるガラス基板の切断態様を説明す
る部分図である。
【００４１】まず、（ａ）に示したように、スクライバ
４ａによりガラス基板１の表面にクラック線２を垂直に
形成する。このとき、ブレークスキージ９はガラス基板
１の下面をステージ３の表面と同一面で支えてスクライ
バ４ａの押圧によるガラス基板１の破壊を防止する。次
に（ｂ）クラック線２の直下からブレークスキージ９を
矢印Ｃ方向に突き上げ、当該ブレークスキージ９の上端
がステージ３の表面から僅かに抜け出るように上昇させ
ることでガラス基板にクラック線２を中心とした僅かな
撓みを生じさせることでクラック線２をガラス基板１の
裏面に到達させることで、（ｃ）に示したようにガラス
基板１を切断する。
４ａによりガラス基板１の表面にクラック線２を垂直に
形成する。このとき、ブレークスキージ９はガラス基板
１の下面をステージ３の表面と同一面で支えてスクライ
バ４ａの押圧によるガラス基板１の破壊を防止する。次
に（ｂ）クラック線２の直下からブレークスキージ９を
矢印Ｃ方向に突き上げ、当該ブレークスキージ９の上端
がステージ３の表面から僅かに抜け出るように上昇させ
ることでガラス基板にクラック線２を中心とした僅かな
撓みを生じさせることでクラック線２をガラス基板１の
裏面に到達させることで、（ｃ）に示したようにガラス
基板１を切断する。
【００４２】この実施例によれば、ガラス基板１をステ
ージ３上で固定したまま、クラック線の形成と切断を行
うことができ、大サイズおよび／または薄厚のガラス基
板を破損なしに所望のサイズに切断することができる。
ージ３上で固定したまま、クラック線の形成と切断を行
うことができ、大サイズおよび／または薄厚のガラス基
板を破損なしに所望のサイズに切断することができる。
【００４３】図４は本発明によるガラス基板切断装置の
第２実施例の構成を説明する平面図、図５は側面図であ
って、２２はスクライバ支持枠、２３は回転ステージ、
２４はスクライブユニット、２５はガイドレール、２６
ａ，２６ｂ，２６ｃはステージ開口、２９はブレークス
キージ、３１はブレークユニット、３２は回転軸、３３
はモータ、３４はギアボックス、３５は機台、図１およ
び図２と同一符号は同一部分に対応する。
第２実施例の構成を説明する平面図、図５は側面図であ
って、２２はスクライバ支持枠、２３は回転ステージ、
２４はスクライブユニット、２５はガイドレール、２６
ａ，２６ｂ，２６ｃはステージ開口、２９はブレークス
キージ、３１はブレークユニット、３２は回転軸、３３
はモータ、３４はギアボックス、３５は機台、図１およ
び図２と同一符号は同一部分に対応する。
【００４４】同図において、この実施例では、４個の回
転ステージ２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄを回転軸３
２に取り付けてあり、モータ３４の回転をギアボックス
３３を介して回転軸３２に伝達し、矢印Ｄ方向に回転可
能に設置されている。
転ステージ２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄを回転軸３
２に取り付けてあり、モータ３４の回転をギアボックス
３３を介して回転軸３２に伝達し、矢印Ｄ方向に回転可
能に設置されている。
【００４５】回転ステージ２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２
３ｄは、前記実施例のステージと同様に、その所要の位
置にステージ開口２６ａ，２６ｂ，２６ｃが形成されて
おり、この上にガラス基板１が載置される。なお、回転
ステージ２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄには前記実施
例と同様の真空吸着手段が設けられている。
３ｄは、前記実施例のステージと同様に、その所要の位
置にステージ開口２６ａ，２６ｂ，２６ｃが形成されて
おり、この上にガラス基板１が載置される。なお、回転
ステージ２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄには前記実施
例と同様の真空吸着手段が設けられている。
【００４６】４個の回転ステージ２３ａ，２３ｂ，２３
ｃ，２３ｄに対して、図の回転ステージ２３ｂの位置は
仮想線で示したガラス基板の投入ポジション、回転ステ
ージ２３ａの位置はガラス基板のスクライブポジショ
ン、回転ステージ２３ｄの位置はブレークポジション、
回転ステージ２３ｃの位置はガラス基板の取り出しポジ
ションである。
ｃ，２３ｄに対して、図の回転ステージ２３ｂの位置は
仮想線で示したガラス基板の投入ポジション、回転ステ
ージ２３ａの位置はガラス基板のスクライブポジショ
ン、回転ステージ２３ｄの位置はブレークポジション、
回転ステージ２３ｃの位置はガラス基板の取り出しポジ
ションである。
【００４７】スクライブポジションにはスクライバユニ
ット２４が設置されており、スクライバ支持枠２２の支
持されたスクライバ２４ａが装架されている。このスク
ライバユニット２４のスクライバ支持枠２２およびこの
スクライバ支持枠２２に支持されたスクライバ２４ａの
構成と動作は前記実施例で説明したものと略同様に、ス
クライバ支持枠２２はガラス基板１の面に対して平行に
移動可能で、装架されたスクライバ２４ａはスクリュウ
シャフト１３によりガイドレール２５に沿って上下駆動
すると共に、ガラス基板上を回転ステージのステージ開
口２６ａ，２６ｂ，２６ｃに沿って移動しながら当該ガ
ラス基板１にクラック線を形成する。
ット２４が設置されており、スクライバ支持枠２２の支
持されたスクライバ２４ａが装架されている。このスク
ライバユニット２４のスクライバ支持枠２２およびこの
スクライバ支持枠２２に支持されたスクライバ２４ａの
構成と動作は前記実施例で説明したものと略同様に、ス
クライバ支持枠２２はガラス基板１の面に対して平行に
移動可能で、装架されたスクライバ２４ａはスクリュウ
シャフト１３によりガイドレール２５に沿って上下駆動
すると共に、ガラス基板上を回転ステージのステージ開
口２６ａ，２６ｂ，２６ｃに沿って移動しながら当該ガ
ラス基板１にクラック線を形成する。
【００４８】図示しない移載ロボット等で投入ポジショ
ンに停止した回転ステージに投入されたガラス基板１は
真空吸着で回転ステージに載置固定された後、スクライ
ブポジションに回転して停止する。スクライブポジショ
ンでガラス基板１への所要のクラック線の形成が実行さ
れる。なお、スクライブ作業時にガラス基板が破損する
恐れがある場合は、このスクライブポジションには後述
するブレークスキージと同様の機構を設置して、スクラ
イブ作業時にガラス基板１の下面を回転ステージの上面
と同一面となるように支えてガラス基板の破損を防止す
るようにしてもよい。
ンに停止した回転ステージに投入されたガラス基板１は
真空吸着で回転ステージに載置固定された後、スクライ
ブポジションに回転して停止する。スクライブポジショ
ンでガラス基板１への所要のクラック線の形成が実行さ
れる。なお、スクライブ作業時にガラス基板が破損する
恐れがある場合は、このスクライブポジションには後述
するブレークスキージと同様の機構を設置して、スクラ
イブ作業時にガラス基板１の下面を回転ステージの上面
と同一面となるように支えてガラス基板の破損を防止す
るようにしてもよい。
【００４９】このクラック線形成が終了すると、ブレー
クポジションに回転移動して停止する。ブレークポジシ
ョンには、図５に示したように、ブレークユニット３１
が設置されている。
クポジションに回転移動して停止する。ブレークポジシ
ョンには、図５に示したように、ブレークユニット３１
が設置されている。
【００５０】このブレークユニット３１には、回転ステ
ージのステージ開口２６ａ，２６ｂ，２６ｃの直下にそ
れぞれブレークスキージ２９が配置されている。このブ
レークスキージ２９の直上にステージ開口２６ａ，２６
ｂ，２６ｃが位置す流用に回転ステージが停止すると、
それぞれのブレークスキージ２９がステージ開口２６
ａ，２６ｂ，２６ｃ内を上昇してガラス基板１の下面を
突き上げる。これにより、ガラス基板１はクラック線に
沿って切断される。この切断の形態は前記図３での説明
と同様である。
ージのステージ開口２６ａ，２６ｂ，２６ｃの直下にそ
れぞれブレークスキージ２９が配置されている。このブ
レークスキージ２９の直上にステージ開口２６ａ，２６
ｂ，２６ｃが位置す流用に回転ステージが停止すると、
それぞれのブレークスキージ２９がステージ開口２６
ａ，２６ｂ，２６ｃ内を上昇してガラス基板１の下面を
突き上げる。これにより、ガラス基板１はクラック線に
沿って切断される。この切断の形態は前記図３での説明
と同様である。
【００５１】切断されたガラス基板は取り出しポジショ
ンに回転し、図示しない移載ロボット等で次の処理ステ
ーションに搬出される。
ンに回転し、図示しない移載ロボット等で次の処理ステ
ーションに搬出される。
【００５２】この実施例によれば、ガラス基板の投入、
スクライブの形成、切断、および取り出しをそれぞれの
ポジションで同時に実行することができるため、多数の
ガラス基板の切断を破損なしに迅速に切断することがで
きる。
スクライブの形成、切断、および取り出しをそれぞれの
ポジションで同時に実行することができるため、多数の
ガラス基板の切断を破損なしに迅速に切断することがで
きる。
【００５３】なお、上記実施例では、液晶表示パネル用
のガラス基板の切断装置として説明したが、本発明はこ
れに限るものではなく、他の用途のガラス基板、あるい
はセラミックスその他の硬質薄板の精密切断に適用でき
る。
のガラス基板の切断装置として説明したが、本発明はこ
れに限るものではなく、他の用途のガラス基板、あるい
はセラミックスその他の硬質薄板の精密切断に適用でき
る。
【００５４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
切断作業における破損発生を略無くして大サイズ、薄厚
のガラス基板でも短時間で切断することのできるガラス
基板切断装置を提供することができる。
切断作業における破損発生を略無くして大サイズ、薄厚
のガラス基板でも短時間で切断することのできるガラス
基板切断装置を提供することができる。
【図１】本発明によるガラス基板切断装置の第１実施例
の構成を説明する断面図である。
の構成を説明する断面図である。
【図２】本発明によるガラス基板切断装置の第１実施例
の構成を説明する図１の上面図である。
の構成を説明する図１の上面図である。
【図３】ガラス基板へのクラック線の形成とブレークス
キージによるガラス基板の切断態様を説明する部分図で
ある。
キージによるガラス基板の切断態様を説明する部分図で
ある。
【図４】本発明によるガラス基板切断装置の第２実施例
の構成を説明する上面図である。
の構成を説明する上面図である。
【図５】本発明によるガラス基板切断装置の第１実施例
の構成を説明する図４の断面図である。
の構成を説明する図４の断面図である。
【図６】本発明を適用するＴＦＴ型液晶表示モジュール
の構造例を説明する展開斜視図である。
の構造例を説明する展開斜視図である。
【図７】液晶パネル用のガラス基板の形成工程の典型例
の説明図である。
の説明図である。
【図８】従来のガラス板の切断方法の説明図である。
１ ガラス基板 ２ クラック線 ３ ステージ ３ａ，３ｂ，３ｃ ステージ開口 ４ スクライブユニット ４ａ スクライバ ５ スクライバ加圧シリンダ ６ スクライバ前後軸モータ ７ スクライバ上下軸モータ ８ スクライバ左右軸モータ ８ａ，８ｂ ギヤーボックス ９ ブレークスキージ １０ａ，１０ｂ，１０ｃ スキージ加圧シリンダ １１ 機台 １２ スクライバ支持枠 １２ａ，１２ｂ ガイドレール １３ スリュウシャフト １４ａ，１４ｂ ガイドレール ２２ スクライバ支持枠 ２３（２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ） 回転ステー
ジ ２４ スクライブユニット ２５ ガイドレール ２６ａ，２６ｂ，２６ｃ ステージ開口 ２９ ブレークスキージ ３１ ブレークユニット ３２ 回転軸 ３３ モータ ３４ ギアボックス ３５ 機台。
ジ ２４ スクライブユニット ２５ ガイドレール ２６ａ，２６ｂ，２６ｃ ステージ開口 ２９ ブレークスキージ ３１ ブレークユニット ３２ 回転軸 ３３ モータ ３４ ギアボックス ３５ 機台。
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成９年５月２７日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正内容】
【００３１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につ
き、実施例の図面を参照して詳細に説明する。図１は本
発明によるガラス基板切断装置の第１実施例の構成を説
明する断面図、図２は上面図であって、１はガラス基
板、２はクラック線、３はステージ、３ａ，３ｂ，３ｃ
はステージ開口、４はスクライブユニット、４ａはスク
ライバ、５はスクライバ加圧シリンダ、６はスクライバ
前後軸モータ、７はスクライバ上下軸モータ、８はスク
ライバ左右軸モータ、８ａはギャーボックス、９はブレ
ークスキージ、１０ａ，１０ｂ，１０ｃはスキージ加圧
シリンダ、１１は機台、１２はスクライバ支持枠、１２
ａ，１２ｂはスクライバユニットのガイドレール、１３
はスクリュウシャフト、１４ａ，１４ｂはスクライバ支
持枠のガイドレールである。
き、実施例の図面を参照して詳細に説明する。図１は本
発明によるガラス基板切断装置の第１実施例の構成を説
明する断面図、図２は上面図であって、１はガラス基
板、２はクラック線、３はステージ、３ａ，３ｂ，３ｃ
はステージ開口、４はスクライブユニット、４ａはスク
ライバ、５はスクライバ加圧シリンダ、６はスクライバ
前後軸モータ、７はスクライバ上下軸モータ、８はスク
ライバ左右軸モータ、８ａはギャーボックス、９はブレ
ークスキージ、１０ａ，１０ｂ，１０ｃはスキージ加圧
シリンダ、１１は機台、１２はスクライバ支持枠、１２
ａ，１２ｂはスクライバユニットのガイドレール、１３
はスクリュウシャフト、１４ａ，１４ｂはスクライバ支
持枠のガイドレールである。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正内容】
【００３３】スクライバ支持枠１２は、スクライバ左右
軸モータ８とギャーボックス８ａで回転されるスクリュ
ウシャフト１３により矢印Ａ方向にガイドレール１４
ａ，１４ｂに乗って移動する。
軸モータ８とギャーボックス８ａで回転されるスクリュ
ウシャフト１３により矢印Ａ方向にガイドレール１４
ａ，１４ｂに乗って移動する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】変更
【補正内容】
【００５０】このブレークユニット３１には、回転ステ
−ジのステージ開口２６ａ，２６ｂ，２６ｃの直下にそ
れぞれブレークスキージ２９が配置されている。このブ
レークスキージ２９の直上にステージ開口２６ａ，２６
ｂ，２６ｃが位置するように回転ステージが停止する
と、それぞれのブレークスキージ２９がステージ開口２
６ａ，２６ｂ，２６ｃ内を上昇してガラス基板１の下面
を突き上げる。これにより、ガラス基板１はクラック線
に沿って切断される。この切断の形態は前記図３での説
明と同様である。
−ジのステージ開口２６ａ，２６ｂ，２６ｃの直下にそ
れぞれブレークスキージ２９が配置されている。このブ
レークスキージ２９の直上にステージ開口２６ａ，２６
ｂ，２６ｃが位置するように回転ステージが停止する
と、それぞれのブレークスキージ２９がステージ開口２
６ａ，２６ｂ，２６ｃ内を上昇してガラス基板１の下面
を突き上げる。これにより、ガラス基板１はクラック線
に沿って切断される。この切断の形態は前記図３での説
明と同様である。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】符号の説明
【補正方法】変更
【補正内容】
【符号の説明】 １ ガラス基板 ２ クラック線 ３ ステージ ３ａ，３ｂ，３ｃ ステージ開口 ４ スクライブユニット ４ａ スクライバ ５ スクライバ加圧シリンダ ６ スクライバ前後軸モータ ７ スクライバ上下軸モータ ８ スクライバ左右軸モータ８ａ ギャーボックス ９ ブレークスキージ １０ａ，１０ｂ，１０ｃ スキージ加圧シリンダ １１ 機台 １２ スクライバ支持枠 １２ａ，１２ｂ ガイドレール １３ スクリュウシャフト １４ａ，１４ｂ ガイドレール ２２ スクライバ支持枠 ２３（２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ） 回転ステー
ジ ２４ スクライブユニット ２５ ガイドレール ２６ａ，２６ｂ，２６ｃ ステージ開口 ２９ ブレークスキージ ３１ ブレークユニット ３２ 回転軸 ３３ モータ ３４ ギャーボックス ３５ 機台。
ジ ２４ スクライブユニット ２５ ガイドレール ２６ａ，２６ｂ，２６ｃ ステージ開口 ２９ ブレークスキージ ３１ ブレークユニット ３２ 回転軸 ３３ モータ ３４ ギャーボックス ３５ 機台。
【手続補正５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正内容】
【図２】
【手続補正６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図４
【補正方法】変更
【補正内容】
【図４】
【手続補正７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図５
【補正方法】変更
【補正内容】
【図５】
Claims (2)
- 【請求項１】真空吸着手段を備えて切断対象となるガラ
ス基板を載置固定するステージと、ガラス基板の切断位
置に沿って移動可能に装架して当該ガラス基板の上面に
クラック線を形成するスクライバユニットを搭載し、ス
テージの平面に対して平行に移動可能としたスクライバ
支持枠と、載置したガラス基板に形成したクラック線と
対応して上記ステージに形成した少なくとも１つのステ
ージ開口と、このステージ開口に設置して上記ガラス基
板に形成したクラック線の直下を突き上げることにより
上記クラック線に沿ってガラス基板を切断するためのブ
レークスキージとを備えたことを特徴とするガラス基板
切断装置。 - 【請求項２】真空吸着手段を備えて切断対象となるガラ
ス基板を載置固定すると共に載置したガラス基板に形成
したクラック線と対応して形成した少なくとも１つのス
テージ開口を有する複数の回転ステージと、回転ステー
ジを同一軌跡内で回転可能に支持する回転軸と、回転ス
テージの停止位置の少なくとも１箇所に設置して当該回
転ステージに載置固定されたガラス基板の上記ステージ
開口の位置にクラックを形成するスクライブユニット
と、スクライブユニットから回転ステージの回転方向下
流における回転ステージの停止位置の少なくとも１箇所
に設置されて回転ステージのステージ開口を下方から通
してガラス基板１に形成されたクラック線の直下を突き
上げることにより上記クラック線に沿ってガラス基板を
切断するためのブレークスキージとを有するブレークユ
ニットを備えたことを特徴とするガラス基板切断装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15228596A JPH101322A (ja) | 1996-06-13 | 1996-06-13 | ガラス基板切断装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15228596A JPH101322A (ja) | 1996-06-13 | 1996-06-13 | ガラス基板切断装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH101322A true JPH101322A (ja) | 1998-01-06 |
Family
ID=15537190
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15228596A Pending JPH101322A (ja) | 1996-06-13 | 1996-06-13 | ガラス基板切断装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH101322A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11160664A (ja) * | 1997-11-27 | 1999-06-18 | Seiko Epson Corp | 基板の切断方法、基板の切断装置及び液晶表示装置の製造方法 |
| KR100699077B1 (ko) * | 2004-11-03 | 2007-03-27 | (주)와이티에스 | 대형 ｔｆｔ－ｌｃｄ 패널 절단장치 |
| KR100816330B1 (ko) * | 2001-05-28 | 2008-03-24 | 삼성전자주식회사 | 액정 표시 장치용 패널 절단 장치 |
| JP2009294362A (ja) * | 2008-06-04 | 2009-12-17 | Toshiba Mobile Display Co Ltd | 基板装置およびその製造方法 |
| WO2013026234A1 (zh) * | 2011-08-19 | 2013-02-28 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 切割机及其对面板进行对位的方法 |
| CN114093979A (zh) * | 2020-08-25 | 2022-02-25 | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 | 光伏电池裂片方法及裂片设备 |
-
1996
- 1996-06-13 JP JP15228596A patent/JPH101322A/ja active Pending
Cited By (6)
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|---|---|---|---|---|
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