JPH09283604A - 基板搬送方法および基板搬送装置 - Google Patents
基板搬送方法および基板搬送装置Info
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- JPH09283604A JPH09283604A JP8088205A JP8820596A JPH09283604A JP H09283604 A JPH09283604 A JP H09283604A JP 8088205 A JP8088205 A JP 8088205A JP 8820596 A JP8820596 A JP 8820596A JP H09283604 A JPH09283604 A JP H09283604A
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 複雑な機構を有しスペースを必要とする装置
を用いずに、基板のプリアライメントを行うことができ
る基板搬送方法および基板搬送装置を提供する。 【解決手段】 ロボットのハンド３３Ａでウエハ６を把
持し、ウエハ６を基部ＢＡの旋回軸上に移動させるよう
にロボットのアーム３１、３２、３３を操作し、検出手
段１、２、４、５によりハンド３３Ａに把持されたウエ
ハ６とハンド３３Ａとの間の相対位置および相対角度を
検出し、検出した相対角度に基づいてウエハ６の向きを
所定の方向に向けて差し出すようにアーム３１、３２、
３３を操作するとともに相対位置に基づいてウエハ６が
所定位置に載置されるように次段のステージ７を所定位
置で待機させてウエハ６をステージ７に受け渡す。
を用いずに、基板のプリアライメントを行うことができ
る基板搬送方法および基板搬送装置を提供する。 【解決手段】 ロボットのハンド３３Ａでウエハ６を把
持し、ウエハ６を基部ＢＡの旋回軸上に移動させるよう
にロボットのアーム３１、３２、３３を操作し、検出手
段１、２、４、５によりハンド３３Ａに把持されたウエ
ハ６とハンド３３Ａとの間の相対位置および相対角度を
検出し、検出した相対角度に基づいてウエハ６の向きを
所定の方向に向けて差し出すようにアーム３１、３２、
３３を操作するとともに相対位置に基づいてウエハ６が
所定位置に載置されるように次段のステージ７を所定位
置で待機させてウエハ６をステージ７に受け渡す。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体ウエハなどの
基板の搬送方法および搬送装置に関する。
基板の搬送方法および搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体ウエハを半導体縮小露光装
置の搬入ステージに載せる前工程として、アライメント
装置を用いたプリアライメントの工程が必要である。ま
ず、ウエハのエッジをコマに押し当てることによりウエ
ハの芯だしを行う。次に、図７に示すように回転機構
（不図示）と検出センサ８によりオリエンテーションフ
ラット６Ａを検出し、さらに固定コマ９と移動コマ１０
によりウエハ６を所定の方向に向ける。このようにウエ
ハ６の中心およびオリエンテーションフラット６Ａの向
きを揃えた後、半導体縮小露光装置の搬入ステージに搬
送する。
置の搬入ステージに載せる前工程として、アライメント
装置を用いたプリアライメントの工程が必要である。ま
ず、ウエハのエッジをコマに押し当てることによりウエ
ハの芯だしを行う。次に、図７に示すように回転機構
（不図示）と検出センサ８によりオリエンテーションフ
ラット６Ａを検出し、さらに固定コマ９と移動コマ１０
によりウエハ６を所定の方向に向ける。このようにウエ
ハ６の中心およびオリエンテーションフラット６Ａの向
きを揃えた後、半導体縮小露光装置の搬入ステージに搬
送する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の装置で
はウエハの回転機構やウエハのサイズ毎にコマを用意す
る、または切換えるなどの機構が必要となり、装置全体
が複雑になる。また、この装置のためのスペースが必要
であり、製造コストを押し上げてしまう。
はウエハの回転機構やウエハのサイズ毎にコマを用意す
る、または切換えるなどの機構が必要となり、装置全体
が複雑になる。また、この装置のためのスペースが必要
であり、製造コストを押し上げてしまう。
【０００４】本発明の目的は、複雑な機構を有しスペー
スを必要とする装置を用いることなく、基板のプリアラ
イメントを行うことができる基板搬送方法および基板搬
送装置を提供することにある。
スを必要とする装置を用いることなく、基板のプリアラ
イメントを行うことができる基板搬送方法および基板搬
送装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】一実施の形態を示す図１
〜図５に対応付けて説明すると、請求項１に記載の発明
は、基部ＢＡと、基部ＢＡに設けられた旋回軸を中心に
旋回可能に取付けられた多関節アーム３１、３２、３３
と、アーム３１、３２、３３に取付けられたハンド３３
Ａとを備えるロボットを用いて基板を搬送する基板搬送
方法に適用される。そして、ロボットのハンド３３Ａで
基板６を把持し、基板６を基部ＢＡの旋回軸上に移動さ
せるようにロボットのアーム３１、３２、３３を操作
し、ハンド３３Ａに把持された基板６とハンド３３Ａと
の間の相対位置および相対角度を検出し、検出した相対
角度に基づいて基板６の向きを所定の方向に向けて差し
出すようにアーム３１、３２、３３を操作するとともに
相対位置に基づいて基板６が所定位置に載置されるよう
に次段のステージ７を所定位置で待機させて基板６をス
テージ７に受け渡すことにより上述の目的が達成され
る。請求項２に記載の発明は、基部ＢＡと、基部ＢＡに
設けた旋回軸を中心として旋回可能に取付けられた多関
節アーム３１、３２、３３と、多関節アーム３１、３
２、３３に取付けられ基板を把持するハンド３３Ａと、
ハンド３３Ａに把持された基板６とハンド３３Ａとの間
の相対位置および相対角度を検出する検出手段１、２、
４、５と、ハンド３３Ａで基板６を把持し、基板６を基
部ＢＡの旋回軸上に移動させるようにアーム３１、３
２、３３を操作し、検出手段１、２、４、５によりハン
ド３３Ａに把持された基板６とハンド３３Ａとの間の相
対位置および相対角度を検出し、検出した相対角度に基
づいて基板６の向きを所定の方向に向けて差し出すよう
にアーム３１、３２、３３を操作するとともに相対位置
に基づいて基板６が所定位置に載置されるように次段の
ステージ７を所定位置で待機させて基板６をステージ７
に受け渡すように制御する制御装置Ｃとを備えることに
より上述の目的が達成される。請求項３に記載の発明
は、請求項２に記載の基板搬送装置において、検出手段
１、２、４、５に所定間隔で配置された複数の光学セン
サ５と、光学センサ５の検出スポットを基板のエッジ上
で走査する走査手段１、２とを設けるものである。請求
項４に記載の発明は、請求項３に記載の基板搬送装置に
おいて、基板６を挟んで光学センサ５と対向する側に照
明装置４を設けるものである。請求項５に記載の発明
は、請求項２に記載の基板搬送装置において、検出手段
１、２、４、５に基部ＢＡの旋回軸上に移動された基板
６に向けて取付けられたＣＣＤカメラと、基板６を照明
する照明装置４とを設けるものである。請求項６に記載
の発明は、請求項５に記載の基板搬送装置において、照
明装置４を基板６を挟んでＣＣＤカメラと対向して設け
るものである。請求項７に記載の発明は、請求項５また
は６に記載の基板搬送装置において、ＣＣＤカメラによ
り基板６に付された識別記号を読取るようにしたもので
ある。請求項８に記載の発明は、請求項２〜７のいずれ
か１項に記載の基板搬送装置において、検出手段１、
２、４、５により求められた相対角度に基づいて回転さ
れ所定の方向に向けられた基板６に付された識別記号を
撮影する２次元カメラを設けるものである。
〜図５に対応付けて説明すると、請求項１に記載の発明
は、基部ＢＡと、基部ＢＡに設けられた旋回軸を中心に
旋回可能に取付けられた多関節アーム３１、３２、３３
と、アーム３１、３２、３３に取付けられたハンド３３
Ａとを備えるロボットを用いて基板を搬送する基板搬送
方法に適用される。そして、ロボットのハンド３３Ａで
基板６を把持し、基板６を基部ＢＡの旋回軸上に移動さ
せるようにロボットのアーム３１、３２、３３を操作
し、ハンド３３Ａに把持された基板６とハンド３３Ａと
の間の相対位置および相対角度を検出し、検出した相対
角度に基づいて基板６の向きを所定の方向に向けて差し
出すようにアーム３１、３２、３３を操作するとともに
相対位置に基づいて基板６が所定位置に載置されるよう
に次段のステージ７を所定位置で待機させて基板６をス
テージ７に受け渡すことにより上述の目的が達成され
る。請求項２に記載の発明は、基部ＢＡと、基部ＢＡに
設けた旋回軸を中心として旋回可能に取付けられた多関
節アーム３１、３２、３３と、多関節アーム３１、３
２、３３に取付けられ基板を把持するハンド３３Ａと、
ハンド３３Ａに把持された基板６とハンド３３Ａとの間
の相対位置および相対角度を検出する検出手段１、２、
４、５と、ハンド３３Ａで基板６を把持し、基板６を基
部ＢＡの旋回軸上に移動させるようにアーム３１、３
２、３３を操作し、検出手段１、２、４、５によりハン
ド３３Ａに把持された基板６とハンド３３Ａとの間の相
対位置および相対角度を検出し、検出した相対角度に基
づいて基板６の向きを所定の方向に向けて差し出すよう
にアーム３１、３２、３３を操作するとともに相対位置
に基づいて基板６が所定位置に載置されるように次段の
ステージ７を所定位置で待機させて基板６をステージ７
に受け渡すように制御する制御装置Ｃとを備えることに
より上述の目的が達成される。請求項３に記載の発明
は、請求項２に記載の基板搬送装置において、検出手段
１、２、４、５に所定間隔で配置された複数の光学セン
サ５と、光学センサ５の検出スポットを基板のエッジ上
で走査する走査手段１、２とを設けるものである。請求
項４に記載の発明は、請求項３に記載の基板搬送装置に
おいて、基板６を挟んで光学センサ５と対向する側に照
明装置４を設けるものである。請求項５に記載の発明
は、請求項２に記載の基板搬送装置において、検出手段
１、２、４、５に基部ＢＡの旋回軸上に移動された基板
６に向けて取付けられたＣＣＤカメラと、基板６を照明
する照明装置４とを設けるものである。請求項６に記載
の発明は、請求項５に記載の基板搬送装置において、照
明装置４を基板６を挟んでＣＣＤカメラと対向して設け
るものである。請求項７に記載の発明は、請求項５また
は６に記載の基板搬送装置において、ＣＣＤカメラによ
り基板６に付された識別記号を読取るようにしたもので
ある。請求項８に記載の発明は、請求項２〜７のいずれ
か１項に記載の基板搬送装置において、検出手段１、
２、４、５により求められた相対角度に基づいて回転さ
れ所定の方向に向けられた基板６に付された識別記号を
撮影する２次元カメラを設けるものである。
【０００６】請求項１に記載の発明では、ロボットのハ
ンド３３Ａで基板６を把持し、基板６をロボットの基部
ＢＡの旋回軸上に移動させるようにロボットのアーム３
１、３２、３３を操作し、検出手段５によりハンド３３
Ａに把持された基板６とハンド３３Ａとの間の相対位置
および相対角度を検出し、検出した相対角度に基づいて
基板６の向きを所定の方向に向けて差し出すようにアー
ム３１、３２、３３を操作するとともに相対位置に基づ
いて基板６が所定位置に載置されるように次段のステー
ジ７を所定位置で待機させて基板６をステージ７に受け
渡す。請求項２に記載の発明では、ハンド３３Ａで基板
６を把持し、基板６を基部ＢＡの旋回軸上に移動させる
ようにアーム３１、３２、３３を操作し、検出手段５に
よりハンド３３Ａに把持された基板６とハンド３３Ａと
の間の相対位置および相対角度を検出し、検出した相対
角度に基づいて基板６の向きを所定の方向に向けて差し
出すようにアーム３１、３２、３３を操作するとともに
相対位置に基づいて基板６が所定位置に載置されるよう
に次段のステージ７を所定位置で待機させて基板６をス
テージ７に受け渡す。
ンド３３Ａで基板６を把持し、基板６をロボットの基部
ＢＡの旋回軸上に移動させるようにロボットのアーム３
１、３２、３３を操作し、検出手段５によりハンド３３
Ａに把持された基板６とハンド３３Ａとの間の相対位置
および相対角度を検出し、検出した相対角度に基づいて
基板６の向きを所定の方向に向けて差し出すようにアー
ム３１、３２、３３を操作するとともに相対位置に基づ
いて基板６が所定位置に載置されるように次段のステー
ジ７を所定位置で待機させて基板６をステージ７に受け
渡す。請求項２に記載の発明では、ハンド３３Ａで基板
６を把持し、基板６を基部ＢＡの旋回軸上に移動させる
ようにアーム３１、３２、３３を操作し、検出手段５に
よりハンド３３Ａに把持された基板６とハンド３３Ａと
の間の相対位置および相対角度を検出し、検出した相対
角度に基づいて基板６の向きを所定の方向に向けて差し
出すようにアーム３１、３２、３３を操作するとともに
相対位置に基づいて基板６が所定位置に載置されるよう
に次段のステージ７を所定位置で待機させて基板６をス
テージ７に受け渡す。
【０００７】なお、本発明の構成を説明する上記課題を
解決するための手段と作用の項では、本発明を分かり易
くするために発明の実施の形態の図を用いたが、これに
より本発明が実施の形態に限定されるものではない。
解決するための手段と作用の項では、本発明を分かり易
くするために発明の実施の形態の図を用いたが、これに
より本発明が実施の形態に限定されるものではない。
【０００８】
【発明の実施の形態】図１〜３に示すように、本発明の
実施の一形態の基板搬送装置は、レール１と、レール１
に沿って摺動可能に取付けられた摺動部２と、摺動部２
の上面中心に取付けられたロボット基部ＢＡと、基部Ｂ
Ａに取付けられたロボットアーム３と、基部ＢＡの上面
周辺部に設けられたリング状の照明装置４と、図２およ
び図３に示すように複数の光学センサを一列に並べて構
成された光学センサアレイ５とからなる。ロボットアー
ム３は基部ＢＡの上部に取付けられ基部ＢＡの中心を回
転軸として旋回する第１のアーム３１と、第１のアーム
３１に対して回動可能に取付けられた第２のアーム３２
と、ハンド部３３Ａを先端に備え第２のアーム３２に対
して回動可能に取付けられた第３のアーム３３とからな
る。
実施の一形態の基板搬送装置は、レール１と、レール１
に沿って摺動可能に取付けられた摺動部２と、摺動部２
の上面中心に取付けられたロボット基部ＢＡと、基部Ｂ
Ａに取付けられたロボットアーム３と、基部ＢＡの上面
周辺部に設けられたリング状の照明装置４と、図２およ
び図３に示すように複数の光学センサを一列に並べて構
成された光学センサアレイ５とからなる。ロボットアー
ム３は基部ＢＡの上部に取付けられ基部ＢＡの中心を回
転軸として旋回する第１のアーム３１と、第１のアーム
３１に対して回動可能に取付けられた第２のアーム３２
と、ハンド部３３Ａを先端に備え第２のアーム３２に対
して回動可能に取付けられた第３のアーム３３とからな
る。
【０００９】光学センサアレイ５は、図２および図３に
示すようにレール１をまたぐように設けられ、摺動部２
と基部ＢＡは光学センサアレイ５の下方をくぐり抜ける
ことができる。
示すようにレール１をまたぐように設けられ、摺動部２
と基部ＢＡは光学センサアレイ５の下方をくぐり抜ける
ことができる。
【００１０】以上のように構成された基板搬送装置によ
りウエハのプリアライメント（粗位置合わせ）をする手
順について説明する。まず、ロボットアーム３を伸して
ウエハキャリア（不図示）に収納されたウエハ６をハン
ド部３３Ａで把持してキャリアから搬出する。次いで、
第２のアーム３２と第３のアーム３３を図３のように折
りたたんでウエハ６を基部ＢＡ上に移動させる。このと
きハンド部３３Ａの中心を基部ＢＡの中心軸（アーム３
１の回動軸）上にあわせ、また第３のアーム３３の長手
軸方向をあらかじめ定めた所定方向に向ける。このよう
な状態から照明装置４を点灯させ摺動部２を図２の矢印
で示す方向に摺動すると、ウエハ６は光学センサアレイ
５の下方をくぐり抜ける。照明装置４の光線の一部はウ
エハ６により遮られるので、図３（ａ）に示すように、
ウエハ６が光学センサアレイ５の下方をくぐり抜ける時
にウエハ６のエッジの位置が検出される。図４に示すよ
うに、検出されたエッジの位置を時間を追ってプロット
することによりウエハ６の外形を把握することができ、
オリエンテーションフラット６Ａの方向からウエハ６の
第３のアーム３３の長手軸方向に対する相対角度を、ま
た、ウエハ６の外形からハンド部３３Ａの中心に対する
ウエハ６の中心のずれを求めることができる。
りウエハのプリアライメント（粗位置合わせ）をする手
順について説明する。まず、ロボットアーム３を伸して
ウエハキャリア（不図示）に収納されたウエハ６をハン
ド部３３Ａで把持してキャリアから搬出する。次いで、
第２のアーム３２と第３のアーム３３を図３のように折
りたたんでウエハ６を基部ＢＡ上に移動させる。このと
きハンド部３３Ａの中心を基部ＢＡの中心軸（アーム３
１の回動軸）上にあわせ、また第３のアーム３３の長手
軸方向をあらかじめ定めた所定方向に向ける。このよう
な状態から照明装置４を点灯させ摺動部２を図２の矢印
で示す方向に摺動すると、ウエハ６は光学センサアレイ
５の下方をくぐり抜ける。照明装置４の光線の一部はウ
エハ６により遮られるので、図３（ａ）に示すように、
ウエハ６が光学センサアレイ５の下方をくぐり抜ける時
にウエハ６のエッジの位置が検出される。図４に示すよ
うに、検出されたエッジの位置を時間を追ってプロット
することによりウエハ６の外形を把握することができ、
オリエンテーションフラット６Ａの方向からウエハ６の
第３のアーム３３の長手軸方向に対する相対角度を、ま
た、ウエハ６の外形からハンド部３３Ａの中心に対する
ウエハ６の中心のずれを求めることができる。
【００１１】次に、図３（ｂ）に示すようにウエハ６の
オリエンテーションフラット６Ａが所定の位置にくるま
で、すなわちウエハ６が所定の角度になるまで第１のア
ーム３１を回転する。回転角度は上述のようにして求め
たウエハ６のハンド部３３Ａに対する相対角度から算出
される。次に、図３（ｃ）に示すように、ロボットアー
ム３を駆動してウエハ６の向きを変えずに、ウエハ６を
待機している次段の半導体縮小露光装置のステージ７に
渡す。図３（ｂ）から図３（ｃ）に示すように、オリエ
ンテーションフラット６Ａをステージ１の長手軸と一致
させたままウエハ６を次段に受け渡すには、図３（ｂ）
の状態における第３のアーム３３の長手軸の姿勢を一定
にしたまま、第１、第２のアーム３１、３２を回動さ
せ、第２のアーム３２と第３のアーム３３の連結点を所
定の位置に移動させる。この所定の位置は、ハンド部３
３Ａの中心を基準点に位置させたときの第３のアーム３
３の長手軸の方向によって求められる。このようにし
て、ハンド部３３Ａの中心をあらかじめ定めた基準点に
一致させ、またこのとき、上述のようにして求めたハン
ド部３３Ａの中心に対するウエハ６の中心のずれに基づ
いて、ステージ７の中心とウエハ６の中心とが一致する
位置でステージ７を待機させる。すなわち、ステージ７
の中心を基準点から上記のずれの分だけずらしてステー
ジ７を待機させる。
オリエンテーションフラット６Ａが所定の位置にくるま
で、すなわちウエハ６が所定の角度になるまで第１のア
ーム３１を回転する。回転角度は上述のようにして求め
たウエハ６のハンド部３３Ａに対する相対角度から算出
される。次に、図３（ｃ）に示すように、ロボットアー
ム３を駆動してウエハ６の向きを変えずに、ウエハ６を
待機している次段の半導体縮小露光装置のステージ７に
渡す。図３（ｂ）から図３（ｃ）に示すように、オリエ
ンテーションフラット６Ａをステージ１の長手軸と一致
させたままウエハ６を次段に受け渡すには、図３（ｂ）
の状態における第３のアーム３３の長手軸の姿勢を一定
にしたまま、第１、第２のアーム３１、３２を回動さ
せ、第２のアーム３２と第３のアーム３３の連結点を所
定の位置に移動させる。この所定の位置は、ハンド部３
３Ａの中心を基準点に位置させたときの第３のアーム３
３の長手軸の方向によって求められる。このようにし
て、ハンド部３３Ａの中心をあらかじめ定めた基準点に
一致させ、またこのとき、上述のようにして求めたハン
ド部３３Ａの中心に対するウエハ６の中心のずれに基づ
いて、ステージ７の中心とウエハ６の中心とが一致する
位置でステージ７を待機させる。すなわち、ステージ７
の中心を基準点から上記のずれの分だけずらしてステー
ジ７を待機させる。
【００１２】以上述べたように、ウエハ６を所定の方向
に向け、そのままの向きでステージ７に渡すので、ステ
ージ７に載置されるウエハ６が所定方向に設定される。
また、ウエハ６の受渡し時にはハンド部３３Ａの中心が
あらかじめ定めた基準点と一致しており、かつ、ステー
ジ７の中心が基準点からハンド部３３Ａに対するウエハ
６の中心のずれの分だけずらした位置にあるので、ウエ
ハ６の中心とステージ７の中心とが一致した状態でウエ
ハ６が載置される。すなわち、ウエハ６とハンド３３Ａ
との相対的な位置ずれがウエハ６をステージ７に移す時
に補正され、ウエハ６とステージ７との位置関係は常に
一定に（所望の位置関係に）保たれる。なお、以上述べ
たようにウエハ６を受け渡す向きおよび位置をそれぞれ
独立して制御するためには、ロボットアームを３つ以上
のアームから構成する必要がある。
に向け、そのままの向きでステージ７に渡すので、ステ
ージ７に載置されるウエハ６が所定方向に設定される。
また、ウエハ６の受渡し時にはハンド部３３Ａの中心が
あらかじめ定めた基準点と一致しており、かつ、ステー
ジ７の中心が基準点からハンド部３３Ａに対するウエハ
６の中心のずれの分だけずらした位置にあるので、ウエ
ハ６の中心とステージ７の中心とが一致した状態でウエ
ハ６が載置される。すなわち、ウエハ６とハンド３３Ａ
との相対的な位置ずれがウエハ６をステージ７に移す時
に補正され、ウエハ６とステージ７との位置関係は常に
一定に（所望の位置関係に）保たれる。なお、以上述べ
たようにウエハ６を受け渡す向きおよび位置をそれぞれ
独立して制御するためには、ロボットアームを３つ以上
のアームから構成する必要がある。
【００１３】以上の制御は図５に示す制御装置Ｃにより
行われる。制御装置Ｃは摺動部２の摺動および照明装置
４を制御してセンサアレイ５からの情報を受け、さらに
この情報に応じて第１〜第３のアーム３１、３２、３３
の回動およびステージ７の摺動を制御する。
行われる。制御装置Ｃは摺動部２の摺動および照明装置
４を制御してセンサアレイ５からの情報を受け、さらに
この情報に応じて第１〜第３のアーム３１、３２、３３
の回動およびステージ７の摺動を制御する。
【００１４】図６は以上の制御のフローチャートを示
す。ステップＳ１では第１〜第３のアームを駆動してロ
ボットアーム３を前段のキャリアのウエハまで伸し、ス
テップＳ２ではハンド部３３Ａでウエハを把持する。ス
テップＳ３では基部ＢＡの上面周辺部に設けられた照明
装置４の照明をオンし、ステップＳ４では摺動部２を移
動（摺動）する。ステップＳ５およびステップＳ６では
摺動部２の移動が完了するまでセンサアレイ５からの情
報を読み込み、ステップＳ６において摺動部２の移動が
完了していると判定されればステップＳ７に進む。ステ
ップＳ７では摺動部２の移動を停止する。ステップＳ８
ではセンサアレイ５からの情報に基づいてウエハ６の向
きおよびハンドの中心に対するウエハ６の中心のずれを
算出する。ステップＳ９ではアーム３１を駆動してウエ
ハ６を所定方向に向ける。ステップＳ１０では算出した
ウエハ６の位置ずれに応じた待機位置へ半導体縮小露光
装置のステージ７を移動する。ステップＳ１１では第１
〜第３のアーム３１、３２、３３を駆動してウエハ６を
半導体縮小露光装置のステージ７に受け渡す。なお、第
１〜第３のアーム３１、３２、３３は、第１〜第３アー
ム回動アクチュエータ３１１、３２１、３３１の動作に
より回動され、摺動部２は摺動部摺動アクチュエータ２
１の動作により摺動され、ステージ７はステージ駆動ア
クチュエータ７１の動作により駆動される。
す。ステップＳ１では第１〜第３のアームを駆動してロ
ボットアーム３を前段のキャリアのウエハまで伸し、ス
テップＳ２ではハンド部３３Ａでウエハを把持する。ス
テップＳ３では基部ＢＡの上面周辺部に設けられた照明
装置４の照明をオンし、ステップＳ４では摺動部２を移
動（摺動）する。ステップＳ５およびステップＳ６では
摺動部２の移動が完了するまでセンサアレイ５からの情
報を読み込み、ステップＳ６において摺動部２の移動が
完了していると判定されればステップＳ７に進む。ステ
ップＳ７では摺動部２の移動を停止する。ステップＳ８
ではセンサアレイ５からの情報に基づいてウエハ６の向
きおよびハンドの中心に対するウエハ６の中心のずれを
算出する。ステップＳ９ではアーム３１を駆動してウエ
ハ６を所定方向に向ける。ステップＳ１０では算出した
ウエハ６の位置ずれに応じた待機位置へ半導体縮小露光
装置のステージ７を移動する。ステップＳ１１では第１
〜第３のアーム３１、３２、３３を駆動してウエハ６を
半導体縮小露光装置のステージ７に受け渡す。なお、第
１〜第３のアーム３１、３２、３３は、第１〜第３アー
ム回動アクチュエータ３１１、３２１、３３１の動作に
より回動され、摺動部２は摺動部摺動アクチュエータ２
１の動作により摺動され、ステージ７はステージ駆動ア
クチュエータ７１の動作により駆動される。
【００１５】本発明の実施の形態では、ウエハ６の位置
および方向の読取りには光学センサアレイ５を用いてい
るが、光学センサアレイの代りにＣＣＤカメラを使用し
てもよい。また、ウエハ６に付されている識別標識を読
取るための２次元カメラを搭載してもよい。この場合、
所定の方向に向けられた（揃えられた）ウエハ６（図３
（ｂ）の状態）の識別標識に対向する位置にカメラを取
付けるようにすれば、識別標識の部分のみを拡大して読
取ることができる。
および方向の読取りには光学センサアレイ５を用いてい
るが、光学センサアレイの代りにＣＣＤカメラを使用し
てもよい。また、ウエハ６に付されている識別標識を読
取るための２次元カメラを搭載してもよい。この場合、
所定の方向に向けられた（揃えられた）ウエハ６（図３
（ｂ）の状態）の識別標識に対向する位置にカメラを取
付けるようにすれば、識別標識の部分のみを拡大して読
取ることができる。
【００１６】上述のように、本実施の形態の基板搬送装
置では、ウエハの載置方向およびウエハの載置位置を制
御することができるので、プリアライメントを行なうた
めのプリアライメント装置が不要となり、製造ラインの
スペース効率が向上する。
置では、ウエハの載置方向およびウエハの載置位置を制
御することができるので、プリアライメントを行なうた
めのプリアライメント装置が不要となり、製造ラインの
スペース効率が向上する。
【００１７】
【発明の効果】請求項１に記載の発明によれば、ロボッ
トにより基板を把持し、その基板を所定の方向で次段の
ステージ上の所定位置に載置するので、プリアライメン
ト専用の装置が不要となり生産ラインのスペース効率が
向上する。請求項２に記載の発明によれば、基板の搬送
と同時にプリアライメントを行ない、基板を所定の方向
で次段のステージ上の所定位置に載置するので、プリア
ライメント専用の装置が不要となり生産ラインのスペー
ス効率が向上する。
トにより基板を把持し、その基板を所定の方向で次段の
ステージ上の所定位置に載置するので、プリアライメン
ト専用の装置が不要となり生産ラインのスペース効率が
向上する。請求項２に記載の発明によれば、基板の搬送
と同時にプリアライメントを行ない、基板を所定の方向
で次段のステージ上の所定位置に載置するので、プリア
ライメント専用の装置が不要となり生産ラインのスペー
ス効率が向上する。
【図１】本発明による基板搬送装置の一実施の形態を示
す斜視図。
す斜視図。
【図２】図１に示す実施の形態の基板搬送装置の断面
図。
図。
【図３】図１に示す実施の形態の基板搬送装置によるプ
リアライメントを説明する上面図。
リアライメントを説明する上面図。
【図４】図１に示す実施の形態の基板搬送装置により基
板の形状を検出する方法を説明する図。
板の形状を検出する方法を説明する図。
【図５】図１に示す実施の形態の基板搬送装置の全体構
成を示す図。
成を示す図。
【図６】図１に示す実施の形態の基板搬送装置における
シーケンスを示すフローチャート。
シーケンスを示すフローチャート。
【図７】従来のプリアライメント方法を説明する図。
１ レール ２ 摺動部 ３ ロボットアーム ４ 照明装置 ５ 光学センサアレイ ６ ウエハ ７ ステージ ３１ 第１のアーム ３２ 第２のアーム ３３ 第３のアーム ３３Ａ ハンド ＢＡ 基部 Ｃ 制御装置
Claims (8)
- 【請求項１】 基部と、前記基部に設けられた旋回軸を
中心に旋回可能に取付けられた多関節アームと、前記ア
ームに取付けられたハンドとを備えるロボットを用いて
基板を搬送する基板搬送方法において、 前記ロボットのハンドで基板を把持し、前記基板を前記
基部の旋回軸上に移動させるように前記ロボットのアー
ムを操作し、前記ハンドに把持された前記基板と前記ハ
ンドとの間の相対位置および相対角度を検出し、検出し
た前記相対角度に基づいて前記基板の向きを最終位置で
所定方向に向くように前記アームを操作するとともに前
記相対位置に基づいて前記基板が所望の位置に載置され
るように次段のステージを所定位置で待機させて前記基
板を前記ステージに受け渡すことを特徴とする基板搬送
方法。 - 【請求項２】 基部と、 前記基部に設けた旋回軸を中心として旋回可能に取付け
られた多関節アームと、 前記多関節アームに取付けられ基板を把持するハンド
と、 前記ハンドに把持された前記基板と前記ハンドとの間の
相対位置および相対角度を検出する検出手段と、 前記ハンドで基板を把持し、前記基板を前記基部の旋回
軸上に移動させるように前記アームを操作し、前記検出
手段により前記ハンドに把持された前記基板と前記ハン
ドとの間の相対位置および相対角度を検出し、検出した
前記相対角度に基づいて前記基板の向きを最終位置で所
定方向に向くように前記アームを操作するとともに前記
相対位置に基づいて前記基板が所望の位置に載置される
ように次段のステージを所定位置で待機させて前記基板
を前記ステージに受け渡すように制御する制御装置とを
備えることを特徴とする基板搬送装置。 - 【請求項３】 前記検出手段は所定間隔で配置された複
数の光学センサと、 前記光学センサの検出スポットを前記基板のエッジ上で
走査する走査手段とを備えることを特徴とする請求項２
に記載の基板搬送装置。 - 【請求項４】 前記基板を挟んで前記光学センサと対向
する側に前記旋回軸を中心とするリング状の照明装置を
備えることを特徴とする請求項３に記載の基板搬送装
置。 - 【請求項５】 前記検出手段は前記基部の旋回軸上に移
動された前記基板に向けて取付けられたＣＣＤカメラ
と、 前記基板を照明する、前記旋回軸を中心とするリング状
の照明装置とを備えることを特徴とする請求項２に記載
の基板搬送装置。 - 【請求項６】 前記照明装置は前記基板を挟んで前記Ｃ
ＣＤカメラと対向して設けられていることを特徴とする
請求項５に記載の基板搬送装置。 - 【請求項７】 前記ＣＣＤカメラにより前記基板に付さ
れた識別記号を読取るようにしたことを特徴とする請求
項５または６に記載の基板搬送装置。 - 【請求項８】 前記検出手段により求められた前記相対
角度に基づいて回転され前記所定の方向に向けられた前
記基板に付された識別記号を撮影する２次元カメラを備
えることを特徴とする請求項２〜７のいずれか１項に記
載の基板搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8088205A JPH09283604A (ja) | 1996-04-10 | 1996-04-10 | 基板搬送方法および基板搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8088205A JPH09283604A (ja) | 1996-04-10 | 1996-04-10 | 基板搬送方法および基板搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09283604A true JPH09283604A (ja) | 1997-10-31 |
Family
ID=13936409
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8088205A Pending JPH09283604A (ja) | 1996-04-10 | 1996-04-10 | 基板搬送方法および基板搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09283604A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002151576A (ja) * | 2000-07-27 | 2002-05-24 | Applied Materials Inc | ウェハ処理ロボット用の、基板搬送時の中心検出及びノッチ整列装置 |
| US6577382B2 (en) | 1997-12-03 | 2003-06-10 | Nikon Corporation | Substrate transport apparatus and method |
| US6845292B2 (en) | 2001-02-20 | 2005-01-18 | Tokyo Electron Limited | Transfer apparatus and method for semiconductor process and semiconductor processing system |
| KR20230023235A (ko) * | 2021-08-10 | 2023-02-17 | 세메스 주식회사 | 기판 이송 어셈블리 및 방법 |
-
1996
- 1996-04-10 JP JP8088205A patent/JPH09283604A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6577382B2 (en) | 1997-12-03 | 2003-06-10 | Nikon Corporation | Substrate transport apparatus and method |
| JP2002151576A (ja) * | 2000-07-27 | 2002-05-24 | Applied Materials Inc | ウェハ処理ロボット用の、基板搬送時の中心検出及びノッチ整列装置 |
| US6845292B2 (en) | 2001-02-20 | 2005-01-18 | Tokyo Electron Limited | Transfer apparatus and method for semiconductor process and semiconductor processing system |
| KR20230023235A (ko) * | 2021-08-10 | 2023-02-17 | 세메스 주식회사 | 기판 이송 어셈블리 및 방법 |
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