JPH0997442A - 光ピックアップ及び相変化型光ディスク用の光ピックアップ - Google Patents

光ピックアップ及び相変化型光ディスク用の光ピックアップ

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JPH0997442A
JPH0997442A JP25315995A JP25315995A JPH0997442A JP H0997442 A JPH0997442 A JP H0997442A JP 25315995 A JP25315995 A JP 25315995A JP 25315995 A JP25315995 A JP 25315995A JP H0997442 A JPH0997442 A JP H0997442A
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light
optical
optical pickup
hologram
film
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JP25315995A
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Masanori Era
正範 江良
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Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 反射型ホログラムの反射率について光の入射
角依存性が低く、更に膜厚に対する依存性も非常に低
い、従って入射してきた光をほぼ100%反射でき、透
過光を大幅に減らすことができる、従って光の利用効率
の高い光ピックアップ及び相変化型光ディスク用の光ピ
ックアップを提供することを目的としている。 【構成】 反射型のホログラム50の裏面に形成される
反射膜52を金属膜にするという構成を有している。更
に比較的はがれやすい反射膜52を保護するために金属
膜の裏側に更に誘電体膜等の保護膜53を形成して金属
膜がはがれないようにする。さらにそれらを反射膜とし
て利用し、反射型ホログラム50を複合光学素子とする
という構成を有している。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、光素子、光ディスク等
への情報の記録又は再生を行う光ピックアップ及び相変
化型光ディスク用の光ピックアップに関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】近年、光ピックアップの小型化を目標と
した集積型の光ピックアップ素子が開発されており、実
用化に供しようとしている。図16は従来の光ピックア
ップの構成図である。501は、半導体レーザー等から
なる光源である。光源501から出射された光は光ガイ
ド部材505に入射する。そして光ガイド部材505の
内部に設けられた光学素子によって、所定の特性を有す
る光に変換され、光ガイド部材505から出射される。
この出射光は次に対物レンズ526に入射し、その後記
録媒体529上にフォーカスし、記録媒体529中に形
成されている情報記録面529aに記録されているデー
タによって、その性質を若干変化させて反射され、反射
光となる。この反射光は再び対物レンズ526に透過
し、光ガイド部材505に入射し、その後光ガイド部材
505に設けられている光学部材によりその光路を複数
に分割されながら受光素子513に導かれ所定の信号を
検出するものである。
【0003】このとき光ガイド部材505に設けられて
いる光学部材の中には、ホログラムが設けられているこ
とが多い。図17はこのようなホログラムの構成として
反射型のホログラムを例にとって示したもので、従来の
ホログラムの断面図である。507は4段のステップを
持つ階段形状をしたホログラムである。この反射型ホロ
グラム507はガラス等で構成されている基板508上
にエッチングやイオンビームミリング等の方法で形成さ
れることが多い。そしてこの反射型ホログラム507
は、光ガイド部材505の構成上反射型である必要があ
るので、その裏面に誘電体膜を単層形成するかもしくは
屈折率の異なる層を複数形成し、これを反射膜509と
していた。またこの反射膜509は膜厚による反射率の
変化が大きいので、これを形成する際にはできるだけ均
一な膜厚とするために反射型ホログラム507のステッ
プの傾斜方向と反対側に基板508を所定の角度傾けて
製膜していた。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従
来の構成で反射膜509として用いられていた誘電体膜
の特性は光の入射角度に大きく依存している。即ち反射
型ホログラム507に入射する光の角度が少しでも設計
値から外れると反射率が低下して、透過率が増加するの
である。反射型ホログラム507に入射する光は当然に
ある程度の拡散角を持って入射するので入射する光の角
度は一様ではない。従って入射してきた光を良好に反射
することができないという問題点を有していた。
【0005】また誘電体膜を反射膜509として用いて
いる反射型ホログラム507では、光の入射角と同様に
反射膜509の膜厚も大きな問題点となる。即ち、反射
膜509による反射率は膜厚に大きく依存している。従
って反射型ホログラム507の裏側に誘電体の反射膜5
09を形成する場合には、できるだけ均一な膜を形成す
るために膜厚モニター装置等を用いて膜厚の制御を行っ
ていた。それでも特に上記例の様に反射型ホログラム5
07が階段状に形成されている場合には、段差上に均一
な膜厚で反射膜509を形成することは非常に困難であ
るという問題点を有していた。
【0006】さらには均一の膜厚の反射膜509を製膜
するために基板508を所定の角度傾斜させてエッチン
グ装置等に取り付けなければならず、非常に手間がかか
ると共に製造工程の増加を招き、結果コストの上昇につ
ながっていた。
【0007】本発明は上記課題を解決するもので、反射
型ホログラムの反射率について光の入射角依存性が低
く、更に膜厚に対する依存性も非常に低い、従って入射
してきた光をほぼ100%反射でき、透過光を大幅に減
らすことができる、従って光の利用効率の高い光ピック
アップを提供することを目的としている。
【0008】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、反射型ホログラムの裏面に形成される反射膜を金属
膜にするという構成を有している。更に比較的はがれや
すい金属膜を保護するために金属膜の裏側に更に誘電体
膜等の保護膜を形成して金属膜がはがれないようにす
る。さらにそれらを反射膜として利用し、反射型ホログ
ラムを複合光学素子とするという構成を有している。
【0009】
【作用】この構成により、ホログラムに入射してきた光
の反射率を増加させ、逆に光の透過率を低下させること
ができる。更に反射膜をはがれ難くすることができる。
【0010】
【実施例】以下本発明の第一実施例における光ピックア
ップのパッケージングについて図を参照しながら説明す
る。
【0011】図1及び図2はともに本発明の第一実施例
における光ピックアップのパッケージングの構成を示す
断面図である。
【0012】1は光源で、光源1としては半導体レー
ザ,He−Ne等のガスレーザ等の各種レーザが考えら
れる。ここではこれらの中で最も小型で装置全体を小型
化でき、しかも単価の安い数mW〜数十mW程度の出力
を有する半導体レーザを用いる事が好ましい。半導体レ
ーザの材質としてはAlGaAs,InGaAsP,I
nGaAlP,ZnSe,GaN等が考えられ、ここで
は最も一般的に用いられており、安価なAlGaAsを
用いた。さらに高密度記録を行う場合には記録媒体上で
のスポット径をより小さくすることができ、AlGaA
sよりもさらに波長の短いInGaAlPやZnSe等
の半導体レーザを用いることが好ましい。
【0013】2はサブマウントで、サブマウント2はそ
の形状が直方体状若しくは板形状で、その上面には光源
1が取り付けられている。このサブマウント2は光源1
を載置するとともに、光源1で発生した熱を逃がす働き
を有している。サブマウント2と光源1との接合には熱
伝導率等を考慮するとAu−Sn,Sn−Pb,Sn−
Pb−In等の箔(厚さ数μm〜数十μm)を高温で圧
着する方法を用いることが好ましい。また光源1とサブ
マウント2は略水平に取り付けなければ光学系の収差や
結合効率の低下等の原因になる。従って接合の際には光
源1はサブマウント2に所定の位置に所定の高さで略水
平にマウントされることが好ましい。さらにサブマウン
ト2の上面には光源1の下面と電気的に接触するように
電極面2aが設けられている。この電極面2aは光源1
の電源供給用のもので、電極面2aを構成する金属膜と
しては導電性や耐食性を考慮してAuの薄膜を用いるこ
とが好ましい。更にサブマウント2は、光源1で発生す
る熱や光源1との取付等の問題から、熱伝導性が高く、
かつ、線膨張係数が光源1のそれ(約6.5×10 -6
℃)に近い材質が好ましい。具体的には線膨張係数が3
〜10×10-6/℃で、熱伝導率が100w/mK以上
である物質、例えばAlN,SiC,T−cBN,Cu
/W,Cu/Mo,Si等を、特に高出力のレーザを用
いる場合で熱伝導率を非常に大きくしなければならない
ときにはダイアモンド等を用いることが好ましい。光源
1とサブマウント2の線膨張係数が同じか近い数値とな
るようにした場合、光源1とサブマウント2の間の歪み
の発生を抑制することができるので、光源1とサブマウ
ント2との取付部分が外れたり、光源1にクラックが入
る等の不都合を防止することができる。しかしながら本
範囲を外れた場合には、光源1とサブマウント2の間に
大きな歪みが生じてしまい、光源1とサブマウント2と
の取付部分が外れたり、光源1にクラック等を生じる可
能性が高くなる。またサブマウント2の熱伝導率をでき
るだけ大きく取ることにより、光源1で発生する熱を効
率よく外部に逃がすことができる。しかしながら熱伝導
率が本限定以下の場合には、光源1で発生した熱が外部
に逃げ難くなるため、光源1の温度が上昇し、光源1の
出力が低下したり、光源1の寿命が短くなったり、最悪
の場合には光源1が破壊されてしまう等の不都合が発生
しやすくなる。本実施例では比較的安価で、これらの2
つの特性のどちらにも非常に優れたAlNを用いた。更
にサブマウント2の上面には光源1との接合性を良くす
るために、サブマウント2から光源1に向かってTi,
Pt,Auの順に薄膜を形成することが好ましい。
【0014】3はブロックで、ブロック3は基本的には
直方体形状でその側面に大きな突起部3aを有してお
り、上面にはサブマウント2が取り付けられている。こ
のブロック3もまたサブマウント2と同様に、光源1で
発生する熱やサブマウント2との取付等の問題から、熱
伝導性が高く、かつ、線膨張係数がサブマウント2に近
い材質、例えばサブマウント2の材質例で示したもの以
外にMo,Cu,Fe,コバール,42アロイ等を用い
ることが好ましい。しかしながらこれらの特性値の要求
はサブマウント2に比べるとそれほど厳しくはないの
で、コストを重視して選択する方が好ましい。ここでは
AlNに比べて非常に安価で、これらの特性に比較的優
れたCu,Mo等の材料でブロック3を形成した。また
ブロック3とサブマウント2との接合には熱伝導率等を
考慮すると、やはりサブマウント2と光源1の場合と同
様に、多少高価ではあるがAu−Sn,Sn−Pb,S
n−Pb−In等の箔(厚さ数μm〜数十μm)を高温
で圧着することが好ましい。
【0015】4は放熱板で、放熱板4は、光源1で発生
し、伝導によりサブマウント2,ブロック3を通って伝
わってきた熱を外部に放出する働きを有するとともに、
光ピックアップを形成する種々の部材が載置され、パッ
ケージングの基板となるものである。また放熱板4には
調整用の孔4aが設けてある。ブロック3はロウ付け,
半田箔等により放熱板4の上面に固定される。放熱板4
の材質としては、熱伝導性が高いCu,Al,Fe等が
考えられる。
【0016】なおここではサブマウント2とブロック3
とを別体で形成していたが、光源1の出力が高く、これ
らの部材により高い熱伝導性が要求される場合には、熱
伝導性を良くするためにこれらの部材を一体で形成する
ことが好ましい。この場合それらの材質は、AlN等の
熱伝導性が非常に高いものを用いることが好ましい。
【0017】またブロック3はサブマウント2よりも大
きくして、放熱板4との接触面積を大きく取ることが望
ましい。
【0018】また光源1には光軸に関して高い精度が要
求されるので、サブマウント2の上面は高い精度で水平
であることが好ましい。従ってサブマウント2,ブロッ
ク3及び放熱板4の取り付けについても細心の注意を払
うことが好ましい。
【0019】5は光ガイド部材で、光ガイド部材5は直
方体形状をしており、その内部には複数の斜面及びそれ
らの斜面上に形成された各種膜を有しており、光源から
射出された光を出射するとともに、戻ってきた光を所定
の位置に導く働きを有している。また光ガイド部材5は
その側面でブロック3の突起部3aの端面部3bに接着
されている。これに用いられる接合材には大きな接着強
度,任意の瞬間に固定できる作業性,硬化前と硬化後の
体積の変化や温度・湿度の変化による体積の変化が小さ
い即ち低収縮率等の条件が要求され、これらを満たすこ
とにより作業性及び接合面の安定性等を向上させること
ができる。この様な接合材としてここでは紫外線を照射
することにより瞬時に硬化するUV接着剤を用いた。ま
た吸湿硬化型の瞬間接着剤を用いても良い。更に十分な
取り付け強度を持つようにするためにブロック3と光ガ
イド部材5の間の接触面積(S)はS>1mm2とする
ことが好ましい。
【0020】13は受光素子で、受光素子13は板形状
の半導体ウェハーに形成された各種の電気回路で構成さ
れており、光ガイド部材5の底面に取り付けられてい
る。取付の際には放熱板4に設けられた孔4aを用いて
位置の調整を行う。受光素子13と光ガイド部材5との
取り付けについては、大きな接着強度,任意の瞬間に固
定できる作業性,硬化前と硬化後の体積の変化や温度・
湿度による体積の変化が小さい即ち低収縮率等の条件が
要求され、これらを満たすことにより、作業性、接合面
の安定性が向上する。この様な接合材としてここでは紫
外線を照射することにより瞬時に硬化するため特に作業
性が良好なUV接着剤を用いた。なお吸湿硬化型の瞬間
接着剤を用いても良い。また受光素子13は光源1から
出射され、光ガイド部材5や記録媒体等で反射されて戻
ってきた光信号を受光する受光部を複数有している。こ
の受光部で検知された光信号は、その光量に応じて電気
信号に変換される。この電気信号は変換当初は電流値の
大きさである。しかしながらこの電流は非常に微弱であ
り、かつノイズを拾いやすいというデメリットがある。
このためここでは受光素子13として、電流値を相関す
る電圧値に変換して増幅する働きを持つI−Vアンプが
形成されているものを用いることが好ましい。ただし光
の入射周波数に対して出力電圧の応答が良好であること
が要求される。更に受光素子13の表面には受光した情
報を信号として取り出すためのAl等の薄膜で構成され
た複数の電極13aが設けてある。
【0021】14はパッケージで、パッケージ14は、
放熱板4の上面に前述のブロック3や光ガイド部材5,
受光素子13等を囲むように設けられており、その内部
には受光素子13からの電気信号取り出しや光源1の電
源供給等に用いられるリードフレーム14aがモールド
されている。このパッケージ14の形状は中央部がくり
貫かれた直方体形状をしており、更にリードフレーム1
4aがモールドされている側のパッケージ14の内面に
はリードフレームの足14bを露出するように段差14
cが設けてある。なおパッケージ14の形状については
円筒形等であっても構わない。そして受光素子13から
の電気信号を取り出すためにパッケージ14に設けられ
た段差14cに露出しているリードフレームの足14b
と受光素子13の表面に設けられている複数の電極13
aとをAuやAl等で形成されたワイヤ14dでワイヤ
ボンディングにより接続している。また光源1の電源供
給のため、光源1の上面とパッケージ14に設けられた
段差14cに露出しているリードフレームの足14bと
をワイヤ14dでボンディングし、更にサブマウント2
の上面に光源1の下面と電気的に接触するように設けら
れている電極面2aとパッケージ14に設けられた段差
14cに露出しているリードフレームの足14bとを同
じくワイヤ14dでワイヤボンディングすることにより
接続している。パッケージ14の材質としては、低吸水
性や低アウトガス性などに優れていることが求められる
が、ここではICモールドとしては最も一般的なエポキ
シ樹脂等の熱硬化性の樹脂を用いている。またリードフ
レーム14aの材質としてはCu,42アロイ,Fe等
の金属にAgやAu等をメッキしたものを用いることが
多い。ここではCuにNiメッキをし、その上にAuメ
ッキを施したものを用いた。更にパッケージ14と放熱
板4との間の取り付けには、大きな接着強度,低い吸水
性,高い気密性(低いリーク特性)等の性質を有する接
合材を用いる。これにより接合面,接合位置の安定性を
向上させ、光ピックアップのパッケージング内部への不
純物の混入を防止することができる。ここではこれらの
特性に優れ、安価なエポキシ系接着剤を用いた。
【0022】15はシェルで、シェル15もまたパッケ
ージ14と同様に直方体の中心部をくり貫いたような外
形をしており、その水平方向の断面はパッケージ14の
それとほぼ同一形状をしている。またその材質にはパッ
ケージング内部への不純物混入を防止する意味で、低吸
水性や低アウトガス性等の特性が求められる。ここでは
それらの特性に優れたポリプチレンテレフタレート(以
下PBTとする)を用いた。ただし、特に強度や寸法精
度等に優れた特性が要求される場合には、PBTよりも
高価ではあるがこれらの特性に優れたLCPを用いても
良い。そしてシェル15とパッケージ14との接着は、
前述のパッケージ14と放熱板4との取り付けと同様の
理由で、エポキシ系接着剤を用いた。なおこのシェル1
5を用いる代わりにパッケージ14の側壁部分の高さ
を、光ガイド部材5よりも高くなるようにして代替して
も良い。
【0023】16はカバー部材で、カバー部材16は光
ガイド部材5や受光素子13等にごみ,ほこり等が付着
するのを防止するもので、シェル15の上面にエポキシ
系の接着剤により取り付けられている。またカバー部材
16の材質としては、BK−7,FK−1,K−3等の
ガラスや、ウレタン,ポリカーボネート,アクリル等の
光透過率の高い樹脂等を用いることがことが好ましい。
更にカバー部材16の上下両面には反射防止のために反
射防止膜16aを形成することが好ましい。この反射防
止膜16aはMgF2等の材質で形成することが好まし
い。
【0024】このカバー部材16と光ガイド部材5との
位置関係は、両者を接触させる場合と両者の間に空間を
設ける場合とが考えられる。両者を接触させる場合、光
ガイド部材5はカバー部材16の底部にエポキシ系の接
着剤やUV接着剤等で取り付けられる。この時のカバー
部材16の厚さ(t1)を0.3≦t1≦3.0(m
m)とすることが好ましい。この理由は、下限について
はこれ以上薄くすると取り付けられている光ガイド部材
5等の重さや、接着剤が固まる際の張力等にカバー部材
16が耐えられず破損する恐れがあるためである。また
上限については、カバー部材16は空気に比べて屈折率
が大きいため光に収束作用が生まれ、光が広がらないの
で、結果としてカバー部材16とコリメータレンズ(無
限系光学系の場合)或いは対物レンズ(有限系光学系の
場合)との距離を長くせざるを得なくなってしまい、ピ
ックアップユニットの小型化に不利になるからである。
この様な構成を用いることにより光ピックアップの高さ
をより低くでき、十分な取付強度を保ちながらもピック
アップユニットを小型化することができる。
【0025】これに対して両者の間に空間を設ける場合
は、カバー部材16の厚さ(t2)を0.1≦t2≦
3.0(mm),カバー部材16と光ガイド部材5との
間の距離(d)を同じく0.1≦d≦3.0(mm)と
することが好ましい。この理由はt2の下限については
前例とは違って光ガイド部材5が取り付けられておら
ず、ただ振動等の外部要因にさえ耐えられればよいから
である。またdについては、小さければ小さい程良いの
だが、組立時の精度の誤差を0.1mm以下にできない
可能性があり、この場合組立時にカバー部材16が光ガ
イド部材5に接触し、破損してしまう恐れがある。この
様な構成を用いることにより光ガイド部材5と、光源
1,サブマウント2,ブロック3の間の取り付け相対位
置精度を向上させつつブロック3若しくはサブマウント
2を他の部材に熱的に接触させることが可能であり、こ
れにより光源1で発生する熱を外部に容易に放出するこ
とができる。
【0026】なお光ピックアップの内部は光源1及び受
光素子13の酸化防止や光ガイド部材5,カバー部材1
6での結露防止等の観点から、N2等のガスやAr,N
e,He等の不活性ガスを充填することが好ましい。そ
の場合、放熱板4と受光素子13との間に存在する隙間
17を小さな収縮率,低い吸水性,高い気密性(優れた
リーク特性)等の特性を有する接合材、例えばエポキシ
系のポッティング剤や半田等で埋める必要がある。これ
により内部の気密性を高めることができる。
【0027】以上示してきた構成を用いることにより、
光源1で発生する熱を容易に外部に放出することがで
き、更にパッケージングの両端面に計2個所の開口部を
設けることにより、酸化防止ガスの封入を容易に行うこ
とができる。また光学系においては光源1,光ガイド部
材5及び受光素子13の相対的な位置関係を正しくかつ
強固に保持することができるので、それらの位置のずれ
による誤動作や余分な光学的収差等が発生しない。
【0028】またこの光ピックアップのパッケージング
全体での熱抵抗は35℃/W以下とすることがより効率
よく熱をパッケージ外に逃がすことができるので好まし
い。次に本発明の第一実施例における光ピックアップの
動作について、図面を参照しながら説明する。図3は本
発明の一実施例における光ピックアップの動作の概念
図、図4は本発明の第一実施例における光ガイド部材の
斜視図である。
【0029】図3及び図4において放熱板4上にサブマ
ウント2及びブロック3を介して水平にマウントされた
光源1から水平に放出されたレーザ光は、平行な複数の
斜面を有する光ガイド部材5の面5fから光ガイド部材
5に入射し、光ガイド部材5の第二の斜面5bに形成さ
れかつ入射する光の拡散角に対して射出する光の拡散角
を変換する(以下NAを変換すると呼ぶ)機能を有する
反射型の拡散角変換ホログラム7に到達する。拡散角変
換ホログラム7によってNAを変換されかつ反射した光
は第一の斜面5aに形成された反射型の回折格子6によ
って0次回折光(以下メインビームと呼ぶ)と±1次回
折光(以下サイドビームと呼ぶ)とに分けられる。回折
格子6によって発生するメインビーム及びサイドビーム
は第1の偏光選択性のあるビームスプリッター膜9(以
下単に第一のビームスプリッター膜と呼ぶ)に入射す
る。第一のビームスプリッター膜9は入射面に対して平
行な振動成分を有する光(以下単にP偏光成分と呼ぶ)
に対してほぼ100%の透過率を有し、垂直な振動成分
(以下単にS偏光成分と呼ぶ)に対しては一定の反射率
を有する。第一のビームスプリッター膜9に入射する光
のうち第一のビームスプリッター膜9を透過する光は光
源1からの射出光のモニター光として利用される。ま
た、第一のビームスプリッター膜9で反射されたS偏光
成分に直線偏光したメインビーム及びサイドビームは、
光ガイド部材5の面5e及びカバー部材16を透過、対
物レンズ26に入射し、対物レンズ26の集光作用によ
って記録媒体27の記録媒体面27aに結像される。こ
の時、記録媒体面27a上において2つのサイドビーム
のビームスポット29a及び29cはメインビームのビ
ームスポット29bを中心としてほぼ対称な位置に結像
される。記録媒体面27aに対してメインビーム及びサ
イドビームのビームスポット29b及び29a、29c
により情報の記録または再生信号及びトラッキング、フ
ォーカシングいわゆるサーボ信号の読みだしを行う。
【0030】拡散角変換ホログラム7は、光源1からの
射出光のうち拡散角変換ホログラム7へ入射することの
できる光束の拡散角に対して、拡散角変換ホログラム7
からの反射光の拡散角を変換する。また、拡散角変換ホ
ログラム7によって拡散角をまったく持たない平行光に
も変換可能である。また、同じ拡散角変換ホログラム7
によって図3に示されるように光ガイド部材5射出後の
光束が途中経路で積算された波面収差が取り除かれた理
想球面波30となる。したがって、対物レンズ26への
入射光は理想球面波30となり、対物レンズ26による
記録媒体27でのビームスポットはほぼ回折限界まで絞
り込まれ理想的な大きさとなり、情報の記録または再生
を容易に行うとができる。
【0031】記録媒体27の情報記録面27aによって
反射されたメインビーム及びサイドビームの戻り光は対
物レンズ26、光ガイド部材5の面5eを再び通過し、
光ガイド部材の第二の斜面5bに形成された第一のビー
ムスプリッター膜9に入射する。
【0032】記録媒体27からの戻り光のうち第一のビ
ームスプリッター膜9から透過する光は光ガイド部材5
の第一の斜面5aに平行な第3面105c上に形成され
た第2の偏光選択性のあるビームスプリッター膜11
(以下単に第二のビームスプリッター膜と呼ぶ)に入射
する。第二のビームスプリッター膜11は第一のビーム
スプリッター膜9と同様にP偏光成分に対してほぼ10
0%の透過率を有し、S偏光成分に対しては一定の反射
率を有する。
【0033】ここで第二のビームスプリッター膜11に
入射した光束の内、透過光117に関して説明する。透
過光117は第三の斜面5c上に積層された偏光面変換
基板31に入射する。
【0034】図5は本発明の第一実施例における偏光面
変換基板の斜視図、図6は本発明の第一実施例における
光ピックアップの受光部配置及び信号処理を示す図であ
る。偏光面変換基板31は第1のその他の斜面31a
(以下単に第1他斜面と呼ぶ)とその第1他斜面31a
に略平行な第2のその他の斜面31b(以下単に第2他
斜面と呼ぶ)を有し、第1他斜面31aには反射膜12
6が、第2他斜面31bには偏光分離膜12が夫々形成
されている。透過光117は第2他斜面31b上に形成
された偏光分離膜12に入射する。第2他斜面31bは
透過光117の偏光面117aと入射面128とのなす
角が略45×(2n+1)゜:(nは整数)になるよう
に形成されている。その結果透過光117のP偏光成分
117pとS偏光成分117sは略1:1の強度比を有
するようになる。入射面128と平行な偏光成分を有す
るP偏光成分117pは偏光分離膜12によってほぼ1
00%透過し、一方、入射面128に垂直な偏光成分を
有するS偏光成分117sは第2他斜面31b上の偏光
分離膜12によって略100%反射し第1他斜面31a
面上に入射し、反射膜126によって反射され受光素子
13へ導かれる。受光素子13に導かれたP偏向成分1
17pは受光部170へ、同じくS偏向成分は受光部1
71へ到達してRF信号を作成する。
【0035】次に図3中に示す第二のビームスプリッタ
ー膜11に入射した光束のうち反射光123に関して説
明する。反射光123は第二の斜面5b上の反射型のホ
ログラムで形成された非点収差発生ホログラム10に入
射する。反射光123は非点収差発生ホログラム10に
よって非点収差を発生しつつ、さらに反射膜124,反
射膜125で反射されて、メインビームの戻り光は受光
素子13上の受光部172に、サイドビームの戻り光は
受光素子13上の受光部176及び177に到達する。
【0036】次に本発明の第二実施例について図を参照
しながら説明する。第二実施例は、特に相変化型光ディ
スクに対応した光ピックアップの構成について説明する
ものである。相変化型光ディスクは光を照射することで
記録媒体中の結晶構造を変化させて情報を記録するもの
で、結晶構造を変化させるために従来の光記録再生装置
に比べてより多くの光量を必要とするので、より効率の
良い光学系を必要とする。図7は本発明の一実施例にお
ける相変化型光ディスク用の光ピックアップの構成図で
ある。なお図1,図2及び図3に示したものと番号が同
一の部材については、その働き及び構成が同様であるの
で説明を省略する。
【0037】光源1から放出されたレーザ光は、平行な
複数の斜面を有する光ガイド部材41の面41fから光
ガイド部材41に入射し、拡散角変換ホログラム7、回
折格子6及び偏光選択性のあるビームスプリッター膜3
5(以下ビームスプリッター膜と呼ぶ)を通って光ガイ
ド部材41の面41eから出射される。ここでビームス
プリッター膜35は第一実施例の場合とは異なりS偏光
成分の反射率は95%以上でP偏光成分の反射率はおよ
そ1%程度である。ビームスプリッター膜35に入射す
る光のうちビームスプリッター膜35を透過する光(P
偏光成分で全光量のの数パーセント程度)は光源1から
の射出光のモニター光として利用される。光ガイド部材
41の面41eから出射された光はカバー部材16に設
けられたλ/4板33を透過する。図8はλ/4板33
の概観図である。λ/4板33は光ガイド部材41から
の入射光偏光面に対して、その異常光軸がπ/4・(2
m−1);(ただしmは自然数:以下同じ)の方向に設
置されており、入射光の異常光成分と常光成分の位相差
をπ/2・(2m−1)だけ発生させる機能を有してい
る。λ/4板33を構成する材料としては一般に一軸性
結晶材料を用いる。その中でも低コストで、光透過性に
優れた水晶を用いることが好ましい。一軸性結晶では異
常光軸616と常光軸617があり、それぞれの光軸に
対して異常光屈折率ne及び常光屈折率noと呼ばれる異
なる屈折率を有している。異常光と常光では光学的距離
が異なるので、λ/4板33の基板厚をQD,入射光波
長をλとして次の関係式で決まる位相差Δが発生する。
λ/4板33の厚さQDはこの位相差Δがπ/2・(2
m−1)となるように決定されている。
【0038】Δ=2π・(ne−no)・QD/λ 本実施例では、波長λ=790nm、異常光屈折率ne
=1.5477、常光屈折率no=1.5388(ただ
し屈折率は基板の切り出し角で異なる。ここでは異常光
軸及び常光軸の双方の軸を含む平面に平行に切り出し
た。)という条件に対してλ/4板33の基板厚は2
1.9・(2m−1)μmとなる。この様な条件にする
ことにより、直線偏光で入射角0度で入射してきた光を
円偏向の光に変換することができる。即ち光源1から出
射されたS偏向成分のみを含む直線偏光を円偏光に変換
することができる。なおここではλ/4板33としてカ
バー部材16上に21.9μmの水晶を設けていたが、
光ガイド部材の面41eや対物レンズ26に設けること
もある。
【0039】λ/4板33を透過して円偏向となった光
は対物レンズ26に入射し、対物レンズ26の集光作用
によって記録媒体27の記録媒体面27aに結像され、
反射される。記録媒体面で反射された円偏光化した光は
その回転方向が逆転するので、戻り光は対物レンズ26
を透過し、再びλ/4板33を透過する際に、P偏光成
分のみを含む直線偏光に変換される。この様に変換され
た戻り光は光ガイド部材41の面41eを再び通過し、
再び光ガイド部材の第二の斜面41bに形成されたビー
ムスプリッター膜35に入射する。前述のようにビーム
スプリッター膜35はP偏光成分に対してほぼ100%
の透過率を有し、S偏光成分に対してはほぼ100%の
反射率を有する。従ってP偏光成分しか有さない戻り光
はビームスプリター膜35をほぼ透過する。
【0040】そして戻り光は光ガイド部材41の第一の
斜面41aに平行な第3面41c上に形成されたハーフ
ミラー34に入射する。ハーフミラー34は入射した光
のうち所定の量を反射して、残りを透過する働きを有し
ている。
【0041】ここでハーフミラー34に入射した光束の
内、透過光117は受光素子36上に設けられている受
光部37へ導かれる。
【0042】次に図3中に示すハーフミラー34に入射
した光束のうち反射光123に関して説明する。図9は
本発明の一実施例における相変化型光ディスク用の光ピ
ックアップの受光素子に設けられた受光部の配置図であ
る。反射光123は第二の斜面41b上の反射型のホロ
グラムで形成された非点収差発生ホログラム10に入射
する。反射光123は非点収差発生ホログラム10によ
って非点収差を発生しつつ、さらに反射膜124,反射
膜125で反射されて、メインビームの戻り光は受光素
子36上の受光部38に、サイドビームの戻り光は受光
素子36上の受光部39及び40に到達する。
【0043】以上のような構成を有する光ピックアップ
ではλ/4板をビームスプリッター膜35と記録媒体2
7との間に設け、S偏光成分の直線偏光である出射光を
円偏光化した光に変換し、その後記録媒体27で反射さ
れ回転方向が逆転した円偏光化した光をP偏光成分のみ
を有する直線偏光に変換してビームスプリッター膜35
に入射させることにより記録媒体27で反射された光を
ほぼ100%受光素子36上に導くことができるので、
ビームスプリッター膜35のS偏光成分の反射率を大幅
に高くすることができ、従って記録媒体27に照射され
る光量を大きくすることができる。即ち限られた光源1
の出力を効率よく記録媒体27に照射でき、かつ、記録
媒体27からの反射光を効率よく受光素子37に導くこ
とができる。
【0044】次に第一実施例及び第二実施例における光
ガイド部材に設けられるホログラムについて図を参照し
ながら説明する。なおホログラムについては第一実施例
及び第二実施例は共にほぼ同様の構成を有しているの
で、ここではまとめて説明することとする。またどちら
の構成も複数のホログラムを含有しているが、本実施例
は、図3及び図7に示す拡散角変換ホログラム7及び非
点収差発生ホログラム10又はその他のホログラム(以
下これらを総称して単にホログラムと称す)に適用する
ことができる。
【0045】図10は本発明の第一実施例及び第二実施
例におけるホログラムの構成を示した断面図である。5
0はホログラムで、ホログラム50は基板51に形成さ
れており、好ましくはその外形形状を階段状として、そ
のステップ数を4段に、更に好ましくは8段にすること
がホログラムの性能を向上させ、かつ、斜面形状にする
よりもコストを低く抑えることができるので好ましい。
更に外形形状を鋸の歯状にすることによりホログラムの
性能を最高のものにすることができる。またホログラム
50は基板51上に直接設けても良いし、基板51上に
形成された基板51と屈折率のほぼ等しい誘電体薄膜上
に形成しても良い。後者のようにすると、誘電体薄膜は
基板51よりも軟らかい場合が多いので、ホログラム5
0をより容易に形成することができる。ホログラム50
の形成方法としては色々なものが考えられるが、エッチ
ング法やイオンビームミリング法等を用いるのが一般的
である。
【0046】基板51は光ガイド部材を構成する複数の
基板の内の一つである。この基板51はコバルコガラス
やBK−7等のガラス(主に光学ガラス)で構成される
ことが好ましい。
【0047】52は反射膜で、反射膜52はホログラム
50の光の入射面とは反対側の面に形成されており、ホ
ログラム50に入射してきた光を反射してホログラム5
0の外に射出する働きを有する。反射膜52を構成する
材料としてはAg,Al,Cu,Au等の90%以上の
高反射率を実現することのできる金属材料を用いること
が好ましい。これらの中でも、吸収係数が5.1程度
(波長790nmの光に対して)であるため極めて薄い
薄膜で高反射率を実現することができ、かつ、コスト面
にも非常に優れるAgを用いることが特に好ましい。ま
たこれらの金属材料にTi,Ta,Cr,Ni等の元素
を微量添加した材料を用いることが、耐食性を向上さ
せ、薄膜自体の剛性を向上させることができるので好ま
しい。
【0048】この様な材料で構成されている反射膜52
をその裏面に有するホログラム50について、その反射
率の反射膜厚依存性及び光の入射角依存性について、特
にAg薄膜を用いて行った実験の結果を(表1)及び
(表2)に示した。
【0049】
【表1】
【0050】
【表2】
【0051】まず入射角依存性について行った実験につ
いて説明する。光学ガラスBK−7上にANELVA社
製のイオンビーム蒸着装置EVC−1501を用いてA
g薄膜(膜厚0.1μm)を形成する。そしてこのAg
薄膜に任意の角度から光を入射させ、Ag薄膜で反射さ
れた光を測定する。測定光には波長790nmの光を用
いており、また反射率の測定には日立製の磁気分光光度
計U−4000を用いた。そしてこの実験の結果を(表
1)に示した。
【0052】(表1)から明らかなように本実施例のよ
うな構成を有する集積型の光ピックアップで用いられる
と考えられる範囲である20゜〜70゜の範囲において
は、Agで構成された反射膜は、その反射率について光
の入射角度に対する依存性をほとんど有していないこと
がわかる。従って本実施例のように、光が、光ガイド部
材中に設けられているホログラムにある程度任意の拡散
角を持って入射する様な、即ち入射角度が大きな範囲を
有しているような場合には、反射型ホログラム50の裏
面に用いる反射膜52を金属材料で形成することによ
り、入射角依存性をほとんどなくすことができ、ホログ
ラム50の性能を向上させることができると共に、ホロ
グラム50における光量の損失を最低限に抑えることが
できる。従って光源1の出力が従来のものよりも小さく
て済むので、出力の低い安価な光源を用いることがで
き、かつ、光源1における消費電力を低減することがで
きる。
【0053】次に反射率の膜厚依存性について行った実
験について説明する。図11は本実験の概略図を示して
いる。光学ガラスBK−7で構成されている45゜プリ
ズム60の三面を研磨し、その底面にAg薄膜61を任
意の膜厚に蒸着する。そしてこの45゜プリズムの側面
部に対して垂直に、Ag薄膜に対して45゜の角度で波
長790nmの光62を入射させる。そしてAg薄膜で
反射されて45゜プリズムの外に放出された光は測定用
のセンサー63に入射する。この実験を異なる膜厚を有
するAg薄膜について行う。このセンサで測定した結果
を(表2)に示している。なおこの結果は光がプリズム
に入射するとき及びプリズムから出射するときの光量の
損失についての補正をした後のものである。
【0054】(表2)から明らかなようにAg薄膜にお
いては、その膜厚が0.025μm以上ではほぼ一定し
た非常に高い反射率を示している。従って、反射型ホロ
グラム50の裏面に用いる反射膜52を金属材料で形成
し、かつ、その膜厚を0.025μm以上とすることに
より、反射膜52での光の反射率を安定したものにする
ことができ、ホログラム50の性能を向上させることが
できると共に、ホログラム50における光量の損失を最
低限に抑えることができる。従って複雑な形状のホログ
ラム上に成膜しても十分な反射効率を示し、かつ装置依
存性や成膜条件依存性の少ない、ばらつきの少ない反射
型ホログラムを形成できる。
【0055】次に反射膜52の周囲に更に薄膜を形成し
た場合について複数の実施例を挙げて説明する。
【0056】まず最初に反射膜52の周囲に誘電体膜を
形成する場合の実施例について説明する。図12は本実
施例におけるホログラムの断面図である。ホログラム5
0及び反射膜52の構造は前述のものと同様である。5
3は誘電体膜で、誘電体膜53は反射膜52の周囲もし
くは周囲及び表面を覆うものであり、反射膜を保護し、
かつ、比較的ガラス基板との接着力が弱い反射膜が光ガ
イド部材の組立作業中にはがれることを防止する働きを
有するものである。誘電体膜53の材質はSiO2,A
23,TiO2,MgF2等の光学的吸収がほとんどな
い誘電体材料を用いることが好ましい。そしてこの誘電
体膜53を単層で、もしくはこれらを組み合わせて多層
膜として製膜することが好ましい。製膜方法としては蒸
着やスッパッタリング等の方法を用いることが好まし
い。
【0057】ここで反射膜52、誘電体膜53及び基板
51のそれぞれに対する付着力テストの結果を示す。光
学ガラスBK−7上にANELVA社製のイオンビーム
蒸着装置EVC−1501で反射膜52を形成する。こ
こではAgを0.1μm製膜する。そしてJIS−K−
5400に規定される碁盤目テープ法により反射膜52
と基板51との間の付着力テストを行った結果、10点
満点中4点であった。
【0058】また同様の方法で行った基板51と誘電体
膜53との間の付着力テストでは10点満点中10点で
あった。さらに誘電体膜53と反射膜52との間の付着
力テストでは10点満点中0点であった。
【0059】以上の結果より、誘電体膜53は、図に示
すように反射膜52を覆うように形成されることが最も
好ましい。即ち基板51と誘電体膜53とが強固に付着
し、かつ基板51との付着力の弱い反射膜52が外部に
露出しないので、非常に効果的に反射膜52を保護する
ことができる。また誘電体膜53の膜厚は反射膜52の
膜厚よりも厚い方が好ましく、更に誘電体膜53の膜厚
を反射膜52の膜厚の3倍以上とするとさらに良い。即
ち反射膜52上に誘電体膜53を形成すると、図に示す
ように誘電体膜53に括れ部53aが発生する。この括
れ部53aは誘電体膜53中の他の部分と比べて機械的
強度が弱い。しかしながら光ガイド部材を形成する際に
は、各基板に接合材を塗布した状態で位置調整を行い、
その後に張り合わせなければならず、その位置調整の際
に接合材等との間に発生する摩擦力等はそのほとんどが
この括れ部53aに集中すると考えられる。そのため括
れ部53aの厚みを厚くすること、即ち誘電体膜53の
厚みを厚くすることがその部分の機械的強度を向上さ
せ、組立の際にも破損し難くすることができる。
【0060】また誘電体膜53を厚くすると、誘電体膜
53の応力の方向を考慮に入れなければ、それら自体の
膜応力によって基板が反ってしまう可能性があるので、
その場合誘電体膜53は複数の応力の方向が異なる材質
の異なる膜を積層することが好ましい。このような構造
にすることにより、膜応力による基板の反りを防止する
ことができるので、誘電体膜53の膜厚を従来の単層膜
に比べて非常に厚くすることができる。
【0061】更に、誘電体膜53は、十分な厚さに形成
しておけば、ホログラム50の背面から入射してくる光
を反射することができるので、反射膜52と誘電体膜5
3とが形成されているホログラム50を、ホログラムと
反射膜の2つの機能を有する複合光学部材として用いる
ことも可能である。
【0062】更にこのホログラム50と同一基板上に設
けられている他の光学部材、例えば図3に示すビームス
プリッター膜9等を同時に形成してもかまわない。この
ようにすることで製造工程を簡略化でき、コストを削減
できる。
【0063】次に反射膜52の周囲に金属膜を形成する
場合の実施例について説明する。図13は本実施例にお
けるホログラムの断面図である。ホログラム50及び反
射膜52の構造は前述のものと同様である。54は金属
膜で、金属膜54は反射膜52の周囲もしくは周囲及び
表面を覆うものであり、反射膜を保護し、かつ、比較的
ガラス基板との接着力が弱い反射膜が光ガイド部材の組
立作業中にはがれることを防止する働きを有するもので
ある。金属膜54の材質は、ガラスとの付着力の良好な
Ti,Crもしくはそれらの合金等の材料を用いること
が好ましい。製膜方法としては蒸着やスッパッタリング
等の方法を用いることが好ましい。
【0064】ここで反射膜52、金属膜54及び基板5
1のそれぞれに対する付着力テストの結果を示す。用い
た方法は前述の誘電体膜53の実施例と同様である。そ
の結果、基板51と金属膜54との間の付着力テストで
は10点満点中10点であった。さらに金属膜54と反
射膜52との間の付着力テストも10点満点中10点で
あった。
【0065】以上の結果から金属膜54は、誘電体膜5
3とは異なり、基板51と反射膜52の両方に強固な付
着力を有していることがわかる。従って金属膜54はそ
の膜厚さをあまり厚くしなくても十分な反射膜保護機能
を有し、かつ、膜応力による基板の反りも発生する可能
性が非常に少なくすることができる。しかしながら前述
の実施例のようにホログラム50を複合光学素子として
用いることは、金属膜54の反射率が低いので、できな
い。金属膜54の形成されたホログラム50を複合光学
素子とするには、図14に示すように金属膜54の上に
更に第二の反射膜55を反射膜52と同じように形成す
るか、又は図15に示すように金属膜54の一部を反射
膜52が露出するようにくり貫いた形状とすること等が
考えられる。
【0066】更にこのホログラム50と同一基板上に設
けられている他の光学部材、例えば図3に示す反射膜1
25等を同時に形成しても構わない。このようにするこ
とにより、別々に形成するよりも製造工程を削減するこ
とができるので、コストを低下させることができ、安価
な光ピックアップにできる。
【0067】
【発明の効果】ホログラムの底部に反射部材を形成し、
その反射部材を金属材料で形成することにより、複雑な
形状のホログラムであってもホログラム上での反射率を
ほぼ一様にすることができるとともに、ホログラムに入
射してきた光の反射率を増加させ、逆に光の透過率を低
下させることができるので、ホログラムの利用効率を良
くすることができる。また反射部材の膜厚を0.025
μm以上とすることにより更にホログラムの利用効率を
良くすることができる。更に反射部材の周囲に保護部材
を設けることにより、反射部材をはがれ難くすることが
でき、従って光ピックアップの信頼性を向上させること
ができる。また反射部材を覆うように保護部材を設ける
ことにより、更に反射部材をはがれ難くすることができ
る。更に保護部材を複数の薄膜で形成し、その複数の薄
膜をそれぞれの膜応力を弱め合うような方向に配置する
ことにより、膜応力による基板の反りを防止することが
できるので、保護部材の膜厚を従来の単層膜に比べて非
常に厚くすることができる。そして保護部材を誘電体材
料で形成することにより、基板と保護部材との間の付着
力を向上させ、反射部材を更にはがれ難くするので、光
ピックアップの信頼性を向上させることができる。また
保護部材のホログラム側の面と反対側の面を反射膜とし
て利用することにより、別に反射部材を形成するのに比
べて製造工程を削減することができるので、光ピックア
ップの製造コストを低減することができる。更に保護部
材を金属材料で形成することにより、基板と保護部材と
の間の付着力及び反射部材と保護部材との間の付着力を
向上させ、反射部材を更にはがれ難くするので、光ピッ
クアップの信頼性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例における光ピックアップのパ
ッケージングの構成を示す断面図
【図2】本発明の一実施例における光ピックアップのパ
ッケージングの構成を示す断面図
【図3】本発明の一実施例における光ピックアップの動
作の概念図
【図4】本発明の一実施例における光ガイド部材の斜視
【図5】本発明の一実施例における偏光面変換基板の斜
視図
【図6】本発明の一実施例における光ピックアップの受
光部配置及び信号処理を示す図
【図7】本発明の一実施例における相変化型光ディスク
用の光ピックアップの構成図
【図8】本発明の一実施例におけるλ/4板の概観図
【図9】本発明の一実施例における相変化型光ディスク
用の光ピックアップの受光素子に設けられた受光部の配
置図
【図10】本発明の第一実施例及び第二実施例における
ホログラムの構成を示した断面図
【図11】本実験の概略図
【図12】本発明の一実施例におけるホログラムの断面
【図13】本発明の一実施例におけるホログラムの断面
【図14】本発明の一実施例におけるホログラムの断面
【図15】本発明の一実施例におけるホログラムの断面
【図16】従来の光ピックアップの構成図
【図17】従来のホログラムの断面図
【符号の説明】
1 光源 2 サブマウント 2a 電極面 3 ブロック 3a 突起部 3b 端面部 4 放熱板 4a 孔 5 光ガイド部材 5a 第一の斜面 5b 第二の斜面 5c 第三の斜面 5e 面 5f 面 6 回折格子 7 拡散角変換ホログラム 9 第一のビームスプリッター膜 9a 保護膜 10 非点収差発生ホログラム 11 第二のビームスプリッター膜 12 偏光分離膜 13 受光素子 13a 電極 14 パッケージ 14a リードフレーム 14b リードフレームの足 14c 段差 14d ワイヤ 15 シェル 16 カバー部材 16a 反射防止膜 17 隙間 26 対物レンズ 27 記録媒体 27a 記録媒体面 29a,29b,29c ビームスポット 30 理想球面波 31 偏光面変換基板 31a 第1他斜面 31b 第2他斜面 31c 第一面 31d 第二面 33 λ/4板 34 ハーフミラー 35 ビームスプリッター膜 36 受光素子 37,38,39,40 受光部 41 光ガイド部材 41a 第一の斜面 41b 第二の斜面 41c 第三の斜面 41e 面 41f 面 50 ホログラム 51 基板 52 反射膜 53 誘電体膜 54 金属膜 55 第二の反射膜 60 45゜プリズム 61 Ag薄膜 62 光 63 センサー 117 透過光 117a 偏光面 117s S偏光成分 117p P偏光成分 123 反射光 124 反射膜 125 反射膜 126 反射膜 128 入射面 170,171,172,172a,172b,172
c,172d,176,177 受光部 616 異常光軸 617 常光軸

Claims (39)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】光源と、前記光源から照射された光の入射
    方向に対して傾斜した複数の傾斜面を有し、前記傾斜面
    にホログラムを備え、前記光源からの光を光媒体に導く
    とともに、前記光媒体から反射してきた光を所定の位置
    に導く光ガイド部材と、光を受光するとともに受光した
    光信号を電気信号に変換する受光手段とを備え、光路上
    に前記ホログラムを設けるとともに前記ホログラムの一
    方の面に反射部材を設けたことを特徴とする光ピックア
    ップ。
  2. 【請求項2】反射部材を金属材料で形成したことを特徴
    とする請求項1記載の光ピックアップ。
  3. 【請求項3】金属材料をAgとしたことを特徴とする請
    求項2記載の光ピックアップ。
  4. 【請求項4】反射部材の厚さを0.025μm以上とし
    たことを特徴とする請求項1,2,3いずれか1記載の
    光ピックアップ。
  5. 【請求項5】光源と、前記光源から照射された光の入射
    方向に対して傾斜した複数の傾斜面を有し、前記傾斜面
    にホログラムを備え、前記光源からの光を光媒体に導く
    とともに、前記光媒体から反射してきた光を所定の位置
    に導く光ガイド部材と、光を受光するとともに受光した
    光信号を電気信号に変換する受光手段とを備え、光路上
    に前記ホログラムを設けるとともに前記ホログラムの光
    の入射面とは反対側の面に反射部材を設け、更に前記反
    射部材の周囲に保護部材を設けたことを特徴とする光ピ
    ックアップ。
  6. 【請求項6】反射部材を覆うように保護部材を設けたこ
    とを特徴とする請求項5記載の光ピックアップ。
  7. 【請求項7】保護部材を誘電体材料で形成することを特
    徴とする請求項5,6いずれか1記載の光ピックアッ
    プ。
  8. 【請求項8】保護部材を複数の薄膜で形成し、前記複数
    の薄膜がそれぞれの膜応力を弱め合うような方向に配置
    されていることを特徴とする請求項7記載の光ピックア
    ップ。
  9. 【請求項9】保護部材のホログラム側の面と反対側の面
    を反射膜として利用することを特徴とする請求項1から
    8いずれか1記載の光ピックアップ。
  10. 【請求項10】保護部材を金属材料で形成することを特
    徴とする請求項5,6いずれか1記載の記載の光ピック
    アップ。
  11. 【請求項11】金属材料としてTi,Crもしくはそれ
    らの合金の内の少なくとも一つを含む材料で保護部材を
    形成することを特徴とする請求項10記載の光ピックア
    ップ。
  12. 【請求項12】保護部材の一部に貫通孔を設け、前記貫
    通孔により露出した反射部材に前記保護部材側から入射
    してくる光を反射させるようにしたことを特徴とする請
    求項10,11いずれか1記載の光ピックアップ。
  13. 【請求項13】光源と、前記光源から照射された光の入
    射方向に対して傾斜した複数の傾斜面を有し、前記傾斜
    面にホログラムを備え、前記光源からの光を前記光学部
    材を介して光媒体に導くとともに、前記光媒体から反射
    してきた光を所定の位置に導く光ガイド部材と、光を受
    光するとともに受光した光信号を電気信号に変換する受
    光手段とを備え、光路上に前記ホログラムを設けるとと
    もに前記ホログラムの光の入射面とは反対側の面に第一
    の反射部材を設け、前記反射部材の周囲に保護部材を設
    け、更に前記保護部材の前記第一の反射膜側の面と反対
    側の面に第二の反射膜を設けたことを特徴とする光ピッ
    クアップ。
  14. 【請求項14】第一の反射部材及び第二の反射部材を金
    属材料で形成したことを特徴とする請求項13記載の光
    ピックアップ。
  15. 【請求項15】金属材料をAgとしたことを特徴とする
    請求項14記載の光ピックアップ。
  16. 【請求項16】第一の反射部材及び第二の反射部材の厚
    さを共に0.025μm以上としたことを特徴とする請
    求項13〜15いずれか1記載の光ピックアップ。
  17. 【請求項17】保護部材を金属材料で形成することを特
    徴とする請求項13〜16いずれか1記載の記載の光ピ
    ックアップ。
  18. 【請求項18】金属材料としてTi,Crもしくはそれ
    らの合金の内の少なくとも一つを含む材料を用いて保護
    部材を形成することを特徴とする請求項17記載の光ピ
    ックアップ。
  19. 【請求項19】光源と、前記光源から照射された光の入
    射方向に対して傾斜した複数の傾斜面を有し、前記傾斜
    面にホログラムを備え、前記光源からの光を光媒体に導
    くとともに、前記光媒体から反射してきた光を所定の位
    置に導く光ガイド部材と、光を受光するとともに受光し
    た光信号を電気信号に変換する受光手段とを備え、光路
    上に前記ホログラムを設けるとともに前記ホログラムの
    底部に反射部材を設けたことを特徴とする相変化型光デ
    ィスク用の光ピックアップ。
  20. 【請求項20】反射部材を金属材料で形成したことを特
    徴とする請求項19記載の相変化型光ディスク用の光ピ
    ックアップ。
  21. 【請求項21】金属材料をAgとしたことを特徴とする
    請求項20記載の相変化型光ディスク用の光ピックアッ
    プ。
  22. 【請求項22】反射部材の厚さを0.025μm以上と
    したことを特徴とする請求項19〜21いずれか1記載
    の相変化型光ディスク用の光ピックアップ。
  23. 【請求項23】光源と、前記光源から照射された光の入
    射方向に対して傾斜した複数の傾斜面を有し、前記傾斜
    面にホログラムを備え、前記光源からの光を光媒体に導
    くとともに、前記光媒体から反射してきた光を所定の位
    置に導く光ガイド部材と、光を受光するとともに受光し
    た光信号を電気信号に変換する受光手段とを備え、光路
    上に前記ホログラムを設けるとともに前記ホログラムの
    光の入射面とは反対側の面に反射部材を設け、更に前記
    反射部材の周囲に保護部材を設けたことを特徴とする相
    変化型光ディスク用の光ピックアップ。
  24. 【請求項24】反射部材を覆うように保護部材を設けた
    ことを特徴とする請求項23記載の相変化型光ディスク
    用の光ピックアップ。
  25. 【請求項25】保護部材を誘電体材料で形成することを
    特徴とする請求項23,24いずれか1記載の相変化型
    光ディスク用の光ピックアップ。
  26. 【請求項26】保護部材を複数の薄膜で形成し、前記複
    数の薄膜がそれぞれの膜応力を弱め合うような方向に配
    置されていることを特徴とする請求項25記載の相変化
    型光ディスク用の光ピックアップ。
  27. 【請求項27】保護部材のホログラム側の面と反対側の
    面を反射膜として利用することを特徴とする請求項19
    〜26いずれか1記載の相変化型光ディスク用の光ピッ
    クアップ。
  28. 【請求項28】保護部材を金属材料で形成することを特
    徴とする請求項23,24いずれか1記載の記載の相変
    化型光ディスク用の光ピックアップ。
  29. 【請求項29】金属材料としてTi,Crもしくはそれ
    らの合金の内の少なくとも一つを含む材料で保護部材を
    形成することを特徴とする請求項28記載の相変化型光
    ディスク用の光ピックアップ。
  30. 【請求項30】保護部材の一部に貫通孔を設け、前記貫
    通孔により露出した反射部材に前記保護部材側から入射
    してくる光を反射させるようにしたことを特徴とする請
    求項28,29いずれか1記載の相変化型光ディスク用
    の光ピックアップ。
  31. 【請求項31】光源と、前記光源から照射された光の入
    射方向に対して傾斜した複数の傾斜面を有し、前記傾斜
    面にホログラムを備え、前記光源からの光を前記光学部
    材を介して光媒体に導くとともに、前記光媒体から反射
    してきた光を所定の位置に導く光ガイド部材と、光を受
    光するとともに受光した光信号を電気信号に変換する受
    光手段とを備え、光路上に前記ホログラムを設けるとと
    もに前記ホログラムの光の入射面とは反対側の面に第一
    の反射部材を設け、前記反射部材の周囲に保護部材を設
    け、更に前記保護部材の前記第一の反射膜側の面と反対
    側の面に第二の反射膜を設けたことを特徴とする相変化
    型光ディスク用の光ピックアップ。
  32. 【請求項32】第一の反射部材及び第二の反射部材を金
    属材料で形成したことを特徴とする請求項31記載の相
    変化型光ディスク用の光ピックアップ。
  33. 【請求項33】金属材料をAgとしたことを特徴とする
    請求項32記載の相変化型光ディスク用の光ピックアッ
    プ。
  34. 【請求項34】第一の反射部材及び第二の反射部材の厚
    さを0.025μm以上としたことを特徴とする請求項
    31〜33いずれか1記載の相変化型光ディスク用の光
    ピックアップ。
  35. 【請求項35】保護部材を金属材料で形成することを特
    徴とする請求項31〜34いずれか1記載の記載の相変
    化型光ディスク用の光ピックアップ。
  36. 【請求項36】金属材料としてTi,Crもしくはそれ
    らの合金の内の少なくとも一つを含む材料を用いて保護
    部材を形成することを特徴とする請求項35記載の相変
    化型光ディスク用の光ピックアップ。
  37. 【請求項37】光ガイド部材の光出射面と光媒体との間
    にλ/4板を設け、前記λ/4板と光の光軸とが略垂直
    であることを特徴とする請求項19〜36いずれか1記
    載の相変化型光ディスク用の光ピックアップ。
  38. 【請求項38】光を透過若しくは反射の少なくとも一方
    を行う導光手段を傾斜面に備え、前記傾斜面を介して、
    光媒体からの反射光を受光手段に導くことを特徴とする
    請求項19〜36いずれか1記載の相変化型光ディスク
    用の光ピックアップ。
  39. 【請求項39】導光手段がハーフミラーであることを特
    徴とする請求項38記載の相変化型光ディスク用の光ピ
    ックアップ。
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