JPH10114418A - ウエハ分類装置 - Google Patents
ウエハ分類装置Info
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- JPH10114418A JPH10114418A JP27118496A JP27118496A JPH10114418A JP H10114418 A JPH10114418 A JP H10114418A JP 27118496 A JP27118496 A JP 27118496A JP 27118496 A JP27118496 A JP 27118496A JP H10114418 A JPH10114418 A JP H10114418A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 分類工程中のウエハの損傷を最小限にできる
と共に、サイクルタイムの短縮、文字位置が異なる多種
類のウエハに対応できるようにする。 【解決手段】 ウエハ1の全体の位置と姿勢を読み取る
第1の読み取り手段と、ウエハに記入されてある文字を
読み取る第2の読み取り手段と、第1の読み取り手段か
らの読み取り信号に基づいて、第1の読み取り位置から
第2の読み取り位置へのウエハの搬送位置を制御すると
共に、第2の読み取り位置におけるウエハの文字姿勢に
合わせて読み取り角度を制御する制御手段と、第2の読
み取り手段による読み取り信号に基づいて、搬送装置の
ウエハを所定の分類カセットに分類収容するようにウエ
ハ搬送ロボットを制御する制御手段とからなる。
と共に、サイクルタイムの短縮、文字位置が異なる多種
類のウエハに対応できるようにする。 【解決手段】 ウエハ1の全体の位置と姿勢を読み取る
第1の読み取り手段と、ウエハに記入されてある文字を
読み取る第2の読み取り手段と、第1の読み取り手段か
らの読み取り信号に基づいて、第1の読み取り位置から
第2の読み取り位置へのウエハの搬送位置を制御すると
共に、第2の読み取り位置におけるウエハの文字姿勢に
合わせて読み取り角度を制御する制御手段と、第2の読
み取り手段による読み取り信号に基づいて、搬送装置の
ウエハを所定の分類カセットに分類収容するようにウエ
ハ搬送ロボットを制御する制御手段とからなる。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体材料となる
シリコンウエハ等のウエハの表面に記入されたID番号
等の文字を読み取り、このID番号に従ってウエハを分
類するウエハ分類装置に関するものである。
シリコンウエハ等のウエハの表面に記入されたID番号
等の文字を読み取り、このID番号に従ってウエハを分
類するウエハ分類装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来のウエハ分類装置は図1に示すよう
になっていて、ウエハ1を1枚1枚搬送するようにした
ウエハ搬送ロボット2と、このウエハ搬送ロボット2の
周囲に配置される供給カセット3、位置決め装置4、複
数の分類カセット5a,5bと、上記位置決め装置4に
設けられていて、この位置決め装置4にて位置決めされ
たウエハ1のID番号を読み取るカメラ6と、このカメ
ラ6の画像を処理する画像処理装置7からなっている。
になっていて、ウエハ1を1枚1枚搬送するようにした
ウエハ搬送ロボット2と、このウエハ搬送ロボット2の
周囲に配置される供給カセット3、位置決め装置4、複
数の分類カセット5a,5bと、上記位置決め装置4に
設けられていて、この位置決め装置4にて位置決めされ
たウエハ1のID番号を読み取るカメラ6と、このカメ
ラ6の画像を処理する画像処理装置7からなっている。
【0003】そしてこの従来のウエハ分類装置は以下の
ような動作を行う。(1)ウエハ搬送ロボット2にて供
給カセット3内の1枚のウエハ1を取り出し、位置決め
装置4内に搬送する。(2)位置決め装置4では、ウエ
ハ1の中心位置を合わせると共に、これのオリフラ等を
利用して予め決められた方向に向けて位置合わせが行わ
れる。(3)この状態でこの位置合わせされたウエハ1
のID番号をカメラ6にて読み取る。このとき、ウエハ
1の大きさの相違、及び個々のウエハ1におけるID番
号の印字個所の相違に応じてカメラ6をX,Y方向移動
して読み取りが行われるようになっている。
ような動作を行う。(1)ウエハ搬送ロボット2にて供
給カセット3内の1枚のウエハ1を取り出し、位置決め
装置4内に搬送する。(2)位置決め装置4では、ウエ
ハ1の中心位置を合わせると共に、これのオリフラ等を
利用して予め決められた方向に向けて位置合わせが行わ
れる。(3)この状態でこの位置合わせされたウエハ1
のID番号をカメラ6にて読み取る。このとき、ウエハ
1の大きさの相違、及び個々のウエハ1におけるID番
号の印字個所の相違に応じてカメラ6をX,Y方向移動
して読み取りが行われるようになっている。
【0004】(4)読み取ったID番号により、分類先
のデータを画像処理装置7に接続したホストCPUから
の情報に基づいて決定し、(5)これに従って、ウエハ
搬送ロボット2は、位置決め装置4内のウエハ1を取り
出し、分類先の所定の分類カセット5a,5bに搬送収
容する。
のデータを画像処理装置7に接続したホストCPUから
の情報に基づいて決定し、(5)これに従って、ウエハ
搬送ロボット2は、位置決め装置4内のウエハ1を取り
出し、分類先の所定の分類カセット5a,5bに搬送収
容する。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】上記従来のウエハ分類
装置では、供給カセット3からウエハ搬送ロボット2に
て取り出されたウエハ1は位置決め装置4に搬送載置さ
れ、ここでの位置決め及び読み取りされた後に、再びウ
エハ搬送ロボット2にて取り出されて所定の分類カセッ
トに搬送収容されるため、供給カセット3から分類カセ
ット5a,5bに搬送される間に、ウエハ1はそれぞれ
ウエハ搬送ロボット2に対して2回ずつ着脱が行われる
ことになり、この搬送工程間におけるウエハ1の損傷や
ゴミの付着の危険性が高くなり、また搬送工程が多いこ
とにより搬送時間が長くなるという問題があった。
装置では、供給カセット3からウエハ搬送ロボット2に
て取り出されたウエハ1は位置決め装置4に搬送載置さ
れ、ここでの位置決め及び読み取りされた後に、再びウ
エハ搬送ロボット2にて取り出されて所定の分類カセッ
トに搬送収容されるため、供給カセット3から分類カセ
ット5a,5bに搬送される間に、ウエハ1はそれぞれ
ウエハ搬送ロボット2に対して2回ずつ着脱が行われる
ことになり、この搬送工程間におけるウエハ1の損傷や
ゴミの付着の危険性が高くなり、また搬送工程が多いこ
とにより搬送時間が長くなるという問題があった。
【0006】
【課題を解決するための手段及び作用効果】本発明は上
記従来の問題点を解決するためになされたもので、その
構成は、ウエハを1枚1枚搬送するウエハ搬送ロボット
の搬送領域に、多数の分類しようとするウエハを収容し
てこれをウエハ搬送ロボットに供給する供給カセット
と、分類後のウエハを分類別に収容する複数の分類カセ
ットと、ウエハ搬送ロボットにて搬送されるウエハのI
D番号等の文字を読み取る文字読み取り装置を配置して
なるウエハ分類装置において、文字読み取り装置は、ウ
エハ搬送ロボットのハンド上のウエハの全体の位置と姿
勢を読み取る第1の読み取り手段と、ウエハ搬送ロボッ
トのハンド上のウエハに記入されてある文字を読み取る
第2の読み取り手段と、第1の読み取り手段からの読み
取り信号に基づいて、第1の読み取り位置から第2の読
み取り位置へのウエハの搬送位置を制御すると共に、第
2の読み取り位置におけるウエハの文字姿勢に合わせて
読み取り角度を制御する制御手段と、第2の読み取り手
段による読み取り信号に基づいて、搬送装置のウエハを
所定の分類カセットに分類収容するようにウエハ搬送ロ
ボットを制御する制御手段とからなっている。
記従来の問題点を解決するためになされたもので、その
構成は、ウエハを1枚1枚搬送するウエハ搬送ロボット
の搬送領域に、多数の分類しようとするウエハを収容し
てこれをウエハ搬送ロボットに供給する供給カセット
と、分類後のウエハを分類別に収容する複数の分類カセ
ットと、ウエハ搬送ロボットにて搬送されるウエハのI
D番号等の文字を読み取る文字読み取り装置を配置して
なるウエハ分類装置において、文字読み取り装置は、ウ
エハ搬送ロボットのハンド上のウエハの全体の位置と姿
勢を読み取る第1の読み取り手段と、ウエハ搬送ロボッ
トのハンド上のウエハに記入されてある文字を読み取る
第2の読み取り手段と、第1の読み取り手段からの読み
取り信号に基づいて、第1の読み取り位置から第2の読
み取り位置へのウエハの搬送位置を制御すると共に、第
2の読み取り位置におけるウエハの文字姿勢に合わせて
読み取り角度を制御する制御手段と、第2の読み取り手
段による読み取り信号に基づいて、搬送装置のウエハを
所定の分類カセットに分類収容するようにウエハ搬送ロ
ボットを制御する制御手段とからなっている。
【0007】供給カセットからウエハ搬送ロボットのハ
ンドにて取り出されたウエハは、文字読み取り装置の第
1の読み取り位置にて、ウエハ搬送ロボットのハンドに
よる搬送姿勢のまま、第1の読み取り手段にてその位置
と姿勢が読み取られ、第2の読み取り位置にて同じくウ
エハ搬送ロボットのハンドによる搬送姿勢のまま、第2
の読み取り手段にてウエハに記入された文字が読み取ら
れる。
ンドにて取り出されたウエハは、文字読み取り装置の第
1の読み取り位置にて、ウエハ搬送ロボットのハンドに
よる搬送姿勢のまま、第1の読み取り手段にてその位置
と姿勢が読み取られ、第2の読み取り位置にて同じくウ
エハ搬送ロボットのハンドによる搬送姿勢のまま、第2
の読み取り手段にてウエハに記入された文字が読み取ら
れる。
【0008】上記構成のウエハ分類装置によれば、供給
カセットから取り出されたウエハは、分類カセットに収
容されるまでウエハ搬送ロボットのハンド上にあって、
1度もウエハ搬送ロボットに対して着脱が行われること
がなく、この分類工程におけるウエハの損傷を最小限に
することができる。
カセットから取り出されたウエハは、分類カセットに収
容されるまでウエハ搬送ロボットのハンド上にあって、
1度もウエハ搬送ロボットに対して着脱が行われること
がなく、この分類工程におけるウエハの損傷を最小限に
することができる。
【0009】また、搬送途中にウエハの着脱工程がなく
なることにより、ゴミの付着が減少されると共に、分類
作業のサイクルタイムを短縮することができる。また本
発明によれば、ウエハの径及びID番号等の文字の位置
がロットごとに変っても容易に対応することができる。
なることにより、ゴミの付着が減少されると共に、分類
作業のサイクルタイムを短縮することができる。また本
発明によれば、ウエハの径及びID番号等の文字の位置
がロットごとに変っても容易に対応することができる。
【0010】また上記構成のウエハ分類装置において、
第1の読み取り手段とは、位置・姿勢読み取り用のカメ
ラと画像処理装置、第2の読み取り手段とは文字読み取
り用のカメラと画像処理装置とからなっている。
第1の読み取り手段とは、位置・姿勢読み取り用のカメ
ラと画像処理装置、第2の読み取り手段とは文字読み取
り用のカメラと画像処理装置とからなっている。
【0011】また上記構成のウエハ分類装置において、
第1の読み取り手段に対応する位置と姿勢読み取り用の
カメラと、第2の読み取り手段に対応する文字読み取り
用のカメラが1つの画像処理装置に接続され、この1つ
の画像処理装置内のプログラムを切り替えて位置と姿勢
及び文字を読み取るようにした。
第1の読み取り手段に対応する位置と姿勢読み取り用の
カメラと、第2の読み取り手段に対応する文字読み取り
用のカメラが1つの画像処理装置に接続され、この1つ
の画像処理装置内のプログラムを切り替えて位置と姿勢
及び文字を読み取るようにした。
【0012】さらに、上記構成のウエハ分類装置におい
て、第1の読み取り手段に対応する位置と姿勢読み取り
用のカメラと第2の読み取り手段に対応する文字読み取
り用のカメラは共通のものを用い、このカメラの焦点距
離を変化させるとともに、1つの画像処理装置内のプロ
グラムを切り替えて位置と姿勢及び文字を読み取るよう
にした。
て、第1の読み取り手段に対応する位置と姿勢読み取り
用のカメラと第2の読み取り手段に対応する文字読み取
り用のカメラは共通のものを用い、このカメラの焦点距
離を変化させるとともに、1つの画像処理装置内のプロ
グラムを切り替えて位置と姿勢及び文字を読み取るよう
にした。
【0013】これらの構成におけるウエハ分類装置にお
いて、2つのカメラに対して1つの画像処理装置を用い
るもの、及び1つのカメラを用いるものでは、2個の画
像処理装置を用いるものや、2個のカメラを用いるもの
に比較してハード構成を簡単にすることができる。
いて、2つのカメラに対して1つの画像処理装置を用い
るもの、及び1つのカメラを用いるものでは、2個の画
像処理装置を用いるものや、2個のカメラを用いるもの
に比較してハード構成を簡単にすることができる。
【0014】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図2以下に
基づいて説明する。なお、図1に示した従来の装置と同
一構成部材は同一の符号を付して説明する。
基づいて説明する。なお、図1に示した従来の装置と同
一構成部材は同一の符号を付して説明する。
【0015】ウエハ搬送ロボット2の周囲の搬送領域に
供給カセット3と、複数の分類カセット5a,5b,5
cと、文字読み取り装置8とが配置されている。この文
字読み取り装置8には、ウエハ搬送ロボット2の搬送経
路内に位置をずらせた第1,第2の文字読み取り位置が
あり、第1の文字読み取り位置に第1カメラ9aが、第
2の文字読み取り位置に第2カメラ9bがそれぞれ搬送
経路に向けて、すなわち下向きに設けてある。そして第
1カメラ9aは、基台10に固定されていると共に、ウ
エハ搬送ロボット2にてこの下側に搬送されてきたウエ
ハ1の全体を視野に入るようになっている。一方第2カ
メラ9bは基台10に支持されていると共に、ウエハ搬
送ロボット2にてこの下側に搬送されてきたウエハ1の
一部、すなわちID番号分の領域を視野に入るようにな
っている。そしてこの第2カメラ9bはモータ11にて
光軸に対して回転できるようになっている。
供給カセット3と、複数の分類カセット5a,5b,5
cと、文字読み取り装置8とが配置されている。この文
字読み取り装置8には、ウエハ搬送ロボット2の搬送経
路内に位置をずらせた第1,第2の文字読み取り位置が
あり、第1の文字読み取り位置に第1カメラ9aが、第
2の文字読み取り位置に第2カメラ9bがそれぞれ搬送
経路に向けて、すなわち下向きに設けてある。そして第
1カメラ9aは、基台10に固定されていると共に、ウ
エハ搬送ロボット2にてこの下側に搬送されてきたウエ
ハ1の全体を視野に入るようになっている。一方第2カ
メラ9bは基台10に支持されていると共に、ウエハ搬
送ロボット2にてこの下側に搬送されてきたウエハ1の
一部、すなわちID番号分の領域を視野に入るようにな
っている。そしてこの第2カメラ9bはモータ11にて
光軸に対して回転できるようになっている。
【0016】上記第1カメラ9aと、第2カメラ9bの
それぞれには第1,第2の画像処理装置12a,12b
が接続されており、これらは制御装置13に接続されて
いる。上記第1の画像処理装置12aは第1カメラ9a
の視野におけるウエハ1の全体の位置と姿勢を検出する
ようになっており、また第2画像処理装置12bはある
特定領域を視認する第2カメラ9bにより文字(ID番
号)を読み取るようになっている。
それぞれには第1,第2の画像処理装置12a,12b
が接続されており、これらは制御装置13に接続されて
いる。上記第1の画像処理装置12aは第1カメラ9a
の視野におけるウエハ1の全体の位置と姿勢を検出する
ようになっており、また第2画像処理装置12bはある
特定領域を視認する第2カメラ9bにより文字(ID番
号)を読み取るようになっている。
【0017】制御装置13には座標変換装置14と位置
補正装置15と分類データ参照装置16がある。そして
上記座標変換装置14は、第1の画像処理装置12aの
検出値からウエハ搬送ロボット2のハンド2b上にある
ウエハ1の位置と姿勢をX,Y,θ(回転)の各方向の
座標に変換するようになっている。また位置補正装置1
5は、この座標変換装置14からの座標値に基づいた
X,Y方向の補正データ(X,Y)をウエハ搬送ロボッ
ト2に出力し、またθ方向の補正データ(θ)を第2カ
メラ9bのモータ11に出力するようになっている。
補正装置15と分類データ参照装置16がある。そして
上記座標変換装置14は、第1の画像処理装置12aの
検出値からウエハ搬送ロボット2のハンド2b上にある
ウエハ1の位置と姿勢をX,Y,θ(回転)の各方向の
座標に変換するようになっている。また位置補正装置1
5は、この座標変換装置14からの座標値に基づいた
X,Y方向の補正データ(X,Y)をウエハ搬送ロボッ
ト2に出力し、またθ方向の補正データ(θ)を第2カ
メラ9bのモータ11に出力するようになっている。
【0018】分類データ参照装置16では、上記第2の
画像処理装置12bからの文字読み取り信号の入力を得
て、これに基づいた分類データ信号(c)をウエハ搬送
ロボット2に出力するようになっている。
画像処理装置12bからの文字読み取り信号の入力を得
て、これに基づいた分類データ信号(c)をウエハ搬送
ロボット2に出力するようになっている。
【0019】上記構成における作用を以下に説明する。
まず(1)ウエハ搬送ロボット2を操作してこれの本体
2aの旋回及びハンド2bの関節作動にて供給カセット
3内の1枚のウエハ1を取り出し、これを第1カメラ9
aの下側である第1の読み取り位置まで搬送し、位置決
めする。
まず(1)ウエハ搬送ロボット2を操作してこれの本体
2aの旋回及びハンド2bの関節作動にて供給カセット
3内の1枚のウエハ1を取り出し、これを第1カメラ9
aの下側である第1の読み取り位置まで搬送し、位置決
めする。
【0020】(2)第1カメラ9aにて上記ハンド2b
上のウエハ1を撮影し、第1の画像処理装置12aにて
この第1の読み取り位置でかつハンド2b上にあるウエ
ハ1のX,Y,θの各方向に対する位置を読み取り、こ
れの信号を制御装置13に送る。制御装置13では座標
変換装置14にて上記第1の読み取り位置にあるウエハ
1の位置をX,Y,θの座標に変換してこれを位置補正
装置15に送り、この位置補正装置15ではこの座標に
基づいたX,Y方向の補正データ(X,Y)をウエハ搬
送ロボット2に出力すると共に、θ方向の補正データ
(θ)をモータ11に出力する。
上のウエハ1を撮影し、第1の画像処理装置12aにて
この第1の読み取り位置でかつハンド2b上にあるウエ
ハ1のX,Y,θの各方向に対する位置を読み取り、こ
れの信号を制御装置13に送る。制御装置13では座標
変換装置14にて上記第1の読み取り位置にあるウエハ
1の位置をX,Y,θの座標に変換してこれを位置補正
装置15に送り、この位置補正装置15ではこの座標に
基づいたX,Y方向の補正データ(X,Y)をウエハ搬
送ロボット2に出力すると共に、θ方向の補正データ
(θ)をモータ11に出力する。
【0021】ついで(3)ウエハ搬送ロボット2が操作
され、ウエハ1を第2の読み取り位置へ搬送する。この
とき、ウエハ搬送ロボット2のハンド2bの動作が上記
位置補正装置15からのX,Y方向の補正データ(X,
Y)の入力により補正されて、ウエハ1は、これの文字
記入個所が第2カメラ9bの視野に入る位置に位置決め
される。一方この第2カメラ9bは上記位置補正装置1
5からのθ方向の補正データ(θ)の入力により回転さ
れてウエハ1の文字を正しい姿勢で視野に収める。
され、ウエハ1を第2の読み取り位置へ搬送する。この
とき、ウエハ搬送ロボット2のハンド2bの動作が上記
位置補正装置15からのX,Y方向の補正データ(X,
Y)の入力により補正されて、ウエハ1は、これの文字
記入個所が第2カメラ9bの視野に入る位置に位置決め
される。一方この第2カメラ9bは上記位置補正装置1
5からのθ方向の補正データ(θ)の入力により回転さ
れてウエハ1の文字を正しい姿勢で視野に収める。
【0022】(4)第2の読み取り位置で、かつハンド
2b上にあるウエハ1の文字が第2カメラ9bの第2の
画像処理装置12aにて読み取られ、この信号が分類デ
ータ参照装置16に送られ、これに基づいてこの分類デ
ータ参照装置16にて第2カメラ位置にあるウエハ1が
分類されて、この分類信号(c)がウエハ搬送ロボット
2に送られる。
2b上にあるウエハ1の文字が第2カメラ9bの第2の
画像処理装置12aにて読み取られ、この信号が分類デ
ータ参照装置16に送られ、これに基づいてこの分類デ
ータ参照装置16にて第2カメラ位置にあるウエハ1が
分類されて、この分類信号(c)がウエハ搬送ロボット
2に送られる。
【0023】(5)つぎにウエハ搬送ロボット2は上記
分類信号(c)に基づいた動作を行い、ハンド部材上の
ウエハ1を所定の分類カセット内に挿入する。
分類信号(c)に基づいた動作を行い、ハンド部材上の
ウエハ1を所定の分類カセット内に挿入する。
【0024】図5,図6は本発明の他の実施の形態を示
すものである。そして図5に示すように2個のカメラ9
a,9bを1つの画像処理装置12cに接続し、この画
像処理装置12c内のプログラムを切り替えて、位置・
姿勢読み取り用のカメラ9aに対して位置姿勢読み取り
プログラムを起動し、文字(IDコード)読み取り用の
カメラ9bに対して文字(IDカード)読み取りプログ
ラムを起動するようになっている。これにより、2つの
カメラ9a,9bと1つの画像処理装置12cにてウエ
ハ1の位置・姿勢及び文字(IDコード)の読み取りが
行われる。
すものである。そして図5に示すように2個のカメラ9
a,9bを1つの画像処理装置12cに接続し、この画
像処理装置12c内のプログラムを切り替えて、位置・
姿勢読み取り用のカメラ9aに対して位置姿勢読み取り
プログラムを起動し、文字(IDコード)読み取り用の
カメラ9bに対して文字(IDカード)読み取りプログ
ラムを起動するようになっている。これにより、2つの
カメラ9a,9bと1つの画像処理装置12cにてウエ
ハ1の位置・姿勢及び文字(IDコード)の読み取りが
行われる。
【0025】図6に示した実施の形態は、1台のカメラ
9cと1つの画像処理装置12dを用いた例を示す。カ
メラ9cは焦点可変式となっていて、制御装置13内の
ティーチングデータ(プリセット値)17からの指示に
よりカメラ9cは焦点切換装置(またはズーム角切換え
装置)18にて焦点(またはズーム角)が変わるように
なっている。そしてウエハ1が位置・姿勢読み取り位置
にあるときには、このウエハ1の全体が視野に収まるよ
うにその焦点(またはズーム角)が変えられる。また、
ウエハ1が上記位置・姿勢読み取り位置から垂直上方へ
上昇した文字読み取り位置に移動した状態で、このウエ
ハ1の文字(IDコード)を読み取りように焦点(また
はズーム角)が変えられる。
9cと1つの画像処理装置12dを用いた例を示す。カ
メラ9cは焦点可変式となっていて、制御装置13内の
ティーチングデータ(プリセット値)17からの指示に
よりカメラ9cは焦点切換装置(またはズーム角切換え
装置)18にて焦点(またはズーム角)が変わるように
なっている。そしてウエハ1が位置・姿勢読み取り位置
にあるときには、このウエハ1の全体が視野に収まるよ
うにその焦点(またはズーム角)が変えられる。また、
ウエハ1が上記位置・姿勢読み取り位置から垂直上方へ
上昇した文字読み取り位置に移動した状態で、このウエ
ハ1の文字(IDコード)を読み取りように焦点(また
はズーム角)が変えられる。
【図1】従来例を示す概略的な説明図である。
【図2】本発明の実施例を示す斜視図である。
【図3】本発明の実施例を示す平面図である。
【図4】本発明の制御系を示す概略的な説明図である。
【図5】本発明の他の制御系を示す概略的な説明図であ
る。
る。
【図6】本発明の他の制御系を示す概略的な説明図であ
る。
る。
1…ウエハ、2…ウエハ搬送ロボット、2a…本体、2
b…ハンド、3…供給カセット、4…位置決め装置、5
a,5b,5c…分類カセット、6,9a,9b,9c
…カメラ、8…文字読み取り装置、11…モータ、12
a,12b,12c,12d…画像処理装置、13…制
御装置、14…座標変換装置、15…位置補正装置、1
6…分類データ参照装置、17…ティーチングデータ
(プリセット値)、18…焦点切換装置(ズーム角切換
装置)。
b…ハンド、3…供給カセット、4…位置決め装置、5
a,5b,5c…分類カセット、6,9a,9b,9c
…カメラ、8…文字読み取り装置、11…モータ、12
a,12b,12c,12d…画像処理装置、13…制
御装置、14…座標変換装置、15…位置補正装置、1
6…分類データ参照装置、17…ティーチングデータ
(プリセット値)、18…焦点切換装置(ズーム角切換
装置)。
Claims (4)
- 【請求項1】 ウエハを1枚1枚搬送するウエハ搬送ロ
ボットの搬送領域に、多数の分類しようとするウエハを
収容してこれをウエハ搬送ロボットに供給する供給カセ
ットと、分類後のウエハを分類別に収容する複数の分類
カセットと、ウエハ搬送ロボットにて搬送されるウエハ
のID番号等の文字を読み取る文字読み取り装置を配置
してなるウエハ分類装置において、 文字読み取り装置は、ウエハ搬送ロボットのハンド上の
ウエハの全体の位置と姿勢を読み取る第1の読み取り手
段と、 ウエハ搬送ロボットのハンド上のウエハに記入されてあ
る文字を読み取る第2の読み取り手段と、 第1の読み取り手段からの読み取り信号に基づいて、第
1の読み取り位置から第2の読み取り位置へのウエハの
搬送位置を制御すると共に、第2の読み取り位置におけ
るウエハの文字姿勢に合わせて読み取り角度を制御する
制御手段と、 第2の読み取り手段による読み取り信号に基づいて、搬
送装置のウエハを所定の分類カセットに分類収容するよ
うにウエハ搬送ロボットを制御する制御手段とからなる
ことを特徴とするウエハ分類装置。 - 【請求項2】 請求項1記載のウエハ分類装置におい
て、第1の読み取り手段とは、位置・姿勢読み取り用の
カメラと画像処理装置、第2の読み取り手段とは文字読
み取り用のカメラと画像処理装置とからなることを特徴
とするウエハ分類装置。 - 【請求項3】 請求項1記載のウエハ分類装置におい
て、第1の読み取り手段に対応する位置と姿勢読み取り
用のカメラと、第2の読み取り手段に対応する文字読み
取り用のカメラが1つの画像処理装置に接続され、この
1つの画像処理装置内のプログラムを切り替えて位置と
姿勢及び文字を読み取るようにしたことを特徴とするウ
エハ分類装置。 - 【請求項4】 請求項1記載のウエハ分類装置におい
て、第1の読み取り手段に対応する位置と姿勢読み取り
用のカメラと第2の読み取り手段に対応する文字読み取
り用のカメラは共通のものを用い、このカメラの焦点距
離を変化させるとともに、1つの画像処理装置内のプロ
グラムを切り替えて位置と姿勢及び文字を読み取るよう
にしたことを特徴とするウエハ分類装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27118496A JPH10114418A (ja) | 1996-10-14 | 1996-10-14 | ウエハ分類装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27118496A JPH10114418A (ja) | 1996-10-14 | 1996-10-14 | ウエハ分類装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10114418A true JPH10114418A (ja) | 1998-05-06 |
Family
ID=17496527
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP27118496A Pending JPH10114418A (ja) | 1996-10-14 | 1996-10-14 | ウエハ分類装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH10114418A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005045033A (ja) * | 2003-07-22 | 2005-02-17 | Disco Abrasive Syst Ltd | 半導体ウエーハの加工装置 |
CN103569667A (zh) * | 2012-08-07 | 2014-02-12 | 东和株式会社 | 切割物的收纳装置及收纳方法 |
CN106128989A (zh) * | 2016-08-25 | 2016-11-16 | 麦斯克电子材料有限公司 | 一种用于硅片片盒间错位倒片的倒片器 |
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CN110391161A (zh) * | 2019-06-25 | 2019-10-29 | 福建省福联集成电路有限公司 | 一种智能存放晶圆的***、装置及方法 |
CN111696901A (zh) * | 2019-03-13 | 2020-09-22 | 环球晶圆股份有限公司 | 晶圆转换装置 |
-
1996
- 1996-10-14 JP JP27118496A patent/JPH10114418A/ja active Pending
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